JP2002373926A - 物品搬送車 - Google Patents
物品搬送車Info
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- JP2002373926A JP2002373926A JP2001180947A JP2001180947A JP2002373926A JP 2002373926 A JP2002373926 A JP 2002373926A JP 2001180947 A JP2001180947 A JP 2001180947A JP 2001180947 A JP2001180947 A JP 2001180947A JP 2002373926 A JP2002373926 A JP 2002373926A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 移載速度を増大して水平方向に大きな力が物
品に働いた場合でも、把持機構７からの物品の脱落を充
分に防止する。 【解決手段】 移載装置６は、ウエーハカセット５を上
昇動作で持ち上げることにより把持状態となり、下降動
作で載置すると共に把持状態を解除する把持機構７と、
把持機構７に対して上昇動作および下降動作を実行させ
るように、把持機構７を昇降させる昇降機構８と、把持
機構７を荷台２と半導体処理装置４との間で水平移動さ
せる水平移動機構９と、把持機構７の上方に先端部が位
置するように水平移動機構９に設けられ、水平移動機構
９により把持機構７と共に水平移動される当接機構１０
とを有している。
品に働いた場合でも、把持機構７からの物品の脱落を充
分に防止する。 【解決手段】 移載装置６は、ウエーハカセット５を上
昇動作で持ち上げることにより把持状態となり、下降動
作で載置すると共に把持状態を解除する把持機構７と、
把持機構７に対して上昇動作および下降動作を実行させ
るように、把持機構７を昇降させる昇降機構８と、把持
機構７を荷台２と半導体処理装置４との間で水平移動さ
せる水平移動機構９と、把持機構７の上方に先端部が位
置するように水平移動機構９に設けられ、水平移動機構
９により把持機構７と共に水平移動される当接機構１０
とを有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主にクリーンルー
ム内におけるウエーハカセットの搬送等に対して好適に
使用される物品搬送車に関するものである。
ム内におけるウエーハカセットの搬送等に対して好適に
使用される物品搬送車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体の製造を行うクリーンルー
ム等で使用される物品搬送車は、半導体処理装置等の外
部装置に対して横付け可能に走行する走行台車と、横付
けされた外部装置と搬送台車の載置台との間でウエーハ
カセット等の物品を移載する移載装置とを備えている。
移載装置は、水平方向に旋回可能に設けられたアーム
と、アームの先端部に設けられた把持機構とを備えてお
り、載置された物品に対して把持機構を上昇させて物品
を持ち上げることにより把持状態とした後、この把持状
態の把持機構をアームにより水平移動させることによっ
て、外部装置と搬送台車の載置台との間における物品の
移載を行うようになっている。
ム等で使用される物品搬送車は、半導体処理装置等の外
部装置に対して横付け可能に走行する走行台車と、横付
けされた外部装置と搬送台車の載置台との間でウエーハ
カセット等の物品を移載する移載装置とを備えている。
移載装置は、水平方向に旋回可能に設けられたアーム
と、アームの先端部に設けられた把持機構とを備えてお
り、載置された物品に対して把持機構を上昇させて物品
を持ち上げることにより把持状態とした後、この把持状
態の把持機構をアームにより水平移動させることによっ
て、外部装置と搬送台車の載置台との間における物品の
移載を行うようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、把持機構で物品を持ち上げて把持状態とす
る構成では、把持機構の水平移動時に、物品に対して水
平方向の遠心力や慣性力が働くため、物品が把持機構か
ら脱落し易いという問題がある。特に、この問題は、物
品の移載に要する時間を短縮することを目的として移載
速度を増大させる場合に顕著となる。尚、例えば把持機
構で物品を持ち上げて把持したときに、把持機構の突起
部を物品に係合させて水平方向の力に対して対抗する力
を発生させる対策が採られる場合があるが、この場合に
おいても、水平方向の大きな力で物品が傾斜すると、突
起部が物品から抜け出て係合状態が解除されるため、移
載速度を増大させた場合における脱落の防止策としては
不十分である。
来のように、把持機構で物品を持ち上げて把持状態とす
る構成では、把持機構の水平移動時に、物品に対して水
平方向の遠心力や慣性力が働くため、物品が把持機構か
ら脱落し易いという問題がある。特に、この問題は、物
品の移載に要する時間を短縮することを目的として移載
速度を増大させる場合に顕著となる。尚、例えば把持機
構で物品を持ち上げて把持したときに、把持機構の突起
部を物品に係合させて水平方向の力に対して対抗する力
を発生させる対策が採られる場合があるが、この場合に
おいても、水平方向の大きな力で物品が傾斜すると、突
起部が物品から抜け出て係合状態が解除されるため、移
載速度を増大させた場合における脱落の防止策としては
不十分である。
【０００４】従って、本発明は、移載速度を増大して水
平方向に大きな力が物品に働いた場合でも、把持機構か
らの物品の脱落を充分に防止することができる物品搬送
車を提供するものである。
平方向に大きな力が物品に働いた場合でも、把持機構か
らの物品の脱落を充分に防止することができる物品搬送
車を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、物品を荷台に載置しながら搬送
する走行台車と、該走行台車が横付けされた外部装置お
よび荷台間で物品を移載する移載装置とを有した物品搬
送車であって、前記移載装置は、前記物品を上昇動作で
持ち上げることにより把持状態となり、下降動作で載置
すると共に把持状態を解除する把持機構と、前記把持機
構に対して前記上昇動作および下降動作を実行させるよ
うに、前記把持機構を昇降させる昇降機構と、前記把持
機構を前記荷台と外部装置との間で水平移動させる水平
移動機構と、前記把持機構の上方に先端部が位置するよ
うに前記水平移動機構に設けられ、該水平移動機構によ
り前記把持機構と共に水平移動される当接機構とを有す
ることを特徴としている。
に、請求項１の発明は、物品を荷台に載置しながら搬送
する走行台車と、該走行台車が横付けされた外部装置お
よび荷台間で物品を移載する移載装置とを有した物品搬
送車であって、前記移載装置は、前記物品を上昇動作で
持ち上げることにより把持状態となり、下降動作で載置
すると共に把持状態を解除する把持機構と、前記把持機
構に対して前記上昇動作および下降動作を実行させるよ
うに、前記把持機構を昇降させる昇降機構と、前記把持
機構を前記荷台と外部装置との間で水平移動させる水平
移動機構と、前記把持機構の上方に先端部が位置するよ
うに前記水平移動機構に設けられ、該水平移動機構によ
