JP2002515393A - 超微粒粉末の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1〜200nmの範囲内の粒度を有する個々の粒子より成る超微粒粉末の製造に
関する。
を含めて広範囲の用途に大きな可能性がある。高品質、即ちきれいな表面と均一
な粒度分布を持つ超微粒金属粉末は、蒸着およびスパッタリングのような物理的
な方法で製造されてきた。しかし、このような粉末の工業用途は、収率が低いこ
とやコストが高いことにより制限されている。熱分解および沈殿のような、物理
的な方法に代わる化学的製造法が、広範囲の粉末を製造するために現在研究され
ている。化学的方法で大量の工業用セラミック粉末の提供が可能である。しかし
、貴金属を除けば、化学的方法は、一般に、金属粉末の製造には適用されない。
的活性化が利用されてきた。機械的活性化により粉末を製造する一つの方法は、
米国特許第3,591,362号明細書に記載される機械的合金化法であって、
この方法で純粋な出発材料の粉末混合物を高エネルギーボールミル中で微粉砕す
ることによってその出発材料から合金が形成される。微粉砕中に、その構成成分
粒子は粉砕用ボールとの衝突を繰り返し被って、ナノ結晶性または非晶質合金の
形成に至らしめる微細構造の精練および組成変化をもたらすその粒子の変形、融
合および破壊を引き起こす。
28,501号明細書に記載されるとおり、メカノケミカル還元法に関する。こ
の方法は、還元可能な金属化合物の還元剤による高エネルギーボールミル中での
微粉砕中の機械的に活性化された化学的還元を伴うもので、金属、合金および複
合粉末が精練され、製造される。微粉砕中に、ボール/反応体の衝突事象により
その反応体に付与されるエネルギーは、反応体粒子の融合と破壊を繰り返し引き
起こす。その結果として、酸化/還元反応が融合界面で起こって、反応の速度論
的挙動が、固有の反応速度を大きくするのに高温また溶融を必要とすることなし
に向上せしめられる。
U96/00539号明細書に記載されている。この方法は、金属化合物と適切
な試薬との間の、機械的微粉砕中または微粉砕粉末の後続熱処理中のいずれかに
おいて起こる、機械的に活性化された化学反応を伴う。機械的活性化中に、副生
成物相のマトリックス内においてナノ相材料のナノサイズ微粒子より成る複合構
造物が形成される。副生成物相を除去すると、所望とされる材料のナノ粒子が得
られる。
れた化学反応が生起することを必要とする。主要構成成分間での化学反応の生起
を伴わない機械的微粉砕法で、50nm未満の粒度を有する粒子を有意の割合で
含んでいる粉末がもたらされることは従来知られていなかった。例えば、磨砕微
粉砕法のような超微粒粉砕法は、平均粒度が約500nmまでの粉末を製造する
際に有効であることは知られている。しかし、もっと小さい粒度の達成には、一
般に、長時間の微粉砕処理と有意のエネルギーの投入が必要とされ、従ってその
達成は経済的な考慮点によって制限される。生成物の汚染も問題となることがあ
る。加えて、いわゆる「限界粒度」の存在が、使用されるボールミルのタイプに
係わらず、粉砕で達成され得る実際上最低の粒度を100nmより大きい値に制
限していると言うことは、広く受け入れられている。
微粒粉末の新規な製造方法に関する。本発明の方法は、多相系の機械的微粉砕が
超微粒粉末を製造する改良された低コストの方法を提供するために使用すること
ができると言う発見に基づく。
徴または工程にはっきりとは定義または包含されていない他の特徴および/また
は工程が本発明に含まれ得ると言う意味で、包括的に使用される。このような他
の特徴および/または工程が含み得るものは、本明細書を全体として読むことに
より明らかになるであろう。
程を通じてその混合物の微細構造を希釈剤相中に均一に分散されている金属化合
