JP2003090292A - 容積式ドライ真空ポンプ - Google Patents
容積式ドライ真空ポンプInfo
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- JP2003090292A JP2003090292A JP2001281961A JP2001281961A JP2003090292A JP 2003090292 A JP2003090292 A JP 2003090292A JP 2001281961 A JP2001281961 A JP 2001281961A JP 2001281961 A JP2001281961 A JP 2001281961A JP 2003090292 A JP2003090292 A JP 2003090292A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2280/00—Arrangements for preventing or removing deposits or corrosion
- F04C2280/02—Preventing solid deposits in pumps, e.g. in vacuum pumps with chemical vapour deposition [CVD] processes
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 反応副生成物がポンプ内に導入されることに
よるポンプ及びモータの損傷を防止し、ポンプの長寿命
化を図り、稼働率を改善することができる容積式ドライ
真空ポンプを提供する。 【解決手段】 ねじ溝２２を有するロータ２０がケーシ
ング１０内に配置され、ロータ２０の回転により気体を
排気する容積式ドライ真空ポンプにおいて、反応副生成
物３０，３１を堆積させる複数の堆積手段１６，１８を
ロータ２０の上流側に設ける。また、堆積手段１８に
は、内部に堆積した反応副生成物３１を外部に排出可能
なシャッター１８ａを設けた。
よるポンプ及びモータの損傷を防止し、ポンプの長寿命
化を図り、稼働率を改善することができる容積式ドライ
真空ポンプを提供する。 【解決手段】 ねじ溝２２を有するロータ２０がケーシ
ング１０内に配置され、ロータ２０の回転により気体を
排気する容積式ドライ真空ポンプにおいて、反応副生成
物３０，３１を堆積させる複数の堆積手段１６，１８を
ロータ２０の上流側に設ける。また、堆積手段１８に
は、内部に堆積した反応副生成物３１を外部に排出可能
なシャッター１８ａを設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、容積式ドライ真空
ポンプ、特に半導体製造装置等の真空チャンバを真空に
排気するために用いる容積式ドライ真空ポンプに関する
ものである。
ポンプ、特に半導体製造装置等の真空チャンバを真空に
排気するために用いる容積式ドライ真空ポンプに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置などにおいて使用される
真空ポンプは、清浄雰囲気を維持するために、ポンプ内
部のガス通路に油を使用しないドライポンプであること
が必要とされる。ドライ式の２軸容積式真空ポンプに
は、ルーツ型、スクリュー型などのポンプがある。
真空ポンプは、清浄雰囲気を維持するために、ポンプ内
部のガス通路に油を使用しないドライポンプであること
が必要とされる。ドライ式の２軸容積式真空ポンプに
は、ルーツ型、スクリュー型などのポンプがある。
【０００３】図６は従来の横型スクリュー式ドライ真空
ポンプを示す概略図、図７は従来の縦型スクリュー式ド
ライ真空ポンプを示す概略図である。図６及び図７に示
すように、スクリュー式ドライ真空ポンプは、ケーシン
グ１１０の内部にロータ１２０が配置されている。この
ロータ１２０の外周面にはねじ溝１２２が形成されてい
る。そして、ロータ１２０とケーシング１１０との隙間
は微小になるように構成されており、このロータ１２０
が回転することで、回転するねじ溝１２２に沿って気体
が移送される。このような形式の真空ポンプは、半導体
