JP2003098120A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 載置台からの反射を抑え、外観検査を高精度
に安定して行うこと。 【解決手段】 載置台１１が照明装置１２からの照射光
１４を透過させる透過材で構成され、透過材は高硬度お
よび耐摩耗性を有する透明セラミックスを基材とする。
載置台１１の後方にはこれを透過した透過光１４ａを除
去するための透過光除去手段２０を備え、透過光除去手
段２０は載置台１１を透過した透過光１４ａが直角プリ
ズム２１の入射面２１ａを通って斜面２１ｃに当たる
と、透過光１４ａが斜面２１ｃによって出射面２１ｂ方
向に直角に反射し反射光１４ｂとなり、反射光１４ｂは
さらに偏光板２３で吸収され、載置台１１に戻ることは
ない。
に安定して行うこと。 【解決手段】 載置台１１が照明装置１２からの照射光
１４を透過させる透過材で構成され、透過材は高硬度お
よび耐摩耗性を有する透明セラミックスを基材とする。
載置台１１の後方にはこれを透過した透過光１４ａを除
去するための透過光除去手段２０を備え、透過光除去手
段２０は載置台１１を透過した透過光１４ａが直角プリ
ズム２１の入射面２１ａを通って斜面２１ｃに当たる
と、透過光１４ａが斜面２１ｃによって出射面２１ｂ方
向に直角に反射し反射光１４ｂとなり、反射光１４ｂは
さらに偏光板２３で吸収され、載置台１１に戻ることは
ない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チップ状の電子部
品等（以下、チップ部品と呼ぶ）の外観を検査する外観
検査装置に係り、特に画像処理によってチップ部品の外
輪郭の検査精度を向上させるのに好適な外観検査装置に
関するものである。
品等（以下、チップ部品と呼ぶ）の外観を検査する外観
検査装置に係り、特に画像処理によってチップ部品の外
輪郭の検査精度を向上させるのに好適な外観検査装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来のこの種の外観検査装置の一
例を示し、図６は画像処理された検査画面の輝度を示し
ている。図５において、被検査物としてのチップ部品１
が照明装置２によって照射されると、その照射光３が、
チップ部品１およびこれを載置している載置台４の表面
にそれぞれ当たって反射され、それぞれの反射光５ａ，
５ｂが撮像装置６に入光することにより、図示しない画
像表示処理部にて検査される。その場合、画像表示処理
部は撮像装置６からの撮像信号に基づき、チップ部品１
による反射光５ａの大きさ（輝度値４１）と、載置台４
による反射光５ｂの大きさ（輝度値４２）とを判定する
と共に、図６に示すように、それら輝度値４１，４２を
閾値３０に基づいて比較することにより、チップ部品１
の良否を判定するようになっている。
例を示し、図６は画像処理された検査画面の輝度を示し
ている。図５において、被検査物としてのチップ部品１
が照明装置２によって照射されると、その照射光３が、
チップ部品１およびこれを載置している載置台４の表面
にそれぞれ当たって反射され、それぞれの反射光５ａ，
５ｂが撮像装置６に入光することにより、図示しない画
像表示処理部にて検査される。その場合、画像表示処理
部は撮像装置６からの撮像信号に基づき、チップ部品１
による反射光５ａの大きさ（輝度値４１）と、載置台４
による反射光５ｂの大きさ（輝度値４２）とを判定する
と共に、図６に示すように、それら輝度値４１，４２を
閾値３０に基づいて比較することにより、チップ部品１
の良否を判定するようになっている。
【０００３】チップ部品１を載置する載置台４は、多数
のチップ部品１に対する耐摩耗性および低反射性をもた
せるようにするため、黒色セラミックスの表面にＤＬＣ
（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングしたもの
が使用されている。
のチップ部品１に対する耐摩耗性および低反射性をもた
せるようにするため、黒色セラミックスの表面にＤＬＣ
（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングしたもの
が使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の外観検査装置は、載置台４が黒色セラミックスの表面
