JPH06117386A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH06117386A JPH06117386A JP26336692A JP26336692A JPH06117386A JP H06117386 A JPH06117386 A JP H06117386A JP 26336692 A JP26336692 A JP 26336692A JP 26336692 A JP26336692 A JP 26336692A JP H06117386 A JPH06117386 A JP H06117386A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- casing
- vacuum pump
- gap
- exhaust port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】
【目的】吸気されるガス中に含まれる反応生成物がロー
タ１及びケーシング５に付着してもモータ２に過負荷を
生じさせず安定して運転を維持する。 【構成】排気側のロータ１とケーシング５の隙間を広げ
るために、ロータ１の排気側の端部を円周方向に円錐台
形にし、ケーシング５との隙間を広げ、反応生成物が堆
積しても、隙間をもたせるようにしたことである。
タ１及びケーシング５に付着してもモータ２に過負荷を
生じさせず安定して運転を維持する。 【構成】排気側のロータ１とケーシング５の隙間を広げ
るために、ロータ１の排気側の端部を円周方向に円錐台
形にし、ケーシング５との隙間を広げ、反応生成物が堆
積しても、隙間をもたせるようにしたことである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプに関し特にド
ライポンプに関する。
ライポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のドライポンプは、１チャンバー方
式と多チャンバー方式があるが、いずれの場合も原理は
同じため１チャンバー方式に於いて説明する。
式と多チャンバー方式があるが、いずれの場合も原理は
同じため１チャンバー方式に於いて説明する。
【０００３】図３は従来の一例を示す真空ポンプの断面
図である。従来、この種の真空ポンプは、例えば、図３
に示すように、吸気口６と排気口７をもつケーシング５
と、このケーシング５に収納され互いに並行に並べて軸
受けを介して取付けられる２本のロータ８と、このロー
タ８のケーシング５より露出する駆動軸３に取付けられ
歯車４を介してロータ８を回転するモータ２とを備えて
いる。また、ケーシング５とロータ８の隙間は吸気口６
から排気口７に向けて同一寸法かまたは次第に狭くなっ
ている。
図である。従来、この種の真空ポンプは、例えば、図３
に示すように、吸気口６と排気口７をもつケーシング５
と、このケーシング５に収納され互いに並行に並べて軸
受けを介して取付けられる２本のロータ８と、このロー
タ８のケーシング５より露出する駆動軸３に取付けられ
歯車４を介してロータ８を回転するモータ２とを備えて
いる。また、ケーシング５とロータ８の隙間は吸気口６
から排気口７に向けて同一寸法かまたは次第に狭くなっ
ている。
【０００４】次に、この真空ポンプの動作について説明
する。まず、モータ２の回転によりロータ８は互いに反
対方向に回転する。この回転によりロータ８側が低圧に
なり、外部より吸気口６にガスが吸い込まれる。この吸
気口６より流入したガスは、ロータ８の回転によりケー
シング５とロータ８の隙を通って次第に圧力を上昇させ
排気口７より排出される。
する。まず、モータ２の回転によりロータ８は互いに反
対方向に回転する。この回転によりロータ８側が低圧に
なり、外部より吸気口６にガスが吸い込まれる。この吸
気口６より流入したガスは、ロータ８の回転によりケー
シング５とロータ８の隙を通って次第に圧力を上昇させ
排気口７より排出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の真空ポ
ンプでは、吸入されたガスは除々に圧縮され排気口より
叶出されるものの、反応ガスを使用するＣＶＤ装置では
反応生成物が付着しやく、排気口近傍の淀み等により反
応生成物が排気口近くのケーシングとロータ間に堆積
し、モータに過負荷を起し、しばしば真空ポンプが停止
するという問題があった。
ンプでは、吸入されたガスは除々に圧縮され排気口より
叶出されるものの、反応ガスを使用するＣＶＤ装置では
反応生成物が付着しやく、排気口近傍の淀み等により反
応生成物が排気口近くのケーシングとロータ間に堆積
し、モータに過負荷を起し、しばしば真空ポンプが停止
するという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、反応生成物が堆積しても
モータに過負荷をもたらすことなく常に安定して運転出
来る真空ポンプを提供することである。
モータに過負荷をもたらすことなく常に安定して運転出
来る真空ポンプを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の真空ポンプは、
一端側に吸気口を有し他端側に排気口をもつケーシング
と、このケーシングに収納され互いに回転軸平行にし回
転するロータを備える真空ポンプにおいて、前記排気側
の前記ケーシングと前記ロータと間に逃げ部をもたせる
ことを特徴としている。また前記逃げ部が前記ロータの
端部が円錐台形状であるか前記ケーシングの内壁より凹
む凹み部である。
一端側に吸気口を有し他端側に排気口をもつケーシング
と、このケーシングに収納され互いに回転軸平行にし回
転するロータを備える真空ポンプにおいて、前記排気側
の前記ケーシングと前記ロータと間に逃げ部をもたせる
ことを特徴としている。また前記逃げ部が前記ロータの
端部が円錐台形状であるか前記ケーシングの内壁より凹
む凹み部である。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００９】図１は本発明の一実施例を示す真空ポンプ
の断面図である。この真空ポンプは、図１に示すよう
に、排気口７側の軸方向の隙を吸入口６側より大きくす
るために、ロータ１の排気口７側の端部を円錐台形状と
したことである。それ以外は従来例と同じである。
の断面図である。この真空ポンプは、図１に示すよう
に、排気口７側の軸方向の隙を吸入口６側より大きくす
