JP2003065965A

JP2003065965A - 表面検査方法及び装置

Info

Publication number: JP2003065965A
Application number: JP2001251360A
Authority: JP
Inventors: Tomohide Mizukoshi; 智秀水越; Kazumi Furuta; 和三古田
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 2001-08-22
Filing date: 2001-08-22
Publication date: 2003-03-05

Abstract

(57)【要約】【課題】正常な検査面からの光量と凹凸状等の欠陥があ
る表面からの光量の差異がでるように受光見込み角度を
最適値に設定することを可能にする表面検査方法及び装
置を提供する。【解決手段】測定対象の検査面に光源から光を照射し、
反射光を集光し、正常な検査面からの光量と欠陥がある
検査面からの光量との差異を解析して前記検査面の表面
欠陥を検出する表面検査方法において、検査面から集光
できる光の光軸に対する広がり角度である見込み角をパ
ラメータとして採用し、該見込み角を最適角に設定する
ことを特徴とする表面検査方法であり、表面検査装置
は、測定対象の検査面に光を照射する光源と、反射光を
集光する受光部と、正常な検査面からの光量と欠陥があ
る検査面からの光量との差異を解析する解析手段とを有
し、検査面の表面欠陥を検出する表面検査装置におい
て、検査面から集光できる光の光軸に対する広がり角度
である見込み角をパラメータとして採用し、該見込み角
を最適角に設定する設定手段を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、検査面に応じて最
適な見込み角度を与え、常に最適な検出力を得るように
する表面検査方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、写真感光材料のウエブ面等の表
面検査などにおいては、検査面に光学系を走査して各走
査位置での光量変化によって、検査面の表面欠陥を検出
する手法が知られている。

【０００３】本発明者らは、近年、検査面から集光でき
る光の光軸に対する広がり角度である「見込み角」とい
うパラメータを表面検査に導入することを検討してい
る。受光部の見込み角は一般的に一定である。このため
検査面の光学特性が著しく異なる検査表面の凹凸状欠陥
を検出できないことが発生する。

【０００４】検査表面の凹凸状欠陥の検出力は、その検
査面に当てる光の入射角度と、そこから反射する受光角
度が同じ場合、検出力が良いとされる。その理由は、正
常な検査面からの光量をＬ１、凹凸状欠陥のある表面か
らの光量をＬ２とすると、凹凸状欠陥のある表面では反
射光の一部が拡散されるため、光量差異ΔをΔ＝Ｌ１−
Ｌ２とすると、そのΔが大きくなることによる。

【０００５】しかし、検査面が、インクジェット用紙の
ように白地に凹凸状欠陥がある場合は、Ｌ１は非常に大
きくなり、凹凸状欠陥で散乱して減少する光量はＬ１に
比べ非常に小さく、その結果、Ｌ２はＬ１とほとんど変
わらない。即ち、Δ≒０であり、欠陥検出は困難だっ
た。

【０００６】逆に、光の拡散性が高い検査面の凹凸状欠
陥の検査の場合、正常な検査面からの光量Ｌ１は非常に
小さく、その結果、Ｌ２とＬ１はほとんど変わらない、
即ち、Δ≒０であり、欠陥検出は困難だった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の課題
は、正常な検査面からの光量と凹凸状等の欠陥がある表
面からの光量の差異がでるように受光見込み角度を最適
値に設定することを可能にする表面検査方法及び装置を
提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の表面検査方法は、測定対象の検査面に光源か
ら光を照射し、反射光を集光し、正常な検査面からの光
量と欠陥がある検査面からの光量との差異を解析して前
記検査面の表面欠陥を検出する表面検査方法において、
検査面から集光できる光の光軸に対する広がり角度であ
る見込み角をパラメータとして採用し、該見込み角を最
適角に設定することを特徴とする。

【０００９】請求項２に記載の発明は、見込み角を最適
角に設定する際に、反射光を集光する過程に遮光部材を
用いることを特徴とする請求項1記載の表面検査方法で
ある。

