JP2003097480A - スクリュー式真空ポンプ - Google Patents

スクリュー式真空ポンプ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空ポンプの省エネ化を図り、且つ温度上昇
を抑え、排気時間を短縮させる。 【解決手段】 一対のスクリューロータを噛み合わせて
ケーシング内に回転自在に収容し、軸方向に沿って気体
を排気するスクリュー式真空ポンプで、一対のスクリュ
ーロータが、理論押し除け量の異なる三種類の螺旋歯を
軸方向に順に備え、第一種の螺旋歯と第二種の螺旋歯と
の間の空間と、第二種の螺旋歯と第三種の螺旋歯との間
の空間とが逆止弁を介して吐出側に続くバイパス管に接
続された。三種類の螺旋歯の押し除け量に関し、第一行
程と第二行程の風量比を略1.4、第二行程と第三行程
の風量比を略1.4、第一行程と第三行程の風量比を略
2とした。第三行程でガスを第一行程の略1/2に圧縮
した後に吐出ポートが開いてガスを排出するようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、二軸多段式のスク
リューロータを用いて気体を複数の行程で順次圧縮させ
るスクリュー式真空ポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、地球環境保護の立場からCO2
削減するべく真空ポンプの消費電力に関する省エネルギ
が叫ばれている。また、安全性の面からケミカル用真空
ポンプに関してヨーロッパ(EC)では真空ポンプから
の吐出温度を135゜C以下と定めている。一般には温
度等級T4に相当し、アセトアルデヒド、トリメチルア
ミン、エチルメチルエーテル、ジエチルエーテル等が本
等級に該当し、これらの表面側温度を135゜C以下に
する必要がある。
【0003】従来のスクリュー式真空ポンプとしては、
一軸単段式の一対のスクリューロータを用いたもの(特
開昭63−36085号公報等)や、図5に示すような
一軸二段式の一対のスクリューロータを用いたものがあ
る。
【0004】この真空ポンプ61は、ケーシング62内
に右螺旋と左螺旋の左右一対のスクリューロータ63,
64を回転自在に噛み合わせたものにおいて、各スクリ
ューロータ63,64の軸方向に二種類のピッチの螺旋
歯65,66を形成し、ケーシング62の吸入口67の
ある側に大きなピッチの螺旋歯65を配し、ケーシング
62の吐出口(図示せず)のある側に小さなピッチの螺
旋歯66を配したものである。
【0005】各スクリューロータ63,64は両端側を
ベアリング73,68で支持され、一端側のタイミング
ギヤ69を介して互いに逆向きに回転自在であり、一方
のロータ軸部70が駆動モータ側に接続される。
【0006】各スクリューロータ63,64の回転によ
り、吸入口67から第一の螺旋歯65側の空室71に導
入されたガスは圧縮されつつ第二の螺旋歯66側の空室
72に運ばれ、第二の空室72内でさらに圧縮されて、
大気圧の状態で吐出口から排出される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の真空ポンプ61によれば、図6に特性図{縦軸の下
側に軸動力(kw)、上側に排気速度(l/min)、
横軸に真空度(MPaA)}を示す如く、第二の螺旋歯
66でガスを圧縮する時に図6の下側の曲線の如く大き
な馬力(軸動力La)を必要とし、吐出温度が200゜
Cを越えることがあった。また、この第二行程までガス
が圧縮されると、かなりの圧力損失が起こり、一対のス
クリューロータ63,64の隙間洩れが発生し、図6の
上側の線図の如く排気速度Sが低下するという問題があ
った。
【0008】このような排気特性の場合、モータ馬力を
大きくしなければならないばかりでなく、低真空運転が
困難であり、排気ガスの温度上昇(135゜C以上)を
起こすと共に、特に大気〜真空の動作を繰り返す場合に
多くの排気時間がかかり、性能的に不利であった。