製造装置におけるチャンバ内の排気などに広く用いられ
ている。
ポンプを示す概略図、図７は従来の縦型スクリュー式ド
ライ真空ポンプを示す概略図である。図６及び図７に示
すように、スクリュー式ドライ真空ポンプは、ケーシン
グ１１０の内部にロータ１２０が配置されている。この
ロータ１２０の外周面にはねじ溝１２２が形成されてい
る。そして、ロータ１２０とケーシング１１０との隙間
は微小になるように構成されており、このロータ１２０
が回転することで、回転するねじ溝１２２に沿って気体
が移送される。このような形式の真空ポンプは、半導体
製造装置におけるチャンバ内の排気などに広く用いられ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな容積式ドライ真空ポンプを用いて例えば半導体製造
装置用のチャンバを排気する場合には、排気対象の反応
ガス中に固化する成分が含まれており、これにより反応
副生成物が上流側配管において固形化する場合がある。
このような反応副生成物が大きな塊となって、上流側配
管から剥がれ落ちドライ真空ポンプの内部に入ってしま
うと、その自然落下やポンプ内のガス流れによってロー
タ１２０とケーシング１１０との間の隙間や一対のロー
タ１２０のねじ溝１２２間に入り込むおそれがある（こ
のような反応副生成物を符号１３０で示す）。このよう
にロータ１２０とケーシング１１０との間の隙間や一対
のロータ１２０のねじ溝１２２間に反応副生成物が入り
込んでしまうと、モータが過負荷となりポンプが停止し
てしまい、ポンプ及びモータの損傷の原因となる。
うな容積式ドライ真空ポンプを用いて例えば半導体製造
装置用のチャンバを排気する場合には、排気対象の反応
ガス中に固化する成分が含まれており、これにより反応
副生成物が上流側配管において固形化する場合がある。
このような反応副生成物が大きな塊となって、上流側配
管から剥がれ落ちドライ真空ポンプの内部に入ってしま
うと、その自然落下やポンプ内のガス流れによってロー
タ１２０とケーシング１１０との間の隙間や一対のロー
タ１２０のねじ溝１２２間に入り込むおそれがある（こ
のような反応副生成物を符号１３０で示す）。このよう
にロータ１２０とケーシング１１０との間の隙間や一対
のロータ１２０のねじ溝１２２間に反応副生成物が入り
込んでしまうと、モータが過負荷となりポンプが停止し
てしまい、ポンプ及びモータの損傷の原因となる。
【０００５】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたもので、反応副生成物がポンプ内に導入
されることによるポンプ及びモータの損傷を防止し、ポ
ンプの長寿命化を図り、稼働率を改善することができる
容積式ドライ真空ポンプを提供することを目的とする。
鑑みてなされたもので、反応副生成物がポンプ内に導入
されることによるポンプ及びモータの損傷を防止し、ポ
ンプの長寿命化を図り、稼働率を改善することができる
容積式ドライ真空ポンプを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような従来技術にお
ける問題点を解決するために、本発明の一態様は、ねじ
溝を有するロータがケーシング内に配置され、上記ロー
タの回転により気体を排気する容積式ドライ真空ポンプ
において、反応副生成物を堆積させる堆積手段を上記ロ
ータの上流側に設けたことを特徴とする。この場合にお
いて、上記堆積手段を複数設けるのが好ましい。
ける問題点を解決するために、本発明の一態様は、ねじ
溝を有するロータがケーシング内に配置され、上記ロー
タの回転により気体を排気する容積式ドライ真空ポンプ
において、反応副生成物を堆積させる堆積手段を上記ロ
ータの上流側に設けたことを特徴とする。この場合にお
いて、上記堆積手段を複数設けるのが好ましい。
【０００７】このような構成により、反応副生成物がロ
ータとケーシングとの間の隙間やねじ溝間に入り込むこ
とがなく、反応副生成物に起因するポンプ及びモータの
損傷を防止することが可能となる。従って、ポンプの長
寿命化を図ると同時にポンプの稼働率を改善することが
可能となる。
