JP2003097993A - 超音波式ガスメータ - Google Patents

超音波式ガスメータ

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JP2003097993A JP2001295935A JP2001295935A JP2003097993A JP 2003097993 A JP2003097993 A JP 2003097993A JP 2001295935 A JP2001295935 A JP 2001295935A JP 2001295935 A JP2001295935 A JP 2001295935A JP 2003097993 A JP2003097993 A JP 2003097993A
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gas
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ultrasonic wave
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Akira Morita
晃 森田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】測定管13内のガス流GFを媒質として超音波
振動子11、12間で授受される超音波信号USの伝播
時間から測定管13を流れるガスの流量を測定する手段
である送受信制御回路3、送信回路4、受信回路5、流
量演算部21、保安のため遮断弁14により測定管13
へのガスの流入を開閉する手段である遮断弁駆動回路
6、遮断弁制御部22等を持つ超音波式ガスメータに
て、電源電池の電力消費を低減する。 【解決手段】超音波ガスメータの設置稼働前における遮
断弁の正常な閉鎖状態(出荷モード)において、および
超音波ガスメータの設置稼働後における遮断弁の閉鎖時
点から、遮断弁の機能劣化の有無を調べるべき所定時間
が経過した時点や、圧力センサ15の検出圧力が変化し
た時点での流量情報により遮断弁が機能劣化したと判定
されるまでの間において、超音波送信周期制御手段20
が遮断弁が開いている時よりも超音波送信による流量計
測の周期を伸ばす。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス中における超
音波の伝播時間からガスの流量を測定する超音波式のガ
スメータであって、遮断弁や圧力センサ等を備えると共
に、特に超音波の送信周期を制御して電源電池の電力消
費を低減するようにした超音波式ガスメータに関する。
【0002】なお、以下各図において同一の符号は同一
もしくは相当部分を示す。
【0003】
【従来の技術】従来のガスメータにおけるガスの計量方
式は、膜の移動体積(つまり、膜の1回毎の往復変位に
よって膜が占める空間に生ずる体積の変化分)が一定で
あるような膜を介してガスを移動通過させ、膜の往復変
位ごとに発生する電気パルスを計数して得た膜の往復回
数からガスの通過容積、従ってガスの使用量を計量する
膜式とも呼ばれる容積方式であり、ガスの使用量に応じ
た電気パルスが発生する。
【0004】そして、この電気パルスによってマイコン
などを起動し、ガス流量が存在する場合のみ計量動作を
行い、電源となる内蔵電池の消費電力を低減している。
遮断弁が閉鎖された状態では、ガス流量が小さいために
マイコンなどが起動する周期が長くなり、低消費電力化
が実現されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この種のガスメータの
製品寿命は7年以上であり、この間、電源電池で動作す
る必要がある。そのため、回路の消費電力を低減する必
要がある。一方、超音波を利用してガス流量を計測しよ
うとする超音波式ガスメータにおいて、漏洩流量程度の
少ないガス流量を安定して測定するには、超音波の送信
電圧を高めてS/N比を向上させるか、超音波の送信周
期を短くして多くのサンプリングデータを平均化する方
法が有効である。しかしながら、このどちらの方法も消
費電力が増加するという問題がある。
【0006】また、ガスメータが設置されるまでは、流
量計測する必要がないため、その期間に消費される電力
を抑える必要がある。本発明はこれらの問題を解消でき
る超音波式ガスメータを提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに請求項1の超音波式ガスメータは、測定管(13)
を流れるガス(GF)を媒質として超音波を授受する少
なくとも2つの超音波振動子(11、12)と、該超音
波振動子間で授受される超音波の伝播時間から前記測定
