JP2002368348A - Lsiパッケージ及びlsiパッケージの製造方法 - Google Patents

Lsiパッケージ及びlsiパッケージの製造方法

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    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
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    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation

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  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】多くの信号線を接続することが可能で、ノイズ
も少なく、高速動作が可能な製造性に優れるLSIパッ
ケージを提供する 【解決手段】 一つ又は複数のICチップを搭載する一
つ又は複数のキャリア基板を、配線基板に実装して構成
されるLSIパッケージにおいて、少なくとも一つのキ
ャリア基板10が、一つ又は複数のICチップ11を搭
載する第一の基板部102と、配線基板13に電気的に
接続される第二の基板部103と、第一の基板部102
と第二の基板部103とを電気的に接続するとともに折
り曲げ自在なフレキシブル配線部101とを有する構成
とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メモリICなどの
ICチップを複数搭載する一つ又は複数のキャリア基板
を、配線基板に実装して構成されるLSIパッケージ及
びこのLSIパッケージの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】メモリIC等のICチップを複数搭載す
るキャリア基板を、配線基板に実装したLSIパッケー
ジが、例えば特開平11−251539号公報等で知ら
れている。図9は、上記した従来のLSIパッケージの
構成を説明する正面図で、配線基板13にコネクタ19
を取り付け、このコネクタ19に設けられたコンタクト
20が、キャリア基板10′の電極と配線基板13の電
極とを電気的に接続するようにしている。
【0003】ところで、コンタクト20は、弾発力によ
ってキャリア基板10′の電極に接触しているので、振
動等によって隣接する電極又はコンタクト20がショー
トを起こさないようにするために、隣接する電極及び隣
接するコンタクト20間に隙間を設ける必要がある。こ
の隙間の寸法は0.2mm程度、隣接する電極及び隣接
するコンタクトの間隔は0.5mm程度が限界で、例え
ば、キャリア基板の幅が50mmである場合には、片面
に100個の端子を設けるのが限度となり、両面を合計
しても200個程度しか端子を設けることができない。
また、コネクタ19を使用した場合、コンタクト20の
長さによっては信号ノイズが増加させることがあり、こ
のような信号ノイズが高速動作に支障をきたす原因とな
るという問題がある。
【0004】そこで、コネクタ19及びコンタクト20
を使用しないLSIパッケージが提案されるに至ってい
る。図10は、コネクタ及びコンタクトを使用せず、リ
ード21によってキャリア基板10′と配線基板13と
を直接接続する構造を有するLSIパッケージの一例で
ある。図10に示すように、リード21によってキャリ
ア基板10′と配線基板13とが直接はんだで接合され
ている。そのため、このようなLSIパッケージは、前
記したような信号ノイズを低減させることができ、か
つ、リード21の間隔を小さくしてより多くの信号線を
得ることができるという利点がある。しかしながら、上
記したようなLSIパッケージにおいては、キャリア基
板10′を配線基板13から着脱する際に、リード21
のはんだ接合を加熱溶融しなければならず、作業が困難
で製造性が悪化するという問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点にかんがみてなされたもので、多くの信号線を接続す
ることが可能で、ノイズも少なく、高速動作が可能で、
