JP2002544663A - 作業用クリーンルームの内部および外部で基板を操作するための装置 - Google Patents
作業用クリーンルームの内部および外部で基板を操作するための装置Info
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Abstract
Description
外部で基板を操作するための装置に関するものである。
ボックスが手動または自動で供給され、基板が作業用クリーンルーム内部で処理
された後、処理した基板を備えたカセットボックスを、作業用クリーンルームと
は離して配置された別のステーションへ誘導する。この種の装置の個々のステー
ションの配置にはスペースを要し、個々のステーションの間に操作装置が配置さ
れるので、時間的にもコスト的にも浪費的である。
めのこの種の装置において、個々の作業ステップおよび生産ステップを省スペー
スで組み合わせることのできる前記装置を提供することである。
で基板を操作するためのこの種の装置において、請求項1に記載された構成を提
案する。
、個々の作業ステップを統一させることができ、或いは組み合わせることのでき
る、作業用クリーンルームの内部および外部で基板を操作するための装置が省ス
ペースで提供される。また、距離が短いので、かなりの時間節約になる。
して、処理を行ない、或いは別様に操作を行うことができ、そして同じ割り当て
で或いは新たな割り当てでカセットボックスに再び保管することができ、或いは
新たに分類して貯留することができるので理想的である。
ップの組み合わせが可能である。 請求項3ないし7の構成により、ゲート装置(Schleusenvorrichtung)のゲート
ユニットの有利な構成が得られる。
にするため、1個または複数個の昇降機が設けられる。 請求項9に記載の構成によれば、作業用クリーンルーム内でたとえばプロセス
工程、製造工程、検査工程、分類工程のような種々の作業ステップを個別にまた
は組み合わせて行なうことができる。これにより、検査工程および(または)分
類工程に対応して、基板の新たなクリアランス(Lose)を設定して、貯留室で保管
することができる。このためには、請求項10に記載の構成に従って構成された
第1の操作装置が特に有利である。
ら貯留スペースは、ゲートユニットともに、且つ請求項13に記載のカセットボ
ックス用の1個または複数個の搬出入口とともに、第2の操作装置により到達し
うる位置にある。このための有利な構成は、請求項12および請求項14ないし
16の構成によって得られる。
明を図面に図示した実施形態に関し詳細に説明することにする。 本発明の有利な実施形態として図1と図2に図示した装置10は、基板11を
作業クリーンルーム15の内部および外部で操作するために用いるものであり、
この場合基板11はカセット12内に積層して収納されており、それぞれのカセ
ット12はクリーンルームの諸条件のもとにボックス13の中に配置されている
。
シング16は密閉されており、1個または複数個のゲートユニット18を備えた
ゲート装置17を有している。作業用クリーンルーム15のケーシング16上に
はケーシング21が載置されており、ケーシング21は貯留室20を有し、或い
は貯留室20を画成している。ゲート装置17は、貯留室20と作業用クリーン
ルーム15との間で「空調」交換を要しない作業移行部を提供している。貯留室
20は、ドア30により開閉可能な、カセットボックス13の供給または取出し
用の1個または複数個の搬出入口22,23を備えている。図示した実施形態で
は、互いに横に並んで配置される2つの搬出入口22と23がケーシング21の
底部24の近くに設けられている。搬出入口22,23はより多く設けてもよく
、および(または)、ケーシング21の他の個所に設けてもよい。たとえばケー
シング21のカバー25の付近に設けてもよい。これは、特に、搬出入口22,
23が手で操作されるか、或いは搬送装置を用いて自動的に操作されるかにも依
存している。
較的高く、長手方向の2つの壁26と27に沿ってカセットボックス13用の貯
留スペース28が行列状に設けられるように構成されている。2つの貯留スペー
ス28と29の間には、カセットボックス13用の操作装置31が設けられてい
る。操作装置31は直立の柱32を有し、柱32はケーシング21の底部24と
カバー25においてリニアガイド33,34を介して長手方向に案内されている
。柱32には、水平方向に移動可能な屈曲アームフォーク36が鉛直方向に案内
され、この屈曲アームフォーク36のフォーク端部37によりカセットボックス
13のたとえば表面に下側から係合することができる。したがって操作装置31
