JP2003016937A - 平面表示装置のプレート位置合わせ方法、および平面表示装置 - Google Patents
平面表示装置のプレート位置合わせ方法、および平面表示装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】この発明は、フェースプレート側の多数の画素
表示部とリアプレート側の多数の電子放出素子とを短時
間で簡単且つ正確に対向させることができる平面表示装
置のプレート位置合わせ方法、および平面表示装置を提
供することにある。 【解決手段】フェースプレート４の内面に形成した蛍光
体スクリーン１１の複数の蛍光体層１３のうち４隅にあ
る４つの画素の蛍光体層１３を除去するとともに対応す
る部位のメタルバック１４を部分的に除去することで予
め４隅に検出用画素１０を形成しておく。そして、これ
ら４つの検出用画素１０を、リアプレート２の外側に配
設された４台のカメラ２０により、対応する電子放出素
子１５と重ねて検出することで、フェースプレート４と
リアプレート２を位置合わせする。
表示部とリアプレート側の多数の電子放出素子とを短時
間で簡単且つ正確に対向させることができる平面表示装
置のプレート位置合わせ方法、および平面表示装置を提
供することにある。 【解決手段】フェースプレート４の内面に形成した蛍光
体スクリーン１１の複数の蛍光体層１３のうち４隅にあ
る４つの画素の蛍光体層１３を除去するとともに対応す
る部位のメタルバック１４を部分的に除去することで予
め４隅に検出用画素１０を形成しておく。そして、これ
ら４つの検出用画素１０を、リアプレート２の外側に配
設された４台のカメラ２０により、対応する電子放出素
子１５と重ねて検出することで、フェースプレート４と
リアプレート２を位置合わせする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、平面表示装置の
フェースプレートとリアプレートの位置合わせ方法、お
よび平面表示装置に関する。
フェースプレートとリアプレートの位置合わせ方法、お
よび平面表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、平面表示装置として用いられるフ
ィールドエミッションデバイス（ＦＥＤ）の一種とし
て、表面伝導型電子放出装置（以下、ＳＥＤと称する）
の開発が進められている。
ィールドエミッションデバイス（ＦＥＤ）の一種とし
て、表面伝導型電子放出装置（以下、ＳＥＤと称する）
の開発が進められている。
【０００３】このＳＥＤは、所定の隙間を置いて対向配
置された矩形状のフェースプレートおよびリアプレート
を有する。これら２枚のプレートは、矩形枠状の側壁を
介して周縁部を互いに接合することにより真空外囲器を
構成している。フェースプレートの内面には、３色の蛍
光体層による多数の画素表示部が整列した状態で形成さ
れている。リアプレートの内面には、上記各画素表示部
の蛍光体をそれぞれ独立して励起発光させるための電子
放出源として、画素毎に対応する多数のエミッタ（電子
放出素子）が整列配置されている。
置された矩形状のフェースプレートおよびリアプレート
を有する。これら２枚のプレートは、矩形枠状の側壁を
介して周縁部を互いに接合することにより真空外囲器を
構成している。フェースプレートの内面には、３色の蛍
光体層による多数の画素表示部が整列した状態で形成さ
れている。リアプレートの内面には、上記各画素表示部
の蛍光体をそれぞれ独立して励起発光させるための電子
放出源として、画素毎に対応する多数のエミッタ（電子
放出素子）が整列配置されている。
【０００４】また、２枚のプレート間には、外気圧による
プレートの破壊を防止すべく、プレート間の隙間を維持
するための、多数の板状あるいは柱状のスペーサが配置
されている。上記のようなＳＥＤにおいて、色ズレなど
の画像不良を防止するためには、フェースプレート側の
各画素表示部とリアプレート側の対応する各エミッタを
互いに正確に対向せしめることが重要とされている。こ
のため、従来は、予めフェースプレートとリアプレート
の双方に位置合わせ用のアラインメントマークを形成し
ておき、これらアラインメントマークを一致させるよう
に２枚のプレートを位置合わせしていた。
プレートの破壊を防止すべく、プレート間の隙間を維持
