JP2002532670A - 外部環境から隔離された２つのチャンバ間のドア連結装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 この発明は密封装置の連結装置に関し、ここで、固定されたＡおよび移送可能なＢの各チャンバには、密封手段（１２，１４）の介在物を具えるフランジ（４，５）と協働するドア（２，３）に備えられた少なくとも一つのアクセス用開口部が設けられ、２つのドアの一方が対応するフランジ（４）に連結されており、２つのドア（２，３）にはそれぞれのフランジ（４，５）にロック手段とそれらを連結する連結手段が備えられ、密封手段（１２，１６）間の接触を介して、それらの面（１７，１８）を外部環境に関して媒体から隔離する内側空間Ｃを形成する。２つのドア（２，３）をお互いに連結する手段は、少なくとも一方のドアに設けられ、その一端において、前記ドアの外面（１８）から出て密封された内部空間「Ｃ」に至るチャンネル（３０，３４，３５）のネットワークを具え、該ネットワークは、他方の端部において、真空源（３９）と接続されている。装置は、真空源（３９）とチャンネル（３０，３４，３５）のネットワークを接続するパイプ系に、パイプ系中の真空値を測定するセンサ（４４）を備える。前記真空が特定の閾値より低いとき警報が起動され、これにより可能な故障の検知を可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は、チャンバの一つから他方のチャンバへ内容物を移動させる目的で、
外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結のための装置におけるドア連
結用装置に関する。

【０００２】 この説明および添付の特許請求の範囲の解釈の目的のために、「密封する」ま
たは「密封された」の用語は、２つのタイプの媒体を分離する壁が、該壁を通っ
ての１つ以上の照合物質、例えばいわゆる汚染物質、の移動を防止または制限す
るような特性を意味する。

【０００３】 「汚染している」または「汚染」の用語は、物質が任意の媒体の中で、除外さ
れ、または限られた量または濃度に留められねばならないという特性を意味する
。これは、例えば、生物学上またはその他の自然界の病原菌または汚染物質であ
ってもよく、また、流体媒体中の懸濁液の中にも配され得る単純な固体粒子、液
体粒子またはガス粒子であってもよい。

【０００４】 より詳しくは、本発明は、限定的ではないが、粒子によるものを含み、汚染が
外部媒体から回避または制限されることを要する医学的または生物学的なタイプ
での用途を参照しつつ以下に説明される。例として、以後「Ａ」と称するチャン
バの一つは、クリーンルームまたは滅菌室からなるが、これは置換え可能であり
、以後「Ｂ」と称する他のチャンバは、取外し可能且つ移送可能な、例えば使い
捨てチャンバであり、以下に説明される密封された連結装置が連結位置にあると
きに、２つのチャンバの間に形成された通路、即ち移送可能なチャンバから固定
式チャンバまでの通路を通って、移送されるべき一つ以上の対象物または装填物
を含んでいる。例えば、クリーンルーム中で進行している製造または生産のため
に必要とされる成分または製品を固定式チャンバに供給したり、その逆に、該ク
リーンルームから廃棄物または製品を排出する。

【０００５】 本発明は、技術状態に従うとより複雑な接合装置の部分を形成する連結装置に
関し、本発明の紹介および説明が成される前に、図１乃至７を参照して、先ず以
下に説明される。

【０００６】 そのような密封接合装置は、産業および研究の多くの分野において普通に使用
されており、実際には、この領域に含まれた大気又は製品の危険なすなわち汚染
した性質の故、または、この領域に含まれ滅菌された大気が周囲の空気によって
汚染される可能性がある故に、監禁チャンバを形成するために確定された領域を
隔離することが必要である度毎に使用されている。そのような状況は、特に、核
、電子、製薬および医療分野において発生する。

