JP2003042883A - 液封型圧力センサ - Google Patents
液封型圧力センサInfo
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- JP2003042883A JP2003042883A JP2001229601A JP2001229601A JP2003042883A JP 2003042883 A JP2003042883 A JP 2003042883A JP 2001229601 A JP2001229601 A JP 2001229601A JP 2001229601 A JP2001229601 A JP 2001229601A JP 2003042883 A JP2003042883 A JP 2003042883A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 厳しい温度環境下でも、高い圧力検出精度
と、優れた安定性、耐久性を示す液封型圧力センサを提
供すること。 【解決手段】 一部壁面をダイヤフラム１４により画定
された密封室１７内のヘッダ部材（ハーメチックガラ
ス）１３にセンサチップ４０が装着され、密封室１７に
オイルが封入され、外部よりダイヤフラム１４に作用す
る圧力が密封室１７のオイルを介してセンサチップ４０
の感圧部に伝えられる液封型圧力センサにおいて、セン
サチップ４０が絶対圧タイプのセンサチップであり、セ
ンサチップ４０のヘッダ部材１３に対する装着を、密封
室１７のオイルとは異種の物質のゲル４５により行う。
と、優れた安定性、耐久性を示す液封型圧力センサを提
供すること。 【解決手段】 一部壁面をダイヤフラム１４により画定
された密封室１７内のヘッダ部材（ハーメチックガラ
ス）１３にセンサチップ４０が装着され、密封室１７に
オイルが封入され、外部よりダイヤフラム１４に作用す
る圧力が密封室１７のオイルを介してセンサチップ４０
の感圧部に伝えられる液封型圧力センサにおいて、セン
サチップ４０が絶対圧タイプのセンサチップであり、セ
ンサチップ４０のヘッダ部材１３に対する装着を、密封
室１７のオイルとは異種の物質のゲル４５により行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液封型圧力セン
サに関し、特に、カーエアコンやビル空調用パッケージ
・エアコンの冷媒圧力センサや、ポンプ用圧力センサ等
として使用される液封型圧力センサのセンサチップの取
付構造に関するものである。
サに関し、特に、カーエアコンやビル空調用パッケージ
・エアコンの冷媒圧力センサや、ポンプ用圧力センサ等
として使用される液封型圧力センサのセンサチップの取
付構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】流体圧検出用の圧力センサとして、一部
壁面をダイヤフラムにより画定された密封室内のヘッダ
部材にセンサチップが装着され、前記密封室に液体が封
入され、外部より前記ダイヤフラムに作用する圧力が前
記密封室の封入液体を介して前記センサチップの感圧部
に伝えられる型式のもの（液封型圧力センサと云う）が
知られている（特開平２−８７２２号公報）。
壁面をダイヤフラムにより画定された密封室内のヘッダ
部材にセンサチップが装着され、前記密封室に液体が封
入され、外部より前記ダイヤフラムに作用する圧力が前
記密封室の封入液体を介して前記センサチップの感圧部
に伝えられる型式のもの（液封型圧力センサと云う）が
知られている（特開平２−８７２２号公報）。
【０００３】圧力センサにおいて重要なことは、センサ
チップとヘッダ部材との熱膨張係数の差による熱的応
力、その他、機械的応力がセンサチップに作用すること
がなく、センサ出力が温度の影響を受けないことであ
る。このことに対して、センサチップのヘッダ部材（基
台等）に対する装着を、シリコンゴム、フッ素エラスト
マ、シリコン系ゲル等による接着によって行い、センサ
チップとヘッダ部材との間の熱的歪を緩和することが行
われている。
チップとヘッダ部材との熱膨張係数の差による熱的応
