JP2003014862A - 放射線画像検出装置及び放射線遮蔽方法 - Google Patents

放射線画像検出装置及び放射線遮蔽方法

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JP2003014862A
JP2003014862A JP2001201061A JP2001201061A JP2003014862A JP 2003014862 A JP2003014862 A JP 2003014862A JP 2001201061 A JP2001201061 A JP 2001201061A JP 2001201061 A JP2001201061 A JP 2001201061A JP 2003014862 A JP2003014862 A JP 2003014862A
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radiation shielding
ray
rays
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Kengo Emoto
健吾 江本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 放射線源から照射された放射線がフレキシブ
ル配線や電気回路基板上のIC素子に照射されてIC素
子の誤動作や特性劣化が起きることを防止すると共に、
散乱X線による画質劣化が起きない、比較的軽量化され
た放射線画像検出装置及び放射線遮蔽方法を提供する。 【解決手段】 X線源から照射されるX線を電荷に変換
して蓄積し、電荷を転送するセンサ部2と、センサ部2
を支持する支持部材7と、IC素子12が搭載された電
気回路基板10とを備えたX線画像検出器において、第
1のX線遮蔽部材15を、センサ部2の有効エリアに対
応した位置に配置し、第2のX線遮蔽部材16を、複数
に分割すると共に、電気回路基板10上のIC素子12
のX線が照射される面内位置に対応した位置に配置し、
X線源から照射されるX線の一部を吸収又は遮蔽する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線(X線)の
照射により得られる2次元画像(X線像)を検出する放
射線画像検出装置及び放射線遮蔽方法に関し、特に、散
乱X線を吸収又は遮蔽する遮蔽部材の配置及び構造に改
良を施した放射線画像検出装置及び放射線遮蔽方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】近年、非晶質シリコン(a−Si)に代
表される光電変換半導体材料の開発により、光電変換素
子を大面積基板上に2次元配列で多数形成した2次元セ
ンサの開発が進展し、実用化されている。このような2
次元センサの中には、主に医療用の診断装置としてX線
像を画像化するX線用2次元センサがある。このX線用
2次元センサは、X線の変換方式の違いにより主に間接
変換方式と直接変換方式の2方式に大別される。前記2
方式の内、間接変換方式は、X線を蛍光体によって可視
光に変換し、この可視光を光電変換素子によって電荷に
変換し、蓄積された電荷をトランジスタを介して読み出
すものである。
【0003】このような医療用としてのX線用2次元セ
ンサにおいては、従来のスクリーン/フィルム系と同様
に、据え置き型と可搬型のX線用2次元センサが要望さ
れている。特に、可搬型のX線用2次元センサにおいて
は、小型・軽量・薄型化が要望されている。
【0004】図7は従来例の間接変換方式2次元センサ
を用いたX線画像検出器の断面を模式的に示した模式断
面図である。図7において、1はX線を可視光に変換す
るための蛍光体、2は光電変換素子とトランジスタから
なる画素を2次元的に配列したセンサ部、3はガラス等
の絶縁性材料からなる基台、4は機械的強度を高めるた
めの支持板であり、比較的軽量なMg合金等の金属材料
から形成されている。蛍光体1とセンサ部2、基台3と
支持板4は、各々、接着材により接着固定されている。
【0005】5は蛍光体1を透過したX線を吸収又は遮
蔽するためのX線遮蔽材であり、Pb等の比較的原子番
号の大きい材料から形成されている。X線遮蔽材5は、
支持板4に接着されるか、もしくは支持板4にねじによ
り締結されている。7は支持部材であり、基台3と支持
板4から構成されている。10はセンサ部2から得た信
号を処理するための電気回路基板、11はセンサ部2と
電気回路基板10を電気的に接続するためのフレキシブ
ル配線、12はセンサ部2の駆動やセンサ部2から得た