【０００７】 従って、本発明は、より詳しくは、技術状態の一部を形成するという理由で、
この段階で説明されている装置に関し、ここでは、それぞれフランジ４および５
の形態の固定フレームにより各々支持されているドア２および３の一時的な連結
がチャンバ「Ｃ」を形成する。これらのドアのうちの一つ、即ちドア２は、外部
媒体から隔離された固定チャンバ「Ａ」の開口部６に配され、一方、他のドア、
即ちドア３は、やはり外部媒体から隔離された他のチャンバ「Ｂ」の開口部に配
されている。本発明は、限定されないが、より詳しくは、この装置の、滅菌チャ
ンバ「Ａ」と持ち運び可能なチャンバ、即ち可動式チャンバ「Ｂ」との相互接続
の用途に関する。例えば、該可動式チャンバ「Ｂ」は、ドア３のフランジ５に固
定された合成材料８で作られたケーシングによって形成された移送可能な容器か
らなる。

【０００８】 この密封接合装置によれば、固定チャンバ「Ａ」は、概ね円形で軸１０の回り
に連結されたアーム９によって、例えば垂直に、フランジ４に関して支持された
ドア２によって閉鎖される。このドアは、フランジ４の支持面１１と互いに協働
し合う圧縮可能な環状シール１２のような密封手段を有している。

【０００９】 同様に、移送可能なチャンバ「Ｂ」は、概ね円形であるが、固定チャンバのド
ア２のためのフランジ４に形成された開口部よりも小さい直径寸法であり、この
開口部を介して嵌合し得るドア３によって閉鎖される。ドア３は、該ドアのフラ
ンジ５を密封する手段、即ちフランジによって支持され、ドア３の支持面１５と
互いに協働する圧縮可能な環状シール１４を有している。

【００１０】 ドア２および３の各々は、各ドアを閉鎖された位置においてフランジに対して
ロックする手段とも連携されている。図５および６に図示され下記に定義されて
いる実施形態においては、これらのロック手段は、フランジ４のベアリング内で
回転自在に取り付けられたシャフト５０、シャフトの、チャンバＡに配されたそ
の端部上にしっかりと留められた回転式掛金５１、およびシャフト５０の、チャ
ンバＡの外側に延在するその端部上にしっかりと留められたレバー５２とを具え
ている。回転式掛金５１はブレードの形状をしており、図５に示されるように、
ドア２をフランジ４の凹部内に押圧する位置、またはこのドアが動くのを許容す
る、このドアの半径方向外側の位置のいずれかを占め得る。

【００１１】 シャフト５０は、一方において、該シャフト上にフランジ４の外側からレバー
５２に向かってしっかりと留められ、フランジ５をフランジ４に対してしっかり
と留めることが可能なもう一つの回転式掛金５３と、他方において、ドア３をそ
のフランジ５上にしっかりと留める手段と協働可能な２つの半径方向指状部材５
４および５５を担持している。図６は、これらの多様な構成要素５１，５３，５
４および５５がお互いに関して、およびレバー５２に関して角度的にずらされて
いることを示している。

【００１２】 ドア３をそのフランジ５にロックする手段は、２つの円柱状ピン５６，５７を
具えており、それぞれドア３の盲ボア５８と、第一のボアと同軸でフランジ５に
半径方向に形成されたボア５９とに前後にぴったりと嵌合している。ピンは、部
分的にしか係合されないため、ピン５７はフランジ５から突出し、ピン５６はド
ア３を受け入れているフランジ５の内側のボア５ａを横切ってドア３をフランジ
にロックする。容器が使い捨て容器の場合、図６に見られるような他のピン６０
がフランジのボア６１に、ドア３の盲ボア６２と整列して配される。最初は、ピ
ン６０は、図６に図示された位置にある。つまり、ピン６０は、一方の端部にお
いてフランジ５から半径方向へ延在する一方で、その反対側の端部は盲ボア６２
に入ることなくボア５ａと面一に存する。このピン６０と同軸ピン５６，５７は
、シャフト５０の回転軸を含む直径方向平面の各々の側で角度的にずれており、
このシャフトによって支持されている指状部材５４，５５の円形経路内に配され
ている。