にＤＬＣコーティングすることによって耐摩耗性のみな
らず低反射性が得られるようにしている。
の外観検査装置は、載置台４が黒色セラミックスの表面
にＤＬＣコーティングすることによって耐摩耗性のみな
らず低反射性が得られるようにしている。
【０００５】しかしながら、載置台４は黒色セラミック
スで構成されているとはいえ、照射光３が当たると、表
面から最大で２０％程度の反射があるため、その反射光
５ｂがチップ部品１からの反射光５ａと識別しにくくな
っている。特に、図６に示すように、画像表示処理部に
よって２５６階調で処理されたチップ部品１からの反射
光の輝度値４１と、載置台４からの反射光の輝度値４２
とは、境界の判別が不明瞭な曲線なってしまうので、閾
値３０の設定も極めてシビアになり、検査精度を上げる
ことができない問題があった。
スで構成されているとはいえ、照射光３が当たると、表
面から最大で２０％程度の反射があるため、その反射光
５ｂがチップ部品１からの反射光５ａと識別しにくくな
っている。特に、図６に示すように、画像表示処理部に
よって２５６階調で処理されたチップ部品１からの反射
光の輝度値４１と、載置台４からの反射光の輝度値４２
とは、境界の判別が不明瞭な曲線なってしまうので、閾
値３０の設定も極めてシビアになり、検査精度を上げる
ことができない問題があった。
【０００６】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、
載置台からの反射を極力抑え、被検査物の外観検査を高
精度に安定して行うことができる外観検査装置を提供す
ることを課題とする。
載置台からの反射を極力抑え、被検査物の外観検査を高
精度に安定して行うことができる外観検査装置を提供す
ることを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の本発明は、被検査物を載置する載置
台と、載置台上の被検査物を照明する照明手段と、被検
査物に対向して設けられた撮像手段とを備えた外観検査
装置において、載置台を光透過材で構成することを特徴
とする。請求項２記載の本発明は、前記載置台は、透明
セラミックスからなることを特徴とする。請求項３記載
の本発明は、前記載置台の裏面に、載置台を透過した光
を除去する透過光除去手段を備えることを特徴とする。
請求項４記載の本発明は、前記透過光除去手段は、載置
台を透過した光を、載置台と異なる方向に反射させるプ
リズムと、プリズムによって反射された光を吸収する偏
光板とを有することを特徴とする。請求項５記載の本発
明は、前記プリズムの入射面及び出射面を除く外周は、
外部からの光を除去させる光遮蔽膜を有していることを
特徴とする。請求項６記載の本発明は、前記偏光板は、
第一偏光板と、前記第一偏光板に対し、平行かつ偏光方
向を直角に設けた第二偏光板とからなることを特徴とす
る。請求項７記載の本発明は、前記透過光除去手段は、
載置台を透過した光を吸収する光吸収体からなっている
ことを特徴とする。請求項８記載の本発明は、前記光吸
収体は、第一偏光板と、前記第一偏光板に対し、平行か
つ偏光方向を直角に設けた第二偏光板とからなることを
特徴とする。請求項９記載の本発明は、前記光吸収体
は、載置台を透過した光を吸収する黒体からなることを
特徴とする。
め、請求項１記載の本発明は、被検査物を載置する載置
台と、載置台上の被検査物を照明する照明手段と、被検
査物に対向して設けられた撮像手段とを備えた外観検査
装置において、載置台を光透過材で構成することを特徴
とする。請求項２記載の本発明は、前記載置台は、透明
セラミックスからなることを特徴とする。請求項３記載
の本発明は、前記載置台の裏面に、載置台を透過した光
を除去する透過光除去手段を備えることを特徴とする。
請求項４記載の本発明は、前記透過光除去手段は、載置
台を透過した光を、載置台と異なる方向に反射させるプ
リズムと、プリズムによって反射された光を吸収する偏
光板とを有することを特徴とする。請求項５記載の本発
明は、前記プリズムの入射面及び出射面を除く外周は、
外部からの光を除去させる光遮蔽膜を有していることを
特徴とする。請求項６記載の本発明は、前記偏光板は、
第一偏光板と、前記第一偏光板に対し、平行かつ偏光方
向を直角に設けた第二偏光板とからなることを特徴とす
る。請求項７記載の本発明は、前記透過光除去手段は、
載置台を透過した光を吸収する光吸収体からなっている
