JPH11270484A - スクリューロータ型ウエット真空ポンプ - Google Patents
スクリューロータ型ウエット真空ポンプInfo
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- JPH11270484A JPH11270484A JP10075319A JP7531998A JPH11270484A JP H11270484 A JPH11270484 A JP H11270484A JP 10075319 A JP10075319 A JP 10075319A JP 7531998 A JP7531998 A JP 7531998A JP H11270484 A JPH11270484 A JP H11270484A
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- Japan
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- vacuum pump
- screw rotor
- casing
- fluid
- suction
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0007—Injection of a fluid in the working chamber for sealing, cooling and lubricating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 吸入口から吸引した流体の閉じ込み室体積を
約１／１．６に圧縮するスクリューロータ型ウエット真
空ポンプでは、封入水が軸封部を損傷する問題があっ
た。 【解決手段】 スクリューロータ１７の螺旋シール線が
吸入口１５を遮断した位置から吐出ポート２４を開き始
める直前位置までの間に、閉じ込み室２０に連通する封
入水の自給管路２６を設ける。或いは、吸入口１５に接
続した管路に、−３８０mmHgより低くなったときに開く
開閉バルブＶを設ける。
約１／１．６に圧縮するスクリューロータ型ウエット真
空ポンプでは、封入水が軸封部を損傷する問題があっ
た。 【解決手段】 スクリューロータ１７の螺旋シール線が
吸入口１５を遮断した位置から吐出ポート２４を開き始
める直前位置までの間に、閉じ込み室２０に連通する封
入水の自給管路２６を設ける。或いは、吸入口１５に接
続した管路に、−３８０mmHgより低くなったときに開く
開閉バルブＶを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、容積型であるスク
リューロータ型式の真空ポンプに関するものであり、詳
しくは、回転駆動の動力を節減するために設けた断熱圧
縮工程により生じる発熱の熱膨張でロータとケーシング
との接触する問題を防止するために、吸入側から封入水
を自給させるウエット式真空ポンプに関するものであ
る。
リューロータ型式の真空ポンプに関するものであり、詳
しくは、回転駆動の動力を節減するために設けた断熱圧
縮工程により生じる発熱の熱膨張でロータとケーシング
との接触する問題を防止するために、吸入側から封入水
を自給させるウエット式真空ポンプに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】スクリューロータ型式の真空ポンプは、
気体の減圧、ガスの吸引，排除、粉粒状体や粘性体の空
気輸送など多用途にわたって広範囲の分野に利用されて
いる。図８は真空ポンプの利用例を示す汚泥回収装置の
説明用略図であり、汚泥回収用のホッパ１内に開口する
汚泥吸引管２の先端に、汚泥回収用のホッパ１の外部に
突出するフランジ３を設け、フランジ３に汚泥吸引用の
ホース４を接続する。汚泥回収用のホッパ１の上部壁
に、セパレータ５の内管６につながる管路７を設け、セ
パレータ５の上方に設けられるガス排出管８を真空ポン
プＡの吸入口に接続し、真空ポンプＡの吐出側をサイレ
ンサ９を経由して排出管１０に接続する。
気体の減圧、ガスの吸引，排除、粉粒状体や粘性体の空
気輸送など多用途にわたって広範囲の分野に利用されて
いる。図８は真空ポンプの利用例を示す汚泥回収装置の
説明用略図であり、汚泥回収用のホッパ１内に開口する
汚泥吸引管２の先端に、汚泥回収用のホッパ１の外部に
突出するフランジ３を設け、フランジ３に汚泥吸引用の
ホース４を接続する。汚泥回収用のホッパ１の上部壁
に、セパレータ５の内管６につながる管路７を設け、セ
パレータ５の上方に設けられるガス排出管８を真空ポン
プＡの吸入口に接続し、真空ポンプＡの吐出側をサイレ
ンサ９を経由して排出管１０に接続する。
【０００３】真空ポンプＡを運転してセパレータ５およ
び汚泥回収用のホッパ１の圧力を低下して、作業者が汚
泥吸引管２の先端を汚泥に当てると、汚泥と共に吸引さ
れた空気が汚泥吸引管２を通過して汚泥回収用のホッパ
１の天井に衝突して跳ね返る過程で、汚泥と空気との一
次分離が行われる。重量の重い汚泥は落下して汚泥回収
用のホッパ１の下壁に堆積し、空気は管路７を通過して
セパレータ５の内管６を下降し、セパレータ５内に貯留
された液体を通過するときに汚泥と空気との二次分離が
行われる。すなわち、空気中に含まれていた汚泥が液体
に捕らえられ、空気のみが内管６の外側を上昇してガス
排出管８へ流れる。
び汚泥回収用のホッパ１の圧力を低下して、作業者が汚
泥吸引管２の先端を汚泥に当てると、汚泥と共に吸引さ
れた空気が汚泥吸引管２を通過して汚泥回収用のホッパ
１の天井に衝突して跳ね返る過程で、汚泥と空気との一
次分離が行われる。重量の重い汚泥は落下して汚泥回収
