JP2003013260A - エッチング部品の製造方法及び製造装置 - Google Patents
エッチング部品の製造方法及び製造装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】エッチング部品製造の乾燥において、平面視矩
形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥でも金属薄板の幅
方向での乾燥に過不足を発生させず、従って、エッチン
グ後の金属薄板のエッチングパターン寸法を均一なもの
とし、高品質なエッチング部品を安定して製造すること
のできるエッチング部品の製造方法、及び製造装置を提
供すること。 【解決手段】平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを、金
属薄板の搬送方向と平行に、金属薄板の幅方向に多数
個、水平に配置し、乾燥ヒーターの各々の温度を制御し
て乾燥ヒーターによる乾燥をすること。
形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥でも金属薄板の幅
方向での乾燥に過不足を発生させず、従って、エッチン
グ後の金属薄板のエッチングパターン寸法を均一なもの
とし、高品質なエッチング部品を安定して製造すること
のできるエッチング部品の製造方法、及び製造装置を提
供すること。 【解決手段】平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを、金
属薄板の搬送方向と平行に、金属薄板の幅方向に多数
個、水平に配置し、乾燥ヒーターの各々の温度を制御し
て乾燥ヒーターによる乾燥をすること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高い品質のエッチ
ング部品を安定して製造するエッチング部品の製造方法
及びエッチング部品の製造装置に関する。
ング部品を安定して製造するエッチング部品の製造方法
及びエッチング部品の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】リードフレーム、シャドウマスクなどの
金属薄板からなる電子部品はフォトエッチング法を用い
て製造されることが多い。以下に、一般的な製造方法を
説明する。まず、金属ロールから供給され、長尺帯状で
搬送される金属薄板の両面に感光性樹脂（フォトレジス
ト）を塗布、乾燥して感光層（フォトレジスト層）を形
成する。次に、所定の遮光パターンを有する露光用マス
ク（多くの場合、表裏２枚のマスク）を位置合わせ、密
着して、所定の露光量で感光層にパターン露光を行う。
次に、所定の薬液で現像、硬膜処理等を行い、金属薄板
の両面に所定形状のレジストパターンを形成する。
金属薄板からなる電子部品はフォトエッチング法を用い
て製造されることが多い。以下に、一般的な製造方法を
説明する。まず、金属ロールから供給され、長尺帯状で
搬送される金属薄板の両面に感光性樹脂（フォトレジス
ト）を塗布、乾燥して感光層（フォトレジスト層）を形
成する。次に、所定の遮光パターンを有する露光用マス
ク（多くの場合、表裏２枚のマスク）を位置合わせ、密
着して、所定の露光量で感光層にパターン露光を行う。
次に、所定の薬液で現像、硬膜処理等を行い、金属薄板
の両面に所定形状のレジストパターンを形成する。
【０００３】次に、レジストパターンが形成された金属
薄板の両面から塩化第２鉄液等を用いて、レジストパタ
ーンが形成されていない金属薄板の露出部分が貫通する
までエッチングを行い、金属薄板に所定形状の開口パタ
ーンを形成する。続いて、金属薄板上のレジストパター
ンを、アルカリ水溶液を用いて剥離処理、長尺帯状から
枚葉状への断裁、不要部の除去などを行い、金属薄板か
らなる所定形状のパターンを有するエッチング部品とす
るものである。
薄板の両面から塩化第２鉄液等を用いて、レジストパタ
ーンが形成されていない金属薄板の露出部分が貫通する
までエッチングを行い、金属薄板に所定形状の開口パタ
ーンを形成する。続いて、金属薄板上のレジストパター
ンを、アルカリ水溶液を用いて剥離処理、長尺帯状から
枚葉状への断裁、不要部の除去などを行い、金属薄板か
らなる所定形状のパターンを有するエッチング部品とす
るものである。
【０００４】図５は、上記金属薄板の両面にフォトレジ
ストを塗布した後の乾燥を行う際に用いる乾燥装置の一
例における乾燥装置内部の金属薄板と乾燥ヒーターとの
関係を模式的に示す平面図である。また、図６は、図５
に模式的に示す金属薄板と乾燥ヒーターとの関係のＸ−
Ｘ’断面図である。