かつ、はんだ接合によって接合を行う場合にも作業を容
易に行うことができる、製造性に優れるLSIパッケー
ジ及びLSIパッケージの製造方法を提供することを目
的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明は、一つ又は複数のICチ
ップを搭載する一つ又は複数のキャリア基板を、配線基
板に実装して構成されるLSIパッケージにおいて、少
なくとも一つの前記キャリア基板が、一つ又は複数のI
Cチップを搭載する第一の基板部と、前記配線基板に電
気的に接続される第二の基板部と、前記第一の基板部と
前記第二の基板部とを電気的に接続するとともに折り曲
げ自在なフレキシブル配線部とを有する構成としてあ
る。
【0007】この構成によれば、配線基板にキャリア基
板を実装する際又は配線基板からキャリア基板を取り外
す際には、作業のしやすい位置に第一の基板を退避させ
た状態で第二の基板と配線基板のはんだ接合作業又は離
脱作業を行うことができるので、製造性に優れるLSI
パッケージを得ることができる。また、請求項2に記載
するように、前記第二の基板部の電極と前記配線基板の
電極とをはんだで接合するようにするとよい。このよう
にすることで、多くの信号線を接続することが可能にな
るうえ、ノイズも少なく、高速動作が可能なLSIパッ
ケージを得ることができる。
【0008】請求項3に記載の発明は、前記キャリア基
板の少なくとも一つが、前記第二の基板部の反配線基板
側の面に、前記第二の基板部の前記はんだを加熱するた
めの発熱体を設けたものとして構成としてある。この構
成によれば、発熱体に電力を供給することによって、第
二の基板部のはんだを加熱することが容易になる。その
ため、キャリア基板の配線基板への取り付け及び取り外
しが容易に行えるようになる。また、配線基板上に複数
のキャリア基板を装着する場合に、特定のキャリア基板
のみを容易に脱着することが可能である。この場合、請
求項4に記載の発明のように、前記発熱体に、電源を供
給するための給電部と着脱自在な給電端子を設けるとよ
い。このように構成することで、はんだの加熱を行う際
にのみ、前記発熱体を電源に接続して、加熱作業を行う
ことができるので、作業性を向上させることができる。
【0009】請求項5に記載の発明は、前記キャリア基
板の少なくとも一つが、前記第二の基板部の反配線基板
側又は前記第一の基板部の側面に、前記第二の基板部に
対する前記第一の基板部の接続角度を設定又は維持する
ための角度設定部材を取り付けたものとして構成してあ
る。スチフナ等の角度設定部材を第一の基板部又は第二
の基板部に設けることで、前記第一の基板部と第二の基
板部とを所望の接続角度に正確に合わせることができ
る。また、フレキシブル配線部の折り曲げ部分の形状を
一定に維持することができ、キャリア基板の変形を防ぐ
ことができる。
【0010】なお、第二の基板部に発熱体を設けた場合
には、請求項6に記載の発明のように、前記発熱体の上
に、前記第二の基板部に対する前記第一の基板部の接続
角度を設定又は維持するための角度設定部材を取り付け
るようにするとよい。
【0011】請求項7に記載の発明は、前記キャリア基
板の少なくとも一つが、前記第二の基板部に対する前記
第一の基板部の接続角度を、直角を除く角度としたもの
として構成してある。このように構成することで、LS
Iパッケージの全高を低くすることが可能である。接続
角度は、個々のキャリア基板によって異なってもよい
し、第二の基板部に対する第一の基板部の折り曲げ方向
も個々のキャリア基板によって異なってもよい。
【0012】前記フレキシブル配線部は、請求項8に記
載するように、折り曲げ自在なプリント配線基板からな
るフレキシブル配線基板で構成してもよい。この場合
は、前記角度設定部材によってフレキシブル配線部を支
持させるようにするとよい。また、請求項9に記載する
ように、前記フレキシブル配線部が、所定以上の負荷又
は熱を加えることで塑性変形する絶縁層と、この絶縁層
に沿って設けられ、折り曲げ自在な配線部とから構成し
てもよい。この構成によれば、例えば、絶縁層としてポ
リイミド等の樹脂を用い、この樹脂に負荷又は熱を加え
ることで、容易にフレキシブル配線部を所定の角度に折
り曲げることができる。
【0013】本発明の目的は、請求項10〜15に記載