信号を転送/処理するためのIC素子である。
【0006】次に、従来例のX線画像検出器の動作につ
いて説明する。X線発生装置(図示略)からX線画像検
出器に照射されたX線は、蛍光体1により可視光に変換
され、その光量に応じた電荷がセンサ部2内の光電変換
素子に蓄積される。光電変換素子に蓄積された電荷は、
センサ部2内のトランジスタ、フレキシブル配線11、
フレキシブル配線11上に配設されたIC素子12を介
して、電圧として読み出される。読み出された電圧(情
報)は、電気回路基板10上のIC素子12によって適
当な処理が行われ、画像として得られる。
【0007】ところで、X線画像検出器における蛍光体
1が配設されていない領域に照射されたX線や、蛍光体
1で可視光に変換されずに透過したX線が、フレキシブ
ル配線11や電気回路基板10上のIC素子12に照射
されると、IC素子の誤動作や特性劣化の原因となる。
この問題を回避するために、支持板4と電気回路基板1
0の間にX線遮蔽材5によるX線遮蔽層を設けている。
【0008】図8は図7を紙面下側から見た図である。
図7及び図8に示すように、X線遮蔽材5と支持板4の
X線照射面内の大きさはほぼ同じであり、このように支
持板4にX線遮蔽材5を積層することによって、電気回
路基板10の全面及びフレキシブル配線11上のIC素
子12にX線が照射されないような構成としている。
尚、X線遮蔽材5の厚みtは、実用上照射されるX線量
に対し、X線画像検出器の性能や耐久性を考慮して、実
用上IC素子が問題なく動作するレベルまでX線を遮蔽
するように決められている。
【0009】ところで、図7に示す従来例では、電気回
路基板10の全面及びフレキシブル配線11上のIC素
子12にX線が照射されないような構成としているた
め、X線が照射されても実用上問題ない電気回路基板1
0上の配線等、IC素子以外の領域までX線遮蔽材5を
配設している。そのため、X線画像検出器の重量が増大
してしまうという問題があった。
【0010】そこで、他の従来例として図9に示すよう
なX線画像検出器が提案されている。図9に示す他の従
来例のX線画像検出器では、X線遮蔽部材5は、X線照
射による誤動作や劣化の恐れのあるIC素子12のX線
が照射される面内における、電気回路基板10もしくは
フレキシブル配線11上の実装位置に対応した位置にの
み配置している。これにより、図7に示す従来例に比較
して、X線が照射されても実用上問題ない電気回路基板
10上の配線等、IC素子以外の領域の余分なX線遮蔽
部材5を減らすことができ、X線画像検出器の軽量化を
達成している。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例においては次のような問題点があった。
【0012】図9に示した他の従来例のX線画像検出器
では、X線が照射されても実用上問題ない電気回路基板
10上の配線等、IC素子以外の領域の余分なX線遮蔽
部材5を減らすことで、X線画像検出器の軽量化が達成
されているものの、IC素子ごとに分割されたX線遮蔽
材5を配置することによる新たな問題が生じる。
【0013】次に、この問題点について説明する。X線
が物質中を伝播するとき、X線は物質から影響を受けて
エネルギや伝播方向を変える、いわゆるX線と物質の相
互作用があることはよく知られている。蛍光体のない領
域に照射されたX線や、蛍光体で可視光変換されずに透
過したX線が、X線遮蔽部材を伝播すると、この相互作
用によって、一部のX線もしくはX線遮蔽部材中で発生
したX線が、蛍光体側に散乱する。すると、この散乱X
線が蛍光体で可視光変換され、本来の画像情報上に重畳
されてしまう。他の従来例のようにX線遮蔽部材がセン
サ面内に部分的に散在すると、散乱X線による重畳分も
散在する、即ちX線遮蔽部材の有無によりセンサ出力に
段差ができ、結果的に画像上に偽画像であるX線遮蔽部
材の影が映し出されてしまう。
【0014】図10はX線遮蔽材の厚さと散乱X線量の
関係を表す特性図である。図10中に示すように、厚さ
tのX線遮蔽部材からの散乱X線量はxとなる。つま
り、X線遮蔽材の有無による散乱X線量の差Δxは、 Δx=x−0=x となり、このΔxが大きいほど偽画像が生じやすい。
【0015】尚、図7に示した従来例のX線画像検出器
のように、支持板とほぼ同じ大きさのX線遮蔽部材を積
層する場合は、散乱X線の影響をセンサ面全体が一様に
受けるため、センサ出力に段差は生じない。この場合、
散乱X線の影響は、画像上ランダムに生じる電気ノイズ
と共に画像処理によって除去される。つまり、この問題
を回避するには、図7に示した従来例のように、支持板
とほぼ同じ大きさのX線遮蔽材を積層すればよいが、こ