【００１３】 かかる装置は、一般的には、フランジ４の周辺で角度をもって離間されている
同様の他の装置と連携されている。

【００１４】 最後に、取外し可能なチャンバ即ち容器Ｂのフランジ５を固定チャンバＡのフ
ランジ４に対して位置付けるのを容易にするために、図７に示されるように、フ
ランジ４は、外方に向いて突出しフランジ５の周辺に作られた円形の切欠き６４
と協働し得る数個の縦長の指状部材６３に固定されている。

【００１５】 移動が行われない場合、ドア２および３の各々は、掛金５１とピン５６によっ
てそれぞれに対応するフランジ４および５に対してロックされている。一方のチ
ャンバの内容物が他方のチャンバに移動される必要がある場合、例えば、移送可
能なチャンバ「Ｂ」の内容物が固定チャンバ「Ａ」に移送されなければならない
場合には、移送可能なチャンバ「Ｂ」のドア３のフランジ５が、図１に示される
ように、固定チャンバ「Ａ」のドア２のフランジ４に対して、指状部材６３によ
り大まかに位置付けられ、その後、最終的にはドア３の凹部７５内へのドア２の
中央ボス７１の係合により確実に位置付けられる個所にもたらされる。

【００１６】 図６の矢印７０の方向にレバー５２を回すと、同時に、フランジ５をフランジ
４にロックし、回転式掛金５１を介してドア２をアンロックし、さらにピン５６
，５７を押し込む指状部材５５を介してドア３をフランジ５からアンロックする
。つまり、この押し込み動作は、フランジのボア５ａとのピン５６，５７の間の
接触領域を均しくし、それによってドア３を解放する。

【００１７】 この位置において、図３に示されるように、フランジ５に支持されている環状
シール１４は、フランジ４（図２）の円形支持面１３に対して密封接触状態にあ
り、かくて、２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の間の接続領域の内側を外部媒
体から隔離している。同様に、他の環状シール１２は、ドア３、即ちより厳密に
は円形の隆起部１６と密封接触状態にあり、これにより２つのドア２および３の
間の間隙、即ち空間「Ｃ」を隔離している。このために、ドアの表面１７および
１８は、これまでは外部媒体と接触していたが、今やこの空間Ｃの中に閉じ込め
られ、それによって、これらの表面が２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の密封
連結により形成された内部容量を引き続き汚染する可能性を防止する。汚染製品
の移動の場合には、この空間の封じ込めは、移動後に外側と再び接触するであろ
う２つの表面１７および１８が外部媒体を汚染する可能性をも防止する。

【００１８】 以上から、２つのフランジ４および５とそれぞれに対応する２つのドア２およ
び３との間の密封手段は、２つの円形で且つ連続する、いわゆる密封の臨界線Ｃ
１，Ｃ２を確定し、外部媒体の汚染または外部媒体による汚染、さらには、同様
に空間「Ｃ」（図４参照）の汚染または空間「Ｃ」による汚染を防止するために
、その臨界線の無欠性は完全に維持されなければならないことが明らかである。

【００１９】 「臨界線」という用語は、当業者に周知のごとく、連通された２つのチャンバ
の外にある媒体による残滓汚染を伴う線を意味する。２つのチャンバが連結され
連通された後に、この線は、２つのチャンバの間に形成された通路に存する空気
または液体と接触するようになるか、または製品、即ち前記通路を通る製品と接
触するようになり、それらを汚染する。

【００２０】 このような処理の間、下記の補足的な連結手段と、この手段を具える２つのド
ア２および３の外面とが一緒に結合し、固定チャンバ「Ａ」のドア２の開閉動作
が移送可能なチャンバ「Ｂ」のドア３に伝達されるように、これらのドアを一緒
に固定する。