ことを特徴とする。請求項８記載の本発明は、前記光吸
収体は、第一偏光板と、前記第一偏光板に対し、平行か
つ偏光方向を直角に設けた第二偏光板とからなることを
特徴とする。請求項９記載の本発明は、前記光吸収体
は、載置台を透過した光を吸収する黒体からなることを
特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
〜図４に基づいて説明する。図１および図２は本発明に
よる外観検査装置の一実施形態を示す図であって、図１
は外観検査装置の概略構成を示す説明図、図２は画像表
示処理部によって画像処理された検査画面の輝度値を示
す説明図である。図１に示す本実施形態の外観検査装置
１０は、被検査物としてのチップ部品１を載置する載置
台１１と、載置台１１上のチップ部品１を照明する照明
装置１２と、チップ部品１と対向して上方位置に設けら
れた撮像装置１３とを備えている。そして、照明装置１
２によってチップ部品１を照明したとき、その照明装置
１２からの照射光１４がチップ部品に当たって反射する
と共に、その反射光１５が撮像装置１３に入光すること
により、図示しない画像表示処理部が反射光１５の輝度
値の大きさに基づいてチップ部品１の外観を検査するよ
うになっている。この点は図５に示す従来例と同様であ
る。
〜図４に基づいて説明する。図１および図２は本発明に
よる外観検査装置の一実施形態を示す図であって、図１
は外観検査装置の概略構成を示す説明図、図２は画像表
示処理部によって画像処理された検査画面の輝度値を示
す説明図である。図１に示す本実施形態の外観検査装置
１０は、被検査物としてのチップ部品１を載置する載置
台１１と、載置台１１上のチップ部品１を照明する照明
装置１２と、チップ部品１と対向して上方位置に設けら
れた撮像装置１３とを備えている。そして、照明装置１
２によってチップ部品１を照明したとき、その照明装置
１２からの照射光１４がチップ部品に当たって反射する
と共に、その反射光１５が撮像装置１３に入光すること
により、図示しない画像表示処理部が反射光１５の輝度
値の大きさに基づいてチップ部品１の外観を検査するよ
うになっている。この点は図５に示す従来例と同様であ
る。
【０００９】この実施形態において、載置台１１が照明
装置１２からの照射光１４を透過させる透過材で構成さ
れている。この透過材としては、照射光１４を可及的に
透過し得るようにする他、種々のチップ部品１にも対応
し得るようサファイヤのような高硬度および耐摩耗性を
有する透明セラミックスを基材として構成されている。
装置１２からの照射光１４を透過させる透過材で構成さ
れている。この透過材としては、照射光１４を可及的に
透過し得るようにする他、種々のチップ部品１にも対応
し得るようサファイヤのような高硬度および耐摩耗性を
有する透明セラミックスを基材として構成されている。
【００１０】また、載置台１１の後方には、載置台１１
を透過した透過光１４ａを除去するための透過光除去手
段２０を備えている。
を透過した透過光１４ａを除去するための透過光除去手
段２０を備えている。
【００１１】透過光除去手段２０は、図１に示すよう
に、載置台１１の背面と接するように設けられた入射面
２１ａと、これと直角な角度をなす出射面２１ｂと、出
射面２１ｂおよび入射面２１ａとを結ぶ斜面２１ｃとを
有する直角プリズム２１で構成されている。そして、載
置台１１を透過した透過光１４ａが入射面２１ａを通っ
て斜面２１ｃに当たると、その透過光１４ａが斜面２１
ｃによって図１に示すように出射面２１ｂ方向に直角に
反射し、反射光１４ｂとなるようにしている。
に、載置台１１の背面と接するように設けられた入射面
２１ａと、これと直角な角度をなす出射面２１ｂと、出
射面２１ｂおよび入射面２１ａとを結ぶ斜面２１ｃとを
有する直角プリズム２１で構成されている。そして、載
置台１１を透過した透過光１４ａが入射面２１ａを通っ
て斜面２１ｃに当たると、その透過光１４ａが斜面２１
ｃによって図１に示すように出射面２１ｂ方向に直角に
反射し、反射光１４ｂとなるようにしている。
【００１２】この直角プリズム２１の斜面２１ｃの外面
には、載置台１１からの透過光１４ａが斜面２１ｃに当
たったとき、その透過光１４ａだけを確実に左方向へ反
射させるようにすると共に、外部からの光（外光）が直
角プリズム２１の入射面２１ａ及び出射面２１ｂを除く