【００１０】請求項３に記載の発明は、反射光を集光す
る過程に用いる遮光部材を、反射光の受光部の構成部品
に接触することなく移動させ最適位置に固定することを
特徴とする請求項２記載の表面検査方法である。

【００１１】請求項４に記載の発明は、反射光を集光す
る過程に用いる遮光部材を、反射光の受光部の手前に配
置することを特徴とする請求項３記載の表面検査方法で
ある。

【００１２】請求項５に記載の発明は、反射光を集光す
る過程に用いる遮光部材を、反射光の受光部の構成部品
の間に配置することを特徴とする請求項３記載の表面検
査方法である。

【００１３】請求項６に記載の発明は、見込み角を最適
角に設定する際に、受光部の構成部品の全て又は一部を
検査面に対し移動することを特徴とする請求項1記載の
表面検査方法である。

【００１４】上記課題を解決する請求項７記載の表面検
査装置は、測定対象の検査面に光を照射する光源と、反
射光を集光する受光部と、正常な検査面からの光量と欠
陥がある検査面からの光量との差異を解析する解析手段
とを有し、検査面の表面欠陥を検出する表面検査装置に
おいて、検査面から集光できる光の光軸に対する広がり
角度である見込み角をパラメータとして採用し、該見込
み角を最適角に設定する設定手段を有することを特徴と
する。

【００１５】請求項８に記載の発明は、見込み角を最適
角に設定する設定手段が、測定対象品種情報と、測定対
象品種と最適見込み角のテーブルと、最適見込み角と移
動手段の移動量のテーブルとを有し、測定対象品種の入
力により移動手段の移動量を把握し、該移動量に基づき
移動手段を移動することを特徴とする請求項７記載の表
面検査装置である。

【００１６】請求項９に記載の発明は、移動手段が、反
射光を集光する過程に遮光部材を配置し、該遮光部材を
移動し固定する構成を有することを特徴とする請求項７
又は８記載の表面検査装置である。

【００１７】請求項１０に記載の発明は、移動手段が、
受光部の構成部品の全て又は一部を検査面に対し移動す
る構成を有することを特徴とする請求項7又は８記載の
表面検査装置である。

【００１８】請求項１１に記載の発明は、解析手段が、
受光部からの光量を光量信号に変換する受光素子と、受
光素子の光量信号を加算する加算回路と、加算された光
量信号を微分して欠陥信号を明瞭化するフィルター回路
と、微分された信号を絶対値に変換する絶対値回路と、
絶対値に変換された欠陥信号を基準値と比較してその比
較値より大きい場合欠陥と認定する比較回路と、比較回
路で認定された欠陥信号を情報として生成する欠陥情報
生成部とを有することを特徴とする請求項７〜１０の何
れかに記載の表面検査装置である。

【００１９】請求項１２に記載の発明は、欠陥情報生成
部に、測定対象の幅手方向の位置情報と、搬送方向の位
置情報を含むことを特徴とする請求項１１記載の表面検
査装置である。

【００２０】請求項１３に記載の発明は、欠陥情報生成
部で生成された情報が、ＣＲＴ表示、プリンター印字、
電子ファイルに保存の少なくともいずれか一つが実施さ
れることを特徴とする請求項１２記載の表面検査装置で
ある。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。

【００２２】本発明における表面検査方法は、測定対象
の検査面に光源から光を照射し、反射光を集光し、正常
な検査面からの光量と欠陥がある検査面からの光量との
差異を解析して前記検査面の表面欠陥を検出する方法で
あり、本発明において、表面検査の測定対象は、感光材
料、非感光材料、その他、金属又は非金属のシート状の
移動物等が挙げられる。

【００２３】本発明は、かかる測定対象の表面検査を行
なう際に、検査面から集光できる光の光軸に対する広が
り角度である見込み角をパラメータとして採用し、該見
込み角を最適角に設定することを特徴とするものであ
る。。