れでは先に述べたようにX線画像検出器の重量が増大し
てしまう。
【0016】本発明の目的は、放射線源から照射された
放射線がフレキシブル配線や電気回路基板上のIC素子
に照射されてIC素子の誤動作や特性劣化が起きること
を防止すると共に、散乱X線による画質劣化が起きな
い、比較的軽量化された放射線画像検出装置及び放射線
遮蔽方法を提供するものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明は、放射線源から
照射される放射線を電荷に変換して蓄積し前記蓄積した
電荷を転送するセンサ部と、該センサ部を支持する支持
部材と、前記放射線源から照射される前記放射線の一部
を吸収又は遮蔽する放射線遮蔽部材と、前記センサ部の
駆動及び前記センサ部より得た信号を処理するIC素子
が搭載された電気回路基板とを備えた放射線画像検出装
置において、前記放射線遮蔽部材を、前記センサ部の有
効エリアに対応した位置に配置された第1の放射線遮蔽
部材と、複数に分割され、前記電気回路基板上の前記I
C素子の前記放射線が照射される面内位置に対応した位
置に配置された第2の放射線遮蔽部材とから構成したこ
とを特徴とする。
【0018】また、本発明は、放射線源から照射される
放射線を電荷に変換して蓄積し前記蓄積した電荷を転送
するセンサ部と、該センサ部を支持する支持部材と、前
記センサ部の駆動及び前記センサ部より得た信号を処理
するIC素子が搭載された電気回路基板とを備えた放射
線画像検出装置における放射線遮蔽方法において、前記
センサ部の有効エリアに対応した位置に配置された第1
の放射線遮蔽部材と、複数に分割され、前記電気回路基
板上の前記IC素子の前記放射線が照射される面内位置
に対応した位置に配置された第2の放射線遮蔽部材とに
より、前記放射線源から照射される前記放射線の一部を
吸収又は遮蔽することを特徴とする。
【0019】また、本発明の放射線画像検出装置は、図
1を参照しつつ説明すれば、放射線源から照射される放
射線を電荷に変換して蓄積し前記蓄積した電荷を転送す
るセンサ部(2)と、該センサ部を支持する支持部材
(7)と、前記放射線源から照射される前記放射線の一
部を吸収又は遮蔽する放射線遮蔽部材(15、16)
と、前記センサ部の駆動及び前記センサ部より得た信号
を処理するIC素子(12)が搭載された電気回路基板
(10)とを備えた放射線画像検出装置において、前記
放射線遮蔽部材を、前記センサ部の有効エリアに対応し
た位置に配置された第1の放射線遮蔽部材(15)と、
複数に分割され、前記電気回路基板上の前記IC素子の
前記放射線が照射される面内位置に対応した位置に配置
された第2の放射線遮蔽部材(16)とから構成したも
のである。
【0020】
【発明の実施の形態】[第1実施形態]次に、本発明の
第1実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0021】(1)構成の説明 図1は本発明の第1実施形態の間接変換方式2次元セン
サを用いたX線画像検出器の断面を模式的に示した模式
断面図である。X線画像検出器は、蛍光体1、センサ部
2、基台3及び支持板4からなる支持部材7、電気回路
基板10、フレキシブル配線11、IC素子12、第1
のX線遮蔽材15、第2のX線遮蔽材16を備えてい
る。図1に示す第1実施形態のX線画像検出器の構成に
おいて、図7に示す従来例と同一部材には同一符号を付
し、ここでの説明を省略する。また、図1に示す第1実
施形態のX線画像検出器の動作についても、図7に示す
従来例と同様のため、ここでの説明を省略する。
【0022】図1において、15は厚さtaである第1
のX線遮蔽材、16は厚さtbである第2のX線遮蔽材
である。第2のX線遮蔽材16は、第1のX線遮蔽材1
5と接着固定されている。第1のX線遮蔽材と、第2の
X線遮蔽材は、Pbを含む材料から形成されており、図
7に示したX線遮蔽材5と同材料で形成されている。
尚、本発明の第1実施形態では、第1のX線遮蔽材15
と第2のX線遮蔽材16は、同一の金属を含む材料から
形成されているが、少なくとも、Pb、Ba、Ta、W
からなる群から選択された金属を有していれば、異なる
金属を含む材料から形成されていてもよく、剛性や加工
性、厚さやX線吸収率等を考慮して適当に決めることが
望ましい。
【0023】第1のX線遮蔽材15の厚さtaと、第2
のX線遮蔽材16の厚さtbの合計の厚さ(ta+t
b)は、実用上照射されるX線量に対し、X線画像検出
器の性能や耐久性を考慮して、実用上IC素子が問題な
く動作するレベルまでX線を遮蔽するように決められて
