JP2003004483A - 回転位置検出装置 - Google Patents

回転位置検出装置

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JP2003004483A
JP2003004483A JP2001193141A JP2001193141A JP2003004483A JP 2003004483 A JP2003004483 A JP 2003004483A JP 2001193141 A JP2001193141 A JP 2001193141A JP 2001193141 A JP2001193141 A JP 2001193141A JP 2003004483 A JP2003004483 A JP 2003004483A
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position detecting
sensor
plane
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Kosuke Fujimoto
幸輔 藤本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 検出精度を上げ、寿命を伸ばすことのできる
回転位置検出装置を得ること。 【解決手段】 ハウジング6Aの内面側に対して、付勢
ばね3を固定部3dを介して固定する。付勢ばね3に
は、固定部と直交方向の両側に傾斜部3cを介して梁部
3bを対称的に延設し、この梁部3bの先端にセンサ固
定部3aを形成する。このセンサ固定部3aにMRセン
サ2を固定し、ディスク4に貼り付けた磁気フィルム1
に接触させる。付勢ばね3は、各傾斜部3cがねじれる
ことによって、センサ固定部3aとともにMRセンサ2
を傾斜させて、磁気フィルム1の振れに追従させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転体の回転角度
を検出する回転位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】回転体の回転位置や回転速度を検出する
方法は、光学式と磁気式の二つの検出方法に大別され
る。このうち、前者の光学式検出方法は、回転体に微細
なピッチのスリットなどの光学パターンを形成し、この
パターンを反射光、または透過光を光検出手段で検出す
る方法である。一方後者の磁気式検出方法は、回転体に
設けた磁気パターンを磁気センサで検出する方法であ
る。
【0003】例えば、ホール素子は、DCモータの回転
位置の検出に採用されており、非接触での検出であるた
め、回転体との摺動による劣化のおそれがない。一方、
磁気抵抗効果を利用したMRセンサは、0.1mmピッ
チ程度の微細な読み取りが可能であり、VTRのキャプ
スタンモータの回転検出などに広く採用されているが、
ピッチが微細になるほど、センサと磁気パターン間のギ
ャップを狭く且つ、正確に形成する必要があり、磁気パ
ターンを着磁するスケールの振れ精度やセンサのギャッ
プの調整精度を上げる必要がある。このため、回転装置
に所定の精度を望めない場合や調整が不可能な場合に
は、センサに必要なギャップと等しい厚さの保護膜を形
成し、この保護膜にMRセンサを接触摺動させる方法が
採用される。
【0004】図3は、MRセンサを接触式として構成し
た従来の回転位置検出装置を示す。図3において、回転
体14の外周面に塗布した磁性体膜11に磁気パターン
が着磁してあり、磁気スケールを構成する。回転体14
の片側の固定部材16に基端を固定した付勢ばね13の
先端にMRセンサ2が固定され、磁性体膜11上の表面
に所定の圧力で押圧されている。MRセンサ2には、磁
性体膜11との接触部に対して、磁気検出に必要なギャ
ップと等しい厚さの保護膜が形成されており、MRセン
サ2は、保護膜を介して回転体14の磁性体膜の着磁パ
ターンを検出する。
【0005】MRセンサ2が磁気スケールと摺動するこ
とによって、付勢ばね23には周方向の曲げモーメント
が働く。したがって、この付勢ばね23がこの周方向の
曲げモーメントで変形すると、MRセンサ2の検出位置
が変動して正確な位置検出が不可能となるため、付勢ば
ね23は、中央部の断面へ略凸字形の梁を形成してい
て、磁気スケールの径方向には柔軟で、周方向には剛性
を高くすることによって、精度の低下を防いでいる。
【0006】このように、回転体の振れ精度が期待でき
ない場合や、組み立て時のギャップ調整が困難である場
合には、付勢ばね23によって保護膜を介して押圧する
ことにより、ギャップの変動による検出上の問題を解消
している。
【0007】磁気スケールの着磁は、回転装置に組み込
んだ後に行う場合と、あらかじめ、別の着磁機によって
磁気パターンを形成した後回転装置に組み込む場合の二
通りの方法がある。このうち、前者の場合は、回転装置
