KR101992738B1 - 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치 및 그리드 고정키트 - Google Patents

Abstract

그리드를 기계적으로 공급하여 그리드 장착 작업을 보다 간편하게 수행하고, 그리드 장착에 소요되는 시간을 보다 단축할 수 있도록, 그리드를 고정하기 위한 고정키트가 장착되는 베이스판, 및 상기 베이스판 일측에 설치되어 그리드를 고정키트로 연속적으로 공급하기 위한 그리드 공급부를 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치를 제공한다.

Description

소재 성분 분석용 그리드 공급 장치 및 그리드 고정키트{APPARATUS FOR SUPPLYING GRID, AND GRID HOLDING KIT}

소재 성분 분석용 그리드를 기계적으로 공급하기 위한 그리드 공급 장치 및 그리드를 고정하는 고정키트를 개시한다.

일반적으로 투과전자현미경(TEM/Transmission Electron Microscope) 분석에 사용될 7㎛ 크기의 TEM 용 시편 제작에는 그리드(grid)가 사용된다.

집속이온빔 전자현미경(FIB;Focused Ion Beam Microscope)을 이용하여 소재의 관찰하고자 하는 위치에서 샘플을 채취하고, 채취된 샘플을 그리드에 부착한다. 그리고 그리드에 부착된 샘플을 이온 에칭하여 TEM 분석이 가능한 두께로 가공하여 시편으로 제작한다.

그리드는 시험편을 부착할 수 있는 기둥이 4개 형성되어 있어, 별도의 고정키트에 복수개의 그리드가 장착되어 사용된다.

그리드는 구리재질로 이루어진 미세하고 얇은 두께를 갖고 있어 취급시 많은 어려움이 있고 작은 부주의에도 파손될 수 있다.

이에, 고정키트에 시편 제조 완료된 그리드를 분리하고, 또 새로운 그리드를 고정키트에 장착하는 과정에서 파손이나 불량이 자주 발생되며, 제조된 시편이 그리드에서 분리되어 재작업을 해야 문제가 발생된다.

또한, 고정키트에 새로운 그리드를 고정하는 과정에서 그리드의 수평 상태가 매우 중요하여, 통상 스테레오 스코프(stereo scope)를 이용한다. 스테레오 스코프를 이용하여 상태를 확인하며 진공 핀셋 등으로 작업자가 미세 조정을 하며 체결 작업을 수행하므로, 작업이 대단히 힘들고 평행 맞춤 조립이 어렵고 많은 시간이 소요된다. 이에, 그리드가 파손되거나 휨이 발생하여 다음 공정에서 추가적인 문제가 발생된다.

그리드를 기계적으로 공급하여 그리드 장착 작업을 보다 간편하게 수행하고, 그리드 장착에 소요되는 시간을 보다 단축할 수 있도록 된 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치 및 그리드 고정키트를 제공한다.

또한, 그리드를 항상 같은 위치에서 공급할 수 있게 되어 장착 품질을 유지하고, 그리드의 장착 불량을 최소화할 수 있도록 된 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치 및 그리드 고정키트를 제공한다.

이를 위해 본 구현예의 공급장치는, 그리드를 고정하기 위한 고정키트가 장착되는 베이스판, 및 상기 베이스판 일측에 설치되어 그리드를 고정키트로 연속적으로 공급하기 위한 그리드 공급부를 포함할 수 있다.

상기 그리드 공급부는 그리드가 간격을 두고 연속적으로 부착된 필름, 상기 베이스판에 설치되고 상기 필름이 감겨지는 공급롤, 상기 베이스판 상에 설치되어 공급롤에서 풀려나오는 필름을 상기 고정키트쪽으로 이동시키는 유도부, 상기 유도부에 설치되어 필름에 부착된 그리드를 분리하는 분리부, 상기 유도부를 지난 필름이 감겨지는 권취롤, 및 상기 권취롤에 설치되어 권취롤을 회전시켜 필름을 감기 위한 구동모터를 포함할 수 있다.

상기 필름은 폭방향 양 측단에 홀이 간격을 두고 연속적으로 형성되고, 상기 권취롤의 축방향 양 측단에는 상기 필름의 홀에 대응되는 위치에 홀 형성 간격에 맞춰 홀에 삽입되는 돌기가 설치될 수 있다.

상기 유도부는 베이스판 상에 설치되는 상기 고정키트에 이격배치되는 유도판, 상기 유도판에 형성되어 필름을 유도판을 따라 고정키트 쪽으로 안내하는 공급관, 및 상기 분리부를 거쳐 그리드가 분리된 필름이 이동되는 안내관을 포함할 수 있다.

