JP2003017982A - バルク波キャンセル型弾性表面波装置 - Google Patents
バルク波キャンセル型弾性表面波装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】バルク波によるスプリアスを抑制した弾性表面
波装置を提供する。 【解決手段】弾性表面波の伝搬方向に沿って櫛歯状電極
を互いに交互させて構成した入力側ＩＤＴ（１または
３）および出力側ＩＤＴ（２または４）を１組のフィル
タ（５または６）として、同様な構成のフィルタを少な
くとも２組分並列接続したものを、圧電性基板（９）上
に設ける。この弾性表面波装置において、２組分のフィ
ルタ（５、６）を互いに振幅特性は同じで位相関係が逆
相関係となるように配置し、２組分の一方の組（５）は
励振されるが他方の組（６）は実質的に励振されないよ
うに構成する。そのために、例えば他方の組（６）のＩ
ＤＴ（３、４）上を吸音剤（７）で覆う。
波装置を提供する。 【解決手段】弾性表面波の伝搬方向に沿って櫛歯状電極
を互いに交互させて構成した入力側ＩＤＴ（１または
３）および出力側ＩＤＴ（２または４）を１組のフィル
タ（５または６）として、同様な構成のフィルタを少な
くとも２組分並列接続したものを、圧電性基板（９）上
に設ける。この弾性表面波装置において、２組分のフィ
ルタ（５、６）を互いに振幅特性は同じで位相関係が逆
相関係となるように配置し、２組分の一方の組（５）は
励振されるが他方の組（６）は実質的に励振されないよ
うに構成する。そのために、例えば他方の組（６）のＩ
ＤＴ（３、４）上を吸音剤（７）で覆う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、弾性表面波装置
の改良に関する。とくに、バルク波によるスプリアスを
抑制した弾性表面波フィルタ装置に関する。
の改良に関する。とくに、バルク波によるスプリアスを
抑制した弾性表面波フィルタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波フィルタ装置（surface acou
stic wave filter device；ＳＡＷフィルタとも称され
る）は、圧電性基板に櫛歯状電極（インターデジタル変
換器；略してＩＤＴ）を形成することで構成されてい
る。この弾性表面波フィルタ装置は、受動素子であるた
め電源がなくても動作でき、また小型・軽量であること
から、電子部品の高密度実装が求められる携帯電話など
でよく用いられている。
stic wave filter device；ＳＡＷフィルタとも称され
る）は、圧電性基板に櫛歯状電極（インターデジタル変
換器；略してＩＤＴ）を形成することで構成されてい
る。この弾性表面波フィルタ装置は、受動素子であるた
め電源がなくても動作でき、また小型・軽量であること
から、電子部品の高密度実装が求められる携帯電話など
でよく用いられている。
【０００３】弾性表面波フィルタ装置のＩＤＴとして
は、櫛歯状電極の電極指交叉長が一定の正規型ＩＤＴ、
櫛歯状電極の電極指交叉長を変えて重み付けしたアポタ
イズ型ＩＤＴ、あるいは櫛歯状電極の交叉電極指を間引
いて重み付けした間引き重み付け型ＩＤＴがある。正規
型ＩＤＴおよびアポタイズ型ＩＤＴについては、例えば
特公昭６３−０６３１２８号公報に開示されている。ま
た、間引き重み付け型ＩＤＴについては、例えば特開昭
５５−００３２８１号公報に開示されている。
は、櫛歯状電極の電極指交叉長が一定の正規型ＩＤＴ、
櫛歯状電極の電極指交叉長を変えて重み付けしたアポタ
イズ型ＩＤＴ、あるいは櫛歯状電極の交叉電極指を間引
いて重み付けした間引き重み付け型ＩＤＴがある。正規
型ＩＤＴおよびアポタイズ型ＩＤＴについては、例えば
特公昭６３−０６３１２８号公報に開示されている。ま
た、間引き重み付け型ＩＤＴについては、例えば特開昭
５５−００３２８１号公報に開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】弾性表面波フィルタ装
置は圧電性基板の表面に沿って伝搬する弾性表面波を用
いるが、実際の弾性表面波フィルタ装置では、弾性表面
波の他に圧電性基板内部を伝搬するバルク波も励振され
る。このバルク波が例えば圧電性基板の裏面で反射して
出力側ＩＤＴに伝搬すると、図４に示すように、フィル
タの中心周波数より高域側に大きなスプリアス１２が発
生する。
置は圧電性基板の表面に沿って伝搬する弾性表面波を用
いるが、実際の弾性表面波フィルタ装置では、弾性表面
波の他に圧電性基板内部を伝搬するバルク波も励振され
る。このバルク波が例えば圧電性基板の裏面で反射して
出力側ＩＤＴに伝搬すると、図４に示すように、フィル
タの中心周波数より高域側に大きなスプリアス１２が発
生する。
【０００５】このようなスプリアスを抑制する方法とし
て、次の２つの方法が考えられる。すなわち、第１の方
法は、裏面を粗した圧電性基板を用いてバルク波の裏面
反射を散乱させ、バルク波スプリアスを抑制する方法で
あり、第２の方法は、圧電性基板の裏面に吸音剤を塗布
して裏面反射するバルク波を吸音剤で吸収し、バルク波
スプリアスを抑制する方法である。しかし、これらの方
法を用いても、バルク波によるスプリアスを十分に抑制
することができない場合がある。例えば、基板表面の近
傍を伝搬するバルク波は、基板裏面側での散乱処理や吸
音処理では対応し切れない。
て、次の２つの方法が考えられる。すなわち、第１の方
法は、裏面を粗した圧電性基板を用いてバルク波の裏面
反射を散乱させ、バルク波スプリアスを抑制する方法で
あり、第２の方法は、圧電性基板の裏面に吸音剤を塗布
して裏面反射するバルク波を吸音剤で吸収し、バルク波
スプリアスを抑制する方法である。しかし、これらの方
法を用いても、バルク波によるスプリアスを十分に抑制
することができない場合がある。例えば、基板表面の近
傍を伝搬するバルク波は、基板裏面側での散乱処理や吸
音処理では対応し切れない。
【０００６】この発明は上記事情に鑑みなされたもの
で、その目的は、バルク波によるスプリアスを効果的に
抑制できる構成を持った、弾性表面波装置を提供するこ
とである。
で、その目的は、バルク波によるスプリアスを効果的に
抑制できる構成を持った、弾性表面波装置を提供するこ
とである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明に係る弾性表面波装置は、弾性表面波の伝
搬方向に沿って櫛歯状電極を互いに交互させて構成した
入力側インターデジタル変換器（１または３）および出
力側インターデジタル変換器（２または４）を１組のフ
ィルタ（５または６）として、同様な構成のフィルタを
少なくとも２組分並列接続したものを、圧電性基板
（９）上に備えている。
に、この発明に係る弾性表面波装置は、弾性表面波の伝
搬方向に沿って櫛歯状電極を互いに交互させて構成した
入力側インターデジタル変換器（１または３）および出
力側インターデジタル変換器（２または４）を１組のフ
ィルタ（５または６）として、同様な構成のフィルタを
少なくとも２組分並列接続したものを、圧電性基板
（９）上に備えている。
【０００８】この弾性表面波装置において、前記２組分
のフィルタ（５、６）を互いに振幅特性は同じで位相関
係が逆相関係となるように配置し、前記２組分の一方の
組（６）の入出力インターデジタル変換器の間で伝搬す
る弾性表面波の減衰が他方の組（５）に比べて大きくな
るように構成している。
のフィルタ（５、６）を互いに振幅特性は同じで位相関
係が逆相関係となるように配置し、前記２組分の一方の
組（６）の入出力インターデジタル変換器の間で伝搬す
る弾性表面波の減衰が他方の組（５）に比べて大きくな
るように構成している。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の一実施の形態に係るバルク波キャンセル型弾性表面波
装置を説明する。
の一実施の形態に係るバルク波キャンセル型弾性表面波
装置を説明する。
【００１０】図１は、この発明の一実施の形態に係る弾
性表面波フィルタ装置の構成を説明する図である。以下
の説明において、弾性表面波フィルタを構成する櫛歯状
電極（１〜４、１３、１４）を、適宜、インターデジタ
ル変換器（略してＩＤＴ）と呼ぶことにする。
性表面波フィルタ装置の構成を説明する図である。以下
の説明において、弾性表面波フィルタを構成する櫛歯状
電極（１〜４、１３、１４）を、適宜、インターデジタ
ル変換器（略してＩＤＴ）と呼ぶことにする。
【００１１】図１の弾性表面波フィルタ装置は、圧電性
基板９上に第１フィルタ５および第２フィルタ６を備え
ている。この弾性表面波フィルタ装置において、圧電性
基板９は、例えば四ほう酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）
あるいはタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）で作るこ
とができる。この基板９上に、例えばアルミニウム合金
あるいは銅合金からなる櫛歯状電極（ＩＤＴ）１〜４が
形成される。
基板９上に第１フィルタ５および第２フィルタ６を備え
ている。この弾性表面波フィルタ装置において、圧電性
基板９は、例えば四ほう酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）
あるいはタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）で作るこ
とができる。この基板９上に、例えばアルミニウム合金
あるいは銅合金からなる櫛歯状電極（ＩＤＴ）１〜４が
形成される。
【００１２】第１フィルタ５は入力ＩＤＴ１および出力
ＩＤＴ２からなり、入力ＩＤＴ１と出力ＩＤＴ２は所定
の間隔Ｌを置いて配置されている。同様に、第２フィル
タ６は入力ＩＤＴ３および出力ＩＤＴ４からなり、入力
ＩＤＴ３と出力ＩＤＴ４は所定の間隔Ｌを置いて配置さ
れている。ここで、第１フィルタ５および第２フィルタ
６は、電極指ピッチ、電極指線幅、開口長（電極指の実
質的交叉長）、電極指対数などのパターン形状が略同じ
となるように形成される。
ＩＤＴ２からなり、入力ＩＤＴ１と出力ＩＤＴ２は所定
の間隔Ｌを置いて配置されている。同様に、第２フィル
タ６は入力ＩＤＴ３および出力ＩＤＴ４からなり、入力
ＩＤＴ３と出力ＩＤＴ４は所定の間隔Ｌを置いて配置さ
れている。ここで、第１フィルタ５および第２フィルタ
６は、電極指ピッチ、電極指線幅、開口長（電極指の実
質的交叉長）、電極指対数などのパターン形状が略同じ
となるように形成される。
【００１３】第１フィルタ５と第２フィルタ６は並列接
続されている。並列接続されたＩＤＴ１およびＩＤＴ３
の一端は入力端子Ｔ１０に接続され、その他端は入力端
子Ｔ１１に接続されている。また、並列接続されたＩＤ
Ｔ２およびＩＤＴ４の一端は出力端子Ｔ２０に接続さ
れ、その他端は出力端子Ｔ２１に接続されている。
続されている。並列接続されたＩＤＴ１およびＩＤＴ３
の一端は入力端子Ｔ１０に接続され、その他端は入力端
子Ｔ１１に接続されている。また、並列接続されたＩＤ
Ｔ２およびＩＤＴ４の一端は出力端子Ｔ２０に接続さ
れ、その他端は出力端子Ｔ２１に接続されている。
【００１４】並列接続された２組のフィルタ５、６の一
方（ここでは第２フィルタ６側）のＩＤＴ３およびＩＤ
Ｔ４は、吸音剤７で覆われる。この吸音剤７は、第２フ
ィルタ６のＩＤＴ３およびＩＤＴ４を制振する（励振さ
れないようにする）手段として用いられている。図１の
実施の形態では、その他に、２組のフィルタ５、６の左
右（入力側と出力側）の外側に吸音剤８を配置してい
る。この吸音剤８は、２組のフィルタ５、６の左右外側
に伝搬し基板９の左右両端で反射してくる弾性表面波を
抑制することを主目的として、設けられている。吸音剤
７、８としては、例えばワニス樹脂を用い、ＩＤＴ（あ
るいは基板９）上に付着させた後、およそ２００℃で約
１時間熱処理したものを採用できる。
方（ここでは第２フィルタ６側）のＩＤＴ３およびＩＤ
Ｔ４は、吸音剤７で覆われる。この吸音剤７は、第２フ
ィルタ６のＩＤＴ３およびＩＤＴ４を制振する（励振さ
れないようにする）手段として用いられている。図１の
実施の形態では、その他に、２組のフィルタ５、６の左
右（入力側と出力側）の外側に吸音剤８を配置してい
る。この吸音剤８は、２組のフィルタ５、６の左右外側
に伝搬し基板９の左右両端で反射してくる弾性表面波を
抑制することを主目的として、設けられている。吸音剤
７、８としては、例えばワニス樹脂を用い、ＩＤＴ（あ
るいは基板９）上に付着させた後、およそ２００℃で約
１時間熱処理したものを採用できる。
【００１５】第１フィルタ５と第２フィルタ６のＩＤＴ
は、パターン形状は等しく位相関係が逆相となってい
る。この逆相の位相関係を得るため、図１の実施の形態
では、第１フィルタ５の出力側ＩＤＴ２に対して、第２
フィルタ６の出力側ＩＤＴ４電極指パターンを上下反転
（つまり極性反転）させて配置している。
は、パターン形状は等しく位相関係が逆相となってい
る。この逆相の位相関係を得るため、図１の実施の形態
では、第１フィルタ５の出力側ＩＤＴ２に対して、第２
フィルタ６の出力側ＩＤＴ４電極指パターンを上下反転
（つまり極性反転）させて配置している。
【００１６】図１の実施の形態では、第１フィルタ５と
第２フィルタ６の振幅特性は同等としつつ位相関係を逆
相としている。このため、第１フィルタ５で発生するバ
ルク波スプリアスによるフィルタ出力と第２フィルタ６
で発生するバルク波スプリアスによるフィルタ出力とが
打ち消しあう（第２フィルタ６上の吸音剤７は弾性表面
波に対しては吸音効果を持つが、基板裏面側に向かうス
プリアス振動成分に対しては殆ど吸音効果を持たな
い）。
第２フィルタ６の振幅特性は同等としつつ位相関係を逆
相としている。このため、第１フィルタ５で発生するバ
ルク波スプリアスによるフィルタ出力と第２フィルタ６
で発生するバルク波スプリアスによるフィルタ出力とが
打ち消しあう（第２フィルタ６上の吸音剤７は弾性表面
波に対しては吸音効果を持つが、基板裏面側に向かうス
プリアス振動成分に対しては殆ど吸音効果を持たな
い）。
【００１７】これに対し、第２フィルタ６のＩＤＴ部分
は吸音剤７で覆われているので、第２フィルタ６の入力
ＩＤＴ３から出力ＩＤＴ４に向かう弾性表面波成分は大
きく減衰する。このため、スプリアス成分を除く本信号
成分に関しては、第１フィルタ５の出力ＩＤＴ２から取
り出されるフィルタ出力が第２フィルタ６の出力ＩＤＴ
４から取り出される逆相出力により打ち消されることは
殆どない。
は吸音剤７で覆われているので、第２フィルタ６の入力
ＩＤＴ３から出力ＩＤＴ４に向かう弾性表面波成分は大
きく減衰する。このため、スプリアス成分を除く本信号
成分に関しては、第１フィルタ５の出力ＩＤＴ２から取
り出されるフィルタ出力が第２フィルタ６の出力ＩＤＴ
４から取り出される逆相出力により打ち消されることは
殆どない。
【００１８】したがって、本信号成分に関しては本来の
フィルタ機能を発揮しつつ、バルク波によるスプリアス
成分が効果的に抑制された弾性表面波装置を得ることが
できる。
フィルタ機能を発揮しつつ、バルク波によるスプリアス
成分が効果的に抑制された弾性表面波装置を得ることが
できる。
【００１９】なお、図１の実施の形態ではＩＤＴ４の電
極指パターンを上下反転させているが、上記逆相関係を
得る目的からは、上下反転配置するＩＤＴは、４つのＩ
ＤＴ１〜ＩＤＴ４のうちのどの１つでもよい。
極指パターンを上下反転させているが、上記逆相関係を
得る目的からは、上下反転配置するＩＤＴは、４つのＩ
ＤＴ１〜ＩＤＴ４のうちのどの１つでもよい。
【００２０】図２は、この発明の他の実施の形態に係る
弾性表面波フィルタ装置の構成を説明する図である。図
２の弾性表面波フィルタ装置は、第２フィルタ１６の構
成が、図１の弾性表面波フィルタ装置の第２フィルタ６
と異なっている。この点を除き、図１の装置と図２の装
置は同じであるため、重複部分の説明は省略する。
弾性表面波フィルタ装置の構成を説明する図である。図
２の弾性表面波フィルタ装置は、第２フィルタ１６の構
成が、図１の弾性表面波フィルタ装置の第２フィルタ６
と異なっている。この点を除き、図１の装置と図２の装
置は同じであるため、重複部分の説明は省略する。
【００２１】図２の弾性表面波フィルタ装置において、
第２フィルタ１６は入力ＩＤＴ１３および出力ＩＤＴ１
４からなり、入力ＩＤＴ１３と出力ＩＤＴ１４は所定の
間隔Ｌ±λ／２を置いて配置されている。
第２フィルタ１６は入力ＩＤＴ１３および出力ＩＤＴ１
４からなり、入力ＩＤＴ１３と出力ＩＤＴ１４は所定の
間隔Ｌ±λ／２を置いて配置されている。
【００２２】第１フィルタ５と第２フィルタ１６は、構
成はほぼ等しく位相関係が逆相となっている。この逆相
の位相関係を得るため、図２の実施の形態では、第１フ
ィルタ５の入力側ＩＤＴ１と出力側ＩＤＴ２との間隔Ｌ
に対して、第２フィルタ１６の入力側ＩＤＴ１３と出力
側ＩＤＴ１４との間隔を、Ｌ±λ／２としている（λは
弾性表面波フィルタ装置の中心周波数における波長であ
る）。間隔Ｌを±λ／２だけ変えるということは、間隔
Ｌを伝搬する弾性表面波の位相に対して、間隔Ｌ＋λ／
２または間隔Ｌ−λ／２を伝搬する弾性表面波の位相
を、逆相（位相差１８０゜）にすることを意味する。
成はほぼ等しく位相関係が逆相となっている。この逆相
の位相関係を得るため、図２の実施の形態では、第１フ
ィルタ５の入力側ＩＤＴ１と出力側ＩＤＴ２との間隔Ｌ
に対して、第２フィルタ１６の入力側ＩＤＴ１３と出力
側ＩＤＴ１４との間隔を、Ｌ±λ／２としている（λは
弾性表面波フィルタ装置の中心周波数における波長であ
る）。間隔Ｌを±λ／２だけ変えるということは、間隔
Ｌを伝搬する弾性表面波の位相に対して、間隔Ｌ＋λ／
２または間隔Ｌ−λ／２を伝搬する弾性表面波の位相
を、逆相（位相差１８０゜）にすることを意味する。
【００２３】図１の実施の形態では「ＩＤＴ４の電極指
パターンを上下反転させる」ことで逆相関係を得ている
が、図２の実施の形態では「ＩＤＴ１４の電極指パター
ンを上下反転させる」は行わず、「ＩＤＴ１３とＩＤＴ
１４の間隔Ｌを±λ／２だけ変える」ことで逆相関係を
得ている。
パターンを上下反転させる」ことで逆相関係を得ている
が、図２の実施の形態では「ＩＤＴ１４の電極指パター
ンを上下反転させる」は行わず、「ＩＤＴ１３とＩＤＴ
１４の間隔Ｌを±λ／２だけ変える」ことで逆相関係を
得ている。
【００２４】いま仮に、基板９を伝搬する弾性表面波の
速度を４０００ｍ／ｓとし、弾性表面波フィルタ装置の
中心周波数を１ＧＨｚとすると、λは４μｍとなる。間
隔Ｌを仮に１６μｍとすれば、Ｌ±λ／２は１４μｍあ
るいは１８μｍとなる。
速度を４０００ｍ／ｓとし、弾性表面波フィルタ装置の
中心周波数を１ＧＨｚとすると、λは４μｍとなる。間
隔Ｌを仮に１６μｍとすれば、Ｌ±λ／２は１４μｍあ
るいは１８μｍとなる。
【００２５】なお、図２の実施の形態では第１フィルタ
５のＩＤＴ間隔をＬとし第２フィルタ１６のＩＤＴ間隔
をＬ±λ／２としているが、その逆に、第２フィルタ１
６のＩＤＴ間隔をＬとし第１フィルタ５のＩＤＴ間隔を
Ｌ±λ／２としてもよい。
５のＩＤＴ間隔をＬとし第２フィルタ１６のＩＤＴ間隔
をＬ±λ／２としているが、その逆に、第２フィルタ１
６のＩＤＴ間隔をＬとし第１フィルタ５のＩＤＴ間隔を
Ｌ±λ／２としてもよい。
【００２６】図１または図２の実施の形態において、第
１フィルタ５および／または第２フィルタ６、１６に含
まれるＩＤＴは、電極指交叉長が一定のインターデジタ
ル変換器（正規型）あるいは電極指交叉長を変えて重み
付けしたインターデジタル変換器（アポタイズ型）ある
いは交叉電極指を間引いて重み付けしたインターデジタ
ル変換器（間引き重み付け型）により構成することがで
きる。
１フィルタ５および／または第２フィルタ６、１６に含
まれるＩＤＴは、電極指交叉長が一定のインターデジタ
ル変換器（正規型）あるいは電極指交叉長を変えて重み
付けしたインターデジタル変換器（アポタイズ型）ある
いは交叉電極指を間引いて重み付けしたインターデジタ
ル変換器（間引き重み付け型）により構成することがで
きる。
【００２７】また、第１フィルタ５および／または第２
フィルタ６、１６に含まれるＩＤＴの全てを同じ形式
（正規型、アポタイズ型など）で統一してもよいが、種
々な形式の混在も可能である。例えば、図１または図２
の実施の形態において、第１フィルタ５または第２フィ
ルタ６、１６の入力側ＩＤＴ（１または３あるいは１
３）および出力側ＩＤＴ（２または４あるいは１４）の
うち、一方（例えば１または３あるいは１３）を電極指
交叉長一定のインターデジタル変換器（正規型）で構成
し、他方（例えば２または４あるいは１４）を電極指交
叉長を変えて重み付けしたインターデジタル変換器（ア
ポタイズ型）で構成してもよい。
フィルタ６、１６に含まれるＩＤＴの全てを同じ形式
（正規型、アポタイズ型など）で統一してもよいが、種
々な形式の混在も可能である。例えば、図１または図２
の実施の形態において、第１フィルタ５または第２フィ
ルタ６、１６の入力側ＩＤＴ（１または３あるいは１
３）および出力側ＩＤＴ（２または４あるいは１４）の
うち、一方（例えば１または３あるいは１３）を電極指
交叉長一定のインターデジタル変換器（正規型）で構成
し、他方（例えば２または４あるいは１４）を電極指交
叉長を変えて重み付けしたインターデジタル変換器（ア
ポタイズ型）で構成してもよい。
【００２８】図３は、この発明が適用された弾性表面波
装置の特性を例示する図である。また、図４は、この発
明が適用されない弾性表面波装置の特性を例示する図で
ある。
装置の特性を例示する図である。また、図４は、この発
明が適用されない弾性表面波装置の特性を例示する図で
ある。
【００２９】図１または図２の実施の形態に示したよう
に、逆相関係で並列接続された２組のフィルタの一方
（ここでは第２フィルタ６、１６）について、入力ＩＤ
Ｔおよび出力ＩＤＴを吸音剤７で制振すると、第２フィ
ルタ６、１６の入出力ＩＤＴ間では弾性表面波が殆ど伝
わらないが、第２フィルタ６、１６の入力ＩＤＴから基
板裏面側で反射して出力ＩＤＴに向かうスプリアス波は
第１フィルタ５側と同様に生じる。第１フィルタ５と第
２フィルタ６、１６は逆相並列接続されているため、第
１フィルタ５側のスプリアス波に起因する出力は第２フ
ィルタ６、１６側のスプリアス波に起因する出力により
打ち消される。このため、この発明が適用された弾性表
面波装置では、フィルタ出力に含まれるスプリアス成分
１１（図３参照）が、この発明に依らない弾性表面波装
置のフィルタ出力に含まれるスプリアス成分１２（図４
参照）よりも大幅に減少する。
に、逆相関係で並列接続された２組のフィルタの一方
（ここでは第２フィルタ６、１６）について、入力ＩＤ
Ｔおよび出力ＩＤＴを吸音剤７で制振すると、第２フィ
ルタ６、１６の入出力ＩＤＴ間では弾性表面波が殆ど伝
わらないが、第２フィルタ６、１６の入力ＩＤＴから基
板裏面側で反射して出力ＩＤＴに向かうスプリアス波は
第１フィルタ５側と同様に生じる。第１フィルタ５と第
２フィルタ６、１６は逆相並列接続されているため、第
１フィルタ５側のスプリアス波に起因する出力は第２フ
ィルタ６、１６側のスプリアス波に起因する出力により
打ち消される。このため、この発明が適用された弾性表
面波装置では、フィルタ出力に含まれるスプリアス成分
１１（図３参照）が、この発明に依らない弾性表面波装
置のフィルタ出力に含まれるスプリアス成分１２（図４
参照）よりも大幅に減少する。
【００３０】一方、入力ＩＤＴから出力ＩＤＴに伝搬す
る弾性表面波成分については、第２フィルタ６、１６の
ＩＤＴ（３、４または１３、１４）は吸音剤７で制振さ
れている。このため、第１フィルタ５と第２フィルタ
６、１６の逆相並列接続によって、第１フィルタ５の本
信号出力が第２フィルタ６、１６の本信号出力により打
ち消されることは、殆どない。したがって、この発明が
適用された弾性表面波装置では、フィルタ出力に含まれ
る本信号成分１０（図３参照）が、この発明に依らない
弾性表面波装置の本信号出力成分１０（図４参照）と同
等レベルで得られる。
る弾性表面波成分については、第２フィルタ６、１６の
ＩＤＴ（３、４または１３、１４）は吸音剤７で制振さ
れている。このため、第１フィルタ５と第２フィルタ
６、１６の逆相並列接続によって、第１フィルタ５の本
信号出力が第２フィルタ６、１６の本信号出力により打
ち消されることは、殆どない。したがって、この発明が
適用された弾性表面波装置では、フィルタ出力に含まれ
る本信号成分１０（図３参照）が、この発明に依らない
弾性表面波装置の本信号出力成分１０（図４参照）と同
等レベルで得られる。
【００３１】なお、この発明は上記各実施の形態に限定
されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸
脱しない範囲で種々な変形・変更が可能である。また、
各実施の形態は可能な限り適宜組み合わせて実施されて
もよく、その場合組み合わせによる効果が得られる。
されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸
脱しない範囲で種々な変形・変更が可能である。また、
各実施の形態は可能な限り適宜組み合わせて実施されて
もよく、その場合組み合わせによる効果が得られる。
【００３２】例えば、図１の実施の形態に示すように第
２フィルタ６のＩＤＴ４の電極指パターンを上下反転さ
せて逆相（位相差１８０゜）を作り、図２の実施の形態
を変形させて第２フィルタ１６のＩＤＴ間隔をＬ±λ
（位相差±３６０゜）としてもよい。このようにして
も、第１フィルタ５と第２フィルタ６、１６の位相関係
を逆相（位相差１８０゜）にできる。
２フィルタ６のＩＤＴ４の電極指パターンを上下反転さ
せて逆相（位相差１８０゜）を作り、図２の実施の形態
を変形させて第２フィルタ１６のＩＤＴ間隔をＬ±λ
（位相差±３６０゜）としてもよい。このようにして
も、第１フィルタ５と第２フィルタ６、１６の位相関係
を逆相（位相差１８０゜）にできる。
【００３３】また、図１および図２の実施の形態では逆
相並列接続されるフィルタを２組としたが、同様なフィ
ルタ組を偶数組（例えばあと２組）用意し、これを図１
または図２の第１および第２フィルタに対してさらに並
列接続してもよい。
相並列接続されるフィルタを２組としたが、同様なフィ
ルタ組を偶数組（例えばあと２組）用意し、これを図１
または図２の第１および第２フィルタに対してさらに並
列接続してもよい。
【００３４】また、図１および図２の実施の形態では、
各フィルタを構成するＩＤＴの数を２つとしたが、各フ
ィルタを３以上のＩＤＴで構成することも可能である。
各フィルタを構成するＩＤＴの数を２つとしたが、各フ
ィルタを３以上のＩＤＴで構成することも可能である。
【００３５】さらに、上記実施の形態には種々な段階の
発明が含まれており、この出願で開示される複数の構成
要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出
され得る。たとえば、実施の形態に示される全構成要件
から１または複数の構成要件が削除されても、この発明
の効果あるいはこの発明の実施に伴う効果のうち少なく
とも１つが得られるときは、この構成要件が削除された
構成が発明として抽出され得るものである。
発明が含まれており、この出願で開示される複数の構成
要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出
