JP2003015800A - 目視誤認防止方法 - Google Patents

目視誤認防止方法

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JP2003015800A
JP2003015800A JP2001196362A JP2001196362A JP2003015800A JP 2003015800 A JP2003015800 A JP 2003015800A JP 2001196362 A JP2001196362 A JP 2001196362A JP 2001196362 A JP2001196362 A JP 2001196362A JP 2003015800 A JP2003015800 A JP 2003015800A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 入力の確認、ないし処理結果等の出力の確認
など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ない
し文字表示装置の、文字表示による確認の際に起こる、
目視誤認の防止方法を提供する。同時に、目視誤認の防
止ができる装置を提供する。 【解決手段】 印刷物やディスプレイ等の文字表示確認
媒体ないし文字表示装置の文字表示を得るための、印刷
装置ないし文字表示装置に入力させる入力データについ
て、印刷装置ないし文字表示装置の前段において、予め
決められた所定の文字を含む文字列については、印刷な
いし表示した場合に、その文字列と、その文字列隣に対
比参照させて、誤認を防ぐための標記を併記、ないし併
列表示するように、一括ないし順次連続して、データ変
換処理した後、データ変換処理され得られたデータを、
一括ないし順次連続して、印刷装置ないし表示装置の入
力とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、入力の確認、ない
し処理結果等の出力の確認など、印刷物やディスプレイ
等の文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示に
よる確認の際に起こる、目視誤認の防止方法と、該目視
誤認の防止方法を実施するための目視誤認防止機能を有
する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体素子(チップ)の高密度化
は激しく、035μm設計ルールの64MDRAMの量
産もすでに始められ、0.25μm設計ルールの256
MDRAMの時代へと移ろうとしている。このため、ウ
エハへの露光を行うためのマスタマスクを作成するため
の、あるいは、ウエハへ直接縮小投影するためのレチク
ルについても、ますますその精度が求められるようにな
ってきた。更に、最近では、コスト低減を目指したチッ
プ縮小が著しく、64MDRAMを0.25設計ルール
まで微細化して、あるいは、256MDRAMを0.1
8設計ルールまで微細化してチップ縮小化を行ってい
る。ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置でコスト
低減が達成されることとなる。0.18μm設計ルール
は開発完了し、2000年には0.15μmから0.1
3μm設計ルールへの切り換えが行われている。
【0003】このような中、レチクル等のフォトマスク
作製のためのパターン描画においては、その加工精度は
ますます厳しく求められ、0.18μm以下の設計ルー
ルでは、可変成形ビーム型EB描画装置が主流になって
いる。このように、フォトマスク作製のためのパターン
描画精度が厳しくなってきたが、更に最近では、精度面
から、フォトマスクからウエハに投影する際の歪みを考
慮した補正を取り入れた、描画用のパタンデータの作成
が行われるようになってきた。また、ウエハ処理の面か
らダミーパタンを発生させた描画用のパタンデータの作
成も行われるようになってきた。尚、フォトマスクから
ウエハに投影する際の歪みを考慮した補正を、OPC
(Optical Proximity Correc
t)と言う。このような、可変成形ビーム型EB描画装
置用の描画データの作成は、種々のデータ処理が伴な
い、その作業は益々複雑化してきている。
【0004】このように、データ処理作業が益々複雑化
してきたが、処理における入力ミスは、完全に防ぐこと
はできず、問題になっていた。例えば、仕様書を見て、
キー入力により、処理を行なうオペレータが、アルファ
ベットの「O」を数字の「0」と入力ミスをする。入力
の確認のため、入力ログデータを用紙に印刷して仕様書
と付け合せ確認するが、印刷された入力結果用紙を見て
も、入力ミスを判断することは難しい。ここでは入力ミ
スは見つけられないと、入力ミスが入った指示で処理が
行われることとなり、処理が期待通りに正常に行われな
い場合が起きる。そして、処理結果確認のための情報を
用紙に印刷して確認しても、その原因が入力ミスにある
ことが簡単には確認できない。このように、無駄な処理
が行われ、処理結果が期待通りでない場合に、その原因
を入力ミスとつかむまで多大な労力と時間が費やされ、