상기 공급관은 수직방향에 대해 경사지게 형성될 수 있다.

상기 유도부는 유도판에 설치되어 필름을 수평으로 지지하여 안내하는 지지부를 더 포함할 수 있다.

상기 지지부는 필름의 상단을 눌러주기 위한 누름판, 상기 유도판 상에 설치되어 상기 누름판을 상하로 이동가능하게 지지하는 지지판, 상기 유도판 상에 설치되는 조립대, 상기 조립대에 설치되고 상기 지지판에 연결되어 지지판을 상하로 이동시키는 수직실린더를 포함할 수 있다.

상기 지지부는 상기 지지판과 상기 누름판 사이에 설치되는 탄성 스프링을 더 포함할 수 있다.

상기 지지부는 상기 누름판에 설치되어 필름의 상단에 접하는 적어도 하나 이상의 상단지지롤을 더 포함할 수 있다.

상기 지지부는 상기 유도판에 설치되어 필름의 하단을 받쳐 지지하는 적어도 하나 이상의 하단지지롤을 더 포함할 수 있다.

상기 분리부는 상기 안내관이 수직방향으로 형성되어, 필름이 수직방향으로 이동되고, 안내관을 지나 상기 유도판의 고정키트 쪽 선단부에는 필름에서 그리드를 분리하는 분리나이프가 설치되고, 상기 분리나이프는 끝으로 갈수록 뾰족하게 형성되고 필름쪽으로 연장되어 필름에 접하여 그리드를 분리하는 구조일 수 있다.

상기 분리부는 유도판의 안내관 입구에 설치되어 필름을 안내하는 안내롤을 더 포함할 수 있다.

상기 베이스판에 설치되어 고정키트에 구비되어 그리드를 고정하는 클램핑판을 조작하는 조작부를 더 포함할 수 있다.

상기 조작부는 베이스판에 설치되어 고정키트의 클램핑판을 눌러 그리드 클램핑 상태를 전환하는 구동실린더를 포함할 수 있다.

상기 조작부는 상기 구동실린더가 설치되는 브라켓, 및 상기 베이스판에 설치되고 상기 브라켓에 연결되어 브라켓에 설치된 구동실린더를 고정키트쪽으로 이동시키는 수평실린더를 더 포함할 수 있다.

본 구현예의 고정키트는 그리드가 고정되는 고정면이 연속적으로 배치된 홀더판, 상기 홀더판 상에 중앙부가 회전가능하게 설치되고 일측 선단은 상기 고정면으로 연장되어 그리드를 눌러 고정하는 클램핑판, 상기 클램핑판의 타측 선단과 홀더판 사이에 설치되어 회전복귀력을 가하는 탄성스프링을 포함할 수 있다.

상기 고정키트는 클램핑판에 설치되어 그리드를 가압하는 가압판, 상기 클램핑판와 상기 가압판 사이에 탄력 설치되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.

상기 홀더판에 체결되어 클램핑판의 회전축을 이루는 축볼트, 상기 클램핑판 중앙부에 형성되어 상기 축볼트가 관통되며 축볼트가 유동가능한 크기로 형성되는 홀, 상기 축볼트의 볼트머리와 클램핑판 사이에 탄력 설치되는 스프링을 더 포함할 수 있다.

이상 설명한 바와 같은 본 구현예에 의하면, 그리드의 공급과 장착이 일정하고 기계적으로 이루어져, 종래 수작업에 의해 그리드를 공급하고 장착하는 것과 비교하여 그리드의 장착 불량을 최소화할 수 있게 된다.

도 1은 본 실시예에 따른 그리드 공급 장치와 고정키트를 도시한 개략적인 평면도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 그리드 공급 장치와 고정키트를 도시한 개략적인 측면도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 고정키트를 도시한 개략적인 도면이다.
도 4 내지 도 6은 본 실시예에 따른 그리드 공급 장치의 구조를 보다 상세하게 도시한 도면이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있는 바와 같이, 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.

이하에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 “포함하는” 의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.

이하에서 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1과 도 2는 본 실시예에 따른 고정키트와 고정키트에 그리드를 공급하는 공급장치의 구성을 개략적으로 나타내고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 공급장치는, 그리드(G)를 고정하기 위한 고정키트(10)가 장착되는 베이스판(100), 베이스판(100) 일측에 설치되어 그리드를 고정키트(10)로 연속적으로 공급하기 위한 그리드 공급부(110)를 포함할 수 있다.

이에, 공급부(110)를 통해 그리드(G)가 항상 정확한 위치에서 기계적으로 공급됨으로써, 보다 정밀하게 고정키트(10)에 고정될 수 있다.