に別途着磁工程用の回転角度検出装置を取り付けてマス
ターとし、これに同期して磁気パターンを着磁する方法
が採られるが、煩雑であることから、通常は後者が採用
される場合が多い。
【0008】この場合には、着磁器の回転軸と、回転装
置の回転軸の精度が一致することはまれで、嵌合部のが
たなどによって偏心や振れが生じる。万一、偏心した場
合には、回転中心と着磁パターンの中心とのずれから着
磁パターンの回転半径が変動し、外周面でMRセンサが
検出する着磁パターンが実際の回転角と対応しなくな
る。これに対して、特開平7−140844号公報で
は、回転中心を挟んで対向する2箇所にセンサを配置
し、二つのセンサの信号を演算処理して、磁気スケール
の取り付け誤差成分を除去する方法が開示されている。
【0009】図4は、回転中心を挟んで対向する2箇所
に磁気センサを配置した一例を示す図である。図4にお
いて、回転体24の外周側の上面に磁性体膜21が環状
に塗布されており、この磁性体膜21の左右に付勢ばね
23が対称的に配置され、各付勢ばね23の先端の下面
にMRセンサ2が固定され、各付勢ばね23の基端は、
それぞれ固定部材16の上面に小ねじ7で固定されてい
る。
【0010】このように構成された回転位置検出装置に
おいても、磁気スケールの偏心による誤差を信号の演算
で取り除くことができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の回転位置検出装置においては、以下に述べるよ
うな問題があった。すなわち、複数の磁気センサを用い
る場合には、すべてのセンサに等しい押圧力を与えるよ
うに付勢ばねを設定する必要がある。ところが、それぞ
れの付勢ばねが磁気スケールの振れに応じて変位し、押
圧力が変動し、押圧力の最大値を発生する機会がセンサ
の数だけ増えるため、磁気スケールとセンサの保護膜の
摺動による摩耗は、センサの数に応じて促進され、検出
装置の寿命が短縮する。
【0012】そこで、本発明の目的は、検出精度を上
げ、寿命を伸ばすことのできる回転位置検出装置を得る
ことである。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するためになされたもので、本発明の回転位置検
出装置の第1の手段は、回転体の平面に磁気パターンを
形成してなる磁気スケールに、複数の磁気検出素子を押
圧して磁気パターンを検出し、回転体の回転角度を検出
する回転位置検出装置において、磁気検出部を磁気スケ
ールと略平行な同一面上に配置し、且つ、磁気スケール
に加圧接触させる加圧手段を備え、この加圧手段は磁気
スケールの平面に対して一体的に傾斜可能に支持されて
いることを特徴とする。
【0014】本発明の回転位置検出装置の第2の手段
は、第1の手段において、加圧手段は磁気検出素子を両
端に固定した梁状の加圧手段であって、磁気検出素子を
含み前記平面に鉛直な面内において加圧手段が傾斜可能
とする変形部を介して加圧手段の中央付近を支持してい
ることを特徴とする。
【0015】本発明の回転位置検出装置の第3の手段
は、第2の手段において、支持手段は加圧手段と一体に
構成された弾性ヒンジであることを特徴とする。
【0016】本発明の回転位置検出装置の第4の手段
は、第1の手段において、磁気検出素子を先端に固定し
た梁を放射状に配置し、中央に支持部を持つ加圧手段で
あって、該支持部は、磁気スケールの平面と平行な平面
内の直交する二つの回転軸に対応した変形部を介して該
加圧手段の中央付近を支持していることを特徴とする。
【0017】本発明の回転位置検出装置の第5の手段
は、第4の手段において、変形部は加圧手段と一体に構
成された弾性ヒンジであることを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)図1は、本
発明の回転位置検出装置の第1の実施の形態を示す平面
図および断面図である。図1において、円板状のディス
ク4の表面に磁気フィルム1が貼り付けられて磁気スケ
ールを構成している。この磁気スケールは、あらかじ
め、図示しない着磁装置によって、磁気フィルム1の外
周表面に交互に磁極が反転した磁気パターンが所望のピ
ッチで形成してある。なお、磁気フィルム1は、他の手
段、たとえば、射出成型や塗布による方法もある。磁気
パターンを形成した磁気スケールの中心に回転装置(図
示せず)の回転軸5が圧入などによる固定手段で取り付
けてある。
【0019】一方、MRセンサ2は、付勢手段となる3
の両端のセンサ固定部3aに対して、磁気スケールに対
向するように取り付けられ、一対の梁部3bは、傾斜部
3cと固定部3dを対して固定部材であるハウジング6
の内面側にねじ止めされている。付勢ばね3によってM
Rセンサ2は磁気フィルム1に押圧され、回転軸5を挟
んで対向する2箇所で磁気スケールの磁気パターンを検
出する。この検出された信号は、磁気センサに接続され