いる。本発明の第1実施の形態においては、合計の厚さ
(ta+tb)=1.3mmとなっている。このため、
透過してきたX線によるIC素子12の誤動作は起こら
ず、特性劣化も問題ない。
【0024】尚、合計の厚さ(ta+tb)は、図7及
び図9に示す従来のX線遮蔽材5の厚さtに等しい。ま
た、第2のX線遮蔽材16の厚さtbは、第2のX線遮
蔽材16からの散乱X線による偽画像が実用上問題ない
レベルになるように決められており、本発明の第1実施
の形態では、第2のX線遮蔽材16の厚さtb=0.8
mmとなっている。従って、本発明の第1実施形態で
は、第1のX線遮蔽材15の厚さta=0.5mmとな
っている。尚、第2のX線遮蔽材16の厚さが1mm以
下であれば、実用上照射されるX線量によって発生する
散乱X線による偽画像が実用上問題ないレベルとなる。
【0025】(2)動作の説明 次に、本発明の第1実施形態の動作について図1〜図2
を参照して詳細に説明する。
【0026】本発明の第1実施形態のX線画像検出器に
おける散乱X線の影響について説明する。本発明の第1
実施形態においては、厚さtaの第1のX線遮蔽部材1
5からの散乱X線量は、図2に示すようにxaとなる。
一方、第2のX線遮蔽部材16のある部位、即ち厚さ
(ta+tb)のX線遮蔽部材からの散乱X線量は、x
bとなる。この散乱X線量xbは、後述の図3に示すX
線画像検出器における散乱X線量xと略同じである。こ
のため、第2のX線遮蔽部材16の有無による散乱X線
量の差Δxは、 Δx=xb−xa≒x−xa となり、従来に比べて散乱X線による影響を低減するこ
とができる。
【0027】つまり、散乱X線量の差Δxによる偽画像
が実用上問題ないレベルになるように、第2のX線遮蔽
部材16の厚さを決めることにより、IC素子ごとに分
割されたX線遮蔽部材を配置することによる問題を回避
することができる。
【0028】[第2実施形態]次に、本発明の第2実施
形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0029】(1)構成の説明 図3は本発明の第2実施形態の間接変換方式2次元セン
サを用いたX線画像検出器の断面を模式的に示した模式
断面図である。図3に示す第2実施形態のX線画像検出
器の構成において、図1に示す第1実施形態と同一部材
には同一符号を付し、ここでの説明を省略する。
【0030】図3において、15’は厚さtcである第
1のX線遮蔽材、16’は厚さtdである第2のX線遮
蔽材であり、第1実施形態と同様に、図7に示す従来例
のX線遮蔽材5と同材料で形成されている。第1のX線
遮蔽材15’は、基台3と支持板4の間に配設されてい
る。第2のX線遮蔽材16’は、支持部材の一部である
支持板4に形成された凹部に埋設されている。
【0031】つまり、第1のX線遮蔽部材15’と、第
2のX線遮蔽部材16’は、X線源より照射されるX線
の進行方向に対し、第1のX線遮蔽部材15’、第2の
X線遮蔽部材16’、の順に配設されている。このた
め、画質劣化の原因である、第2のX線遮蔽部材16’
に到達するX線量は、第1のX線遮蔽部材15’の吸収
により低減され、より偽画像が発生しにくい構造となっ
ている。もしくは、X線量が低減される分だけ、第1の
X線遮蔽部材15’の厚みを薄くすることができるた
め、X線画像検出器が薄型化及び軽量化されている。
【0032】本発明の第2実施形態では、第1のX線遮
蔽材15’の厚さはtc=0.3mmとなっており、第
1実施形態よりも薄くなっている。尚、第2のX線遮蔽
材16’の厚さはtd=1mmであり、第1実施形態の
X線遮蔽材の合計の厚さ(ta+tb)と、第2実施形
態X線遮蔽材の合計の厚さ(tc+td)は等しい。従
って、第2実施形態では、第1実施形態に比べ、第2の
X線遮蔽材16’の厚みは増すものの、表面積の大きい
第1のX線遮蔽材15’が薄くなる。このため、X線遮
蔽材全体としては軽量化され、X線画像検出器が軽量化
されている。また、第2のX線遮蔽部材16’を支持板
4の凹部に埋設したことにより、従来に比べ厚さtd分
だけ、X線画像検出器が薄型化されている。
【0033】図4は図3のX線画像検出器をX線照射面
の裏面側から見た図である。図4に示すように、第2の
X線遮蔽部材16’は、X線照射による誤動作や劣化の
恐れのあるIC素子12のX線が照射される面内位置に
対応した位置に配設されている。このため、第2のX線
遮蔽部材16’の大きさを必要最小限の大きさとするこ
とができ、軽量化されている。また、第2の放射線遮蔽
部材16’は、図4中に破線で示すごとく、IC素子1
2の放射線が照射される面と略同じ表面積、もしくはそ