【００２１】 ２つのドア２および３が、それぞれのフランジ４，５からアンロックされた後
に、２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」は、ドア２を、図４に示されるように、
固定チャンバ「Ａ」の内側に向けて回転させることにより連通を図ることができ
る。この動作は、フランジ４の開口部４ａを露出させ、２つのドア２および３の
間の連結の故に、ドア３を動かし、ドア３はこの開口部４ａを貫通して固定チャ
ンバ「Ａ」に入る。

【００２２】 例えば、移送可能なチャンバ「Ｂ」の内容物が固定チャンバ「Ａ」に移動され
た後に、ドアは閉鎖位置に戻される。

【００２３】 閉鎖体のロックは、このチャンバＢが使い捨てチャンバの場合には、レバー５
２をピン６０が指状部材５４によって押し込まれるまで矢印７０に対して反対方
向に回すことにより、さらには、ドア２が回転式掛金５１によってフランジ４へ
ロックされるのを許容するように、該レバーを図６に示されている中央位置まで
戻すことにより行われる。

【００２４】 この段階で、チャンバＡおよびＢは、再び気密的に閉鎖され、チャンバＢは、
臨界線を分離し、それまで隔離されていた面の外側と接触されることにより取り
除かれ得る。

【００２５】 密封接合装置のより完全な説明のために、必要に応じて、ＩＤＣ ＩＳＯＬＡ
ＴＥＵＲ ＤＥＮＯＭＩＮＡＴＥＵＲ ＣＯＭＭＵＮのフランス特許出願公開公
報第ＦＲ−Ａ−２，７２１，２８９号を参照できる。

【００２６】 外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結方法は、全体的には十分満
足できるが、ドア間の一時的な連結に関する限りは改良し得る。

【００２７】 このように、この連結がドアの一つから突出し、他のドアの切り欠きに入るよ
うな半径方向へのスタッドまたは差し込みペグによってもたらされる場合、２つ
のドアを接続および接続解除するために必要とされる回転は、移送可能なチャン
バ「Ｂ」のドアの回転によって概ね達成される。例えば、該容器は、固定チャン
バ「Ａ」に対して、必ずしも便利なものではなく、この容器の大きさに応じて人
の骨折りを必要とする。さらに、対応するシール上の円形密封支持面の摩擦のた
めに、この回転は汚染粒子を発生させるかもしれない磨耗を引き起こすか、また
はバクテリアまたはその他の汚染を誘発するような漏れの発生を引き起こす。

【００２８】 この磨耗を減少させるために潤滑剤に頼ることは、汚染源をも構成する。

【００２９】 フランス特許出願公開公報第ＦＲ−Ａ−２，７２１，２８９号に記載されるよ
うに、２つのドアの間の連結が粘着または磁力、例えば、固定チャンバ「Ａ」の
ドア２の外面の中央部分に固定された少なくとも一つの小さな磁気プレートによ
って、さらにその他には、他方のドア３の外面１７に固定された磁性すなわち鉄
のプレートによってなされた場合、２つの遮蔽物の間に発生される磁気引力は比
較的低く、これらのドアの製造公差に依存する。このため、この引力は、反対側
の円形支持面によって２つのドアの間でシール１２の適当な圧縮をもたらし、こ
れらの２つのドアの間に密封連結を行わせるには十分でないかもしれない。同様
に、開放の際、特に移送可能なチャンバＢが部分的に真空状態にあるとき、この
チャンバ「Ｂ」のドア３は、チャンバＣを開放して固定チャンバ「Ａ」のドア２
から離れるようになり、そのため、２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の内部容
量の汚染、特に固定チャンバ「Ａ」の汚染、を引き起こさせるかもしれない。

【００３０】 欧州特許出願公開公報第ＥＰ−Ａ−０，７３０，９０７号は、２つのドアの間
に連結をもたらす装置を開示しており、該装置は、これらのドアが各々フレーム
から出て回動解放する段階以前に、これらの２つのドアをお互いに固定するため
に、ドアの一つに形成され、且つこれらの２つのドアの間に形成された空間に向
かって開口するダクトを具える。