베이스판(100)은 소정의 크기로 형성된 평판 구조물이다. 베이스판(100)의 일측에 그리드 공급을 위한 공급부(110)가 설치된다. 공급부(110)에 근접하여 베이스판(100) 상에 고정키트(10)가 착탈 가능하게 고정된다. 예를 들어, 고정키트(10)는 베이스판(100) 상에 볼트로 고정될 수 있다. 베이스판(100) 상에는 고정키트(10)를 조작하여 그리드를 클램핑할 수 있도록 하는 조작부가 설치된다. 조작부에 대해서는 뒤에서 다시 설명하도록 한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 고정키트(10)는 4개의 위치에서 그리드를 고정하는 구조로 되어 있다. 공급부(110) 역시 고정키트(10)의 각 그리드 고정위치에 대응되는 위치에 배치되어 각 그리드 고정 위치로 그리드를 공급한다.

본 실시예의 고정키트(10)는 기계적으로 공급되는 그리드를 클램핑하기 위한 구조로 되어 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 고정키트(10)는 그리드(G)가 고정되는 고정면(12)이 연속적으로 배치된 홀더판(11), 홀더판(11) 상에 중앙부가 회전가능하게 설치되고 일측 선단은 상기 고정면(12)으로 연장되어 그리드(G)를 눌러 고정하는 클램핑판(14), 클램핑판(14)의 타측 선단과 홀더판(11) 사이에 설치되어 회전복귀력을 가하는 탄성스프링(16)을 포함할 수 있다.

홀더판(11) 상에는 복수개의 고정면(12)과 클램핑판(14)이 배열 설치되어 각 위치에서 그리드(G)를 고정한다. 홀더판(11)의 일측 선단에는 그리드(G)가 놓여지는 고정면(12)이 형성된다. 홀더판(11)의 상부에는 클램핑판(14)이 배치되어 홀더판(11)에 대해 회전가능하게 설치된다. 클램핑판(14)의 일측 선단은 고정면(12) 상부로 연장되어 고정면(12) 위에 위치한다. 고정면(12)과 클램핑판(14)의 일측 선단은 그리드(G)의 양면을 잡아 고정하는 부분으로, 마주보는 고정면(12)과 클램핑판(14) 일측 선단 사이에 그리드가 고정된다.

본 실시예에서, 클램핑판(14)에는 그리드를 가압하는 가압판(20), 상기 클램핑판(14)와 상기 가압판(20) 사이에 탄력 설치되는 탄성부재(22)가 더 설치될 수 있다. 가압판(20)은 실질적으로 그리드에 가압 밀착되는 구성부이다. 가압판(20)과 클램핑판(14) 사이에 설치된 탄성부재(22)에 의해 가압판(20)이 탄력적으로 그리드에 밀착되어, 그리드를 적정 압력으로 가압하여 고정할 수 있다. 가압판(20)의 표면에는 복수의 볼 형태의 돌기(24)가 간격을 두고 배열 설치될 수 있다.

탄성스프링(16)은 클램핑판(14)에 그리드(G)를 고정하기 위한 고정력을 인가한다. 탄성스프링(16)은 클램핑판(14)의 타측 선단 즉, 회전 중심을 기준으로 고정면(12) 쪽의 반대쪽 선단과 홀더판(11) 사이에 설치된다. 이에, 탄성스프링(16)은 클램핑판(14)의 타측 선단에 탄성복귀력을 인가하여, 가압판(20)을 고정면(12)으로 가압하는 쪽으로 클램핑판(14)에 힘을 가하게 된다.

이에, 클램핑판(14)은 탄성스프링(16)의 탄성복귀력에 의해 홀더판(11)에서 회전되어, 고정면(12)과의 사이에 위치한 그리드(G)를 가압 고정할 수 있게 된다.

본 실시예에서, 고정키트(10)는 홀더판(11)에 대해 클램핑판(14)이 회전가능하면서 탄력적으로 밀착되는 구조일 수 있다. 이를 위해, 고정키트(10)는 홀더판(11)에 체결되어 클램핑판(14)의 회전축을 이루는 축볼트(30), 클램핑판(14) 중앙부에 형성되어 축볼트(30)가 관통되며 축볼트(30)가 유동가능한 크기로 형성되는 홀(32), 축볼트(30)의 볼트머리(34)와 클램핑판(14) 사이에 탄력 설치되는 스프링(36)을 더 포함할 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 클램핑판(14) 중앙부에 형성되는 홀(32)은 축볼트(30)의 직경보다 충분히 커서 홀(32) 내에서 축볼트(30)가 자유롭게 유동가능하다. 이에, 축볼트(30)가 홀더판(11)에 고정되어 있는 상태에서 축볼트(30)를 중심으로 클램핑판(14)의 양선단이 상하로 시소 운동하는 형태로 회전될 수 있다.