力、その他、機械的応力がセンサチップに作用すること
がなく、センサ出力が温度の影響を受けないことであ
る。このことに対して、センサチップのヘッダ部材（基
台等）に対する装着を、シリコンゴム、フッ素エラスト
マ、シリコン系ゲル等による接着によって行い、センサ
チップとヘッダ部材との間の熱的歪を緩和することが行
われている。
【０００４】このセンサチップの接着に関する技術は、
特開昭５９−１０２１３１号公報、特開昭５９−１５４
３３２号公報、特開平１０−３３２５０５号公報、特開
平１１−２３３９６号公報、特開平１１−２９５１７２
号公報等に示されている。
特開昭５９−１０２１３１号公報、特開昭５９−１５４
３３２号公報、特開平１０−３３２５０５号公報、特開
平１１−２３３９６号公報、特開平１１−２９５１７２
号公報等に示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】液封型圧力センサで
は、センサ出力が温度の影響を受けないこと、安定性、
耐久性の面から、センサチップのヘッダ部材に対する接
着強度が充分であること、センサチップをヘッダ部材に
対して接着する接着材料と密封室に封入する液体（オイ
ル）とが、相互に、変質劣化の影響を与えることがな
く、両物質相互の化学的安定性に優れていることを要求
される。
は、センサ出力が温度の影響を受けないこと、安定性、
耐久性の面から、センサチップのヘッダ部材に対する接
着強度が充分であること、センサチップをヘッダ部材に
対して接着する接着材料と密封室に封入する液体（オイ
ル）とが、相互に、変質劣化の影響を与えることがな
く、両物質相互の化学的安定性に優れていることを要求
される。
【０００６】この発明は、上述の要求を全て満たし、厳
しい温度環境下でも、高い圧力検出精度と、優れた安定
性、耐久性を示す液封型圧力センサを提供することを目
的としている。
しい温度環境下でも、高い圧力検出精度と、優れた安定
性、耐久性を示す液封型圧力センサを提供することを目
的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明による液封型圧力センサは、一部壁面を
ダイヤフラムにより画定された密封室内のヘッダ部材に
センサチップが装着され、前記密封室に液体が封入さ
れ、外部より前記ダイヤフラムに作用する圧力が前記密
封室の封入液体を介して前記センサチップの感圧部に伝
えられる液封型圧力センサにおいて、前記センサチップ
を絶対圧タイプのセンサチップとし、前記センサチップ
の前記ヘッダ部材に対する装着が、前記密封室の封入液
体とは異種の物質で、前記センサチップの前記感圧部と
は反対側の面部と前記ヘッダ部材のチップ装着面部との
間で層状をなすゲルによる接着により行われている。
めに、この発明による液封型圧力センサは、一部壁面を
ダイヤフラムにより画定された密封室内のヘッダ部材に
センサチップが装着され、前記密封室に液体が封入さ
れ、外部より前記ダイヤフラムに作用する圧力が前記密
封室の封入液体を介して前記センサチップの感圧部に伝
えられる液封型圧力センサにおいて、前記センサチップ
を絶対圧タイプのセンサチップとし、前記センサチップ
の前記ヘッダ部材に対する装着が、前記密封室の封入液
体とは異種の物質で、前記センサチップの前記感圧部と
は反対側の面部と前記ヘッダ部材のチップ装着面部との
間で層状をなすゲルによる接着により行われている。
【０００８】この発明による液封型圧力センサによれ
ば、センサチップが絶対圧タイプのセンサチップである
ことにより、センサチップとヘッダ部材との接着面部に
感知圧力と大気圧との差圧が作用することがないから、
この接着面部における接着強度や気密性が重要視される
ことがなく、ゲルのような柔らかいものによる接着で
も、センサ性能を確保するするために必要な接着強度を
確保でき、ゲルによる接着であるから、ヘッダ部材とセ
ンサチップとの間の機械的応力や熱的応力の吸収緩和が
良好に行われ、優れた圧力検出精度が得られる。封入液
体はゲルとは異種の物質であることにより、長期間の使
