JP2003006829A - 磁気ヘッドスライダおよびその空気潤滑面の作成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低浮上量を実現すると共に、磁気記録媒体の
うねりに対する追従性の高いスライダを提供する。 【解決手段】 磁気記録媒体に対向すべき空気潤滑面上
の、空気流入端１０側には第１の正圧発生部１１が設け
られ、空気流出端１４側には第２の正圧発生部１２が設
けられ、磁気ヘッドスライダの走行方向と直角な方向に
投影された、第１の正圧発生部の長さの中心点と第２の
正圧発生部の長さの中心点との距離をＬとし、磁気ヘッ
ドスライダの走行方向の長さをＬｓとしたとき、 ０．４０≦（Ｌ／Ｌｓ）≦０．５５ の関係を満たすような空気潤滑面を有することを特徴と
する磁気ヘッドスライダ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク装
置、光磁気ディスク装置等のディスク装置に搭載される
浮上型の磁気ヘッドスライダ、およびその空気潤滑面の
作成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ハードディスク装置に代表される
磁気ディスク装置においては、例えばノートパソコン、
ＰＤＡ等搭載される機器の小型化、および入出力される
データの大容量化等に伴って、その記録容量を大きくす
ることが強く望まれており、磁気ディスク装置に搭載さ
れた磁気記録媒体においても、その記録密度を高くする
ことが急務となってきている。

【０００３】このため、一般的に磁気ディスク装置に用
いられる、浮上型の磁気ヘッドを搭載した磁気ヘッドス
ライダ（以下スライダと記す）においても、スライダの
磁気記録媒体に対向すべき空気潤滑面（以下ＡＢＳ面と
記す）に設けられた磁気ヘッドと磁気記録媒体面との距
離（以下浮上量と記す）をできるだけ小さくすることが
できるようにＡＢＳ面の設計を行う必要があった。

【０００４】また、一方でこのような低浮上量を実現し
ながら、同時に外乱や磁気記録媒体上の異物等の影響が
あっても、一定の距離を保って安定にスライダを浮上さ
せるような特性、いわゆる高い追従性を実現するＡＢＳ
面の設計も望まれており、これらの要求される多様な特
性を実現させるために、従来から様々なＡＢＳ面の形状
が提案されてきた。

【０００５】例えば、高い追従性を実現するスライダを
提供するために、従来から提案されている有効な手段の
一つが、ＡＢＳ面と磁気記録媒体との間の空気膜の剛性
を高くする方法であり、特開平７−６５３４４号公報に
は、その一例として、１００（ｎｍ）前後の浮上量を想
定した場合に、図１０に示すようなＡＢＳ面１００を一
つの連続面として構成して、ＡＢＳ面１００と磁気記録
媒体との間空気膜剛性を高くすることによって、その磁
気記録媒体への追従性を高めたスライダ１０１が提案さ
れている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、磁気
記録媒体の記録密度の向上がさらに求められてきたこと
によって、スライダに要求される浮上量はさらに小さく
なり、現在では１０（ｎｍ）程度のさらに小さい浮上量
を実現できるようなスライダのＡＢＳ面形状を設計する
ことが必要となってきており、このような微小な浮上量
を実現する際に、スライダの磁気記録媒体面に対する挙
動を考えた場合、従来問題とならなかったような新たな
課題が発生することが分かってきた。

【０００７】その一つが、磁気記録媒体の表面に存在す
るうねりが、スライダの挙動に大きな影響を与えるた
め、スライダが磁気記録媒体に衝突してしまうなど、安
定な浮上を妨げる要因となることである。

【０００８】このうねりは、磁気記録媒体の製造時に発
生する、たわみ等の製造誤差や、ディスク装置の組み立
て時に磁気記録媒体を回転軸に取り付ける際の取付誤差
等によって発生する、磁気記録媒体の回転軸に対する微
小な傾きによる回転時の面ぶれ等、様々な要因から生じ
ると考えられる。