のLSIパッケージの製造方法によっても達成すること
ができる。請求項10に記載の発明は、一つ又は複数の
ICチップを搭載する一つ又は複数のキャリア基板を、
配線基板に実装して構成されるLSIパッケージの製造
方法において、一つ又は複数のICチップを搭載するた
めの第一の基板部と、前記配線基板に電気的に接続され
る第二の基板部と、前記第一の基板部と前記第二の基板
部とを電気的に接続するとともに折り曲げ自在なフレキ
シブル配線部とを有するキャリア基板を一つ又は複数準
備し、前記第一の基板部に一つ又は複数のICチップを
搭載する工程と、前記第二の基板部の電極にはんだを設
ける工程と、前記フレキシブル配線部を所望の角度に折
り曲げる工程と、前記はんだを加熱溶融して前記第二の
基板部を前記配線基板に接合する工程とを有する製造方
法である。この方法によれば、配線基板にキャリア基板
を実装する際又は配線基板からキャリア基板を取り外す
際には、作業のしやすい位置に第一の基板を退避させた
状態で第二の基板と配線基板の接合作業又は離脱作業を
行うことができる。また、多くの信号線を接続すること
が可能で、ノイズも少なく、高速動作が可能なLSIパ
ッケージを製造することができる。
【0014】請求項11に記載の発明は、前記第二の基
板部の反配線基板側の面又は前記第一の基板部の側面
に、角度設定部材を取り付ける工程をさらに有し、前記
角度設定部材によって前記第二の基板部に対する前記第
一の基板部の接続角度を設定又は維持させるようにした
製造方法である。この方法によれば、前記第一の基板部
と第二の基板部とを所望の接続角度に正確に合わせるこ
とができ、フレキシブル配線部の折り曲げ部分の形状を
一定に維持してキャリア基板の変形を防ぐことができ
る。
【0015】請求項12に記載の発明は、前記第二の基
板部の前記はんだを、前記第二の基板部の反配線基板側
の面から加熱する製造方法である。この場合、請求項1
3に記載するように、前記第二の基板部の前記反配線基
板側の面に、前記はんだを加熱するための発熱体を取り
付ける工程を設けるとよい。また、請求項14に記載す
るように、前記発熱体に給電端子を設け、前記はんだの
加熱を行う際に、前記発熱体に電源を供給するための給
電部に前記給電端子を接続するようにしてもよい。この
ようにすることで、はんだの加熱作業を行う際の作業性
を向上させることができる。
【0016】請求項15に記載の発明は、前記フレキシ
ブル配線部が、樹脂からなる絶縁層と、この絶縁層に沿
って設けられた配線層とから構成される場合において、
前記フレキシブル配線部を所望の角度に折り曲げる工程
で、前記絶縁層を加熱又は絶縁層に負荷を加えながら所
定の角度に折り曲げる方法である。フレキシブル配線部
は、所定以上の負荷をかけることで塑性変形する材料か
ら構成することができる。上記のように、樹脂を用いて
絶縁層を形成した場合には、加熱すること又は比較的小
さな負荷を加えることで容易に変形し、所望の角度にフ
レキシブル配線部を折り曲げることが可能である。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態
を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発
明のLSIパッケージ第一の実施形態にかかり、(a)
はLSIパッケージの構成を示す正面図、(b)は図1
(a)のII−II方向断面図、図2は、図1(a)のLS
IパッケージのI方向側面図である。図1及び図2に示
すように、LSIパッケージ1は、ICチップであるメ
モリIC11を複数搭載するキャリア基板10を、はん
だボール12を介して配線基板13に一つ又は複数実装
して構成されている。キャリア基板10は、第一の基板
部である第一のリジット部102、第二の基板である第
二のリジット部103及び第一のリジット部102と第
二のリジット部103の間に設けられた折り曲げ自在な
フレキシブル配線部101から構成されている。
【0018】リジット部102及びリジット部103は
通常のプリント配線基板材料(FR4)で形成されてい
る。また、フレキシブル配線部101は、図1(b)に
示すように、折り曲げ自在なフレキシブル配線基板10
1bをポリイミドからなる絶縁層101aで挟んだ構成
としてある。絶縁層101aがフレキシブル配線基板1