斜面２１ｃ及び外周から内部に入射しないようにするた
め、外光を遮断する光遮蔽膜２２がコーティングされて
いる。
には、載置台１１からの透過光１４ａが斜面２１ｃに当
たったとき、その透過光１４ａだけを確実に左方向へ反
射させるようにすると共に、外部からの光（外光）が直
角プリズム２１の入射面２１ａ及び出射面２１ｂを除く
斜面２１ｃ及び外周から内部に入射しないようにするた
め、外光を遮断する光遮蔽膜２２がコーティングされて
いる。
【００１３】さらに、透過光除去手段２０は、直角プリ
ズム２１からの反射光１４ｂを吸収すると共に、直角プ
リズム２１に対して外部からの光が入射するのを阻止す
る光吸収体としての偏光板２３を備えている。偏光板２
３は、直角プリズム２１の出射面２１ｂと対向する位置
に配設され、かつ反射光１４ｂを吸収する第一偏光板で
あるＰ偏光板２４と、Ｐ偏光板２４の背面に配設され、
Ｐ偏光板２４に対し、平行かつ偏光方向を直角に設けた
第二偏光板であるＳ偏光板２５とからなっている。
ズム２１からの反射光１４ｂを吸収すると共に、直角プ
リズム２１に対して外部からの光が入射するのを阻止す
る光吸収体としての偏光板２３を備えている。偏光板２
３は、直角プリズム２１の出射面２１ｂと対向する位置
に配設され、かつ反射光１４ｂを吸収する第一偏光板で
あるＰ偏光板２４と、Ｐ偏光板２４の背面に配設され、
Ｐ偏光板２４に対し、平行かつ偏光方向を直角に設けた
第二偏光板であるＳ偏光板２５とからなっている。
【００１４】したがって、透過光除去手段２０は、直角
プリズム２１と、光吸収体としての第一偏光板であるＰ
偏光板２４，第二偏光板であるＳ偏光板２５からなる偏
光板２３とを有して構成されている。なお、透過光除去
手段２０および偏光板２３は、図示しない支持部によっ
て支持されている。
プリズム２１と、光吸収体としての第一偏光板であるＰ
偏光板２４，第二偏光板であるＳ偏光板２５からなる偏
光板２３とを有して構成されている。なお、透過光除去
手段２０および偏光板２３は、図示しない支持部によっ
て支持されている。
【００１５】この実施形態の外観検査装置１０は、上記
のように構成されているので、載置台１１に載置された
チップ部品１の外観を検査するため、図１に示すよう
に、照明装置１２によってチップ部品１を照明すると、
その照明装置１２からの照射光１４がチップ部品１に当
たって反射して反射光１５となり、その反射光１５が撮
像装置１３に入光すると、図示しない画像表示処理部が
反射光１５に基づいて画像処理することにより、チップ
部品１の外観を検査する。
のように構成されているので、載置台１１に載置された
チップ部品１の外観を検査するため、図１に示すよう
に、照明装置１２によってチップ部品１を照明すると、
その照明装置１２からの照射光１４がチップ部品１に当
たって反射して反射光１５となり、その反射光１５が撮
像装置１３に入光すると、図示しない画像表示処理部が
反射光１５に基づいて画像処理することにより、チップ
部品１の外観を検査する。
【００１６】その際、照明装置１２からの照射光１４が
載置台１１にも照射されるが、載置台１１は前述したよ
うに光透過材によって構成されているので、照射光１４
を可及的に透過させ、その一部だけが表面によって反射
するだけであるので、一部の反射した光だけが撮像装置
１３に入光することとなる。
載置台１１にも照射されるが、載置台１１は前述したよ
うに光透過材によって構成されているので、照射光１４
を可及的に透過させ、その一部だけが表面によって反射
するだけであるので、一部の反射した光だけが撮像装置
１３に入光することとなる。
【００１７】つまり、照明装置１２によって照明される
と、載置台１１に照射された照射光１４は殆ど透過し、
かつ一部のみが載置台１１によって反射して撮像装置１
３に入光するだけである。そのため、撮像装置１３に載
置台１１からのわずかな反射光と、チップ部品１からの
通常の反射光１５とが入光し、その撮像装置１３からの
撮像信号に基づいて画像表示処理部が画像処理すると、
図２に示すように、チップ部品１からの反射光の輝度値
３１と、載置台１１からの反射光の輝度値３２との差を
大きくすることができる。これにより閾値３０に対し前
記輝度値３１と前記輝度値３２との差を大きくでき、検
査結果をＳ／Ｎ比の大きさな画像として表示できるの
で、チップ部品１の外観検査を高精度に安定して行うこ