は3つの座標軸上を移動可能であり、その結果カセットボックス13は搬出入口
22,23から貯留スペース28,29のほうへ、およびその逆の方向へ移動でき
るとともに、貯留スペース28,29とゲート装置17のゲートユニット18と
の間で移動することができる。
手側41に複数のチャンバー42,43,44がたとえば横に並んで配置されてい
る。これらのチャンバー42,43,44はプロセスチャンバー、製造チャンバー
、検査チャンバー、識別チャンバー等である。図示のものとは関係なく任意の数
量のチャンバーを設けてもよい。作業用クリーンルーム15のケーシング16の
、反対側の長手側46には、1個または複数個の昇降装置47が設けられている
。昇降装置47はゲート装置17のゲートユニット18の領域またはその下方に
配置され、これらゲートユニット18のそれぞれ1つに付設されている。昇降装
置47は上下動可能なロッド48を有し、ロッド48を用いて基板カセット12
を上下動させることができる。
46での1個または複数個の昇降装置47の配置位置との間には、底部側のリニ
アガイド53上をケーシング16の長手方向に往復動可能な操作装置51が設け
られている。図示した実施形態の場合、操作装置51は水平方向に移動可能な屈
曲アーム把持体56を有しており、この屈曲アーム把持体56の把持体端部57
により、昇降装置47上に載置されている基板カセット12と1個または複数個
のチャンバー42ないし44との間で基板11を搬送させることができる。
シング16と21の中間壁を形成しているケーシング21の底部24において昇
降装置47のすぐ上方に設けられている。ゲートユニット18は周回する載置部
61を有し、この載置部61上に各カセットボックス13のフード64の下縁6
2を密接させて載置させることができる。基板カセット12を作業用クリーンル
ーム15内へ閘門状に挿入させるため、カセット底部63をカセットボックス1
3のフード64からロック解除し、昇降装置47のロッド48によって受容させ
、カセットボックス13から操作装置51の高さへ降下させ、その結果カセット
12の基板11を操作することができる。ゲートユニット48を複数個設け、よ
って複数個の基板カセット12を同時にまたは順次操作し、且つ複数個の昇降装
置47を作業用クリーンルーム15内に設ければ、個々の基板カセット12を異
なる態様で新たに装備させることができるので、新たなクリアランスを設定する
ことができる。カセットボックス13内への基板カセット12の戻し作業は昇降
装置47を用いて対応的に逆の態様で行なわれ、カセット底部63をフード64
とロックさせた後、カセットボックス13を昇降装置31を用いてゲートユニッ
ト18から貯留スペース28,29へ、或いは搬出入口22,23へもたらすこと
ができる。
場所59’は同様にケーシング長手側の近くであるが、貯留室20’の内部にあ
り、したがって作業用クリーンルーム15の外側にあり、作業用クリーンルーム
15の、内側へずれた側壁65は、ゲート装置17’、或いは、1個または複数
個のゲートユニット18’の一部分を形成している。この実施形態の場合、1個
のカセットボックス13’全体が操作装置31’を用いて昇降装置47’上へも
たらされ、昇降装置47’により側壁65の領域へ、またはそのゲートユニット
18’の領域へ降下せしめられる。したがって、昇降装置47’は降下可能な貯
留スペース29として構成されている。
ドア66が設けられ、ゲートドア66のそれぞれは、カセットボックス13’を
貯留室20’に対し密封させた状態で、該ゲートドア66の周りにおいて側壁6
5に対し側方からドッキングさせたときに、カセットボックス13’に設けたサ
イドドア67とともに開放される。ゲートドア66とサイドドア67とを開放さ
せた後、ドッキングさせたカセットボックス13’から基板11を操作のために
チャンバー42’ないし44’内へ取り出し、再び対応するカセットボックス1
3’内へ戻すことができる。なお、この通路59’に沿って、ケーシング外壁と
側壁65の間に1個または複数個のこの種の昇降装置47’をゲートユニット1
8’とともに設けてよい。この例では、カセットボックス13’はその底部を介
して開放されるのではなく、そのフード64’の領域において開放されて基板1
1の取り出しが行なわれる。
ており、この場合操作装置31’の屈曲アームフォーク36’はカセットボック
ス13’の構成に適合しており、カセットボックスのフード64’は上面に操作
部69を備えている。
テップが達成され、すなわちカセット12,12’内部での基板11の貯留およ
びクリアランスの新たな設定を含めた操作ステップ、検査ステップ、分類ステッ
プ、識別ステップを達成できる。