【０００９】このようなうねりの大きさ、形状等は磁気
記録媒体の材質、製造方法、スライダの磁気記録媒体に
対する内外周の位置、磁気記録媒体のサイズ、磁気記録
媒体を回転軸に取り付ける際の取付誤差等の様々な要因
によって異なるが、一般的にスライダの走行経路は波形
状になると考えて良く、その波長、大きさは大体その振
幅が５（μｍ）前後、波長が数十〜数百（ｍｍ）前後と
考えられる。

【００１０】従来の比較的低い記録密度（例えば１０
（Ｇｂ／ｉｎ²）、浮上量は１００（ｎｍ）程度）のス
ライダにおいては、その記録再生に悪影響を及ぼさない
ように、磁気記録媒体のうねりによってひき起こされる
浮上量の変動が、うねり振幅の０．５％以下であること
が要求されていた。前述したようなＡＢＳ面形状を有す
る従来のスライダを用いることによって、このような磁
気記録媒体表面のうねりの影響に対する浮上量変動の要
求を満足させることが可能であった。

【００１１】しかし、機器の小型化に伴って、今後主流
となるであろう高い記録密度（例えば３０（Ｇｂ／ｉｎ
²）、浮上量は１０（ｎｍ）程度）のスライダにおいて
は、うねりに対する浮上量の変動に対する要求はますま
す厳しくなる。

【００１２】例えば、磁気記録媒体のうねりによる、ス
ライダの変動量を、うねり振幅の０．２％程度に低減す
ることが記録再生性能への悪影響を考えた場合に要求さ
れ、これに対して何らかの対策を講じることが必要とな
っていた。

【００１３】本発明はこのような課題に鑑み、１０（ｎ
ｍ）程度の微小な浮上量においても、磁気記録媒体のう
ねりに対する浮上量の変動を小さくすることのできるス
ライダおよびそのＡＢＳ面の作成方法を提供することを
目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドスラ
イダは、磁気記録媒体に対向すべき空気潤滑面上の、空
気流入端側には第１の正圧発生部が設けられ、空気流出
端側には第２の正圧発生部が設けられ、磁気ヘッドスラ
イダの走行方向と直角な方向に投影された、第１の正圧
発生部の長さの中心点と第２の正圧発生部の長さの中心
点との距離をＬとし、磁気ヘッドスライダの走行方向の
長さをＬｓとしたとき、 ０．４０≦（Ｌ／Ｌｓ）≦０．５５ の関係を満たすような空気潤滑面を有することを特徴と
する。

【００１５】このような構成にすることにより、スライ
ダが磁気記録媒体のうねりに対して、ピッチ方向に回転
して追従することにより、高い追従性を実現するスライ
ダを得ることができる。

【００１６】また、第１の正圧発生部が複数のパッドか
ら形成されることにより、磁気記録媒体のうねりに高い
追従性を有すると共に、ロール方向の安定性に優れたス
ライダを得ることができる。

【００１７】さらに、第２の正圧発生部が複数のパッド
から形成されることにより、さらにロール方向、ピッチ
方向の安定性に優れたスライダを得ることができる。

【００１８】また、磁気ヘッドを第２の正圧発生部より
もさらに空気流出端側に形成したことにより、さらに高
い追従性を実現することができるスライダを得ることが
できる。

【００１９】また、本発明の磁気ヘッドスライダの空気
潤滑面の作成方法は、磁気記録媒体に対向すべき空気潤
滑面上の、空気流入端側には第１の正圧発生部が設けら
れ、空気流出端側には第２の正圧発生部が設けられた磁
気ヘッドスライダの空気潤滑面の作成方法において、磁
気ヘッドスライダの走行方向に直角な方向に投影され
た、第１の正圧発生部の長さの中心点と第２の正圧発生
部の長さの中心点との距離をＬとし、磁気ヘッドスライ
ダの走行方向の長さをＬｓとしたとき、磁気ヘッドスラ
イダの浮上量変動Δｈを磁気記録媒体のうねりの振幅ｐ
ｐで除した値Δｈ／ｐｐの値を最小にするように算出さ
れたＬ／Ｌｓを満足させるように、第１の正圧発生部お
よび第２の正圧発生部を設けることを特徴としている。