とができる。
と、載置台１１に照射された照射光１４は殆ど透過し、
かつ一部のみが載置台１１によって反射して撮像装置１
３に入光するだけである。そのため、撮像装置１３に載
置台１１からのわずかな反射光と、チップ部品１からの
通常の反射光１５とが入光し、その撮像装置１３からの
撮像信号に基づいて画像表示処理部が画像処理すると、
図２に示すように、チップ部品１からの反射光の輝度値
３１と、載置台１１からの反射光の輝度値３２との差を
大きくすることができる。これにより閾値３０に対し前
記輝度値３１と前記輝度値３２との差を大きくでき、検
査結果をＳ／Ｎ比の大きさな画像として表示できるの
で、チップ部品１の外観検査を高精度に安定して行うこ
とができる。
【００１８】一方、照明装置１２から載置台１１を透過
した透過光１４ａは、透過光除去手段２０としての直角
プリズム２１の斜面２１ｃに当たって反射され、その反
射光１４ｂが出射面２１ｂを通過して偏光板２３に向か
うことにより吸収されることとなる。その際、偏光板２
３は、第一偏光板であるＰ偏光板２４とその背面に設け
られた第二偏光板であるＳ偏光板２５とにより、外部か
らの光を遮断するので、外光が通過するおそれがない。
した透過光１４ａは、透過光除去手段２０としての直角
プリズム２１の斜面２１ｃに当たって反射され、その反
射光１４ｂが出射面２１ｂを通過して偏光板２３に向か
うことにより吸収されることとなる。その際、偏光板２
３は、第一偏光板であるＰ偏光板２４とその背面に設け
られた第二偏光板であるＳ偏光板２５とにより、外部か
らの光を遮断するので、外光が通過するおそれがない。
【００１９】しかも、直角プリズム２１の入射面２１ａ
と出射面２１ｂを除く外周及び斜面２１ｃには光遮蔽膜
２２がコーティングされているので、外部からの光が直
角プリズム２１の外周及び斜面２１ｃから直角プリズム
２１内に入射するおそれもない。したがって、外光が直
角プリズム２１から載置台１１方向に向かうおそれがな
いので、検査時、外光による影響を何等受けることもな
い。
と出射面２１ｂを除く外周及び斜面２１ｃには光遮蔽膜
２２がコーティングされているので、外部からの光が直
角プリズム２１の外周及び斜面２１ｃから直角プリズム
２１内に入射するおそれもない。したがって、外光が直
角プリズム２１から載置台１１方向に向かうおそれがな
いので、検査時、外光による影響を何等受けることもな
い。
【００２０】図３および図４は本発明による外観検査装
置の他の実施形態をそれぞれ示している。図３に示す実
施形態においては、透過光除去手段２０が、載置台１１
の背面に設けられた光吸収体２６によって構成されてい
る。この光吸収体２６は、黒体例えばプリンタ等に用い
られる純炭素のトナーからなっており、載置台１１の背
面に取り付けられたケース２７に封入され、載置台１１
を透過した透過光１４ａを吸収する。この場合、トナー
の代わりとして、黒体塗料などのような光吸収剤で構成
してもよいのは勿論である。
置の他の実施形態をそれぞれ示している。図３に示す実
施形態においては、透過光除去手段２０が、載置台１１
の背面に設けられた光吸収体２６によって構成されてい
る。この光吸収体２６は、黒体例えばプリンタ等に用い
られる純炭素のトナーからなっており、載置台１１の背
面に取り付けられたケース２７に封入され、載置台１１
を透過した透過光１４ａを吸収する。この場合、トナー
の代わりとして、黒体塗料などのような光吸収剤で構成
してもよいのは勿論である。
【００２１】この実施形態によれば、照明装置１２から
の照射光１４が載置台１１を透過するように構成したの
で、基本的には図１に示す実施形態と同様の作用効果を
得ることができる。しかも、光吸収体２６が、載置台１
１を透過した透過光１４ａを吸収するように構成したの
で、図１の実施形態に比較すると、透過光吸収手段２０
としての構成を簡素化することができ、載置台１１の下
方が省スペースで済む等の利点がある。また、光吸収体
２６が外光をも吸収するので、外光による悪影響を受け
ることもない。
の照射光１４が載置台１１を透過するように構成したの
で、基本的には図１に示す実施形態と同様の作用効果を
得ることができる。しかも、光吸収体２６が、載置台１
１を透過した透過光１４ａを吸収するように構成したの
で、図１の実施形態に比較すると、透過光吸収手段２０
としての構成を簡素化することができ、載置台１１の下