用のホッパ１の下壁に堆積し、空気は管路７を通過して
セパレータ５の内管６を下降し、セパレータ５内に貯留
された液体を通過するときに汚泥と空気との二次分離が
行われる。すなわち、空気中に含まれていた汚泥が液体
に捕らえられ、空気のみが内管６の外側を上昇してガス
排出管８へ流れる。
【０００４】ガス排出管８に流れた空気は真空ポンプＡ
に吸引され、真空ポンプＡの吐出口からサイレンサ９に
排出され、サイレンサ９から排出管１０を通って大気に
放出される。以上のように、真空ポンプを利用して汚泥
を回収する場合に、汚泥と空気との二次分離を行って
も、空気のなかに含まれている粉塵や砂利のような異物
が僅かながら残存しているので、この空気を吸引する真
空ポンプのシール部が異物により損傷する恐れがある。
に吸引され、真空ポンプＡの吐出口からサイレンサ９に
排出され、サイレンサ９から排出管１０を通って大気に
放出される。以上のように、真空ポンプを利用して汚泥
を回収する場合に、汚泥と空気との二次分離を行って
も、空気のなかに含まれている粉塵や砂利のような異物
が僅かながら残存しているので、この空気を吸引する真
空ポンプのシール部が異物により損傷する恐れがある。
【０００５】スクリューロータ型の真空ポンプＡの構造
は、図６の縦断面図に示すように、ポンプのケーシング
１１が、内筒部１２ａを有する主ケーシング１２と、内
筒部１２ａの右端部を閉塞するギヤケース１３と、内筒
部１２ａの左端部を閉塞するサイドケース１４とによっ
て構成される。主ケーシング１２には内筒部１２ａにつ
ながる吸入口１５が設けられ、サイドケース１４には内
筒部１２ａに吐出口１６が設けられる。
は、図６の縦断面図に示すように、ポンプのケーシング
１１が、内筒部１２ａを有する主ケーシング１２と、内
筒部１２ａの右端部を閉塞するギヤケース１３と、内筒
部１２ａの左端部を閉塞するサイドケース１４とによっ
て構成される。主ケーシング１２には内筒部１２ａにつ
ながる吸入口１５が設けられ、サイドケース１４には内
筒部１２ａに吐出口１６が設けられる。
【０００６】ケーシング１１の内部に収容される一対の
スクリューロータ１７（図６にはその一方を示す）は、
ねじ部１７ａと、ねじ部１７ａの両側に設けられる軸部
１７ｂから構成され、ねじ部１７ａの直角断面形状は、
クインビー曲線，円弧，疑アルキメデス曲線から構成さ
れる。軸部１７ｂは、サイドケース１４に設けられる固
定側ベアリング１８と、主ケーシング１２内に設けられ
る膨張側ベアリング１９に回転可能に支承される。
スクリューロータ１７（図６にはその一方を示す）は、
ねじ部１７ａと、ねじ部１７ａの両側に設けられる軸部
１７ｂから構成され、ねじ部１７ａの直角断面形状は、
クインビー曲線，円弧，疑アルキメデス曲線から構成さ
れる。軸部１７ｂは、サイドケース１４に設けられる固
定側ベアリング１８と、主ケーシング１２内に設けられ
る膨張側ベアリング１９に回転可能に支承される。
【０００７】一対のスクリューロータ１７のねじ部１７
ａの噛み合いのシール線と、主ケーシング１２の内筒部
１２ａとによりその内側に閉じ込み室２０が形成され
る。軸部１７ｂに固着された歯車２１が相互に噛合し、
一対のスクリューロータ１７がそれぞれ反対方向に同速
度で回転すると、主ケーシング１２の吸入口１５から閉
じ込み室２０に吸引された流体が、閉じ込み室２０が吐
出口１６に移動したときに吐出口１６から送出される。
ａの噛み合いのシール線と、主ケーシング１２の内筒部
１２ａとによりその内側に閉じ込み室２０が形成され
る。軸部１７ｂに固着された歯車２１が相互に噛合し、
一対のスクリューロータ１７がそれぞれ反対方向に同速
度で回転すると、主ケーシング１２の吸入口１５から閉
じ込み室２０に吸引された流体が、閉じ込み室２０が吐
出口１６に移動したときに吐出口１６から送出される。
【０００８】真空ポンプの駆動力を低減する目的で、吐
出口１６を絞る吐出ポート２４（図２参照）を設けるこ
とにより、吸引した流体を約１／１．６に圧縮した後に
放出する。図７は、圧力を縦軸にとり、体積を横軸にと
ったＰ−Ｖ線図であり、一段ルーツ型真空ポンプや断熱
圧縮工程を有しない構造のスクリューロータ型真空ポン
プの仕事量は、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの面積で示されるのに対
して、上記のように断熱圧縮工程を有するポンプでは、
Ａ，Ｂ，Ｅ，Ｄの面積となり、斜線で示すΔＥの面積分
のエネルギーが節約できる。
出口１６を絞る吐出ポート２４（図２参照）を設けるこ
とにより、吸引した流体を約１／１．６に圧縮した後に
放出する。図７は、圧力を縦軸にとり、体積を横軸にと
ったＰ−Ｖ線図であり、一段ルーツ型真空ポンプや断熱
圧縮工程を有しない構造のスクリューロータ型真空ポン
プの仕事量は、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの面積で示されるのに対
して、上記のように断熱圧縮工程を有するポンプでは、
Ａ，Ｂ，Ｅ，Ｄの面積となり、斜線で示すΔＥの面積分
のエネルギーが節約できる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】断熱圧縮工程を有する
真空ポンプでは、発熱による熱膨張でスクリューロータ
１７とケーシング１１の接触が起こるのを防止するため
に、吸入口に発生した真空圧により封入水を自給させて
発熱防止するウエット式にする必要がある。しかし、吸
引口１５から吸引した流体の流れが、スクリュー溝に沿
って軸方向に移動する流れとなり、圧縮された流体は丁
度水鉄砲の原理で吐出側の軸封部２２（図６参照）に吹
きつけられる。