部で基板を操作するための装置の概略横断面図である。
Claims (16)
- 【請求項1】作業用クリーンルームの内部および外部で基板を操作するため
の装置(10)であって、クリーンルームの諸条件のもとにボックス(13)内
に収納されている基板カセット(12)をボックス(13)から出入可能にさせ
るゲート装置(17)と、基板(11)を基板カセット(12)に保管可能にさ
せ、且つ基板カセット(12)から取り出し可能にする第1の操作装置(51)
とを備えた前記装置(10)において、作業用クリーンルーム(15)上にまた
はその上方に、多数のカセットボックス(13)を貯留するための貯留室(20
)が設けられていること、ゲート装置(17)がこの貯留室(20)と作業用ク
リーンルーム(15)の間に設けられていることを特徴とする装置。 - 【請求項2】ゲート装置(17)が1個または複数個の互いに独立なゲート
ユニット(18)を有していることを特徴とする、請求項1に記載の装置。 - 【請求項3】各ゲートユニット(18)のゲートドアがカセットボックス(
13)の構成要素(63,67)によって形成されていることを特徴とする、請
求項2に記載の装置。 - 【請求項4】ゲート装置(17)が貯留室(20)の底部または作業用クリ
ーンルーム(15)のカバーに配置されていることを特徴とする、請求項1から
3までのいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項5】ゲートドアがカセットボックス(13)のプラットホーム(6
3)によって形成されていることを特徴とする、請求項3または4に記載の装置
。 - 【請求項6】ゲート装置(17)が作業用クリーンルーム(15)の側壁に
配置されていることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか一つに記載の
装置。 - 【請求項7】ゲートドア(67)がカセットボックス(13)のフード(6
4)に形成されていることを特徴とする、請求項3または6に記載の装置。 - 【請求項8】各ゲートユニット(18)に、基板カセット(12)またはカ
セットボックス(13)のための昇降装置(47)が付設されていることを特徴
とする、請求項2から7までのいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項9】作業用クリーンルーム(15)が、プロセス工程、製造工程、
検査工程、分類工程等の工程のための複数の作業室(42ないし44)を備え、
これらの作業室相互の間、および(または)これら作業室と基板カセット(12
)の配置場所との間に、前記第1の操作装置(51)が設けられていることを特
徴とする、請求項1から8までのいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項10】第1の操作装置(51)が、作業用クリーンルーム(15)
の底部(24)にリニアガイド(53)を備えていることを特徴とする、請求項
9に記載の装置。 - 【請求項11】貯留室(20)が、列状の配置および(または)段状の配置
で貯留スペース(28,29)を備え、これら貯留室相互の間、および(または
)ゲート装置(17)の個々のゲートユニット(18)の間、および(または)
貯留スペース(28,29)とゲートユニット(18)との間に、カセットボッ
クス(13)の移し替えを可能にする第2の操作装置(31)が設けられている
ことを特徴とする、請求項1から10までのいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項12】第2の操作装置(31)が、底部側および(または)カバー
側にリニアガイド(33,34)を備えていることを特徴とする、請求項11に
記載の装置。 - 【請求項13】貯留室(20)が、カセットボックス(13)のための1個
または複数個の搬出入口(22,23)を備えていることを特徴とする、請求項
1から12までのいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項14】搬出入口(22,23)が閉鎖可能であることを特徴とする
、請求項13に記載の装置。 - 【請求項15】搬出入口に、手動または自動の搬送装置が付設されているこ
とを特徴とする、請求項13または14に記載の装置。 - 【請求項16】操作装置(31,51)が、フォークユニットまたは把持ユ
ニットを備えていることを特徴とする、請求項1から15までのいずれか一つに
記載の装置。
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