【００３１】 かくて、２つのドアの間の密封連結がなされるや否や、２つのドアの間で境界
を画された内部空間に真空状態を作り出すことによる、ダクトのネットワークの
排気が、お互いに向かい合った面積の寸法および部分的な真空の強さに応じた力
、しかし、いかなる場合にも通常の磁気引力の強さよりもさらに強いかもしれな
い力によって、これらの２つのドアをお互いに近接して保持させる。

【００３２】 この連結方法は、以下のような利点も提供する。即ち、 −２つのドアの間に相対的な角度を持った動きを必要とせず、さらにシールの磨
耗を引き起こさないので、実際に汚染粒子を発生させることがなく、潤滑を必要
としない； −シール手段の寿命を引き伸ばすことにより、扱い難い操作である、それらの取
り替えに伴う制約を軽減することができる； −ダクトのネットワーク中および真空源に連結された内部空間に部分的な真空が
創り出されるとすぐに始動するため、便利かつほぼ瞬間的である。

【００３３】 しかしながら、例えば、不正確な位置付けまたはシール手段の磨耗の結果とし
て、２つのドアの間の密封の内側の臨界線が破壊されてしまった場合には、真空
が２つのドアの間に連結をもたらすことを許容したにも関わらず、検知不可能な
ために、かえって有害となる偶発的な汚染の危険がある。

【００３４】 本発明の目的は、これを、外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結
装置のドアを連結し、接合安全性および引き続きの処理の安全性を高めることを
改善し、一方で、例えばチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の無菌性が維持されるよう
な最初の状態を保証する装置を提供することにより、救済することにある。

【００３５】 この目的のために、本発明による連結装置は、真空源をドアの一つに形成され
たダクトのネットワークに接続するダクト系に、このダクト系中の部分的な真空
の強さを測定し、且つこの部分的な真空が表示された値または記憶された値に届
かないときに、警報装置を反応させる少なくとも一つのセンサーを備える。

【００３６】 ２つのチャンバを一緒に接合する操作の都度、センサーは、ドア間の連結につ
いて自動的なチェックを行い、密封の欠如による不慮の汚染を防止する。これは
、２つのチャンバ間で移動される製品または液体に伴う安全性を飛躍的に改善す
る。

【００３７】 効果的には、ドアの一つが、他のドアのシールと協働し、２つのドア間の内側
空間の境界を画す密封の内側の臨界線を確定する円形領域を備えられ、前記ドア
は、この円形領域に接近して、他のドアに対する該ドアの相対的軸方向移動を制
限する凹状の円形支持面を有しており、これにより、部分的な真空の作用の下で
の対応するシールの制御された圧縮を確実にしている。

【００３８】 本発明の一実施形態において、ドアの一つに形成されたダクトのネットワーク
に真空を運ぶダクト系は、多方向電動バルブの介在物を具える圧縮空気源にも連
結されている。該電動バルブは、真空源およびセンサーを備える分岐ダクトから
ダクト系を隔離することができ、且つ同時に、このダクト系を２つのドア間の空
間にこれらのドアが分離するのを助けるための圧縮空気の流れを送るべく圧縮空
気源と連通させることを可能にしている。

【００３９】 この単純且つ廉価な構成によって、例えばチャンバＢのドアがチャンバＢの除
去以前にその固定フレームの中に完全にロックされておらず、そのチャンバが真
空にされている間に、詰まったままにされてしまった場合のように、チャンバＡ
のドアに詰まったままにされてしまったときに、可動式チャンバＢのドアを取外
さねばならないのを回避することができる。かくて、固定ドアのシールを破損す
る危険を伴いつつ、可動ドアの取外しに成功すべく、ドアと固定ドアの一点との
間にレバーやスクリュードライバーが挿入される必要はなくなる。

【００４０】 本発明は、図１ないし７において技術状態による接合装置を示し、および図８
ないし１１において本発明による装置の一実施形態を示している添付の概略図を
参照して、以降に続く説明の助けにより、より良く理解されるであろう。