真空ポンプでは、発熱による熱膨張でスクリューロータ
１７とケーシング１１の接触が起こるのを防止するため
に、吸入口に発生した真空圧により封入水を自給させて
発熱防止するウエット式にする必要がある。しかし、吸
引口１５から吸引した流体の流れが、スクリュー溝に沿
って軸方向に移動する流れとなり、圧縮された流体は丁
度水鉄砲の原理で吐出側の軸封部２２（図６参照）に吹
きつけられる。
【００１０】圧縮圧力を受けた軸封部２２には、図９に
示すように、軸部１７ｂを締め付ける力が増大するので
軸封部２２の負担が増加するが、軸封部２２に吹きつけ
られる流体が不純物（粉塵や砂利のような異物）を含ま
ないクリーンなものであれば、軸封部２２の寿命に大き
な問題はない。
示すように、軸部１７ｂを締め付ける力が増大するので
軸封部２２の負担が増加するが、軸封部２２に吹きつけ
られる流体が不純物（粉塵や砂利のような異物）を含ま
ないクリーンなものであれば、軸封部２２の寿命に大き
な問題はない。
【００１１】しかし、流体が粉塵や砂利のような異物を
含む場合には、軸封部２２の寿命が短命となり、損傷し
た軸封部２２から封入水が洩れて軸封部２２の近傍の固
定側ベアリング１８に流れるので、固定側ベアリング１
８に充填されたグリスの潤滑機能が失われ、更に、粉塵
や砂利のような異物が付着するので固定側ベアリング１
８の破損を誘引する。
含む場合には、軸封部２２の寿命が短命となり、損傷し
た軸封部２２から封入水が洩れて軸封部２２の近傍の固
定側ベアリング１８に流れるので、固定側ベアリング１
８に充填されたグリスの潤滑機能が失われ、更に、粉塵
や砂利のような異物が付着するので固定側ベアリング１
８の破損を誘引する。
【００１２】固定側ベアリング１８の破損を防止するた
めに、図１０に示すように、軸部１７ｂにスリンガ２３
を取り付けて、スクリューロータ１７と共に回転するス
リンガ２３で軸封部２２を洩れた封入水を振り切ってケ
ーシング１１の外に放出する方法があるが、真空ポンプ
の周囲に封入水を散布して現場を汚す問題や、封入水を
節約するために循環使用する場合に、封入水不足を起こ
す等の問題がある。
めに、図１０に示すように、軸部１７ｂにスリンガ２３
を取り付けて、スクリューロータ１７と共に回転するス
リンガ２３で軸封部２２を洩れた封入水を振り切ってケ
ーシング１１の外に放出する方法があるが、真空ポンプ
の周囲に封入水を散布して現場を汚す問題や、封入水を
節約するために循環使用する場合に、封入水不足を起こ
す等の問題がある。
【００１３】本発明は、大気圧状態から吸引を開始して
流体をほぼ１／２に圧縮した場合、大気圧から−３８０
mmHgまでは、吐出端側で圧縮圧はプラス状態であるが、
−３８０mmHgより低い真空度では吐出端側の圧縮圧はマ
イナス圧になるので、封入水は軸封部２２から押し出さ
れるのではなく、逆に吸引作用が起こることを利用する
と共に、吸入圧が−３８０mmHgより高い場合には封入水
が無くてもロータ接触は生じないことを発見して、その
現象を利用して上記の課題を解決するものである。
流体をほぼ１／２に圧縮した場合、大気圧から−３８０
mmHgまでは、吐出端側で圧縮圧はプラス状態であるが、
−３８０mmHgより低い真空度では吐出端側の圧縮圧はマ
イナス圧になるので、封入水は軸封部２２から押し出さ
れるのではなく、逆に吸引作用が起こることを利用する
と共に、吸入圧が−３８０mmHgより高い場合には封入水
が無くてもロータ接触は生じないことを発見して、その
現象を利用して上記の課題を解決するものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
めに、本発明のスクリューロータ型ウエット真空ポンプ
は、直角断面形状がクインビー曲線，円弧，疑アルキメ
デス曲線から成るスクリューロータを噛み合わせてケー
シングの内筒部に収容し、前記スクリューロータの回転
によりケーシングの吸入口から吸引された流体の閉じ込
み室容積が約１／１．６に圧縮されるときに吐出ポート
が開くようにしたスクリューロータ型真空ポンプにおい
て、前記ケーシングに、螺旋シール線が吸入側を遮断す
る位置から前記吐出ポートが開き始める直前位置までの
閉じ込み室に連通する封入水の自給管路を接続したこと
を特徴とする。
めに、本発明のスクリューロータ型ウエット真空ポンプ
は、直角断面形状がクインビー曲線，円弧，疑アルキメ
デス曲線から成るスクリューロータを噛み合わせてケー
シングの内筒部に収容し、前記スクリューロータの回転
によりケーシングの吸入口から吸引された流体の閉じ込
み室容積が約１／１．６に圧縮されるときに吐出ポート
が開くようにしたスクリューロータ型真空ポンプにおい
て、前記ケーシングに、螺旋シール線が吸入側を遮断す
る位置から前記吐出ポートが開き始める直前位置までの
閉じ込み室に連通する封入水の自給管路を接続したこと
を特徴とする。
【００１５】或いは、該真空ポンプの吸入口に封入水の
自給管路を接続し、該自給管路に、封入水自給吸入圧が
−３８０mmHgより低くなったときに開く開閉バルブを設
けたことを特徴とするものである。
自給管路を接続し、該自給管路に、封入水自給吸入圧が
−３８０mmHgより低くなったときに開く開閉バルブを設
けたことを特徴とするものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態の具体例
を図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施例
を説明するスクリューロータ型ウエット真空ポンプの正
面図（略図）、図２はサイドケースの吐出ポートの正面
図、図３は閉じ込み室と吐出ポートの関係を説明する図
面、図４は吸入圧力と吐出直前の圧力との関係を説明す