【００２０】これにより、容易に磁気記録媒体のうねり
に対する高い追従性を有するスライダのＡＢＳ面を作成
することが可能となる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。

【００２２】（第１の実施の形態）まず第１の実施の形
態として、本発明の浮上型磁気ヘッドスライダおよびそ
のＡＢＳ面の作成方法について説明する。

【００２３】図１（ａ）は本発明の磁気ヘッドスライダ
のＡＢＳ面の形状を示す平面図であり、図１（ｂ）はそ
の側面図である。

【００２４】本発明のスライダは、図１（ａ）および図
１（ｂ）に示すように、スライダ１の空気流入端１０側
には矩形状の第１の正圧発生部１１と、負圧発生部１５
（凹部）を挟んで空気流出端１４側には矩形状の第２の
正圧発生部１２とが設けられたＡＢＳ面形状を有し、記
録再生を行う磁気ヘッド１３は第２の正圧発生部１２よ
りもさらに空気流出端１４側に設けられたスライダであ
る。

【００２５】このような構成にすることにより、スライ
ダ１のピッチ方向の回転をコントロールすることが容易
に可能となる。

【００２６】次に、この原理について図面を用いて説明
する。

【００２７】図７（ａ）は、磁気記録媒体上のある位置
における、従来のスライダのうねりに対する挙動を連続
的に示す概念図であり、図７（ｂ）は本発明のスライダ
のうねりに対する挙動を示す概念図である。

【００２８】図７（ａ）および図７（ｂ）において、実
線は磁気記録媒体のうねりの形状を示し、点線はスライ
ダの重心の軌跡を示す。

【００２９】従来のスライダ７１は、磁気ヘッドの搭載
された正圧発生部４３のみがＡＢＳ面上に形成された構
成であるとし、一方、本発明のスライダ８１は、磁気ヘ
ッドの搭載された第２の正圧発生部４５とは別に、その
空気流入端側に、第１の正圧発生部４４を設けた構成で
ある。

【００３０】図７（ａ）に示すように、スライダ７１の
重心４１が磁気記録媒体４２の表面に対して追従してい
ても、正圧発生部４３に搭載された磁気ヘッドと磁気記
録媒体４２との距離、つまり図示した浮上量Ｈ１、Ｈ
２、Ｈ３およびＨ４は変化してしまう。

【００３１】これでは、安定した磁気記録再生が不可能
となり、さらにはスライダ７１と磁気記録媒体４２とが
衝突してしまう危険性も高い。

【００３２】一方、本発明のスライダにおいては、図７
（ｂ）に示したように、スライダ８１を磁気記録媒体４
２の表面に沿わせるようにして重心４１を中心にピッチ
方向に回転させ、磁気ヘッドの搭載された第２の正圧発
生部４５と磁気記録媒体４２との距離、つまり浮上量Ｈ
１’、Ｈ２’、Ｈ３’およびＨ４’を一定に保つことが
可能である。

【００３３】これにより安定した磁気記録再生が可能に
なり、スライダ８１が磁気記録媒体４２と衝突する可能
性を小さくすることができる。

【００３４】このように、スライダを走行方向に対して
ピッチ方向に回転運動させて、浮上量を一定にして浮上
させるためには、回転方向にトルクを発生させ、その大
きさをコントロールする必要がある。

【００３５】これを実現させるためには、図７（ｂ）に
示したスライダ８１の構成のように走行方向の前後に、
２つの正圧発生部を位置させることが最も効果的で、か
つ容易である。

【００３６】図６（ａ）に、図８に示した従来のＡＢＳ
面１００を有するスライダ１０１の走行方向の圧力分布
図を、図６（ｂ）に、図１に示した、前後に２つの正圧
発生部を有する本発明のスライダ１の走行方向の圧力分
布図を示す。

【００３７】図６（ｂ）に示したように、本発明の２つ
の正圧発生部を有するスライダ１によれば、スライダ１
の走行方向に２つのピークを有する圧力分布を容易に実
現することができる。図６（ａ）に示したような従来の
構成のスライダ１０１では、圧力分布のピークは一つで
あり、前述したような回転トルクのコントロールは容易
ではない。

【００３８】このような本発明のスライダ１を用いて、
そのピッチ方向の回転トルクをコントロールするには、
次に挙げるような二つの方法が考えられる。

【００３９】１．第１の正圧発生部または第２の正圧発
生部の正圧発生量を変化させる。

【００４０】２．第１の正圧発生部と第２の正圧発生部
との距離を変化させる。

【００４１】実用的に、上記１番目に記載した、二つの
正圧発生部の正圧発生量を変化させることは、最終的な
浮上量の変化と密接な関係を有するので、その調整は大
変難しい。

【００４２】そこで、本発明においては、上記２番目に
記載したような、前後の正圧発生部の距離を変化させる
ことによって、ピッチ方向の回転トルクの大きさをコン
トロールする。

【００４３】図１に示したような、２つの正圧発生部を
スライダの走行方向に直列に有するＡＢＳ面形状を形成
した本発明のスライダ１においては、第１の正圧発生部
１１と第２の正圧発生部１２との距離Ｌが、磁気記録媒
体表面のうねりに対する追従特性に大きな影響を与え
る。

【００４４】次に、本発明における、このような構造の
ＡＢＳ面の第１の正圧発生部１１と第２の正圧発生部１
２との距離を決定する方法について説明する。

【００４５】まず、設計者は、目標とすべき浮上量およ
びスライダに付与される荷重等の仕様から、必要な正圧
を算出し、２つの正圧発生部の大きさを決定する。

【００４６】次に、図１（ｂ）において、２つの正圧発
生部の、スライダの走行方向と直角な方向に投影した長
さの中心点間の距離であるＬは、 Ｌ＝（Ａ１＋Ａ２−Ｂ１−Ｂ２）／２ で、表わされる。

【００４７】このＬを決定するに際しては、任意の間隔
Ｌに対して、浮上量変動Δｈを算出して、磁気記録媒体
のうねりの振幅ｐｐで除した値Δｈ／ｐｐを算出する必
要がある。

【００４８】ここで、浮上量変動Δｈと、うねりの振幅
ｐｐの定義について図９を用いて説明する。

【００４９】図９において、磁気記録媒体表面のうねり
が波形状であると仮定した場合の一波長分のうねりの波
形５１を実線で示し、この時の最大振幅をｐｐとする。

【００５０】次にこのうねりの波形５１に対して、設計
対象となるスライダの浮上量ｈを動解析した結果を浮上
量の波形５２として点線で示す。

【００５１】また、このスライダの浮上量の波形５２か
らうねりの波形５１を減算した結果を浮上量変動の波形
５３として一点鎖線で示し、この一点鎖線にて示された
浮上量変動の波形５３の振幅を浮上量変動Δｈとする。

【００５２】これらの定義に基づいて、Δｈ／ｐｐの値
の算出を任意のＬについて行い、その結果を、図２に示
したようにＬ／Ｌｓ（Ｌｓは図１に示すスライダの走行
方向の長さ）に対してそれぞれのΔｈ／ｐｐをプロット
する。

【００５３】このような計算を行うことにより、図２に
示すような、Ｌ／Ｌｓに対して、算出されたΔｈ／ｐｐ
の値が、極小点を有する曲線を得ることができる。

【００５４】この極小点におけるＬ／Ｌｓの値にスライ
ダ１の走行方向の長さＬｓを積算することにより、Ｌの
最適値を算出することができる。

【００５５】このようにして、図１におけるスライダ１
の第１の正圧発生部１１と第２の正圧発生部１２との最
適な距離を容易に算出することが可能となる。

【００５６】様々な試作、評価を行った結果、この極小
値近辺のＬ／Ｌｓを満たすようなＬに第１の正圧発生部
１１と第２の正圧発生部１２との距離を設定すれば、磁
気ディスクのうねりに対して最も追従性のよいＡＢＳ面
形状を有するスライダが得られることが分かった。