【００２４】本発明においてパラメータとして採用され
る見込み角の定義について、図１に基づいて更に詳細に
説明する。

【００２５】図１において、１は検査面、２は受光部で
ある。受光部２はシリンドリカルレンズ２a、反射帯２
ｂ、光導棒２ｃからなる。本発明では、シリンドリカル
レンズ２a、反射帯２ｂ、光導棒２ｃを受光部の構成部
品と称する。

【００２６】３は検査面１から集光可能な光の光軸、４
は検査面１に対する直交軸である。

【００２７】検査面１に図示しない光源からの光が入射
光として入射し、その反射光はシリンドリカルレンズ２
aを介して受光部２に至り、反射帯２ｂで集光され、光
導棒２ｃを介して図示しない光量測定部に光伝送され
る。

【００２８】入射光の入射角βに対して、反射光の内、
光軸上の光は入射光と同じ角度βで反射、集光される。

【００２９】これに対して、検査面１に凹凸等の欠陥が
ある場合は乱反射等によって反射角が光軸３上からずれ
た光が増加する。その光軸をずれた反射光（図面では光
軸に対してαだけずれた反射光）は光軸３に対して広が
りをもつことになる。その広がりが過ぎると受光部２に
集光されず、そのため光量として積算されないため、凹
凸の測定ができなかったり、不正確になる。

【００３０】次に、検査面と見込み角の関係を図２及び
図３に基づいて説明する。図２は検査面の表面反射光量
が大きい場合、例えば検査面が鏡面状である場合の例で
ある。図２において、実線で示す曲線は、正常な検査面
１に対する反射光量（積算値）をプロットしたもので、
破線で示す曲線は凹凸欠陥がある検査面に対する反射光
量（積算値）をプロットしたものである。

【００３１】従来の見込み角はｘという広い幅に設定し
て光量を求めていた。従来の見込み角の設定では、正常
な検査面の反射光量Ｌ１と凹凸欠陥がある表面の反射光
量Ｌ２の差異は出にくく、凹凸欠陥の検出が困難だっ
た。

【００３２】これに対し、本発明では、見込み角をｙに
設定し、従来より狭くして、正常な検査表面の反射光量
Ｌ１と凹凸欠陥がある表面の反射光量Ｌ２の差異が大き
く出るように設定した。このため凹凸欠陥の検出が容易
に可能になった。

【００３３】図３は検査面の表面反射光量が小さい場
合、例えば検査面が表面が粗面である場合の例である。
図３において、実線で示す曲線は、正常な検査面に対す
る反射光量（積算値）をプロットしたもので、破線で示
す曲線は凹凸欠陥がある検査面に対する反射光量（積算
値）をプロットしたものである。

【００３４】従来の見込み角はｘという広い幅に設定し
ており、このような従来の見込み角の設定では、正常な
検査表面の反射光量Ｌ１と凹凸欠陥がある表面の反射光
量Ｌ２の差異は出にくく、凹凸欠陥の検出が困難だっ
た。

【００３５】これに対し、本発明では、見込み角をｙに
設定し、従来より狭くして、正常な検査表面の反射光量
Ｌ１と凹凸欠陥がある表面の反射光量Ｌ２の差異が大き
く出るように設定した。このため凹凸欠陥の検出が容易
に可能になった。

【００３６】本発明において、見込み角を最適角に設定
する際に、反射光を集光する過程に、例えば該見込み角
を小さくするための、遮光部材を用いることが好ましい
態様である。

【００３７】更に好ましい態様としては、反射光を集光
する過程に用いる遮光部材を、反射光の受光部の構成部
品に接触することなく移動させ最適位置に固定すること
であり、また反射光を集光する過程に用いる遮光部材
を、反射光の受光部の手前に配置することであり、また
反射光を集光する過程に用いる遮光部材を、反射光の受
光部と構成部品の間に配置することである。更に見込み
角を最適角に設定する際に、例えば該見込み角を小さく
するように、受光部の構成部品の全て又は一部を検査面
に対し移動することも好ましい態様である。