され得る。たとえば、実施の形態に示される全構成要件
から１または複数の構成要件が削除されても、この発明
の効果あるいはこの発明の実施に伴う効果のうち少なく
とも１つが得られるときは、この構成要件が削除された
構成が発明として抽出され得るものである。
【００３６】
【発明の効果】以上述べたように、この発明の弾性表面
波装置によれば、第１フィルタ５と第２フィルタ６、１
６の振幅特性は同等としつつ位相関係を逆相としている
ので、第１フィルタ５で発生するバルク波スプリアスに
よるフィルタ出力と第２フィルタ６、１６で発生するバ
ルク波スプリアスによるフィルタ出力とが打ち消しあう
（第２フィルタ６、１６上の吸音剤７は弾性表面波に対
しては吸音効果を持つが、基板裏面側に向かうスプリア
ス振動成分に対しては殆ど吸音効果を持たない）。
波装置によれば、第１フィルタ５と第２フィルタ６、１
６の振幅特性は同等としつつ位相関係を逆相としている
ので、第１フィルタ５で発生するバルク波スプリアスに
よるフィルタ出力と第２フィルタ６、１６で発生するバ
ルク波スプリアスによるフィルタ出力とが打ち消しあう
（第２フィルタ６、１６上の吸音剤７は弾性表面波に対
しては吸音効果を持つが、基板裏面側に向かうスプリア
ス振動成分に対しては殆ど吸音効果を持たない）。
【００３７】これに対し、並列接続された第１フィルタ
５と第２フィルタ６、１６の一方（ここでは第２フィル
タ６、１６）のＩＤＴ部分を吸音剤７で覆っているの
で、第２フィルタ６、１６の入力ＩＤＴ３または１３か
ら出力ＩＤＴ４または１４に向かう弾性表面波成分は大
きく減衰する。このため、スプリアス成分を除く本信号
成分に関しては、他方（ここでは第１フィルタ５）の出
力ＩＤＴ２から取り出されるフィルタ出力が第２フィル
タ６、１６の出力ＩＤＴ４または１４から取り出される
逆相出力により打ち消されない。
５と第２フィルタ６、１６の一方（ここでは第２フィル
タ６、１６）のＩＤＴ部分を吸音剤７で覆っているの
で、第２フィルタ６、１６の入力ＩＤＴ３または１３か
ら出力ＩＤＴ４または１４に向かう弾性表面波成分は大
きく減衰する。このため、スプリアス成分を除く本信号
成分に関しては、他方（ここでは第１フィルタ５）の出
力ＩＤＴ２から取り出されるフィルタ出力が第２フィル
タ６、１６の出力ＩＤＴ４または１４から取り出される
逆相出力により打ち消されない。
【００３８】したがって、本信号成分に関しては本来の
フィルタ機能を発揮しつつ、バルク波によるスプリアス
成分が効果的に抑制された弾性表面波装置を得ることが
できる。
フィルタ機能を発揮しつつ、バルク波によるスプリアス
成分が効果的に抑制された弾性表面波装置を得ることが
できる。
【図１】この発明の一実施の形態に係る弾性表面波フィ
ルタ装置の構成を説明する図。
ルタ装置の構成を説明する図。
【図２】この発明の他の実施の形態に係る弾性表面波フ
ィルタ装置の構成を説明する図。
ィルタ装置の構成を説明する図。
【図３】この発明が適用された弾性表面波装置の特性を
例示する図。
例示する図。
【図４】この発明が適用されない弾性表面波装置の特性
を例示する図。
を例示する図。
１…第１フィルタの入力ＩＤＴ；２…第１フィルタの出
力ＩＤＴ；３、１３…第２フィルタの入力ＩＤＴ；４、
１４……第２フィルタの出力ＩＤＴ；５…第１フィル
タ；６、１６…第２フィルタ；７、８…吸音剤；９…圧
電性基板；１０…所望特性；１１…この発明の実施によ
り抑制されたスプリアスの例；１２…この発明を用いな
い場合のスプリアスの例。
力ＩＤＴ；３、１３…第２フィルタの入力ＩＤＴ；４、
１４……第２フィルタの出力ＩＤＴ；５…第１フィル
タ；６、１６…第２フィルタ；７、８…吸音剤；９…圧
電性基板；１０…所望特性；１１…この発明の実施によ
り抑制されたスプリアスの例；１２…この発明を用いな
い場合のスプリアスの例。
Claims (4)
- 【請求項１】弾性表面波の伝搬方向に沿って櫛歯状電極
を互いに交互させて構成した入力側インターデジタル変
換器および出力側インターデジタル変換器を１組のフィ
ルタとして、略同一パターン形状の入出力インターデジ
タル変換器を持つフィルタを少なくとも２組分並列接続
したものを圧電性基板上に備えた弾性表面波装置におい
て、 前記２組分のフィルタを互いに振幅特性は同じで位相関
係が逆相関係となるように配置し、 前記２組分の一方の組の入出力インターデジタル変換器
の間で伝搬する弾性表面波の減衰が他方の組に比べて大
きくなるように構成したことを特徴とする弾性表面波装
置。 - 【請求項２】 前記一方の組を実質的に励振させないた
めの手段として、前記一方の組の入力側インターデジタ