ストを塗布した後の乾燥を行う際に用いる乾燥装置の一
例における乾燥装置内部の金属薄板と乾燥ヒーターとの
関係を模式的に示す平面図である。また、図６は、図５
に模式的に示す金属薄板と乾燥ヒーターとの関係のＸ−
Ｘ’断面図である。
【０００５】図５、及び図６に示すように、乾燥装置内
では、上乾燥ヒーター（５１ａ）及び下乾燥ヒーター
（５１ｂ）で構成される上下一対の乾燥ヒーター（５
１）が、金属薄板（５２）の搬送方向と直角に、金属薄
板（５２）の搬送方向に多数個、水平に配置されてい
る。この乾燥ヒーター（５１）は、一様に細長い、例え
ば、遠赤外線パネルヒーターであり、金属薄板（５２）
は、この多数個配置された、一様に細長い上下一対の乾
燥ヒーター（５１）間を白太矢印で示すように、水平に
搬送されるようになっている。
では、上乾燥ヒーター（５１ａ）及び下乾燥ヒーター
（５１ｂ）で構成される上下一対の乾燥ヒーター（５
１）が、金属薄板（５２）の搬送方向と直角に、金属薄
板（５２）の搬送方向に多数個、水平に配置されてい
る。この乾燥ヒーター（５１）は、一様に細長い、例え
ば、遠赤外線パネルヒーターであり、金属薄板（５２）
は、この多数個配置された、一様に細長い上下一対の乾
燥ヒーター（５１）間を白太矢印で示すように、水平に
搬送されるようになっている。
【０００６】そして、金属薄板（５２）の両面に塗布さ
れた感光性樹脂（フォトレジスト）は、白太矢印で示す
ように、金属薄板（５２）が搬送されながら多数個配置
された上下一対の乾燥ヒーター（５１）によって乾燥さ
れて感光層（フォトレジスト層）として形成されるよう
になっている。
れた感光性樹脂（フォトレジスト）は、白太矢印で示す
ように、金属薄板（５２）が搬送されながら多数個配置
された上下一対の乾燥ヒーター（５１）によって乾燥さ
れて感光層（フォトレジスト層）として形成されるよう
になっている。
【０００７】このような乾燥装置内での、図５に示すＹ
方向、すなわち、金属薄板（５２）の幅方向の温度分布
は、その中央部では温度が高く、両端部では温度が低い
といった傾向を示す状態となっている。しかし、乾燥装
置が処理できる金属薄板（５２）の、点線で示す有効幅
（Ｗ）に対し、程よい幅（ｗ２）の金属薄板において
は、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合い
に差が生じることはなく、金属薄板の全幅が均一に乾燥
したフォトレジスト層が得られる。
方向、すなわち、金属薄板（５２）の幅方向の温度分布
は、その中央部では温度が高く、両端部では温度が低い
といった傾向を示す状態となっている。しかし、乾燥装
置が処理できる金属薄板（５２）の、点線で示す有効幅
（Ｗ）に対し、程よい幅（ｗ２）の金属薄板において
は、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合い
に差が生じることはなく、金属薄板の全幅が均一に乾燥
したフォトレジスト層が得られる。
【０００８】一方、図３（ａ）に示すように、点線で示
す有効幅（Ｗ）の限度に近い広幅（ｗ１）の金属薄板に
おいては、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥
度合いに差が生じ、金属薄板の中央部（３２）での乾燥
の進みに対し、金属薄板の両端部（３１）では乾燥が遅
れ、乾燥が不足するといったことが発生してしまう。ま
た、図３（ｂ）に示すように、点線で示す有効幅（Ｗ）
に対し、かなり狭幅（ｗ３）の金属薄板においては、そ
の幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差が
生じ、金属薄板の中央部（３４）での乾燥の進みに対
し、金属薄板の両端部（３３）では乾燥が早まり、乾燥
が過剰になるといったことが発生してしまう。
す有効幅（Ｗ）の限度に近い広幅（ｗ１）の金属薄板に
おいては、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥
度合いに差が生じ、金属薄板の中央部（３２）での乾燥
の進みに対し、金属薄板の両端部（３１）では乾燥が遅
れ、乾燥が不足するといったことが発生してしまう。ま
た、図３（ｂ）に示すように、点線で示す有効幅（Ｗ）
に対し、かなり狭幅（ｗ３）の金属薄板においては、そ
の幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差が
生じ、金属薄板の中央部（３４）での乾燥の進みに対
し、金属薄板の両端部（３３）では乾燥が早まり、乾燥
が過剰になるといったことが発生してしまう。
【０００９】このような、広幅（ｗ１）の金属薄板にお