【００５７】なお、第１の正圧発生部と第２の正圧発生
部とをスライダの走行方向と直角な方向へ投影させた場
合において、両者が重なりあう部分がある場合には所望
の効果が得られない、ということも分かった。これは、
走行方向に顕著に二つの圧力分布のピークを有する形状
でないと、本発明のスライダのようなピッチ方向の回転
トルクの制御が難しいためである。

【００５８】従来のスライダのＡＢＳ面の作成において
は、この第１の正圧発生部と第２の正圧発生部との距離
は、設計者の経験等から決定され、実際に試作、評価を
行ってからその結果に応じて設計値を変更して再度作成
する、という手法で決定されてきたが、本発明のスライ
ダの作成方法によれば、実際に試作を行わなくても、第
１の正圧発生部と第２の正圧発生部との距離を決定する
ことができ、低浮上量を実現しつつ、高い追従性を実現
可能なスライダのＡＢＳ面形状を作成することができ
る。

【００５９】（第２の実施の形態）次に本発明の第２の
実施の形態として、第１の実施の形態に示したような方
法によってＡＢＳ面を作成されたスライダの構成につい
てさらに詳しく説明する。

【００６０】図１に、前述したＡＢＳ面作成方法の検討
結果、作成されたスライダのＡＢＳ面構造を示す。

【００６１】図１（ａ）はスライダ１のＡＢＳ面の構造
を示す平面図であり、図１（ｂ）はその側面図である。
磁気ディスク装置の動作時、空気流は空気流入端１０側
から流入し、空気流出端１４側から流出する。また、第
２の正圧発生部１２よりさらに空気流出端１４側には磁
気ヘッド１３が設けられている。

【００６２】スライダ１はセラミック製であり、その寸
法は、図１に示すように、長さ×幅×高さ＝１．３（ｍ
ｍ）×１（ｍｍ）×０．３（ｍｍ）である。

【００６３】スライダのＡＢＳ面の設計にあたっては、
磁気記録媒体の回転数は４５００（ｒｐｍ）、うねりの
波長λは１３（ｍｍ）、うねりの振幅ｐｐは５（μｍ）
という条件にて計算を行った。

【００６４】まず図１（ａ）において、スライダ１の空
気流入端１０側には矩形状の第１の正圧発生部１１が設
けられ、空気流出端１４側には矩形状の第２の正圧発生
部１２が設けられる。第１の正圧発生部１１および第２
の正圧発生部１２の大きさ、形状はスライダ１に付与さ
れる荷重および目標浮上量等の仕様から決定される。

【００６５】また、第１の正圧発生部１１と第２の正圧
発生部１２との距離は、図１（ｂ）において、スライダ
１の紙面に向かって右方向（磁気記録媒体がスライダに
対して走行する方向であり、本明細書において走行方向
と記す）、と直角な方向に沿って設定される縦軸に対し
ての、第１の正圧発生部１１の幅の中心点と第２の正圧
発生部１２の幅の中心点との距離をＬとした場合、 Ｌ＝（Ａ１＋Ａ２−Ｂ１−Ｂ２）／２ で表わされ、前述のパラメータに基づいて、任意のＬ／
Ｌｓ（Ｌｓはスライダの走行方向の長さ）について第１
の実施の形態に記載したΔｈ／ｐｐを求める演算を行っ
た結果、図８のＡに示すような曲線が得られた。

【００６６】図８のＡに示した曲線において、最小のΔ
ｈ／ｐｐを与えるＬ／Ｌｓは、その比が、 Ｌ／Ｌｓ＝０．５ の時最小となることが分かる。

【００６７】また、この時のΔｈ／ｐｐ＝０．００１６
となることが分かる。

【００６８】次に、例えば本実施の形態においては、Ｌ
ｓ＝１．３０（ｍｍ）を代入することによって、Ｌ＝
０．６５（ｍｍ）と求めることができる。

【００６９】これにより、図１（ａ）および図１（ｂ）
に示すように、スライダのＡＢＳ面形状をＡ１＝０．８
８５（ｍｍ）、Ａ２＝０．７３５（ｍｍ）、Ｂ１＝０．
２８５（ｍｍ）、Ｂ２＝０．０３５（ｍｍ）と決定する
ことができる。