01bを絶縁状態に保持するとともに、塑性変形するこ
とによってフレキシブル配線部101の折り曲げ角度を
一定に保つ。この実施形態では、ポリイミドからなる絶
縁層101aを加熱しながら折り曲げ部104でほぼ直
角に折り曲げることで、メモリIC11が搭載された第
一のリジット部102と、配線基板13に取り付けられ
た第二のリジット部103とがほぼ直角をなすようにし
ている。また、フレキシブル配線基板101bは、リジ
ット部102とリジット部103とを電気的に接続する
ものである。
【0019】メモリIC11は、例えばTSOP(Th
in−Small−Outline−Package)
タイプのものであり、キャリア基板10の第一のリジッ
ト部102にはんだ付けによって実装されている。メモ
リIC11の電極は、第一のリジット部102の内層配
線に接続されている。第一のリジット部102の内層配
線はフレキシブル配線基板101bの内層配線に接続さ
れ、フレキシブル配線基板101bの内層配線は第二の
リジット部103の内層配線に接続されている。なお、
リジット部102,リジット部103及びフレキシブル
配線基板101bの前記内層配線は、電源層、信号層に
分けられていて、希望するインピーダンス(例えば50
Ω)になるように調整して形成されている。
【0020】第二のリジット部103の下面には、配線
基板13の電極と電気的に接続される電極が格子状に配
置されている。第二のリジット部103の電極と配線基
板13の電極とは、はんだボール12によって接合され
ている。キャリア基板10の幅(図1の紙面に直行する
方向の幅)を50mmとした場合、電極間隔を1mmと
すると、1列当たり約50個の電極を並べることが可能
である。したがって、これを8列並べることで、400
個の電極を配置することが可能になる。このように、本
発明のLSIパッケージでは、従来のリードやコンタク
トの間隔よりも広い電極間隔でありながら従来のLSI
パッケージよりも多数の電極を設けることが可能になる
うえ、この広い電極間隔によって実装精度に余裕が生じ
るので、製造性を高めることができるという利点があ
る。
【0021】次に、本発明の第二の実施形態を、図3を
参照しながら説明する。図3のLSIパッケージ2の基
本構成は、上記の第一の実施形態のLSIパッケージ1
とほぼ同じである。そのため、第一の実施形態のLSI
パッケージ1と同一部材、同一部位には同一の符号を付
して、詳しい説明は省略する。この実施形態では、第二
のリジット部103の反配線基板側の面に、角度設定部
材であるスチフナ14が取り付けられている。
【0022】スチフナ14は、相隣接する二つの側面1
4a,14bが、予め設定された角度αをなすように形
成されていて、スチフナ14の一方の側面14bを第二
のリジット部103の反配線基板側の面に取り付け、第
一のリジット部102の側面をスチフナ14の他方の側
面14aに接着することで、フレキシブル配線部101
の折り曲げ形状を一定に維持することができ、キャリア
基板10の変形を防ぐことが可能になる。
【0023】また、フレキシブル配線部10を、柔軟な
フレキシブル配線基板のみで形成したような場合には、
スチフナ14の二つの側面14a,14bに第一のリジ
ット部102と第二のリジット部103を接着すること
で、接続角度を所望の角度(α)に合わせることができ
る。このようなスチフナ14は、プラスチックを射出成
形したり、アルミニウム等の金属を切削することで形成
することができる。また、スチフナ14と第二のリジッ
ト部103及び第一リジット部102との固着には、熱
可塑性接着剤や熱硬化型接着剤を使用することができ
る。
【0024】次に、本発明の第三の実施形態を、図4及
び図5を参照しながら説明する。この実施形態において
も、LSIパッケージ3の基本構成は第一の実施形態の
LSIパッケージ1とほぼ同じであるため、第一の実施
形態のLSIパッケージ1と同一部材、同一部位には同
一の符号を付して、詳しい説明は省略する。図4に示す
ように、この第三の実施形態では、第二のリジット部1
03の反配線基板側の面に、はんだボール12を加熱溶
融するための発熱体17が取り付けられている。発熱体
17としては、アルミナセラミック等で形成された絶縁
性の板材に、窒化タンタル等の発熱抵抗体を膜状に設け
た公知のものを用いることができる。前記した発熱抵抗