物のナノサイズ微粒子形態まで小さくする機械的微粉砕処理に付し;
化物相に転化し;そして
るように除去する
を用意し;
その混合物の微細構造を、上記希釈剤相中に均一に分散されている所望金属化合
物相のナノサイズ微粒子形態まで小さくする機械的微粉砕処理に付し;そして
されるように除去する
」は、個々の、分散した、粉末形態のナノサイズ粒子を意味し、1〜200nm
の粒度範囲内、さらに典型的には10〜100nmの粒度範囲内の粉末粒子を包
含する。
械的ミル、例えばボールミルの内部で行われる。ボールミル中において、機械的
活性化は、粉砕媒体、典型的には鋼製またはセラミック製のボールが供給材料と
、機械的エネルギーの適用により、ボール−供給材料−ボールの衝突中およびボ
ール−供給材料−ライナーの衝突中にその供給材料に付与されるエネルギーが機
械的活性化を引き起こすのに十分となるような連続相対運動状態に保持されると
きに起こる。
機械的活性化に対して言及がなされている。このタイプのミルの例は、磨砕ミル
、旋回ミル、タワーミル、遊星ミル、振動ミルおよび重力依存型ボールミルであ
る。
達成し得ることは認められるだろう。例えば、機械的活性化は、ジェットミル、
ロッドミル、ローラーミルまたはクラッシャーミルを用いても達成することがで
きる。
せる。部分的に重なり合っている粒子の冷間融合(cold welding)が前の破壊に
よって形成された表面間に生ずる。変形、破壊および融合の競争過程が微粉砕中
に継続し、そして微細構造物の精練をもたらす。機械的活性化中に起こる微細構
造の変化は構成成分粉末の機械的性質に依存するが、十分な微粉砕が行われてい
れば、一般に、ナノスケールの微細構造が生じせしめられる。硬度が比較的小さ
い粉末の混合物の機械的活性化が、微粉砕の初期段階に複合層状構造の発現を引
き起こす。ボール/粉末衝突の各事象は、粉末粒子をミクロ鍛造し、扁平化して
、十分に高い歪みに達すると破壊する層を形成させると考えることができる。融
合、合体特性はそれぞれの粉末の相対的硬度に依存するだろう。さらに微粉砕処
理をすることにより、粉末粒子の微細構造物が精練されて、二つの出発相の粒度
が1〜20nmとなった微粒子の混合物より成るナノ複合構造物となる。機械的
微粉砕は、また、それぞれの粉末相の無秩序化および非晶質化を引き起こす可能
性がある。構成成分粉末の延性は、ナノスケール混合物を形成するための必要条
件とは必ずしもならない。
分解し、H2O、CO2およびSO3のようなガスを発生させる。この熱分解工程中は、
金属化合物相と希釈剤相との間に反応は起きない。最小の粒度を達成するために
は、熱分解温度は金属酸化物相の微粒子成長の発生を妨げるべく十分に低くなっ
ていることが好ましい。
相とは反応しない適切な溶媒にナノ複合構造物を付すことを含むことができる。
オキシ塩化物、または空気中で加熱すると分解して金属の酸化物を形成する他の
化合物であり、そして希釈剤は、その金属化合物とは反応せず、そして溶媒に容
易に溶解する塩である。
ルコニウム・ZrOCl2、炭酸セリウム・Ce2(CO3)3、塩基性炭酸亜鉛・ZnCO3・2Zn(O
H)2、塩化スズ・SnCl2、硫酸アルミニウム・Al2(SO4)3、硫酸チタニル・TiOSO4
、水酸化アルミニウム・Al(OH)3、炭酸バリウム・BaCO3および二酸化チタン・Ti
O2より成る群から選ばれる。
、その結果、微粉砕中に、希釈剤相中に埋入されている金属化合物相の分離した
微粒子より成るナノ複合微細構造物が生じせしめられる。金属化合物相のモース
硬度は1〜5の範囲内に入るのが好ましい。金属化合物相の硬度が高すぎると、
セラミック酸化物粒子に一般に見られるように、ボール/粉末の衝突事象中に発
生する力が金属化合物相の変形、破壊を引き起こすには不十分なことがあり、従
って微粉砕中に微細構造物の精練は起こらない可能性がある。金属化合物相の融