【００４１】 以降に続く説明において、本発明と先に説明した技術状態に共通の要素は、同
じ参照番号を有し、新規の要素は３０から４９および７２以降の番号によって参
照されている。

【００４２】 図８および９に示されるとおり、ドアを貫通するダクトのネットワークを有す
るドア２は、 −アーム９において、ドア２に対して配されているアームの面から出現する横向
きの盲ダクト３４と連通する長手方向のダクト３０と、 −ドア２において、前記ダクト３４を延長するダクト３５とを具える。

【００４３】 Ｏ−リング３６は、漏洩を避けるために、アーム９がドア２と出会う平面に配
されている。ダクト３５は、このドア２がドア３に対して上方にあるときに、外
部媒体から隔離されねばならない密封された内部空間Ｃを形成する領域内におい
て、ドア２の外面１８から出ている。

【００４４】 ダクト３０は、好ましくは２つのチャンバの外側に配された例えば電気式真空
ポンプの、真空源３９に導くダクト３８と連結するための取り付け具３７と連通
している。このポンプ用の電力供給回路４０は、スイッチ、または、遮断機４２
のような、手動または自動的にに作動される操作部材を具えている。このスイッ
チは、好ましくは２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の外側に配され、例えば、
フランジのロックを制御する手段に近接して固定チャンバ「Ａ」の外面に配され
ている。

【００４５】 ダクト系３８は、タップ４３を経て真空ゲージまたはその他のタイプのセンサ
ー４４にも連結され、センサー４４は空気回路中の部分的な真空の強さを測定し
、空気的なまたは電気的な手段で警報装置４５を反応させる。センサー４４は、
機械式または電気式の部分的な真空測定装置４６にも連結し得る。

【００４６】 本発明の他の特徴によれば、図１０および１１により詳しく示されるように、
ドア２のシール１２と協働し、内部空間「Ｃ」の密封の内側の臨界線Ｃ１を確定
する、ドア３の円形の隆起部１６が、このドア３の外面１７の周辺に形成され、
円形の支持面４８と並置されている。この支持面の有用性については、以下に説
明される。

【００４７】 連結装置は、この説明の前段部で述べたように、フランジ４および５が共にロ
ックされ、シール１４の圧縮によって外部媒体から結合を密封するまでは、２つ
のドア２および３をロックする操作は行われない。この段階では、図１０に示さ
れるように、ドア３の円形領域１６が、既にドア２のシール１２と接触するよう
になっており、その反面、隣接する円形の支持面４８は、該支持面４８に対向す
る、ドア２の支持面４９とは今だ完全には接触していない。

【００４８】 スイッチ４２が真空ポンプ３９のスイッチをオンにすべく始動されるとすぐに
、ダクト系３８とダクトのネットワーク３０，３４および３５は、ドア２および
３の間の隙間「Ｃ」の内部に部分的な真空を引き起こし、これは、ドア３の支持
面４８が対向する、ドア２の支持面４９に対して接触するようになるまで、ほん
の短い距離（図１１ではかなり大げさになっているが）を、ドア３が軸方向に移
動するのを引き起こす効果を有する。この位置において、図１１に示されるよう
に、内部空間「Ｃ」に特有の内側の臨界線Ｃ１を確定する円形領域１６は、反対
側にあるドア２のシール１２のその部分を圧迫し、この密封の臨界線が達成され
るよう保証する。同時に、空間「Ｃ」の内部に作り出された部分的な真空は、ド
ア２および３が接続されているのを確実にする。スイッチ４２の始動は、例えば
、該スイッチがレバー５２の一つの回転経路内に配されるのであれば、手動でも
自動でもよい。