ける両端部（３１）での乾燥の不足、或いは、狭幅（ｗ
３）の金属薄板における両端部（３１）での乾燥の過
剰、すなわち、フォトレジスト層の金属薄板の幅方向で
の乾燥に過不足があると、フォトレジスト層の乾燥が過
剰になった部分では金属薄板に対するフォトレジスト層
の密着が過度なものとなり、エッチング後に金属薄板に
形成されたエッチングパターンの寸法が小さなものとな
る。また、フォトレジスト層の乾燥が不足になった部分
では金属薄板に対するフォトレジスト層の密着が不十分
なものとなり、エッチング後に金属薄板に形成されたエ
ッチングパターンの寸法が大きなものとなる。
ける両端部（３１）での乾燥の不足、或いは、狭幅（ｗ
３）の金属薄板における両端部（３１）での乾燥の過
剰、すなわち、フォトレジスト層の金属薄板の幅方向で
の乾燥に過不足があると、フォトレジスト層の乾燥が過
剰になった部分では金属薄板に対するフォトレジスト層
の密着が過度なものとなり、エッチング後に金属薄板に
形成されたエッチングパターンの寸法が小さなものとな
る。また、フォトレジスト層の乾燥が不足になった部分
では金属薄板に対するフォトレジスト層の密着が不十分
なものとなり、エッチング後に金属薄板に形成されたエ
ッチングパターンの寸法が大きなものとなる。
【００１０】従って、金属薄板の幅方向におけるフォト
レジスト層の乾燥の過不足、すなわち、乾燥の不均一
は、エッチング後の金属薄板のエッチングパターン寸法
を不均一なものとし好ましいものではない。
レジスト層の乾燥の過不足、すなわち、乾燥の不均一
は、エッチング後の金属薄板のエッチングパターン寸法
を不均一なものとし好ましいものではない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、エッチング
部品の製造における乾燥において、一様に細長い乾燥ヒ
ーターによる乾燥をおこなっても、フォトレジスト膜に
金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させることの
ない、従って、エッチング後の金属薄板のパターン寸法
を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定して
収率よく製造することのできるエッチング部品の製造方
法を提供することを課題とする。また、一様に細長い乾
燥ヒーターによる乾燥をおこなっても、フォトレジスト
膜に金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させるこ
とのない、従って、エッチング後の金属薄板のパターン
寸法を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定
して収率よく製造することのできるエッチング部品の製
造装置を提供することを課題とするものである。
部品の製造における乾燥において、一様に細長い乾燥ヒ
ーターによる乾燥をおこなっても、フォトレジスト膜に
金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させることの
ない、従って、エッチング後の金属薄板のパターン寸法
を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定して
収率よく製造することのできるエッチング部品の製造方
法を提供することを課題とする。また、一様に細長い乾
燥ヒーターによる乾燥をおこなっても、フォトレジスト
膜に金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させるこ
とのない、従って、エッチング後の金属薄板のパターン
寸法を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定
して収率よく製造することのできるエッチング部品の製
造装置を提供することを課題とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、エッチング部
品の製造において、フォトレジストを塗布した後の当該
フォトレジストの乾燥に、平面視矩形状の細長い乾燥ヒ
ーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬
送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金
属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、水平に配置
し、各乾燥ヒーターの温度を制御してフォトレジストの