問題となっていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、フォト
マスク作製のための描画用のパタンデータの作成のため
の種々のデータ処理においては、処理のための入力のミ
スは、完全に防ぐことはできず、入力ミスを簡単に把握
できる方法が求められていた。本発明は、これに対応し
たもので、入力の確認、ないし処理結果等の出力の確認
など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ない
し文字表示装置の、文字表示による確認の際に起こる、
目視誤認の防止方法を提供しようとするものである。同
時に、目視誤認の防止ができる装置を提供しようとする
ものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の目視誤認の防止
方法は、入力の確認、ないし処理結果等の出力の確認な
ど、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ないし
文字表示装置の、文字表示による確認の際に起こる、目
視誤認の防止方法であって、前記、印刷物やディスプレ
イ等の文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示
を得るための、印刷装置ないし文字表示装置に入力させ
る入力データについて、印刷装置ないし文字表示装置の
前段において、予め決められた所定の文字を含む文字列
については、印刷ないし表示した場合に、その文字列
と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための
標記を併記、ないし併列表示するように、一括ないし順
次連続して、データ変換処理した後、データ変換処理さ
れ、得られたデータを、一括ないし順次連続して、印刷
装置ないし表示装置の入力とすることを特徴とするもの
である。そして、上記いおいて、予め決められた所定の
文字を含む文字列に、アルファベット大文字O(オ
ウ)、およびアルファベット小文字のl(エル)を含む
文字列が入っており、アルファベット大文字O(オウ)
については、小文字のo(オウ)として、誤認を防ぐた
めの標記を行ない、アルファベット小文字のl(エル)
については、大文字のL(エル)として、誤認を防ぐた
めの標記を行なうことを特徴とするものである。
【0007】本発明の目視誤認防止機能を有する装置
は、入力の確認、ないし処理結果等の出力の確認など、
印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ないし文字
表示装置の文字表示による確認を行なう装置であって、
前記、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ない
し文字表示装置の文字表示を得るための、印刷装置ない
し文字表示装置に入力させる入力データについて、予め
決められた所定の文字を含む文字列については、印刷な
いし表示した場合に、その文字列と、その文字列隣に対
比参照させて、誤認を防ぐための標記を併記、ないし併
列表示するように、一括ないし順次連続して、データ変
換処理を行なう誤認防止処理部を、印刷装置ないし文字
表示装置の前段に、設けていることを特徴とするもので
ある。そして、上記において、フォトマスクパターンデ
ータを作成するため、分割処理、データ合成処理、補助
パタン発生処理等の各種処理を行なうためのデータ処理
装置であることを特徴とするものである。
【0008】
【作用】本発明の目視誤認の防止方法は、このような構
成にすることにより、入力の確認、ないし処理結果等の
出力の確認など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確
認媒体ないし文字表示装置の、文字表示による確認の際
に起こる、判別を間違え易い文字の目視誤認を簡単に防
止できる、目視誤認の防止方法の提供を可能にしてい
る。これにより、フォトマスク作製のための描画用のパ
タンデータの作成のための種々のデータ処理において
は、処理のための判別を間違え易い文字の入力のミス
を、簡単に把握することを可能にしている。本発明の目
視誤認の防止方法は、字表示確認媒体ないし文字表示装
置の、文字表示による確認の際に表示を変更するもの
で、入力値や、ログ本文自体に対して変更は全く加わら
いものである。特に、予め決められた所定の文字を含む
文字列には、アルファベット大文字O(オウ)、および
アルファベット小文字のl(エル)を含む文字列が入っ
ていることにより、判別を間違え易い文字の目視誤認の
大半を防止できるものとしている。また、本発明の目視
誤認防止機能を有する装置は、このような構成にするこ
とにより、文字表示による確認の際に起こる、判別を間
違え易い文字の目視誤認を簡単に防止できる装置の提供
を可能としている。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態例を挙げ、図
に基づいて説明する。図1は本発明の目視誤認の防止方
法の実施の形態の1例を説明するための装置概略構成図
で、図2は入力ログの印刷例の図で、図3は従来に印刷
例の図である。図1〜図3中、110は入力部、120
はデータ処理部(補助パタン発生データ処理部、あるい
は単に演算部とも言う)、130はログ出力部、140
は誤認防止処理部、150は印刷装置、160はディス
プレイ、210、211は入力情報印刷用紙、220、
221は入力項目、230、231は入力内容である。
【0010】先ず、本発明の目視誤認防止方法の実施の
形態の1例を図1、図2に基づいて説明する。本例の目
視誤認防止方法は、描画装置用のフォトマスクパタンデ
ータに対しダミーパタンデータを発生させる場合の演算
処理をする際に、所定の処理を指示する入力データの入
力が正常に行われたか否かを、印刷装置にて印刷して目
視確認、あるいはディスプレイにて表示し目視確認する
際に用られるものであって、例えば図1に示す構成のデ
ータ処理装置にて行なうものであり、目視確認が容易に
判別しにくい、数字の0(ゼロ)、数字の1(いち)
と、それぞれ、判別が難しい、アルファベット大文字O
(オウ)、アルファベット小文字のl(エル)を含む文
字列に対し、誤認防止処理部140により、その文字列
と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための
標記を併記、ないし併列表示するように、一括ないし順
次連続して、誤認防止処理(データ変換処理でもある)
した後、誤認防止処理により得られたデータを、一括な
いし順次連続して、印刷装置150ないしディスプレイ
160に入力して、印刷ないし表示を行ない、印刷され
た印刷物や文字表示により、入力が正常に行なわれてい
るか否かを確認するものである。
【0011】作業者は、仕様書をみて入力し、入力が正
常に行なわれたか否かを確認するため、例えば、従来、
図3に示すような入力データに対応した印刷結果(入力
情報211)をみて、仕様書と付け合せをしていたが、
この場合、入力項目221のDATA Eに対応する入
力内容231はmnoMNO0123であるが、この印
刷表示では文字列「MNO」の「O」がアルファベット
のO(オウ)なのか、数字の0(ゼロ)なのか判別が難
しい。また、入力項目221のDATA Dに対応する
入力内容231はjklJKL0123であるが、この
印刷表示では文字列「jklJ」の「l」がアルファベ
ットのl(エル)なのか、数字の1(いち)なのか判別
が難しい。これに対し、本例の誤認防止方法によれば、
図3の場合と同じ入力が行われた場合、図2に示すよう
な、印刷結果(入力情報210のこと)が得られ、この
印刷結果(入力情報210)をみて、仕様書と付け合せ
をすることになる。即ち、入力項目220のDATA
Eに対応する入力内容230は、mnoMNO0123
(*mnoMNo0123)と印刷され、入力項目22
0のDATA Dに対応する入力内容230はjklJ
KL0123(*jkLJKL0123)と印刷され
る。ここで印刷される(*mnoMNo0123)部、
(*jkLJKL0123)部が、誤認防止の標記で、
対象となる文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐため
印刷されている。これにより、入力項目220のDAT
A Eに対応する入力内容230には、mnoMNO0
123に(*mnoMNo0123)を併記してあるこ
とにより、入力文字列「MNO」の「O」がアルファベ
ットのO(オウ)であると判断できる。また、入力項目
220のDATA Dに対応する入力内容230には、
jklJKL0123に(*jkLJKL0123)を
併記してあることより、入力文字列「jklJ」の
「l」がアルファベットのl(エル)であると判断でき
る。
【0012】次いで、図1に示す構成のデータ処理装置
における、本例の目視誤認防止方法の動作を簡単に説明
する。これを以って、本発明の目視誤認防止機能を有す
る装置の説明に代える。先ず、仕様書に基づき、データ
処理部120で行なうデータ処理の条件を、入力装置1
10にてキー入力して設定し、この条件の下でデータ処
理を行なう。本例では、図2の各入力項目に対応する入
力内容(入力データとも言う)が、それぞれ条件に相当
する。入力条件にしたがいデータ処理部120は演算処
理を行ない、所望のダミーパタンを発生させるデータを
得るとともに、ログ出力部130は、入力内容、処理結
果内容にそった印刷ないし表示させるデータ準備する。
尚、データ処理部120はダミーパタンを発生させるデ
ータ処理部であるが、ダミーパタンを発生させるデータ
処理は、図形演算処理を伴なうもので、本願出願人の関
連出願もあり、その詳細はここでは省略する。ログ出力
部130は、準備した、入力内容、処理結果内容にそっ
た印刷ないし表示させるデータを、従来は、そのまま、
印刷装置150やディスプレイ160に送るための処理
部であるが、本例の場合は、入力内容、処理結果内容に
そった印刷ないし表示させるデータを、いったん誤認防
止処理部140に送る。次いで、誤認防止処理部140
は、目視確認が容易に判別しにくい、数字の0(ゼ
ロ)、数字の1(いち)と、それぞれ、判別が難しい、
アルファベット大文字O(オウ)、アルファベット小文
字のl(エル)を含む文字列に対し、図2の示すよう