れ以上の表面積を有している。このため、IC素子12
に照射されるX線を確実に遮蔽することができる。尚、
放射線遮蔽部材の大きさは製造誤差等を考慮して適当に
決めることが望ましい。
【0034】図5は図3のX線画像検出器をX線照射面
側から見た図である。図5に示すように、第1のX線遮
蔽材15’は、図5中破線で示すセンサ部有効エリア1
7に対応した位置に配設されている。また、第1のX線
遮蔽材15’は、センサ部有効エリア17を含み、且つ
センサ部有効エリア17以上の表面積を有している。こ
のため、第1のX線遮蔽材15’からの散乱X線の影響
は、センサ部有効エリア17内で一様となり、画像上ラ
ンダムに生じる電気ノイズと共に画像処理によって除去
することができるように構成されている。
【0035】(2)動作の説明 次に、本発明の第2実施形態の動作について図3〜図5
を参照して詳細に説明する。
【0036】本発明の第2実施形態のX線画像検出器に
おける散乱X線の影響について説明する。本発明の第2
実施形態においては、第1のX線遮蔽部材15’と、第
2のX線遮蔽部材16’は、X線源より照射されるX線
の進行方向に対し、第1のX線遮蔽部材15’、第2の
X線遮蔽部材16’、の順に配設されているため、画質
劣化の原因である、第2のX線遮蔽部材16’に到達す
るX線量は、第1のX線遮蔽部材15’の吸収により低
減され、より偽画像が発生しにくい。また、X線量が低
減する分だけ第1のX線遮蔽部材15’の厚みを薄くで
きるため、X線画像検出器の薄型化・軽量化を図ること
ができる。
【0037】また、第2実施形態においては、第1実施
形態に比べ、表面積の大きい第1のX線遮蔽材15’が
薄くなるため、X線遮蔽材全体としては軽量化すること
ができ、X線画像検出器の軽量化を図ることができる。
また、第2のX線遮蔽部材16’を支持板4の凹部に埋
設しているため、従来に比べ厚さtd分だけ、X線画像
検出器の薄型化を図ることができる。
【0038】また、第2実施形態においては、第2のX
線遮蔽部材16’は、X線照射による誤動作や劣化の恐
れのあるIC素子12のX線が照射される面内位置に対
応した位置に配設されているため、第2のX線遮蔽部材
16’の大きさを必要最小限とすることができ、X線画
像検出器の軽量化を図ることができる。また、第2の放
射線遮蔽部材16’は、図8中破線で示すごとくIC素
子12の放射線が照射される面と略同じ表面積、もしく
はそれ以上の表面積を有しているため、IC素子12に
照射されるX線を確実に遮蔽することができる。
【0039】また、第2実施形態においては、第1のX
線遮蔽材15’は、センサ部有効エリア17を含み、且
つセンサ部有効エリア17以上の表面積を有しているた
め、第1のX線遮蔽材15’からの散乱X線の影響は、
センサ部有効エリア17内で一様となり、画像上ランダ
ムに生じる電気ノイズと共に画像処理によって除去する
ことができる。
【0040】[第3実施形態]次に、本発明の第3実施
形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0041】(1)構成の説明 図6は本発明の第3実施形態の間接変換方式2次元セン
サを用いたX線画像検出器の断面を模式的に示した模式
断面図である。図6に示す第3実施形態のX線画像検出
器の構成において、図1に示す第1実施形態と同一部材
には同一符号を付し、ここでの説明を省略する。
【0042】図6において、支持部材の一部である支持
板4に凹部を設け、該凹部に第1のX線遮蔽部材15”
と、第2のX線遮蔽部材16”を埋設している。これに
より、従来に比べX線遮蔽材の厚さt分だけ、X線画像
検出器が薄型化されている。また、第1のX線遮蔽部材
15”と第2のX線遮蔽部材16”は一体成形されてい
る。これにより、複数に分割された第2のX線遮蔽部材
16”を1つ1つ接着固定する場合に比べ、X線画像検
出器製造時の作業性を向上させている。
【0043】(2)動作の説明 次に、本発明の第3実施形態の動作について図6を参照
して詳細に説明する。
【0044】本発明の第3実施形態のX線画像検出器に
おける散乱X線の影響について説明する。本発明の第3
実施形態においては、支持部材の一部である支持板4に
凹部を設け、該凹部に第1のX線遮蔽部材15”と、第
2のX線遮蔽部材16”を埋設しているため、従来に比
べ、X線遮蔽材の厚さt分だけ、X線画像検出器の薄型
化を図ることができる。
【0045】また、第3実施形態においては、第1のX
線遮蔽部材15”と第2のX線遮蔽部材16”を一体成
形しているため、複数に分割された第2のX線遮蔽部材