た配線(図示せず)を介して演算装置へ伝送され、磁気
スケールの偏心による誤差成分が取り除かれて電動機な
どで駆動される回転装置の位置や速度などの制御に用い
られる。
【0020】MRセンサ2を固定するセンサ固定部3a
は、MRセンサ2が磁気フィルム1に押圧されたときに
この磁気フィルム1と平行になるように、梁部3bとの
間に図1(b)に示す曲げ加工が施されている。梁部3
bは、磁気フィルムへの押圧による変位によって軸中心
付近を中心として弾性変形することによって、磁気フィ
ルムへの押圧力を発生する。各傾斜部3cは、幅がくび
れた弾性ヒンジになっており、センサ固定部3aと梁部
3bが一対の傾斜部3cを結ぶ線を軸として柔軟に傾斜
することが可能となっている。
【0021】磁気フィルム1の面の振れは、回転軸5の
振れ精度及びディスク4の嵌合穴の精度や磁気フィルム
の面精度等に左右される。磁気フィルム1の軸方向の変
位は、二つのMRセンサを含む鉛直面内において磁気フ
ィルム1と回転軸の交点を中心とした回転運動として捉
えることができる。
【0022】付勢ばね3は、各傾斜部3cのねじれによ
ってセンサ固定部3aとともに各MRセンサ2を一体的
に傾斜させることにより、磁気フィルム1の振れに追従
させることができる。したがって、傾斜部3cのねじり
剛性を充分に小さくすることによって、磁気フィルム1
の振れに対するMRセンサ2の位置の変動を傾斜部3c
で吸収し、梁部3bによる押圧力の変化を防ぐことがで
きる。そこで、付勢ばね3の押圧力を決定する梁部3b
は、磁気フィルム1への最低限の押圧力を発生するよう
に剛性を設定する。
【0023】従来の回転位置検出装置では、回転軸方向
の振れが押圧力を増大させる要因となっていたが、本発
明では、上述した構成とすることによって、MRセンサ
の押圧力の変化を防いで磁気スケールへの安定した接触
が可能となるため、磁気スケールおよびMRセンサ2の
摺動による摩耗を最小限に抑え、検出器の長寿命化を図
ることが可能となる。
【0024】(第2の実施の形態)図2は、本発明の回
転検出装置の第2の実施の形態を示す平面図および断面
図である。図2において、磁気フィルム11およびディ
スク14で構成される磁気スケールは、第1の実施の形
態と同様に着磁され、回転装置の回転軸5に取り付けて
ある。本実施の形態は、3個のMRセンサを120゜ピ
ッチで放射状に配置したものである。3箇所で検出を行
うことによって、磁気パターンの偏心の誤差が除去され
るだけでなく、磁気パターンに含まれる着磁ピッチの誤
差や、磁気フィルムの熱変形や経時的変形による誤差を
平均化して、より高精度の回転角度位置を演算すること
が可能となる。
【0025】付勢ばね3は、放射状に120゜ピッチで
延出した梁部13bの先端にセンサ固定部13aを備
え、この各センサ固定部13aに磁気センサ2を接着な
どで固定している。センサ固定部13aは、梁部13b
及び傾斜部13cを介して固定部13dにより、固定部
材であるハウジング6Bにねじ止めされている。梁部1
3bは、磁気スケールに押圧したときに、センサ固定部
13aとMRセンサ2が磁気フィルム1と平行となるよ
うに曲げ加工を施してある。ばね3によってMRセンサ
2は磁気フィルム1に押圧され、梁部13bの曲げ変形
によって所定の押圧力を発生する。回転軸5を中心に配
置された3箇所のMRセンサ2によって、磁気スケール
の磁気パターンを検出する。
【0026】大小の弧状の一対の溝によって形成された
狭幅の傾斜部13cは、図2において紙面縦方向と横方
向の2軸のねじり弾性ヒンジを構成し、それぞれ独立し
て作用するように中間の環状の接続部13eで分離して
ある。ヒンジ部がねじり変形可能なように、ハウジング
6Bの中心部をバーリング加工で突出させて、固定部1
3dをねじ止めしてある。傾斜部13cによって、三本
の梁部13bとMRセンサ2は一体的に傾斜可能であ
り、且つ、回転軸5を中心とするねじり変形の剛性は高
くなっている。三個以上のMRセンサを配置する場合
は、その各MRセンサを含む平面が磁気フィルム1の表
面に倣って追従することが必要であるため、磁気スケー
ルの回転平面に平行な面内の2軸の傾斜を許容する構成
となっている。
【0027】付勢ばね3は、傾斜部13cのねじれによ
って各MRセンサ2を一体的に傾斜させることにより、
磁気フィルム1の面の振れに追従させることができるか
ら、傾斜部3cのねじり剛性を充分に低くすることによ
って、磁気フィルム1の振れに対するMRセンサ2の位
置の変動を傾斜部13cで吸収し、梁部13bによって
発生する押圧力の変化を防いでいる。そこで、付勢ばね
13の押圧力を決定する梁部13bは、磁気フィルム1
への最低限の押圧力を発生するように剛性と撓みを設定
し、振れに対しては傾斜部13cのねじり剛性を小さく
設定すればよい。
【0028】このように構成された回転検出装置におい
ては、3個以上の複数のMRセンサを使用して回転位置