乾燥を行うことを特徴とするエッチング部品の製造方法
である。
品の製造において、フォトレジストを塗布した後の当該
フォトレジストの乾燥に、平面視矩形状の細長い乾燥ヒ
ーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬
送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金
属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、水平に配置
し、各乾燥ヒーターの温度を制御してフォトレジストの
乾燥を行うことを特徴とするエッチング部品の製造方法
である。
【００１３】また、本発明は、エッチング部品の製造に
用いる装置において、フォトレジストを塗布した後の当
該フォトレジストの乾燥に用いる乾燥装置として、平面
視矩形状の細長い乾燥ヒーターを、当該乾燥ヒーターの
長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平
行となるように、金属薄板の幅方向に多数個、水平に配
置し、各乾燥ヒーターの温度を制御可能とした乾燥装置
を具備することを特徴とするエッチング部品の製造装置
である。
用いる装置において、フォトレジストを塗布した後の当
該フォトレジストの乾燥に用いる乾燥装置として、平面
視矩形状の細長い乾燥ヒーターを、当該乾燥ヒーターの
長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平
行となるように、金属薄板の幅方向に多数個、水平に配
置し、各乾燥ヒーターの温度を制御可能とした乾燥装置
を具備することを特徴とするエッチング部品の製造装置
である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図１は、本発明によるエッチング部品の製
造装置における乾燥装置の一実施例の乾燥装置内部の金
属薄板と乾燥ヒーターとの関係を模式的に示す平面図で
ある。また、図２は、図１に模式的に示す金属薄板と乾
燥ヒーターとの関係のＸ−Ｘ’断面図である。
に説明する。図１は、本発明によるエッチング部品の製
造装置における乾燥装置の一実施例の乾燥装置内部の金
属薄板と乾燥ヒーターとの関係を模式的に示す平面図で
ある。また、図２は、図１に模式的に示す金属薄板と乾
燥ヒーターとの関係のＸ−Ｘ’断面図である。
【００１５】図１、及び図２に示すように、乾燥装置内
では、上乾燥ヒーター（１１ａ）及び下乾燥ヒーター
（１１ｂ）で構成される上下一対の乾燥ヒーター（１
１）が、金属薄板（１２）の搬送方向と平行に、金属薄
板の幅方向に多数個、水平に配置されている。この乾燥
ヒーター（１１）は、平面視矩形状の細長い、例えば、
幅５０ｍｍ、長さ８００ｍｍ程度の遠赤外線パネルヒー
ターであり、乾燥ヒーター（１１）は、例えば、図１に
示すように、Ａ〜Ｆで示す金属薄板の幅方向に乾燥装置
の６か所に配置され乾燥ヒーターの群（２１）を構成し
ている。
では、上乾燥ヒーター（１１ａ）及び下乾燥ヒーター
（１１ｂ）で構成される上下一対の乾燥ヒーター（１
１）が、金属薄板（１２）の搬送方向と平行に、金属薄
板の幅方向に多数個、水平に配置されている。この乾燥
ヒーター（１１）は、平面視矩形状の細長い、例えば、
幅５０ｍｍ、長さ８００ｍｍ程度の遠赤外線パネルヒー
ターであり、乾燥ヒーター（１１）は、例えば、図１に
示すように、Ａ〜Ｆで示す金属薄板の幅方向に乾燥装置
の６か所に配置され乾燥ヒーターの群（２１）を構成し
ている。
【００１６】乾燥装置のＡ及びＦの位置は、乾燥装置の
有効幅（Ｗ）に対して十分な外側にある。これにより、
乾燥装置内の図１に示すＹ方向、すなわち、金属薄板
（１２）の幅方向の温度分布をより均一にすることがで
きるものとしている。尚、図１においては、説明の都合
上乾燥ヒーターの群（２１）を金属薄板（１２）の搬送
方向に更に１か所配置しているが、これに限定されるも
のではなく、この乾燥ヒーターの群（２１）の金属薄板
の搬送方向への配置数は適宜に定めて構わない。
有効幅（Ｗ）に対して十分な外側にある。これにより、
乾燥装置内の図１に示すＹ方向、すなわち、金属薄板
（１２）の幅方向の温度分布をより均一にすることがで
きるものとしている。尚、図１においては、説明の都合
上乾燥ヒーターの群（２１）を金属薄板（１２）の搬送
方向に更に１か所配置しているが、これに限定されるも
のではなく、この乾燥ヒーターの群（２１）の金属薄板
の搬送方向への配置数は適宜に定めて構わない。
【００１７】金属薄板（１２）は、この多数個配置され
た、平面視矩形状の細長い上下一対の乾燥ヒーター（１