方が省スペースで済む等の利点がある。また、光吸収体
２６が外光をも吸収するので、外光による悪影響を受け
ることもない。
【００２２】図４に示す実施形態においては、透過光除
去手段２０が、第一偏光板であるＰ偏光板２８と第二偏
光板であるＳ偏光板２９とからなる偏光板（符示せず）
で構成されている。このＰ偏光板２８とＳ偏光板２９
は、図１に示す実施形態の偏光板２３（Ｐ偏光板２４，
Ｓ偏光板２５）と同様のものであって、載置台１１から
の透過光１４ａを吸収すると共に、外光が載置台１１方
向に向かうことがないよう遮断するようになっている。
なお、Ｐ偏光板２８とＳ偏光板２９とは図１に示すＰ偏
光板２４，Ｓ偏光板２５の場合も同様で、位置が逆であ
ってもよい。
去手段２０が、第一偏光板であるＰ偏光板２８と第二偏
光板であるＳ偏光板２９とからなる偏光板（符示せず）
で構成されている。このＰ偏光板２８とＳ偏光板２９
は、図１に示す実施形態の偏光板２３（Ｐ偏光板２４，
Ｓ偏光板２５）と同様のものであって、載置台１１から
の透過光１４ａを吸収すると共に、外光が載置台１１方
向に向かうことがないよう遮断するようになっている。
なお、Ｐ偏光板２８とＳ偏光板２９とは図１に示すＰ偏
光板２４，Ｓ偏光板２５の場合も同様で、位置が逆であ
ってもよい。
【００２３】この実施形態においても、照明装置１２か
らの照射光１４が載置台１１を透過すると共に、その透
過光１４ａを除去するようにしたので、基本的には図
１，図３に示す実施形態と同様の効果を得ることができ
る。しかも、載置台１１の背面に、Ｐ偏光板２８とＳ偏
光板２９とからなる偏光板を取り付けるだけなので、透
過光除去手段２０として、構成のよりいっそうの簡素化
を図ることもできる。
らの照射光１４が載置台１１を透過すると共に、その透
過光１４ａを除去するようにしたので、基本的には図
１，図３に示す実施形態と同様の効果を得ることができ
る。しかも、載置台１１の背面に、Ｐ偏光板２８とＳ偏
光板２９とからなる偏光板を取り付けるだけなので、透
過光除去手段２０として、構成のよりいっそうの簡素化
を図ることもできる。
【００２４】なお、図示実施形態では、被検査物として
チップ状の電子部品等からなるチップ部品１を用いた例
を示したが、チップ状のものであれば外観検査すること
ができるので、電子部品以外のものにも本外観検査装置
１０を適用して同様の作用効果を得ることができる。
チップ状の電子部品等からなるチップ部品１を用いた例
を示したが、チップ状のものであれば外観検査すること
ができるので、電子部品以外のものにも本外観検査装置
１０を適用して同様の作用効果を得ることができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
検査のための照射時、載置台に照射された照射光を透過
させ、被検査物からの反射光の輝度値と、載置台からの
反射光の輝度値との差を大きくできるように構成したの
で、検査結果をＳ／Ｎ比の大きな画像として表示するこ
とができる結果、被検査物の外観検査を高精度に安定し
て行うことができる効果がある。
検査のための照射時、載置台に照射された照射光を透過
させ、被検査物からの反射光の輝度値と、載置台からの
反射光の輝度値との差を大きくできるように構成したの
で、検査結果をＳ／Ｎ比の大きな画像として表示するこ
とができる結果、被検査物の外観検査を高精度に安定し
て行うことができる効果がある。
【図１】本発明による外観検査装置の一実施形態を示す
図であって、外観検査装置の概略構成の説明図である。
図であって、外観検査装置の概略構成の説明図である。
【図２】画像表示処理部によって画像処理された検査画
面の輝度値を示す説明図である
面の輝度値を示す説明図である
【図３】本発明による外観検査装置の他の実施形態を示
す要部の説明図である。
す要部の説明図である。
【図４】同じく本発明による外観検査装置のさらに他の
実施形態を示す要部の説明図である。
実施形態を示す要部の説明図である。
【図５】従来の外観検査装置の一例を示す説明図であ
る。
る。
【図６】画像処理された検査画面の輝度値を示す説明図
である。
である。
１ 被検査物としてのチップ部品
１０ 外観検査装置
１１ 載置台
１２ 照明装置
１３ 撮像装置
１４ 照射光
１４ａ 透過光
１４ｂ 透過光の反射光
１５ 反射光
２０ 透過光除去手段
２１ 直角プリズム
２１ａ 入射面
２１ｂ 出射面