16”を1つ1つ接着固定する場合に比べ、X線画像検
出器製造時の作業性を向上させることができる。
【0046】尚、本発明は、X線を蛍光体によって可視
光に変換してから光電変換素子によって電荷とする間接
変換方式のX線画像検出器(2次元画像検出器)に限定
されるものではなく、X線を直接電荷に変換する直接変
換方式のX線画像検出器(2次元画像検出器)において
も同様の効果が得られる。
【0047】また、本発明は、放射線の種類がX線に限
定されるものではなく、他の放射線(α線、β線、γ
線)の画像を検出する2次元画像検出器においても同様
の効果が得られる。
【0048】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
放射線遮蔽部材を、センサ部有効エリアに対応した位置
に配置された第1の放射線遮蔽部材と、複数に分割さ
れ、電気回路基板上のIC素子の放射線が照射される面
内位置に対応した位置に配置された第2の放射線遮蔽部
材とから構成しているため、放射線画像検出装置の重量
化を最小限にとどめつつ、IC素子ごとに分割された放
射線遮蔽部材を配置することによる生じる散乱X線によ
る画質の劣化を防止することができる。
【0049】また、本発明によれば、第1の放射線遮蔽
部材と、第2の放射線遮蔽部材を、放射線源より照射さ
れる放射線の進行方向に対し、第1の放射線遮蔽部材、
第2の放射線遮蔽部材の順に配設しているため、画質劣
化の原因である第2の放射線遮蔽部材に到達する放射線
量が減り、より偽画像を発生しにくくすることができ
る。もしくは、放射線量が低減する分だけ、第1の放射
線遮蔽部材の厚みを薄くすることができるため、放射線
画像検出装置の薄型化・軽量化を図ることができる。
【0050】また、本発明によれば、第2の放射線遮蔽
部材は、少なくとも、IC素子の放射線が照射される面
と略同じ面積を有するため、従来のようにIC素子に放
射線が照射されることなく、確実に放射線を遮蔽するこ
とができる。
【0051】また、本発明によれば、第1の放射線遮蔽
部材と第2の放射線遮蔽部材を一体成形しているため、
第1の放射線遮蔽部材と第2の放射線遮蔽部材を放射線
画像検出装置に実装する際の作業性を向上させることが
できる。
【0052】また、本発明によれば、支持部材に凹部を
設け、該凹部に第2の放射線遮蔽部材を埋設しているた
め、第2の放射線遮蔽材の厚み分だけ、放射線画像検出
装置を薄型化することができる。
【0053】また、本発明によれば、支持部材に凹部を
設け、該凹部に第1の放射線遮蔽部材と第2の放射線遮
蔽部材を埋設しているため、第1の放射線遮蔽部材と第
2の放射線遮蔽材の厚み分だけ、放射線画像検出装置を
薄型化することができる。
【0054】また、本発明によれば、第1の放射線遮蔽
部材は、少なくとも、センサ部有効エリア以上の面積を
有するため、第1の放射線遮蔽部材からの散乱放射線に
よって生じる偽画像による画質劣化を防止することがで
きる。
【0055】また、本発明によれば、第2のX線遮蔽部
材の厚さを1mm以下としているため、実用上照射され
る放射線量によって発生する散乱放射線による偽画像が
実用上問題ないレベルとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態のX線画像検出器の断面
を模式的に示した模式断面図である。
【図2】本発明の第1実施形態のX線画像検出器におけ
るX線遮蔽材の厚さと散乱X線量の関係を表す特性図で
ある。
【図3】本発明の第2実施形態のX線画像検出器の断面
を模式的に示した模式断面図である。
【図4】本発明の第2実施形態のX線画像検出器をX線
照射面の裏面側から見た図である。
【図5】本発明の第2実施形態のX線画像検出器をX線
照射面側から見た図である。
【図6】本発明の第3実施形態のX線画像検出器の断面
を模式的に示した模式断面図である。
【図7】従来例のX線画像検出器の断面を模式的に示し
た模式断面図である。
【図8】従来例のX線画像検出器をX線照射面の裏面側
から見た図である。
【図9】他の従来例のX線画像検出器の断面を模式的に
示した模式断面図である。
【図10】従来例のX線遮蔽材の厚さと散乱X線量の関
係を表す特性図である。
【符号の説明】
1 蛍光体 2 センサ部 7 支持部材 10 電気回路基板 12 IC素子 15 第1の放射線遮蔽部材 16 第2の放射線遮蔽部材 17 センサ部有効エリア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 31/09 H01L 27/14 K Fターム(参考) 2G088 EE01 FF02 GG19 GG20 GG21 JJ05 JJ09 JJ29 JJ37 LL09 LL11 LL12 4M118 AA05 AB01 BA05 CB11 FB08 GA10 GB01 GB11 HA26 5F088 AA01 AB05 BB03 BB07 EA06 GA02 HA10 LA08