１）からなる乾燥ヒーターの群（２１）間を白太矢印で
示すように、水平に搬送されるようになっている。そし
て、金属薄板（１２）の両面に塗布された感光性樹脂
（フォトレジスト）は、白太矢印で示すように、金属薄
板（１２）が搬送されながら上下一対の乾燥ヒーター
（１１）で構成される乾燥ヒーターの群（２１）によっ
て乾燥されて感光層（フォトレジスト層）として形成さ
れるようになっている。
た、平面視矩形状の細長い上下一対の乾燥ヒーター（１
１）からなる乾燥ヒーターの群（２１）間を白太矢印で
示すように、水平に搬送されるようになっている。そし
て、金属薄板（１２）の両面に塗布された感光性樹脂
（フォトレジスト）は、白太矢印で示すように、金属薄
板（１２）が搬送されながら上下一対の乾燥ヒーター
（１１）で構成される乾燥ヒーターの群（２１）によっ
て乾燥されて感光層（フォトレジスト層）として形成さ
れるようになっている。
【００１８】本発明においては、乾燥ヒーター（１１）
の各々の温度を制御して乾燥をすることを特徴とするも
のである。すなわち、Ａ〜Ｆで示す乾燥装置の６か所に
配置された各乾燥ヒーター（１１）の温度は、その各々
が高い温度から低い温度まで制御できるようになってい
る。例えば、Ｃ及びＤの位置の乾燥ヒーター（１１）の
温度に対し、Ｂ及びＥの位置の乾燥ヒーター（１１）の
温度をやや高く、Ａ及びＦの位置の乾燥ヒーター（１
１）の温度を十分に高くすることによって、乾燥装置の
Ｙ方向、すなわち、金属薄板（１２）の幅方向の温度分
布を図４（ａ）に示すような、両端部において温度の高
い凹状の温度分布（４１）とすることができる。
の各々の温度を制御して乾燥をすることを特徴とするも
のである。すなわち、Ａ〜Ｆで示す乾燥装置の６か所に
配置された各乾燥ヒーター（１１）の温度は、その各々
が高い温度から低い温度まで制御できるようになってい
る。例えば、Ｃ及びＤの位置の乾燥ヒーター（１１）の
温度に対し、Ｂ及びＥの位置の乾燥ヒーター（１１）の
温度をやや高く、Ａ及びＦの位置の乾燥ヒーター（１
１）の温度を十分に高くすることによって、乾燥装置の
Ｙ方向、すなわち、金属薄板（１２）の幅方向の温度分
布を図４（ａ）に示すような、両端部において温度の高
い凹状の温度分布（４１）とすることができる。
【００１９】また、逆に、例えば、Ｃ及びＤの位置の乾
燥ヒーター（１１）の温度に対し、Ｂ及びＥの位置の乾
燥ヒーター（１１）の温度をやや低く、Ａ及びＦの位置
の乾燥ヒーター（１１）の温度を十分に低くすることに
よって、乾燥装置のＹ方向、すなわち、金属薄板（１
２）の幅方向の温度分布を図４（ｂ）に示すような、両
端部において温度の低い凸状の温度分布（４２）とする
ことができる。
燥ヒーター（１１）の温度に対し、Ｂ及びＥの位置の乾
燥ヒーター（１１）の温度をやや低く、Ａ及びＦの位置
の乾燥ヒーター（１１）の温度を十分に低くすることに
よって、乾燥装置のＹ方向、すなわち、金属薄板（１
２）の幅方向の温度分布を図４（ｂ）に示すような、両
端部において温度の低い凸状の温度分布（４２）とする
ことができる。
【００２０】従って、乾燥装置が処理できる金属薄板
の、点線で示す有効幅（Ｗ）に対し、前記程よい幅（ｗ
２）の金属薄板においては、その幅方向の温度分布を均
一に設定することによって、その幅方向においてフォト
レジスト層の乾燥度合いに差が生じることはなく、金属
薄板の全幅が均一に乾燥したフォトレジスト層が得られ
る。
の、点線で示す有効幅（Ｗ）に対し、前記程よい幅（ｗ
２）の金属薄板においては、その幅方向の温度分布を均
一に設定することによって、その幅方向においてフォト
レジスト層の乾燥度合いに差が生じることはなく、金属
薄板の全幅が均一に乾燥したフォトレジスト層が得られ
る。
【００２１】また、図３（ａ）に示すような、点線で示
す有効幅（Ｗ）の限度に近い前記広幅（ｗ１）の金属薄
板においては、本発明における乾燥装置は、Ａ及びＦの
位置に配置された乾燥ヒーター（１１）が乾燥装置の点
線で示す有効幅（Ｗ）に対して十分な外側にあるので、
その幅方向の温度分布を均一に設定することによって、
その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差
が生じることはなく、金属薄板の全幅が均一に乾燥した
フォトレジスト層が得られる。尚、金属薄板（１２）の
両端部での乾燥が不足気味である際には、Ａ及びＦの位
置に配置された乾燥ヒーター（１１）の温度を高く制御
することによって、フォトレジスト層の金属薄板の幅方
向での乾燥を均一にすることができるものとなる。
す有効幅（Ｗ）の限度に近い前記広幅（ｗ１）の金属薄
板においては、本発明における乾燥装置は、Ａ及びＦの