合、統合と複合ナノ構造物の形成を最適なものにするためには、微粉砕される二
つの相が同様の機械的性質を有しているべきである。
摩耗性であることが望ましい。
化されるべきである。
起こらずに、最小の粒度を達成する十分に低い温度で生ずるべきである。
るものであるべきである。
成される金属化合物は、一般に、代わりになる別の出発材料と比較してそれより
低コストのものであり、従ってそれは低コストプロセスの基礎となる。このよう
な金属化合物に、高純度アルミナの製造には硫酸アルミニウム・Al2(SO4)3また
は水酸化アルミニウム・Al(OH)3、セリウム酸化物の製造には炭酸セリウム・Ce2 (CO3)3または水酸化セリウムCe(OH)4、およびジルコニアの製造にはオキシ塩化
ジルコニウム・(ZrOCl2)がある。他の可能性のある金属化合物に、塩基性炭酸亜
鉛・ZnCO3・2Zn(OH)2、塩化スズ・SnCl2、硫酸チタニル・TiOSO4、炭酸バリウム
・BaCO3および二酸化チタン・TiO2がある。ある種の金属化合物に関しては、微
粉砕処理前に化学的結合水を全て除去することが望ましいことがある。
小さいものであるべきである。
物とは反応すべきでない。
一般的な溶媒中で高溶解度を示すべきである。
微粉砕処理中に、希釈剤相中に埋入されている完全に分離した微粒子として生ず
るように、金属化合物相に対して十分な量で加えられるべきである。希釈剤相の
容積率は、一般的には、完全に分離したナノサイズ微粒子を保証するために80
%を越えるべきである。適した希釈剤相は、NaCl、CaCl2、MgCl2、Na2SO4、
Na2CO3、Ca(OH)2、CaOおよびMgOより成る群から選ぶことができる。
きナノ微粒子を形成するのに必要な微粉砕特性を有する酸化物相であることがで
きる。
合物と金属酸化物との混合物を希釈剤相と共に微粉砕して、希釈剤相中に埋入さ
れている金属化合物相の分離したナノ粒子より成るナノ複合構造物を形成するよ
うにすることができる。熱処理中にそれら金属化合物相は互いに反応して不活性
希釈剤相内で所望とされる相のナノ粒子を形成することができる。
意味でも、添付図面と関連して読みとられるべき本発明を限定すると解されるべ
きではない。
99.5%、≦500μm)であった。28.4重量%のCe(OH)4を含み、Ce(OH
)4+9NaClに相当する、Ce(OH)4粉末とNaCl粉末との出発混合物を、空
気雰囲気中で、直径12.7mmの鋼製粉砕用ボールを含んでいる焼入鋼バイア
ルに装填し、密閉した。ボール対粉末の仕込み質量比は40:1であった。微粉
砕はSPEX 8000ミキサー/ミル中で1〜10時間の範囲内の時間行われた。微粉
砕後に、その粉末を空気中で500℃において1時間焼成した。NaClの除去
は、粉末を超音波浴と遠心分離器を用いて蒸留水により洗浄することによって行
われた。洗浄された粉末を空気中での60℃における蒸発によって乾燥した。得
られたCeO2の、x−線回折、透過電子顕微鏡法(TEM)およびBET表面積で
測定された粒度は10〜30nmの範囲にあった。図1は、6時間微粉砕された
試料中の典型的なナノ粒子を示すものである。
Xミルに代えて1リットルの磨砕ミルが用いられた。28.4重量%のCe(OH)4と
NaClを含み、Ce(OH)4+9NaClに相当する出発混合物を、アルゴン雰囲
気中で、直径2.5mmのジルコニア製粉砕用ボールを含んでいる上記磨砕ミル
に装填し、密閉した。ボール対粉末の仕込み質量比は20:1であった。微粉砕
は0.5時間行われた。微粉砕後に、その粉末を空気中で500℃において1時
間焼成した。NaClの除去はその粉末を超音波浴と遠心分離器を用いて蒸留水
により洗浄することによって行われ、その洗浄粉末は空気中での60℃における
蒸発によって乾燥された。