するための、多数の板状あるいは柱状のスペーサが配置
されている。上記のようなＳＥＤにおいて、色ズレなど
の画像不良を防止するためには、フェースプレート側の
各画素表示部とリアプレート側の対応する各エミッタを
互いに正確に対向せしめることが重要とされている。こ
のため、従来は、予めフェースプレートとリアプレート
の双方に位置合わせ用のアラインメントマークを形成し
ておき、これらアラインメントマークを一致させるよう
に２枚のプレートを位置合わせしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来の位置合わせ方法によると、フェースプレート側に
形成された多数の画素表示部とフェースプレート側に形
成されたアラインメントマークとの間に位置ズレを生じ
ていたり、リアプレート側に形成された多数のエミッタ
とリアプレート側に形成されたアラインメントマークと
の間に位置ズレを生じていたりすると、各プレートのア
ラインメントマークを正確に一致させて２枚のプレート
を位置合わせしたとしても、対応する画素表示部とエミ
ッタが正確に対向しなくなってしまう。
従来の位置合わせ方法によると、フェースプレート側に
形成された多数の画素表示部とフェースプレート側に形
成されたアラインメントマークとの間に位置ズレを生じ
ていたり、リアプレート側に形成された多数のエミッタ
とリアプレート側に形成されたアラインメントマークと
の間に位置ズレを生じていたりすると、各プレートのア
ラインメントマークを正確に一致させて２枚のプレート
を位置合わせしたとしても、対応する画素表示部とエミ
ッタが正確に対向しなくなってしまう。
【０００６】このため、例えば、フェースプレート側の
画素表示部とアラインメントマークを可能な限り近づけ
て且つ同時に形成することで、両者の間の位置ズレを最
小限に抑える方法が提案されている。しかし、この方法
でも、熱工程等においてフェースプレート全体に熱歪み
が生じるなどの要因により、画素表示部とアラインメン
トマークとの間の位置ズレを完全に無くすことはできな
い。リアプレートに関しても同様の不具合が生じること
が考えられる。
画素表示部とアラインメントマークを可能な限り近づけ
て且つ同時に形成することで、両者の間の位置ズレを最
小限に抑える方法が提案されている。しかし、この方法
でも、熱工程等においてフェースプレート全体に熱歪み
が生じるなどの要因により、画素表示部とアラインメン
トマークとの間の位置ズレを完全に無くすことはできな
い。リアプレートに関しても同様の不具合が生じること
が考えられる。
【０００７】このため、２枚のプレートを位置合わせす
る前に、予め、フェースプレート側の画素表示部とフェ
ースプレート側のアラインメントマークとの間の相対的
な位置関係、およびリアプレート側のエミッタとリアプ
レート側のアラインメントマークとの間の相対的な位置
関係をそれぞれ測定しておき、アラインメントマークに
よる位置合わせ時にこれらの測定結果をフィードバック
することで、フェースプレート側の各画素表示部とリア
プレート側の対応する各エミッタとを正確に対向させる
方法が考えられる。
る前に、予め、フェースプレート側の画素表示部とフェ
ースプレート側のアラインメントマークとの間の相対的
な位置関係、およびリアプレート側のエミッタとリアプ
レート側のアラインメントマークとの間の相対的な位置
関係をそれぞれ測定しておき、アラインメントマークに
よる位置合わせ時にこれらの測定結果をフィードバック
することで、フェースプレート側の各画素表示部とリア
プレート側の対応する各エミッタとを正確に対向させる
方法が考えられる。
【０００８】しかし、この方法によると、予め、フェー
スプレート側の画素表示部とアラインメントマークとの
間の位置関係を測定し、且つリアプレート側のエミッタ
とアラインメントマークとの間の位置関係を測定し、さ
らにこれらの測定結果をアラインメントマークによる位
置合わせ時にフィードバックするといった多くの労力が
必要であり、位置合わせに多大な時間を要する問題があ
った。
スプレート側の画素表示部とアラインメントマークとの
間の位置関係を測定し、且つリアプレート側のエミッタ
とアラインメントマークとの間の位置関係を測定し、さ
らにこれらの測定結果をアラインメントマークによる位
置合わせ時にフィードバックするといった多くの労力が
必要であり、位置合わせに多大な時間を要する問題があ
った。
【０００９】この発明は、以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、フェースプレート側の多数の画素表示
部とリアプレート側の多数の電子放出素子とを短時間で
簡単且つ正確に対向させることができる平面表示装置の
プレート位置合わせ方法、および平面表示装置を提供す
ることにある。
で、その目的は、フェースプレート側の多数の画素表示
部とリアプレート側の多数の電子放出素子とを短時間で
簡単且つ正確に対向させることができる平面表示装置の
プレート位置合わせ方法、および平面表示装置を提供す
ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプレート位置合わせ方法によると、平面表
示装置のフェースプレートに形成された複数の画素表示
部とリアプレートに上記各画素表示部に対応して形成さ
れた複数の電子放出素子とが１対１で対向するように、
上記フェースプレートとリアプレートを位置合わせする
方法であって、位置合わせ用の特定の電子放出素子に対
向する特定の画素表示部を予め形状加工して検出用画素
を形成しておき、この検出用画素を上記リアプレートの
外側から撮影することで、上記検出用画素を上記特定の
電子放出素子と重ねて検出し、この検出結果に基づいて
上記フェースプレートとリアプレートを位置合わせする
ことを特徴とする。
め、本発明のプレート位置合わせ方法によると、平面表
示装置のフェースプレートに形成された複数の画素表示
部とリアプレートに上記各画素表示部に対応して形成さ
れた複数の電子放出素子とが１対１で対向するように、
上記フェースプレートとリアプレートを位置合わせする
方法であって、位置合わせ用の特定の電子放出素子に対
向する特定の画素表示部を予め形状加工して検出用画素
を形成しておき、この検出用画素を上記リアプレートの
外側から撮影することで、上記検出用画素を上記特定の
電子放出素子と重ねて検出し、この検出結果に基づいて
上記フェースプレートとリアプレートを位置合わせする
ことを特徴とする。
【００１１】上記発明によると、色ズレのない良質な画
像を出力するために正確な位置合わせを必要とする複数
の画素表示部と複数の電子放出素子のうち特定の画素表
示部を形状加工して検出用画素とし、この検出用画素と
対応する電子放出素子とを重ねて検出することで、フェ
ースプレートとリアプレートの位置合わせを行うように
している。このため、従来のように、位置合わせ用のア
ラインメントマークを各プレートに形成する必要がな
く、実際の画素表示部を用いて２枚のプレートを簡単に
位置合わせできるため、位置合わせに要する作業時間を
短くでき、位置合わせ誤差を極めて少なくできる。
像を出力するために正確な位置合わせを必要とする複数
の画素表示部と複数の電子放出素子のうち特定の画素表
示部を形状加工して検出用画素とし、この検出用画素と
対応する電子放出素子とを重ねて検出することで、フェ
ースプレートとリアプレートの位置合わせを行うように
している。このため、従来のように、位置合わせ用のア
ラインメントマークを各プレートに形成する必要がな
く、実際の画素表示部を用いて２枚のプレートを簡単に
位置合わせできるため、位置合わせに要する作業時間を
短くでき、位置合わせ誤差を極めて少なくできる。
【００１２】また、本発明の平面表示装置は、内面に複
数の画素表示部を形成したフェースプレートと内面に上
記各画素表示部に１対１で対応する複数の電子放出素子
を設けたリアプレートを、上記各画素表示部が上記各電
子放出素子に１対１で対向するように位置合わせして組
み立てられるものであって、上記複数の画素表示部のう
ち特定の画素表示部を対向する特定の電子放出素子と重
ねて検出することで上記フェースプレートとリアプレー
トを位置合わせするために、上記特定の画素表示部を形
状加工した検出用画素としたことを特徴とする。
数の画素表示部を形成したフェースプレートと内面に上
記各画素表示部に１対１で対応する複数の電子放出素子
を設けたリアプレートを、上記各画素表示部が上記各電
子放出素子に１対１で対向するように位置合わせして組
み立てられるものであって、上記複数の画素表示部のう