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 放射線源から照射される放射線を電荷に
    変換して蓄積し前記蓄積した電荷を転送するセンサ部
    と、該センサ部を支持する支持部材と、前記放射線源か
    ら照射される前記放射線の一部を吸収又は遮蔽する放射
    線遮蔽部材と、前記センサ部の駆動及び前記センサ部よ
    り得た信号を処理するIC素子が搭載された電気回路基
    板とを備えた放射線画像検出装置において、 前記放射線遮蔽部材を、前記センサ部の有効エリアに対
    応した位置に配置された第1の放射線遮蔽部材と、複数
    に分割され、前記電気回路基板上の前記IC素子の前記
    放射線が照射される面内位置に対応した位置に配置され
    た第2の放射線遮蔽部材とから構成したことを特徴とす
    る放射線画像検出装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の放射線遮蔽部材と前記第2の
    放射線遮蔽部材を、前記放射線源より照射される前記放
    射線の進行方向に対し、前記第1の放射線遮蔽部材、前
    記第2の放射線遮蔽部材の順に配設したことを特徴とす
    る請求項1に記載の放射線画像検出装置。
  3. 【請求項3】 前記第2の放射線遮蔽部材は、少なくと
    も、前記IC素子における前記放射線が照射される面と
    略同じ表面積を有することを特徴とする請求項1に記載
    の放射線画像検出装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の放射線遮蔽部材と前記第2の
    放射線遮蔽部材は、少なくとも、Pb、Ba、Ta、W
    からなる群から選択された金属を有することを特徴とす
    る請求項1に記載の放射線画像検出装置。
  5. 【請求項5】 前記第1の放射線遮蔽部材と前記第2の
    放射線遮蔽部材を一体成形したことを特徴とする請求項
    1に記載の放射線画像検出装置。
  6. 【請求項6】 前記センサ部における前記放射線が照射
    される面側に、前記放射線を可視光に変換する蛍光体を
    配設したことを特徴とする請求項1に記載の放射線画像
    検出装置。
  7. 【請求項7】 前記支持部材に凹部を設け、該凹部に前
    記第2の放射線遮蔽部材を埋設したことを特徴とする請
    求項1に記載の放射線画像検出装置。
  8. 【請求項8】 前記支持部材に凹部を設け、該凹部に前
    記第1の放射線遮蔽部材と前記第2の放射線遮蔽部材を
    埋設したことを特徴とする請求項1に記載の放射線画像
    検出装置。
  9. 【請求項9】 前記第1の放射線遮蔽部材は、少なくと
    も、前記センサ部の有効エリア以上の表面積を有するこ
    とを特徴とする請求項1に記載の放射線画像検出装置。
  10. 【請求項10】 前記第2の放射線遮蔽部材の厚さを1
    mm以下としたことを特徴とする請求項1に記載の放射
    線画像検出装置。
  11. 【請求項11】 前記放射線を直接電荷に変換する直接
    変換方式の放射線画像検出装置に適用されることを特徴
    とする請求項1〜5、7〜10のいずれかに記載の放射
    線画像検出装置。
  12. 【請求項12】 X線の照射に基づく画像を検出する放
    射線画像検出器、或いはα線の照射の基づく画像を検出
    する放射線画像検出器、或いはβ線の照射の基づく画像
    を検出する放射線画像検出器、或いはγ線の照射に基づ
    く画像を検出する放射線画像検出器に適用されることを
    特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の放射線画
    像検出装置。
  13. 【請求項13】 放射線源から照射される放射線を電荷
    に変換して蓄積し前記蓄積した電荷を転送するセンサ部
    と、該センサ部を支持する支持部材と、前記センサ部の
    駆動及び前記センサ部より得た信号を処理するIC素子
    が搭載された電気回路基板とを備えた放射線画像検出装
    置における放射線遮蔽方法において、 前記センサ部の有効エリアに対応した位置に配置された