化が、NaCl希釈剤の溶融温度の所で起きている。図2に示されるように、適
切な焼成温度を選択することによって、20nm以下から400nm以上までの
広範囲の粒度が得られた。
。容積比が1:10で、総質量が5gであるSnCl2粉末とNaCl粉末との出発
混合物を、直径6.4mmの鋼製粉砕用媒体50gを含んでいるSPEX 8000ミキ
サー/ミルにアルゴン雰囲気中で装填した。ボール対粉末の質量比は10:1で
あった。微粉砕を3時間行った。微粉砕後に、その粉末を空気雰囲気中で800
℃において30分間焼なましてSnCl2を酸化した。NaCl希釈剤の除去は、焼
なまされた粉末を蒸留水で洗浄することによって行われた。洗浄された粉末をオ
ーブン中で60℃において乾燥した。SnO2の、分離した等軸ナノ粒子が得られた
。これらの粒子は粒度が20〜200nmで、多数の表面切子面を有していた。
図3は、熱処理後に形成されたSnO2粒子の透過電子顕微鏡写真(TEM)を示す
ものである。
%、≦500μm)であった。Al(OH)3を9重量%含み、Al(OH)310容積%に相
当するAl(OH)3粉末とNaCl粉末との出発混合物を、窒素雰囲気中で、直径6
mmのステンレス鋼製粉砕用ボールを25kg含んでいる7リットルの磨砕ミル
に装填し、密閉した。ボール対粉末の仕込み質量比は22:1であった。微粉砕
時間は2時間であった。微粉砕後に、その粉末を空気中で850℃において1時
間焼成した。NaCl希釈剤の除去は、その粉末を超音波浴と遠心分離器を用い
て脱イオン水により洗浄することによって行われた。洗浄された粉末を空気中で
の60℃における蒸発によって乾燥した。x−回折の測定値は、熱処理中に、Al
(OH)3の脱水によってガンマーアルミナが形成されることを示した。得られたAl2 O3のBET表面積の測定値から求められた粒度は11nmであった。
)であった。受け取ったままのZrOCl2・nH2O を真空中で乾燥してその結合H2Oを
除去した。10グラムのZrOCl2粉末と115グラムのNaCl粉末との、10容
積%のZrOCl2に相当する出発混合物を、アルゴン雰囲気中で、直径2.5mmの
ジルコニア製粉砕用ボールを2.5kg含んでいる1リットルの磨砕ミルに装填
し、密閉した。微粉砕は1時間行われた。微粉砕後に、その粉末を空気中で50
0℃において1時間焼成してZrOCl2をZrO2に分解した。NaClの除去は、その
粉末を超音波浴と遠心分離器を用いて脱イオン水により洗浄することによって行
われた。洗浄された粉末を空気中での60℃における蒸発によって乾燥した。x
−線回折の測定値は、焼成中に正方晶系または立方晶系の微粒子が形成されるこ
とを示した。得られたZrO2の、x−線回折、透過電子顕微鏡法およびBET表面
積の測定値から求められた粒度は10nmであった。
0容積%のZnOに相当する14.4重量%のZnCO3・2Zn(OH)2を含み、この混合物
を、空気雰囲気中で、直径4.8mmの鋼製粉砕用ボールを含んでいる焼入鋼バ
イアルに装填し、密閉した。ボール対粉末の仕込み質量比は10:1であった。
微粉砕はSPEX 8000ミキサー/ミル中で3時間行われた。微粉砕後に、その粉末
を空気中で300℃において1時間焼成した。NaClの除去は、その粉末を超
音波浴と遠心分離器を用いて脱イオン水により洗浄することによって行われた。
洗浄された粉末を空気中での60℃における蒸発によって乾燥した。透過電子顕
微鏡法検査は、その粉末は粒度5〜20nmの分離した粒子より成っていること
を示した。BET表面積の測定値は33nmの有効粒度に相当する35.6m2
/グラムであった。X−線回析の測定から求めた平均微結晶粒度は13nmであ
った。
0μm)であった。1.5グラムのBaCO3粉末、0.6グラムのTiO2粉末および
5.9グラムのNaCl粉末より成る出発混合物を、空気雰囲気中で、直径9.