２１ｃ 斜面
２２ 光遮蔽膜
２３ 偏光板
２４ Ｐ偏光板（第一偏光板）
２５ Ｓ偏光板（第二偏光板）
２６ 光吸収体
２７ ケース
２８ Ｐ偏光板（第一偏光板）
２９ Ｓ偏光板（第二偏光板）
３０ 閾値
３１ 被検査物からの反射光の輝度値
３２ 載置台からの反射光の輝度値
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2F065 AA51 AA61 CC25 DD04 FF41
HH02 HH13 JJ03 JJ26 UU00
UU04
2G051 AA61 AA65 AB02 BA01 CA04
CB01 EA25
Claims (9)
- 【請求項１】 被検査物を載置する載置台と、載置台上
の被検査物を照明する照明手段と、被検査物に対向して
設けられた撮像手段とを備えた外観検査装置において、 載置台を光透過材で構成することを特徴とする外観検査
装置。 - 【請求項２】 前記載置台は、透明セラミックスからな
ることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。 - 【請求項３】 前記載置台の裏面に、載置台を透過した
光を除去する透過光除去手段を備えることを特徴とする
請求項１または２記載の外観検査装置。 - 【請求項４】 前記透過光除去手段は、載置台を透過し
た光を、載置台と異なる方向に反射させるプリズムと、
プリズムによって反射された光を吸収する偏光板とを有
することを特徴とする請求項３記載の外観検査装置。 - 【請求項５】 前記プリズムの入射面及び出射面を除く
外周は、外部からの光を除去させる光遮蔽膜を有してい
ることを特徴とする請求項４記載の外観検査装置。 - 【請求項６】 前記偏光板は、第一偏光板と、前記第一
偏光板に対し、平行かつ偏光方向を直角に設けた第二偏
光板とからなることを特徴とする請求項４記載の外観検
査装置。 - 【請求項７】 前記透過光除去手段は、載置台を透過し
た光を吸収する光吸収体からなっていることを特徴とす
る請求項３記載の外観検査装置。 - 【請求項８】 前記光吸収体は、第一偏光板と、前記第
一偏光板に対し、平行かつ偏光方向を直角に設けた第二
偏光板とからなることを特徴とする請求項７記載の外観
検査装置。 - 【請求項９】 前記光吸収体は、載置台を透過した光を
吸収する黒体からなることを特徴とする請求項７記載の
外観検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001294660A JP2003098120A (ja) | 2001-09-26 | 2001-09-26 | 外観検査装置 |
| KR10-2002-0057997A KR100490455B1 (ko) | 2001-09-26 | 2002-09-25 | 외관검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001294660A JP2003098120A (ja) | 2001-09-26 | 2001-09-26 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003098120A true JP2003098120A (ja) | 2003-04-03 |
Family
ID=19116227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001294660A Pending JP2003098120A (ja) | 2001-09-26 | 2001-09-26 | 外観検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003098120A (ja) |
| KR (1) | KR100490455B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006222302A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Fujikura Ltd | プリント基板の観察方法 |
| JP2008089489A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | 形状測定方法及び形状測定装置 |
