JPH04238094A - 印刷用メタルマスクの製造方法 - Google Patents
印刷用メタルマスクの製造方法Info
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- JPH04238094A JPH04238094A JP570291A JP570291A JPH04238094A JP H04238094 A JPH04238094 A JP H04238094A JP 570291 A JP570291 A JP 570291A JP 570291 A JP570291 A JP 570291A JP H04238094 A JPH04238094 A JP H04238094A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 abstract description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 6
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 5
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
Landscapes
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は回路基板にクリーム半田
等を印刷する印刷用メタルマスク及びその製造方法に関
するものである。
等を印刷する印刷用メタルマスク及びその製造方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーム半田印刷用メタルマスク
は、ステンレス板にエッチング加工にて印刷開口を形成
して構成されており、この印刷用メタルマスクを回路基
板上に載置してその上にクリーム半田を乗せ、マスク上
のクリーム半田を掻き取るようにスキージをマスク上面
に沿って移動させることにより、回路基板上の印刷開口
に対応する部分にマスクの板厚に応じた膜厚のクリーム
半田を印刷している。
は、ステンレス板にエッチング加工にて印刷開口を形成
して構成されており、この印刷用メタルマスクを回路基
板上に載置してその上にクリーム半田を乗せ、マスク上
のクリーム半田を掻き取るようにスキージをマスク上面
に沿って移動させることにより、回路基板上の印刷開口
に対応する部分にマスクの板厚に応じた膜厚のクリーム
半田を印刷している。
【０００３】ところで、近年は一枚の回路基板において
も部分的に膜厚の異なった印刷を施す必要がある場合が
出て来ており、さらにその印刷膜の寸法精度は益々厳し
くなってきている。
も部分的に膜厚の異なった印刷を施す必要がある場合が
出て来ており、さらにその印刷膜の寸法精度は益々厳し
くなってきている。
【０００４】このような要請に対応できる印刷用メタル
マスクは、従来、図３、図４に示すような方法で製造さ
れている。まず、厚肉の印刷膜に対応する板厚のステン
レス板１１の両面にドライフィルム１２ａ、１２ｂを貼
り付ける。次に、このドライフィルム１２ａ、１２ｂに
パターンマスク１３ａ、１３ｂを介して露光し、露光部
を現像、除去することによってドライフィルム１２ａ、
１２ｂに開口部１４ａ、１４ｂを形成する。開口部１４
ａは薄肉の印刷膜を形成すべき印刷開口に対応しており
、開口部１４ｂは開口部１４ａが中央部に重なるように
広い開口面積で開口されている。
マスクは、従来、図３、図４に示すような方法で製造さ
れている。まず、厚肉の印刷膜に対応する板厚のステン
レス板１１の両面にドライフィルム１２ａ、１２ｂを貼
り付ける。次に、このドライフィルム１２ａ、１２ｂに
パターンマスク１３ａ、１３ｂを介して露光し、露光部
を現像、除去することによってドライフィルム１２ａ、
１２ｂに開口部１４ａ、１４ｂを形成する。開口部１４
ａは薄肉の印刷膜を形成すべき印刷開口に対応しており
、開口部１４ｂは開口部１４ａが中央部に重なるように
広い開口面積で開口されている。
【０００５】この状態でステンレス板１１を所定量エッ
チングすることによってステンレス板１１に開口部１４
ａに対応する印刷開口１５が形成されるとともにその周
囲に開口部１４ｂに対応する広い面積の凹部１６が形成
され、印刷開口１５の周囲は薄肉部１７に形成される。 その後ドライフィルム１２ａ、１２ｂを除去することに
より印刷用メタルマスクが完成する。なお、図示は省略
したが、厚肉部１８における印刷開口はステンレス板１