用でも、ゲルが封入液体によって膨潤変質することがな
い。
ば、センサチップが絶対圧タイプのセンサチップである
ことにより、センサチップとヘッダ部材との接着面部に
感知圧力と大気圧との差圧が作用することがないから、
この接着面部における接着強度や気密性が重要視される
ことがなく、ゲルのような柔らかいものによる接着で
も、センサ性能を確保するするために必要な接着強度を
確保でき、ゲルによる接着であるから、ヘッダ部材とセ
ンサチップとの間の機械的応力や熱的応力の吸収緩和が
良好に行われ、優れた圧力検出精度が得られる。封入液
体はゲルとは異種の物質であることにより、長期間の使
用でも、ゲルが封入液体によって膨潤変質することがな
い。
【０００９】この封入液体とゲルの組み合わせは、封入
液体がシリコン系オイルで、ゲルがフッ素系ゲル、ある
いは封入液体がフッ素系オイルで、ゲルがシリコン系ゲ
ルがある。
液体がシリコン系オイルで、ゲルがフッ素系ゲル、ある
いは封入液体がフッ素系オイルで、ゲルがシリコン系ゲ
ルがある。
【００１０】この発明による液封型圧力センサでは、前
記センサチップの前記ヘッダ部材に対する装着面部をガ
ラス製台座により構成し、ハーメチックガラス製、ある
いはＦｅ・Ｎｉ系合金製のヘッダ部材を使用することが
でき、ゲルによるセンサチップとヘッダ部材との接着
は、ガラス対ガラス、あるいはガラス対Ｆｅ・Ｎｉ系合
金になり、ゲルによる良好な接着を保証できる。また、
この発明による液封型圧力センサでは、ダイヤフラムは
金属薄膜により構成されており、ダイヤフラムと封入液
体との間の化学的安定性も充分なものになる。
記センサチップの前記ヘッダ部材に対する装着面部をガ
ラス製台座により構成し、ハーメチックガラス製、ある
いはＦｅ・Ｎｉ系合金製のヘッダ部材を使用することが
でき、ゲルによるセンサチップとヘッダ部材との接着
は、ガラス対ガラス、あるいはガラス対Ｆｅ・Ｎｉ系合
金になり、ゲルによる良好な接着を保証できる。また、
この発明による液封型圧力センサでは、ダイヤフラムは
金属薄膜により構成されており、ダイヤフラムと封入液
体との間の化学的安定性も充分なものになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に添付の図を参照してこの発
明の実施の形態を詳細に説明する。
明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１２】図１〜図３はこの発明による液封型圧力セ
ンサの一つの実施の形態を示している。
ンサの一つの実施の形態を示している。
【００１３】液封型圧力センサは、圧力検出エレメント
１０と、継手２０と、コネクタハウジング３０との組立
体により構成されている。
１０と、継手２０と、コネクタハウジング３０との組立
体により構成されている。
【００１４】圧力検出エレメント１０は金属製のエレメ
ント本体１１を有している。エレメント本体１１は中央
部に中央開口１２を穿設されており、中央開口１２には
当該中央開口１２を気密に閉じるようにハーメチックガ
ラス１３が固着されている。圧力検出エレメント１０の
一方の端面（上面）には、ステンレス鋼等の薄膜による
金属ダイヤフラム１４の外周縁部と、その上に重ねた連
通孔１６を有するダイヤフラム保護カバー１５の外周縁
部とが、溶接によって気密に固着されている。
ント本体１１を有している。エレメント本体１１は中央
部に中央開口１２を穿設されており、中央開口１２には
当該中央開口１２を気密に閉じるようにハーメチックガ
ラス１３が固着されている。圧力検出エレメント１０の
一方の端面（上面）には、ステンレス鋼等の薄膜による
金属ダイヤフラム１４の外周縁部と、その上に重ねた連
通孔１６を有するダイヤフラム保護カバー１５の外周縁
部とが、溶接によって気密に固着されている。
【００１５】この構造により、エレメント本体１１の中
央部分において、ハーメチックガラス１３と金属ダイヤ
フラム１４との間に密封室１７が画定される。換言すれ
ば、密封室１７は一部壁面を金属ダイヤフラム１４によ
り画定されている。
央部分において、ハーメチックガラス１３と金属ダイヤ