に、その文字列と、その文字列隣に対比参照させて、誤
認を防ぐための標記を併記するようなデータに変換を一
括ないし順次連続して行なう。誤認防止処理部140
は、このような処理を行なう処理部である。次いで、誤
認防止処理部140の処理を経て得られたデータが印刷
装置150やディスプレイ160に送られて、印刷ない
し表示が行なわれる。このようにして、印刷ないし表示
が行われる。
【0013】
【発明の効果】本発明は、上記のように、入力の確認、
ないし処理結果等の出力の確認など、印刷物やディスプ
レイ等の文字表示確認媒体ないし文字表示装置の、文字
表示による確認の際に起こる、目視誤認の防止方法の提
供を可能とした。同時に、目視誤認の防止ができる装置
の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の目視誤認の防止方法の実施の形態の1
例を説明するための装置概略構成図
【図2】本発明の目視誤認の防止方法の実施の形態例に
おける入力ログの印刷例の図
【図3】従来の入力ログの印刷例の図
【符号の説明】
110 入力部 120 データ処理部(補助パタン発生デー
タ処理部、あるいは単に演算部とも言う) 130 ログ出力部 140 誤認防止処理部 150 印刷装置 160 ディスプレイ 210、211 入力情報印刷用紙 220、221 入力項目 230、231 入力内容
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成14年4月25日(2002.4.2
5)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 目視誤認防止方法
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項1
【補正方法】変更
【補正内容】

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力の確認、ないし処理結果等の出力の
    確認など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体
    ないし文字表示装置の、文字表示による確認の際に起こ
    る、目視誤認の防止方法であって、前記、印刷物やディ
    スプレイ等の文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文
    字表示を得るための、印刷装置ないし文字表示装置に入
    力させる入力データについて、印刷装置ないし文字表示
    装置の前段において、予め決められた所定の文字を含む
    文字列については、印刷ないし表示した場合に、その文
    字列と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐた
    めの標記を併記、ないし併列表示するように、一括ない
    し順次連続して、データ変換処理した後、データ変換処
    理され、得られたデータを、一括ないし順次連続して、
    印刷装置ないし表示装置の入力とすることを特徴とする
    目視誤認方法。
  2. 【請求項2】 請求項1において、予め決められた所定
    の文字を含む文字列に、アルファベット大文字O(オ
    ウ)、およびアルファベット小文字のl(エル)を含む
    文字列が入っており、アルファベット大文字O(オウ)
    については、小文字のo(オウ)として、誤認を防ぐた
    めの標記を行ない、アルファベット小文字のl(エル)
    については、大文字のL(エル)として、誤認を防ぐた
    めの標記を行なうことを特徴とする目視誤認防止方法。
  3. 【請求項3】 入力の確認、ないし処理結果等の出力の
    確認など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体
    ないし文字表示装置の文字表示による確認を行なう装置
    であって、前記、印刷物やディスプレイ等の文字表示確
    認媒体ないし文字表示装置の文字表示を得るための、印
    刷装置ないし文字表示装置に入力させる入力データにつ
    いて、予め決められた所定の文字を含む文字列について
    は、印刷ないし表示した場合に、その文字列と、その文
    字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための標記を併
    記、ないし併列表示するように、一括ないし順次連続し
    て、データ変換処理を行なう誤認防止処理部を、印刷装
    置ないし文字表示装置の前段に、設けていることを特徴
    とする目視誤認防止機能を有する装置。
  4. 【請求項4】 請求項3において、フォトマスクパター
    ンデータを作成するため、分割処理、データ合成処理、
    補助パタン発生処理等の各種処理を行なうためのデータ
    処理装置であることを特徴とする目視誤認防止機能を有
    する装置。
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