ータとケーシングとの間の隙間やねじ溝間に入り込むこ
とがなく、反応副生成物に起因するポンプ及びモータの
損傷を防止することが可能となる。従って、ポンプの長
寿命化を図ると同時にポンプの稼働率を改善することが
可能となる。
【０００８】また、本発明の好ましい一態様は、上記堆
積手段には、内部に堆積した反応副生成物を外部に排出
可能な排出手段を設けたことを特徴とする。
積手段には、内部に堆積した反応副生成物を外部に排出
可能な排出手段を設けたことを特徴とする。
【０００９】このような排出手段によって堆積した反応
副生成物を外部に排出すれば、ポンプのメンテナンスを
行うことができ、より一層ポンプの長寿命化を図ること
が可能となる。
副生成物を外部に排出すれば、ポンプのメンテナンスを
行うことができ、より一層ポンプの長寿命化を図ること
が可能となる。
【００１０】また、本発明の好ましい一態様は、上記堆
積手段は、上記ケーシングの一部によって構成されてい
ることを特徴とする。
積手段は、上記ケーシングの一部によって構成されてい
ることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る容積式ドライ
真空ポンプの第１の実施形態について図１を参照して詳
細に説明する。図１は、第１の実施形態における容積式
ドライ真空ポンプを示す概略図である。
真空ポンプの第１の実施形態について図１を参照して詳
細に説明する。図１は、第１の実施形態における容積式
ドライ真空ポンプを示す概略図である。
【００１２】本実施形態におけるドライ真空ポンプは、
横型のスクリュー式ドライ真空ポンプであり、横置きに
されたケーシング１０の内部に水平方向に延びるロータ
２０が配置されている。このロータ２０の外周面にはね
じ溝２２が形成されている。そして、ロータ２０とケー
シング１０との隙間は微小になるように構成されてお
り、このロータ２０が回転することで、回転するねじ溝
２２に沿って気体が移送される。
横型のスクリュー式ドライ真空ポンプであり、横置きに
されたケーシング１０の内部に水平方向に延びるロータ
２０が配置されている。このロータ２０の外周面にはね
じ溝２２が形成されている。そして、ロータ２０とケー
シング１０との隙間は微小になるように構成されてお
り、このロータ２０が回転することで、回転するねじ溝
２２に沿って気体が移送される。
【００１３】ケーシング１０内部には、ロータ２０の吸
込側にガス導入室１２が形成されている。また、ケーシ
ング１０の上部にはガスを吸い込む吸込ポート１４が設
けられている。ガス導入室１２と吸込ポート１４とは、
ロータ２０の軸方向に延びる流路１６によって接続され
ている。この吸込ポート１４とガス導入室１２との間に
形成された流路１６は、反応生成物を堆積させる（第１
の）堆積手段として機能する。
込側にガス導入室１２が形成されている。また、ケーシ
ング１０の上部にはガスを吸い込む吸込ポート１４が設
けられている。ガス導入室１２と吸込ポート１４とは、
ロータ２０の軸方向に延びる流路１６によって接続され
ている。この吸込ポート１４とガス導入室１２との間に
形成された流路１６は、反応生成物を堆積させる（第１
の）堆積手段として機能する。
【００１４】また、ケーシング１０内部のガス導入室１
２の底部には、第２の堆積手段としての凹部１８がケー
シング１０の一部として形成されている。この凹部１８
には、反応副生成物を外部に排出可能な排出手段として
のシャッター１８ａが設けられており、このシャッター
１８ａは開閉可能とされている。
２の底部には、第２の堆積手段としての凹部１８がケー
シング１０の一部として形成されている。この凹部１８
には、反応副生成物を外部に排出可能な排出手段として
のシャッター１８ａが設けられており、このシャッター
１８ａは開閉可能とされている。
【００１５】吸込ポート１４から導入されたガスは、矢
印で示すように、吸込流路１６を通ってケーシング１０
内のガス導入室１２に導入される。ガス導入室１２に導
入されたガスは、ロータ２０のねじ溝２２によって排気
側に移送される。
印で示すように、吸込流路１６を通ってケーシング１０
内のガス導入室１２に導入される。ガス導入室１２に導