【００７０】また、このようなＡＢＳ面を有するスライ
ダを試作し、その浮上特性を実際に測定し、検討を行っ
た結果、直径３．５インチ（８８．９（ｍｍ））の磁気
ディスク装置においては、スライダのＬ／Ｌｓの値が ０．４０≦Ｌ／Ｌｓ≦０．５５ の範囲を満たす場合に、良好な磁気記録媒体への追従性
を実現できることが確認できた。

【００７１】（第３の実施の形態）次に第３の実施の形
態として、本発明のスライダのＡＢＳ面の別構成を説明
する。

【００７２】本発明の第２の実施の形態においては、第
１の正圧発生部１１および第２の正圧発生部１２の形状
が共に矩形である場合のスライダ１を示したが、本発明
のスライダのＡＢＳ面作成方法は、そのＡＢＳ面の正圧
発生部の形状が矩形である場合に限定されず、スライダ
の走行方向に２つの正の圧力分布を発生させるようなＡ
ＢＳ面を有するスライダであれば全てに適用可能であ
る。

【００７３】本発明の第３の実施の形態として、図３
に、第１の正圧発生部６０および第２の正圧発生部６２
を有し、第１の正圧発生部６０がステップ構造６１を有
するＡＢＳ面形状を有するスライダ３１を示す。

【００７４】このようなスライダ３１のＬ／Ｌｓに対す
るΔｈ／ｐｐの演算結果を図８の曲線Ｂに示す。

【００７５】図８によれば、このようなステップ構造６
１を有するスライダ３１も、Δｈ／ｐｐの値が、ある範
囲で極小値を有することは第２の実施の形態で述べた図
８の曲線Ａと共通しており、このようなスライダ３１に
おいても、第１の実施の形態で述べたような、ピッチ方
向の回転トルクが、磁気記録媒体のうねりに沿うように
発生するＬが存在することが分かる。

【００７６】これを利用して、それぞれのスライダ形状
において、磁気記録媒体のうねりに強いスライダ形状を
算出することが可能となる。

【００７７】この方法によれば、スライダの走行方向と
直角な方向に投影して考えた場合に、第１の正圧発生部
と第２の正圧発生部との間に凹部（負圧発生部）が存在
する形状のスライダであれば、前述したようなうねりに
よる影響を除去できるスライダのＡＢＳ面の作成が可能
であることが分かった。

【００７８】例えば、図４に示したように、第１の正圧
発生部４６および第２の正圧発生部４７が共にサイドレ
ールを有したＡＢＳ面を有するスライダ４０であり、ま
た図５に示したスライダ５０においては、第１の正圧発
生部５８が複数のパッド５５からなり、第２の正圧発生
部５９も複数のパッド５６からなるＡＢＳ面を有するス
ライダ５０である。

【００７９】このような様々なＡＢＳ面の形状を有する
スライダにおいても、本発明の第１の実施の形態に示し
たような作成方法によって、もっとも磁気記録媒体のう
ねりに対する追従性の高い、第１の正圧発生部と第２の
正圧発生部との最適な距離を得て、ＡＢＳ面を作成する
ことができる。

【００８０】このような様々なＡＢＳ面を有するスライ
ダを試作し、様々な大きさの磁気記録媒体のうねりに対
する追従性評価を行った結果、 ０．４０≦Ｌ／Ｌｓ≦０．５５ を満たす場合に、最も追従性の高いスライダを得ること
ができる。

【００８１】本発明によれば、スライダの空気流入端か
ら流出端に向かって２つの圧力分布を発生させるような
様々なＡＢＳ面形状を有するスライダにおいて、要求さ
れる仕様に応えながら、磁気記録媒体のうねりに対して
追従性の高いスライダを提供することが可能となる。