る図面、図５は開閉バルブの縦断面図である。本発明に
ついて、先ず図３から説明する。
を図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施例
を説明するスクリューロータ型ウエット真空ポンプの正
面図（略図）、図２はサイドケースの吐出ポートの正面
図、図３は閉じ込み室と吐出ポートの関係を説明する図
面、図４は吸入圧力と吐出直前の圧力との関係を説明す
る図面、図５は開閉バルブの縦断面図である。本発明に
ついて、先ず図３から説明する。
【００１７】図３は、内筒部１２ａおよび閉じ込み室２
０を平面状に表現した図面であり、内筒部１２ａの右端
部分に吸入口１５があり、左端の縦の線Ｌの中央部にサ
イドケース１４の吐出ポート２４がある。閉じ込み室２
０は、スクリューロータ１７の２つのシール線１７ｃ，
１７ｄの間に形成され、スクリューロータ１７の回転に
より図３の右側から左側に移動する。
０を平面状に表現した図面であり、内筒部１２ａの右端
部分に吸入口１５があり、左端の縦の線Ｌの中央部にサ
イドケース１４の吐出ポート２４がある。閉じ込み室２
０は、スクリューロータ１７の２つのシール線１７ｃ，
１７ｄの間に形成され、スクリューロータ１７の回転に
より図３の右側から左側に移動する。
【００１８】閉じ込み室２０は、右側のシール線１７ｃ
が吸入口１５に重なる実線位置にあるときには、閉じ込
み室２０が吸入口１５に連通しており、非圧縮状態にあ
り、右側のシール線１７ｃが左側に移動して吸入口１５
から離れると、閉じ込み室２０は吸入口１５から遮断さ
れる。閉じ込み室２０が左に移動するにつれて閉じ込み
室２０内の流体が圧縮され、左側のシール線１７ｄが吐
出ポート２４と重なったときに、容積を１／１．６に圧
縮された流体が吐出ポート２４（図２参照）を通過して
サイドケース１４の吐出口１６に送られる。
が吸入口１５に重なる実線位置にあるときには、閉じ込
み室２０が吸入口１５に連通しており、非圧縮状態にあ
り、右側のシール線１７ｃが左側に移動して吸入口１５
から離れると、閉じ込み室２０は吸入口１５から遮断さ
れる。閉じ込み室２０が左に移動するにつれて閉じ込み
室２０内の流体が圧縮され、左側のシール線１７ｄが吐
出ポート２４と重なったときに、容積を１／１．６に圧
縮された流体が吐出ポート２４（図２参照）を通過して
サイドケース１４の吐出口１６に送られる。
【００１９】図４は、閉じ込み室２０内の流体の容積を
１／１．６に断熱圧縮した場合における吸入口１５の流
体圧力と吐出ポート２４の流体圧力との関係を示す図面
であり、横軸は吸入口１５の流体圧力、縦軸は吐出ポー
ト２４の流体圧力である。吸入側で大気圧（７６０Tor
r）と斜線との交点は、流体が１Kg/cm2になることを示
している。
１／１．６に断熱圧縮した場合における吸入口１５の流
体圧力と吐出ポート２４の流体圧力との関係を示す図面
であり、横軸は吸入口１５の流体圧力、縦軸は吐出ポー
ト２４の流体圧力である。吸入側で大気圧（７６０Tor
r）と斜線との交点は、流体が１Kg/cm2になることを示
している。
【００２０】同様に、吸入側で３８０Torrであった流体
は吐出側で０Kg/cm2になり、吸入側で６０Torrであった
流体は吐出側で−６４０Torrになることを示す。従っ
て、この事実は、吸入圧力が３８０Torr（−３８０mmH
g）より低い圧力の場合は、閉じ込み室２０内の流体圧
力は常に負圧であり、封入水を吸引させれば、圧縮端で
封入水を吹き出すことはないことを意味する。
は吐出側で０Kg/cm2になり、吸入側で６０Torrであった
流体は吐出側で−６４０Torrになることを示す。従っ
て、この事実は、吸入圧力が３８０Torr（−３８０mmH
g）より低い圧力の場合は、閉じ込み室２０内の流体圧
力は常に負圧であり、封入水を吸引させれば、圧縮端で
封入水を吹き出すことはないことを意味する。
【００２１】更に都合のよいことに、吸入圧力が３８０
Torrより高い場合には、封入水が無くとも、ケーシング
１１からの放熱だけでスクリューロータ１７の接触は起
こらないことも判った。従って、吸入圧力が３８０Torr
付近（３８０Torr以下）のときに封入水を吸引させる方
法としては、次の２とおりの方法がある。 (1) ケーシング１１に連通する封入水管路に、吸入圧力
が３８０Torr以下でスプリング作用で開弁する封入水弁
を設ける。 (2) シール線１７ｃ，１７ｄを利用して、吸入口１５と
遮断された閉じ込み室２０が吐出側に移動して、吐出ポ
ート２４に連通する直前の位置に、封入水自給管路を設
ければ、閉じ込み室２０が正圧のときには封入水は吸引
されず、閉じ込み室２０が負圧となったときに封入水が
吸引される。丁度(1) の封入水弁と同じ作用をすること
になる。
Torrより高い場合には、封入水が無くとも、ケーシング
１１からの放熱だけでスクリューロータ１７の接触は起
こらないことも判った。従って、吸入圧力が３８０Torr
付近（３８０Torr以下）のときに封入水を吸引させる方
法としては、次の２とおりの方法がある。 (1) ケーシング１１に連通する封入水管路に、吸入圧力
が３８０Torr以下でスプリング作用で開弁する封入水弁
を設ける。 (2) シール線１７ｃ，１７ｄを利用して、吸入口１５と
遮断された閉じ込み室２０が吐出側に移動して、吐出ポ
ート２４に連通する直前の位置に、封入水自給管路を設
ければ、閉じ込み室２０が正圧のときには封入水は吸引
されず、閉じ込み室２０が負圧となったときに封入水が
吸引される。丁度(1) の封入水弁と同じ作用をすること
になる。
【００２２】本発明は、上記の(2) を応用したものを第
１実施例とし、(1) を応用したものを第２実施例とし、