位置に配置された乾燥ヒーター（１１）が乾燥装置の点
線で示す有効幅（Ｗ）に対して十分な外側にあるので、
その幅方向の温度分布を均一に設定することによって、
その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差
が生じることはなく、金属薄板の全幅が均一に乾燥した
フォトレジスト層が得られる。尚、金属薄板（１２）の
両端部での乾燥が不足気味である際には、Ａ及びＦの位
置に配置された乾燥ヒーター（１１）の温度を高く制御
することによって、フォトレジスト層の金属薄板の幅方
向での乾燥を均一にすることができるものとなる。
【００２２】また、図３（ｂ）に示すような、点線で示
す有効幅（Ｗ）に対し、前記かなり狭幅（ｗ３）の金属
薄板においては、乾燥装置のＹ方向、すなわち、金属薄
板の幅方向の温度分布を図４（ｂ）に示すような、両端
部へ向かって低い温度となる凸状の温度分布（４２）に
することによって、フォトレジスト層の金属薄板の幅方
向での乾燥を均一にすることができるものとなる。
す有効幅（Ｗ）に対し、前記かなり狭幅（ｗ３）の金属
薄板においては、乾燥装置のＹ方向、すなわち、金属薄
板の幅方向の温度分布を図４（ｂ）に示すような、両端
部へ向かって低い温度となる凸状の温度分布（４２）に
することによって、フォトレジスト層の金属薄板の幅方
向での乾燥を均一にすることができるものとなる。
【００２３】上記のような、各々の乾燥ヒーター（１
１）の温度制御は、乾燥装置から搬出された金属薄板
（１２）上のフォトレジスト層の湿度を測定し、幅方向
の乾燥状態を確認しつつ、随時、各々の乾燥ヒーター
（１１）の温度を制御することができるので、実生産に
即した管理が行えるものである。
１）の温度制御は、乾燥装置から搬出された金属薄板
（１２）上のフォトレジスト層の湿度を測定し、幅方向
の乾燥状態を確認しつつ、随時、各々の乾燥ヒーター
（１１）の温度を制御することができるので、実生産に
即した管理が行えるものである。
【００２４】
【発明の効果】本発明は、フォトレジストを塗布した後
の乾燥ヒーターによる乾燥をする際に、平面視矩形状の
細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方
向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行とな
るように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、
水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御してフォト
レジストの乾燥を行うエッチング部品の製造方法である
ので、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥を
おこなっても、フォトレジスト膜に金属薄板の幅方向で
の乾燥に過不足を発生させることのない、従って、エッ
チング後の金属薄板のパターン寸法を均一なものとし、
高品質なエッチング部品を安定して収率よく製造するこ
とのできるエッチング部品の製造方法となる。
の乾燥ヒーターによる乾燥をする際に、平面視矩形状の
細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方
向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行とな
るように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、
水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御してフォト
レジストの乾燥を行うエッチング部品の製造方法である
ので、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥を
おこなっても、フォトレジスト膜に金属薄板の幅方向で
の乾燥に過不足を発生させることのない、従って、エッ
チング後の金属薄板のパターン寸法を均一なものとし、
高品質なエッチング部品を安定して収率よく製造するこ
とのできるエッチング部品の製造方法となる。
【００２５】また、本発明は、フォトレジストを塗布し
た後の当該フォトレジストの乾燥に用いる乾燥装置とし
て、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを、当該乾燥ヒ
ーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方