【００４９】 ポンプ３９から空間Ｃへ導く空気回路中の部分的な真空は、センサー４４で測
定される。もしこの強さがシール１２に対する支持面１６の所望のシールに対応
する基準値に届かない場合、誤った位置付けまたは、磨耗または望ましくない存
在による漏洩の結果として、センサー４４は、警報装置４５を反応させて、オペ
レーターに２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」を連通させるような処置を続行し
てはいけないことを知らせる。

【００５０】 センサー４４はまた、例えば固定チャンバＡのドア２をロックすることにより
、これを連通させるのを防止するような電気的、電子的または電子機械的な手段
に反応し得る。

【００５１】 このセンサーは、従って、仮に汚染させているのがこれらのチャンバであった
場合、これらのチャンバまたは外部媒体が最初の状態に保たれることを保証する
。この移動する臨界線の無欠性のチェックは、チャンバ「Ａ」および「Ｂ」の密
封連結処理の安全性を著しく高めるので、殊に有効である。

【００５２】 センサー４４は、２つのチャンバＡおよびＢを連結する場合にも使用され得る
。特に、回路中に部分的な真空を創り出すことが存する空気回路の自己検査中に
、この回路がふさがれていないか、または前記センサーが正しく作動しているか
をチェックするためにも使用される。

【００５３】 本発明による部分的な真空によって連結する装置は単独でも使用可能であるが
、ドア２および３が関連する角度位置に位置付けられた後、しかし、フランジ４
および５をロックする、従って上述のごとくドア２および３をアンロック操作す
る前にこれらのドアを一時的に相互に固定するのみの場合であっても、本発明の
装置を磁気連結装置と組み合わせることは好都合かもしれない。

【００５４】 磁気連結装置は、図９に示されるように、固定チャンバ「Ａ」のドア２の中央
のボスの内側に配された磁石７２を具える。この磁石は、上述の中央のボスの反
対側である、ドア３に形成された凹部７５の溝７４内に保持された鉄を含む材料
でできた小さな金属製プレート７３と協働するように意図されている。

【００５５】 図８に示された実施形態において、ダクト系３８は、多方向電動バルブ８０の
介在物とともに、圧縮空気源８１または電動エアーポンプ７７のいずれかに接続
された枝管７６にも接続される。電動バルブの電動電源回路７８は、コンタクト
７９を具えている。

【００５６】 ドアを閉じる操作の際に、オペレータが誤ってドア３を固定フレーム５にロッ
クし、ドア２を対応するフレーム４に閉鎖し、ロックし、さらにチャンバＢから
排気したなら、ドア３は、ドア２に貼りついたままになり、その後それを解放す
るために必要とされるのは、コンタクト７９が始動されることである。この作動
は、例えば解除レバーの始動と共に、特定の人の介在または自動実行により行わ
れ得る。電動バルブ８０は、その後、ダクト系３８を真空源３９および真空ゲー
ジ４４に具えつけられた枝管４５から隔離し、このダクト系３８を圧縮空気源と
連通させる。かくて、圧縮空気は、空間Ｃに入り、ドア３がドア２から離間する
のを促すような力をドア３に加える。

【００５７】 この手順は、接合操作の際には発生しないが、ドアを離れやすくしたり、この
分離を行うための工具の必要性を無くすことにより、シールの無欠性、つまりは
シールの臨界線の無欠性、を保つのに役立つ。

【図面の簡単な説明】

【図１】 外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向
断面図であり、２つのチャンバのドアがお互いに向かい合って位置されていると
きである。

【図２】 ２つのドア間の密封手段の一実施形態を、拡大寸法で示した部分断面図である
。

【図３】 外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向
断面図であり、これらのドアがお互いにロックされた後である。

【図４】 外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向
断面図であり、これらの２つのドアが開放された後である。