体は、スパッタや厚膜印刷等の工法で形成することがで
きる。なお、発熱抵抗体を銅等の金属で形成する場合に
は、絶縁膜を形成したあとに発熱抵抗体を形成するよう
にするとよい。
【0025】発熱体17には、前記発熱抵抗体に電力を
供給するための金属製の給電端子18が設けられ、この
給電端子18を介して、接続コード等で、図示しない電
源供給部の給電部と着脱自在に接続できるようになって
いる。給電端子18としては、ピン形状又は板形状であ
るとよく、前記発熱抵抗体にはんだ付け、あるいはろー
材によって固着されている。給電端子18を前記発熱抵
抗体にはんだ付けあるいはろー付けによって固着する場
合は、はんだ及びろー材は、はんだボール12よりも溶
融点が高いものを使用する。はんだボール12と同等の
溶融点を有するものを使用する場合には、溶融しても給
電端子18が発熱体17から脱落しないように、絶縁性
の材料で固着するとよい。
【0026】給電端子18から発熱体17の発熱抵抗体
に電力を供給することによって、発熱体17が発熱し
て、はんだボール12のはんだを加熱溶融することが可
能になる。はんだボール12を溶融温度(例えばSn6
3/Pb37wt%のはんだを使用した場合、溶融温度
は183℃)以上に加熱することで、キャリア基板10
を配線基板13に対して脱着可能になる。また、配線基
板13上に複数のキャリア基板10が搭載されている場
合において、特定のキャリア基板10のみを配線基板1
3に対して脱着することができ、作業上有利である。さ
らに、はんだボール12を加熱するとき以外は、給電端
子18と電源供給部の給電部とを接続する接続コードを
外しておけばよいので、作業中に前記接続コードが円滑
な作業を妨げるという不都合も生じない。
【0027】なお、この第三の実施形態においても、第
二の実施形態のLSIパッケージ2と同様に角度設定部
材としてのスチフナを設けることが可能である。この場
合は、図5示すように、発熱体17の上にスチフナ15
を取り付ける。また、発熱体17の発熱によってスチフ
ナ15が溶融したり変形したりしないようにするため
に、スチフナ15と発熱体17との間に断熱材を設ける
か、金属やセラミック等で形成したスチフナ15を用い
るとよい。
【0028】次に、本発明の第四の実施形態を、図6及
び図7を参照しながら説明する。この実施形態において
は、LSIパッケージ4の基本構成は第一の実施形態及
び第二の実施形態のLSIパッケージ1,2とほぼ同じ
であるため、第一の実施形態及び第二の実施形態のLS
Iパッケージ1,2と同一部材、同一部位には同一の符
号を付して、詳しい説明は省略する。
【0029】この実施形態では、第一のリジット部10
2が第二のリジット部103に対して、角度βで傾斜し
て設けられている。仮想線で示すように、隣接する二つ
の側面16a,16bによって形成される角部の角度が
βであるスチフナ16を用いてもよい。角度βは、0°
<β<90°又は90°<β<180°の範囲内になる
ようにする。このように、第一のリジット部102を、
第二のリジット部103に対して直角(90°)の角度
位置からいずれかの方向に傾倒させることで、LSIパ
ッケージ4の全高hを、図1〜図5で示すLSIパッケ
ージ1,2,3(α=90°)よりも低くすることがで
きるという利点がある。
【0030】この第四の実施形態のLSIパッケージ4
においては、図7に示すように、複数のキャリア基板1
0を配線基板13上に実装する場合に、角度βの大きさ
及び第二のリジット部103に対する第一のリジット部
102の傾斜方向を、各キャリア基板10ごとに異なら
せてもよい。このようにすることで、例えば、LSIパ
ッケージ4の周囲の近傍にキャリア基板10と干渉する
おそれのある他の部材(図7において仮想線で示す凸状
の部材)が存在していても、この部材Sとキャリア基板
10との干渉を回避することができ、LSIパッケージ
4を組み込む装置の小型化を図ることができるという利
点がある。
【0031】次に、図1及び図8を参照しながら、本発
明のLSIパッケージの製造方法を説明する。図8
(a)〜(d)は、第一の実施形態で説明したLSIパ
ッケージの組立工程を示す図である。まず、第一のリジ
ット部102と第二のリジット部103をフレキシブル
配線部101で接続したキャリア基板10を準備する。