6mmの焼入鋼製粉砕用ボールを含んでいるSPEXミルに装填し、密閉した。ボー
ル対粉末の仕込み質量比は10であった。微粉砕は2時間行われた。微粉砕後に
、その粉末をアルゴン雰囲気下で700℃において30分間焼成した。NaCl
の除去は、その粉末を超音波浴と遠心分離器を用いて蒸留水により洗浄すること
によって行われた。洗浄された粉末を空気中での60℃における蒸発によって乾
燥した。透過電子顕微鏡法検査は、BaTiO3粉末は粒度60nmの分離した粒子よ
り成っていることを示した(図5)。
%)であった。TiOSO4・xH2SO4・yH2O粉末とNaCl粉末との総質量5gの出発混
合物を、アルゴン雰囲気下で、直径4.8mmの焼入鋼媒体を50g含んでいる
SPEXミキサー/ミルに装填した。NaClおよびTiOSO4・xH2SO4・yH2Oは、使用に
先立って、それぞれ、150℃で18時間および350℃で1時間空気雰囲気中
で乾燥された。ボール対粉末の質量比は10:1であった。微粉砕は3時間行わ
れた。微粉砕後に、その粉末を空気雰囲気中で700℃において30分間焼なま
してTiO2を形成した。NaCl希釈剤の除去は、焼なまされた粉末を蒸留水で洗
浄することによって行われた。洗浄された粉末をオーブン中で60℃において乾
燥した。
てアナターゼタイプのTiO2が形成されることを示した。1:1.5のTiOSO4・xH2 SO4・yH2OとNaClとの重量比を持つ出発混合物は、30〜150nmの粒度を
持つTiO2の分離した等軸ナノ粒子をもたらした。BET表面積は14.4m2/
gであった。
、10〜80nmの粒度を持つTiO2の分離した等軸ナノ粒子がもたらされた(図
4)。BET表面積は61nmの平均粒度に相当する25.2m2/gであった
。図4は、焼なまし後に形成されたTiO2の透過電子顕微鏡写真を示すものである
。
微粉砕に先立って、NaClを120℃で24時間乾燥し、そしてCe(OH)4を5
50℃で0.5時間焼成してCeO2を形成した。CeO2粉末とNaCl粉末との、容
積比が1:10で、総質量が2.4gである出発混合物を、直径12.7mmの
鋼製粉砕用媒体を96g含んでいるSPEXミキサー/ミルに装填した。ボール対粉
末の質量比は40:1であった。微粉砕は6時間行われた。NaCl希釈剤の除
去は、その焼なまされた粉末を蒸留水で洗浄することによって行われた。洗浄さ
れた粉末をオーブン中で60℃において乾燥した。CeO2の分離した等軸ナノ粒子
が得られた。これらの粒子は粒度が3〜20nmであり、またBET分析で測定
された表面積は、粒度15.6nmに相当する53.9m2/gであった。
を含めて、従来の加工処理法を越える多数の利点がある:
に関連した複雑な制御システムを必要としない。
することによって、超微粒粉末中の粒子の粒度および粒度分布に関して制御を有
意な程度に可能にする。
して使用されるか、または常用の分離、精製プロセス中の中間段階で形成される
金属化合物が適している。
模での合成のために容易に修正することができる。
び修正をなし得ることは、材料および化学工学の技術分野の当業者には明白であ
ろう。例えば、ある種の用途では、前駆体金属化合物は予備処理しておくことが
可能であって、本発明の方法には所望とされる金属酸化物相の形態で供給される
。このような修正および増強策は全て本発明の範囲に入ると見なされ、その本質
は前記の説明と前記特許請求の範囲から決定されるべきものである。さらに、前
記実施例は例示説明の目的だけから与えられており、本発明の方法の範囲を限定
しようとするものではない。
M顕微鏡写真である。
る。
粒子のTEM顕微鏡写真である。
粒子のTEM顕微鏡写真である。
ノ粒子のTEM顕微鏡写真である。
Claims (18)
- 【請求項1】 超微粒粉末の製造方法であって、次の: 適切な前駆体金属化合物と非反応性希釈剤相との混合物を、機械的活性化の過
程を通じて該混合物の微細構造を該希釈剤相中に均一に分散されている該金属化
合物のナノサイズ微粒子形態まで小さくする機械的微粉砕処理に付し; 該微粉砕粉末を熱処理して該金属化合物のナノサイズ微粒子を所望とされる金
属酸化物相に転化し;そして 該希釈剤相を該金属酸化物相のナノサイズ微粒子が超微粒粉末の形態で後に残
されるように除去する 工程を含んで成る上記の方法。 - 【請求項2】 超微粒粉末の製造方法であって、次の: 所望とされる金属酸化物相に転化すべく熱処理された適切な前駆体金属化合物
を用意し; 該所望金属酸化物相と非反応性希釈剤相との混合物を、機械的活性化の過程を
通じて該混合物の微細構造を、該希釈剤相中に均一に分散されている該所望金属
化合物相のナノサイズ微粒子形態まで小さくする機械的微粉砕処理に付し;そし
て 該希釈剤相を該所望金属酸化物相のナノサイズ微粒子が超微粒粉末の形態で後