클램핑판(14)은 스프링(36)의 탄성력에 의해 홀더판(11)에 소정 압력으로 밀착되어 있다. 스프링(36)은 볼트머리(34)보다 작고 홀(32)보다 큰 크기로 이루어져 축볼트(30)에 끼워져 볼트머리(34)와 홀더판(11) 사이에 탄력적으로 설치된다. 이에, 클램핑판(14)은 스프링(36)에 의해 눌려져 홀더판(11)에 계속 적정한 압력으로 밀착된 상태를 유지할 수 있다.

상기한 구조로 되어, 본 실시예의 고정키트(10)는 홀더판(11)에 대해 클램핑판(14)을 회전시켜 그리드(G)를 고정시킬 수 있게 된다. 즉, 홀더판(11)에 대해 클램핑판(14)의 타측 선단에 외력을 가해 눌러주면 클램핑판(14)이 축볼트(30)를 중심으로 회전되면서 클램핑판(14)에 설치된 가압판(20)이 고정면(12)에서 들어올려져 고정면(12)과 가압판(20) 사이가 벌어진다. 이에, 고급부로부터 공급된 그리드가 벌려져 있는 고정면(12)과 가압판(20) 사이로 이동된 상태에서 외력을 제거하여 가압판(20)과 고정면(12) 사이에 그리드(G)를 클램핑하여 고정할 수 있게 된다. 클램핑판(14)에 가해져 있는 외력을 제거하게 되면 눌려져 있던 탄성스프링(16)의 탄성복귀력에 의해 클램핑판(14)이 원상태로 회전 복귀된다. 이에, 벌려져 있던 클램핑판(14)의 가압판(20)이 고정면(12)쪽으로 이동되어 고정면(12)에 놓여진 그리드(G)를 가압 고정하게 된다.

이와 같이, 본 실시예의 고정키트(10)는 클램핑판(14)을 회전시켜 그리드(G)를 고정시킬 수 있게 되어, 클램핑판(14)을 눌러 가압하는 보다 단순한 구동을 통해 그리드를 각 위치에 간단히 고정 또는 분리할 수 있게 된다.

베이스판(100)에는 고정키트(10)의 클램핑판(14)을 눌러 가압판(20)과 고정면(12) 사이를 벌려주기 위한 조작부가 구비된다.

도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 조작부는 베이스판(100)에 설치되어 고정키트(10)의 클램핑판(14)을 눌러 그리드 클램핑 상태를 전환하는 구동실린더(102)를 포함할 수 있다.

또한, 조작부는 구동실린더(102)가 설치되는 브라켓(104), 베이스판(100)에 설치되고 브라켓(104)에 연결되어 브라켓(104)에 설치된 구동실린더(102)를 고정키트(10)쪽으로 이동시키는 수평실린더(106)를 더 포함할 수 있다.

본 실시예에서, 구동실린더(102)는 베이스판(100)에 하나가 구비되어 홀더판(11)에 구비된 4개의 클램핑판(14)을 동시에 눌러 회전시키는 구조일 수 있다. 구동실린더(102)는 브라켓(104) 중심부에 수직방향으로 설치되며, 구동실린더(102)의 피스톤로드 선단에는 홀더판(11)의 각 클램핑판(14)으로 연장되어 클램핑판(14) 타측 선단을 누르는 연장바(108)가 설치된다. 이에, 구동실린더(102)가 신장작동되면 길게 연장된 연장바(108)가 각 클램핑판(14)을 동시에 눌러 클램핑판(14)을 벌려주게 된다.

베이스판(100)에 설치된 수평실린더(106)는 베이스판(100) 상면에 평행하게 설치되어 필요시 구동실린더(102)를 후진시켜 클램핑판(14) 상부에서 외측으로 이동시킨다. 이에, 구동실린더(102)의 간섭없이 고정키트(10)를 베이스판(100)에 용이하게 장착 또는 분리할 수 있게 된다.

수평실린더(106)가 신축 구동되면 수평실린더(106)의 피스톤로드 선단에 연결된 브라켓(104)이 홀더판(11)에 대해 이동하게 된다. 이에 브라켓(104)에 설치된 구동실린더(102)가 홀더판(11) 외측으로 이동되거나 홀더판(11)의 클램핑판(14) 상부로 이동할 수 있게 된다.