管を流れるガスの流量を測定する手段(送受信制御回路
3、送信回路4、受信回路5、流量演算部21)と、前
記測定管へのガスの流入を開閉するための遮断弁(1
4)と、必要時に該遮断弁を閉鎖する遮断弁制御手段
(遮断弁駆動回路6、遮断弁制御部22)とを備えた超
音波式ガスメータにおいて、前記遮断弁が閉鎖されてい
る時に、該遮断弁が開いている時よりも前記超音波の授
受における超音波の一回毎の送信周期を長くする超音波
送信周期制御手段(20)を備えたものとする。
【0008】また請求項2の超音波式ガスメータは、請
求項1に記載の超音波式ガスメータにおいて、前記遮断
弁が閉鎖された時刻から所定時間が経過した後に計測し
たガスの流量が所定値を越えたときは、前記超音波送信
周期制御手段が、以後の超音波の一回毎の送信周期を少
なくとも前記の長くした送信周期より短くするようにす
る。
【0009】また請求項3の超音波式ガスメータは、請
求項1または2に記載の超音波式ガスメータにおいて、
(出口室1Bから)ガスの使用端側へ流出するガスの圧
力を測定する圧力センサ(15)を備え、前記遮断弁が
閉鎖された状態で前記圧力センサの出力が変化した時に
計測したガスの流量が所定値を越えたときは、前記超音
波送信周期制御手段が、以後の超音波の一回毎の送信周
期を少なくとも前記の長くした送信周期より短くするよ
うにする。
【0010】本発明の作用は次の如くである。即ち、一
般に国内で販売されている保安機能付きガスメータには
遮断弁が実装されており、遮断弁が閉鎖された正常な状
態では流量が0である。そのため流量計測の必要性が低
いので、超音波による流量計測周期を伸ばし消費電力を
低減する。一方、遮断弁が閉鎖されているが、遮断弁の
機能劣化等のため流量計測の必要性が発生した場合に
は、超音波送信周期を早め、漏洩流量程度の低流量を正
確に測定する。この流量計測の必要性は、遮断弁の閉鎖
時点から所定の時間が経過した時点や、圧力が変化した
時点における流量情報から判定する。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は本発明の1実施例としての
超音波ガスメータの構成を示すブロック図である。同図
において、1はガスの使用端近傍のガス供給路(配管)
に挿入され、次に述べる超音波測定管や遮断弁等を内蔵
する筐体、1Dはガスの供給源側の配管からこの筐体1
へ流入するガスの流入口、1Eはこの筐体1からガスの
使用端側の配管へ流出するガスの流出口である。
【0012】また、1Aは筐体1内の流入口1D側の室
としての入口室、1Bは筐体1内の流出口1E側の室と
しての出口室、1Cは入口室1Aと出口室1B間の隔壁
である。次に、13は隔壁1Cを貫いて、入口室1Aと
出口室1Bを結ぶ直線状の超音波測定管、点線矢印で示
すGFはこの超音波測定管13内のガス流、11および
12は超音波測定管13に沿って、それぞれガス流GF
の上流側および下流側に設けられた超音波振動子、破線
矢印で示すUSは超音波振動子11と12との間でガス
流GFを媒質として授受される超音波信号である。
【0013】14は流入口1Dの入口室1A側に設けら
れ、流入口1Dから筐体1へのガスの流入を開閉するた
めの遮断弁、15は出口室1B内の流出口1Eの近傍に
設けられ、ガスの圧力を検出する圧力センサである。次
に2はこの超音波ガスセンサ全体を制御するマイコン、
21は超音波送受信によりガス流量を求めるマイコン2
の部分機能部としての流量演算部、22は遮断弁14の
開閉制御を行うマイコン2の部分機能部としての遮断弁
制御部、23は圧力センサ15に対するマイコン2内の
インターフェイス回路である。
【0014】20はマイコン2の部分機能部としての超
音波送信周期制御手段で、この手段20は、流量演算部
21からのガス流量情報、遮断弁制御部22からの遮断
弁14の開閉情報、インターフェイス回路23を介して
得られる圧力センサ15からの圧力情報等を入力し、電
源電池の電力消費を低減するために、後述するような流
量演算部21を介して行われる超音波送信(従ってこれ
に伴う超音波受信および流量演算)の周期を制御する。
【0015】3はマイコンの流量演算部21の制御の下
で超音波振動子11と12との間の超音波の送受信を切
換える送受信制御回路、4はマイコンの流量演算部21
から与えられる超音波送信のタイミングにおいて、送受
信制御回路3へ超音波の励振パルスを与える送信回路、
5は送受信制御回路3から超音波の受信信号を受取り、
超音波受信のタイミングを流量演算部21に伝える受信
回路である。
【0016】また、6はマイコンの遮断弁制御部22か
らの指令に応じて遮断弁14を開閉駆動する遮断弁駆動
回路、7は停止しているマイコン2の動作を開始させる