に残されるように除去する 工程を含んで成る上記の方法。 - 【請求項3】 超微粒粉末が1〜200nmの粒度範囲の粉末粒子を含んで
いる、請求項1または2に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項4】 超微粒粉末が1〜50nmの粒度範囲の粉末粒子を含んでい
る、請求項3に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項5】 熱処理工程を、金属酸化物相の微粒子成長の発生を最小限に
抑え、それによって粒度を制御するために、十分に低い温度で行う、請求項3に
記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項6】 熱処理工程を、粒度を制御するために、300〜850℃の
範囲内の温度で焼成することによって行う、請求項5に記載の超微粒粉末の製造
方法。 - 【請求項7】 前駆体金属化合物が、機械的微粉砕中に該金属化合物の粒子
の変形と破壊が確実に起こって希釈剤相中に埋入されている該金属化合物の分離
したナノサイズ微粒子より成るナノ複合構造物が形成されるように、十分に低い
硬度のものであるように選ばれる、請求項3に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項8】 前駆体金属化合物が、モース硬度スケールで1〜5の範囲内
の硬度を有するように選ばれる、請求項7に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項9】 金属化合物が、水酸化物、炭酸塩、硫酸塩、オキシ塩化物、
または空気中で加熱すると分解して金属の酸化物を形成する他の化合物であり、
そして希釈剤が、該金属化合物とは反応せず、加熱中に容易には気化せず、そし
て溶媒に容易に溶解する塩である、請求項8に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項10】 前駆体金属化合物が、水酸化セリウム・Ce(OH)4、オキシ
塩化ジルコニウム・ZrOCl2、炭酸セリウム・Ce2(CO3)3、炭酸亜鉛・ZnCO3・2Zn(O
H)2、水酸化アルミニウム・Al(OH)3、炭酸バリウム・BaCO3、二酸化チタン・TiO 2 、塩基性炭酸亜鉛・ZnCO3・2Zn(OH)2、塩化スズ・SnCl2、硫酸アルミニウム・Al 2 (SO4)3および硫酸チタニル・TiOSO4より成る群から選ばれる、請求項9に記載
の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項11】 希釈剤相を、その容積率が十分に大きく、微粉砕処理中に
金属化合物のナノサイズ微粒子が、希釈剤相中に埋入されている完全に分離した
粒子として生ずるように、金属化合物相に対して十分な量で加える、請求項3に
記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項12】 希釈剤相の容積率が完全に分離したナノサイズ微粒子を保
証すべく80%を越えている、請求項11に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項13】 希釈剤相がNaCl、CaCl2、MgCl2、Na2SO4、Na2CO3、Ca
(OH)2、CaOおよびMgOより成る群から選ばれる、請求項12に記載の超微粒粉末
の製造方法。 - 【請求項14】 希釈剤相を除去する工程が、ナノ複合構造物を、該希釈剤
相を選択的に除去するが、金属酸化物相とは反応しない適切な溶媒に付すことを
含む、請求項7に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項15】 希釈剤相がNaClであり、そして適切な溶媒が蒸留水である
、請求項14に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項16】 前駆体金属化合物が、希釈剤相と共に微粉砕処理している
間に所望金属酸化物相のナノサイズ微粒子を形成するのに適した機械的性質を有
する金属酸化物相である、請求項3に記載の超微粒粉末の製造方法。 - 【請求項17】 前駆体金属化合物が、希釈剤相と共に微粉砕されると該希
釈剤相中に埋入された金属化合物相の分離したナノ粒子より成るナノ複合構造物
を形成する複数の金属化合物の内の1種である、請求項3に記載の超微粒粉末の
製造方法。 - 【請求項18】 前記請求項のいずれか1項に記載の超微粒粉末の製造方法
に従って製造された超微粒粉末。
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