フラム１４との間に密封室１７が画定される。換言すれ
ば、密封室１７は一部壁面を金属ダイヤフラム１４によ
り画定されている。
【００１６】ハーメチックガラス１３はヘッダ部材をな
し、ハーメチックガラス１３の密封室１７の側の面部
（上面）にはワンチップ構造のセンサチップ４０が装着
されている。
し、ハーメチックガラス１３の密封室１７の側の面部
（上面）にはワンチップ構造のセンサチップ４０が装着
されている。
【００１７】センサチップ４０は、密封室１７内にあ
り、図３に示されているように、非ゲージ面側にエッチ
ングによってダイヤフラム部４２を作られたシリコン基
板４１とガラス台座４３とを真空雰囲気で陽極接合して
真空室４４を形成するワンチップ構造のものであり、真
空圧を基準にしてダイヤフラム部４２に加えられた圧力
分相応の電気的な撓み信号を発生する絶対圧タイプにな
っている。
り、図３に示されているように、非ゲージ面側にエッチ
ングによってダイヤフラム部４２を作られたシリコン基
板４１とガラス台座４３とを真空雰囲気で陽極接合して
真空室４４を形成するワンチップ構造のものであり、真
空圧を基準にしてダイヤフラム部４２に加えられた圧力
分相応の電気的な撓み信号を発生する絶対圧タイプにな
っている。
【００１８】センサチップ４０のハーメチックガラス１
３に対する装着は、センサチップ４０の感圧部であるダ
イヤフラム部４２とは反対側の面部、すなわち、ガラス
台座４３の底面により与えられる面部４０Ａとヘッダ部
材をなすハーメチックガラス１３のチップ装着面部１３
Ａとの間で均一層状をなすゲル４５による接着（粘着）
により行われる。この場合、ゲル４５によるセンサチッ
プ４０とヘッダ部材（ハーメチックガラス１３）との接
着は、ガラス対ガラスとなる。
３に対する装着は、センサチップ４０の感圧部であるダ
イヤフラム部４２とは反対側の面部、すなわち、ガラス
台座４３の底面により与えられる面部４０Ａとヘッダ部
材をなすハーメチックガラス１３のチップ装着面部１３
Ａとの間で均一層状をなすゲル４５による接着（粘着）
により行われる。この場合、ゲル４５によるセンサチッ
プ４０とヘッダ部材（ハーメチックガラス１３）との接
着は、ガラス対ガラスとなる。
【００１９】ゲル４５は、フッ素系やシリコン系のもの
であり、センサ性能を確保をするために必要な接着強度
と、センサチップ実装のワイヤボンド時に必要なチップ
保持力を確保し、ハーメチックガラス１３とセンサチッ
プ４０との間の機械的応力や熱的応力の吸収緩和が良好
に行われる柔軟性とを兼ね備えた硬度に設定されてい
る。ゲルの硬度は、計測針をゲルに差し込み、それの深
入度（針入度）より計測いることができ、この場合の針
入度は７０程度であればよい。
であり、センサ性能を確保をするために必要な接着強度
と、センサチップ実装のワイヤボンド時に必要なチップ
保持力を確保し、ハーメチックガラス１３とセンサチッ
プ４０との間の機械的応力や熱的応力の吸収緩和が良好
に行われる柔軟性とを兼ね備えた硬度に設定されてい
る。ゲルの硬度は、計測針をゲルに差し込み、それの深
入度（針入度）より計測いることができ、この場合の針
入度は７０程度であればよい。
【００２０】ハーメチックガラス１３には、センサチッ
プ４０に対する信号の入出力等を行うための複数個のリ
ードピン１８と、オイル充填用パイプ１９が、各々、貫
通状態で、ハーメチック処理により固定されている。リ
ードピン１８は、図示されていない金製あるいはアルミ
ニウム製のワイヤ（図示省略）によってセンサチップ４
０と導通接続される。
プ４０に対する信号の入出力等を行うための複数個のリ
ードピン１８と、オイル充填用パイプ１９が、各々、貫
通状態で、ハーメチック処理により固定されている。リ
ードピン１８は、図示されていない金製あるいはアルミ
ニウム製のワイヤ（図示省略）によってセンサチップ４
０と導通接続される。
【００２１】オイル充填用パイプ１９は、密封室１７に
封入液体を充填する充填口として使用され、充填完了後
に外側のパイプ先端１９ａをつぶし密着され（図１参
照）、その部分を溶接することにより、オイルを密封室