【００３８】以下に、本発明において、好ましい見込み
角の設定方法の例を図４〜図７に基づいて説明する。

【００３９】図４は受光の見込み角を最適値に設定でき
るようにする手段の一例であり、同図に示す態様では、
光軸（反射光軸）３上に、受光部２の構成部品の例であ
るシリンドリカルレンズ２aと、反射帯２ｂと、光導棒
２ｃが配置されている。

【００４０】５は遮光部材であり、シリンドリカルレン
ズ２aの前方に配置されている。遮光部材５としては、
例えば遮光シートあるいは遮光板を用いることができ
る。遮光部材５の移動機構は、図示しないが、上下動可
能な機構であれば特に限定されない。

【００４１】遮光部材５は受光部２の構成部品であるシ
リンドリカルレンズ２a、光導棒２ｃに接触することな
く移動させ、見込み角が最適値になる位置に設定し、固
定する。

【００４２】このようにすると、検査面に対して最適な
受光見込み角が設定できるので、Δ＝Ｌ１−Ｌ２が最大
値になり、従来、検出困難だった検査面の凹凸状欠陥検
出が可能になる。

【００４３】図５は受光の見込み角を最適値に設定でき
るようにする手段の他の例であり、同図に示す態様で
も、光軸（反射光軸）３上に、受光部の構成部品の例で
あるシリンドリカルレンズ２aと、反射帯２ｂと、光導
棒２ｃが配置されている点は図４の態様と同様である。

【００４４】この態様の特徴は、遮光部材５をシリンド
リカルレンズ２aと光導棒２ｃの間に設けた点である。
その他の構成及び作用は図４に示す態様と同様である。

【００４５】図６は受光の見込み角を最適値に設定でき
るようにする手段の他の例であり、同図に示す態様で
も、光軸（反射光軸）３上に、受光部２の構成部品の例
であるシリンドリカルレンズ２aと、反射帯２ｂと、光
導棒２ｃが配置されている点は図４の態様と同様であ
る。

【００４６】この態様の特徴は、受光部２の構成部品を
全体として検査面に対し移動して、見込み角を最適値に
なる位置に設定することである。このようにすると、検
査面に対して最適な受光見込み角が設定できるので、Δ
＝Ｌ１−Ｌ２が最大値になり、従来、検出困難だった検
査面の凹凸状欠陥検出が可能になる。

【００４７】図７は受光の見込み角を最適値に設定でき
るようにする手段の他の例であり、同図に示す態様で
も、光軸（反射光軸）３上に、受光部の構成部品の例で
あるシリンドリカルレンズ２aと、反射帯２ｂと、光導
棒２ｃが配置されている点は図４の態様と同様である。

【００４８】この態様の特徴は、受光部の構成部品であ
るシリンドリカルレンズ２aを検査面に対し移動して、
見込み角を最適値になる位置に設定することである。こ
のようにすると、検査面に対して最適な受光見込み角が
設定できるので、Δ＝Ｌ１−Ｌ２が最大値になり、従
来、検出困難だった検査面の凹凸状欠陥検出が可能にな
る。

【００４９】次に、本発明に係る表面検査装置の例を図
８に基づいて説明する。

【００５０】図８はに基づき本発明の見込み角設定装置
の一例を説明する。同図において、１０はレーザ等の検
査用光源Ａであり、この実施の形態では波長λ１とす
る。１１はレーザ等の光源Ｂであり、この実施の形態で
は波長λ２とする。本実施の形態で二つの波長の光源を
採用するのは、測定対象であるウエブの特性によって測
定波長領域を変化させることが必要な場合があるからで
ある。例えば未感光の感光材料の場合には、光源波長と
して、感光させない波長の光を選択する必要がある。

【００５１】１２はハーフミラーで、光源Ａの光は透過
するが、光源Ｂの光は反射する。１３は反射鏡、１４は
例えばポリゴンミラー等の多面鏡で、有効反射面で反射
する。

【００５２】検査用の光源Ａ，Ｂを照射すると、光はハ
ーフミラー１２を透過され、あるいは反射される。次い
で反射鏡１３で反射され、更に多面鏡１４の有効反射面
で反射される。

【００５３】多面鏡１４の反射光は、測定対象であるウ
エブ１５の検査面に照射される。ウエブ１５はロール状
に巻かれており、その巻かれた状態で検査されてもよい
が、平面状に開いた状態で検査されてもよい。

【００５４】検査面からの反射光は、二つの受光部２、
２０に送られる。二つの受光部を設けるのは、光源の波
長によって別々の受光部を設けて効率よく集光するため
である。

【００５５】受光部２、２０に至った反射光は、受光部
２、２０の構成部品であるシリンドリカルレンズ２a、
２０aで集光され、反射部で反射され、光導棒２ｃ、２
０cに入る。

【００５６】光導棒２ｃ、２０cは、例えばアクリル製
の円柱棒状体であり、棒内に入った光を外部に逃がさな
いように、その棒状表面に酸化チタン等の粒子が塗布さ
れている。その塗布面は所謂全反射機能を果たし、光導
棒内に入った光は長手方向に伝送され、伝送された光は
光導棒２ｃ、２０c両端方向に至る。

【００５７】受光部２の光導棒２ｃ両端には、受光部か
らの光量を電気信号である光量信号に変換する受光素子
１６ａ、１６ｂが設けられている。受光素子１６ａ、１
６ｂと光導棒２ｃの端部の間には、波長λ１の光を遮光
するフィルター１７ａ、１７ｂが配置されている。この
ため受光部２ではλ２の光の光量が求められる。

【００５８】受光部２０の光導棒２０c両端には、受光
部からの光量を電気信号である光量信号に変換する受光
素子１６ｃ、１６ｄが設けられている。受光素子１６
ｃ、１６ｄと光導棒２０cの端部の間には、波長λ２の
光を遮光するフィルター１７ｃ、１７ｄが配置されてい
る。このため受光部２０ではλ１の光の光量が求められ
る。

【００５９】波長λ２の光の光量については、受光部２
から受光素子１６ａ、１６ｂに至り光電変換された光量
信号は、図９に示す解析手段で解析処理が施される。

【００６０】図９に示すように、キズがある場合、受光
部２からの光量を光量信号に変換する受光素子１６ａ、
受光素子１６ｂの両方共にキズのある信号（図面参照）
を得る。

【００６１】受光素子１６ａ、１６ｂの光量信号は加算
回路５０に送られ、図示のようになる。

【００６２】加算回路５０で加算された光量信号はフィ
ルター回路５１に送られ、信号を微分して欠陥信号を明
瞭化する（図示の信号形態となる）。

【００６３】微分された信号は絶対値に変換する絶対値
回路５２に送られる。

【００６４】次いで、比較回路５３に送られる。比較回
路では欠陥信号の絶対値が基準値（比較値）として設定
されている（図面の比較値参照）。絶対値に変換された
欠陥信号を基準値と比較してその比較値より大きい場合
欠陥と認定する。

【００６５】比較回路５３で欠陥と認定された後、欠陥
の有無が欠陥情報生成部５４で例えば、欠陥の幅の位置
（例えば１０ｃｍ）、搬送方向の位置（例えば１００
ｍ）、欠陥の大きさ（例えばｍ−８）等が欠陥情報とし
て生成される。

【００６６】欠陥の大きさに関しては、比較値のレベル
をレベル１、レベル２に設定し、欠陥信号の大きさをＸ
とすると、Ｘ＞比較値レベル２のとき、ｍ−スキャン数比較値レベル２＞Ｘ＞比較値レベル１のとき、ｓ−スキ
ャン数比較値レベル１＞Ｘのとき、欠陥なしのように表される。

【００６７】ここで、スキャン数とは多面鏡でレーザー
光を走査（スキャン）しているので、その数をいう。

【００６８】本発明において、加算回路５０からフィル
ター回路５１を介することなく、比較回路５５に送ら
れ、マイナス比較値及びプラス比較値と比較することも
好ましい。

【００６９】また本発明において、前記欠陥情報生成部
５４に、測定対象の幅手方向の位置情報５６と、搬送方
向の位置情報５７を含むことは好ましい。幅手方向の位
置情報は、ウエブの幅のトリガー信号から起算し、クロ
ック数で位置を換算できる。また搬送位置はウエブの巻
きの継ぎ目から起算し、ロールのパルス信号数で、搬送
長を換算できる。

【００７０】更に、本発明において、欠陥情報生成部５
４で生成された情報が、ＣＲＴ表示５８、プリンター印
字５９、電子ファイル６０に保存の少なくともいずれか
一つが実施されることが好ましい。

【００７１】次に、本発明の見込み角設定装置の制御シ
ステム例を図１０に基づいて説明する。

【００７２】制御システムを概略構成は、生産品（測定
対象）品種情報（Ｓ１）と、測定対象品種と最適見込み
角のテーブル（Ｓ２）と、最適見込み角と移動手段の移
動量のテーブル（Ｓ３）とを有することである。

【００７３】生産品品種情報としては、例えばＰ₁、
Ｐ₂、Ｐ₃、Ｐ₄、Ｐ₅・・・・・である。また測定対象品
種と最適見込み角のテーブルとしては、品種Ｐ₁ Ｐ₂ Ｐ₃ Ｐ₄ Ｐ₅・・・・最適見込み角 θ₁ θ₁ θ₂ θ₃ θ₁・・・・が挙げられる。

【００７４】最適見込み角と移動手段の移動量のテーブ
ルとしては、最適見込み角 θ₁ θ₂ θ₃ θ₄ θ₅・・・・移動量ｍ₁ ｍ₂ ｍ₃ ｍ₄ ｍ₅・・・・が挙げられる。

【００７５】本発明では、見込み角を最適角に設定する
設定手段として、上記の測定対象品種の入力により移動
手段の移動量を把握し、該移動量に基づき移動手段（Ｓ
４）を移動することが好ましい態様である。

【００７６】前記移動手段については、図４〜図７で説
明した手段を採用できる。即ち、反射光を集光する過程
に遮光部材を配置し、該遮光部材を移動し固定する構成
を有することである。また前記移動手段が、受光部の
構成部品の全て又はその一部を検査面に対し移動する構
成を有することである。

【００７７】

【発明の効果】本発明によれば、正常な検査面からの光
量と凹凸状等の欠陥がある表面からの光量の差異がでる
ように受光見込み角度を最適値に設定することを可能に
する表面検査方法及び装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】見込み角の定義を明らかにする説明図

【図２】検査面と見込み角の関係を説明する図

【図３】検査面と見込み角の関係を説明する図

【図４】見込み角を最適値に設定できるようにする手段
の一例を示す図

【図５】見込み角を最適値に設定できるようにする手段
の他の例を示す図

【図６】見込み角を最適値に設定できるようにする手段
の他の例を示す図

【図７】見込み角を最適値に設定できるようにする手段
の他の例を示す図

【図８】本発明の見込み角設定装置の一例を示す図

【図９】同上の装置の処理例を示す図

【図１０】見込み角設定装置の制御システム例を示す図

【符号の説明】

１：検査面２、２０：受光部２a、２０a：シリンドリカルレンズ２ｂ：反射帯２ｃ、２０c：光導棒３：光軸４：直交軸５：遮光部材１０：光源Ａ１１：光源Ｂ１２：ハーフミラー１３：反射鏡１４：多面鏡１５：ウエブ１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ：受光素子１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ：フィルター５０：加算回路５１：フィルター回路５２：絶対値回路５３：比較回路５４：欠陥情報生成部５５：比較回路５５５６：幅手方向の位置情報５７：搬送方向の位置情報５８：ＣＲＴ表示５９：プリンター印字６０：電子ファイル