본 실시예의 공급장치는 베이스판(100)에 장착된 고정키트(10)에 그리드를 정확한 위치와 각도로 공급하여, 고정키트(10)에 고정시킬 수 있게 된다.

이하, 본 실시예의 그리드 공급부(110) 구조에 대해 설명하면 다음과 같다.

본 실시예의 그리드 공급부(110)는 그리드(G)가 연속적으로 부착된 필름(112)을 통해 그리드를 공급하는 구조일 수 있다. 이를 위해 그리드 공급부(110)는, 그리드(G)가 간격을 두고 연속적으로 부착된 필름(112), 베이스판(100)에 설치되고 필름(112)이 감겨지는 공급롤(114), 베이스판(100) 상에 설치되어 공급롤(114)에서 풀려나오는 필름(112)을 상기 고정키트(10)쪽으로 이동시키는 유도부, 유도부에 설치되어 필름(112)에 부착된 그리드를 분리하는 분리부, 유도부를 지난 필름(112)이 감겨지는 권취롤(116), 및 상기 권취롤(116)에 설치되어 권취롤(116)을 회전시켜 필름(112)을 감기 위한 구동모터(118)를 포함할 수 있다.

유도부는 베이스판(100) 상에 설치되는 고정키트(10)에 이격배치되는 유도판(120), 유도판(120)에 형성되어 필름(112)을 유도판(120)을 따라 고정키트(10) 쪽으로 안내하는 공급관(122), 분리부를 거쳐 그리드가 분리된 필름(112)이 이동되는 안내관(124)을 포함할 수 있다.

공급롤(114)과 권취롤(116)은 베이스판(100) 하부에 구비될 수 있다. 베이스판(100) 상부에는 홀더판(11)에 근접하여 유도판(120)이 설치된다. 유도판(120)에는 베이스판(100) 하부에서 공급되는 필름(112)을 유도판(120) 상부로 안내할 수 있도록 필름(112)이 통과하는 공급관(122)과 안내관(124)이 관통 형성된다. 베이스판(100)에도 역시 공급관(122)과 안내관(124)이 관통형성된다. 이에, 공급롤(114)에서 풀려나오는 필름(112)은 공급관(122)을 통해 유도판(120) 상부로 이동되어 유도판(120)의 선단으로 진행한 후 안내관(124)을 통해 권취롤(116)로 이동된다. 유도판(120)의 상면에는 공급관(122)과 안내관(124) 사이에서 필름(112)이 정확한 경로를 따라 이동될 수 있도록 필름(112) 이동로가 홈 형태로 가공 형성된다. 유도판(120) 상의 홈은 대략 필름(112)의 폭과 대응되는 폭으로 형성될 수 있다. 이에, 필름(112)은 유도판(120)의 홈을 따라 안정적으로 이동된다.

도 4에 도시된 바와 같이, 필름(112)은 그리드가 부착가능한 폭으로 형성되고 길게 연장된 얇은 막 구조물이다. 필름(112)은 유연하게 굽어질 수 있는 재질로 형성될 수 있다. 필름(112)의 일면에 그리드가 간격을 두고 연속적으로 부착된다. 각 그리드(G)는 필름(112)에 동일한 위치와 각도로 부착되어 있어, 복수의 고정키트에 대한 그리드의 공급과 장착이 일정하게 이루어질 수 있다. 그리드는 필름(112)과 용이하게 분리 가능하게 부착될 수 있다. 필름(112)이 이동하게 되면 필름(112)에 부착되어 있는 그리드를 고정키트(10)쪽으로 공급할 수 있게 된다.

필름(112)에 그리드가 연속적으로 부착되어 있어서, 필름이 이동되면서 그리드는 연속적으로 공급이 가능하다. 이에, 베이스판(100)에 고정키트(10)를 계속 교체하고, 그리드를 연속적으로 공급하여 각 고정키트에 대한 연속적인 작업이 가능하다.

필름(112)의 폭방향 양 측단에 홀(113)이 간격을 두고 연속적으로 형성된다. 그리고, 권취롤(116)의 축방향 양 측단에는 상기 필름(112)의 홀(113)에 대응되는 위치에 홀(113) 형성 간격에 맞춰 홀에 삽입되는 돌기(117)가 설치될 수 있다. 이에, 권취롤(116)이 회전하게 되면 권취롤(116)에 설치된 돌기(117)가 필름(112)의 홀(113)에 끼워져 필름(112)을 이동시키게 된다. 이에, 권취롤(116) 회전량에 대응하여 필름(112)이 정확한 이동거리만큼 이동되어, 필름(112)에 부착된 그리드(G)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있게 된다.

홀더판(11)의 그리드 고정위치에 대응하여 4개의 권취롤(116)이 배치되고, 각 권취롤(116)은 구동모터(118)의 회전축에 연결된다. 이에, 구동모터(118)가 회전되면, 회전축에 설치된 권취롤(116)이 같이 회전하면서 필름(112)을 이동시키게 된다.

도 5는 필름(112)을 공급하는 공급부(110)의 일측 구성을 보다 상세하게 나타내고 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 공급관(122)은 수직방향에 대해 경사지게 형성될 수 있다. 이에, 공급롤(114)에서 풀려나오는 필름(112)은 경사진 공급관(122)을 지나 유도판(120)의 상부 수평면으로 보다 부드럽게 이동할 수 있게 된다. 따라서, 필름(112)이 공급관(122)에서 유도판(120)으로 이동하는 과정에서 필름(112)의 급격한 굽어짐을 최소화하여, 필름(112)에 부착되어 있는 그리드(G)가 분리되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 유도부는 유도판(120)에 설치되어 필름(112)을 수평으로 지지하여 안내하는 지지부를 더 포함할 수 있다. 이에, 필름(112)을 이동하는 과정에서 그리드(g)가 필름(112)에서 분리되지 않고 부착된 상태를 계속 유지할 수 있게 된다.

지지부는 필름(112)의 상단을 눌러주기 위한 누름판(130), 유도판(120) 상에 설치되어 상기 누름판(130)을 상하로 이동가능하게 지지하는 지지판(132), 유도판(120) 상에 설치되는 조립대(135), 조립대에 설치되고 지지판(132)에 연결되어 지지판(132)을 상하로 이동시키는 수직실린더(134)를 포함할 수 있다.

수직실린더(134)는 조립대에 설치되어 유도판(120) 상부에서 수직방향으로 배치된다. 수직실린더(134)의 피스톤로드 하단에 지지판(132)이 설치된다. 지지판(132)은 도 1에 나타낸 바와 같이, 유도판(120)을 따라 길게 연장된다. 지지판(132)의 하단에는 각 공급관(122)의 위치와 대응되는 위치에 누름판(130)이 설치된다. 이에 하나의 수직실린더(134)를 신축 구동하는 것으로, 각 누름판(130)을 하강시켜 필름(112)을 눌러 지지할 수 있게 된다.

수직실린더(134)가 신장 구동되면 지지판(132)이 하강하면서 지지판(132)에 설치된 누름판(130)이 필름(112)을 가압하여 눌러주게 된다. 이에, 공급관(122)을 지나 유도판(120)으로 이동되는 필름(112)은 유도판(120)과 누름판(130) 사이에서 상하면이 지지된 상태로 보다 안정적으로 이동할 수 있게 된다.

또한, 필름(112)과 접하는 누름판(130)과 유도판(120)에는 적어도 하나 이상의 상단지지롤(136)과 하단지지롤(138)이 간격을 두고 배열 설치될 수 있다. 이에, 필름(112)은 상하면이 각각 상단지지롤(136)과 하단지지롤(138)에 접한 상태로 이동하게 된다. 따라서 필름(112)이 유도판(120)을 따라 이동하는 과정에서 필름(112)의 손상을 방지하면서 보다 용이하게 이동시킬 수 있게 된다.

지지판(132)과 누름판(130) 사이에는 탄성 스프링(139)이 더 설치될 수 있다. 탄성 스프링(139)은 누름판(130)을 통해 전달되는 충격을 흡수하여 완충하게 된다. 이에, 상단지지롤(136)과 하단지지롤(138)로 전달된 충격에 의해 필름(112)이 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다.

도 6은 본 실시예에 따른 분리부의 구조를 도시하고 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 분리부는 안내관(124)을 지나는 필름(112)에서 그리드를 분리하는 분리나이프(140)를 포함할 수 있다.

유도판(120) 상에는 안내관(124)이 수직방향으로 형성된다. 이에, 필름(112)은 유도판(120)의 상면을 따라 수평 이동하다가 안내관(124)에 이르러 90도 각도로 굽어져 수직방향으로 하강된다. 안내관(124)을 지나 상기 유도판(120)의 고정키트(10) 쪽 선단부에는 분리나이프(140)가 설치된다. 분리나이프(140)는 필름(112)이 안내관(124)을 따라 굽어지는 지점에서 필름(112)에 접하여 필름(112)에 부착되어 있는 그리드를 분리하게 된다. 분리나이프(140)는 끝으로 갈수록 뾰족하게 형성되고 필름(112)쪽으로 연장되어 필름(112)에 접하는 구조로 되어 있다. 이에, 분리나이프(140)의 선단이 필름(112)과 그리드 사이에 효과적으로 파고들어 필름(112)에서 그리드를 용이하게 분리할 수 있게 된다.