１７に封止する。
封入液体を充填する充填口として使用され、充填完了後
に外側のパイプ先端１９ａをつぶし密着され（図１参
照）、その部分を溶接することにより、オイルを密封室
１７に封止する。
【００２２】密封室１７に封入する液体としては、シリ
コン系オイル、フッ素系オイル等がある。ここで、重要
なことは、密封室１７の封入液体によってゲル４５が膨
潤変質しないよう、密封室１７の封入液体の材質はゲル
４５とは異種のものが選ばれていることである。換言す
れば、ゲル４５は密封室１７の封入液体とは異種物質に
より構成される。この封入液体とゲル４５の組み合わせ
は、封入液体がシリコン系オイルであると、ゲル４５が
フッ素系ゲル、封入液体がフッ素系オイルであると、ゲ
ル４５がシリコン系ゲルとなる。
コン系オイル、フッ素系オイル等がある。ここで、重要
なことは、密封室１７の封入液体によってゲル４５が膨
潤変質しないよう、密封室１７の封入液体の材質はゲル
４５とは異種のものが選ばれていることである。換言す
れば、ゲル４５は密封室１７の封入液体とは異種物質に
より構成される。この封入液体とゲル４５の組み合わせ
は、封入液体がシリコン系オイルであると、ゲル４５が
フッ素系ゲル、封入液体がフッ素系オイルであると、ゲ
ル４５がシリコン系ゲルとなる。
【００２３】なお、継手２０は、ニップル状をなし、金
属ダイヤフラム１４に流体圧を導くための被測定流体圧
通路２１を形成していると共に、液封型圧力センサ取付
用のねじ部２２を有している。また、コネクタハウジン
グ３０には接続端子３１が設けられており、接続端子３
１は内部配置のフレキシブル接続材３２によってリード
ピン１８と導通接続されている。
属ダイヤフラム１４に流体圧を導くための被測定流体圧
通路２１を形成していると共に、液封型圧力センサ取付
用のねじ部２２を有している。また、コネクタハウジン
グ３０には接続端子３１が設けられており、接続端子３
１は内部配置のフレキシブル接続材３２によってリード
ピン１８と導通接続されている。
【００２４】上述の構成による液封型圧力センサでは、
被測定流体圧通路２１よりダイヤフラム１４に作用する
圧力が密封室１７の封入液体を介してセンサチップ４０
のダイヤフラム部４２に伝えられ、真空室４４の真空圧
を基準にしてダイヤフラム部４２に加えられた圧力分相
応の電気的な撓み信号を発生するから、センサチップ４
０とハーメチックガラス１３との接着面部（４０Ａ−１
３Ａ）に感知圧力と大気圧との差圧が作用することがな
く、この接着面部における接着強度や気密性が重要視さ
れることがない。
被測定流体圧通路２１よりダイヤフラム１４に作用する
圧力が密封室１７の封入液体を介してセンサチップ４０
のダイヤフラム部４２に伝えられ、真空室４４の真空圧
を基準にしてダイヤフラム部４２に加えられた圧力分相
応の電気的な撓み信号を発生するから、センサチップ４
０とハーメチックガラス１３との接着面部（４０Ａ−１
３Ａ）に感知圧力と大気圧との差圧が作用することがな
く、この接着面部における接着強度や気密性が重要視さ
れることがない。
【００２５】このこと、すなわち、センサチップ４０を
絶対圧タイプに特定することで、ゲル４５のような柔ら
かいものによる接着でも、接着層が薄くても（１０μｍ
ｍ以下）、センサ性能を確保するするために必要な接着
強度を確保できると云うことと、ゲル４５による柔軟性
がある接着であることから、ハーメチックガラス１３と
センサチップ４０との間の機械的応力や熱的応力の吸収
緩和が良好に行われ、優れた圧力検出精度が得られると
云うこととが両立する。
絶対圧タイプに特定することで、ゲル４５のような柔ら
かいものによる接着でも、接着層が薄くても（１０μｍ
ｍ以下）、センサ性能を確保するするために必要な接着
強度を確保できると云うことと、ゲル４５による柔軟性
がある接着であることから、ハーメチックガラス１３と
センサチップ４０との間の機械的応力や熱的応力の吸収
緩和が良好に行われ、優れた圧力検出精度が得られると
云うこととが両立する。
【００２６】また、密封室１７の封入液体がゲル４５と