    第1の放射線遮蔽部材と、複数に分割され、前記電気回
    路基板上の前記IC素子の前記放射線が照射される面内
    位置に対応した位置に配置された第2の放射線遮蔽部材
    とにより、前記放射線源から照射される前記放射線の一
    部を吸収又は遮蔽することを特徴とする放射線遮蔽方
    法。
  14. 【請求項14】 前記放射線源より照射される前記放射
    線の進行方向に対し、前記第1の放射線遮蔽部材、前記
    第2の放射線遮蔽部材の順に配設した前記第1の放射線
    遮蔽部材と前記第2の放射線遮蔽部材とにより、前記放
    射線源から照射される前記放射線の一部を吸収又は遮蔽
    することを特徴とする請求項13に記載の放射線遮蔽方
    法。
  15. 【請求項15】 前記第1の放射線遮蔽部材と、少なく
    とも、前記IC素子における前記放射線が照射される面
    と略同じ表面積を有する前記第2の放射線遮蔽部材とに
    より、前記放射線源から照射される前記放射線の一部を
    吸収又は遮蔽することを特徴とする請求項13に記載の
    放射線遮蔽方法。
  16. 【請求項16】 少なくとも、Pb、Ba、Ta、Wか
    らなる群から選択された金属を各々有する前記第1の放
    射線遮蔽部材と前記第2の放射線遮蔽部材とにより、前
    記放射線源から照射される前記放射線の一部を吸収又は
    遮蔽することを特徴とする請求項13に記載の放射線遮
    蔽方法。
  17. 【請求項17】 一体成形した前記第1の放射線遮蔽部
    材と前記第2の放射線遮蔽部材とにより、前記放射線源
    から照射される前記放射線の一部を吸収又は遮蔽するこ
    とを特徴とする請求項13に記載の放射線遮蔽方法。
  18. 【請求項18】 前記センサ部における前記放射線が照
    射される面側に、前記放射線を可視光に変換する蛍光体
    を配設した前記放射線画像検出装置において、前記第1
    の放射線遮蔽部材と前記第2の放射線遮蔽部材とによ
    り、前記放射線源から照射される前記放射線の一部を吸
    収又は遮蔽することを特徴とする請求項13に記載の放
    射線遮蔽方法。
  19. 【請求項19】 前記第1の放射線遮蔽部材と、前記支
    持部材に設けた凹部に埋設された前記第2の放射線遮蔽
    部材とにより、前記放射線源から照射される前記放射線
    の一部を吸収又は遮蔽することを特徴とする請求項13
    に記載の放射線遮蔽方法。
  20. 【請求項20】 前記支持部材に設けた凹部に各々埋設
    された前記第1の放射線遮蔽部材と前記第2の放射線遮
    蔽部材とにより、前記放射線源から照射される前記放射
    線の一部を吸収又は遮蔽することを特徴とする請求項1
    3に記載の放射線遮蔽方法。
  21. 【請求項21】 少なくとも、前記センサ部の有効エリ
    ア以上の表面積を有する前記第1の放射線遮蔽部材と、
    前記第2の放射線遮蔽部材とにより、前記放射線源から
    照射される前記放射線の一部を吸収又は遮蔽することを
    特徴とする請求項13に記載の放射線遮蔽方法。
  22. 【請求項22】 前記第1の放射線遮蔽部材と、厚さが
    1mm以下に形成された前記第2の放射線遮蔽部材とに
    より、前記放射線源から照射される前記放射線の一部を
    吸収又は遮蔽することを特徴とする請求項13に記載の
    放射線遮蔽方法。
  23. 【請求項23】 前記放射線を直接電荷に変換する直接
    変換方式の放射線画像検出装置において、前記第1の放
    射線遮蔽部材と前記第2の放射線遮蔽部材とにより、前
    記放射線源から照射される前記放射線の一部を吸収又は
    遮蔽することを特徴とする請求項13〜17、19〜2
    2のいずれかに記載の放射線遮蔽方法。
  24. 【請求項24】 X線の照射に基づく画像を検出する放
    射線画像検出装置、或いはα線の照射の基づく画像を検
    出する放射線画像検出装置、或いはβ線の照射の基づく
    画像を検出する放射線画像検出装置、或いはγ線の照射
    に基づく画像を検出する放射線画像検出装置において、
    前記第1の放射線遮蔽部材と前記第2の放射線遮蔽部材
    とにより、前記放射線源から照射される前記放射線の一
    部を吸収又は遮蔽することを特徴とする請求項13〜2
    3のいずれかに記載の放射線遮蔽方法。
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