유도판(120)의 안내관(124) 입구에는 필름(112)을 보다 안정적으로 안내관(124)으로 이동시키기 위한 안내롤(142)이 더 설치될 수 있다.

이하, 본 실시예에 따른 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

본 실시예의 공급장치를 통해, 그리드(G)를 고정키트(10)에 정밀하고 안정적으로 공급 및 고정할 수 있게 된다. 그리드는 필름(112)에 부착된 형태로 제공되어, 베이스판(100) 하부의 공급롤(114)에 감겨져 준비된다. 공급롤(114)에서 풀려나온 필름(112)은 공급관(122)을 통해 유도판(120) 상부로 이동되고 유도판(120)을 지나 안내관(124)을 통해 권취롤(116)에 감겨진다.

그리고, 베이스판(100)에 설치된 구동실린더(102)가 구동되어 고정키트(10)의 클램핑판(14)을 눌러 클램핑판(14)과 홀더판(11)의 고정면(12) 사이를 벌려준다.

이 상태에서, 고정키트(10)가 베이스판(100) 상에 장착되어 고정되면, 본 장치가 구동되어 그리드를 고정키트(10)로 공급하여 고정시키게 된다.

본 장치가 구동되면, 구동모터(118)가 회전 구동되어 권취롤(116)을 회전시키게 된다. 권취롤(116)이 회전됨에 따라 권취롤(116)에 필름(112)이 감기게 된다. 권취롤(116)에 필름(112)이 감김에 따라 필름(112)은 공급롤(114)에서 풀려나와 유도판(120)을 따라 이동하게 된다. 이때, 누름판(130)에 설치된 상부지지롤과 유도판(120)에 설치된 하부지지롤이 필름(112)의 상하면에 밀착되어 회전되면서 필름(112)을 손상되지 않고 편평하게 펴준 상태로 안정적으로 이동시키게 된다.

그리드가 부착된 필름(112)이 이동되어 유도판(120)의 선단쪽에 도달하게 되면 수평상태에서 안내관(124)을 통해 수직 방향으로 방향이 전환되면서 안내관(124)을 통해 하강하게 된다. 이 과정에서 필름(112)은 필름(112)에 접하고 있는 분리나이프(140)가 지나게 되고, 필름(112)에 부착되어 있는 그리드가 분리나이프(140)에 의해 필름(112)에서 분리된다.

필름(112)에서 분리된 그리드는 필름(112)의 이동에 따라 수평방향으로 계속 이동되고, 그리드가 분리된 필름(112)은 안내관(124)을 통해 권취롤(116)로 이동하여 권취된다.

필름(112)에서 분리되어 이동되는 그리드는 분리나이프(140)를 유도판(120) 선단을 지나 고정키트(10)쪽으로 이동된다. 고정키트(10)는 언급한 바와 같이 고정실린더(102)에 의해 클램핑판(14)이 눌려져 회전된 상태로, 홀더판(11)의 고정면(12)과 클램핑판(14)의 가압판(20)이 벌려져 있다.

이에, 필름(112)에서 분리되어 고정키트(10)로 이동되는 그리드는 벌려져 있는 고정면(12)으로 이동되어 고정면(12)에 놓여지게 된다.

그리드(G)가 완전히 고정키트(10)의 고정면(12)으로 이동되면 구동실린더(102)를 수축 구동하여, 클램핑판(14)의 누름 상태를 해제한다. 이에, 클램핑판(14)의 탄성 스프링(16)의 탄성력에 의해 원상태로 복귀되고, 벌어져 있던 클램핑판(14)의 가압판(20)이 고정면(12)쪽으로 하강하여 그리드(G)를 클램핑하게 된다.

이와 같이, 그리드가 정확한 위치에서 기계적으로 공급됨으로써, 고정키트의 각 위치에 그리드를 정밀하게 고정할 수 있게 된다. 그리드가 고정되면 베이스판에서 고정키트를 분리하여 다음 공정을 진행한다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

10 : 고정키트 11 : 홀더판
12 : 고정면 14 : 클램핑판
16 : 탄성 스프링 20 : 가압판
22 : 탄성부재 30 : 축볼트
32 : 홀 34 : 볼트머리
36 : 스프링 100 : 베이스판
102 : 구동실린더 106 : 수평실린더
108 : 연장바 110 : 공급부
112 : 필름 113 : 홀
114 : 공급롤 116 : 권취롤
117 : 돌기 118 : 구동모터
120 : 유도판 122 : 공급관
124 : 안내관 130 : 누름판
132 : 지지판 134 : 수직실린더
140 : 분리나이프