り前記把持機構と共に水平移動される当接機構とを有す
ることを特徴としている。
【０００６】上記の構成によれば、当接機構が水平移動
機構により把持機構と共に水平移動されるため、当接機
構の先端部が把持機構の上方に配置された状態は、把持
機構が物品を把持して搬送台車の載置台と外部装置との
間を移動する場合においても維持される。これにより、
把持機構が上昇動作により物品を持ち上げ、物品の上面
を当接機構の先端部に当接させれば、把持機構と当接機
構とで物品を水平方向と垂直方向とに挟み込んだ強固な
把持状態を物品の移載の全期間に亘って維持することが
できる。この結果、物品を水平方向に高速で移動させる
ことにより大きな遠心力や慣性力等が物品に働いた場合
でも、物品を把持機構から脱落しないようにすることが
できるため、外部装置に対して物品を確実かつ短時間で
搬入出することができる。
機構により把持機構と共に水平移動されるため、当接機
構の先端部が把持機構の上方に配置された状態は、把持
機構が物品を把持して搬送台車の載置台と外部装置との
間を移動する場合においても維持される。これにより、
把持機構が上昇動作により物品を持ち上げ、物品の上面
を当接機構の先端部に当接させれば、把持機構と当接機
構とで物品を水平方向と垂直方向とに挟み込んだ強固な
把持状態を物品の移載の全期間に亘って維持することが
できる。この結果、物品を水平方向に高速で移動させる
ことにより大きな遠心力や慣性力等が物品に働いた場合
でも、物品を把持機構から脱落しないようにすることが
できるため、外部装置に対して物品を確実かつ短時間で
搬入出することができる。
【０００７】請求項２の発明は、請求項１に記載の物品
搬送車であって、前記水平移動機構は、前記走行台車上
に回動可能に立設された主軸と、該主軸に基端部が連結
され、水平面内で旋回可能にされたアームと、該アーム
の先端部に回動可能に立設された手首軸とを有してお
り、前記昇降機構および前記当接機構は、前記手首軸に
連結されていることを特徴としている。
搬送車であって、前記水平移動機構は、前記走行台車上
に回動可能に立設された主軸と、該主軸に基端部が連結
され、水平面内で旋回可能にされたアームと、該アーム
の先端部に回動可能に立設された手首軸とを有してお
り、前記昇降機構および前記当接機構は、前記手首軸に
連結されていることを特徴としている。
【０００８】上記の構成によれば、手首軸を回動させれ
ば、昇降機構と当接機構との位置関係および昇降機構で
昇降される把持機構と当接機構との位置関係を維持しな
がら、両機構を同一方向に旋回させることができる。従
って、簡単な部品構成で強固な把持状態を実現すること
ができる。
ば、昇降機構と当接機構との位置関係および昇降機構で
昇降される把持機構と当接機構との位置関係を維持しな
がら、両機構を同一方向に旋回させることができる。従
って、簡単な部品構成で強固な把持状態を実現すること
ができる。
【０００９】請求項３の発明は、請求項１または２に記
載の物品搬送車であって、前記当接機構は、先端部に対
して物品が当接するときの衝撃を緩和するように形成さ
れていることを特徴としている。
載の物品搬送車であって、前記当接機構は、先端部に対
して物品が当接するときの衝撃を緩和するように形成さ
れていることを特徴としている。
【００１０】上記の構成によれば、物品が当接機構の先
端部に当接するときの衝撃で破損することを防止するこ
とができる。
端部に当接するときの衝撃で破損することを防止するこ
とができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】（実施形態１）本発明の第１の実
施の形態を図１ないし図８に基づいて以下に説明する。
本実施の形態に係る物品搬送車１は、図１に示すよう
に、主として半導体製造設備のクリーンルーム内に配備
されるものであり、複数のウエーハを積層状態に収納す
るウエーハカセット５（物品）を荷台２に載置しながら
搬送する走行台車３と、走行台車３が横付けされた半導
体処理装置４（外部装置）および荷台２間でウエーハカ
セット５を移載する移載装置６とを有している。
施の形態を図１ないし図８に基づいて以下に説明する。
本実施の形態に係る物品搬送車１は、図１に示すよう
に、主として半導体製造設備のクリーンルーム内に配備
されるものであり、複数のウエーハを積層状態に収納す
るウエーハカセット５（物品）を荷台２に載置しながら
搬送する走行台車３と、走行台車３が横付けされた半導
体処理装置４（外部装置）および荷台２間でウエーハカ
セット５を移載する移載装置６とを有している。
【００１２】上記の移載装置６は、図６（ａ）・（ｂ）
および図７（ａ）・（ｂ）に示すように、例えば水平多
関節形のロボットからなっており、ウエーハカセット５
を上昇動作で持ち上げることにより把持状態となり、下
降動作で載置すると共に把持状態を解除する把持機構７
と、把持機構７に対して上昇動作および下降動作を実行
させるように、把持機構７を昇降させる昇降機構８と、
把持機構７を荷台２と半導体処理装置４との間で水平移
動させる水平移動機構９と、把持機構７の上方に先端部
が位置するように水平移動機構９に設けられ、この水平
移動機構９により把持機構７と共に水平移動される当接
機構１０とを有している。
および図７（ａ）・（ｂ）に示すように、例えば水平多
関節形のロボットからなっており、ウエーハカセット５
を上昇動作で持ち上げることにより把持状態となり、下
降動作で載置すると共に把持状態を解除する把持機構７
と、把持機構７に対して上昇動作および下降動作を実行
させるように、把持機構７を昇降させる昇降機構８と、
把持機構７を荷台２と半導体処理装置４との間で水平移
動させる水平移動機構９と、把持機構７の上方に先端部
が位置するように水平移動機構９に設けられ、この水平
移動機構９により把持機構７と共に水平移動される当接
機構１０とを有している。
【００１３】具体的に説明すると、移載装置６は、走行
台車３の上面に立設された主軸１３を備えている。主軸
１３は、正方向および逆方向に回動方向を切替え可能に
されていると共に、任意の回動角度に回動可能にされて
いる。主軸１３の上部には、水平移動機構９であるアー
ム１４が設けられている。アーム１４は、基端部が主軸
１３に連結された第１アーム部材１４ａと、第１アーム
部材１４ａの自由端側に回動可能に連結された第２アー
ム部材１４ｂとを備えている。
台車３の上面に立設された主軸１３を備えている。主軸
１３は、正方向および逆方向に回動方向を切替え可能に
されていると共に、任意の回動角度に回動可能にされて
いる。主軸１３の上部には、水平移動機構９であるアー
ム１４が設けられている。アーム１４は、基端部が主軸
１３に連結された第１アーム部材１４ａと、第１アーム
部材１４ａの自由端側に回動可能に連結された第２アー
ム部材１４ｂとを備えている。
【００１４】上記の第２アーム部材１４ｂの自由端側
（先端部）には、手首軸１５が立設されている。手首軸
１５は、正方向および逆方向に回動方向を切替え可能に
されていると共に、任意の回動角度に回動可能にされて
いる。手首軸１５の側面には、昇降機構８が設けられて
いる。昇降機構８は、４リンク列のリンク機構からなっ
ており、固定リンク８ａが把持機構７の側面に沿って鉛
直方向に設けられている。固定リンク８ａには、連接リ
ンク８ｂが対向配置されている。そして、連接リンク８
ｂは、最下端位置（半導体処理装置４に対するセット位
置）に移動されたときに、鉛直方向に一致した鉛直姿勢
となり、この最下端位置から上昇するのに従って下端部
を徐々に前方に突き出して傾斜姿勢となる。
（先端部）には、手首軸１５が立設されている。手首軸
１５は、正方向および逆方向に回動方向を切替え可能に
されていると共に、任意の回動角度に回動可能にされて
いる。手首軸１５の側面には、昇降機構８が設けられて
いる。昇降機構８は、４リンク列のリンク機構からなっ
ており、固定リンク８ａが把持機構７の側面に沿って鉛
直方向に設けられている。固定リンク８ａには、連接リ
ンク８ｂが対向配置されている。そして、連接リンク８
ｂは、最下端位置（半導体処理装置４に対するセット位
置）に移動されたときに、鉛直方向に一致した鉛直姿勢
となり、この最下端位置から上昇するのに従って下端部
を徐々に前方に突き出して傾斜姿勢となる。
【００１５】上記の連接リンク８ｂの下端部には、把持
機構７が設けられている。把持機構７は、連接リンク８
ｂに中心部が連結され、水平配置された爪支持部７ａ
と、爪支持部７ａの両端部から連接リンク８ｂに対して
直交するように左右対称に設けられた爪部７ｂ・７ｂと
を備えている。両爪部７ｂ・７ｂの間隔は、ウエーハカ
セット５の幅よりも僅かに大きくなるように設定されて
おり、各爪部７ｂの上面には、突起部７ｃが形成されて
いる。尚、把持機構７で保持されるウエーハカセット５
は、切欠き５ｂを有した当接板５ａ・５ａが両側面に形
成されており、切欠き５ｂに突起部７ｃが嵌合されなが
ら当接板５ａが爪部７ｂにより支持されることによっ
て、把持機構７で保持されるようになっている。
機構７が設けられている。把持機構７は、連接リンク８
ｂに中心部が連結され、水平配置された爪支持部７ａ
と、爪支持部７ａの両端部から連接リンク８ｂに対して
直交するように左右対称に設けられた爪部７ｂ・７ｂと
を備えている。両爪部７ｂ・７ｂの間隔は、ウエーハカ
セット５の幅よりも僅かに大きくなるように設定されて
おり、各爪部７ｂの上面には、突起部７ｃが形成されて
いる。尚、把持機構７で保持されるウエーハカセット５
は、切欠き５ｂを有した当接板５ａ・５ａが両側面に形
成されており、切欠き５ｂに突起部７ｃが嵌合されなが
ら当接板５ａが爪部７ｂにより支持されることによっ
て、把持機構７で保持されるようになっている。
【００１６】また、手首軸１５の上面には、当接機構１
０が固設されている。当接機構１０は、Ｌ字形状に形成
されており、先端部が把持機構７の上方に位置するよう
に設定されている。尚、当接機構１０の先端部と把持機
構７との位置関係は、把持機構７が最下端位置でウエー
ハカセット５を保持する際に、ウエーハカセット５の上
面よりも上方に位置し、且つ把持機構７がウエーハカセ
ット５を持ち上げて保持したときに、当接機構１０の先
端部がウエーハカセット５の上面に当接するという条件
を満足するように設定されている。
０が固設されている。当接機構１０は、Ｌ字形状に形成
されており、先端部が把持機構７の上方に位置するよう
に設定されている。尚、当接機構１０の先端部と把持機
構７との位置関係は、把持機構７が最下端位置でウエー
ハカセット５を保持する際に、ウエーハカセット５の上
面よりも上方に位置し、且つ把持機構７がウエーハカセ
ット５を持ち上げて保持したときに、当接機構１０の先
端部がウエーハカセット５の上面に当接するという条件
を満足するように設定されている。
【００１７】当接機構１０の先端部下面には、衝撃吸収
部材１６が設けられている。衝撃吸収部材１６は、当接
機構１０の先端部に対してウエーハカセット５が当接す
るときの衝撃を緩和するように、合成樹脂やバネ部材等
で形成されている。
部材１６が設けられている。衝撃吸収部材１６は、当接
機構１０の先端部に対してウエーハカセット５が当接す
るときの衝撃を緩和するように、合成樹脂やバネ部材等
で形成されている。
【００１８】上記のように各機構７〜１０で構成された
移載装置６は、走行台車３の略中央部に設けられてい
る。移載装置６の走行方向の両端部には、図５に示すよ
うに、荷台２・２が設けられている。各荷台２の上面に
は、突起部２ａが形成されており、突起部２ａは、ウエ
ーハカセット５の下面に形成された切欠き５ｃに嵌合可
能にされている。これにより、走行台車３の加減速時に
ウエーハカセット５に対して水平方向の大きな力が働い
た場合でも、切欠き５ｃと突起部２ａとの嵌合により脱
落が防止される。
移載装置６は、走行台車３の略中央部に設けられてい
る。移載装置６の走行方向の両端部には、図５に示すよ
うに、荷台２・２が設けられている。各荷台２の上面に
は、突起部２ａが形成されており、突起部２ａは、ウエ
ーハカセット５の下面に形成された切欠き５ｃに嵌合可
能にされている。これにより、走行台車３の加減速時に
ウエーハカセット５に対して水平方向の大きな力が働い
た場合でも、切欠き５ｃと突起部２ａとの嵌合により脱
落が防止される。
【００１９】上記の移載装置６は、図１（ａ）・（ｂ）
に示すように、半導体処理装置４に横付け可能にされて
いる。半導体処理装置４は、ウエーハカセット５を装置
の内外に搬入出するための搬入出ポート４ａを備えてい
る。搬入出ポート４ａは、最下端位置に下降された把持
機構７と当接機構１０とをポート内に進入させるよう
に、下面壁および上面壁の高さ位置が設定されている。
に示すように、半導体処理装置４に横付け可能にされて
いる。半導体処理装置４は、ウエーハカセット５を装置
の内外に搬入出するための搬入出ポート４ａを備えてい
る。搬入出ポート４ａは、最下端位置に下降された把持
機構７と当接機構１０とをポート内に進入させるよう
に、下面壁および上面壁の高さ位置が設定されている。
【００２０】上記の構成において、物品搬送車１の動作
について説明する。半導体処理装置４の搬入出ポート４
ａ内に載置されたウエーハカセット５を走行台車３の荷
台２に移載する場合には、先ず、物品搬送車１が半導体
処理装置４に横付けされ、移載装置６が半導体処理装置
４の搬入出ポート４ａに対向される。次いで、移載装置
６の把持機構７が最下端位置まで下降されると共に、把
持機構７の爪部７ｂ・７ｂが搬入出ポート４ａ方向に向
くように旋回される。尚、爪部７ｂ・７ｂは、把持機構
７が最下端位置に下降された結果、水平方向に配置され
た状態となる。
について説明する。半導体処理装置４の搬入出ポート４
ａ内に載置されたウエーハカセット５を走行台車３の荷
台２に移載する場合には、先ず、物品搬送車１が半導体
処理装置４に横付けされ、移載装置６が半導体処理装置
４の搬入出ポート４ａに対向される。次いで、移載装置
６の把持機構７が最下端位置まで下降されると共に、把
持機構７の爪部７ｂ・７ｂが搬入出ポート４ａ方向に向
くように旋回される。尚、爪部７ｂ・７ｂは、把持機構
７が最下端位置に下降された結果、水平方向に配置され
た状態となる。
【００２１】この後、アーム１４の第１アーム部材１４
ａおよび第２アーム部材１４ｂがそれぞれ反対方向に水
平旋回駆動されながら、把持機構７の爪部７ｂ・７ｂが
同一方向を向くように第２アーム部材１４ｂに対して回
動されることによって、爪部７ｂ・７ｂがウエーハカセ
ット５を挟み込むようにして搬入出ポート４ａに進入さ
れる。そして、昇降機構８がウエーハカセット５の側面
に当接する直前まで進入したときに、把持機構７の移動
が停止される。この結果、把持機構７は、水平配置され
た爪部７ｂ・７ｂがウエーハカセット５の当接板５ａの
下方に位置した状態となる。
ａおよび第２アーム部材１４ｂがそれぞれ反対方向に水
平旋回駆動されながら、把持機構７の爪部７ｂ・７ｂが
同一方向を向くように第２アーム部材１４ｂに対して回
動されることによって、爪部７ｂ・７ｂがウエーハカセ
ット５を挟み込むようにして搬入出ポート４ａに進入さ
れる。そして、昇降機構８がウエーハカセット５の側面
に当接する直前まで進入したときに、把持機構７の移動
が停止される。この結果、把持機構７は、水平配置され
た爪部７ｂ・７ｂがウエーハカセット５の当接板５ａの
下方に位置した状態となる。
【００２２】次に、図２（ａ）・（ｂ）に示すように、
昇降機構８により把持機構７が上昇されることによっ
て、把持機構７の爪部７ｂ・７ｂがウエーハカセット５
の当接板５ａに当接される。また、このとき、爪部７ｂ
・７ｂの突起部７ｃが当接板５ａの切欠き５ｂに嵌合し
た状態となる。そして、図３（ａ）・（ｂ）に示すよう
に、把持機構７がさらに上昇され、ウエーハカセット５
が当接板５ａを支持した爪部７ｂ・７ｂで持ち上げられ
ることによって、ウエーハカセット５の上面が当接機構
１０の先端部に衝撃吸収部材１６を介して当接および押
し付けられる。
昇降機構８により把持機構７が上昇されることによっ
て、把持機構７の爪部７ｂ・７ｂがウエーハカセット５
の当接板５ａに当接される。また、このとき、爪部７ｂ
・７ｂの突起部７ｃが当接板５ａの切欠き５ｂに嵌合し
た状態となる。そして、図３（ａ）・（ｂ）に示すよう
に、把持機構７がさらに上昇され、ウエーハカセット５
が当接板５ａを支持した爪部７ｂ・７ｂで持ち上げられ
ることによって、ウエーハカセット５の上面が当接機構
１０の先端部に衝撃吸収部材１６を介して当接および押
し付けられる。
【００２３】この際、上記の衝撃吸収部材１６は、ウエ
ーハカセット５と当接機構１０との当接時の衝撃を吸収
する。従って、衝撃吸収部材１６が高速度で当接機構１
０の先端部に当接した場合でも、ウエーハカセット５や
ウエーハカセット５内のウエーハの破損が防止される。
これにより、ウエーハカセット５を高速で上昇させるこ
とができるため、ウエーハカセット５の移載に要する時
間を短縮することが可能になっている。
ーハカセット５と当接機構１０との当接時の衝撃を吸収
する。従って、衝撃吸収部材１６が高速度で当接機構１
０の先端部に当接した場合でも、ウエーハカセット５や
ウエーハカセット５内のウエーハの破損が防止される。
これにより、ウエーハカセット５を高速で上昇させるこ
とができるため、ウエーハカセット５の移載に要する時
間を短縮することが可能になっている。
【００２４】ウエーハカセット５の上面が当接機構１０
で押し付けられると、図３に示すように、ウエーハカセ
ット５は、把持機構７の爪部７ｂ・７ｂで水平方向に保
持されると共に、当接機構１０と把持機構７とで上下方
向に保持される。また、ウエーハカセット５は、昇降機
構８の連接リンク８ｂが傾斜姿勢にされることによっ
て、搬入出ポート４ａの出口側の端部が最下端となる傾
斜角度で保持される。
で押し付けられると、図３に示すように、ウエーハカセ
ット５は、把持機構７の爪部７ｂ・７ｂで水平方向に保
持されると共に、当接機構１０と把持機構７とで上下方
向に保持される。また、ウエーハカセット５は、昇降機
構８の連接リンク８ｂが傾斜姿勢にされることによっ
て、搬入出ポート４ａの出口側の端部が最下端となる傾
斜角度で保持される。
【００２５】次に、図４（ａ）・（ｂ）に示すように、
上述の水平移動機構９の水平旋回駆動とは逆方向の旋回
駆動によって、把持機構７で保持されたウエーハカセッ
ト５が搬入出ポート４ａから抜脱され、ウエーハカセッ
ト５が搬入出ポート４ａから充分に抜け出たときに、図
５（ａ）・（ｂ）に示すように、荷台２方向に旋回され
る。この際、抜脱時および旋回時において、ウエーハカ
セット５に対して遠心力や慣性力による水平方向の力が
働き、この水平方向の力は、急激に加減速して高速で旋
回すのに従って増大する。従って、移載時間を短縮しよ
うとすると、大きな水平方向の力がウエーハカセット５
を脱落させるように作用することになるが、上述のよう
にウエーハカセット５が把持機構７および当接機構１０
で水平方向および上下方向に強固に保持されていると共
に、脱落方向に対抗するように傾斜されているため、脱
落が充分に防止される。
上述の水平移動機構９の水平旋回駆動とは逆方向の旋回
駆動によって、把持機構７で保持されたウエーハカセッ
ト５が搬入出ポート４ａから抜脱され、ウエーハカセッ
ト５が搬入出ポート４ａから充分に抜け出たときに、図
５（ａ）・（ｂ）に示すように、荷台２方向に旋回され
る。この際、抜脱時および旋回時において、ウエーハカ
セット５に対して遠心力や慣性力による水平方向の力が
働き、この水平方向の力は、急激に加減速して高速で旋
回すのに従って増大する。従って、移載時間を短縮しよ
うとすると、大きな水平方向の力がウエーハカセット５
を脱落させるように作用することになるが、上述のよう
にウエーハカセット５が把持機構７および当接機構１０
で水平方向および上下方向に強固に保持されていると共
に、脱落方向に対抗するように傾斜されているため、脱
落が充分に防止される。
【００２６】ウエーハカセット５が荷台２の上方に位置
すると、図６（ａ）・（ｂ）に示すように、ウエーハカ
セット５の旋回移動が停止された後、把持機構７が下降
されることによって、把持機構７に保持されたウエーハ
カセット５が荷台２に載置される。この後、図７（ａ）
・（ｂ）に示すように、把持機構７がさらに下降され、
ウエーハカセット５から分離される。そして、図８
（ａ）・（ｂ）に示すように、水平移動機構９が水平旋
回駆動されることによって、把持機構７がウエーハカセ
ット５の下方から引き出されることによって、半導体処
理装置４から物品搬送車１へのウエーハカセット５の移
載が完了する。尚、ウエーハカセット５を物品搬送車１
から半導体処理装置４に移載する場合には、上記と逆の
手順が行われる。
すると、図６（ａ）・（ｂ）に示すように、ウエーハカ
セット５の旋回移動が停止された後、把持機構７が下降
されることによって、把持機構７に保持されたウエーハ
カセット５が荷台２に載置される。この後、図７（ａ）
・（ｂ）に示すように、把持機構７がさらに下降され、
ウエーハカセット５から分離される。そして、図８
（ａ）・（ｂ）に示すように、水平移動機構９が水平旋
回駆動されることによって、把持機構７がウエーハカセ
ット５の下方から引き出されることによって、半導体処
理装置４から物品搬送車１へのウエーハカセット５の移
載が完了する。尚、ウエーハカセット５を物品搬送車１
から半導体処理装置４に移載する場合には、上記と逆の
手順が行われる。
【００２７】（実施形態２）本発明の第２の実施の形態
を図９ないし図１３に基づいて以下に説明する。尚、第
１の実施の形態と同一の部材には、同一の符号を付記し
てその説明を省略する。
を図９ないし図１３に基づいて以下に説明する。尚、第
１の実施の形態と同一の部材には、同一の符号を付記し
てその説明を省略する。
【００２８】本実施の形態に係る物品搬送車１は、図９
（ａ）・（ｂ）に示すように、平行リンク機構からなる
昇降機構２８と、昇降機構２８の上端部に設けられた把
持機構２７とを備えている。把持機構２７は、水平配置
された一対の爪部２７ｂ・２７ｂを備えており、爪部２
７ｂ・２７ｂは、ウエーハカセット５の懸吊部５ｄに係
合することによりウエーハカセット５を保持可能にされ
ている。その他の構成は、第１の実施形態と同一であ
る。
（ａ）・（ｂ）に示すように、平行リンク機構からなる
昇降機構２８と、昇降機構２８の上端部に設けられた把
持機構２７とを備えている。把持機構２７は、水平配置
された一対の爪部２７ｂ・２７ｂを備えており、爪部２
７ｂ・２７ｂは、ウエーハカセット５の懸吊部５ｄに係
合することによりウエーハカセット５を保持可能にされ
ている。その他の構成は、第１の実施形態と同一であ
る。
【００２９】上記の構成において、半導体処理装置４の
搬入出ポート４ａ内に載置されたウエーハカセット５を
走行台車３の荷台２に移載する場合には、先ず、物品搬
送車１が半導体処理装置４に横付けされ、移載装置６が
半導体処理装置４の搬入出ポート４ａに対向される。次
いで、把持機構２７の爪部２７ｂ・２７ｂがウエーハカ
セット５の懸吊部５ｄに対向するように位置決めされる
と共に、爪部２７ｂ・２７ｂが搬入出ポート４ａ方向に
向くように旋回される。
搬入出ポート４ａ内に載置されたウエーハカセット５を
走行台車３の荷台２に移載する場合には、先ず、物品搬
送車１が半導体処理装置４に横付けされ、移載装置６が
半導体処理装置４の搬入出ポート４ａに対向される。次
いで、把持機構２７の爪部２７ｂ・２７ｂがウエーハカ
セット５の懸吊部５ｄに対向するように位置決めされる
と共に、爪部２７ｂ・２７ｂが搬入出ポート４ａ方向に
向くように旋回される。
【００３０】この後、アーム１４が水平旋回駆動されな
がら、把持機構２７の爪部２７ｂ・２７ｂで懸吊部５ｄ
を挟み込むようにして搬入出ポート４ａに進入される。
そして、昇降機構２８がウエーハカセット５の側面に当
接する直前まで進入したときに、把持機構２７の移動が
停止される。この結果、把持機構２７は、水平配置され
た爪部２７ｂ・２７ｂがウエーハカセット５の懸吊部５
ｄに係合された状態となる。
がら、把持機構２７の爪部２７ｂ・２７ｂで懸吊部５ｄ
を挟み込むようにして搬入出ポート４ａに進入される。
そして、昇降機構２８がウエーハカセット５の側面に当
接する直前まで進入したときに、把持機構２７の移動が
停止される。この結果、把持機構２７は、水平配置され
た爪部２７ｂ・２７ｂがウエーハカセット５の懸吊部５
ｄに係合された状態となる。
【００３１】次に、図１０（ａ）・（ｂ）に示すよう
に、昇降機構２８により把持機構２７が水平方向の平行
度を維持しながら上昇されることによって、ウエーハカ
セット５が持ち上げられ、ウエーハカセット５の懸吊部
５ｄが当接機構１０の先端部に衝撃吸収部材１６を介し
て当接および押し付けられる。これにより、ウエーハカ
セット５は、把持機構２７の爪部２７ｂ・２７ｂで水平
方向に保持されると共に、当接機構１０と把持機構２７
とで上下方向に保持されることになる。尚、衝撃吸収部
材１６と懸吊部５ｄとの当接位置は、懸吊部５ｄの端部
であっても中央部であっても良い。また、懸吊部５ｄ
は、衝撃吸収部材１６を嵌合させるように形成されてい
ても良く、この場合には、水平移動時における慣性力や
旋回力に対する脱落防止の機能を発揮させることができ
る。
に、昇降機構２８により把持機構２７が水平方向の平行
度を維持しながら上昇されることによって、ウエーハカ
セット５が持ち上げられ、ウエーハカセット５の懸吊部
５ｄが当接機構１０の先端部に衝撃吸収部材１６を介し
て当接および押し付けられる。これにより、ウエーハカ
セット５は、把持機構２７の爪部２７ｂ・２７ｂで水平
方向に保持されると共に、当接機構１０と把持機構２７
とで上下方向に保持されることになる。尚、衝撃吸収部
材１６と懸吊部５ｄとの当接位置は、懸吊部５ｄの端部
であっても中央部であっても良い。また、懸吊部５ｄ
は、衝撃吸収部材１６を嵌合させるように形成されてい
ても良く、この場合には、水平移動時における慣性力や
旋回力に対する脱落防止の機能を発揮させることができ
る。
【００３２】この後、図１１（ａ）・（ｂ）に示すよう
に、上述の水平移動機構９の水平旋回駆動とは逆方向の
旋回駆動によって、把持機構７で保持されたウエーハカ
セット５が搬入出ポート４ａから抜脱され、ウエーハカ
セット５が搬入出ポート４ａから充分に抜け出たとき
に、図１２（ａ）・（ｂ）に示すように、荷台２方向に
旋回される。この際、抜脱時および旋回時において、ウ
エーハカセット５に対して遠心力や慣性力による水平方
向の力が働き、この水平方向の力は、急激に加減速して
高速で旋回すのに従って増大する。従って、移載時間を
短縮しようとすると、大きな水平方向の力がウエーハカ
セット５を脱落させるように作用することになるが、上
述のようにウエーハカセット５が把持機構７および当接
機構１０で水平方向および上下方向に強固に保持されて
いるため、脱落が充分に防止される。
に、上述の水平移動機構９の水平旋回駆動とは逆方向の
旋回駆動によって、把持機構７で保持されたウエーハカ
セット５が搬入出ポート４ａから抜脱され、ウエーハカ
セット５が搬入出ポート４ａから充分に抜け出たとき
に、図１２（ａ）・（ｂ）に示すように、荷台２方向に
旋回される。この際、抜脱時および旋回時において、ウ
エーハカセット５に対して遠心力や慣性力による水平方
向の力が働き、この水平方向の力は、急激に加減速して
高速で旋回すのに従って増大する。従って、移載時間を
短縮しようとすると、大きな水平方向の力がウエーハカ
セット５を脱落させるように作用することになるが、上
述のようにウエーハカセット５が把持機構７および当接
機構１０で水平方向および上下方向に強固に保持されて
いるため、脱落が充分に防止される。
【００３３】ウエーハカセット５が荷台２の上方に位置
すると、ウエーハカセット５の旋回移動が停止された
後、把持機構７が下降されることによって、把持機構７
に保持されたウエーハカセット５が荷台２に載置され
る。この後、水平移動機構９が水平旋回駆動されること
によって、把持機構７がウエーハカセット５の懸吊部５
ｄから引き出されることによって、半導体処理装置４か
ら物品搬送車１へのウエーハカセット５の移載が完了す
る。尚、ウエーハカセット５を物品搬送車１から半導体
処理装置４に移載する場合には、上記と逆の手順が行わ
れる。
すると、ウエーハカセット５の旋回移動が停止された
後、把持機構７が下降されることによって、把持機構７
に保持されたウエーハカセット５が荷台２に載置され
る。この後、水平移動機構９が水平旋回駆動されること
によって、把持機構７がウエーハカセット５の懸吊部５
ｄから引き出されることによって、半導体処理装置４か
ら物品搬送車１へのウエーハカセット５の移載が完了す
る。尚、ウエーハカセット５を物品搬送車１から半導体
処理装置４に移載する場合には、上記と逆の手順が行わ
れる。
【００３４】以上のように、第１および第２の実施形態
の物品搬送車１は、図１（ａ）・（ｂ）および図９
（ａ）・（ｂ）に示すように、ウエーハカセット５（物
品）を荷台２に載置しながら搬送する走行台車３と、走
行台車３が横付けされた半導体処理装置４（外部装置）
および荷台２間で物品を移載する移載装置６とを有して
おり、移載装置６は、ウエーハカセット５を上昇動作で
持ち上げることにより把持状態となり、下降動作で載置
すると共に把持状態を解除する把持機構７・２７と、把
持機構７・２７に対して上昇動作および下降動作を実行
させるように、把持機構７・２７を昇降させる昇降機構
８・２８と、把持機構７・２７を荷台２と半導体処理装
置４との間で水平移動させる水平移動機構９と、把持機
構７・２７の上方に先端部が位置するように水平移動機
構９に設けられ、水平移動機構９により把持機構７・２
７と共に水平移動される当接機構１０とを有した構成に
されている。
の物品搬送車１は、図１（ａ）・（ｂ）および図９
（ａ）・（ｂ）に示すように、ウエーハカセット５（物
品）を荷台２に載置しながら搬送する走行台車３と、走
行台車３が横付けされた半導体処理装置４（外部装置）
および荷台２間で物品を移載する移載装置６とを有して
おり、移載装置６は、ウエーハカセット５を上昇動作で
持ち上げることにより把持状態となり、下降動作で載置
すると共に把持状態を解除する把持機構７・２７と、把
持機構７・２７に対して上昇動作および下降動作を実行
させるように、把持機構７・２７を昇降させる昇降機構
８・２８と、把持機構７・２７を荷台２と半導体処理装
置４との間で水平移動させる水平移動機構９と、把持機
構７・２７の上方に先端部が位置するように水平移動機
構９に設けられ、水平移動機構９により把持機構７・２
７と共に水平移動される当接機構１０とを有した構成に
されている。
【００３５】尚、本実施形態においては、半導体製造設
備内でウエーハカセット５を搬送する用途に適用される
場合について説明しているが、これに限定されるもので
はなく、例えば生物実験設備や化学実験設備等の高度の
清浄度が要求される用途においても好適に使用すること
ができる。また、本実施形態においては、昇降機構８・
２８をリンク機構により構成しているが、これに限定さ
れるものではなく、昇降機構８・２８は、例えばボルト
部材の螺合された棒状のナット部材を立設すると共に、
ボルト部材に把持機構７・２７を連結し、ナット部材を
正逆回転させることにより把持機構７・２７を昇降させ
るように構成されていても良い。また、昇降機構８・２
８による内側モールドカセットの昇降方向は、垂直方向
であっても、垂直方向以外の方向であっても良い。
備内でウエーハカセット５を搬送する用途に適用される
場合について説明しているが、これに限定されるもので
はなく、例えば生物実験設備や化学実験設備等の高度の
清浄度が要求される用途においても好適に使用すること
ができる。また、本実施形態においては、昇降機構８・
２８をリンク機構により構成しているが、これに限定さ
れるものではなく、昇降機構８・２８は、例えばボルト
部材の螺合された棒状のナット部材を立設すると共に、
ボルト部材に把持機構７・２７を連結し、ナット部材を
正逆回転させることにより把持機構７・２７を昇降させ
るように構成されていても良い。また、昇降機構８・２
８による内側モールドカセットの昇降方向は、垂直方向
であっても、垂直方向以外の方向であっても良い。
【００３６】上記の構成によれば、当接機構１０が水平
移動機構９により把持機構７・２７と共に水平移動され
るため、当接機構１０の先端部が把持機構７・２７の上
方に配置された状態は、把持機構７・２７がウエーハカ
セット５を把持して走行台車３の荷台２と半導体処理装
置４との間を移動する場合においても維持される。これ
により、把持機構７・２７が上昇動作により半導体処理
装置４を持ち上げ、半導体処理装置４の上面を当接機構
１０の先端部に当接させれば、把持機構７・２７と当接
機構１０とで半導体処理装置４を水平方向と垂直方向と
に挟み込んだ強固な把持状態をウエーハカセット５の移
載の全期間に亘って維持することができる。この結果、
ウエーハカセット５を水平方向に高速で移動させること
により大きな遠心力や慣性力等がウエーハカセット５に
働いた場合でも、ウエーハカセット５を把持機構７・２
７から脱落しないようにすることができるため、半導体
処理装置４に対してウエーハカセット５を確実かつ短時
間で搬入出することができる。
移動機構９により把持機構７・２７と共に水平移動され
るため、当接機構１０の先端部が把持機構７・２７の上
方に配置された状態は、把持機構７・２７がウエーハカ
セット５を把持して走行台車３の荷台２と半導体処理装
置４との間を移動する場合においても維持される。これ
により、把持機構７・２７が上昇動作により半導体処理
装置４を持ち上げ、半導体処理装置４の上面を当接機構
１０の先端部に当接させれば、把持機構７・２７と当接
機構１０とで半導体処理装置４を水平方向と垂直方向と
に挟み込んだ強固な把持状態をウエーハカセット５の移
載の全期間に亘って維持することができる。この結果、
ウエーハカセット５を水平方向に高速で移動させること
により大きな遠心力や慣性力等がウエーハカセット５に
働いた場合でも、ウエーハカセット５を把持機構７・２
７から脱落しないようにすることができるため、半導体
処理装置４に対してウエーハカセット５を確実かつ短時
間で搬入出することができる。
【００３７】また、本実施形態の水平移動機構９は、走
行台車３上に回動可能に立設された主軸１３と、主軸１
３に基端部が連結され、水平面内で旋回可能にされたア
ーム１４と、アーム１４の先端部に回動可能に立設され
た手首軸１５とを有しており、昇降機構８・２８および
当接機構１０は、手首軸１５に連結された構成にされて
いる。これにより、手首軸１５を回動させれば、昇降機
構８・２８と当接機構１０との位置関係および昇降機構
８・２８で昇降される把持機構７・２７と当接機構１０
との位置関係を維持しながら、両機構８・２８・１０を
同一方向に旋回させることができるため、簡単な部品構
成で強固な把持状態を実現することができる。
行台車３上に回動可能に立設された主軸１３と、主軸１
３に基端部が連結され、水平面内で旋回可能にされたア
ーム１４と、アーム１４の先端部に回動可能に立設され
た手首軸１５とを有しており、昇降機構８・２８および
当接機構１０は、手首軸１５に連結された構成にされて
いる。これにより、手首軸１５を回動させれば、昇降機
構８・２８と当接機構１０との位置関係および昇降機構
８・２８で昇降される把持機構７・２７と当接機構１０
との位置関係を維持しながら、両機構８・２８・１０を
同一方向に旋回させることができるため、簡単な部品構
成で強固な把持状態を実現することができる。
【００３８】また、本実施形態の当接機構１０は、先端
部下面に衝撃吸収部材１６が設けられることによって、
先端部に対してウエーハカセット５が当接するときの衝
撃を緩和するように形成されている。尚、当接機構１０
は、当接機構１０自身が弾力性を有した材質で形成され
ることにより衝撃を緩和するようにされていても良く、
この場合には、衝撃吸収部材１６を省略することができ
る。また、本実施形態においては、当接機構１０が手首
軸１５の上面に直結された場合について説明している
が、これに限定されるものでもなく、スプリング部材を
介して当接機構１０と手首軸１５の上面とが連結されて
いても良い。この場合には、当接機構１０に付与された
衝撃をスプリング部材で吸収することができるため、衝
撃吸収部材１６を省略することができると共に、当接機
構１０を任意の材質で形成することができる。
部下面に衝撃吸収部材１６が設けられることによって、
先端部に対してウエーハカセット５が当接するときの衝
撃を緩和するように形成されている。尚、当接機構１０
は、当接機構１０自身が弾力性を有した材質で形成され
ることにより衝撃を緩和するようにされていても良く、
この場合には、衝撃吸収部材１６を省略することができ
る。また、本実施形態においては、当接機構１０が手首
軸１５の上面に直結された場合について説明している
が、これに限定されるものでもなく、スプリング部材を
介して当接機構１０と手首軸１５の上面とが連結されて
いても良い。この場合には、当接機構１０に付与された
衝撃をスプリング部材で吸収することができるため、衝
撃吸収部材１６を省略することができると共に、当接機
構１０を任意の材質で形成することができる。
【００３９】
【発明の効果】請求項１の発明は、物品を荷台に載置し
ながら搬送する走行台車と、該走行台車が横付けされた
外部装置および荷台間で物品を移載する移載装置とを有
した物品搬送車であって、前記移載装置は、前記物品を
上昇動作で持ち上げることにより把持状態となり、下降
動作で載置すると共に把持状態を解除する把持機構と、
前記把持機構に対して前記上昇動作および下降動作を実
行させるように、前記把持機構を昇降させる昇降機構
と、前記把持機構を前記荷台と外部装置との間で水平移
動させる水平移動機構と、前記把持機構の上方に先端部
が位置するように前記水平移動機構に設けられ、該水平
移動機構により前記把持機構と共に水平移動される当接
機構とを有する構成である。
ながら搬送する走行台車と、該走行台車が横付けされた
外部装置および荷台間で物品を移載する移載装置とを有
した物品搬送車であって、前記移載装置は、前記物品を
上昇動作で持ち上げることにより把持状態となり、下降
動作で載置すると共に把持状態を解除する把持機構と、
前記把持機構に対して前記上昇動作および下降動作を実
行させるように、前記把持機構を昇降させる昇降機構
と、前記把持機構を前記荷台と外部装置との間で水平移
動させる水平移動機構と、前記把持機構の上方に先端部
が位置するように前記水平移動機構に設けられ、該水平
移動機構により前記把持機構と共に水平移動される当接
機構とを有する構成である。
【００４０】上記の構成によれば、当接機構が水平移動
機構により把持機構と共に水平移動されるため、当接機
構の先端部が把持機構の上方に配置された状態は、把持
機構が物品を把持して搬送台車の載置台と外部装置との
間を移動する場合においても維持される。これにより、
把持機構が上昇動作により物品を持ち上げ、物品の上面
を当接機構の先端部に当接させれば、把持機構と当接機
構とで物品を水平方向と垂直方向とに挟み込んだ強固な
把持状態を物品の移載の全期間に亘って維持することが
できる。この結果、物品を水平方向に高速で移動させる
ことにより大きな遠心力や慣性力等が物品に働いた場合
でも、物品を把持機構から脱落しないようにすることが
できるため、外部装置に対して物品を確実かつ短時間で
搬入出することができる。
機構により把持機構と共に水平移動されるため、当接機
構の先端部が把持機構の上方に配置された状態は、把持
機構が物品を把持して搬送台車の載置台と外部装置との
間を移動する場合においても維持される。これにより、
把持機構が上昇動作により物品を持ち上げ、物品の上面
を当接機構の先端部に当接させれば、把持機構と当接機
構とで物品を水平方向と垂直方向とに挟み込んだ強固な
把持状態を物品の移載の全期間に亘って維持することが
できる。この結果、物品を水平方向に高速で移動させる
ことにより大きな遠心力や慣性力等が物品に働いた場合
でも、物品を把持機構から脱落しないようにすることが
できるため、外部装置に対して物品を確実かつ短時間で
搬入出することができる。
【００４１】請求項２の発明は、請求項１に記載の物品
搬送車であって、前記水平移動機構は、前記走行台車上
に回動可能に立設された主軸と、該主軸に基端部が連結
され、水平面内で旋回可能にされたアームと、該アーム
の先端部に回動可能に立設された手首軸とを有してお
り、前記昇降機構および前記当接機構は、前記手首軸に
連結されている構成である。
搬送車であって、前記水平移動機構は、前記走行台車上
に回動可能に立設された主軸と、該主軸に基端部が連結
され、水平面内で旋回可能にされたアームと、該アーム
の先端部に回動可能に立設された手首軸とを有してお
り、前記昇降機構および前記当接機構は、前記手首軸に
連結されている構成である。
【００４２】上記の構成によれば、手首軸を回動させれ
ば、昇降機構と当接機構との位置関係および昇降機構で
昇降される把持機構と当接機構との位置関係を維持しな
がら、両機構を同一方向に旋回させることができる。従
って、簡単な部品構成で強固な把持状態を実現すること
ができる。
ば、昇降機構と当接機構との位置関係および昇降機構で
昇降される把持機構と当接機構との位置関係を維持しな
がら、両機構を同一方向に旋回させることができる。従
って、簡単な部品構成で強固な把持状態を実現すること
ができる。
【００４３】請求項３の発明は、請求項１または２に記
載の物品搬送車であって、前記当接機構は、先端部に対
して物品が当接するときの衝撃を緩和するように形成さ
れている構成である。
載の物品搬送車であって、前記当接機構は、先端部に対
して物品が当接するときの衝撃を緩和するように形成さ
れている構成である。
【００４４】上記の構成によれば、物品が当接機構の先
端部に当接するときの衝撃で破損することを防止するこ
とができる。
端部に当接するときの衝撃で破損することを防止するこ
とができる。
【図１】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図２】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図３】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図４】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図５】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図６】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図７】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図８】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図９】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過程
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、（ｂ）
は正面視した説明図である。
【図１０】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過
程を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、
（ｂ）は正面視した説明図である。
程を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、
（ｂ）は正面視した説明図である。
【図１１】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過
程を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、
（ｂ）は正面視した説明図である。
程を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、
（ｂ）は正面視した説明図である。
【図１２】物品搬送車がウエーハカセットを移載する過
程を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、
（ｂ）は正面視した説明図である。
程を示すものであり、（ａ）は平面視した説明図、
（ｂ）は正面視した説明図である。
１ 物品搬送車 ２ 荷台 ３ 走行台車 ４ａ 搬入出ポート ４ 半導体処理装置 ５ａ 当接板 ５ ウエーハカセット ６ 移載装置 ７ 把持機構 ７ａ 爪支持部 ７ｂ 爪部 ８ 昇降機構 ９ 水平移動機構 １０ 当接機構 １３ 主軸 １４ アーム １５ 手首軸 １６ 衝撃吸収部材 ２７ 把持機構 ２８ 昇降機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６１Ｄ 47/00 Ｂ６１Ｄ 47/00 Ａ Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｌ Ｆターム(参考） 3C007 AS03 AS24 BS15 CS01 CV07 CW07 DS02 ES04 ET02 EU07 EV02 EV07 EV22 5F031 CA02 DA01 FA03 FA07 FA09 FA18 GA19 GA30 GA35 GA43 GA47 GA57 LA12 LA16 MA15 NA02 PA20
Claims (3)
- 【請求項１】 物品を荷台に載置しながら搬送する走行
台車と、該走行台車が横付けされた外部装置および荷台
間で物品を移載する移載装置とを有した物品搬送車であ
って、 前記移載装置は、 前記物品を上昇動作で持ち上げることにより把持状態と
なり、下降動作で載置すると共に把持状態を解除する把
持機構と、 前記把持機構に対して前記上昇動作および下降動作を実
行させるように、前記把持機構を昇降させる昇降機構
と、 前記把持機構を前記荷台と外部装置との間で水平移動さ
せる水平移動機構と、 前記把持機構の上方に先端部が位置するように前記水平
移動機構に設けられ、該水平移動機構により前記把持機
構と共に水平移動される当接機構とを有することを特徴
とする物品搬送車。 - 【請求項２】 前記水平移動機構は、前記走行台車上に
回動可能に立設された主軸と、該主軸に基端部が連結さ
れ、水平面内で旋回可能にされたアームと、該アームの
先端部に回動可能に立設された手首軸とを有しており、
前記昇降機構および前記当接機構は、前記手首軸に連結
されていることを特徴とする請求項１に記載の物品搬送
車。 - 【請求項３】 前記当接機構は、先端部に対して物品が
当接するときの衝撃を緩和するように形成されているこ
とを特徴とする請求項１または２に記載の物品搬送車。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001180947A JP4682455B2 (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 物品搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001180947A JP4682455B2 (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 物品搬送車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002373926A true JP2002373926A (ja) | 2002-12-26 |
| JP4682455B2 JP4682455B2 (ja) | 2011-05-11 |
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|---|---|---|---|
| JP2001180947A Expired - Fee Related JP4682455B2 (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 物品搬送車 |
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|---|---|
| JP (1) | JP4682455B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100719025B1 (ko) | 2005-12-07 | 2007-05-17 | 삼성전자주식회사 | 이송로봇 |
| US11876009B2 (en) | 2018-11-06 | 2024-01-16 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transport vehicle |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11222121A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送車 |
| JP2000042951A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-15 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送車 |
| JP2000340631A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Sony Corp | ウェーハ搬送用台車 |
-
2001
- 2001-06-15 JP JP2001180947A patent/JP4682455B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| KR100719025B1 (ko) | 2005-12-07 | 2007-05-17 | 삼성전자주식회사 | 이송로봇 |
| US11876009B2 (en) | 2018-11-06 | 2024-01-16 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transport vehicle |
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|---|---|
| JP4682455B2 (ja) | 2011-05-11 |
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