１の両面のドライフィルム１２ａ、１２ｂに互いに対向
する等しい大きさの開口部を形成しておくことにより、
上記エッチングによって形成される。
チングすることによってステンレス板１１に開口部１４
ａに対応する印刷開口１５が形成されるとともにその周
囲に開口部１４ｂに対応する広い面積の凹部１６が形成
され、印刷開口１５の周囲は薄肉部１７に形成される。 その後ドライフィルム１２ａ、１２ｂを除去することに
より印刷用メタルマスクが完成する。なお、図示は省略
したが、厚肉部１８における印刷開口はステンレス板１
１の両面のドライフィルム１２ａ、１２ｂに互いに対向
する等しい大きさの開口部を形成しておくことにより、
上記エッチングによって形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにして製造した印刷用メタルマスクにおいては、共
通のエッチング工程にて薄肉化の加工と開口加工を同時
に行うので、薄肉部１７の板厚精度と印刷開口１５の開
口寸法精度の両者を確保することが難しく、±１０〜±
２０％の寸法誤差を生ずるのは避けられないという問題
があった。
ようにして製造した印刷用メタルマスクにおいては、共
通のエッチング工程にて薄肉化の加工と開口加工を同時
に行うので、薄肉部１７の板厚精度と印刷開口１５の開
口寸法精度の両者を確保することが難しく、±１０〜±
２０％の寸法誤差を生ずるのは避けられないという問題
があった。
【０００７】本発明は上記従来の問題点に鑑み、薄肉部
の板厚精度と印刷開口の開口寸法精度をそれぞれ確保し
た印刷用メタルマスク及びその製造方法を提供すること
を目的とする。
の板厚精度と印刷開口の開口寸法精度をそれぞれ確保し
た印刷用メタルマスク及びその製造方法を提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、薄肉部と厚肉
部を有しかつそれぞれに印刷開口を有する印刷用メタル
マスクにおいて、薄肉部に対応する板厚の第１の素材と
、厚肉部と薄肉部の板厚の差に対応する板厚の第２の素
材を貼り合わせて構成し、薄肉部の印刷開口は第１の素
材に形成するとともに第２の素材にこの薄肉部の印刷開
口が中央部に重なるように広い開口面積の開口を形成し
、厚肉部の印刷開口は第１と第２の素材を貫通させて形
成したことを特徴とする。
部を有しかつそれぞれに印刷開口を有する印刷用メタル
マスクにおいて、薄肉部に対応する板厚の第１の素材と
、厚肉部と薄肉部の板厚の差に対応する板厚の第２の素
材を貼り合わせて構成し、薄肉部の印刷開口は第１の素
材に形成するとともに第２の素材にこの薄肉部の印刷開
口が中央部に重なるように広い開口面積の開口を形成し
、厚肉部の印刷開口は第１と第２の素材を貫通させて形
成したことを特徴とする。
【０００９】又、この印刷用メタルマスクは、薄肉部に
対応する板厚の第１の素材に薄肉部の印刷開口をエッチ
ング加工にて形成し、厚肉部と薄肉部の板厚の差に対応
する板厚の第２の素材に薄肉部の印刷開口が中央部に重
なるように広い開口面積の開口をエッチング加工にて形
成し、これら第１の素材と第２の素材を貼り合わせ、第
１と第２の素材を貫通させて厚肉部の印刷開口をエッチ
ング加工にて形成することによって製造することができ
る。
対応する板厚の第１の素材に薄肉部の印刷開口をエッチ
ング加工にて形成し、厚肉部と薄肉部の板厚の差に対応
する板厚の第２の素材に薄肉部の印刷開口が中央部に重
なるように広い開口面積の開口をエッチング加工にて形
成し、これら第１の素材と第２の素材を貼り合わせ、第
１と第２の素材を貫通させて厚肉部の印刷開口をエッチ
ング加工にて形成することによって製造することができ
る。
【００１０】
【作用】本発明の印刷用メタルマスクによれば、薄肉部
の板厚精度はその印刷開口の加工工程とは無関係に第１
の素材の厚さによって決定されるので、高い精度を確保
することができ、かつこの薄肉部の印刷開口の開口寸法
精度はエッチング等による加工精度によって決定される
ので、開口加工時にその精度が確保されるように加工制
御することによって薄肉部の板厚精度と印刷開口の開口
寸法精度をそれぞれ確保することができる。
の板厚精度はその印刷開口の加工工程とは無関係に第１
の素材の厚さによって決定されるので、高い精度を確保
することができ、かつこの薄肉部の印刷開口の開口寸法
精度はエッチング等による加工精度によって決定される
ので、開口加工時にその精度が確保されるように加工制
御することによって薄肉部の板厚精度と印刷開口の開口