そして、図8(a)に示す工程において、第一のリジッ
ト部102の一側面にメモりIC11を実装するととも
に、第二のリジット部103の一側面にはんだボール1
2を取り付ける。
【0032】次いで、図8(b)に示す工程において、
キャリア基板10を反転し、第一のリジット部102の
他側面にメモりIC11を実装する。メモリICの実装
は、メモリIC11が搭載される第一のリジット部10
2のパッド上に、例えば、Sn63/Pb37wt%の
クリームはんだを印刷供給した後、200℃の加熱を行
ってはんだを溶融させることで、行うことができる。
【0033】また、はんだボール12の取り付けは、は
んだボール12が取り付けられるリジット部103のパ
ッド上にクリームはんだ又はフラックスを印刷供給し、
この状態で加熱リフローすることによって行うことがで
きる。この場合も、はんだ材料が例えばSn63/Pb
37wt%の場合には、200℃の加熱を行い、はんだ
を溶融させることで実装を行うことができる。この製造
方法においても、先に説明したように、従来のLSIパ
ッケージよりも多数の電極を設けることが可能で、広い
電極間隔によって実装精度に余裕が生じるので、LSI
パッケージの製造性を高めることができるという利点が
ある。
【0034】なお、図8(a)(b)の工程では、第一
のリジット部102と第二のリジット部103を同一の
直線上に伸ばした状態でメモりIC11の実装作業及び
はんだボール12の取り付け作業を行っているが、フレ
キシブル配線部101によって第一のリジット部102
と第二のリジット部103の位置関係を任意にすること
ができるので、より作業のしやすい位置関係でメモりI
C11の実装及びはんだボール12の取り付けを行うこ
とができる。また、第二〜第四の実施形態の発熱体17
を取り付ける場合は、図8(a)(b)の工程の後に発
熱体17を取り付けるようにすればよい。
【0035】次に、図8(c)に示すように、フレキシ
ブル配線部101を折り曲げ部104で所定の角度に折
り曲げる。フレキシブル配線部101が、図1(b)に
示すように、所定以上の負荷又は熱を加えることで塑性
変形する絶縁層101aと、この絶縁層101aに沿っ
て設けられた折り曲げ自在なフレキシブル配線基板10
1bとから構成されているような場合は、予め所定の角
度に形成された金型等にフレキシブル配線部101を挟
み込み、負荷及び/又は熱(例えば100℃の熱)を加
えて塑性変形させる。第二〜第四の実施形態のスチフナ
14〜16の取り付けはこの工程で行う。
【0036】フレキシブル配線部101が柔軟なフレキ
シブル配線基板のみで構成されているような場合は、第
二〜第四の実施形態のスチフナ14〜16の取り付け、
スチフナ14〜16の側面の角度に合わせてフレキシブ
ル配線基板を折り曲げながら、第一のリジット部102
と第二のリジット部103をスチフナ14〜16に接着
する。
【0037】最後に、図8(d)に示すように、配線基
板13にキャリア基板10を実装する。配線基板13の
パッド上にクリームはんだを印刷供給し、キャリア基板
を搭載し、加熱リフローを行う。発熱体17を取り付け
た場合には、この発熱体17に電源を供給して加熱をは
んだの加熱を行う。なお、加熱リフローの際にキャリア
基板10の転倒が懸念されるような場合は、治工具を用
いてキャリア基板10を支えるようにすればよい。ま
た、キャリア基板10の重量によって、はんだボール1
2が加熱リフロー中につぶれてしまうおそれがある場合
には、銅ボールを含んだはんだボール12を使用すると
よい。さらに、はんだボール12の高さを確保するた
め、フレキシブル配線部101と配線基板13の間にス
ペーサを設けるようにしてもよい。
【0038】本発明の好適な実施形態について説明した
が、本発明はこの実施形態により何ら限定されるもので
はない。例えば、フレキシブル配線部101は、樹脂製
の絶縁層101a,101aの間にフレキシブル配線基
板101bを挟み込んで形成するものとして説明した
が、スチフナ14〜16のような角度設定部材を用いる
場合はフレキシブル配線基板101b単体でフレキシブ
ル配線部101を構成してもよい。また、樹脂製の絶縁
層101a,101aの間に銅で形成された内層配線を
有する構成としてもよい。また、本発明は、メモリIC