入されたガスは、ロータ２０のねじ溝２２によって排気
側に移送される。
【００１６】ここで、ポンプの上流側の配管から反応副
生成物が落下してきた場合、この反応副生成物は流路１
６の吸込ポート１４側に堆積する（符号３０で表す）の
で、ガス導入室１２にまで流れ込むことがなくなる。ま
た、このような反応副生成物がガス導入室１２に導入さ
れたとしても、自然落下によりガス導入室１２の底部に
設けられた凹部１８に堆積することとなる（符号３１で
表す）。従って、本発明に係る容積式ドライ真空ポンプ
によれば、反応副生成物がロータ２０とケーシング１０
との間の隙間やねじ溝２２間に入り込むことがなく、反
応副生成物に起因するポンプ及びモータの損傷を防止す
ることが可能となる。
生成物が落下してきた場合、この反応副生成物は流路１
６の吸込ポート１４側に堆積する（符号３０で表す）の
で、ガス導入室１２にまで流れ込むことがなくなる。ま
た、このような反応副生成物がガス導入室１２に導入さ
れたとしても、自然落下によりガス導入室１２の底部に
設けられた凹部１８に堆積することとなる（符号３１で
表す）。従って、本発明に係る容積式ドライ真空ポンプ
によれば、反応副生成物がロータ２０とケーシング１０
との間の隙間やねじ溝２２間に入り込むことがなく、反
応副生成物に起因するポンプ及びモータの損傷を防止す
ることが可能となる。
【００１７】凹部１８に堆積した反応副生成物は、上述
したシャッター１８ａを開けることによって外部に排出
することができる。このようなシャッター１８ａによっ
て、堆積した反応副生成物を外部に排出すれば、ポンプ
のメンテナンスを行うことができ、より一層ポンプの長
寿命化を図ることが可能となる。なお、このような排出
手段を開閉自在の蓋などによって構成することも可能で
ある。
したシャッター１８ａを開けることによって外部に排出
することができる。このようなシャッター１８ａによっ
て、堆積した反応副生成物を外部に排出すれば、ポンプ
のメンテナンスを行うことができ、より一層ポンプの長
寿命化を図ることが可能となる。なお、このような排出
手段を開閉自在の蓋などによって構成することも可能で
ある。
【００１８】次に、本発明に係る容積式ドライ真空ポン
プの第２の実施形態について図２を参照して詳細に説明
する。図２は、第２の実施形態における容積式ドライ真
空ポンプを示す概略図である。なお、上述の第１の実施
形態における部材又は要素と同一の作用又は機能を有す
る部材又は要素には同一の符号を付し、特に説明しない
部分については第１の実施形態と同様である。
プの第２の実施形態について図２を参照して詳細に説明
する。図２は、第２の実施形態における容積式ドライ真
空ポンプを示す概略図である。なお、上述の第１の実施
形態における部材又は要素と同一の作用又は機能を有す
る部材又は要素には同一の符号を付し、特に説明しない
部分については第１の実施形態と同様である。
【００１９】本実施形態においては、吸込ポート１４の
下方に堆積手段としての堆積用容器５０がケーシング４
０の一部として設けられている。この堆積用容器５０
は、その上部に設けられた連絡流路５２を介してケーシ
ング４０内のガス導入室１２と連通している。その他の
点は上述した第１の実施形態と同様である。
下方に堆積手段としての堆積用容器５０がケーシング４
０の一部として設けられている。この堆積用容器５０
は、その上部に設けられた連絡流路５２を介してケーシ
ング４０内のガス導入室１２と連通している。その他の
点は上述した第１の実施形態と同様である。
【００２０】吸込ポート１４から導入されたガスは、矢
印で示すように、堆積用容器５０の連絡流路５２を通っ
てケーシング４０内のガス導入室１２に導入される。ガ
ス導入室１２に導入されたガスは、ロータ２０のねじ溝
２２によって排気側に移送される。
印で示すように、堆積用容器５０の連絡流路５２を通っ
てケーシング４０内のガス導入室１２に導入される。ガ
ス導入室１２に導入されたガスは、ロータ２０のねじ溝
２２によって排気側に移送される。
【００２１】ここで、ポンプの上流側の配管から反応副
生成物が落下してきた場合、この反応副生成物は自然落
下により堆積用容器５０の内部に堆積する（符号３３で