その内容を以下に説明する。本発明の第１実施例は、閉
じ込み室２０が吸入口１５から遮断されて、吐出ポート
２４に連通する直前の位置までの間で、流体の容積が約
１／１．６となる位置に、ケーシング１１の内筒部１２
ａに通じる入口孔２５を設け、入口孔２５に封入水の自
給管路２６の一端を接続し、封入水の自給管路２６の他
端を封入水タンク２７の内部に開口する（図１参照）。
１実施例とし、(1) を応用したものを第２実施例とし、
その内容を以下に説明する。本発明の第１実施例は、閉
じ込み室２０が吸入口１５から遮断されて、吐出ポート
２４に連通する直前の位置までの間で、流体の容積が約
１／１．６となる位置に、ケーシング１１の内筒部１２
ａに通じる入口孔２５を設け、入口孔２５に封入水の自
給管路２６の一端を接続し、封入水の自給管路２６の他
端を封入水タンク２７の内部に開口する（図１参照）。
【００２３】封入水タンク２７の内部には、開閉弁２９
付きの補給水管路２８から封入水が供給され、封入水タ
ンク２７の側壁にオーバフロー用の開口３０を設ける。
従って、封入水タンク２７内の封入水が加圧されること
はない。このような構成により、閉じ込み室２０の流体
が約１／１．６に断熱圧縮されたときの流体圧力が大気
圧より高い場合には封入水が供給されることはなく、大
気圧より低い場合にのみ封入水が供給されるので、封入
水が軸封部２２を通って外部に洩れることはなく、軸封
部２２及び固定側ベアリング１８が保護される。
付きの補給水管路２８から封入水が供給され、封入水タ
ンク２７の側壁にオーバフロー用の開口３０を設ける。
従って、封入水タンク２７内の封入水が加圧されること
はない。このような構成により、閉じ込み室２０の流体
が約１／１．６に断熱圧縮されたときの流体圧力が大気
圧より高い場合には封入水が供給されることはなく、大
気圧より低い場合にのみ封入水が供給されるので、封入
水が軸封部２２を通って外部に洩れることはなく、軸封
部２２及び固定側ベアリング１８が保護される。
【００２４】本発明の第２実施例は、ケーシング１１の
吸入側に設けた貫通孔に自給管路（図示しない）を接続
し、この自給管路に、吸入圧が約３８０Torr以下のとき
に封入水を吸引させる開閉バルブＶを設けるものであ
る。図５は開閉バルブＶの一例を示す縦断面図であり、
弁本体３１の内部に小径孔３２と大径孔３３を同一軸心
上に配設し、小径孔３２および大径孔３３を閉塞する蓋
３４および３５を設ける。
吸入側に設けた貫通孔に自給管路（図示しない）を接続
し、この自給管路に、吸入圧が約３８０Torr以下のとき
に封入水を吸引させる開閉バルブＶを設けるものであ
る。図５は開閉バルブＶの一例を示す縦断面図であり、
弁本体３１の内部に小径孔３２と大径孔３３を同一軸心
上に配設し、小径孔３２および大径孔３３を閉塞する蓋
３４および３５を設ける。
【００２５】弁本体３１には、小径孔３２に交差する連
通孔３６と、大径孔に交差し相互に相対する一対の連絡
孔３７，３８と、大径孔に交差し相互に相対する一対の
封入水用孔３９，４０が設けられ、蓋３４に貫通孔４１
が設けられる。連通孔３６及び連絡孔３７に接続される
Ｔ形の管継ぎ手４２に、真空ポンプの吸入側に連通する
管路（図示しない）が接続し、連絡孔３８と貫通孔４１
は管路４３によりつながる。
通孔３６と、大径孔に交差し相互に相対する一対の連絡
孔３７，３８と、大径孔に交差し相互に相対する一対の
封入水用孔３９，４０が設けられ、蓋３４に貫通孔４１
が設けられる。連通孔３６及び連絡孔３７に接続される
Ｔ形の管継ぎ手４２に、真空ポンプの吸入側に連通する
管路（図示しない）が接続し、連絡孔３８と貫通孔４１
は管路４３によりつながる。
【００２６】封入水用孔３９は封入水供給用タンク（図
示しない）につながる管路が設けられ、封入水用孔４０
は真空ポンプの吸入側に連通する管路（図示しない）が
接続する。弁本体３１の内部に挿入されるスプール４４
は、小径孔３２に嵌挿される小径弁部４５と、大径孔３
３に嵌挿される大径弁部４６，４７が設けられ、小径弁
部４５と蓋３４との間にスプリング４８が挿入される。
示しない）につながる管路が設けられ、封入水用孔４０
は真空ポンプの吸入側に連通する管路（図示しない）が
接続する。弁本体３１の内部に挿入されるスプール４４
は、小径孔３２に嵌挿される小径弁部４５と、大径孔３
３に嵌挿される大径弁部４６，４７が設けられ、小径弁
部４５と蓋３４との間にスプリング４８が挿入される。
【００２７】以上のように構成された開閉バルブＶは、
スプリング４８に押されたスプール４４が図５において
右側に移動し、大径弁部４７が封入水用孔３９，４０を
閉鎖しているが、真空ポンプの吸入圧が−３８０mmHg以
下になると、この吸入圧がＴ形の管継ぎ手４２を通して
小径孔３２に伝わり、小径弁部４５と大径弁部４６との
受圧面積の差からスプール４４はスプリング４８に抗し
て左側に移動する。
スプリング４８に押されたスプール４４が図５において
右側に移動し、大径弁部４７が封入水用孔３９，４０を
閉鎖しているが、真空ポンプの吸入圧が−３８０mmHg以
下になると、この吸入圧がＴ形の管継ぎ手４２を通して
小径孔３２に伝わり、小径弁部４５と大径弁部４６との
受圧面積の差からスプール４４はスプリング４８に抗し
て左側に移動する。
【００２８】スプール４４の左側移動により、大径弁部
４６が連絡孔３７，３８を開き、真空ポンプの吸入圧が
連絡孔３７，３８および管路４３を経由して小径孔３２
に伝わり、スプール４４は蓋３４に当接するまで左側に
移動し、大径弁部４７が封入水用孔３９，４０を開くの
で、封入水が真空ポンプの吸入口に流入する。真空ポン
プの吸入圧が−３８０mmHg以上になると、スプール４４
が右側に移動して大径弁部４７が封入水用孔３９，４０
を閉鎖し、封入水が真空ポンプの吸入口に流れない。以
上のようにして、封入水の供給は−３８０mmHgにより制
御される。
４６が連絡孔３７，３８を開き、真空ポンプの吸入圧が
連絡孔３７，３８および管路４３を経由して小径孔３２
に伝わり、スプール４４は蓋３４に当接するまで左側に
移動し、大径弁部４７が封入水用孔３９，４０を開くの
で、封入水が真空ポンプの吸入口に流入する。真空ポン
プの吸入圧が−３８０mmHg以上になると、スプール４４
が右側に移動して大径弁部４７が封入水用孔３９，４０
を閉鎖し、封入水が真空ポンプの吸入口に流れない。以
上のようにして、封入水の供給は−３８０mmHgにより制
御される。
【００２９】
【発明の効果】本発明は以上述べたように構成されてい
るので下記のような効果を奏する。 (1) 真空ポンプの吸入圧が−３８０mmHgより高いときに
は封入水を供給しなくてもスクリューロータに焼付事故
は生じないが、この状態では封入水の自給が自動的に停
止する。 (2) 真空ポンプの吸入圧が−３８０mmHgより低いときに
は、封入水が自動的に自給されるので、スクリューロー
タの焼付事故が防止される (3) 真空ポンプの吸入圧が−３８０mmHgより低いときに
は、閉じ込み室内の圧縮された流体が封入水と共にシー
ル部を直撃してシール部を破損したり、シール部を通過
した封入水や流体がベアリングを損傷させる従来の問題
がほぼ解決する。
るので下記のような効果を奏する。 (1) 真空ポンプの吸入圧が−３８０mmHgより高いときに
は封入水を供給しなくてもスクリューロータに焼付事故
は生じないが、この状態では封入水の自給が自動的に停
止する。 (2) 真空ポンプの吸入圧が−３８０mmHgより低いときに
は、封入水が自動的に自給されるので、スクリューロー
タの焼付事故が防止される (3) 真空ポンプの吸入圧が−３８０mmHgより低いときに
は、閉じ込み室内の圧縮された流体が封入水と共にシー
ル部を直撃してシール部を破損したり、シール部を通過
した封入水や流体がベアリングを損傷させる従来の問題
がほぼ解決する。
【図１】本発明の第１実施例を説明するスクリューロー
タ型ウエット真空ポンプの正面図（略図）である。
タ型ウエット真空ポンプの正面図（略図）である。
【図２】サイドケースの吐出ポートの正面図である。
【図３】閉じ込み室と吐出ポートの関係を説明する図面
である。
である。
【図４】吸入圧力と吐出直前の圧力との関係を説明する
図面である。
図面である。
【図５】第２実施例の開閉バルブの一例を示す縦断面図
である。
である。
【図６】真空ポンプの縦断面図である。
【図７】断熱圧縮される流体のＰ−Ｖ線図である。
【図８】真空ポンプの吸引口に異物を含む流体が吸引さ
れる例を示す汚泥回収装置の図面である。
れる例を示す汚泥回収装置の図面である。
【図９】真空ポンプの軸封部の縦断面図である。
【図１０】真空ポンプのスリンガおよびその周辺の縦断
面図である。
面図である。
Ａ 真空ポンプ Ｖ 開閉バルブ １１ ケーシング １２ 主ケーシング １２ａ 内筒部 １４ サイドケース １５ 吸入口 １６ 吐出口 １７ スクリューロータ １８ 固定側ベアリング ２０ 閉じ込み室 ２２ 軸封部 ２４ 吐出ポート ２６ 封入水の自給管路 ３１ 弁本体 ３９，４０ 封入水用孔 ４４ スプール ４５ 小径弁部 ４６，４７ 大径弁部 ４８ スプリング
Claims (2)
- 【請求項１】 直角断面形状がクインビー曲線，円弧，
疑アルキメデス曲線から成るスクリューロータを噛み合
わせてケーシングの内筒部に収容し、前記スクリューロ
ータの回転によりケーシングの吸入口から吸引された流
体の閉じ込み室容積が約１／１．６に圧縮されるときに
吐出ポートが開くようにしたスクリューロータ型真空ポ
ンプにおいて、 前記ケーシングに、螺旋シール線が吸入側を遮断する位
置から前記吐出ポートが開き始める直前位置までの閉じ
込み室に連通する封入水の自給管路を接続したことを特
徴とするスクリューロータ型ウエット真空ポンプ。 - 【請求項２】 直角断面形状がクインビー曲線，円弧，
疑アルキメデス曲線から成るスクリューロータを噛み合
わせてケーシングの内筒部に収容し、前記スクリューロ
ータの回転によりケーシングの吸入口から吸引された流
体の閉じ込み室容積が約１／１．６に圧縮されるときに
吐出ポートが開くようにしたスクリューロータ型真空ポ
ンプにおいて、 該真空ポンプの吸入口に封入水の自給管路を接続し、該
自給管路に、封入水自給吸入圧が−３８０mmHgより低く
なったときに開く開閉バルブを設けたことを特徴とする
スクリューロータ型ウエット真空ポンプ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10075319A JPH11270484A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | スクリューロータ型ウエット真空ポンプ |
| DE19882900T DE19882900B4 (de) | 1998-03-24 | 1998-04-30 | Schraubenrotor-Nassvakuumpumpe |
| KR10-2000-7010548A KR100382825B1 (ko) | 1998-03-24 | 1998-04-30 | 스크루로터형 웨트진공펌프 |
| US09/647,254 US6375443B1 (en) | 1998-03-24 | 1998-04-30 | Screw rotor type wet vacuum pump |
| PCT/JP1998/001983 WO1999049219A1 (fr) | 1998-03-24 | 1998-04-30 | Pompe d'aspiration de liquides du type rotor a vis |
| TW087109062A TW413715B (en) | 1998-03-24 | 1998-06-08 | Wet-air type vacuum pump with screw rotor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10075319A JPH11270484A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | スクリューロータ型ウエット真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11270484A true JPH11270484A (ja) | 1999-10-05 |
Family
ID=13572833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10075319A Pending JPH11270484A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | スクリューロータ型ウエット真空ポンプ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6375443B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11270484A (ja) |
| KR (1) | KR100382825B1 (ja) |
| DE (1) | DE19882900B4 (ja) |
| TW (1) | TW413715B (ja) |
| WO (1) | WO1999049219A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002295385A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Kanematsu Engineering Kk | 真空ポンプにおける冷却水戻し装置及びこの装置を備えた真空ポンプ並びにこのポンプを備えた吸引処理装置及び吸引作業車 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3673743B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2005-07-20 | 大晃機械工業株式会社 | スクリュー式真空ポンプ |
| GB2498816A (en) | 2012-01-27 | 2013-07-31 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
| GB2533621B (en) * | 2014-12-23 | 2019-04-17 | Edwards Ltd | Rotary screw vacuum pumps |
| SE541665C2 (en) * | 2015-04-13 | 2019-11-19 | Disab Tella Ab | Vacuum cleaning system for hot dust and particles |
| CN106989874B (zh) * | 2017-05-31 | 2020-02-07 | 西南石油大学 | 一种水平式高速牙轮钻头轴承螺旋密封试验装置 |
| CN114263608B (zh) * | 2021-12-30 | 2024-01-26 | 山东凯恩真空技术有限公司 | 一种防腐螺杆真空泵 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2705922A (en) | 1953-04-06 | 1955-04-12 | Dresser Ind | Fluid pump or motor of the rotary screw type |
| GB1484994A (en) * | 1973-09-03 | 1977-09-08 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Shaft seal system for screw compressors |
| JPS61171891A (ja) | 1985-01-25 | 1986-08-02 | Nec Corp | 圧電型ポンプ |
| JPS61171891U (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-25 | ||
| SE452790B (sv) * | 1985-06-07 | 1987-12-14 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Oljefri gaskompressor |
| JPH0654067B2 (ja) * | 1987-09-24 | 1994-07-20 | 株式会社新栄 | 金銭盗難防止用金銭受け棚付き金庫 |
| JPH0716064Y2 (ja) * | 1987-11-19 | 1995-04-12 | 株式会社神戸製鋼所 | 油入りスクリュ真空ポンプ |
| JP2893689B2 (ja) | 1988-11-16 | 1999-05-24 | 松下電器産業株式会社 | 電磁調理器用セラミックス製加熱容器及びその製造方法 |