起動スイッチである。なお、この図1の回路は図外の電
池を電源として作動する。次に図1の基本的な動作を説
明する。この超音波ガスメータが設置された当初は出荷
モードによってマイコン2は動作を停止しており、遮断
弁14は閉ざされている。
【0017】ここで起動スイッチ7を操作すると、マイ
コン2は動作を開始する。即ち、マイコン2の遮断弁制
御部22は遮断弁駆動回路6を介し遮断弁14を開いて
ガスの使用を可能にし、同時に超音波送信周期制御手段
20は流量演算部21に対し、短い超音波送信周期での
流量測定を開始させる。ガスの流量測定は次のように超
音波振動子11と12との間の超音波の伝播時間を計測
して行われる。
【0018】即ち、マイコンの流量演算部21は、ガス
流GFを媒質として上流側振動子11および下流側振動
子12から交互に超音波信号USを切り換えて送信する
ために、超音波送信周期制御手段20によって指示され
た超音波送信周期ごとに、送信側とする(つまり励振対
象の)超音波振動子11あるいは12を指定する図外の
信号を送受信制御回路3に与えると共に、超音波送信の
タイミングを示す信号を送信回路4に与える。ここでは
先ず、上流側振動子11を送信側に指定したとする。
【0019】これにより送受信制御回路3は、上流側振
動子11を送信側、下流側振動子12を受信側に切り換
え、また送信回路4は超音波送信のタイミング信号を電
力増幅し送信側振動子に対する励振パルスとして送出す
る。これによりこの励振パルスは送受信制御回路3を介
して上流側振動子11に与えられて、上流側振動子11
は超音波信号USを送信し、他方、下流側振動子12は
この超音波信号USを受信して発生した電気信号として
の超音波受信信号を送受信制御回路3を介して受信回路
5に送る。
【0020】受信回路5では超音波受信信号を増幅し、
その波形を調べて超音波受信のタイミングを示す信号を
流量演算部21に送信する。これにより流量演算部21
は前記超音波送信のタイミング信号と超音波受信のタイ
ミング信号とから上流側振動子11を送信側とする(つ
まり下り送信時の)超音波伝播時間を演算する。次の超
音波送信周期で、流量演算部21は下流側振動子12を
送信側に指定する信号を送受信制御回路3に与えると共
に、超音波送信のタイミングを示す信号を送信回路4に
与える。
【0021】これにより送受信制御回路3は、下流側振
動子12を送信側、上流側振動子11を受信側に切り換
え、また送信回路4は超音波送信のタイミング信号を電
力増幅した励振パルスを送出する。この励振パルスは送
受信制御回路3を介して下流側振動子12に与えられ
て、下流側振動子12は超音波信号USを送信し、上流
側振動子11はこの超音波信号USを受信して発生した
超音波受信信号を送受信制御回路3を介して受信回路5
に送る。
【0022】受信回路5では超音波受信信号を増幅し、
その波形を調べて超音波受信のタイミングを示す信号を
流量演算部21に送信する。これにより流量演算部21
は今回の超音波送信のタイミング信号と超音波受信のタ
イミング信号とから下流側振動子12を送信側とする
(つまり上り送信時の)超音波伝播時間を演算する。そ
して流量演算部21は、下り送信時と上り送信時の2つ
の超音波伝播時間からガスの流速、従って流量を演算す
る。
【0023】同様に以後も、流量演算部21は送信側振
動子を上流側と下流側に交互に切換え指定して超音波伝
播時間を求め、そのつど(つまり、各超音波送信のつ
ど)、当該の超音波送信時と前回の超音波送信時との対
の(つまり、上りおよび下りの2つの)超音波伝播時間
から流量を演算する。なお、マイコンの遮断弁制御部2
2は保安上必要と判別したとき等に遮断弁駆動回路6を
介して遮断弁14を閉じる。
【0024】次に本発明の核心となる超音波送信周期制
御手段20の動作を述べる。 (実施例1)図2は本発明の第1の実施例としての超音
波送信周期制御手段20の動作を示すタイムチャートで
ある。このタイムチャートは本発明を実施する超音波ガ
スメータが設置されて配管され稼働開始する前、具体的
には前記した起動スイッチ7が押され、遮断弁制御部2
2等を介して遮断弁14が開かれる以前における遮断弁
14の開閉状態と超音波送信周期との関係を示してい
る。
【0025】即ち、このガスメータが設置されて稼働開
始するまでの間、一般的には起動スイッチ7は押圧され
ず、遮断弁14が閉鎖されている。この状態は一般的に
言われている出荷モードに相当する。この出荷モードで
は、マイコン2内において超音波送信周期制御手段20
は、遮断弁制御部22が遮断弁14を閉鎖する指令を発
していることを検出したときは、流量演算部21が超音
波の送信周期を伸ばすか、もしくは超音波の送信を停止
するように制御する。なお、図2は超音波の送信を停止