を検出する場合でも、MRセンサの押圧力の変化を防
ぎ、磁気スケールへの安定した接触が可能となるため、
磁気スケールおよびMRセンサの摺動に伴う摩耗を最低
限に抑えることができるのみならず更に高精度の回転位
置検出装置を得ることができる。
【0029】
【発明の効果】以上、説明したように、請求項1に係る
発明によれば、複数の磁気検出部を磁気スケールの平面
に対して一体的に傾斜可能としたことにより、磁気検出
部と磁気スケールとの押圧力の変動を低減し、押圧力を
低く抑えたので、磁気検出部と磁気スケールとの摺動に
よる摩耗を低減し、長期に亘って信頼性の高い回転位置
検出手段を構成できる。
【0030】請求項2に係る発明によれば、2個の磁気
検出素子を一体的に傾斜可能な梁によって配置したこと
により、安価に構成でき、磁気検出部と磁気スケールと
の摺動による摩耗を低減し、長期にわたって信頼性の高
い、磁気スケールの偏心誤差を除去可能な回転位置検出
手段を構成できる。
【0031】請求項3および請求項5に係る発明によれ
ば、支持手段を加圧手段と一体に構成した弾性ヒンジと
したことで、安価で高精度なセンサの位置決めが可能と
なる。
【0032】請求項4に係る発明によれば、複数の磁気
検出部を一体的に傾斜可能な放射状の梁によって配置し
たことにより、安価に構成でき、磁気検出部と磁気スケ
ールとの摺動による摩耗を低減し、長期にわたって信頼
性の高い、磁気パターンの誤差を平均化可能な回転位置
検出手段を構成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の回転位置検出装置の第1の実施形態を
示し、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A断面
図、(c)は(a)のB−B断面図。
【図2】本発明の回転位置検出装置の第2の実施形態を
示し、(a)は平面図、(b)は(a)のC−C断面
図。
【図3】従来の回転位置検出装置を示し、(a)は平面
図、(b)は(a)の右側面図、(c)は(a)のD−
D断面図。
【図4】図3と異なる従来の回転位置検出装置を示す図
で、(a)は平面図、(b)は(a)のE−E断面図。
【符号の説明】
1 磁気フィルム 2 MRセンサ 3,13 付勢手段としての付勢ばね 3a,13a センサ固定部 3b,13b 梁部 3c,13c 傾斜部 3d,13d 固定部 4 ディスク 5 回転軸 6A,6B ハウジング

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転体の平面に磁気パターンを形成して
    なる磁気スケールに、複数の磁気検出素子を押圧して前
    記磁気パターンを検出し前記回転体の回転角度を検出す
    る回転位置検出装置において、前記磁気検出部を前記磁
    気スケールと略平行な同一面上に配置し且つ前記磁気ス
    ケールに加圧接触させる加圧手段を備え、この加圧手段
    は前記磁気スケールの前記平面に対して一体的に傾斜可
    能に支持されていることを特徴とする回転位置検出装
    置。
  2. 【請求項2】 前記加圧手段は、磁気検出素子を両端に
    固定した梁状の加圧手段であって、前記磁気検出素子を
    含み前記平面に鉛直な面内において前記加圧手段が傾斜
    可能とする変形部を介して該加圧手段の中央付近を支持
    していることを特徴とする請求項1に記載の回転位置検
    出装置。
  3. 【請求項3】 前記支持手段は、前記加圧手段と一体に
    構成された弾性ヒンジであることを特徴とする請求項2
    に記載の回転位置検出装置。
  4. 【請求項4】 磁気検出素子を先端に固定した梁を放射
    状に配置し、中央に支持部を持つ加圧手段であって、該
    支持部は、前記磁気スケールの前記平面と平行な平面内
    の直交する二つの回転軸に対応した変形部を介して該加
    圧手段の中央付近を支持していることを特徴とする請求
    項1に記載の回転位置検出装置。
  5. 【請求項5】 前記変形部は、前記加圧手段と一体に構
    成された弾性ヒンジであることを特徴とする請求項4に
    記載の位置検出装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009128851A (ja) * 2007-11-28 2009-06-11 Nikon Corp 位置検出装置、ブレ補正装置および光学機器
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JP2017198456A (ja) * 2016-04-25 2017-11-02 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

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