【0009】本発明は、上記した点に鑑み、省エネルギ
化を図り、CO2の削減に寄与すると共に、真空ポンプ
の内部温度(吐出温度)がEN規格(135゜C以下)
を満たし、安全性が高く、且つ排気性能に優れた真空ポ
ンプを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項1に係るスクリュー式真空ポンプ
は、軸直角断面形状がエピトロコイド、円弧、擬アルキ
メデス曲線からなる一対のスクリューロータを噛み合わ
せてケーシング内に回転自在に収容し、軸方向に沿って
気体を排気するスクリュー式真空ポンプにおいて、前記
一対のスクリューロータが、理論押し除け量の異なる三
種類の螺旋歯を軸方向に順に備え、第一種の螺旋歯と第
二種の螺旋歯との間の空間と、第二種の螺旋歯と第三種
の螺旋歯との間の空間とが、それぞれ逆止弁を介して吐
出側に続くバイパス管に接続されていることを特徴とす
る。
【0011】上記構成により、ケーシング内に導入され
たガスは先ず第一行程の第一種の螺旋歯で圧縮され、こ
の際、ガス圧が規定値(例えば大気圧)以上になると規
定値以上のガス圧が逆止弁からバイパス管に排気され、
残りのガス圧が第二行程の第二種の螺旋歯で圧縮され、
この際も第一行程と同様に規定値以上のガス圧が排気さ
れ、残りのガス圧が第三行程の第三種の螺旋歯で圧縮さ
れて外部へ吐出される。各逆止弁はバイパス管からの排
気の逆流を阻止する。
【0012】これにより、第一行程〜第三の行程に至る
まで、スクリューロータに大きな負荷がかからず、軸動
力が少なくて済む。また、ケーシング内が従来のような
高圧にならないから、排出ガスの温度上昇が抑えられ
る。また、排気は第一行程と第二行程との間及び第二行
程と第三行程との間及び第三行程の吐出口からそれぞれ
行われるので、排気速度が第一行程〜第三行程に至るま
でほぼ均一に安定し、排気速度の低下が起こらず、排気
時間が短縮される。
【0013】請求項2に係るスクリュー式真空ポンプ
は、請求項1記載のスクリュー式真空ポンプにおいて、
前記三種類の螺旋歯の押し除け量に関し、第一行程と第
二行程の風量比を略1.4、第二行程と第三行程の風量
比を略1.4、すなわち第一行程と第三行程の風量比を
略2としたことを特徴とする。
【0014】上記構成により、圧力比Pd/Ps=2で
あり、Pd=760Torrとすれば、Ps=Pd/2
=380Torrである。吐出温度Td=Ts(Pd/
Ps)n-1/nであり、ポリトロープ指数n=1.6とす
れば、Td≒106゜Cで、この値はEN規格の135
゜C以下を十分に満足する。
【0015】請求項3に係るスクリュー式真空ポンプ
は、請求項1又は2記載のスクリュー式真空ポンプにお
いて、前記第三行程でガスを第一行程の略1/2に圧縮
した後に吐出ポートが開いてガスを排出するようにした
ことを特徴とする。上記構成により、請求項2記載の第
一行程と第三行程の風量比(略2)が正確に規制され
る。
【0016】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明に係るスク
リュー式真空ポンプ(正確にはスクリュー式ドライ真空
ポンプ)の一実施形態を示すものである。
【0017】この真空ポンプ1は、金属製のケーシング
2内に右螺旋と左螺旋の金属製の一対のスクリューロー
タ3,4を回転自在に歯合させたものにおいて、各スク
リューロータ3,4を軸方向に三種類の螺旋ピッチで形
成し、ケーシング2の吸入口5から吐出口6に至るまで
第一〜第三の三つの圧縮行程(ステージ)7〜9を設定
すると共に、第一行程7と第二行程8との中間の空室1
0と、第二行程8と第三行程9との中間の空室11とを
それぞれ逆止弁12,13を介してケーシング外部の配
管(バイパス管)14で連通させ、その配管14を吐出
口6側の配管15に連通させたことを特徴としている。
【0018】ケーシング2は外側が略長円形に形成さ
れ、内側に二つの断面円形の空室を径方向にラップ(連
通)させた略眼鏡形状のロータ収容室16,17を有
し、外側に冷却(水冷)用のジャケット18を有してい
る。二つの並列な収容室16,17に左右一対のスクリ
ューロータ3,4が回転自在に収容され、各スクリュー
ロータ3,4の外周面は若干の隙間を存して収容室1
6,17の内周面に近接し、各スクリューロータ3,4
同士も若干の隙間を存して非接触で位置している。
【0019】各スクリューロータ3,4の軸部19,2
0はケーシング2の長手方向前後の隔壁21,22を貫
通して外側の各サイドケース23,24内のベアリング
25,26で回動自在に支持されている。軸部19,2
0とスクリューロータ3,4とはキー等で固定されてい
る。吐出口6は隔壁22側の吐出ポート6aに続いてい
る。
【0020】吸入口5側のサイドケース23内には一対
のコロ軸受25が配設固定され、吐出口6側のサイドケ
ース24内には一対のボール軸受26が配設固定される
と共に、その外側のカバー27内に一対のタイミングギ
ヤ28が配設され、各軸部19,20は隔壁22側でシ
ール部材で気密に封止され、各タイミングギヤ28は相
互に歯合して両軸部19,20を逆方向に回転自在に連
結している。
【0021】一方の軸部19はカバー27の外側に延長
され、継手を介してモータ(図示せず)に接続される。
モータの駆動で駆動側のスクリューロータ3は矢印Aの
如く右回りに回転し、従動側のスクリューロータ4は左
回りに回転する。
【0022】各スクリューロータ3,4は吸入口5側に
おいて大きな螺旋ピッチで形成され、吐出口6側におい
て小さな螺旋ピッチで形成され、吸入口5と吐出口6と
の軸方向中間位置において中位の大きさの螺旋ピッチで
形成されている。吸入口5側の大きなピッチの螺旋歯
(第一種の螺旋歯)29で第一の行程7が構成され、軸
方向中間の中位のピッチの螺旋歯(第二種の螺旋歯)3
0で第二の行程8が構成され、吐出口6側の小さなピッ
チの螺旋歯(第三種の螺旋歯)31で第三の行程9が構
成されている。
【0023】本形態において第一行程7の空室(収容
室)32は軸方向に長く、第二行程8の空室33は第一
行程7の空室32と同程度ないしそれよりもやや短く、
第三行程9の空室34は第二行程8の空室33よりも短
く形成されている。
【0024】吸入口5は第一行程7の空室32に連通し
て第一行程7の螺旋歯29の一巻き目に対応して位置
し、吐出口6のポート6aは第三行程9の空室34に連
通して第三行程9の螺旋歯31の終端面31bに対応し
て位置し、吐出管15で外部に続いている。吐出ポート
6aはスクリューロータ4の回動に伴って螺旋歯31の
終端面31bで塞がれて閉じ、終端面31bの移動によ
って開放されて開く。吐出ポート6aの形状は例えば略
三日月状である(例えば小径の内側円弧と大径の外側円
弧と両円弧の一端を結ぶ直線とで構成され、他端は交差
している)。
【0025】吐出管15は途中で分岐され、その分岐さ
れた配管14が、ケーシング長手方向に沿って位置し、
第二行程8と第三行程9との中間位置の空室11と、第
一行程7と第二行程8の中間位置の空室10とにそれぞ
れ逆止弁13,12を介して連通している。配管14の
始端側の部分14aがほぼ直角に屈曲して第一の逆止弁
12に続き、配管14の長手方向中間部が短い配管14
bで第二の逆止弁13に続いている。
【0026】各逆止弁12,13はケーシング2の外壁
面に固定されてシールリングで密封されつつ、ケーシン
グ2の孔部35,36を経て各中間室10,11に続い
ている。各逆止弁12,13は各中間室10,11から
配管14へのガス(気体)の流出を可能とし、配管14
から各中間室10,11へのガスの逆流を阻止する。各
逆止弁12,13は、中間室10,11の圧力が規定圧
(例えば大気圧)以上になると開弁してガスを一方向に
のみ流出させる。
【0027】第一の中間室10は第一行程7の螺旋歯2
9の終端面29bと第二行程8の螺旋歯30の始端面3
0aとの間に位置し、第二の中間室11は第二行程8の
螺旋歯30の終端面30bと第三行程9の螺旋歯31の
始端面31aとの間に位置している。各中間室10,1
1の軸方向長さは螺旋歯30の半周程度の軸方向長さで
あり、各中間室10,11内にスクリューロータ19,
20の谷部37と同じ径の円筒形の中間軸38が位置し
ている。軸部19,20は中間軸38や谷部37よりも
小径でスクリューロータ3,4の径方向中心部を貫通し
ている。各中間室10,11に続く孔部35,36に対
して180゜反対側に設けられた孔部39,40は蓋と
シールリングで密閉されている。
【0028】一対のスクリューロータ3,4は逆ねじ形
状であるだけでなく、駆動側の右螺旋のスクリューロー
タ3が軸方向に第三行程9の小ピッチの螺旋歯31→第
二行程8の中ピッチの螺旋歯30→第一行程7の大ピッ
チの螺旋歯29と続くのに対し、従動側の左回りのスク
リューロータ4は軸方向に第一行程7の大ピッチの螺旋
歯29→第二行程8の中ピッチの螺旋歯30→第三行程
9の小ピッチの螺旋歯31と続く点で全体形状が相違し
ている。各螺旋歯29〜31ごとの形状は両スクリュー
ロータ3,4で同じである。
【0029】参考までに図2に一対のスクリューロータ
3,4を噛み合わせた状態の軸直角方向断面を示す如
く、各螺旋歯29〜31(図では中間の螺旋歯30を示
す)は、谷部37の外周を構成する小径のほぼ1/4周
の円弧43と、円弧43の一方に続く擬アルキメデス曲
線44と、円弧43の他方に続くエピトロコイド曲線4
5と、螺旋歯外周の大きな円弧46とで構成され、擬ア
ルキメデス曲線44の裾側とエピトロコイド曲線45の
裾側は大きな円弧46に滑らかに続いている。図2で符
号47は回転中心を示す。
【0030】一対のスクリューロータ3,4がケーシン
グ2内で矢印の如く逆向きに回転し、あるところまで圧
縮なしで等容積で移動し、サイドケース24側の隔壁2
2に設けた吐出ポート6a(図1)がスクリューロータ
4の終端面で閉止された状態から開になる直前の1/2
回転のところでガスが圧縮されて、吐出ポート6aの開
と同時に排出される。詳細については特開昭63−36
085号公報参照。
【0031】以下に上記真空ポンプの作用及び理論構成
を説明する。図1で一対のスクリューロータ3,4の回
転により、ケーシング2の吸入口5から吸引されたガス
(気体)は第一行程7の左右一対の螺旋歯29により圧
縮されつつ第二行程8へ送られる。ここで、第二行程8
の排気容量は第一行程7の排気容量よりも小さい(例え
ばケーシング内2で第二行程8の螺旋歯30のつくり出
す空間は第一行程7の螺旋歯29のつくり出す空間より
も小さい)から、当然ガスの圧縮が起こる。この圧縮圧
が吐出圧力(本形態の場合は大気圧)よりも大きい場
合、ガスは、第一の中間室10から逆止弁12を経て配
管14を通って吐出されるものと、第二行程8に進むも
のとに分岐される。
【0032】第一行程7と第二行程8の中間圧力すなわ
ち第一の中間室10の圧力をPm1とすれば、 Pm1=Ps1×Qs1/Qs2×Tm1/Ts1 ……(1) ここで、Ps1;吸入口5の圧力 Qs1;第一行程7の吸込排気速度 Qs2;第二行程8の吸込排気速度 Tm1;第一行程7と第二行程8間のガスの温度 Ts1;吸入口5のガスの温度(絶対温度) である。
【0033】Pm1が(1)式で上記各値を代入して得
られる値になるまで{(1)式の値を満足するまで}、
ガスは逆止弁12を介して吐出口6側へ配管14を経て
排出されるものと、第二行程8に進行するものとに分岐
され、Pm1が(1)式の値を満足すると、逆止弁12
は閉となり、吸入口5から吸引されたガスは全て第二行
程8へ進行する。
【0034】第二行程8においても、第一行程7と同様
に、第二行程8と第三行程9の中間圧力すなわち第二の
中間室11の圧力をPm2とすれば、 Pm2=Pm1×Qs2/Qs3×Tm2/Tm1 =Ps1×Qs1/Qs2×Tm1/TS1×Qs2/Qs3×Tm2/Tm1 =Ps1×Qs1/Qs3×Tm2/TS1 ……(2) ここで、Qs3;第三行程の吸込排気速度 Tm2;第二行程と第三行程間のガスの温度 Ps1,Qs1,Qs2,Tm1,Ts1は上記同様であ
る。
【0035】Pm2が(2)式の値を満足するまで、ガ
スは逆止弁13を介して吐出口6側へ配管14を通って
排出されるものと、第三行程9へ進行するものとに分岐
される。Pm2が(2)式の値を満足すると、逆止弁1
3は閉となり、吸入口5から吸引されたガスは全て第三
行程9へと移行する。
【0036】図3に、従来と本発明の真空ポンプのP−
V(仕事)線図を比較して示す如く、従来品のP−V線
図は、図3で0−V1−1−m−4−Pdを結ぶ線図と
なり、本発明の真空ポンプ1のP−V線図は、0−V1
−1−2−3−4−Pdを結ぶ線図となる。
【0037】図3で、Pは圧力、Vは比体積、Pdは吐
出圧、Pm1は第一行程7と第二行程8との中間(第一
の中間室10)の圧力、Pm2は第二行程8と第三行程
9との中間(第二の中間室11)の圧力、V1は吸入側
(圧縮開始点)における比体積、V2は第一の中間室1
0における比体積、V3は第二の中間室11における比
体積、V4は吐出側における比体積をそれぞれ示す。
【0038】従来の真空ポンプにおいては吸入側(図3
の符号1)から吐出側(図3の符号4)に至るまで圧力
が直線に近い二次曲線で増加するのに対して、本発明の
真空ポンプ1(図1)によれば、第一行程7の空室32
内のガス圧力が大気圧以上になった際に、中間室10か
ら逆止弁12を経てバイパス管14に排出されるから、
図3の符号1〜2の如く第一行程7の空室32内で圧力
が一定(Pm1)に保たれ、次いで第二行程8の空室3
3内でガスが圧縮されて符号2〜mの如く縦方向にPm
2まで高められ、第二行程8の空室33内のガス圧力が
大気圧以上になった際に、中間室11から逆止弁13を
経てバイパス管14に排出されるから、図3の符号m〜
3の如く第二行程8の空室33内で圧力が一定(P
2)に保たれ、次いで第三行程9の空室34内で吐出
側に至るまで図3の符号3〜4の如く略二次曲線的に圧
力が高められる。
【0039】このように、従来型に較べて本発明品の場
合は、図3でハッチングを施した部分の面積に相当する
分だけ動力が節約される(省エネルギ化される)ことに
なる。
【0040】吐出温度に関しては、吸入温度Ts1を4
0゜C(絶対温度で313K)とすれば、第一行程を出
たところの温度すなわち第一行程での吐出温度tm
1は、 tm1=Ts1×(Pm1/Ps1n-1/n−273 =313×1.40.6/1.6−273 =82(゜C) ここで、n;ポリトロープ指数 第一行程での吐出温度tm1は82゜C<135゜Cで
あり、EN規格を満足している。
【0041】同じく第二行程での吐出温度tm2は、 tm2=Ts2×(Pm2/Pm1n-1/n−273 =(273+82)×1.40.6/1.6−273 ≒130(゜C) 第二行程での吐出温度tm2は130゜C<135゜C
であり、同じくEN規格を満足している。
【0042】第三行程では、真空状態での熱量授受から
計算すると、殆どの熱量すなわちモータ動力はケーシン
グジャケット部18(図1)の冷却水の温度上昇として
変換されるので、第二行程の吐出温度tm2≒第三行程
の吐出温度tdと考えられる。従って、第一行程〜第三
行程を通過した全てのガスはEN規格を満足して135
゜C以下で排出されることになる。
【0043】以下に本発明の真空ポンプ1の特徴を総括
して記載する。従来技術では最終段まで一度に圧縮する
ため、第一行程と第二行程の中間圧がスクリューロータ
に作用して馬力を消費していた。本発明の実施形態にお
いてもバイパス管としての配管14や逆止弁12,13
を用いなければ、従来と同様に第一行程7と第二行程8
の中間圧や第二行程8と第三行程9の中間圧がスクリュ
ーロータ3,4に作用して馬力を消費してしまうことに
なる。そうならないために、各行程間で中間圧を抜いて
やり、大気以上の圧力が発生しないような構造とした。
【0044】また、吸入側から第一行程7の螺旋歯2
9、第二行程8の螺旋歯30、第三行程9の螺旋歯31
と配列した場合に、吐出温度(内部温度)の限界を13
5゜C以下と考え、第一行程7→第二行程8→吐出(第
三行程9)の順で吸引ガスが流れ始める時の圧力比を2
とした。
【0045】第一行程7と第二行程8の間の中間圧をP
1、第二行程8と第三行程9の間の中間圧をPm2、吸
入圧をPs、吐出圧をPd、第一行程7の空室32の容
積をQ1、第二行程8の空室33の容積をQ2、空室32
内の温度をT1、空室33内の温度をT2、第一行程7と
第二行程8の風量比をR1、第二行程8と第三行程の風
量比をR2とすると、 R1=Pm1/Ps=Q1/Q2×T2/T1 ……(3) R2=Pm2/Pm1=Q2/Q3×T3/T2 ……(4) 従って、 R1×R2=Pm2/Ps=Q1/Q3×T3/T1≒Qth1/Qth3 ……(5)
【0046】(5)式を計算すると、R1×R2=2であ
る。すなわち、第三行程9の螺旋歯31による理論押し
除け量Qth3を第一行程7の螺旋歯29による理論押し
除け量Qth1の1/2とする。
【0047】また、R1×R2=R2=2より、R1=R2
=R=√2≒1.4となり、第一行程7と第二行程8の
理論押し除け量は1.4、すなわち第二行程8の理論押
し除け量を第一行程7の1/1.4、第三行程9の1.
4倍とすればよい。理論押し除け量の比率は第一行程:
第二行程:第三行程=2:1.4:1である。
【0048】このように、第一行程7と第二行程8の風
量比を略1.4、第二行程8と第三行程9の風量比を略
1.4とする。すなわち、第一行程7と第三行程9の風
量比を略2とする。第三行程9において吐出ポート6a
(図1)の形状を、ガスが略1/2圧縮後にポート6a
が開いて排出されるような形状とする。
【0049】圧力比Pd/Ps=2と言うことは、Pd
=760Torr(0.1MPaA又は1ATM)とす
れば、Ps=Pd/2=380Torr(0.05MP
aA)である。ここで、Pdは吐出圧、Psは吸入圧で
ある。一般に、吐出温度Td=Ts(Pd/Ps)
n-1/n ここで、nはポリトロープ指数であり、n=1.6とす
れば、 Td=293×20.375 ≒106(゜C) 106゜C<135゜CでEN規格を満足する。
【0050】380Torr以上の高真空域については
熱量授受による吐出温度計算をすると、135゜C以下
となり得る。吸引側を締め切って使用する時には、送冷
却ガスをロータ吐出側に導入して真空ポンプ内を冷却す
るものとする。送冷却ガスはケーシング内周に設けたポ
ート(図示せず)から螺旋歯による開閉動作でケーシン
グ内に供給される。この点については特開昭63−36
085号参照。
【0051】また、図4に性能特性を示す{縦軸の下側
に軸動力La(kw)、上側に排気速度(流量)S(l
/min)、横軸に真空度(MPaA)を示す}如く、
消費電力(軸動力)も従来の一軸単段式のスクリューロ
ータで到達まで運転するより(図6参照)遙かに少ない
動力で運転でき、省エネ型となる。
【0052】図4で、軸動力Laの符号1〜2の区間は
第一行程7の螺旋歯29でガスを圧縮する際の軸動力、
符号2〜3の区間は第二行程8の螺旋歯30でガスを圧
縮する際の軸動力、符号3〜4の区間は第三行程9の螺
旋歯31でガスを圧縮する際の軸動力をそれぞれ示して
いる。従来と違ってバイパス管14による排気作用で特
に第二行程8におけるガス圧縮時の軸動力が低く抑えら
れ、全体としてフラットな略台形状の軸動力線図となっ
ている。
【0053】また、図4で上側に排気速度線図を示す如
く、バイパス管14を設けたことにより、従来(図6の
上側の線図)のように排気量が吐出側で損なわれること
なく、第一行程7の螺旋歯29による排気速度(流量)
が第三行程9で大気圧に至るまで維持されるので、大気
〜真空を繰り返す運転の場合、排気時間が大幅に短縮さ
れ、運転が効率良く行われる。
【0054】なお、上記真空ポンプ1(図1)の他の実
施形態として、一対のスクリューロータ3,4を左右一
対ではなく、上下一対配置することも可能である。ま
た、スクリューロータ3,4の各行程における螺旋歯を
別体に製造して組み立てて一体化させることも可能であ
る。また、タイミングギヤ28を吐出側ではなく吸入側
に配置することも可能である。また、ガスの圧縮を三つ
行程7〜9で行わせる構成は、図2の曲線形状以外のス
クリューロータを使う真空ポンプにも適用可能である。
また、上記ガスは空気であってもよい。
【0055】
【発明の効果】以上の如く、請求項1記載の発明によれ
ば、三種類の螺旋歯とバイパス管と逆止弁の作用で、第
一行程〜第三の行程に至るまで、スクリューロータに大
きな負荷がかからず、軸動力(消費電力)が少なくて済
むから、省エネルギ化が達成され、火力発電等における
CO2の削減が可能となる。また、ケーシング内が従来
のような高圧にならないから、排出ガスの温度上昇が抑
えられ、例えばケミカル用真空ポンプにおける安全性が
高まる。また、排気速度が第一行程の状態で維持される
から、特に大気〜真空を繰り返す運転の場合に排気時間
が大幅に短縮され、運転効率がアップする。
【0056】請求項2記載の発明によれば、排出ガスの
温度上昇が抑えられ、ケミカル用真空ポンプにおけるE
Cの温度規格を満足して、ケミカルガスの引火等の危険
が回避され、安全性が高まる。請求項3記載の発明によ
れば、各行程の風量比が正確に規制され、上記請求項
1,2記載の効果が一層確実に達成される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るスクリュー式真空ポンプの一実施
形態を示す断面図である。
【図2】同じく真空ポンプの一対のスクリューロータの
形状を示す軸直角断面図である。
【図3】本発明の真空ポンプと従来の真空ポンプの仕事
量を比較して示すPV線図である。
【図4】本発明の真空ポンプの排気速度と軸動力を示す
性能線図である。
【図5】従来の真空ポンプを示す断面図である。
【図6】従来の真空ポンプの排気速度と軸動力を示す性
能線図である。
【符号の説明】
1 スクリュー式真空ポンプ 2 ケーシング 3,4 スクリューロータ 6 吐出口 6a 吐出ポート(ポート) 7 第一行程 8 第二行程 9 第三行程 10 中間室(空間) 11 中間室(空間) 12,13 逆止弁 14 配管(バイパス管) 29 第一種の螺旋歯 30 第二種の螺旋歯 31 第三種の螺旋歯

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 軸直角断面形状がエピトロコイド、円
    弧、擬アルキメデス曲線からなる一対のスクリューロー
    タを噛み合わせてケーシング内に回転自在に収容し、軸
    方向に沿って気体を排気するスクリュー式真空ポンプに
    おいて、 前記一対のスクリューロータが、理論押し除け量の異な
    る三種類の螺旋歯を軸方向に順に備え、第一種の螺旋歯
    と第二種の螺旋歯との間の空間と、第二種の螺旋歯と第
    三種の螺旋歯との間の空間とが、それぞれ逆止弁を介し
    て吐出側に続くバイパス管に接続されていることを特徴
    とするスクリュー式真空ポンプ。
  2. 【請求項2】 前記三種類の螺旋歯の押し除け量に関
    し、第一行程と第二行程の風量比を略1.4、第二行程
    と第三行程の風量比を略1.4、すなわち第一行程と第
    三行程の風量比を略2としたことを特徴とする請求項1
    記載のスクリュー式真空ポンプ。
  3. 【請求項3】 前記第三行程でガスを第一行程の略1/
    2に圧縮した後に吐出ポートが開いてガスを排出するよ
    うにしたことを特徴とする請求項1又は2記載のスクリ
    ュー式真空ポンプ。
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