に限らず、画像処理やその他の演算処理を行う他のIC
チップを搭載するLSIパッケージにも適用が可能であ
る。
【0039】
【発明の効果】本発明は上記のように構成されているの
で、メモリIC等のICチップを複数搭載するキャリア
基板を配線基板に実装する際の作業性を大幅に改善する
ことができる。また、多数の信号線を接続することが可
能となり、ノイズも少なく、高速動作が可能なパッケー
ジを、低廉な価格で提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のLSIパッケージ第一の実施形態にか
かり、(a)はLSIパッケージの構成を示す正面図、
(b)は図1(a)のII−II方向断面図である。
【図2】図1のLSIパッケージのI方向側面図であ
る。
【図3】本発明のLSIパッケージ第二の実施形態にか
かり、LSIパッケージの構成を示す正面図である。
【図4】本発明のLSIパッケージ第三の実施形態にか
かり、LSIパッケージの構成を示す正面図である。
【図5】第三の実施形態のLSIパッケージにスチフナ
を設けた場合の構成を示す正面図である。
【図6】第四の実施形態のLSIパッケージにスチフナ
を設けた場合の構成を示す正面図である。
【図7】第四の実施形態のLSIパッケージを配線基板
に設けた正面図で、接続角度の異なる複数のLSIパッ
ケージを設けた場合を示している。
【図8】本発明のLSIパッケージの製造方法の説明図
にかかり、図8(a)〜(d)は、第一の実施形態で説
明したLSIパッケージの組立工程を示す図である。
【図9】本発明の従来例にかかり、ICチップを複数搭
載するキャリア基板を、配線基板に実装したLSIパッ
ケージの一例を示す正面図である。
【図10】本発明の従来例にかかり、コネクタを使用せ
ず、リードによってキャリア基板と配線基板とを接続す
る構造を有するLSIパッケージの一例を示す正面図で
ある。
【符号の説明】
1〜4 LSIパッケージ 10 キャリア基板 11 メモリIC(ICチップ) 12 はんだボール(はんだ) 13 配線基板 101 フレキシブル配線部 101a 絶縁層 101b フレキシブル配線基板 102 第一のリジット部(第一の基板部) 103 第二のリジット部(第二の基板部) 14〜16 スチフナ(角度設定部材) 17 発熱体 18 給電端子 α、β 角度
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 1/18 3/36 Fターム(参考) 5E336 AA04 AA14 BB03 BB12 BB15 BC21 BC34 CC32 CC58 EE03 EE05 GG05 GG11 5E338 AA05 AA12 AA16 BB54 BB71 BB75 CC01 CD33 CD40 EE11 EE32 5E344 AA02 AA12 AA15 AA21 AA26 BB02 BB04 BB10 CC03 CD09 DD02 EE08 EE21

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一つ又は複数のICチップを搭載する一
    つ又は複数のキャリア基板を、配線基板に実装して構成
    されるLSIパッケージにおいて、 少なくとも一つの前記キャリア基板が、一つ又は複数の
    ICチップを搭載する第一の基板部と、前記配線基板に
    電気的に接続される第二の基板部と、前記第一の基板部
    と前記第二の基板部とを電気的に接続するとともに折り
    曲げ自在なフレキシブル配線部とを有することを特徴と
    するLSIパッケージ。
  2. 【請求項2】 前記キャリア基板の少なくとも一つが、
    前記第二の基板部の電極と前記配線基板の電極とをはん
    だによって接合したものであることを特徴とする請求項
    1に記載のLSIパッケージ。
  3. 【請求項3】 前記キャリア基板の少なくとも一つが、
    前記第二の基板部の反配線基板側の面に、前記第二の基
    板部の前記はんだを加熱するための発熱体を設けたもの
    であることを特徴とする請求項2に記載のLSIパッケ
    ージ。
  4. 【請求項4】 前記発熱体に、電源を供給するための給
    電部と着脱自在な給電端子を設けたことを特徴とする請
    求項3に記載のLSIパッケージ。