| JP2021124374A (ja) * | 2020-02-05 | 2021-08-30 | 株式会社 コアーズ | 測定装置及び測定方法 |
| WO2022181128A1 (ja) * | 2021-02-24 | 2022-09-01 | 株式会社デンソーウェーブ | 三次元計測システム |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101280198B1 (ko) | 2009-09-02 | 2013-06-28 | 이화여자대학교 산학협력단 | 피라졸 유도체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 골다공증 예방 및 치료용 조성물 |
| KR101633957B1 (ko) | 2012-08-27 | 2016-06-27 | 이화여자대학교 산학협력단 | 피라졸 유도체를 포함하는 신장질환 예방 또는 치료용 조성물 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0776684B2 (ja) * | 1985-07-03 | 1995-08-16 | 北陽電機株式会社 | 光学式外形測定装置 |
| JPH0221372A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-24 | Sharp Corp | はんだ付検査装置 |
| JPH0666727A (ja) * | 1992-05-27 | 1994-03-11 | Nec Corp | 印刷配線板用外観検査装置 |
| JP3215858B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2001-10-09 | ライオンエンジニアリング株式会社 | 物品外観検査装置 |
| JP2001141662A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Central Glass Co Ltd | 透明板状体の欠点検出方法および検出装置 |
-
2001
- 2001-09-26 JP JP2001294660A patent/JP2003098120A/ja active Pending
-
2002
- 2002-09-25 KR KR10-2002-0057997A patent/KR100490455B1/ko active IP Right Grant
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006222302A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Fujikura Ltd | プリント基板の観察方法 |
| JP4668639B2 (ja) * | 2005-02-10 | 2011-04-13 | 株式会社フジクラ | プリント基板の観察方法 |
| JP2008089489A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | 形状測定方法及び形状測定装置 |
| JP2021124374A (ja) * | 2020-02-05 | 2021-08-30 | 株式会社 コアーズ | 測定装置及び測定方法 |
| JP7093569B2 (ja) | 2020-02-05 | 2022-06-30 | 株式会社 コアーズ | 測定装置及び測定方法 |
| WO2022181128A1 (ja) * | 2021-02-24 | 2022-09-01 | 株式会社デンソーウェーブ | 三次元計測システム |
| EP4300035A4 (en) * | 2021-02-24 | 2024-08-07 | Denso Wave Inc | THREE-DIMENSIONAL MEASURING SYSTEM |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100490455B1 (ko) | 2005-05-19 |
| KR20030027709A (ko) | 2003-04-07 |
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