寸法精度をそれぞれ確保することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例の印刷用メタルマス
クの製造工程を図１、図２を参照しながら説明する。
クの製造工程を図１、図２を参照しながら説明する。
【００１２】本実施例の薄肉部と厚肉部を有する印刷用
メタルマスク１は、薄肉部に対応する板厚の第１の素材
２と、厚肉部と薄肉部の板厚の差に対応する板厚の第２
の素材３を貼り合わせて構成している。これら第１の素
材２と第２の素材３としては、例えば７５μｍの厚さの
ステンレス板が用いられる。
メタルマスク１は、薄肉部に対応する板厚の第１の素材
２と、厚肉部と薄肉部の板厚の差に対応する板厚の第２
の素材３を貼り合わせて構成している。これら第１の素
材２と第２の素材３としては、例えば７５μｍの厚さの
ステンレス板が用いられる。
【００１３】まず、第１の素材２に薄肉部の印刷開口４
をエッチング加工にて形成し、第２の素材３に薄肉部の
印刷開口が中央部に重なるように広い開口面積の開口５
をエッチング加工にて形成する。次に、これら第１の素
材２と第２の素材３を貼り合わせる。このように第１と
第２の素材２、３を貼り合わせた状態で、開口５に対応
する部分の第１の素材２にて印刷開口４を有する薄肉部
６が構成され、その他の重なった部分で厚肉部７が形成
されている。
をエッチング加工にて形成し、第２の素材３に薄肉部の
印刷開口が中央部に重なるように広い開口面積の開口５
をエッチング加工にて形成する。次に、これら第１の素
材２と第２の素材３を貼り合わせる。このように第１と
第２の素材２、３を貼り合わせた状態で、開口５に対応
する部分の第１の素材２にて印刷開口４を有する薄肉部
６が構成され、その他の重なった部分で厚肉部７が形成
されている。
【００１４】次に、厚肉部７の印刷開口１０を形成する
ため、貼り合わされた第１と第２の素材２、３の両面に
ドライフィルム８ａ、８ｂを貼り付ける。次に、このド
ライフィルム８ａ、８ｂに厚肉部７の印刷開口１０に対
応するパターンを開口したパターンマスク（図示せず）
を介して露光し、露光部を現像、除去することによって
ドライフィルム８ａ、８ｂに開口部９を形成する。
ため、貼り合わされた第１と第２の素材２、３の両面に
ドライフィルム８ａ、８ｂを貼り付ける。次に、このド
ライフィルム８ａ、８ｂに厚肉部７の印刷開口１０に対
応するパターンを開口したパターンマスク（図示せず）
を介して露光し、露光部を現像、除去することによって
ドライフィルム８ａ、８ｂに開口部９を形成する。
【００１５】この状態で貼り合わせた第１の素材２と第
２の素材３を両面から所定量エッチングすることによっ
てこれらの素材２、３に開口部９に対応して厚肉部７の
印刷開口１０が形成される。その後ドライフィルム８ａ
、８ｂを除去することにより印刷用メタルマスク１が完
成する。
２の素材３を両面から所定量エッチングすることによっ
てこれらの素材２、３に開口部９に対応して厚肉部７の
印刷開口１０が形成される。その後ドライフィルム８ａ
、８ｂを除去することにより印刷用メタルマスク１が完
成する。
【００１６】以上のようにして製造した印刷用メタルマ
スク１によると、薄肉部６の板厚精度はその印刷開口４
の加工工程とは無関係に第１の素材２の厚さによって決
定されるので、高い精度を確保することができ、かつこ
の薄肉部６の印刷開口４の開口寸法精度はエッチング等
による加工精度によって決定されるので、開口加工時に
その精度が確保されるように加工制御することによって
薄肉部６の板厚精度と印刷開口４の開口寸法精度をそれ
ぞれ確保することができる。
スク１によると、薄肉部６の板厚精度はその印刷開口４
の加工工程とは無関係に第１の素材２の厚さによって決
定されるので、高い精度を確保することができ、かつこ
の薄肉部６の印刷開口４の開口寸法精度はエッチング等
による加工精度によって決定されるので、開口加工時に
その精度が確保されるように加工制御することによって
薄肉部６の板厚精度と印刷開口４の開口寸法精度をそれ
ぞれ確保することができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明の印刷用メタルマスクによれば、
薄肉部の板厚精度はその印刷開口の加工工程とは無関係
に第１の素材の厚さによって決定されるので、高い精度
を確保することができ、かつこの薄肉部の印刷開口の開
口寸法精度はエッチング等による加工精度によって決定
されるので、開口加工時にその精度が確保されるように
加工制御することによって薄肉部の板厚精度と印刷開口
の開口寸法精度をそれぞれ確保することができる。