ち特定の画素表示部を対向する特定の電子放出素子と重
ねて検出することで上記フェースプレートとリアプレー
トを位置合わせするために、上記特定の画素表示部を形
状加工した検出用画素としたことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、この
発明を表面伝導型電子放出装置１（以下、ＳＥＤ１と称
する）に適用した実施の形態について詳細に説明する。
発明を表面伝導型電子放出装置１（以下、ＳＥＤ１と称
する）に適用した実施の形態について詳細に説明する。
【００１４】図１には、ＳＥＤ１（平面表示装置）の断
面図を示してある。ＳＥＤ１は、透明な絶縁基板として
それぞれ矩形状のガラスからなるリアプレート２および
フェースプレート４を備えている。これらのプレート
２、４は、約１．５〜３．０ｍｍの隙間を介して互いに
平行に対向配置されている。そして、リアプレート２お
よびフェースプレート４は、ガラスからなる矩形枠状の
側壁６を介して周縁部同志が接合され、偏平な矩形状の
真空外囲器８を構成している。尚、矩形枠状の側壁６
は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材７に
より、リアプレート２の周縁部およびフェースプレート
４の周縁部に封着される。
面図を示してある。ＳＥＤ１は、透明な絶縁基板として
それぞれ矩形状のガラスからなるリアプレート２および
フェースプレート４を備えている。これらのプレート
２、４は、約１．５〜３．０ｍｍの隙間を介して互いに
平行に対向配置されている。そして、リアプレート２お
よびフェースプレート４は、ガラスからなる矩形枠状の
側壁６を介して周縁部同志が接合され、偏平な矩形状の
真空外囲器８を構成している。尚、矩形枠状の側壁６
は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材７に
より、リアプレート２の周縁部およびフェースプレート
４の周縁部に封着される。
【００１５】図２（ｂ）に詳細に示すように、フェース
プレート４の内面には蛍光体スクリーン１１が形成され
ている。この蛍光体スクリーン１１は、格子状の黒色着
色層１２の間に赤、青、緑の複数の蛍光体層１３を並べ
て構成されており、これら複数の蛍光体層１３がそれぞ
れ１つの画素表示部として機能する。また、蛍光体スク
リーン１１上には、アルミニウム等からなるメタルバッ
ク１４が形成されている。
プレート４の内面には蛍光体スクリーン１１が形成され
ている。この蛍光体スクリーン１１は、格子状の黒色着
色層１２の間に赤、青、緑の複数の蛍光体層１３を並べ
て構成されており、これら複数の蛍光体層１３がそれぞ
れ１つの画素表示部として機能する。また、蛍光体スク
リーン１１上には、アルミニウム等からなるメタルバッ
ク１４が形成されている。
【００１６】一方、リアプレート２の内面には、各色の
蛍光体層１３を励起する電子放出源として、それぞれの
蛍光体層１３に向けて電子ビームを放出する多数の電子
放出素子１５が設けられている。つまり、電子放出素子
１５は、画素表示部としての蛍光体層１３に１対１で対
応して設けられており、画素毎に対応して複数列および
複数行に配列されている。各電子放出素子１５は、図２
（ｂ）に詳細に示すように、電子放出部１６、およびこ
の電子放出部１６に電圧を印加する一対の素子電極１７
を有する。
蛍光体層１３を励起する電子放出源として、それぞれの
蛍光体層１３に向けて電子ビームを放出する多数の電子
放出素子１５が設けられている。つまり、電子放出素子
１５は、画素表示部としての蛍光体層１３に１対１で対
応して設けられており、画素毎に対応して複数列および
複数行に配列されている。各電子放出素子１５は、図２
（ｂ）に詳細に示すように、電子放出部１６、およびこ
の電子放出部１６に電圧を印加する一対の素子電極１７
を有する。
【００１７】また、リアプレート２およびフェースプレ
ート４間には、複数のスペーサ１８が所定間隔をおいて
配設されている。これら複数のスペーサ１８は、大気圧
によるリアプレート２およびフェースプレート４の破壊
を防止するように機能する。
ート４間には、複数のスペーサ１８が所定間隔をおいて
配設されている。これら複数のスペーサ１８は、大気圧
によるリアプレート２およびフェースプレート４の破壊
を防止するように機能する。
【００１８】上記のように構成されたＳＥＤ１は、図示
しない駆動回路を介して入力される駆動信号に基づい
て、所定の電子放出素子１５の素子電極１７に駆動電圧
を選択的に印加することにより駆動される。このとき、
駆動電圧が印加された電子放出素子１５の電子放出部１
６から電子ビームが放出され、対応する蛍光体層１３が
励起発光される。これにより、フェースプレートの外側
から駆動信号に応じたカラー画像が表示される。
しない駆動回路を介して入力される駆動信号に基づい
て、所定の電子放出素子１５の素子電極１７に駆動電圧
を選択的に印加することにより駆動される。このとき、
駆動電圧が印加された電子放出素子１５の電子放出部１
６から電子ビームが放出され、対応する蛍光体層１３が
励起発光される。これにより、フェースプレートの外側
から駆動信号に応じたカラー画像が表示される。
【００１９】ところで、上述したＳＥＤ１で色ズレ等の
画像不良を生じることなく良質な画像を出力するために
は、フェースプレート４側に形成された多数の蛍光体層
１３とリアプレート２側にそれぞれ対応して設けられた
多数の電子放出素子１５とを１対１で正確に対向させる
必要がある。このため、ＳＥＤ１の製造過程において、
各蛍光体層１３と各電子放出素子１５とを正確に対向さ
せるべく、リアプレート２とフェースプレート４とを高
精度に位置合わせすることが重要となる。
画像不良を生じることなく良質な画像を出力するために
は、フェースプレート４側に形成された多数の蛍光体層
１３とリアプレート２側にそれぞれ対応して設けられた
多数の電子放出素子１５とを１対１で正確に対向させる
必要がある。このため、ＳＥＤ１の製造過程において、
各蛍光体層１３と各電子放出素子１５とを正確に対向さ
せるべく、リアプレート２とフェースプレート４とを高
精度に位置合わせすることが重要となる。
【００２０】このため、本実施の形態では、フェースプ
レート４側に形成される多数の蛍光体層１３のうち特定
の蛍光体層１３を含む画素表示部を予め加工しておき、
加工した特定の画素表示部を検出用画素１０として利用
して、リアプレート２とフェースプレート４を位置合わ
せするようにした。
レート４側に形成される多数の蛍光体層１３のうち特定
の蛍光体層１３を含む画素表示部を予め加工しておき、
加工した特定の画素表示部を検出用画素１０として利用
して、リアプレート２とフェースプレート４を位置合わ
せするようにした。
【００２１】具体的には、図２（ｂ）に示すように、フ
ェースプレート４の角部に近い１つの画素表示部を予め
加工して検出用画素１０を形成した。本実施の形態で
は、この検出用画素１０として、複数列、複数行に整列
された多数の画素表示部のうち４隅にある４つの画素表
示部を加工した。検出用画素１０は、対応する位置の蛍
光体層１３およびその部分のメタルバック１４を除去、
或いは予め形成しないことで形成される。２枚のプレー
ト２、４の位置合わせのためには検出用画素１０を最低
２つ任意の位置に形成すれば良いが、本実施の形態で
は、位置合わせ精度をより高めるため４隅に形成した。
ェースプレート４の角部に近い１つの画素表示部を予め
加工して検出用画素１０を形成した。本実施の形態で
は、この検出用画素１０として、複数列、複数行に整列
された多数の画素表示部のうち４隅にある４つの画素表
示部を加工した。検出用画素１０は、対応する位置の蛍
光体層１３およびその部分のメタルバック１４を除去、
或いは予め形成しないことで形成される。２枚のプレー
ト２、４の位置合わせのためには検出用画素１０を最低
２つ任意の位置に形成すれば良いが、本実施の形態で
は、位置合わせ精度をより高めるため４隅に形成した。
【００２２】そして、リアプレート２のリア側に配設し
た４台のカメラ２０（ここでは１台だけを代表して図示
してある）により、それぞれ対応する電子放出素子１５
を介して検出用画素１０を撮影し、表示部２２を介して
その画像を表示する。このとき、表示部２２を介して、
検出用画素１０およびその周囲の黒色着色層１２に重ね
て電子放出部１５の影、すなわち電子放出部１６および
素子電極１７の影が表示される。
た４台のカメラ２０（ここでは１台だけを代表して図示
してある）により、それぞれ対応する電子放出素子１５
を介して検出用画素１０を撮影し、表示部２２を介して
その画像を表示する。このとき、表示部２２を介して、
検出用画素１０およびその周囲の黒色着色層１２に重ね
て電子放出部１５の影、すなわち電子放出部１６および
素子電極１７の影が表示される。
【００２３】このようにして、４台のカメラ２０を介し
て撮影してそれぞれの表示部２２を介して表示した位置
合わせ用の画像に基づいて、２枚のプレート２、４を相
対的に移動させることで、リアプレート２とフェースプ
レート４が高精度に位置合わせされる。
て撮影してそれぞれの表示部２２を介して表示した位置
合わせ用の画像に基づいて、２枚のプレート２、４を相
対的に移動させることで、リアプレート２とフェースプ
レート４が高精度に位置合わせされる。
【００２４】以上のように、本実施の形態によると、正
確な位置合わせを必要とする画素表示部（検出用画素１
０）と電子放出素子１５とを実際に利用して２枚のプレ
ート２、４を位置合わせしている。このため、多数の画
素表示部と多数の電子放出素子とを直接的に且つ正確に
位置合わせでき、色ズレのない良質な画像を出力できる
ＳＥＤ１を製造できる。
確な位置合わせを必要とする画素表示部（検出用画素１
０）と電子放出素子１５とを実際に利用して２枚のプレ
ート２、４を位置合わせしている。このため、多数の画
素表示部と多数の電子放出素子とを直接的に且つ正確に
位置合わせでき、色ズレのない良質な画像を出力できる
ＳＥＤ１を製造できる。
【００２５】また、本実施の形態によると、従来のよう
にアラインメントマークを用いて２枚のプレートを位置
合わせする必要がないことから、フェースプレート側の
画素表示部とアラインメントマークとの間の位置ズレ、
またはリアプレート側の電子放出素子とアラインメント
マークとの間の位置ズレに起因した位置合わせ誤差を無
くすことができる。
にアラインメントマークを用いて２枚のプレートを位置
合わせする必要がないことから、フェースプレート側の
画素表示部とアラインメントマークとの間の位置ズレ、
またはリアプレート側の電子放出素子とアラインメント
マークとの間の位置ズレに起因した位置合わせ誤差を無
くすことができる。
【００２６】さらに、従来のこのような誤差を無くすた
め、位置合わせ前に、フェースプレート側の画素表示部
とアラインメントマークとの間の相対位置を測定し、リ
アプレート側の電子放出素子とアラインメントマークと
の間の相対位置を測定し、且つこれらの測定結果を位置
合わせ時にフィードバックする必要がなく、２枚のプレ
ートの位置合わせ作業をより簡単にできる。
め、位置合わせ前に、フェースプレート側の画素表示部
とアラインメントマークとの間の相対位置を測定し、リ
アプレート側の電子放出素子とアラインメントマークと
の間の相対位置を測定し、且つこれらの測定結果を位置
合わせ時にフィードバックする必要がなく、２枚のプレ
ートの位置合わせ作業をより簡単にできる。
【００２７】尚、この発明は、上述した実施の形態に限
定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変形可
能である。例えば、上述した実施の形態では、特定の画
素表示部を加工して位置合わせ用の検出用画素１０を形
成する際、対応する蛍光体層１３を除去（或いは形成し
ない）するとともに、メタルバック１４を部分的に除去
（或いは形成しない）したが、対応する部分のメタルバ
ック１４を除去するだけでも良い。また、上述した実施
の形態では、検出用画素１０を撮影する際、リアプレー
ト２の外側から撮影したが、フェースプレート４の外側
から検出用画素１０を介して電子放出素子１５と重ねて
撮影するようにしても良い。
定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変形可
能である。例えば、上述した実施の形態では、特定の画
素表示部を加工して位置合わせ用の検出用画素１０を形
成する際、対応する蛍光体層１３を除去（或いは形成し
ない）するとともに、メタルバック１４を部分的に除去
（或いは形成しない）したが、対応する部分のメタルバ
ック１４を除去するだけでも良い。また、上述した実施
の形態では、検出用画素１０を撮影する際、リアプレー
ト２の外側から撮影したが、フェースプレート４の外側
から検出用画素１０を介して電子放出素子１５と重ねて
撮影するようにしても良い。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の平面表
示装置のプレート位置合わせ方法によると、フェースプ
レート側の多数の画素表示部とリアプレート側の多数の
電子放出素子とを短時間で簡単且つ正確に対向させるこ
とができる。
示装置のプレート位置合わせ方法によると、フェースプ
レート側の多数の画素表示部とリアプレート側の多数の
電子放出素子とを短時間で簡単且つ正確に対向させるこ
とができる。
【図１】この発明の実施の形態に係るＳＥＤを示す断面
図。
図。
【図２】図１のＳＥＤをそのフェースプレート側から見
た図（ａ）、ＳＥＤのリアプレートとフェースプレート
を位置合わせする方法を説明するための図（ｂ）。
た図（ａ）、ＳＥＤのリアプレートとフェースプレート
を位置合わせする方法を説明するための図（ｂ）。
１…表面伝導型電子放出装置（ＳＥＤ）、
２…リアプレート、
４…フェースプレート、
６…側壁、
７…封着材、
８…真空外囲器、
１０…検出用画素、
１１…蛍光体スクリーン、
１２…黒色着色層、
１３…蛍光体層、
１４…メタルバック、
１５…電子放出素子、
１６…電子放出部、
１７…素子電極、
１８…スペーサ、
２０…カメラ、
２２…表示部。
Claims (11)
- 【請求項１】 平面表示装置のフェースプレートに形成
された複数の画素表示部とリアプレートに上記各画素表
示部に対応して形成された複数の電子放出素子とが１対
１で対向するように、上記フェースプレートとリアプレ
ートを位置合わせする方法であって、 位置合わせ用の特定の電子放出素子に対向する特定の画
素表示部を予め形状加工して検出用画素を形成してお
き、この検出用画素を上記リアプレートの外側から撮影
することで、上記検出用画素を上記特定の電子放出素子
と重ねて検出し、この検出結果に基づいて上記フェース
プレートとリアプレートを位置合わせすることを特徴と
するプレート位置合わせ方法。 - 【請求項２】 平面表示装置のフェースプレートに形成
された複数の画素表示部とリアプレートに上記各画素表
示部に対応して形成された複数の電子放出素子とが１対
１で対向するように、上記フェースプレートとリアプレ
ートを位置合わせする方法であって、 位置合わせ用の特定の電子放出素子に対向する特定の画
素表示部を予め形状加工して検出用画素を形成してお
き、この検出用画素を上記フェースプレートの外側から
撮影することで、上記検出用画素を上記特定の電子放出
素子と重ねて検出し、この検出結果に基づいて上記フェ
ースプレートとリアプレートを位置合わせすることを特
徴とするプレート位置合わせ方法。 - 【請求項３】 上記検出用画素は、上記複数の画素表示
部のうち任意の複数の画素表示部をそれぞれ加工するこ
とで、複数個所に形成されることを特徴とする請求項１
または２に記載のプレート位置合わせ方法。 - 【請求項４】 上記検出用画素は、上記フェースプレー
トの内面に複数列、複数行で整列配置された上記複数の
画素表示部のうち４隅にある４つの画素表示部を加工す
ることで、４個所に形成されることを特徴とする請求項
３に記載のプレート位置合わせ方法。 - 【請求項５】 上記複数の画素表示部は、上記フェース
プレートの内面に格子状の黒色着色層を形成し、この黒
色着色層の間に蛍光体層を形成し、この蛍光体層上にメ
タルバックを形成して成り、 上記検出用画素は、加工対象となる画素表示部の上記メ
タルバックおよび蛍光体層を選択的に予め除去すること
で形成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれ
か１つに記載のプレート位置合わせ方法。 - 【請求項６】 上記複数の画素表示部は、上記フェース
プレートの内面に格子状の黒色着色層を形成し、この黒
色着色層の間に蛍光体層を形成し、この蛍光体層上にメ
タルバックを形成して成り、 上記検出用画素は、加工対象となる画素表示部の上記メ
タルバックを選択的且つ部分的に予め除去することで形
成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１
つに記載のプレート位置合わせ方法。 - 【請求項７】 内面に複数の画素表示部を形成したフェ
ースプレートと内面に上記各画素表示部に１対１で対応
する複数の電子放出素子を設けたリアプレートを、上記
各画素表示部が上記各電子放出素子に１対１で対向する
ように位置合わせして組み立てられる平面表示装置であ
って、 上記複数の画素表示部のうち特定の画素表示部を対向す
る特定の電子放出素子と重ねて検出することで上記フェ
ースプレートとリアプレートを位置合わせするために、
上記特定の画素表示部を形状加工した検出用画素とした
ことを特徴とする平面表示装置。 - 【請求項８】 上記検出用画素は、上記複数の画素表示
部のうち任意の複数の画素表示部をそれぞれ形状加工す
ることで、複数個所に形成されていることを特徴とする
請求項７に記載の平面表示装置。 - 【請求項９】 上記検出用画素は、上記フェースプレー
トの内面に複数列、複数行で整列配置された上記複数の
画素表示部のうち４隅にある４つの画素表示部を形状加
工することで、４個所に形成されていることを特徴とす
る請求項８に記載の平面表示装置。 - 【請求項１０】 上記複数の画素表示部は、上記フェー
スプレートの内面に格子状の黒色着色層を形成し、この
黒色着色層の間に蛍光体層を形成し、この蛍光体層上に
メタルバックを形成して成り、 上記検出用画素は、加工対象となる画素表示部の上記メ
タルバックおよび蛍光体層を選択的に予め除去すること
で形成されていることを特徴とする請求項７乃至９のい
ずれか１つに記載の平面表示装置。 - 【請求項１１】 上記複数の画素表示部は、上記フェー
スプレートの内面に格子状の黒色着色層を形成し、この
黒色着色層の間に蛍光体層を形成し、この蛍光体層上に
メタルバックを形成して成り、 上記検出用画素は、加工対象となる画素表示部の上記メ
タルバックを選択的且つ部分的に予め除去することで形
成されていることを特徴とする請求項７乃至９のいずれ
か１つに記載の平面表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001193327A JP2003016937A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | 平面表示装置のプレート位置合わせ方法、および平面表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001193327A JP2003016937A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | 平面表示装置のプレート位置合わせ方法、および平面表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003016937A true JP2003016937A (ja) | 2003-01-17 |
Family
ID=19031636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001193327A Pending JP2003016937A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | 平面表示装置のプレート位置合わせ方法、および平面表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003016937A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101107135B1 (ko) * | 2005-05-31 | 2012-01-31 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 소자 |
-
2001
- 2001-06-26 JP JP2001193327A patent/JP2003016937A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101107135B1 (ko) * | 2005-05-31 | 2012-01-31 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 소자 |
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