した場合を示す。
【0026】このことにより、この超音波ガスメータの
製造時から設置時までの間の無駄な超音波送受信に消費
する電力を削減することができる。 (実施例2)図3は本発明の第2の実施例としての、こ
の超音波ガスメータが稼働開始した後における超音波送
信周期制御手段20の各種の動作を示すタイムチャート
である。
【0027】(実施例2−1)図3のA)は本ガスメー
タが設置された後で、遮断弁14が閉鎖している場合の
遮断弁14の開閉状態と超音波送信周期との関係を示
す。ガスメータ設置後に遮断弁が閉じて場合は、1)配
管系統に異常がありガス供給を停止している状態、2)
ガス機器の消し忘れなどで危険回避のためガス供給を停
止している状態に相当し、遮断弁14が破損していない
限りは流量は0である。
【0028】なお、上記1)の状態は、マイコン2の遮
断弁制御部22が「ガス流量の計測値が異常に大き
い」、「圧力センサ15によるガス圧の計測値が異常に
低い」等を検出して遮断弁14を閉じることにより、ま
た、上記2)の状態は、同じく遮断弁制御部22が「通
常レベルのガス流量が異常に長時間継続して計測されて
いる」等を検出して遮断弁14を閉じることにより出現
する。
【0029】しかしながら、遮断弁14の本来の機能は
安全のための機能であるから、遮断弁14の破損も考慮
した設計としておくことが望ましい。そこで、ガスメー
タ設置後、超音波送信周期制御手段20は、図3,A)
の時点t1において遮断弁制御部22から遮断弁14の
閉鎖指令が出力されたことを検出した場合には、流量演
算部21がしばらくそのまま通常通りに短い超音波送信
周期による流量計測を実施するようにする。
【0030】そして、超音波送信周期制御手段20は、
遮断弁14が閉じたままでガス漏洩の恐れがないこと、
具体的には遮断弁制御部22から遮断弁14の閉鎖指令
が出力されており、且つ流量演算部21から得たガス流
量が0で、しかも圧力センサ16によるガスの検出圧力
が所定値以上であることを確認した後の時点t2におい
て、流量演算部21が超音波送信周期を伸ばすかもしく
は超音波送信を停止するように制御する。なお、図3,
A)は超音波送信を停止した場合を示す。
【0031】(実施例2−2)図3のB)は、同図A)
の時点t2のように遮断弁14がガス漏洩の恐れなく正
常に閉鎖されていることが確認された後の超音波送信周
期の推移の例を示す。即ち、超音波送信周期制御手段2
0は、時点t2に超音波送信を停止させた場合には、遮
断弁14の経時的な機能劣化により漏洩する場合を想定
し、ある一定時間Tαの後の時点t4において、流量演
算部21に超音波を短周期で送信させ、遮断弁14の機
能劣化の有無を確認する。
【0032】そして、時点t5において超音波送信周期
制御手段20は、流量演算部21から得たガス流量が0
で、且つ圧力センサ16によるガスの検出圧力が所定値
以上である(つまり、遮断弁14が正常に閉じている)
ことを判別すると、再度、流量演算部21が超音波送信
周期を伸ばすかもしくは停止するように制御する。な
お、図3,B)は超音波送信を停止した場合を示す。
【0033】(実施例2−3)図3のC)は、同図B)
の時点t2のように遮断弁14の閉鎖時に超音波送信が
停止された場合の圧力センサ15の検出圧力の高低の状
態と超音波送信周期との関係の例を示す。即ち、時点t
2において遮断弁14の閉鎖時に超音波送信を停止させ
た場合には、超音波送信周期制御手段20は、圧力セン
サ15からの圧力情報を監視し、時点t31のようにガ
ス圧力が変化(この場合、圧力低下)した場合には、流
量演算部21に短い周期の超音波送信による流量計測を
実施させ、遮断弁14の機能確認を実施する。
【0034】その結果、超音波送信周期制御手段20は
流量演算部21に対し、時点t32のように、計測した
流量が0であれば超音波の送信周期を伸ばさせ、流量が
0でなければ短周期のまま超音波送信を継続させる。な
お、超音波の送信は高い電圧を必要とするため消費電力
が大きいので、圧力センサ16には低消費電力のものを
使用し、全体としての消費電力低下を実現する。
【0035】以上のように本発明の超音波ガスメータは
いずれの実施例においても、遮断弁14を閉じた状態に
おいて遮断弁14が機能劣化したと判別するまでは、通
常状態に比べて超音波の送受信周期を長くするために、
電源電池の消費電力を低減することができる。
【0036】
【発明の効果】本発明によれば、超音波ガスメータの設
置稼働前における遮断弁の正常な閉鎖状態(出荷モー
ド)において、および超音波ガスメータの設置稼働後に
おける遮断弁の閉鎖時点から、遮断弁の機能劣化の有無
を調べるべき所定時間が経過した時点や、圧力が変化し
た時点での流量情報により遮断弁が機能劣化したと判定