Claims (14)

1. 그리드를 고정하기 위한 고정키트가 장착되는 베이스판, 및 상기 베이스판 일측에 설치되어 그리드를 고정키트로 연속적으로 공급하기 위한 그리드 공급부를 포함하고,
   상기 그리드 공급부는 그리드가 간격을 두고 연속적으로 부착된 필름, 상기 베이스판에 설치되고 상기 필름이 감겨지는 공급롤, 상기 베이스판 상에 설치되어 공급롤에서 풀려나오는 필름을 상기 고정키트쪽으로 이동시키는 유도부, 상기 유도부에 설치되어 필름에 부착된 그리드를 분리하는 분리부, 상기 유도부를 지난 필름이 감겨지는 권취롤, 및 상기 권취롤에 설치되어 권취롤을 회전시켜 필름을 감기 위한 구동모터를 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 베이스판에 설치되어 고정키트에 구비되어 그리드를 고정하는 클램핑판을 조작하는 조작부를 더 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 조작부는 베이스판에 설치되어 고정키트의 클램핑판을 눌러 그리드 클램핑 상태를 전환하는 구동실린더를 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 조작부는 상기 구동실린더가 설치되는 브라켓, 및 상기 베이스판에 설치되고 상기 브라켓에 연결되어 브라켓에 설치된 구동실린더를 고정키트쪽으로 이동시키는 수평실린더를 더 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 필름은 폭방향 양 측단에 홀이 간격을 두고 연속적으로 형성되고, 상기 권취롤의 축방향 양 측단에는 상기 필름의 홀에 대응되는 위치에 홀 형성 간격에 맞춰 홀에 삽입되는 돌기가 설치된 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 유도부는 베이스판 상에 설치되는 상기 고정키트에 이격배치되는 유도판, 상기 유도판에 형성되어 필름을 유도판을 따라 고정키트 쪽으로 안내하는 공급관, 및 상기 분리부를 거쳐 그리드가 분리된 필름이 이동되는 안내관을 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 분리부는 상기 안내관이 수직방향으로 형성되어 필름이 수직방향으로 이동되고,
   상기 안내관을 지나 상기 유도판의 고정키트 쪽 선단부에는 필름에서 그리드를 분리하는 분리나이프가 설치되고, 상기 분리나이프는 끝으로 갈수록 뾰족하게 형성되고 필름쪽으로 연장되어 필름에 접하여 그리드를 분리하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 유도부는 유도판에 설치되어 필름을 수평으로 지지하여 안내하는 지지부를 더 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 지지부는 필름의 상단을 눌러주기 위한 누름판, 상기 유도판 상에 설치되어 상기 누름판을 상하로 이동가능하게 지지하는 지지판, 상기 유도판 상에 설치되는 조립대, 및 상기 조립대에 설치되고 상기 지지판에 연결되어 지지판을 상하로 이동시키는 수직실린더를 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 지지판과 상기 누름판 사이에 설치되는 탄성 스프링을 더 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
11. 제 9 항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 누름판에 설치되어 필름의 상단에 접하는 적어도 하나 이상의 상단지지롤, 및 상기 유도판에 설치되어 필름의 하단을 받쳐 지지하는 적어도 하나 이상의 하단지지롤을 더 포함하는 소재 성분 분석용 그리드 공급 장치.
12. 그리드가 고정되는 고정면이 연속적으로 배치된 홀더판,
    상기 홀더판 상에 중앙부가 회전가능하게 설치되고 일측 선단은 상기 고정면으로 연장되어 상기 그리드를 눌러 고정하는 클램핑판,
    상기 클램핑판의 타측 선단과 상기 홀더판 사이에 설치되어 회전복귀력을 가하는 탄성스프링,
    상기 홀더판에 체결되어 상기 클램핑판의 회전축을 이루는 축볼트,
    상기 클램핑판 중앙부에 형성되어 상기 축볼트가 관통되며 상기 축볼트가 유동가능한 크기로 형성되는 홀, 및
    상기 축볼트의 볼트머리와 상기 클램핑판 사이에 탄력 설치되는 스프링
    을 포함하는 그리드 고정키트.
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 고정키트는 상기 클램핑판에 설치되어 상기 그리드를 가압하는 가압판, 및 상기 클램핑판와 상기 가압판 사이에 탄력 설치되는 탄성부재를 더 포함하는 그리드 고정키트.
    
14. 삭제

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