表す）ので、ガス導入室１２にまで流れ込むことがなく
なる。また、このような反応副生成物がガス導入室１２
に導入されたとしても、自然落下によりガス導入室１２
の底部に設けられた凹部１８に堆積することとなる（符
号３４で表す）。従って、本発明に係る容積式ドライ真
空ポンプによれば、反応副生成物がロータ２０とケーシ
ング４０との間の隙間やねじ溝２２間に入り込むことが
なく、反応副生成物に起因するポンプ及びモータの損傷
を防止することが可能となる。
生成物が落下してきた場合、この反応副生成物は自然落
下により堆積用容器５０の内部に堆積する（符号３３で
表す）ので、ガス導入室１２にまで流れ込むことがなく
なる。また、このような反応副生成物がガス導入室１２
に導入されたとしても、自然落下によりガス導入室１２
の底部に設けられた凹部１８に堆積することとなる（符
号３４で表す）。従って、本発明に係る容積式ドライ真
空ポンプによれば、反応副生成物がロータ２０とケーシ
ング４０との間の隙間やねじ溝２２間に入り込むことが
なく、反応副生成物に起因するポンプ及びモータの損傷
を防止することが可能となる。
【００２２】なお、堆積用容器５０から反応副生成物を
外部に排出可能な排出手段５０ａとしてシャッターや蓋
などを堆積用容器５０に設けることとしてもよい。
外部に排出可能な排出手段５０ａとしてシャッターや蓋
などを堆積用容器５０に設けることとしてもよい。
【００２３】次に、本発明に係る容積式ドライ真空ポン
プの第３の実施形態について図３を参照して詳細に説明
する。図３は、第３の実施形態における容積式ドライ真
空ポンプを示す概略図である。
プの第３の実施形態について図３を参照して詳細に説明
する。図３は、第３の実施形態における容積式ドライ真
空ポンプを示す概略図である。
【００２４】本実施形態におけるドライ真空ポンプは、
縦型のスクリュー式ドライ真空ポンプであり、縦置きに
されたケーシング６０の内部に垂直方向に延びるロータ
７０が配置されている。このロータ７０の外周面にはね
じ溝７２が形成されている。そして、ロータ７０とケー
シング６０との隙間は微小になるように構成されてお
り、このロータ７０が回転することで、回転するねじ溝
７２に沿って気体が移送される。
縦型のスクリュー式ドライ真空ポンプであり、縦置きに
されたケーシング６０の内部に垂直方向に延びるロータ
７０が配置されている。このロータ７０の外周面にはね
じ溝７２が形成されている。そして、ロータ７０とケー
シング６０との隙間は微小になるように構成されてお
り、このロータ７０が回転することで、回転するねじ溝
７２に沿って気体が移送される。
【００２５】ケーシング６０内部には、ロータ７０の吸
込側（上側）にガス導入室６２が形成されている。ま
た、ケーシング６０の上部にはガスを吸い込む吸込ポー
ト６４が設けられている。この吸込ポート６４の下方に
は、堆積手段としての堆積用容器８０がケーシング６０
の一部として設けられている。この堆積用容器８０は、
その上部に設けられた連絡流路８２を介してケーシング
６０内のガス導入室６２と連通している。また、堆積用
容器８０には、反応副生成物を外部に排出可能な排出手
段としてのシャッター８０ａが設けられており、このシ
ャッター８０ａは開閉可能とされている。
込側（上側）にガス導入室６２が形成されている。ま
た、ケーシング６０の上部にはガスを吸い込む吸込ポー
ト６４が設けられている。この吸込ポート６４の下方に
は、堆積手段としての堆積用容器８０がケーシング６０
の一部として設けられている。この堆積用容器８０は、
その上部に設けられた連絡流路８２を介してケーシング
６０内のガス導入室６２と連通している。また、堆積用
容器８０には、反応副生成物を外部に排出可能な排出手
段としてのシャッター８０ａが設けられており、このシ
ャッター８０ａは開閉可能とされている。
【００２６】吸込ポート６４から導入されたガスは、矢
印で示すように、堆積用容器８０の連絡流路８２を通っ
てケーシング６０内のガス導入室６２に導入される。ガ
ス導入室６２に導入されたガスは、ロータ７０のねじ溝
７２によって排気側に移送される。
印で示すように、堆積用容器８０の連絡流路８２を通っ