| NL8900694A (nl) * | 1989-03-21 | 1990-10-16 | Grass Air Holding Bv | Schroefcompressor en werkwijze voor het bedrijven daarvan. |
| JPH02135689U (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-13 | ||
| JPH02275089A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-09 | Kobe Steel Ltd | スクリュ式真空ポンプ |
| JPH02283890A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-21 | Taiko Kikai Kogyo Kk | スクリューロータ式真空ポンプの運転方法 |
| JP2846065B2 (ja) * | 1990-06-11 | 1999-01-13 | 株式会社日立製作所 | 液注入式スクリュ流体機械 |
| JP2595377B2 (ja) | 1990-11-19 | 1997-04-02 | 株式会社日立製作所 | スクリュー真空ポンプ |
| DE4042177C2 (de) * | 1990-12-29 | 1996-11-14 | Gmv Ges Fuer Schraubenverdicht | Schraubenverdichter |
| SE9301662L (sv) * | 1993-05-14 | 1994-07-04 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Skruvkompressor med tätningsorgan |
| KR0133154B1 (ko) | 1994-08-22 | 1998-04-20 | 이종대 | 무단 압축형 스크류식 진공펌프 |
| JP2904719B2 (ja) | 1995-04-05 | 1999-06-14 | 株式会社荏原製作所 | スクリューロータ及びその歯形の軸直角断面形状を決定する方法並びにスクリュー機械 |
| DE19543879C2 (de) * | 1995-11-24 | 2002-02-28 | Guenter Kirsten | Schraubenverdichter mit Flüssigkeitseinspritzung |
| JP3701378B2 (ja) | 1996-03-27 | 2005-09-28 | 北越工業株式会社 | スクリュロータ |
| JP3831110B2 (ja) * | 1998-03-25 | 2006-10-11 | 大晃機械工業株式会社 | 真空ポンプのスクリューロータ |
-
1998
- 1998-03-24 JP JP10075319A patent/JPH11270484A/ja active Pending
- 1998-04-30 KR KR10-2000-7010548A patent/KR100382825B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-04-30 US US09/647,254 patent/US6375443B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-04-30 DE DE19882900T patent/DE19882900B4/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-04-30 WO PCT/JP1998/001983 patent/WO1999049219A1/ja active IP Right Grant
- 1998-06-08 TW TW087109062A patent/TW413715B/zh not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002295385A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Kanematsu Engineering Kk | 真空ポンプにおける冷却水戻し装置及びこの装置を備えた真空ポンプ並びにこのポンプを備えた吸引処理装置及び吸引作業車 |
| JP4643049B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2011-03-02 | 兼松エンジニアリング株式会社 | 真空ポンプにおける冷却水戻し装置及びこの装置を備えた真空ポンプ並びにこのポンプを備えた吸引処理装置及び吸引作業車 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1999049219A1 (fr) | 1999-09-30 |
| KR20010042143A (ko) | 2001-05-25 |
| DE19882900T1 (de) | 2001-04-26 |
| TW413715B (en) | 2000-12-01 |
| US6375443B1 (en) | 2002-04-23 |
| DE19882900B4 (de) | 2004-04-15 |
| KR100382825B1 (ko) | 2003-05-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060627 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061212 |