向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に多数個、
水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御可能とした
乾燥装置を具備するエッチング部品の製造装置であるの
で、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥をお
こなっても、フォトレジスト膜に金属薄板の幅方向での
乾燥に過不足を発生させることのない、従って、エッチ
ング後の金属薄板のパターン寸法を均一なものとし、高
品質なエッチング部品を安定して収率よく製造すること
のできるエッチング部品の製造装置となる。
た後の当該フォトレジストの乾燥に用いる乾燥装置とし
て、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを、当該乾燥ヒ
ーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方
向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に多数個、
水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御可能とした
乾燥装置を具備するエッチング部品の製造装置であるの
で、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥をお
こなっても、フォトレジスト膜に金属薄板の幅方向での
乾燥に過不足を発生させることのない、従って、エッチ
ング後の金属薄板のパターン寸法を均一なものとし、高
品質なエッチング部品を安定して収率よく製造すること
のできるエッチング部品の製造装置となる。
【図１】本発明によるエッチング部品の製造装置におけ
る乾燥装置の一実施例の乾燥装置内部の金属薄板と乾燥
ヒーターとの関係を模式的に示す平面図である。
る乾燥装置の一実施例の乾燥装置内部の金属薄板と乾燥
ヒーターとの関係を模式的に示す平面図である。
【図２】図１に模式的に示す金属薄板と乾燥ヒーターと
の関係のＸ−Ｘ’断面図である。
の関係のＸ−Ｘ’断面図である。
【図３】（ａ）は、点線で示す有効幅の限度に近い広幅
の金属薄板の説明図である。（ｂ）は、点線で示す有効
幅に対し、かなり狭幅の金属薄板の説明図である。
の金属薄板の説明図である。（ｂ）は、点線で示す有効
幅に対し、かなり狭幅の金属薄板の説明図である。
【図４】（ａ）は、乾燥装置のＹ方向の温度分布の説明
図である。（ｂ）は、乾燥装置のＹ方向の温度分布の説
明図である。
図である。（ｂ）は、乾燥装置のＹ方向の温度分布の説
明図である。
【図５】フォトレジストの乾燥装置の一例における乾燥
装置内部の金属薄板と乾燥ヒーターとの関係を模式的に
示す平面図である。
装置内部の金属薄板と乾燥ヒーターとの関係を模式的に
示す平面図である。
【図６】図５に模式的に示す金属薄板と乾燥ヒーターと
の関係のＸ−Ｘ’断面図である。
の関係のＸ−Ｘ’断面図である。
１１、５１……乾燥ヒーター
２１……乾燥ヒーターの群
１２、５２……金属薄板
３１、３３……金属薄板の両端部
３２、３４……金属薄板の中央部
４１……金属薄板の幅方向の凹状の温度分布
４２……金属薄板の幅方向の凸状の温度分布
Ｗ……乾燥装置の有効幅
ｗ１……金属薄板の広幅
ｗ２……金属薄板の程よい幅
ｗ３……金属薄板のかなり狭幅
Claims (2)
- 【請求項１】エッチング部品の製造において、フォトレ
ジストを塗布した後の当該フォトレジストの乾燥に、平
面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒー
ターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向
とが平行となるように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒータ
ーを多数個、水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制
御してフォトレジストの乾燥を行うことを特徴とするエ
ッチング部品の製造方法。 - 【請求項２】エッチング部品の製造に用いる装置におい
て、フォトレジストを塗布した後の当該フォトレジスト
の乾燥に用いる乾燥装置として、平面視矩形状の細長い
乾燥ヒーターを、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に
搬送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、