てケーシング６０内のガス導入室６２に導入される。ガ
ス導入室６２に導入されたガスは、ロータ７０のねじ溝
７２によって排気側に移送される。
【００２７】ここで、ポンプの上流側の配管から反応副
生成物が落下してきた場合、この反応副生成物は自然落
下により堆積用容器８０の内部に堆積する（符号３５で
表す）ので、ガス導入室６２にまで流れ込むことがなく
なる。従って、本発明に係る容積式ドライ真空ポンプに
よれば、反応副生成物がロータ７０とケーシング６０と
の間の隙間やねじ溝７２間に入り込むことがなく、反応
副生成物に起因するポンプ及びモータの損傷を防止する
ことが可能となる。
生成物が落下してきた場合、この反応副生成物は自然落
下により堆積用容器８０の内部に堆積する（符号３５で
表す）ので、ガス導入室６２にまで流れ込むことがなく
なる。従って、本発明に係る容積式ドライ真空ポンプに
よれば、反応副生成物がロータ７０とケーシング６０と
の間の隙間やねじ溝７２間に入り込むことがなく、反応
副生成物に起因するポンプ及びモータの損傷を防止する
ことが可能となる。
【００２８】また、堆積用容器８０の内部に堆積した反
応副生成物は、上述したシャッター８０ａを開けること
によって外部に排出することができる。このようなシャ
ッター８０ａによって、堆積した反応副生成物を外部に
排出すれば、ポンプのメンテナンスを行うことができ、
より一層ポンプの長寿命化を図ることが可能となる。な
お、このような排出手段を開閉自在の蓋などによって構
成することも可能である。
応副生成物は、上述したシャッター８０ａを開けること
によって外部に排出することができる。このようなシャ
ッター８０ａによって、堆積した反応副生成物を外部に
排出すれば、ポンプのメンテナンスを行うことができ、
より一層ポンプの長寿命化を図ることが可能となる。な
お、このような排出手段を開閉自在の蓋などによって構
成することも可能である。
【００２９】ここで、上述の各実施形態において、吸込
ポートから導入されるガスの流れに乱れが生じた方が、
反応副生成物は重力による影響を受け易い。従って、吸
込ポートから導入されるガスは層流で流れるよりも乱流
で流れる方が好ましい。このために、例えば吸込ポート
に邪魔板を設けてガスの流速を落とすことが考えられ
る。図４は、上述の第１の実施形態における吸込ポート
１４に邪魔板９０を設けた例を示す。
ポートから導入されるガスの流れに乱れが生じた方が、
反応副生成物は重力による影響を受け易い。従って、吸
込ポートから導入されるガスは層流で流れるよりも乱流
で流れる方が好ましい。このために、例えば吸込ポート
に邪魔板を設けてガスの流速を落とすことが考えられ
る。図４は、上述の第１の実施形態における吸込ポート
１４に邪魔板９０を設けた例を示す。
【００３０】また、吸込ポートに導入されるガスを旋回
流にし、遠心力によって反応副生成物を分離し落下させ
てもよい。図５は、第１の実施形態の吸込ポート１４に
おいて旋回流を生成させる場合の一構成例を示す。図５
において、吸込ポート１４の上流側には旋回流を生成す
るための配管９２が設けられており、ガス及び反応副生
成物は矢印で示すように旋回して流れる。また、図５に
示す例では、反応副生成物が流路１６側に流れ込まない
ように、吸込ポート１４と流路１６との間にフィルタ９
４が設けられている。
流にし、遠心力によって反応副生成物を分離し落下させ
てもよい。図５は、第１の実施形態の吸込ポート１４に
おいて旋回流を生成させる場合の一構成例を示す。図５
において、吸込ポート１４の上流側には旋回流を生成す
るための配管９２が設けられており、ガス及び反応副生
成物は矢印で示すように旋回して流れる。また、図５に
示す例では、反応副生成物が流路１６側に流れ込まない
ように、吸込ポート１４と流路１６との間にフィルタ９
４が設けられている。
【００３１】上述の実施形態においては、スクリュー式
ドライ真空ポンプを例に挙げて説明したが、これに限ら
れるものではなく、他の容積式ドライ真空ポンプ、例え
ばルーツ式ドライ真空ポンプにも適用できる。
ドライ真空ポンプを例に挙げて説明したが、これに限ら
れるものではなく、他の容積式ドライ真空ポンプ、例え
ばルーツ式ドライ真空ポンプにも適用できる。