  5. 【請求項5】 前記キャリア基板の少なくとも一つが、
    前記第二の基板部の反配線基板側又は前記第一の基板部
    の側面に、前記第二の基板部に対する前記第一の基板部
    の接続角度を設定又は維持するための角度設定部材を取
    り付けたものであることを特徴とする請求項1〜4のい
    ずれかに記載のLSIパッケージ。
  6. 【請求項6】 前記キャリア基板の少なくとも一つが、
    前記発熱体の上に、前記第二の基板部に対する前記第一
    の基板部の接続角度を設定又は維持するための角度設定
    部材を取り付けたものであることを特徴とする請求項3
    又は4に記載のLSIパッケージ。
  7. 【請求項7】 前記キャリア基板の少なくとも一つが、
    前記第二の基板部に対する前記第一の基板部の接続角度
    を、直角を除く角度としたものであることを特徴とする
    請求項1〜6のいずれかに記載のLSIパッケージ。
  8. 【請求項8】 前記フレキシブル配線部が、折り曲げ自
    在なプリント配線基板からなるフレキシブル配線基板で
    あることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の
    LSIパッケージ。
  9. 【請求項9】 前記フレキシブル配線部が、所定以上の
    負荷又は熱を加えることで塑性変形する絶縁層と、この
    絶縁層に沿って設けられ、折り曲げ自在な配線部とから
    なることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の
    LSIパッケージ。
  10. 【請求項10】 一つ又は複数のICチップを搭載する
    一つ又は複数のキャリア基板を、配線基板に実装して構
    成されるLSIパッケージの製造方法において、 一つ又は複数のICチップを搭載するための第一の基板
    部と、前記配線基板に電気的に接続される第二の基板部
    と、前記第一の基板部と前記第二の基板部とを電気的に
    接続するとともに折り曲げ自在なフレキシブル配線部と
    を有するキャリア基板を一つ又は複数準備し、 前記第一の基板部に一つ又は複数のICチップを搭載す
    る工程と、 前記第二の基板部の電極にはんだを設ける工程と、 前記フレキシブル配線部を所望の角度に折り曲げる工程
    と、 前記はんだを加熱溶融して前記第二の基板部を前記配線
    基板に接合する工程と、 を有することを特徴とするLSIパッケージの製造方
    法。
  11. 【請求項11】 前記第二の基板部の反配線基板側の面
    又は前記第一の基板部の側面に、角度設定部材を取り付
    ける工程をさらに有し、前記角度設定部材によって前記
    第二の基板部に対する前記第一の基板部の接続角度を設
    定又は維持させることを特徴とする請求項10に記載の
    LSIパッケージの製造方法。
  12. 【請求項12】 前記第二の基板部の前記はんだを、前
    記第二の基板部の反配線基板側の面から加熱することを
    特徴とする請求項10又は11に記載のLSIパッケー
    ジの製造方法。
  13. 【請求項13】 前記第二の基板部の前記反配線基板側
    の面に、前記はんだを加熱するための発熱体を取り付け
    る工程をさらに有することを特徴とする請求項12に記
    載のLSIパッケージの製造方法。
  14. 【請求項14】 前記発熱体に給電端子を設け、この給
    電端子を、前記はんだの加熱を行う際に、前記発熱体に
    電源を供給するための給電部に接続することを特徴とす
    る請求項13に記載のLSIパッケージの製造方法。
  15. 【請求項15】 前記フレキシブル配線部が、樹脂から
    なる絶縁層と、この絶縁層に沿って設けられた配線層と
    から構成される場合において、前記フレキシブル配線部
    を所望の角度に折り曲げる工程で、前記絶縁層を加熱又
    は絶縁層に負荷を加えながら所定の角度に折り曲げるこ
    とを特徴とする請求項10〜14に記載のLSIパッケ
    ージの製造方法。
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