は異種の物質であることにより、長期間の使用でも、ゲ
ルが封入液体によって膨潤変質することがなく、優れた
安定性、耐久性が得られる。また、ダイヤフラム１４が
金属薄膜により構成されているから、ダイヤフラム１４
が密封室１７のシリコン系オイルやフッ素系オイル等の
封入液体によって変質劣化することもなく、このことに
よっても優れた安定性、耐久性が得られる。
は異種の物質であることにより、長期間の使用でも、ゲ
ルが封入液体によって膨潤変質することがなく、優れた
安定性、耐久性が得られる。また、ダイヤフラム１４が
金属薄膜により構成されているから、ダイヤフラム１４
が密封室１７のシリコン系オイルやフッ素系オイル等の
封入液体によって変質劣化することもなく、このことに
よっても優れた安定性、耐久性が得られる。
【００２７】図４はこの発明による液封型圧力センサの
他の実施の形態を示している。この実施の形態では、ハ
ーメチックガラス１３の中央部にガラスあるいはＦｅ・
Ｎｉ合金製の支柱５０がはめ込み固定されており、支柱
５０の上面５０Ａにゲル４５によって絶対圧タイプのセ
ンサチップ４０が接着されている。
他の実施の形態を示している。この実施の形態では、ハ
ーメチックガラス１３の中央部にガラスあるいはＦｅ・
Ｎｉ合金製の支柱５０がはめ込み固定されており、支柱
５０の上面５０Ａにゲル４５によって絶対圧タイプのセ
ンサチップ４０が接着されている。
【００２８】センサチップ４０がハーメチックガラス１
３に直接に接着されていることに代えて、センサチップ
４０がヘッダ部材をなす支柱５０に接着されていること
以外は、全て上述の実施の形態と同じである。なお、こ
の場合、ゲル４５によるセンサチップ４０とヘッダ部材
（支柱５０）との接着は、ガラス対ガラス、あるいはガ
ラス対Ｆｅ・Ｎｉ合金となる。
３に直接に接着されていることに代えて、センサチップ
４０がヘッダ部材をなす支柱５０に接着されていること
以外は、全て上述の実施の形態と同じである。なお、こ
の場合、ゲル４５によるセンサチップ４０とヘッダ部材
（支柱５０）との接着は、ガラス対ガラス、あるいはガ
ラス対Ｆｅ・Ｎｉ合金となる。
【００２９】したがって、この実施の形態でも、上述し
た実施の形態と同様の効果が得られる。
た実施の形態と同様の効果が得られる。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明から理解される如く、この発
明による液封型圧力センサによれば、センサ出力が温度
の影響を受けないこと、安定性、耐久性の面から、セン
サチップのヘッダ部材に対する接着強度が充分であるこ
と、センサチップをヘッダ部材に対して接着する接着材
料と密封室に封入する液体とが、相互に、変質劣化の影
響を与えることがなく、両物質相互の化学的安定性に優
れていることの全ての要求を満たし、厳しい温度環境下
でも、高い圧力検出精度と、優れた安定性、耐久性が得
られる。
明による液封型圧力センサによれば、センサ出力が温度
の影響を受けないこと、安定性、耐久性の面から、セン
サチップのヘッダ部材に対する接着強度が充分であるこ
と、センサチップをヘッダ部材に対して接着する接着材
料と密封室に封入する液体とが、相互に、変質劣化の影
響を与えることがなく、両物質相互の化学的安定性に優
れていることの全ての要求を満たし、厳しい温度環境下
でも、高い圧力検出精度と、優れた安定性、耐久性が得
られる。
【図１】この発明による液封型圧力センサの一つの実施
の形態を示す断面図である。
の形態を示す断面図である。
【図２】この発明による液封型圧力センサの圧力検出エ
レメントの一つの実施の形態を示す拡大断面図である。
レメントの一つの実施の形態を示す拡大断面図である。
【図３】この発明による液封型圧力センサのセンサチッ
プ部分まの拡大断面図である。
プ部分まの拡大断面図である。
【図４】この発明による液封型圧力センサの圧力検出エ
レメントの他の実施の形態を示す拡大断面図である。
レメントの他の実施の形態を示す拡大断面図である。
１０ 圧力検出エレメント
１１ エレメント本体
１３ ハーメチックガラス
１４ 金属ダイヤフラム