薄肉部の板厚精度はその印刷開口の加工工程とは無関係
に第１の素材の厚さによって決定されるので、高い精度
を確保することができ、かつこの薄肉部の印刷開口の開
口寸法精度はエッチング等による加工精度によって決定
されるので、開口加工時にその精度が確保されるように
加工制御することによって薄肉部の板厚精度と印刷開口
の開口寸法精度をそれぞれ確保することができる。
【図１】本発明の一実施例の印刷用メタルマスクの製造
工程を示す断面図である。
工程を示す断面図である。
【図２】同印刷用メタルマスクの製造工程図である。
【図３】従来の印刷用メタルマスクの製造工程を示す断
面図である。
面図である。
【図４】同印刷用メタルマスクの製造工程図である。
１ 印刷用メタルマスク
２ 第１の素材
３ 第２の素材
４ 薄肉部の印刷開口
５ 開口
６ 薄肉部
７ 厚肉部
１０ 厚肉部の印刷開口
Claims (2)
- 【請求項１】 薄肉部と厚肉部を有しかつそれぞれに
印刷開口を有する印刷用メタルマスクにおいて、薄肉部
に対応する板厚の第１の素材と、厚肉部と薄肉部の板厚
の差に対応する板厚の第２の素材を貼り合わせて構成し
、薄肉部の印刷開口は第１の素材に形成するとともに第
２の素材にこの薄肉部の印刷開口が中央部に重なるよう
に広い開口面積の開口を形成し、厚肉部の印刷開口は第
１と第２の素材を貫通させて形成したことを特徴とする
印刷用メタルマスク。 - 【請求項２】 薄肉部に対応する板厚の第１の素材に
薄肉部の印刷開口をエッチング加工にて形成し、厚肉部
と薄肉部の板厚の差に対応する板厚の第２の素材に薄肉
部の印刷開口が中央部に重なるように広い開口面積の開
口をエッチング加工にて形成し、これら第１の素材と第
２の素材を貼り合わせ、第１と第２の素材を貫通させて
厚肉部の印刷開口をエッチング加工にて形成することを
特徴とする印刷用メタルマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3005702A JP2969968B2 (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 印刷用メタルマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3005702A JP2969968B2 (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 印刷用メタルマスクの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04238094A true JPH04238094A (ja) | 1992-08-26 |
| JP2969968B2 JP2969968B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=11618446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3005702A Expired - Fee Related JP2969968B2 (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 印刷用メタルマスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2969968B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007329217A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Murata Mfg Co Ltd | スリット板およびその製造方法ならびにペースト塗布装置 |
-
1991
- 1991-01-22 JP JP3005702A patent/JP2969968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007329217A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Murata Mfg Co Ltd | スリット板およびその製造方法ならびにペースト塗布装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2969968B2 (ja) | 1999-11-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |