JP2002373610A - 試料ホルダおよび試料固定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 反りや撓みを生じていない状態でウエハ試料
を試料ホルダに位置決め固定すること。 【解決手段】 試料載置面にウエハ試料Ｗを載置した状
態で、作動部材１３を作動位置から離隔位置に移動する
と、ウエハ試料押圧部材８を支持するウエハ試料押圧用
移動部材６は試料自由位置から前記試料固定位置に向け
て移動する。ウエハ試料押圧部材８はウエハ試料Ｗを前
記試料位置決め部材５に押圧して位置決め固定する。こ
の状態で、前記作動部材１３を離隔位置から作動位置に
移動させると、前記ウエハ試料押圧部材８は位置決め固
定されたウエハ試料Ｗから離隔してウエハ試料Ｗの移動
を自由にする。ここで、静電チャック４に、電圧を印加
して前記試料載置面に載置されたウエハ試料Ｗを静電吸
着すると、ウエハ試料Ｗに反りや撓みのない状態で吸着
固定することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料に対する精密
作業を行う装置（電子顕微鏡装置、電子、Ｘ線等を用い
た分析装置）で使用する試料ホルダおよび試料ホルダに
試料を固定する試料固定方法に関する。本発明の試料ホ
ルダは、シリコンウエハのような面積の大きい薄い板状
の試料を保持して、顕微分析を行う試料ステージに搬送
する試料ホルダや前記試料ステージに固定配置された試
料ホルダ等に使用することができる。

【０００２】

【従来の技術】前記試料ホルダとして、従来、下記（Ｊ
01）の技術が知られている。

【０００３】（Ｊ01）図１９ないし図２０に示す技術 図１９は試料に対して顕微分析作業を行う装置（電子顕
微鏡等）で使用される従来の試料ホルダの説明図で、図
１９Ａは試料ホルダのウエハ試料押圧用移動部材が試料
自由位置に移動した状態の上面図、図１９Ｂは前記図１
９ＡのＸIＸＢ−ＸIＸＢ線断面図である。図２０は前記
図１９の試料ホルダのウエハ試料押圧用移動部材が試料
固定位置に移動した状態における試料ホルダの説明図
で、図２０Ａは上面図、図２０Ｂは前記図２０ＡのＸＸ
Ｂ−ＸＸＢ線断面図である。なお、以後の説明の理解を
容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方
向、右左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢
印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す
側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、
または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙
面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に
「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印
を意味するものとする。

【０００４】図１９ないし図２０において、試料ホルダ
０１は中央部に円孔０２ｂが形成されたホルダベース０
２を有している。前記ホルダベース０２の上面にはウエ
ハ試料Ｗを載置し且つ電圧印加時に前記ウエハ試料Ｗを
静電吸着するドーナツ状の静電チャック０３が固定され
ている。また前記ホルダベース０２の上面の左側部分
（−Ｙ側部分）には前記ウエハ試料Ｗの外端部が当接し
て位置決めをする試料位置決め部材としての一対の試料
位置決めピン０４が設けられている。

【０００５】前記ホルダベース０２の下面にはウエハ試
料押圧用移動部材０５がスライド移動可能に配置されて
いる。前記ウエハ試料押圧用移動部材０５の右側（＋Ｙ
側）部分の前後方向（Ｘ軸方向）両端には前記ホルダベ
ース０２の上面側（＋Ｚ側）に突出したウエハ試料押圧
部材としての一対の試料位置決め押圧ローラ０６が回転
可能に支持されている。前記ウエハ試料押圧用移動部材
０５と前記試料位置決め押圧ローラ０６とは、前記試料
位置決め押圧ローラ０６が前記ウエハ試料Ｗを前記試料
位置決めピン０４に押圧して位置決め保持する試料固定
位置（図２０参照）と前記試料位置決め押圧ローラ０６
が前記ウエハ試料Ｗから離隔して前記ウエハ試料Ｗの移
動が自由になる試料自由位置（図１９参照）との間を一
体的に移動する。

【０００６】前記ウエハ試料押圧用移動部材０５と前記
ホルダベース０２の下面との間には引張りバネで構成さ
れた一対の接近用バネ０７が連結されており、前記一対
の接近用バネ０７によって常時前記ウエハ試料押圧用移
動部材０５を前記ホルダベース０２の方向に接近させる
力が作用している。前記接近用バネ０７によって作用す
る引張り力に対抗して前記ウエハ試料押圧用移動部材０
５の前記試料固定位置（図２０参照）と前記試料自由位
置（図１９参照）との間の移動を操作する試料位置決め
操作部材０８が前記ウエハ試料押圧用移動部材０５の左
端部に当接・離隔可能に設けられている。

【０００７】前記試料位置決め操作部材０８を前記接近
用バネ０７の引張り力に対抗する方向である離隔方向
（＋Ｙ方向）に操作すると、前記試料押圧用移動部材０
５は前記試料自由位置に移動する。このとき、前記一対
の試料位置決め押圧ローラ０６は前記一対の試料位置決
めピン０４から離隔し、前記ウエハ試料Ｗを自由に着脱
させることが可能となる。また前記試料位置決め操作部
材０８を前記接近用バネ０７の引張り力と同じ方向であ
る接近方向（−Ｙ方向）に操作することによって前記接
近用バネ０７の引張り力によって前記試料押圧用移動部
材０５は前記試料固定位置（図２０に示す位置）に向か
って移動する。このとき、前記一対の試料位置決めロー
ラ０６が前記ウエハ試料Ｗの右側外端部に当接し、前記
ウエハ試料Ｗを左方（−Ｙ方向）に押圧移動させる。

【０００８】このとき、前記ウエハ試料Ｗが前記一対の
試料位置決めピン０４に当接して位置決めが行われる。
この状態で、前記静電チャック０３に電圧が印加される
と前記ウエハ試料Ｗが前記静電チャック０３の載置面に
静電吸着され固定保持される。この状態でウエハ試料Ｗ
に対して検査、描画等を行う。

【０００９】検査、描画等の終了後は前記静電チャック
０３への電圧の印加を停止して前記試料ウエハＷを静電
吸着から開放する。その後、再び前記試料位置決め操作
部材０８を操作して前記試料押圧用移動部材０５を前記
試料固定位置から前記試料自由位置に移動させると、前
記ウエハ試料Ｗを自由に着脱させることが可能となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】（前記（Ｊ01）の問題
点）前記静電チャック０３への電圧の印加を停止した
時、前記静電チャック０３に残留電荷が残る。前記残留
電荷の有る静電チャック０３の上面（試料載置面）に前
記ウエハ試料Ｗを載置して前記試料位置決め押圧ローラ
０６によって押圧移動させようとした時に前記静電チャ
ック０３上面のウエハ試料Ｗは前記残留電荷によって大
きな摩擦抵抗を受ける。前記摩擦抵抗に打ち勝って、前
記ウエハ試料Ｗを滑り移動させるためには大きな引張り
力を持った接近用バネ０７を用いる必要がある。引張り
力の大きな接近用バネ０７を用いて前記ウエハ試料Ｗを
前記試料位置決めピン０４に押圧すると、前記ウエハ試
料Ｗに反りや撓みが生じることがあり、この状態で静電
吸着を行うと、ウエハ試料Ｗは正常な状態で固定されな
いことがある。この状況で検査、描画等を行っても適正
な結果が得られない。

【００１１】このような正常でない状態で固定されるの
を避けるために、前記ウエハ試料Ｗを位置決めした後
に、前記試料押圧用移動部材０５を前記試料自由位置に
移動させて、押圧ローラ０６をウエハ試料Ｗから離隔さ
せた状態で静電吸着すれば前記ウエハ試料Ｗは反りや撓
みのない状態で固定される。しかし、この操作を行うた
めには前記試料位置決め操作部材０８の操作回数が前記
従来の方法に比べ多くなる。

【００１２】また、ウエハ試料Ｗを試料ホルダ０１から
取り外す時にも、試料位置決め操作部材０８を操作し
て、作業を行っていた前記試料固定位置から前記試料押
圧用移動部材０５を前記試料自由位置に移動させないと
ウエハ試料Ｗを取り外すことができない。

【００１３】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。 （Ｏ01）反りや撓みを生じていない状態でウエハ試料を
試料ホルダに位置決め固定すること。 （Ｏ02）反りや撓みを生じていない状態でウエハ試料を
試料ホルダに位置決め固定する作業を、位置決め操作部
材の操作回数を増やさずに行えるようにすること。

【００１４】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決し
た本発明を説明するが、本発明の説明において本発明の
構成要素の後に付記したカッコ内の符号は、本発明の構
成要素に対応する後述の実施例の構成要素の符号であ
る。なお、本発明を後述の実施例の構成要素の符号と対
応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするた
めであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではな
い。

【００１５】（第１発明）前記課題を解決するために、
第１発明の試料ホルダは、下記の構成要件（Ａ01）〜
（Ａ06）を備えている。 （Ａ01）ウエハ試料（Ｗ）を載置する試料載置面を有し
電圧印加時に前記試料載置面に載置されたウエハ試料
（Ｗ）を吸着する静電チャック（４）と前記ウエハ試料
（Ｗ）の外端が当接して位置決めされる試料位置決め部
材（５）とが上面に支持されたホルダベース（２）、
（Ａ02）前記ホルダベース（２）の下面に配置されて先
端部に前記ホルダベース上面側に突出するウエハ試料押
圧部材（８）を支持し、且つ、前記ウエハ試料押圧部材
（８）が前記試料載置面上のウエハ試料（Ｗ）を前記試
料位置決め部材（５）に押圧して位置決め固定する試料
固定位置と前記ウエハ試料押圧部材（８）が前記ウエハ
試料（Ｗ）から離れてウエハ試料（Ｗ）の移動が自由に
なる試料自由位置との間で移動可能に支持されたウエハ
試料押圧用移動部材（６）、（Ａ03）前記ウエハ試料押
圧用移動部材（６）を前記試料固定位置に移動させるよ
うに作用する接近用バネ（１１）、（Ａ04）前記ホルダ
ベース（２）の下面に配置されるとともに、前記ウエハ
試料押圧用移動部材（６）から離隔して前記ウエハ試料
押圧用移動部材（６）の前記試料自由位置から前記試料
固定位置に向けての移動を許す離隔位置と、前記ウエハ
試料押圧用移動部材（６）を押圧して前記ウエハ試料押
圧用移動部材（６）を前記試料固定位置から前記試料自
由位置に移動させる作動位置との間を移動可能に支持さ
れた作動部材（１３，１３′，３０，３０′，５０）、
（Ａ05）前記作動部材（１３，１３′，３０，３０′，
５０）を前記作動位置に移動させるように作用し、前記
ウエハ試料押圧用移動部材（６）を前記接近用バネ（１
１）の作用力に抗して前記試料自由位置に向けて移動さ
せる移動用バネ（２１）、（Ａ06）操作部材（ＣＢ）に
より押圧されたときに、前記作動位置から前記離隔位置
に移動する前記作動部材（１３，１３′，３０，３
０′，５０）。

【００１６】（第１発明の作用）前記構成を備えた第１
発明の試料ホルダ（１）に対して、通常は、操作部材
（ＣＢ）は前記作動部材（１３，１３′，３０，３
０′，５０）から離れた位置に保持される。この状態で
は、前記移動用バネ（２１）の作用により前記作動部材
（１３，１３′，３０，３０′，５０）は前記作動位置
（図５Ａ参照）に保持され、前記ウエハ試料押圧用移動
部材（６）は前記試料自由位置（図５Ａ参照）に保持さ
れる。

【００１７】前記試料載置面にウエハ試料（Ｗ）を載置
した状態（図５Ａ参照）で、前記操作部材（ＣＢ）によ
り前記作動部材（１３，１３′，３０，３０′，５０）
を押圧すると、前記作動部材（１３，１３′，３０，３
０′，５０）は、前記作動位置（図５Ａ参照）から前記
離隔位置（図５Ｂ参照）に移動する。前記作動部材（１
３，１３′，３０，３０′，５０）が前記離隔位置（図
５Ｂ参照）に移動すると、前記作動部材（１３，１
３′，３０，３０′，５０）は、前記ウエハ試料押圧用
移動部材（６）から離隔する。このとき、前記ウエハ試
料押圧用移動部材（６）は、接近用バネ（１１）により
前記試料自由位置（図５Ａ参照）から前記試料固定位置
（図５Ｂ参照）に向けて移動する。前記ウエハ試料押圧
用移動部材（６）が前記試料固定位置（図５Ｂ参照）に
移動したときには、前記ウエハ試料押圧用移動部材
（６）に支持される前記ウエハ試料押圧部材（８）は、
前記試料載置面に載置されたウエハ試料（Ｗ）を前記試
料位置決め部材（５）に押圧して位置決め固定する。

【００１８】この状態で、前記操作部材（ＣＢ）を操作
して、前記作動部材（１３，１３′，３０，３０′，５
０）を前記離隔位置（図５Ｂ参照）から前記作動位置
（図５Ｃ参照）に移動させると、前記作動部材（１３，
１３′，３０，３０′，５０）は、前記ウエハ試料押圧
用移動部材（６）を押圧して前記ウエハ試料押圧用移動
部材（６）を前記試料固定位置（図５Ｂ参照）から前記
試料自由位置（図５Ｃ参照）に移動させる。前記ウエハ
試料押圧用移動部材（６）が試料自由位置（図５Ｃ参
照）に移動したとき、前記ウエハ試料押圧部材（８）は
前記試料載置面上で位置決め固定されたウエハ試料
（Ｗ）から離隔する。この状態では前記ウエハ試料
（Ｗ）は、自由に移動できるので、前記試料固定位置
（図５Ｂ参照）で反りや撓み等の歪みが生じていてもそ
の歪みが無くなる。この状態で、前記静電チャック
（４）に、電圧を印加して前記試料載置面に載置された
ウエハ試料（Ｗ）を静電吸着すると、前記ウエハ試料
（Ｗ）が前記ウエハ試料押圧部材（８）により位置決め
部材に押圧されている状態で静電吸着される場合と比較
して、ウエハ試料（Ｗ）に反りや撓みのない状態で吸着
固定することができる。

【００１９】（第２発明）第２発明の試料固定方法は、
ウエハ試料（Ｗ）を載置する試料載置面を有し電圧印加
時に前記試料載置面に載置されたウエハ試料（Ｗ）を静
電吸着する静電チャック（４）と、前記ウエハ試料
（Ｗ）の外端が当接して位置決めされる試料位置決め部
材（５）と、ウエハ試料押圧部材（８）を支持し且つ前
記ウエハ試料押圧部材（８）が前記試料載置面上のウエ
ハ試料（Ｗ）を前記試料位置決め部材（５）に押圧して
位置決めする試料固定位置と前記ウエハ試料押圧部材
（８）が前記ウエハ試料（Ｗ）から離れてウエハ試料
（Ｗ）の移動が自由になる試料自由位置との間で移動可
能に支持されたウエハ試料押圧用移動部材（６）と、前
記ウエハ試料押圧用移動部材（６）を常時は前記試料自
由位置に移動させる移動用バネ（２１）とを備えた試料
ホルダ（１）にウエハ試料（Ｗ）を固定する試料固定方
法であって、下記の工程（Ｂ01）〜（Ｂ03）を備えたこ
とを特徴とする。 （Ｂ01）前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）を前記試
料自由位置に移動させた状態で前記試料載置面にウエハ
試料（Ｗ）を載置する試料載置工程、（Ｂ02）前記ウエ
ハ試料押圧用移動部材（６）を試料固定位置に移動させ
て前記ウエハ試料押圧部材（８）により前記試料載置面
上のウエハ試料（Ｗ）を前記試料位置決め部材（５）に
押圧して位置決めする試料押圧位置決め工程、（Ｂ03）
前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）を前記試料自由位
置に移動させることにより前記ウエハ試料押圧部材
（８）を前記位置決めされたウエハ試料（Ｗ）から離隔
させた状態で前記ウエハ試料（Ｗ）を静電吸着する静電
吸着工程。

【００２０】（第２発明の作用）前記構成を備えた第２
発明の試料固定方法では、試料載置工程において、前記
ウエハ試料押圧用移動部材（６）を前記試料自由位置に
移動させた状態で前記試料載置面にウエハ試料（Ｗ）を
載置する。次に試料押圧位置決め工程において、前記ウ
エハ試料押圧用移動部材（６）を試料固定位置に移動さ
せて前記ウエハ試料押圧部材（８）により前記試料載置
面上のウエハ試料（Ｗ）を前記試料位置決め部材（５）
に押圧して位置決めする。次に静電吸着工程において、
前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）を前記試料自由位
置に移動させることにより前記ウエハ試料押圧部材
（８）を前記位置決めされたウエハ試料（Ｗ）から離隔
させた状態で前記ウエハ試料（Ｗ）を静電吸着する。こ
の第２発明によれば、前記ウエハ試料（Ｗ）が前記ウエ
ハ試料押圧部材（８）により試料位置決め部材（５）に
押圧されている状態で静電吸着される従来の場合と比較
して、ウエハ試料（Ｗ）に反りや撓みのない状態で吸着
固定することができる。

【００２１】（第１発明の実施の形態１）第１発明の実
施の形態１は、前記第１発明の試料ホルダ（１）におい
て、下記の要件（Ａ07）を備えたことを特徴とする、
（Ａ07）前記ホルダベース（２）の下面に配置された第
１作動部材（１５，３２）および第２作動部材（１６，
３３）と前記第１および第２作動部材（１５，１６，３
２，３３）をそれらの一方が前記ウエハ試料押圧用移動
部材（６）に接近するように移動する時には他方が前記
ウエハ試料押圧用移動部材（６）から離隔するように連
結する連結部材（１４＋１７，３１）とを有する前記作
動部材（１３，１３′，３０，３０′，５０）であっ
て、前記第２作動部材（１６，３３）が前記ウエハ試料
押圧用移動部材（６）から離隔し且つ前記第１作動部材
（１５，３２）が前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）
を押圧して前記試料自由位置に移動させる第１作動位置
と、前記第１および第２作動部材（１５，１６，３２，
３３）が共に前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）から
離隔して前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）の前記試
料固定位置への移動を許す離隔位置と、前記第１作動部
材（１５，３２）が前記ウエハ試料押圧用移動部材
（６）から離隔し且つ前記第２作動部材（１６，３３）
が前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）を押圧して前記
試料自由位置に移動させる第２作動位置とに移動可能な
前記作動部材（１３，３０）。

【００２２】（第１発明の実施の形態１の作用）前記構
成を備えた第１発明の試料ホルダ（１）の実施の形態１
において、通常は、前記操作部材（ＣＢ）は前記作動部
材（１３，３０）から離れた位置に保持される。する
と、前記移動用バネ（２１）の作用により前記作動部材
（１３，３０）は前記第１作動位置（図５Ａ参照）に保
持され、前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）は前記試
料自由位置（図５Ａ参照）に保持されている。本実施の
形態１においてウエハ試料（Ｗ）を前記試料ホルダ
（１）に吸着固定するための操作部材（ＣＢ）の操作方
法が３つある。

【００２３】（第１発明の実施の形態１における操作部
材（ＣＢ）の操作方法１およびその作用）実施の形態１
の操作部材（ＣＢ）の操作方法１は、前記第１発明の作
用と同様の操作部材（ＣＢ）の操作（図５参照）を行
い、同様の効果を得るので説明は省略する。

【００２４】（第１発明の実施の形態１における操作部
材（ＣＢ）の操作方法２およびその作用）前記図５Ａの
状態において、操作部材（ＣＢ）により前記作動部材
（１３，３０）を押圧すると、前記作動部材（１３，３
０）は前記第１作動位置（図５Ａ参照）から前記離隔位
置（図５Ｂ参照）に移動する。さらに操作部材（ＣＢ）
によって前記作動部材（１３，３０）を押圧すると、前
記作動部材（１３，３０）は前記離隔位置（図５Ｂ参
照）から前記第２作動位置（図６Ａ参照）に移動する。
前記第２作動位置（図６Ａ参照）において、前記試料載
置面にウエハ試料（Ｗ）を載置し、前記操作部材（Ｃ
Ｂ）を操作して−Ｙ方向に移動させると前記作動部材
（１３，３０）は、移動用バネ（２１）により前記離隔
位置（図６Ｂ参照）に移動する。この時、前記作動部材
（１３，３０）は、前記第１および第２作動部材（１
５，１６，３２，３３）が共に前記ウエハ試料押圧用移
動部材（６）から離隔して前記ウエハ試料押圧用移動部
材（６）は、前記試料固定位置（図６Ｂ参照）へ移動す
る。このとき、前記ウエハ試料押圧部材（８）は前記試
料載置面上のウエハ試料（Ｗ）を前記試料位置決め部材
（５）に押圧して位置決め固定する。

【００２５】この状態で、前記操作部材（ＣＢ）を操作
して、前記作動部材（１３，３０）を第１作動位置（図
６Ｃ参照）に移動させると、前記作動部材（１３，３
０）は、前記第２作動部材（１６，３３）が前記ウエハ
試料押圧用移動部材（６）から離隔し且つ前記第１作動
部材（１５，３２）が前記ウエハ試料押圧用移動部材
（６）を押圧して前記試料自由位置（図６Ｃ参照）に移
動させる。このとき、前記静電チャック（４）に、電圧
を印加して前記試料載置面に載置されたウエハ試料
（Ｗ）を静電吸着すると、前記ウエハ試料（Ｗ）が前記
ウエハ試料押圧部材（８）により位置決め部材に押圧さ
れている状態で静電吸着される場合と比較して、ウエハ
試料（Ｗ）に反りや撓みのない状態で吸着固定すること
ができる。

【００２６】（第１発明の実施の形態１における操作部
材（ＣＢ）の操作方法３およびその作用）操作部材（Ｃ
Ｂ）を操作せず、前記試料載置面にウエハ試料（Ｗ）を
載置した後、前記操作部材（ＣＢ）により前記作動部材
（１３，３０）が押圧されると、前記作動部材（１３，
３０）は前記第１作動位置（図５Ａ参照）から前記離隔
位置（図５Ｂ参照）に移動する。このとき、前記ウエハ
試料押圧用移動部材（６）は前記試料固定位置（図５Ｂ
参照）へ移動し、ウエハ試料（Ｗ）は位置決め固定され
る。

【００２７】この状態で、前記操作部材（ＣＢ）を操作
して、前記作動部材（１３，３０）を第２作動位置（図
６Ａ参照）に移動させると、前記第１作動部材（１５，
３２）が前記ウエハ試料押圧用移動部材（６）を押圧し
て前記試料自由位置（図６Ａ参照）に移動させる。この
とき、前記ウエハ試料（Ｗ）が前記ウエハ試料押圧部材
（８）により押圧されていないので、反りや撓みのない
状態で吸着固定することができる。

【００２８】その後、前記作動部材（１３，３０）を前
記第２作動位置（図６Ａ参照）から前記離隔位置（図６
Ｂ参照）を経て前記第１作動位置（図６Ｃ参照）に移動
するとき、前記離隔位置（図６Ｂ参照）において、ウエ
ハ試料（Ｗ）は前記ウエハ試料押圧部材（８）によって
前記試料位置決め部材（５）に押圧される。しかし、既
に反りや撓みのない状態で吸着固定されているため、前
記離隔位置においてウエハ試料（Ｗ）に反りや撓みが発
生し難く、位置決めされた位置からも移動しない。した
がって、前記操作部材（ＣＢ）が前記作動部材（１３，
３０）から離れた前記第１作動位置（図６Ｃ参照）にお
いてウエハ試料（Ｗ）は反りや撓みがなく、位置決めし
た位置に吸着固定されている。

【００２９】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施の形
態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実
施例に限定されるものではない。

【００３０】（実施例１）図１は真空試料室（真空作業
室）内に配置されたＸＹテーブルおよび回転テーブル
と、その上面の試料ホルダの説明図で、操作棒が試料ホ
ルダから離れている状態の説明図である。図２は真空試
料室（真空作業室）内に配置されたＸＹテーブルおよび
回転テーブルと、その上面の試料ホルダの説明図で、操
作棒が試料ホルダに当接している状態の説明図である。

【００３１】図１および図２において、真空試料室Ａ内
に配置された試料ステージＵ3は、ウエハＷを検査用走
査型電子顕微鏡ＳＥＭ１により検査を行う位置に移動さ
せるための装置である。試料ステージＵ3は、Ｙテーブ
ルＳＴyおよびＸテーブルＳＴxを有するＸＹテーブル
（ＳＴx＋ＳＴy）と、回転テーブルＳＴrとを有してい
る。試料ステージＵ3の前記ＹテーブルＳＴy上には前記
ＸテーブルＳＴxがＸ軸方向（前後方向）に移動可能に
支持されている。前記ＸテーブルＳＴx上にはベアリン
グＳＴbを介して円形の回転テーブルＳＴrが回転可能に
支持されている。回転テーブルＳＴrにはガイド溝Ｇｂ
が形成されている。また前記回転テーブルＳＴrはその
外周にギヤＧ１が形成されており、ギヤＧ１は回転テー
ブル駆動モータ（図示せず）により回転するウオームギ
ヤＧ２と噛み合っている。そして回転テーブルＳＴr
は、前記ウオームギヤＧ２の回転にともなって回転する
ように構成されている。

【００３２】図１、図２において、回転テーブルＳＴr
には、図示しない搬送アームにより真空試料室Ａ内に搬
送されたウエハＷを受け取ったり、作業済のウエハＷを
搬送アーム上に移動させるための上下動テーブルＴが上
下動可能に支持されている。前記上下動テーブルＴの下
端部にはバネ受けプレートＰｂが固定されている。バネ
受けプレートＰｂと前記回転テーブルＳＴr下面との間
には圧縮バネＳが配置されている。前記圧縮バネＳによ
り前記上下動テーブルＴは、常時下方に付勢され（押し
下げられ）ている。

【００３３】前記上下動テーブルＴの下面には、扇形の
テコＬが水平軸周りに回転可能に支持されている。前記
テコＬのテーブル支持面Ｌａは上下動テーブルＴの下端
を支持している。テコＬの被押圧面Ｌｂには、ナットＮ
先端のボールＮａが当接している。ナットＮには被ガイ
ドバーＮｇが一体的に設けられており、被ガイドバーＮ
ｇは前記回転テーブルＳＴrに形成された前記ガイド溝
Ｇｂに係合している。

【００３４】前記回転テーブルＳＴrの下面には上下動
テーブル駆動モータＭＴが支持されており、上下動テー
ブル駆動モータＭＴにより回転するボルト軸（ネジが形
成された軸）Ｂｊは前記ナットＮと螺合している。した
がって、前記上下動テーブル駆動モータＭＴが回転した
ときにはボルト軸Ｂｊが回転し、ナットＮおよび被ガイ
ドバーＮｇは前記ガイド溝Ｇｂに沿って移動し、そのと
き前記テコＬが前記水平軸周りに回動するように構成さ
れている。そして、テコＬの回動によりテコＬのテーブ
ル支持面Ｌａが上下し、それに連動して前記上下動テー
ブルＴが上下動するように構成されている。なお、前記
ナットＮおよび被ガイドバーＮｇの移動範囲の両端に
は、前記被ガイドバーＮｇとの接触により作動するリミ
ットスイッチＬＳ1，ＬＳ2が配置されており、前記ナッ
トＮの移動範囲は制限されている。

【００３５】図１、図２において、真空試料室Ａを形成
する外壁Ｕｏの左側壁部ＵＬにはウエハ試料Ｗを位置決
め操作する操作部材としての操作棒ＣＢをスライド可能
に支持する操作棒支持部材Ｈが装着されている。

【００３６】（試料ホルダ）図３は本発明の実施例１の
試料ホルダの作動部材が第２作動位置に移動した状態の
説明図で、図３Ａは試料ホルダの上面図であり、図３Ｂ
は図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。図４は本発明
の実施例１の試料ホルダの位置決め固定操作時に作動す
る部材の要部説明図である。

【００３７】図３において、試料ホルダ１はホルダベー
ス２を有している。前記ホルダベース２は中央部に前記
上下動テーブルＴが上下動する時に通過するための円孔
２ａが形成されている。前記ホルダベース２は四角形か
ら四隅が切り取られた形状をしており、右側（＋Ｙ側）
の前後両側部にはローラ対向面２ｂが形成されている。
前記ホルダベース２の下面には右側下面２ｃ、左側下面
２ｄおよび前後一対の接触下面２ｅで形成されている。
前記接触下面２ｅは前記回転テーブルＳＴr上面に接触
して支持されている。前記右側下面２ｃおよび左側下面
２ｄは前記回転テーブルＳＴrに接触しないように形成
されており、前記右側下面２ｃは左側下面２ｄより突出
して形成されている。前記試料ホルダ１は、ホルダベー
ス２の四隅に設けられた貫通孔を貫通し、前記接触下面
２ｅを貫通する固定ネジ３によって、回転テーブルＳＴ
rに固定されている。前記固定ネジ３のネジ頭は、前記
ホルダベース２の上面から突出しないように前記ホルダ
ベース２上面に形成された孔の中に収容されている。

【００３８】ホルダベース２の上面には、ウエハ試料Ｗ
を載置する試料載置面を有する静電チャック４が、前記
円孔２ａを囲むように設けられている。前記静電チャッ
ク４は図示しない電圧印加手段によって電圧が印加され
た時に静電気を作用させ、上面に載置されたウエハ試料
Ｗを静電吸着し固定する。また、前記ホルダベース２上
面の左側（−Ｙ側）にはウエハ試料Ｗのオリフラ（直線
状側端）を位置決めするための一対の位置決めピン５が
設けられている。

【００３９】図３、図４において、左右方向（Ｙ軸方
向）に延びる前後二対（計４つ）の長孔６ａ（図３Ａ、
図４参照）が設けられたウエハ試料押圧用移動部材とし
てのローラ支持板６が、前記長孔６ａを貫通するスライ
ド範囲規制ネジ７によって前記ホルダベース２の右側下
面２ｃにスライド移動可能に支持されている（図３Ｂ参
照）。前記長孔６ａおよびスライド範囲規制ネジ７によ
ってローラ支持板６のスライド移動の範囲が試料自由位
置（試料が自由に移動できる位置、図５Ａ、図５Ｃの位
置）と試料固定位置（試料が位置決めされる位置、図５
Ｂの位置）との間に規制される。前記ローラ支持板６の
右側（＋Ｙ側）部分にはホルダベース２の外側に向けて
前後（Ｘ軸方向）に突出する前後一対の突出部６ｂが形
成されており、各突出部６ｂの上面側に試料押圧部材と
しての押圧ローラ８が回転可能に支持されている。前記
押圧ローラ８は前記試料載置面よりも上方（＋Ｚ方向）
に突出して形成されている。

【００４０】前記ローラ支持板６が前記試料自由位置か
ら前記試料固定位置に移動する際に、ローラ支持板６に
支持された押圧ローラ８は前記ローラ対向面２ｂに向か
って移動し、ウエハ試料Ｗを押圧する。すると、押圧ロ
ーラ８によって押圧されたウエハ試料Ｗのオリフラが前
記位置決めピン５に当接して、ウエハ試料Ｗが位置決め
される。尚、前記位置決め時にウエハ試料Ｗが上方にず
れないように、前記押圧ローラ８のホルダベース２の上
面より突出した部分と前記位置決めピン５は上方（＋Ｚ
方向）から下方（−Ｚ方向）にかけて細くなるように形
成されている（図３Ｂ参照）。

【００４１】前記ローラ支持板６の左端部には下側に折
り曲げられた押圧部材当接部６ｃが形成されており（図
３Ｂ参照）、前記押圧部材当接部６ｃの上端に上方（＋
Ｚ方向）に突出して前後一対の支持板側ピン９が設けら
れている（図３Ｂ参照）。前記ホルダベース２の左側下
面２ｄに、前記支持板側ピン９に対向する前後一対のベ
ース側ピン１０が設けられている。前記一対の支持板側
ピン９と前記一対のベース側ピン１０との間に接近用バ
ネとしての一対の支持板引張りバネ１１が連結されてい
る。前記支持板引張りバネ１１によって前記ローラ支持
板６は前記ホルダベース２の内側（−Ｙ方向）に向けて
常時引っ張られている。前記支持板引張りバネ１１は、
静電チャック４に残留電荷があり、この残留電荷によっ
てウエハ試料Ｗと静電チャック４との間に大きな摩擦抵
抗がある状態においても、ウエハ試料Ｗを押圧移動させ
る引張り力を作用させる。

【００４２】図３、図４において、前記ホルダベース２
の左側下面２ｄに作動部材固定用のボルト１２により、
作動部材１３が前記ボルト１２の回りに回転可能に支持
されている。前記作動部材１３は主連結部材１４を有し
ている。前記主連結部材１４は、中央部および前後両端
の連結部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ（図３Ｂ、図４参照）
と、前記各連結部１４ａ，１４ｂ，１４ｃの間を接続す
る直線状の接続部１４ｄとによって構成され、前記各部
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは一体に形成されてい
る。前記連結部１４ａ，１４ｂ，１４ｃは円筒状でその
円筒の中心部に貫通孔を有する。

【００４３】前記中央部連結部１４ａはその貫通孔を鉛
直に貫通する前記ボルト１２回りに回転可能である。前
記主連結部材１４が回転作動中にブレを生じないよう
に、中央部連結部１４ａの上面は前記ホルダベース２の
左側下面２ｄに接触している。前側連結部１４ｂおよび
後側連結部１４ｃは、それらの上面と前記ホルダベース
２の左側下面２ｄとの間に回転作動時に摩擦抵抗が生じ
ないようにするため、前記上面と左側下面２ｄとが接触
しないよう形成されている（図３Ｂ参照）。なお、前記
各連結部１４ａ，１４ｂ，１４ｃの上面と前記左側下面
２ｄとの間にスペーサ等を用いて回転作動の安定と接触
による摩擦抵抗を低減させるように構成することも可能
である。また、接続部１４ｄの、前側連結部１４ｂの近
傍には、バネ連結孔１４ｅ（図４参照）が形成されてい
る。

【００４４】前記作動部材１３は同じ長さの前後一対の
ローラ支持板押圧棒１５，１６を有している。後側（−
Ｘ側）のローラ支持板押圧棒１５は、作業（ウエハ試料
Ｗの位置決め、検査、描画等）を行っていない通常時
に、ローラ支持板６の押圧部材当接部６ｃに当接してロ
ーラ支持板６を押圧する第１作動部材としての通常時押
圧棒１５である。また、前側（＋Ｘ側）のローラ支持板
押圧棒１６は、ウエハ試料Ｗの位置決めの過程でローラ
支持板６の押圧部材当接部６ｃに当接してローラ支持板
６を押圧する第２作動部材としての作動時押圧棒１６で
ある。

【００４５】前記通常時押圧棒１５は、ローラ支持板側
の端部である支持板押圧端部１５ａと、その逆側の端部
である連結端部１５ｂと、ピン貫通小孔１５ｃとを有す
る。前記支持板押圧端部１５ａは半球形状に形成されて
おり（図３Ｂ、図４参照）、前記通常時にローラ支持板
６の押圧部材当接部６ｃに当接し、ローラ支持板６を右
方（＋Ｙ方向）に押圧する。前記連結端部１５ｂはピン
貫通孔を有する円筒状に形成されており、前記主連結部
材１４の後側連結部１４ｃの下面にピンで回転自由に連
結されている（図３Ｂ、図４参照）。前記ピン貫通小孔
１５ｃは、通常時押圧棒１５の中央から連結端部１５ｂ
寄りに形成されている。

【００４６】作動時押圧棒１６も、前記通常時押圧棒１
５と同様に、支持板押圧端部１６ａ（図３Ｂ、図４参
照）と、連結端部１６ｂ（図４参照）と、ピン貫通小孔
１６ｃ（図４参照）とを有しており、前記連結端部１６
ｂは前記主連結部材１４の前側連結部１４ｂの下面にピ
ンで回転自由に連結されている（図４参照）。

【００４７】図３、図４において、前記作動部材１３は
主連結部材１４と同じ長さの補助連結板１７を有してい
る。前記補助連結板１７の前後両端には、ピン貫通小孔
を有する前側接続部１７ａおよび後側接続部１７ｂが形
成されている。前記前側接続部１７ａは前記作動時押圧
棒１６のピン貫通小孔１６ｃの下面にピンで回転自由に
接続され、後側接続部１７ｂは通常時押圧棒１５のピン
貫通小孔１５ｃの下面にピンで回転自由に接続される。
また、前記ローラ支持板側連結板１７は上下動テーブル
Ｔ（図１、図２参照）が前記ホルダベース２の円孔２ａ
を通過する時に邪魔にならないように配置される。前記
主連結部材１４と補助連結板１７とによって連結部材
（１４＋１７）が構成される。また、前記連結部材（１
４＋１７）と、前記前後一対のローラ支持板押圧棒１
５、１６とによって作動部材１３が構成されている。

【００４８】前記構成を備えた作動部材１３では、前記
連結部材（１４＋１７）と、前後一対のローラ支持板押
圧棒１５、１６とによって平行リンクが形成される。し
たがって、前記作動部材１３の平行リンクがボルト１２
（図３Ｂ、図４参照）回りに回転すると、通常時押圧棒
１５および作動時押圧棒１６は、それらの一方が前記ロ
ーラ支持板６から離隔する時は、他方がローラ支持板６
に接近する。

【００４９】前記ホルダベース２の左側下面２ｄにおけ
る前記バネ連結孔１４ｅ（図４参照）と対向する位置
に、バネ連結ピン２０が固定状態で支持されている（図
３Ｂ参照）。前記バネ連結ピン２０とバネ連結孔１４ｅ
との間は移動用バネとしての作動部材引張りバネ２１で
連結されている（図３Ｂ、図４参照）。前記作動部材１
３に操作部材ＣＢによる力が作用していない場合、前記
作動部材引張りバネ２１が、常時、バネ連結孔１４ｅに
引張り力を作用させることによって、主連結部材１４の
前部が左方（−Ｙ方向）に引っ張られる。すると、前記
作動部材１３がボルト１２（図３Ｂ、図４参照）回りに
回転し、前記一対の支持板引張りバネ１１の作用力に抗
して、通常時押圧棒１５の支持板押圧端部１５ａがロー
ラ支持板６の押圧部材当接部６ｃに当接し、ローラ支持
板６が押圧され、前記試料自由位置（図５Ｃの位置）に
保持される。したがって、前記作動部材引張りバネ２１
の引張り力は、前記一対の支持板引張りバネ１１の引張
り力に抗して、ローラ支持板６を前記試料自由位置（図
５Ｃの位置）に保持する力を有する。

【００５０】（実施例１の作用）図５は本発明の実施例
１の試料ホルダの操作時の作用説明図であり、図５Ａは
作動部材が位置決め前の第１作動位置に移動している状
態を示す図、図５Ｂは離隔位置に移動した状態を示す
図、図５Ｃは位置決め後の第１作動位置に移動した状態
を示す図である。前記構成を備えた実施例１の試料ホル
ダ１では、作業（ウエハ試料Ｗの位置決め、検査、描画
等）が行われていない通常時、操作棒ＣＢは試料ホルダ
１から離れた位置に保持されている。このとき、上述の
作動部材引張りバネ２１の作用によって、通常時押圧棒
１５の支持板押圧端部１５ａがローラ支持板６の押圧部
材当接部６ｃを押圧してローラ支持板６が試料自由位置
（図５Ａの位置）に保持され、作動部材１３の平行リン
クは第１作動位置（ローラ支持板６を試料自由位置に保
持する作動部材１３の位置、図５Ａの位置）に保持され
る。

【００５１】ウエハ試料Ｗの位置決めをする前、前記ロ
ーラ支持板６は作動部材引っ張りバネ２１により試料自
由位置（図５Ａの位置）に保持されているので、この状
態でウエハ試料Ｗの着脱が可能である。図示しないウエ
ハ試料搬送アームにより回転テーブルＳＴｒ上に支持さ
れた試料ホルダ１の上方にウエハ試料Ｗを搬送し、上下
動駆動モータＭＴを回転させると、テコＬが回動して、
上下動テーブルＴが上昇し、上下動テーブルＴの上面が
試料ホルダ１の試料載置面よりも突出する。このとき、
前記上下動テーブルＴの上面にウエハ試料Ｗが載置され
る。前記ウエハ試料搬送アームは特開平９−１５９５８
３号公報や特開２００１−５６３０６号公報等に記載さ
れている従来技術である。ウエハ試料Ｗ載置後、上下動
駆動モータＭＴを逆回転させると、テコＬが逆に回動し
て、前記上下動テーブルＴが下降し、上下動テーブルＴ
の上面に載置されていたウエハ試料Ｗは試料ホルダ１の
試料載置面（静電チャック４の上面）に載置される。

【００５２】ウエハ試料Ｗを試料載置面に載置した後、
操作棒ＣＢを試料ホルダ１に向けて押し込む。すると、
操作棒支持部材Ｈおよび図示しないガイド部材によって
ガイドされて前記操作棒ＣＢは前記主連結部材１４の前
側連結部１４ｂに当接し、前記作動部材引張りバネ２１
の引張り力に抗しながら、前側連結部１４ｂを押圧す
る。そして、ウエハ試料Ｗの位置決め開始前の前記第１
作動位置（図５Ａの位置）から離隔位置（通常時押圧棒
１５と作動時押圧棒１６がともにローラ支持板６から離
隔する位置、図５Ｂの位置）に作動部材１３が回転作動
するまで、操作棒ＣＢを押し込む。この時、作動部材１
３の平行リンクはボルト１２の回りに反時計方向に回転
作動する。この回転動作に伴い、ローラ支持板６は最初
の試料自由位置（図５Ａの位置）から前記試料固定位置
（図５Ｂの位置）に移動する。なお、このとき、操作棒
ＣＢを押し込み過ぎて、作動部材１３が前記離隔位置
（図５Ｂの位置）から後述する第２作動位置（図６Ａの
位置）に移動しないように、操作棒ＣＢの棒の一部や、
前記作動時押圧棒１６とローラ支持板６との間にストッ
パー等を設けることが可能である。

【００５３】すると、ローラ支持板６をホルダベース２
の外側（＋Ｙ方向）に向けて押圧する力が作用しないの
で、前記ローラ支持板６は前記一対の支持板引張りバネ
１１によって引っ張られて前記試料自由位置（図５Ａの
位置）から試料固定位置（図５Ｂの位置）に移動する。
このとき、ローラ支持板６に支持された押圧ローラ８が
ウエハ試料Ｗを押圧する方向に移動し、押圧されたウエ
ハ試料Ｗのオリフラ（直線状端部）が位置決めピン５に
当接する。なお、ウエハ試料Ｗと試料載置面との間に残
留電荷による強い摩擦抵抗が生じていても、支持板引張
りバネ１１の引張り力によって、ウエハ試料Ｗはそのオ
リフラが位置決めピン５に当接するまで滑り移動する。
したがって、ウエハ試料Ｗは前後一対の位置決めピン５
および前後一対の押圧ローラ８によって４点で固定保持
されて、位置決めされる。このとき、ウエハ試料Ｗは薄
い円板状なので、押圧ローラ８による押圧力が強い場
合、ウエハ試料Ｗに反りや撓みが生じることがある。

【００５４】ウエハ試料Ｗの位置決め後、操作棒ＣＢを
引き出し、操作棒ＣＢを前側連結部１４ｂから離隔、す
なわち前記作動部材１３から離隔させると、作動部材引
張りバネ２１の作用によって、作動部材１３は前記離隔
位置（図５Ｂの位置）から第１作動位置（図５Ｃの位
置）に移動する。このとき、前記ローラ支持板６の押圧
部材当接部６ｃは前記通常時押圧棒１５の支持板押圧端
部１５ａに押圧されるので、ローラ支持板６は前記試料
固定位置（図５Ｂの位置）から試料自由位置（図５Ｃの
位置）に移動し、保持される。前記試料自由位置（図５
Ｃの位置）において、ウエハ試料Ｗは押圧ローラ８によ
って押圧されておらず、他にウエハ試料Ｗに作用する力
はないので、ウエハ試料Ｗに反りや撓みは発生しない。
また、試料固定位置（図５Ｂの位置）において反りや撓
みが生じていても、押圧ローラ８による押圧力がなくな
るので反りや撓みが解消する。

【００５５】この状態で静電チャック４に電圧を印加し
てウエハ試料Ｗを静電吸着すると、ウエハ試料Ｗは反り
や撓みがなく、適切に位置決めされた状態で前記試料ホ
ルダ１に固定される。静電吸着後、前記試料ステージＵ
3を操作して前記検査用走査型電子顕微鏡ＳＥＭ１でウ
エハ試料Ｗの検査行うと、ウエハ試料Ｗの反りや撓みの
影響が無く、正確な検査結果が得られる。

【００５６】したがって、実施例１の試料ホルダ１を使
用することによって、操作棒ＣＢを１度抜き差しするだ
けで、ウエハ試料Ｗを反りや撓みがなく試料ホルダ１に
位置決め固定することができる。

【００５７】検査終了後は、前記静電チャック４への電
圧の印加を停止すると、ローラ支持板６は試料自由位置
（図５Ｃの位置）に保持されているので、ウエハ試料Ｗ
を押圧する力が作用せず、ウエハ試料Ｗは自由に着脱で
きる。したがって、操作棒ＣＢを操作せず、この状態の
まま上下動テーブルＴを上昇させれば、前記ウエハ試料
Ｗは試料載置面から持ち上げられ、図示しない前記ウエ
ハ試料搬送手段によって検査等の作業を終了したウエハ
試料Ｗを搬送することができる。したがって、操作棒Ｃ
Ｂを操作せずにウエハ試料Ｗを取り外すことができるた
め、実施例１の試料ホルダ１にウエハ試料Ｗを装着し、
反りや撓みがなく位置決め固定して、検査し、取り外す
全体の作業を通じて、操作棒ＣＢは一度操作するだけよ
い。

【００５８】（実施例１の操作棒ＣＢの操作方法の変更
例１）前記実施例１の構成を備えた試料ホルダ１は、操
作棒ＣＢを、前記図５で説明した実施例１の操作とは異
なるように操作をしても、前記実施例１と同様の作用効
果を得ることが可能である。図６は本発明の実施例１の
試料ホルダの操作方法の変更例１の作用説明図であり、
図６Ａは作動部材が第２作動位置に移動した状態を示す
図、図６Ｂは離隔位置に移動した状態を示す図、図６Ｃ
は位置決め後の第１作動位置に移動した状態を示す図で
ある。

【００５９】ウエハ試料Ｗの位置決めをする時、作動部
材１３が、位置決め開始前の前記第１作動位置（図５Ａ
の位置）から第２作動位置（作動時押圧棒１６の支持板
押圧端部１６ａがローラ支持板６の押圧部材当接部６ｃ
を押圧して、ローラ支持板６を試料自由位置に移動させ
る位置、図６Ａの位置）に回転作動するまで、操作棒Ｃ
Ｂを押し込む。この時、ローラ支持板６は最初の試料自
由位置（図５Ａの位置）から一度前記試料固定位置（図
５Ｂの位置）に移動した後、作動時押圧棒１６によって
押圧されて試料自由位置（図６Ａの位置）に移動する。

【００６０】この状態で、ウエハ試料Ｗを試料ホルダ１
の試料載置面上に載置する。その後、操作棒ＣＢを引き
出すと、前記作動部材１３は前記第２作動位置（図６Ａ
の位置）から離隔位置（図６Ｂの位置）に回転作動し、
ローラ支持板６は前記試料自由位置（図６Ａの位置）か
ら試料固定位置（図６Ｂの位置）に移動する。このと
き、ウエハ試料Ｗは位置決めされる。

【００６１】さらに操作棒ＣＢを引き出すと、作動部材
１３は前記離隔位置（図６Ｂの位置）から前記第１作動
位置（図６Ｃの位置）に移動する。したがって、ローラ
支持板６は試料自由位置（図６Ｃの位置）に移動するた
め、ウエハ試料Ｗは反りや撓みがなく、適切に位置決め
された状態で前記試料ホルダ１に固定される。

【００６２】したがって、この変更例１の操作方法を行
うことによっても、図６に示したように操作棒ＣＢを１
度抜き差しするだけで、ウエハ試料Ｗを反りや撓みがな
く試料ホルダ１に位置決め固定することができる。ま
た、試料ホルダ１にウエハ試料Ｗを装着し、反りや撓み
がなく位置決め固定して、検査し、取り外す全体の作業
を通じて、操作棒ＣＢは一度操作するだけよい。

【００６３】（実施例１の操作棒ＣＢの操作方法の変更
例２）実施例１の操作棒ＣＢの操作方法の変更例２で
は、図５Ａの状態（通常時押圧棒１５が押圧部材当接部
６ｃを押圧する第１作動位置に移動した状態）でウエハ
試料Ｗを試料ホルダ１の試料載置面上に載置する。その
後、操作棒ＣＢを操作して、前記作動部材１３を前記第
１作動位置（図５Ａの位置）から離隔位置（図５Ｂの位
置）を経て第２作動位置（図６Ａの位置）に回転作動さ
せる。この時、前記ローラ支持板６は試料自由位置（図
５Ａの位置）から試料固定位置（図５Ｂの位置）を経て
試料自由位置（図６Ａの位置）に移動する。したがっ
て、ウエハ試料Ｗは前記試料固定位置（図５Ｂの位置）
において位置決め固定され、試料自由位置（図６Ａの位
置）において押圧力から開放されて、静電吸着される。

【００６４】検査、描画等を行うためには、前記試料ス
テージＵ3のＸＹテーブル（ＳＴx＋ＳＴy）と、回転テ
ーブルＳＴrを操作しなくてはならない。試料ステージ
Ｕ3に支持されている試料ホルダ１は試料ステージＵ3の
操作に伴い移動してしまうため、操作棒ＣＢで作動部材
１３を押圧した図６Ａの状態では試料ステージＵ3を操
作できない。したがって、検査、描画等を行うために
は、前記操作棒ＣＢを試料ホルダ１から離隔させなけれ
ばならない。

【００６５】そこで、前記図６Ａの状態で静電吸着後、
押し込んだ操作棒ＣＢを引き出し、前記作動部材１３か
ら離隔させる。この時、前記作動部材１３は第２作動位
置（図６Ａの位置）から離隔位置（図６Ｂの位置）を経
て、第１作動位置（図６Ｃの位置）に移動する。前記離
隔位置（図６Ｂの位置）において、前記ローラ支持板６
は試料固定位置（図６Ｂの位置）に移動するため、ウエ
ハ試料Ｗが押圧される。しかし、既にウエハ試料Ｗは反
りや撓みのない状態で静電吸着されているため、この押
圧によってウエハ試料Ｗに反りや撓みは発生しない。し
たがって、この後ローラ支持板６が試料自由位置（図５
Ｃの位置）に移動した時にウエハ試料Ｗに反りや撓みは
生じない。

【００６６】したがって、この変更例２の操作を行うこ
とによって、操作棒ＣＢを１度抜き差しするだけで、ウ
エハ試料Ｗを反りや撓みがなく試料ホルダ１に位置決め
固定することができる。また、試料ホルダ１にウエハ試
料Ｗを装着し、反りや撓みがなく位置決め固定して、検
査し、取り外す全体の作業を通じて、操作棒ＣＢは一度
操作するだけよい。

【００６７】（実施例２）図７は本発明の実施例２の試
料ホルダの作動部材が第２作動位置にした状態の説明図
で、前記実施例１の図３に対応する図である。図７Ａは
試料ホルダの上面図であり、図７Ｂは図７ＡのＶIIＢ−
ＶIIＢ線断面図、図７Ｃは図７ＡのＶIIＣ−ＶIIＣ線断
面図である。図８は本発明の実施例２の試料ホルダの位
置決め固定操作時に作動する部材の要部説明図であり、
前記実施例１の図４に対応する図である。図９は本発明
の実施例２の試料ホルダの操作時の作用説明図であり、
図９Ａは作動部材が第２作動位置に移動している状態を
示す図、図９Ｂは離隔位置に移動している状態を示す
図、図９Ｃは第１作動位置に移動している状態を示す図
であり、前記実施例１の図６に対応する図である。な
お、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成
要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その
詳細な説明を省略する。この実施例２は、下記の点で前
記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１
と同様に構成されている。

【００６８】図７ないし図９において、作動部材３０
は、連結部材としてのピニオンギア３１と、前記ピニオ
ンギア３１の後側（−Ｘ側）に配置される第１作動部材
としての通常時押圧ラック３２と、前記ピニオンギア３
１の前側（＋Ｘ側）に配置される第２作動部材としての
作動時押圧ラック３３とによって構成されている。前記
ピニオンギア３１はホルダベース２の左側下面２ｄにス
ペーサ３４を介してピニオンギア固定ボルト３１ａによ
って回転自由に支持されている（図７Ｂ、図７Ｃ参
照）。

【００６９】図７、図８において、前記通常時押圧ラッ
ク３２は、左右方向（Ｙ方向）に延びて上下方向（Ｚ軸
方向）に幅広な板状の接続部３２ａと、前記接続部３２
ａの上端に沿って後方（−Ｘ方向）に突出するホルダベ
ース対向部３２ｂと、前記接続部３２ａの下端に沿って
前方（＋Ｘ方向）に突出してその前端には前記ピニオン
ギア３１と噛み合うラックの歯が設けられた噛み合い歯
支持部３２ｃとによって構成されている（図７Ｃ参
照）。前記ホルダベース対向部３２ｂには、通常時押圧
ラック３２のスライド移動可能な範囲を決定し、且つス
ライド移動する軌道をガイドする左右一対の長孔３２ｄ
が形成されている（図８参照）。前記通常時押圧ラック
３２は長孔３２ｄを貫通するネジ３５（図７Ｃ、図８参
照）によってホルダベース２の左側下面２ｄにスライド
可能に支持されている（図７Ｃ参照）。前記接続部３２
ａの右端（＋Ｙ端）はローラ支持板６の押圧部材当接部
６ｃと当接して、これを押圧する。前記ホルダベース対
向部３２ｂの右端はローラ支持板６に当接しないように
右端部に向けてテーパがかかっており、噛み合い歯支持
部３２ｃの右端は接続部３２ａの途中までしか設けられ
ておらず、ローラ支持板６に当接しない。

【００７０】前記作動時押圧ラック３３は、前記通常時
押圧ラック３２と前後対称の形状をしており、接続部３
３ａと、前側（＋Ｘ側）に突出したホルダベース対向部
３３ｂおよび後側（−Ｘ側）に突出した噛み合い歯支持
部３３ｃとによって構成されている（図８参照）。ま
た、前記ホルダベース対向部３３ｂには長孔３３ｄが形
成されており、前記長孔３３ｄを貫通するネジ３６（図
７Ｃ、図８参照）によって前記作動時押圧ラック３３は
ホルダベース２の左側下面２ｄにスライド可能に支持さ
れている。操作棒ＣＢは前記ホルダベース対向部３３ｂ
の後端に当接し（図７Ａ、図８参照）、作動時押圧ラッ
ク３３を左右方向にスライド移動させる。前記接続部３
３ａの左端（−Ｙ端）付近には、前後方向に貫通するバ
ネ連結孔３３ｅ（図８参照）が形成されており、前記バ
ネ連結孔３３ｅに作動部材引張りバネ２１の一端が連結
されている。したがって、前記作動時押圧ラック３３は
前記作動部材引張りバネ２１によって常時左方（−Ｙ方
向）に引っ張られている。

【００７１】前記ピニオンギア３１と前後一対のラック
（通常時押圧ラック３２および作動時押圧ラック３３）
とによって構成される作動部材３０は、実施例１の作動
部材１３の平行リンクと同様の動作をする。したがっ
て、図９Ｂの状態から図９Ｃの状態に移行する時のよう
に、通常時押圧ラック３２がローラ支持板６に接近する
と、噛み合う歯によってピニオンギア３１がボルト３１
ａ回りに反時計方向に回転し、作動時押圧ラック３３が
通常時押圧ラック３２と反対の方向、即ちローラ支持板
６から離隔する方向に移動する。逆に、図９Ｂの状態か
ら図９Ａの状態に移行する時のように、作動時押圧ラッ
ク３３がローラ支持板６に接近すると、噛み合う歯によ
ってピニオンギア３１がボルト３１ａ回りに時計方向に
回転し、通常時押圧ラック３２が作動時押圧ラック３３
と反対の方向、即ちローラ支持板６から離隔する方向に
移動する。

【００７２】（実施例２の作用）前記構成を備えた実施
例２の試料ホルダ１は、操作棒ＣＢの操作によって作動
部材３０は実施例１の作動部材１３と同様の動作をする
ため、ローラ支持板６および押圧ローラ８も同様に制御
される。したがって、実施例２における操作棒ＣＢの操
作方法は、前記実施例１の操作方法と、操作方法の変更
例１および操作方法の変更例２に対応する３通りの方法
があり、３通りの方法それぞれで同じ作用効果が得られ
る。

【００７３】したがって、実施例２の試料ホルダ１にお
いても、前記実施例１と同様に、操作棒ＣＢを１度抜き
差しするだけで、ウエハ試料Ｗを反りや撓みがなく試料
ホルダ１に位置決め固定することができる。また、前記
実施例１と同様に、試料ホルダ１にウエハ試料Ｗを装着
し、反りや撓みがなく位置決め固定して、検査し、取り
外す全体の作業を通じて、操作棒ＣＢは一度操作するだ
けよい。

【００７４】（実施例３）図１０は本発明の実施例３の
試料ホルダの作動部材が作動位置に移動した状態の説明
図で、前記実施例１の図３に対応する図である。図１０
Ａは試料ホルダの上面図であり、図１０Ｂは図１０Ａの
ＸＢ−ＸＢ線断面図である。図１１は本発明の実施例３
の試料ホルダの位置決め固定操作時に作動する部材の要
部説明図であり、前記実施例１の図４に対応する図であ
る。図１２は本発明の実施例３の試料ホルダの操作時の
作用説明図であり、前記実施例１の操作棒の操作方法の
説明図である図５に対応する図である。図１２Ａは試料
位置決め前の作動位置に移動した状態を示す図、図１２
Ｂは離隔位置に移動した状態を示す図、図１２Ｃは試料
位置決め後に作動位置に移動した状態を示す図である。
なお、この実施例３の説明において、前記実施例１の構
成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、そ
の詳細な説明を省略する。

【００７５】図１０および図１１において、実施例３の
ホルダベース２は前記実施例１，２のホルダベース２に
対して左右方向（Ｙ軸方向）が長く形成されており、前
記ローラ支持板６全体を覆うように構成されている。前
記ローラ対向面２ｂの代わりに左右方向（Ｙ軸方向）に
長い形状のベース長孔２ｆがホルダベース２に形成され
ている。前記押圧ローラ８はベース長孔２ｆを貫通して
ホルダベース２の上面側に突出しており、前記ローラ支
持板６が前記試料自由位置と前記試料固定位置との間を
移動する時に、前記押圧ローラ８は左右方向（Ｙ軸方
向）に移動することが可能である。

【００７６】図１０ないし図１２において、作動部材１
３′は、前記実施例１の作動部材１３の前記作動時押圧
棒１６に換えて連結部材接続棒２５が用いられている。
前記連結部材接続棒２５は、前記作動時押圧棒１６より
も短く構成されている。前記連結部材接続棒２５の右端
部にピン貫通小孔２５ｃが形成されており、前記ピン貫
通小孔２５ｃの下面に前記補助連結板１７の前側接続部
１７ａがピンで回転自由に接続されている。したがっ
て、前記連結部材接続棒２５はローラ支持板６を押圧せ
ず、支持板押圧端部は設けられていない。すなわち、実
施例３の作動部材１３′において前記ローラ支持板６に
当接し、これを押圧する部材は通常時押圧棒１５のみで
ある。

【００７７】また、前記作動部材１３′は、前記実施例
１の作動部材１３のように前記ホルダベース２の左側下
面２ｄに支持されておらず、前記左側下面２ｄの下方に
配置され、回転テーブルＳＴr上面に作動部材固定用の
ボルト１２′によって回転自由に固定される。これに伴
い、前記作動部材引張りバネ２１の一端が連結されるバ
ネ連結ピン２０′もホルダベース２の左側下面２ｄでは
なく回転テーブルＳＴr上面に設けられている。前記作
動部材引張りバネ２１は主連結部材１４のバネ連結孔１
４ｅ（図１１参照）とバネ連結ピン２０′との間に連結
されている。

【００７８】前記作動部材１３′は、連結部材（１４＋
１７）と、通常時押圧部材１５および連結部材接続棒２
５によって構成されており、前記実施例１の作動部材１
３の平行リンクと同様の動作をするリンクを形成してい
る。

【００７９】（実施例３の作用）図１２と前記図６とを
比較してわかるように、図１２の操作棒ＣＢおよび作動
部材１３′の動作は前記図５の操作棒ＣＢおよび作動部
材１３の動作と同じである。すなわち、前記構成を備え
た実施例３の試料ホルダ１の作動部材１３′は、連結部
材接続棒２５がローラ支持板６の押圧部材当接部６ｃに
当接しないため、前記実施例１における第２作動位置が
存在しない。即ち、作動部材１３′がローラ支持板６の
押圧部材当接部６ｃを押圧して試料自由位置に保持する
作動位置は、実施例１における第１作動位置しか存在し
ない。したがって、実施例３における操作棒ＣＢの操作
は、前記３つの操作方法において、第２作動位置を必要
とせず、操作棒ＣＢの動きが小さい前記実施例１と同じ
操作を行うことが可能であり、その効果も同じである。

【００８０】したがって、実施例３の試料ホルダ１を使
用することによって、操作棒ＣＢを１度抜き差しするだ
けで、ウエハ試料Ｗを反りや撓みがなく試料ホルダ１に
位置決め固定することができる。また、前記各実施例と
同様に、試料ホルダ１にウエハ試料Ｗを装着し、反りや
撓みがなく位置決め固定して、検査し、取り外す全体の
作業を通じて、操作棒ＣＢは一度操作するだけよい。

【００８１】（実施例４）図１３は本発明の実施例４の
試料ホルダの作動部材が作動位置に移動した状態の説明
図で、前記実施例２の図７に対応する図である。図１３
Ａは試料ホルダの上面図であり、図１３Ｂは図１３Ａの
XIIIＢ−XIIIＢ線断面図である。図１４は本発明の実施
例４の試料ホルダの位置決め固定操作時に作動する部材
の要部説明図であり、前記実施例２の図８に対応する図
である。図１５は本発明の実施例４の試料ホルダの操作
時の作用説明図であり、前記実施例２の図９に対応する
図である。図１５Ａは作動部材が試料位置決め前の作動
位置に移動した状態を示す図、図１５Ｂは離隔位置に移
動した状態を示す図、図１５Ｃは試料位置決め後の作動
位置に移動した状態を示す図である。なお、この実施例
４の説明において、前記実施例２の構成要素に対応する
構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省
略する。

【００８２】図１３ないし図１５において、作動部材３
０′は、前記実施例２の作動部材３０における前記作動
時押圧ラック３３に換えてバネ連結ラック４０が用いら
れている。前記バネ連結ラック４０は、通常時押圧ラッ
ク３２よりも左右方向の長さが短く構成されている。前
記バネ連結ラック４０は、前記作動時押圧ラック３３と
同様に、接続部４０ａと、ホルダベース対向部４０ｂお
よび噛み合い歯支持部４０ｃによって構成されている
（図７Ｃ、図１４参照）。前記ホルダベース対向部４０
ｂには長孔４０ｄが形成されており、前記長孔４０ｄを
貫通するネジ３６によって前記バネ連結ラック４０はホ
ルダベース２の左側下面２ｄにスライド移動可能に支持
されている。また、前記接続部４０ａの後部には、前後
方向に貫通するバネ連結孔４０ｅ（図１４参照）が形成
されており、作動部材引張りバネ２１の一端が連結され
ている。

【００８３】前記ピニオンギア３１と通常時押圧ラック
３２およびバネ連結ラック４０とによって構成される作
動部材３０′は、前記実施例２の作動部材３０と同様の
挙動を示す。

【００８４】（実施例４の作用）前記構成を備えた実施
例４の試料ホルダ１の作動部材３０′は、バネ連結ラッ
ク４０がローラ支持板６を押圧しないため、前記実施例
２における第２作動位置が存在せず、押圧ラックがロー
ラ支持板６を押圧して試料自由位置に保持する作動位置
は第１作動位置のみとなる。したがって、実施例４にお
ける操作棒ＣＢの操作は、前記実施例３と同様に、前記
３つの操作方法において、第２作動位置を必要とせず、
操作棒ＣＢの動きが小さくてすむ前記実施例１と同じ操
作を行うことが可能であり、その効果も同様である。

【００８５】したがって、この実施例４試料ホルダ１を
使用することによって、操作棒ＣＢを１度抜き差しする
だけで、ウエハ試料Ｗを反りや撓みがなく試料ホルダ１
に位置決め固定することができる。また、前記各実施例
と同様に、試料ホルダ１にウエハ試料Ｗを装着し、反り
や撓みがなく位置決め固定して、検査し、取り外す全体
の作業を通じて、操作棒ＣＢは一度操作するだけよい。

【００８６】（実施例５）図１６は本発明の実施例５の
試料ホルダの作動部材が作動位置に移動した状態の説明
図で、前記実施例３の図１０に対応する図である。図１
６Ａは試料ホルダの上面図であり、図１６Ｂは図１６Ａ
のＸＶIＢ−ＸＶIＢ線断面図である。図１７は本発明の
実施例５の試料ホルダの位置決め固定操作時に作動する
部材の要部説明図であり、前記実施例３の図１１に対応
する図である。図１８は本発明の実施例５の試料ホルダ
の操作時の作用説明図であり、前記実施例３の図１２に
対応する図である。図１８Ａは試料位置決め前の作動位
置に移動した状態を示す図、図１８Ｂは離隔位置に移動
した状態を示す図、図１８Ｃは試料位置決め後に作動位
置に移動した状態を示す図である。なお、この実施例５
の説明において、前記各実施例の構成要素に対応する構
成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略
する。

【００８７】図１６ないし図１８において、実施例５の
試料ホルダ１の作動部材５０は、作動部材固定用のボル
ト１２の回りに回転するバネ連結回転板５１と、ローラ
支持板６を押圧する押圧スライド板５２とによって構成
されている。前記バネ連結回転板５１は、直線状に伸び
る板体の中央部に前記ボルト１２が貫通するための孔が
形成された円筒状のボルト貫通部５１ａ（図１６Ｂ、図
１７参照）が設けられている形状をしている。前記バネ
連結回転板５１の後端部（−Ｘ端部）には、ピンが貫通
するスライド板連結長孔５１ｂ（図１７参照）が設けら
れている。前記バネ連結回転板５１の前端部（＋Ｘ端
部）には、操作棒ＣＢが当接する場所をガイドし、操作
棒ＣＢの操作を確実にバネ連結回転板５１に伝達するた
めのガイド面５１ｃ（図１７参照）が形成されている。
また、前記バネ連結回転板５１のガイド面５１ｃの近傍
に、前記作動部材引張りバネ２１の一端が連結されるバ
ネ連結孔５１ｄ（図１７参照）が形成されている。

【００８８】前記押圧スライド板５２の右端には、前記
ローラ支持板６の押圧部材当接部６ｃに当接し、ローラ
支持板６を押圧する半円盤状の支持板当接端部５２ａが
形成されている。前記押圧スライド板５２にはローラ支
持板６を押圧して移動させる時に、押圧スライド板５２
がスライド移動する軌道と範囲を決定するための左右一
対のスライド軌道ガイド長孔５２ｂ（図１７参照）が形
成されている。また、押圧スライド板５２の左端の上面
には連結ピン５３が固定されており、前記連結ピン５３
は前記スライド板連結長孔５１ｂに係合している。した
がって、前記バネ連結回転板５１のボルト１２の回りに
回転作動するとき、押圧スライド板５２が左右方向（Ｙ
軸方向）にスライド移動する。前記押圧スライド板５２
は前記スライド軌道ガイド長孔５２ｂを貫通する軌道ガ
イドピン５４によってホルダベース２の左側下面２ｄに
スライド移動可能に支持されている。

【００８９】（実施例５の作用）図１８と前記図１２と
を比較してわかるように、図１８の操作棒ＣＢおよび作
動部材５０の動作は前記図１２の操作棒ＣＢおよび作動
部材１３′の動作と同じである。すなわち、前記構成を
備えた実施例５の作動部材５０は前記実施例３と同じ操
作を行うことで、前記各実施例における作用効果と同じ
作用効果が得られる。

【００９０】したがって、実施例５の試料ホルダ１を使
用することによって、操作棒ＣＢを１度抜き差しするだ
けで、ウエハ試料Ｗを反りや撓みがなく試料ホルダ１に
位置決め固定することができる。また、前記各実施例と
同様に、試料ホルダ１にウエハ試料Ｗを装着し、反りや
撓みがなく位置決め固定して、検査し、取り外す全体の
作業を通じて、操作棒ＣＢは一度操作するだけよい。

【００９１】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）前記各実施例において試料ホルダ１を試料ステ
ージＵ3に固定するように構成したが、試料ホルダ１を
試料ステージＵ3に対して着脱可能に構成することが可
能である。 （Ｈ02）前記各実施例において、ウエハ試料Ｗがオリフ
ラ型でない場合は、位置決めピン５および押圧ローラ８
の位置の変更によって対応することが可能である。 （Ｈ03）前記各実施例において、ウエハ試料Ｗを載置す
る手段としてホルダベース２の中央を通過する上下動テ
ーブルの機構を用いない場合、ホルダベース２の円孔２
ａを省略することが可能である。この場合、前記ローラ
支持板６を押圧する押圧部材が前記ローラ支持板６を押
圧する位置は、前記ローラ支持板６の前後方向（Ｘ軸方
向）の中心からずれた位置だけでなく、中心の位置を押
圧する構成とすることも可能である。 （Ｈ04）前記実施例３にあるように、作動部材をホルダ
ベース２の下面に支持せず、試料ステージＵ3の上面に
支持する構成はその他の各実施例１，２，４，５に適用
することが可能であり、また、実施例３において作動部
材がホルダベース２の下面に支持される構成とすること
も可能である。 （Ｈ05）前記実施例１，２，４，５において、各実施例
１，２，４，５のホルダベースに換えて、実施例３のホ
ルダベースを使用することが可能である。また、実施例
３のホルダベースに換えて、その他の各実施例１，２，
４，５のホルダベースを使用することも可能である。 （Ｈ06）前記各実施例において、ローラ支持板６に当接
する部分は半球状または半円盤状だけでなく、ローラ支
持板６に当接して押圧することが可能な任意の形状で構
成することが可能である。

【００９２】

【発明の効果】前述の本発明の試料ホルダは、下記の効
果を奏することができる。 （Ｅ01）反りや撓みを生じていない状態でウエハ試料を
試料ホルダに位置決め固定することができる。 （Ｅ02）反りや撓みを生じていない状態でウエハ試料を
試料ホルダに位置決め固定する作業を、位置決め操作部
材の操作回数を増やさずに行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は真空試料室（真空作業室）内に配置さ
れたＸＹテーブルおよび回転テーブルと、その上面の試
料ホルダの説明図で、操作棒が試料ホルダから離れてい
る状態の説明図である。

【図２】 図２は真空試料室（真空作業室）内に配置さ
れたＸＹテーブルおよび回転テーブルと、その上面の試
料ホルダの説明図で、操作棒が試料ホルダに当接してい
る状態の説明図である。

【図３】 図３は本発明の実施例１の試料ホルダの作動
部材が第２作動位置に移動した状態の説明図で、図３Ａ
は試料ホルダの上面図であり、図３Ｂは図３ＡのIIIＢ
−IIIＢ線断面図である。

【図４】 図４は本発明の実施例１の試料ホルダの位置
決め固定操作時に作動する部材の要部説明図である。

【図５】 図５は本発明の実施例１の試料ホルダの操作
時の作用説明図であり、図５Ａは作動部材が位置決め前
の第１作動位置に移動している状態を示す図、図５Ｂは
離隔位置に移動した状態を示す図、図５Ｃは位置決め後
の第１作動位置に移動した状態を示す図である。

【図６】 図６は本発明の実施例１の試料ホルダの操作
方法の変更例１の作用説明図であり、図６Ａは作動部材
が第２作動位置に移動した状態を示す図、図６Ｂは離隔
位置に移動した状態を示す図、図６Ｃは位置決め後の第
１作動位置に移動した状態を示す図である。

【図７】 図７は本発明の実施例２の試料ホルダの作動
部材が第２作動位置にした状態の説明図で、前記実施例
１の図３に対応する図である。図７Ａは試料ホルダの上
面図であり、図７Ｂは図７ＡのＶIIＢ−ＶIIＢ線断面
図、図７Ｃは図７ＡのＶIIＣ−ＶIIＣ線断面図である。

【図８】 図８は本発明の実施例２の試料ホルダの位置
決め固定操作時に作動する部材の要部説明図であり、前
記実施例１の図４に対応する図である。

【図９】 図９は本発明の実施例２の試料ホルダの操作
時の作用説明図であり、図９Ａは作動部材が第２作動位
置に移動している状態を示す図、図９Ｂは離隔位置に移
動している状態を示す図、図９Ｃは第１作動位置に移動
している状態を示す図であり、前記実施例１の図６に対
応する図である。

【図１０】 図１０は本発明の実施例３の試料ホルダの
作動部材が作動位置に移動した状態の説明図で、前記実
施例１の図３に対応する図である。図１０Ａは試料ホル
ダの上面図であり、図１０Ｂは図１０ＡのＸＢ−ＸＢ線
断面図である。

【図１１】 図１１は本発明の実施例３の試料ホルダの
位置決め固定操作時に作動する部材の要部説明図であ
り、前記実施例１の図４に対応する図である。

【図１２】 図１２は本発明の実施例３の試料ホルダの
操作時の作用説明図であり、前記実施例１の操作棒の操
作方法の説明図である図５に対応する図である。図１２
Ａは試料位置決め前の作動位置に移動した状態を示す
図、図１２Ｂは離隔位置に移動した状態を示す図、図１
２Ｃは試料位置決め後に作動位置に移動した状態を示す
図である。

【図１３】 図１３は本発明の実施例４の試料ホルダの
作動部材が作動位置に移動した状態の説明図で、前記実
施例２の図７に対応する図である。図１３Ａは試料ホル
ダの上面図であり、図１３Ｂは図１３ＡのXIIIＢ−XIII
Ｂ線断面図である。

【図１４】 図１４は本発明の実施例４の試料ホルダの
位置決め固定操作時に作動する部材の要部説明図であ
り、前記実施例２の図８に対応する図である。

【図１５】 図１５は本発明の実施例４の試料ホルダの
操作時の作用説明図であり、前記実施例２の図９に対応
する図である。図１５Ａは作動部材が試料位置決め前の
作動位置に移動した状態を示す図、図１５Ｂは離隔位置
に移動した状態を示す図、図１５Ｃは試料位置決め後の
作動位置に移動した状態を示す図である。

【図１６】 図１６は本発明の実施例５の試料ホルダの
作動部材が作動位置に移動した状態の説明図で、前記実
施例３の図１０に対応する図である。図１６Ａは試料ホ
ルダの上面図であり、図１６Ｂは図１６ＡのＸＶIＢ−
ＸＶIＢ線断面図である。

【図１７】 図１７は本発明の実施例５の試料ホルダの
位置決め固定操作時に作動する部材の要部説明図であ
り、前記実施例３の図１１に対応する図である。

【図１８】 図１８は本発明の実施例５の試料ホルダの
操作時の作用説明図であり、前記実施例３の図１２に対
応する図である。図１８Ａは試料位置決め前の作動位置
に移動した状態を示す図、図１８Ｂは離隔位置に移動し
た状態を示す図、図１８Ｃは試料位置決め後に作動位置
に移動した状態を示す図である。

【図１９】 図１９は試料に対して顕微分析作業を行う
装置（電子顕微鏡等）で使用される従来の試料ホルダの
説明図で、図１９Ａは試料ホルダのウエハ試料押圧用移
動部材が試料自由位置に移動した状態の上面図、図１９
Ｂは前記図１９ＡのＸIＸＢ−ＸIＸＢ線断面図である。

【図２０】 図２０は前記図１９の試料ホルダのウエハ
試料押圧用移動部材が試料固定位置に移動した状態にお
ける試料ホルダの説明図で、図２０Ａは上面図、図２０
Ｂは前記図２０ＡのＸＸＢ−ＸＸＢ線断面図である。

【符号の説明】

ＣＢ…操作部材、Ｗ…ウエハ試料、１…試料ホルダ、２
…ホルダベース、４…静電チャック、５…試料位置決め
部材、６…ウエハ試料押圧用移動部材、８…ウエハ試料
押圧部材、１１…接近用バネ、１３，１３′，３０，３
０′，５０…作動部材、１４＋１７，３１…連結部材、
１５，３２…第１作動部材、１６，３３…第２作動部
材、２１…移動用バネ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ06）を備
   えたことを特徴とする試料ホルダ、（Ａ01）ウエハ試料
   を載置する試料載置面を有し電圧印加時に前記試料載置
   面に載置されたウエハ試料を吸着する静電チャックと前
   記ウエハ試料の外端が当接して位置決めされる試料位置
   決め部材とが上面に支持されたホルダベース、（Ａ02）
   前記ホルダベースの下面に配置されて先端部に前記ホル
   ダベース上面側に突出するウエハ試料押圧部材を支持
   し、且つ、前記ウエハ試料押圧部材が前記試料載置面上
   のウエハ試料を前記試料位置決め部材に押圧して位置決
   め固定する試料固定位置と前記ウエハ試料押圧部材が前
   記ウエハ試料から離れてウエハ試料の移動が自由になる
   試料自由位置との間で移動可能に支持されたウエハ試料
   押圧用移動部材、（Ａ03）前記ウエハ試料押圧用移動部
   材を前記試料固定位置に移動させるように作用する接近
   用バネ、（Ａ04）前記ホルダベースの下面に配置される
   とともに、前記ウエハ試料押圧用移動部材から離隔して
   前記ウエハ試料押圧用移動部材の前記試料自由位置から
   前記試料固定位置に向けての移動を許す離隔位置と、前
   記ウエハ試料押圧用移動部材を押圧して前記ウエハ試料
   押圧用移動部材を前記試料固定位置から前記試料自由位
   置に移動させる作動位置との間を移動可能な作動部材、
   （Ａ05）前記作動部材を前記作動位置に移動させるよう
   に作用し、前記ウエハ試料押圧用移動部材を前記接近用
   バネの作用力に抗して前記試料自由位置に向けて移動さ
   せる移動用バネ、（Ａ06）操作部材により押圧されたと
   きに、前記作動位置から前記離隔位置に移動する前記作
   動部材。
2. 【請求項２】 ウエハ試料を載置する試料載置面を有し
   電圧印加時に前記試料載置面に載置されたウエハ試料を
   静電吸着する静電チャックと、前記ウエハ試料の外端が
   当接して位置決めされる試料位置決め部材と、ウエハ試
   料押圧部材を支持し且つ前記ウエハ試料押圧部材が前記
   試料載置面上のウエハ試料を前記試料位置決め部材に押
   圧して位置決めする試料固定位置と前記ウエハ試料押圧
   部材が前記ウエハ試料から離れてウエハ試料の移動が自
   由になる試料自由位置との間で移動可能に支持されたウ
   エハ試料押圧用移動部材と、前記ウエハ試料押圧用移動
   部材を常時は前記試料自由位置に移動させる移動用バネ
   とを備えた試料ホルダにウエハ試料を固定する試料固定
   方法であって、下記の工程（Ｂ01）〜（Ｂ03）を備えた
   ことを特徴とする試料固定方法、（Ｂ01）前記ウエハ試
   料押圧用移動部材を前記試料自由位置に移動させた状態
   で前記試料載置面にウエハ試料を載置する試料載置工
   程、（Ｂ02）前記ウエハ試料押圧用移動部材を試料固定
   位置に移動させて前記ウエハ試料押圧部材により前記試
   料載置面上のウエハ試料を前記試料位置決め部材に押圧
   して位置決めする試料押圧位置決め工程、（Ｂ03）前記
   ウエハ試料押圧用移動部材を前記試料自由位置に移動さ
   せることにより前記ウエハ試料押圧部材を前記位置決め
   されたウエハ試料から離隔させた状態で前記ウエハ試料
   を静電吸着する静電吸着工程。