１５ ダイヤフラム保護カバー
１７ 密封室
２０ 継手
２１ 被測定流体圧通路
３０ コネクタハウジング
３１ 端子
４０ センサチップ
４１ シリコーン基板
４２ ダイヤフラム部
４３ ガラス台座
４４ 真空室
４５ ゲル
５０ 支柱
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 木村 裕次
埼玉県所沢市青葉台1311 株式会社鷺宮製
作所所沢事業所内
(72)発明者 鈴木 和重
埼玉県所沢市青葉台1311 株式会社鷺宮製
作所所沢事業所内
(72)発明者 渡辺 肇
埼玉県所沢市青葉台1311 株式会社鷺宮製
作所所沢事業所内
(72)発明者 黒沢 美津男
埼玉県所沢市青葉台1311 株式会社鷺宮製
作所所沢事業所内
Ｆターム(参考） 2F055 AA40 BB01 CC02 DD05 EE13
FF01 FF43 GG14 GG22
Claims (6)
- 【請求項１】 一部壁面をダイヤフラムにより画定され
た密封室内のヘッダ部材にセンサチップが装着され、前
記密封室に液体が封入され、外部より前記ダイヤフラム
に作用する圧力が前記密封室の封入液体を介して前記セ
ンサチップの感圧部に伝えられる液封型圧力センサにお
いて、 前記センサチップを絶対圧タイプのセンサチップとし、
前記センサチップの前記ヘッダ部材に対する装着が、前
記密封室の封入液体とは異種の物質で、前記センサチッ
プの前記感圧部とは反対側の面部と前記ヘッダ部材のチ
ップ装着面部との間で層状をなすゲルによる接着により
行われていることを特徴とする液封型圧力センサ。 - 【請求項２】 前記密封室の封入液体がシリコン系オイ
ルで、前記ゲルがフッ素系ゲルであることを特徴とする
請求項１記載の液封型圧力センサ。 - 【請求項３】 前記密封室の封入液体がフッ素系オイル
で、前記ゲルがシリコン系ゲルであることを特徴とする
請求項１記載の液封型圧力センサ。 - 【請求項４】 前記センサチップの前記ヘッダ部材に対
する装着面部がガラス製台座により構成され、前記ヘッ
ダ部材がハーメチックガラス製である特徴とする請求項
１〜３の何れか１項記載の液封型圧力センサ。 - 【請求項５】 前記センサチップの前記ヘッダ部材に対
する装着面部がガラス製台座により構成され、前記ヘッ
ダ部材がＦｅ・Ｎｉ系合金製であること特徴とする請求
項１〜３の何れか１項記載の液封型圧力センサ。 - 【請求項６】 ダイヤフラムは金属薄膜により構成され
ていること特徴とする請求項１〜５の何れか１項記載の
液封型圧力センサ。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001229601A JP2003042883A (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 液封型圧力センサ |
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| JP2001229601A JP2003042883A (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 液封型圧力センサ |
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|---|---|
| JP2003042883A true JP2003042883A (ja) | 2003-02-13 |
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ID=19061930
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2001229601A Pending JP2003042883A (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 液封型圧力センサ |
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