金属薄板の幅方向に多数個、水平に配置し、各乾燥ヒー
ターの温度を制御可能とした乾燥装置を具備することを
特徴とするエッチング部品の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001201840A JP4613452B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | エッチング部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001201840A JP4613452B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | エッチング部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003013260A true JP2003013260A (ja) | 2003-01-15 |
| JP4613452B2 JP4613452B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=19038740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001201840A Expired - Fee Related JP4613452B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | エッチング部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4613452B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019114378A (ja) * | 2017-12-22 | 2019-07-11 | 東レ株式会社 | 基板の局所加熱装置、流動物が付与された基板の前記流動物の端部膜厚の制御装置、流動物のコーティング装置、基板上に付与された流動物の乾燥装置および流動物の端部厚みの制御方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61213593A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-22 | 株式会社東芝 | シヤドウマスクの感光液乾燥装置 |
| JPS63104681A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-10 | Noritake Co Ltd | 遠赤外線パネル式ヒ−タを備えた塗装乾燥装置 |
| JPH1137649A (ja) * | 1997-07-23 | 1999-02-12 | Toshiba Corp | 帯状体の乾燥方法およびその装置 |
| JPH11204025A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-07-30 | Dainippon Printing Co Ltd | レジスト現像処理装置 |
| JP2000087260A (ja) * | 1998-09-14 | 2000-03-28 | Toppan Printing Co Ltd | クリーンルームおよびそれを用いたエッチング部品の製造方法 |
-
2001
- 2001-07-03 JP JP2001201840A patent/JP4613452B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019114378A (ja) * | 2017-12-22 | 2019-07-11 | 東レ株式会社 | 基板の局所加熱装置、流動物が付与された基板の前記流動物の端部膜厚の制御装置、流動物のコーティング装置、基板上に付与された流動物の乾燥装置および流動物の端部厚みの制御方法 |
| JP7091650B2 (ja) | 2017-12-22 | 2022-06-28 | 東レ株式会社 | 基板の局所加熱装置、流動物が付与された基板の前記流動物の端部膜厚の制御装置、流動物のコーティング装置、基板上に付与された流動物の乾燥装置および流動物の端部厚みの制御方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4613452B2 (ja) | 2011-01-19 |
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