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象の検査面に光源から光を照射し、
反射光を集光し、正常な検査面からの光量と欠陥がある
検査面からの光量との差異を解析して前記検査面の表面
欠陥を検出する表面検査方法において、検査面から集光
できる光の光軸に対する広がり角度である見込み角をパ
ラメータとして採用し、該見込み角を最適角に設定する
ことを特徴とする表面検査方法。
【請求項２】見込み角を最適角に設定する際に、反射光
を集光する過程に遮光部材を用いることを特徴とする請
求項1記載の表面検査方法。
【請求項３】反射光を集光する過程に用いる遮光部材
を、反射光の受光部の構成部品に接触することなく移動
させ最適位置に固定することを特徴とする請求項２記載
の表面検査方法。
【請求項４】反射光を集光する過程に用いる遮光部材
を、反射光の受光部の手前に配置することを特徴とする
請求項３記載の表面検査方法。
【請求項５】反射光を集光する過程に用いる遮光部材
を、反射光の受光部の構成部品の間に配置することを特
徴とする請求項３記載の表面検査方法。
【請求項６】見込み角を最適角に設定する際に、受光部
の構成部品の全て又は一部を検査面に対し移動すること
を特徴とする請求項1記載の表面検査方法。
【請求項７】測定対象の検査面に光を照射する光源と、
反射光を集光する受光部と、正常な検査面からの光量と
欠陥がある検査面からの光量との差異を解析する解析手
段とを有し、検査面の表面欠陥を検出する表面検査装置
において、検査面から集光できる光の光軸に対する広が
り角度である見込み角をパラメータとして採用し、該見
込み角を最適角に設定する設定手段を有することを特徴
とする表面検査装置。
【請求項８】見込み角を最適角に設定する設定手段が、
測定対象品種情報と、測定対象品種と最適見込み角のテ
ーブルと、最適見込み角と移動手段の移動量のテーブル
とを有し、測定対象品種の入力により移動手段の移動量
を把握し、該移動量に基づき移動手段を移動することを
特徴とする請求項７記載の表面検査装置。
【請求項９】移動手段が、反射光を集光する過程に遮光
部材を配置し、該遮光部材を移動し固定する構成を有す
ることを特徴とする請求項７又は８記載の表面検査装
置。
【請求項１０】移動手段が、受光部の構成部品の全て又
は一部を検査面に対し移動する構成を有することを特徴
とする請求項7又は８記載の表面検査装置。
【請求項１１】解析手段が、受光部からの光量を光量信
号に変換する受光素子と、受光素子の光量信号を加算す
る加算回路と、加算された光量信号を微分して欠陥信号
を明瞭化するフィルター回路と、微分された信号を絶対
値に変換する絶対値回路と、絶対値に変換された欠陥信
号を基準値と比較してその比較値より大きい場合欠陥と
認定する比較回路と、比較回路で認定された欠陥信号を
情報として生成する欠陥情報生成部とを有することを特
徴とする請求項７〜１０の何れかに記載の表面検査装
置。
【請求項１２】欠陥情報生成部に、測定対象の幅手方向
の位置情報と、搬送方向の位置情報を含むことを特徴と
する請求項１１記載の表面検査装置。
【請求項１３】欠陥情報生成部で生成された情報が、Ｃ
ＲＴ表示、プリンター印字、電子ファイルに保存の少な
くともいずれか一つが実施されることを特徴とする請求
項１２記載の表面検査装置。