【図５】 フランジをお互いにロックする手段と各ドアをそのフランジにロックする手段
の一実施形態を、拡大寸法で示した、図６の線Ｖ−Ｖによる部分断面図である。

【図６】 図５の線ＶＩ−ＶＩによる部分断面図である。

【図７】 取外し可能なチャンバを固定チャンバ上に位置付ける手段の一実施形態を、拡
大寸法で示した部分断面図である。

【図８】 本発明のドアの正面図である。

【図９】 図８のドアが移送可能なチャンバのドアに連結されている段階を、拡大寸法で
示した図８の線ＩＸ−ＩＸによる図である。

【図１０】 ２つのドアの間の内部空間の境界を画す本発明の密封手段の一実施形態を、拡
大寸法で示した断面部分図である。

【図１１】 ２つのドアの間の内部空間の境界を画す本発明の密封手段の一実施形態を、拡
大寸法で示した断面部分図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ， ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，Ｃ Ｒ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ， ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，Ｋ Ｚ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ， ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，Ｓ Ｋ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者 クロード アンベール フランス エフ−38700 ラ トロンシュ シュマン コンコルド 10 Ｆターム(参考） 2E039 AC02 【要約の続き】 値より低いとき警報が起動され、これにより可能な故障 の検知を可能にする。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結装置にお
   けるドア連結装置であって、 第一に、固定されているまたは「変位可能な」「Ａ」および移動可能または移
   送可能な「Ｂ」の各チャンバは、固定フレームを形成するフランジ（４，５）と
   協働するドア（２，３）に備えられた少なくとも一つのアクセス用開口部を有し
   、該ドアは、密封手段（１２，１４）の介在物を具え、２つのドアのうちの一方
   （２）がフランジ（４）に連結されており、 第二に、２つのドア（２，３）は、対応するそれぞれのフランジ（４，５）へ
   のロック手段と補助連結手段を有し、該手段は、一つのチャンバの内容物が他の
   チャンバに移動される前であって、フランジ（４，５）が密封すべくお互いにロ
   ックされている間に、２つのドア（２，３）が連結されるのを許容し、それによ
   って、密封手段（１２，１６および１３，１４）の接触を介して、現在接触して
   いる面（１７，１８）を外部媒体から隔離する内部空間「Ｃ」を形成し、 第三に、フランジ（４，５）の相互ロックを制御する外部手段と、対応するフ
   ランジからのドア（２，３）のアンロックを制御する外部手段とが設けられ、
   第四に、２つのドア（２，３）間の連結手段が、内部空間「Ｃ」に向かって開き
   、且つ真空源（３９）に連結されドアの少なくとも一方に形成されたダクト（３
   ０，３４，３５）で構成された装置であって、 真空源（３９）をダクト（３０，３４，３５）のネットワークに接続するダク
   ト系（３８）に、このダクト系中の部分的な真空の強さを測定し、この部分的な
   真空が表示値または記憶値に届かないときに、警報装置（４５）に反応を起こさ
   せるセンサー（４４）を具えることを特徴とするドア連結装置。
2. 【請求項２】 ドアの一つ（３）には、他のドア（２）のシールと協働し、
   且つ２つのドア（２，３）の間に形成された空間「Ｃ」に対する密封の内側の臨
   界線を形成する円形領域（１６）が備えられ、前記ドアは、この円形領域（１６
   ）の近辺に、他のドア（２）に関してドア（３）の相対的変位を制限する内側で
   凹んだ円形支持面（４８）を有し、これによって部分的な真空の作用で対応する
   シール（１２）の圧縮が行なわれることを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 【請求項３】 真空をドア（２または３）の一つに形成されたダクト（３０
   ，３４，３５）のネットワークに送るダクト系（３８）は、多方向電動バルブ（
   ８０）の介在物を具えた圧縮空気源（８１または７７）にも接続され、該バルブ
   は、真空源および真空ゲージ（４４）を具えた枝管（４５）からダクト系（３８
   ）を隔離可能であると同時に、圧縮空気の流れを２つのドア（２，３）の間の空
   間Ｃに送り込み、これらのドアが離れるのを促進するように、このダクト系（３
   ８）を、圧縮空気源と連通させ得ることを特徴とする請求項１に記載の装置。