されるまでの間において、超音波による流量計測の周期
を、遮断弁が開いている通常の計測動作時より少なくと
も伸ばすようにしたので、電源電池の電力消費を低滅す
ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例としての構成を示すブロック
【図2】図1の超音波送信周期制御手段の第1の実施例
としての動作を示すタイムチャート
【図3】図1の超音波送信周期制御手段の第2の実施例
としての動作を示すタイムチャート
【符号の説明】
1 筐体 1A 入口室 1B 出口室 1C 隔壁 1D 流入口 1E 流出口 2 マイコン 3 送受信制御回路 4 送信回路 5 受信回路 6 遮断弁駆動回路 7 起動スイッチ 11,12 超音波振動子 13 超音波測定管 GF ガス流 US 超音波信号 14 遮断弁 15 圧力センサ 20 超音波送信周期制御手段 21 流量演算部 22 遮断弁制御部 23 インターフェイス回路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】測定管を流れるガスを媒質として超音波を
    授受する少なくとも2つの超音波振動子と、該超音波振
    動子間で授受される超音波の伝播時間から前記測定管を
    流れるガスの流量を測定する手段と、前記測定管へのガ
    スの流入を開閉するための遮断弁と、必要時に該遮断弁
    を閉鎖する遮断弁制御手段とを備えた超音波式ガスメー
    タにおいて、 前記遮断弁が閉鎖されている時に、該遮断弁が開いてい
    る時よりも前記超音波の授受における超音波の一回毎の
    送信周期を長くする超音波送信周期制御手段を備えたこ
    とを特徴とする超音波式ガスメータ。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の超音波式ガスメータにお
    いて、 前記遮断弁が閉鎖された時刻から所定時間が経過した後
    に計測したガスの流量が所定値を越えたときは、前記超
    音波送信周期制御手段が、以後の超音波の一回毎の送信
    周期を少なくとも前記の長くした送信周期より短くする
    ことを特徴とする超音波式ガスメータ。
  3. 【請求項3】請求項1または2に記載の超音波式ガスメ
    ータにおいて、 ガスの使用端側へ流出するガスの圧力を測定する圧力セ
    ンサを備え、 前記遮断弁が閉鎖された状態で前記圧力センサの出力が
    変化した時に計測したガスの流量が所定値を越えたとき
    は、前記超音波送信周期制御手段が、以後の超音波の一
    回毎の送信周期を少なくとも前記の長くした送信周期よ
    り短くすることを特徴とする超音波式ガスメータ。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010228796A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Tokiko Techno Kk 燃料供給装置
WO2011040037A1 (ja) 2009-10-01 2011-04-07 パナソニック株式会社 超音波流量計測ユニット
CN117686042A (zh) * 2024-02-02 2024-03-12 成都秦川物联网科技股份有限公司 一种物联网超声波水表阀控联动方法、系统及设备
CN117686042B (zh) * 2024-02-02 2024-05-24 成都秦川物联网科技股份有限公司 一种物联网超声波水表阀控联动方法、系统及设备

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010228796A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Tokiko Techno Kk 燃料供給装置
WO2011040037A1 (ja) 2009-10-01 2011-04-07 パナソニック株式会社 超音波流量計測ユニット
US8671774B2 (en) 2009-10-01 2014-03-18 Panasonic Corporation Ultrasonic flow meter unit
CN117686042A (zh) * 2024-02-02 2024-03-12 成都秦川物联网科技股份有限公司 一种物联网超声波水表阀控联动方法、系统及设备
CN117686042B (zh) * 2024-02-02 2024-05-24 成都秦川物联网科技股份有限公司 一种物联网超声波水表阀控联动方法、系统及设备

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