【００３２】これまで本発明の一実施形態について説明
したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技
術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施され
てよいことは言うまでもない。
したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技
術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施され
てよいことは言うまでもない。
【００３３】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、反応
副生成物を堆積させる堆積手段を上記ロータの上流側に
設けたので、反応副生成物がロータとケーシングとの間
の隙間やねじ溝間に入り込むことがなく、反応副生成物
に起因するポンプ及びモータの損傷を防止することが可
能となる。従って、ポンプの長寿命化を図ると同時にポ
ンプの稼働率を改善することが可能となる。
副生成物を堆積させる堆積手段を上記ロータの上流側に
設けたので、反応副生成物がロータとケーシングとの間
の隙間やねじ溝間に入り込むことがなく、反応副生成物
に起因するポンプ及びモータの損傷を防止することが可
能となる。従って、ポンプの長寿命化を図ると同時にポ
ンプの稼働率を改善することが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施形態におけるスクリュー式
ドライ真空ポンプを示す概略図である。
ドライ真空ポンプを示す概略図である。
【図２】本発明の第２の実施形態におけるスクリュー式
ドライ真空ポンプを示す概略図である。
ドライ真空ポンプを示す概略図である。
【図３】本発明の第３の実施形態におけるスクリュー式
ドライ真空ポンプを示す概略図である。
ドライ真空ポンプを示す概略図である。
【図４】本発明の第１の実施形態の他の実施例における
部分拡大図である。
部分拡大図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の他の実施例における
部分拡大図である。
部分拡大図である。
【図６】従来の横型容積式ドライ真空ポンプを示す概略
図である。
図である。
【図７】従来の縦型容積式ドライ真空ポンプを示す概略
図である。
図である。
１０，４０，６０ ケーシング
１２，６２ ガス導入室
１４ 吸込ポート
１６ 流路（堆積手段）
１８ 凹部（堆積手段）
１８ａ，８０ａ シャッター（排出手段）
２０，７０ ロータ
２２ ねじ溝
３０〜３５ 反応副生成物
５０，８０ 堆積用容器
５２，８２ 連絡流路
９０ 邪魔板
９２ 配管
９４ フィルタ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3H029 AA03 AA18 AA24 AB06 BB36
BB44 BB47 CC06 CC09 CC14
CC24 CC26 CC42
Claims (4)
- 【請求項１】 ねじ溝を有するロータがケーシング内に
配置され、前記ロータの回転により気体を排気する容積
式ドライ真空ポンプにおいて、 反応副生成物を堆積させる堆積手段を前記ロータの上流
側に設けたことを特徴とする容積式ドライ真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記堆積手段を複数設けたことを特徴と
する請求項１に記載の容積式ドライ真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記堆積手段には、内部に堆積した反応
副生成物を外部に排出可能な排出手段を設けたことを特
徴とする請求項１又は２に記載の容積式ドライ真空ポン
プ。 - 【請求項４】 前記堆積手段は、前記ケーシングの一部
によって構成されていることを特徴とする請求項１乃至
３のいずれか一項に記載の容積式ドライ真空ポンプ。
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