【００８２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁気記録
媒体のうねりに対して、記録再生を行う磁気ヘッドの浮
上量変動を抑制する効果を得ることのできる、追従性の
高いスライダのＡＢＳ面形状の作成が可能となり、その
結果追従性の高いスライダを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面
の形状の実施の形態を示す平面図 （ｂ）同側面図

【図２】Δｈ／ｐｐとＬ／Ｌｓとの関係を示すグラフ

【図３】（ａ）本発明の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面
の別の実施の形態を示す平面図 （ｂ）同側面図

【図４】（ａ）本発明の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面
の別の実施の形態を示す平面図 （ｂ）同側面図

【図５】（ａ）本発明の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面
の別の実施の形態を示す平面図 （ｂ）同側面図

【図６】（ａ）従来の磁気ヘッドスライダの走行方向の
圧力分布を示す図 （ｂ）本発明の磁気ヘッドスライダの走行方向の圧力分
布を示す図

【図７】（ａ）磁気記録媒体のうねりに対する従来のス
ライダの追従の様子を示す概念図 （ｂ）磁気記録媒体のうねりに対する本発明のスライダ
の追従の様子を示す概念図

【図８】Δｈ／ｐｐとＬ／Ｌｓとの関係を示すグラフ

【図９】Δｈとｐｐとを説明するための原理図

【図１０】従来の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面形状を
示す斜視図

【符号の説明】

１，３１，４０，５０，７１，８１，１０１ 磁気ヘッ
ドスライダ １０ 空気流入端 １１，４４，５８，６０ 第１の正圧発生部 １２，４５，５９，６２ 第２の正圧発生部 １３ 磁気ヘッド １４ 空気流出端 １５ 負圧発生部 ４１ 重心 ４２ 磁気記録媒体 ４３ 正圧発生部 ５１ うねりの波形 ５２ 浮上量の波形 ５３ 浮上量変動の波形 ５５，５６ パッド ６１ ステップ構造

フロントページの続き (72)発明者 稲垣 辰彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 NA02 PA01 PA05 QA02

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気記録媒体に対向すべき空気潤滑面上
   の、空気流入端側には第１の正圧発生部が設けられ、空
   気流出端側には第２の正圧発生部が設けられ、磁気ヘッ
   ドスライダの走行方向と直角な方向に投影された、前記
   第１の正圧発生部の長さの中心点と前記第２の正圧発生
   部の長さの中心点との距離をＬとし、前記磁気ヘッドス
   ライダの走行方向の長さをＬｓとしたとき、 ０．４０≦（Ｌ／Ｌｓ）≦０．５５ の関係を満たすような空気潤滑面を有することを特徴と
   する磁気ヘッドスライダ。
2. 【請求項２】 前記第１の正圧発生部が複数のパッドか
   ら形成されることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘ
   ッドスライダ。
3. 【請求項３】 前記第２の正圧発生部が複数のパッドか
   ら形成されることを特徴とする請求項１または請求項２
   に記載の磁気ヘッドスライダ。
4. 【請求項４】 磁気ヘッドを前記第２の正圧発生部より
   もさらに空気流出端側に形成したことを特徴とする請求
   項１から請求項３までのいずれか１項に記載の磁気ヘッ
   ドスライダ。
5. 【請求項５】 磁気記録媒体に対向すべき空気潤滑面上
   の、空気流入端側には第１の正圧発生部が設けられ、空
   気流出端側には第２の正圧発生部が設けられた磁気ヘッ
   ドスライダの空気潤滑面の作成方法において、 前記磁気ヘッドスライダの走行方向に直角な方向に投影
   された、前記第１の正圧発生部の長さの中心点と前記第
   ２の正圧発生部の長さの中心点との距離をＬとし、前記
   磁気ヘッドスライダの走行方向の長さをＬｓとしたと
   き、前記磁気ヘッドスライダの浮上量変動Δｈを磁気記
   録媒体のうねりの振幅ｐｐで除した値Δｈ／ｐｐの値を
   最小にするように算出されたＬ／Ｌｓを満足させるよう
   に、前記第１の正圧発生部および前記第２の正圧発生部
   を設けることを特徴とする磁気ヘッドスライダの空気潤
   滑面の作成方法。