ル変換器および出力側インターデジタル変換器を吸音剤
で覆うように構成したことを特徴とする請求項１に記載
の装置。 - 【請求項３】 前記フィルタが、電極指交叉長が一定の
インターデジタル変換器あるいは電極指交叉長を変えて
重み付けしたインターデジタル変換器あるいは交叉電極
指を間引いて重み付けしたインターデジタル変換器を含
むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の装
置。 - 【請求項４】 前記入力側インターデジタル変換器およ
び出力側インターデジタル変換器のうち、一方が電極指
交叉長一定のインターデジタル変換器で構成され、他方
が電極指交叉長を変えて重み付けしたインターデジタル
変換器で構成されることを特徴とする請求項１ないし請
求項３のいずれか１項に記載の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001200219A JP2003017982A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | バルク波キャンセル型弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001200219A JP2003017982A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | バルク波キャンセル型弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003017982A true JP2003017982A (ja) | 2003-01-17 |
Family
ID=19037373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001200219A Pending JP2003017982A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | バルク波キャンセル型弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003017982A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6707352B2 (en) * | 2000-06-27 | 2004-03-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Elastic surface wave device having parallel connected main and auxiliary filters |
| JP2012085108A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波センサ |
| JP2014143648A (ja) * | 2013-01-25 | 2014-08-07 | Japan Radio Co Ltd | 弾性波デバイス |
| JP2014229916A (ja) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子 |
-
2001
- 2001-06-29 JP JP2001200219A patent/JP2003017982A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6707352B2 (en) * | 2000-06-27 | 2004-03-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Elastic surface wave device having parallel connected main and auxiliary filters |
| JP2012085108A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波センサ |
| JP2014143648A (ja) * | 2013-01-25 | 2014-08-07 | Japan Radio Co Ltd | 弾性波デバイス |
| JP2014229916A (ja) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子 |
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