るために、ロータ１の排気口７側の端部を円錐台形状と
したことである。それ以外は従来例と同じである。
【００１０】このように排気口側とロータ１及びケーシ
ング５間の隙間を大きくすることにより、反応生成物が
堆積しても、モータ２に過負荷を生じさせることなく、
真空ポンプも停止しない。
ング５間の隙間を大きくすることにより、反応生成物が
堆積しても、モータ２に過負荷を生じさせることなく、
真空ポンプも停止しない。
【００１１】図２は本発明の他の実施例を示す真空ポン
プの断面図である。この真空ポンプは図２に示すように
排気口７近くの１部分の隙間を広げるための凹み部９を
ケーシング５ａに設けたことである。すなわち、この凹
み部９を設けて、ケーシング５ａとローター８の端面と
の隙間より大きくしたものである。
プの断面図である。この真空ポンプは図２に示すように
排気口７近くの１部分の隙間を広げるための凹み部９を
ケーシング５ａに設けたことである。すなわち、この凹
み部９を設けて、ケーシング５ａとローター８の端面と
の隙間より大きくしたものである。
【００１２】ここで、前述の実施例ではロータのバラン
スもたせるために軸に対して対称にロータを加工しなけ
ればならないが、後の実施例では回転のバランスは関係
無いので、反応生成物が付着しやすい所のみ凹みを設け
れば良く、加工もバランスを考慮する必要がない利点が
ある。また、この凹み部９を取外し出来るようにすれ
ば、一定期間後分解することなく清掃が出来る利点があ
る。
スもたせるために軸に対して対称にロータを加工しなけ
ればならないが、後の実施例では回転のバランスは関係
無いので、反応生成物が付着しやすい所のみ凹みを設け
れば良く、加工もバランスを考慮する必要がない利点が
ある。また、この凹み部９を取外し出来るようにすれ
ば、一定期間後分解することなく清掃が出来る利点があ
る。
【００１３】さらにこの様な構造にすることにより反応
生成物が付着しやすいプロセスに使用すると、その隙の
広さに対応してドライポンプの寿命を延ばすことが出来
るという効果がある。
生成物が付着しやすいプロセスに使用すると、その隙の
広さに対応してドライポンプの寿命を延ばすことが出来
るという効果がある。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明はドライポン
プの排気口近傍で反応生成物が付着しやすい所のケーシ
ングとローターの隙間を広げることにより、排気される
反応成物が堆積しても、モータに過負荷を与えず、停止
することなく安定して運転出来るという効果がある。
プの排気口近傍で反応生成物が付着しやすい所のケーシ
ングとローターの隙間を広げることにより、排気される
反応成物が堆積しても、モータに過負荷を与えず、停止
することなく安定して運転出来るという効果がある。
【図１】本発明の一実施例における概要を示す真空ポン
プ断面図である。
プ断面図である。
【図２】本発明の他の実施例における概要を示す真空ポ
ンプ断面図である。
ンプ断面図である。
【図３】従来の一例における概要を示す真空ポンプの断
面図である。
面図である。
１，８ ロータ ２ モータ ３ 駆動軸 ４ 歯車 ５，５ａ ケーシング ６ 吸気口 ７ 排気口 ９ 凹み部
Claims (3)
- 【請求項１】 一端側に吸気口を有し他端側に排気口を
もつケーシングと、このケーシングに収納され互いに回
転軸平行にし回転するロータを備える真空ポンプにおい
て、前記排気側の前記ケーシングと前記ロータと間に逃
げ部をもたせることを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記逃げ部が前記ロータの端部が円錐台
形状であることを特徴とする請求項１記載の真空ポン
プ。 - 【請求項３】 前記逃げ部が前記ケーシングの内壁より
凹む凹み部であることを特徴とする請求項１記載の真空
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26336692A JP2833940B2 (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26336692A JP2833940B2 (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117386A true JPH06117386A (ja) | 1994-04-26 |
| JP2833940B2 JP2833940B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=17388495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26336692A Expired - Fee Related JP2833940B2 (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833940B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003090292A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Ebara Corp | 容積式ドライ真空ポンプ |
| KR20210132194A (ko) | 2019-05-17 | 2021-11-03 | 가시야마고교가부시끼가이샤 | 진공펌프 |
-
1992
- 1992-10-01 JP JP26336692A patent/JP2833940B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003090292A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Ebara Corp | 容積式ドライ真空ポンプ |
| KR20210132194A (ko) | 2019-05-17 | 2021-11-03 | 가시야마고교가부시끼가이샤 | 진공펌프 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2833940B2 (ja) | 1998-12-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980901 |
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