JP2002368035A - ワイヤボンダ用ワイヤクランプ装置 - Google Patents

ワイヤボンダ用ワイヤクランプ装置

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JP2002368035A JP2001170788A JP2001170788A JP2002368035A JP 2002368035 A JP2002368035 A JP 2002368035A JP 2001170788 A JP2001170788 A JP 2001170788A JP 2001170788 A JP2001170788 A JP 2001170788A JP 2002368035 A JP2002368035 A JP 2002368035A
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actuator
axis
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Mitsuru Sentoda
充 仙洞田
Osamu Nakayama
治 中山
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Abstract

(57)【要約】 【課題】Ｚ軸高速揺動のためのＺ軸ボンディングアーム
全体の軽量化・小イナーシャ化を実現することができる
ワイヤボンディング用ワイヤクランプ装置の提供。 【解決手段】ＸＹステージ上に固定されたＺ方向回転軸
１３を中心にＺ軸に揺動するボンディングアーム４上
に、金線ワイヤ９を把持する固定クランパ７、固定ワイ
ヤ把持部８、可動クランプ１１、可動ワイヤ把持部１０
と、可動クランプを駆動するカットクランプ動作用アク
チュエータ１２と、可動クランプの開放側端部とカット
クランプ動作用アクチュエータとを接続する駆動用ワイ
ヤ１５と有し、可動クランプを板ばね等の弾性体で形成
し、可動クランプの弾性変形によって金線ワイヤを把持
又は開放し、かつ、ボンディングアーム全体の重心がＺ
軸支点軸近傍となるようにカットクランプ動作用アクチ
ュエータの配設位置を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤボンダのワ
イヤクランプ装置に関し、特に、ボンディング工程での
ワイヤのカットクランプに適用しうるワイヤボンダのワ
イヤクランプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤボンダのワイヤクランプ装
置は、ボンディングヘッドＺ軸に固定されている固定ク
ランパと、固定クランパと鋏状に配置され一点を支点と
して揺動する可動クランパと、この可動クランパと連結
し可動クランパを駆動するクランプ用ＶＣＭとを含んで
構成されている。
【０００３】従来のワイヤボンダのワイヤクランプ装置
について、図面を参照して詳細に説明する。図４は従来
のワイヤボンダ、ワイヤクランプ装置の一例を示す上面
図、図５はその側面図である。図４及び図５に示す従来
のワイヤボンダのワイヤクランプ装置はボンディングア
ーム４に搭載され、このボンディングアーム４はボンデ
ィングツールであるホーン５を保持し、ホーン５の先端
にはキャピラリ６が固定されている。
【０００４】このキャピラリ６に金線ワイヤ９を通して
キャピラリの上方位置において固定クランパ７と可動ク
ランパ１６で金線ワイヤ９を挟持する。可動クランパ１
６には、カットクランプ用アクチュエータ（ＶＣＭ磁気
回路）１９とカットクランプ用アクチュエータ（ＶＣＭ
コイル）２０とが連結し、カットクランプ用アクチュエ
ータ（ＶＣＭ磁気回路）１９とカットクランプ用アクチ
ュエータ（ＶＣＭコイル）２０とに駆動され、可動クラ
ンパ１６は支点２１を中心に揺動して固定クランパ７と
で金線ワイヤ９を挟持する。ワイヤクランプ装置が搭載
されたボンディングアーム４は、Ｚ軸支点軸１３の周り
に高速で揺動する。
【０００５】ここで、ワイヤボンディングのシーケンス
を図６に示す。通常ワイヤクランプは、セカンドボンデ
ィングが終了しフィードアップ動作を完了後（図６の
（ｉ）参照）、カットクランプ用アクチュエータ１９、
２０を駆動して金線ワイヤ９を挟持し、その状態で上昇
することにより、セカンドボンディング点から繋がった
金線ワイヤ９を切断する（図６の（ｊ）参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ワイヤボンダでは高速
でボンディングするために、ボンディングヘッド３はＺ
軸を中心に高速で揺動するが、ワイヤクランプ装置はボ
ンディングヘッド３に固定されており、Ｚ軸の高速揺動
を実現するためにはワイヤクランプ装置の軽量化・揺動
軸回りの低イナーシャ化が必要である。ところが、従来
のワイヤクランプ装置では、可動側ワイヤクランプ（可
動クランパ１６および可動ワイヤ把持部１０）を動作さ
せるためのカットクランプ用アクチュエータ１９、２０
がボンディングアーム４上のカットクランプ部（固定ク
ランパ７、固定ワイヤ把持部８、可動ワイヤ把持部１
０、可動クランパ１６）に取り付けられており、Ｚ軸ボ
ンディングアームの軽量化・小イナーシャ化が困難であ
るという欠点があった。
【０００７】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであって、その主たる目的は、Ｚ軸高速揺動のための
Ｚ軸ボンディングアーム全体の軽量化・小イナーシャ化
を実現することができるワイヤボンディング用ワイヤク
ランプ装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のワイヤボンディング用ワイヤクランプ装置
は、ボンディングアーム上に、ボンディングワイヤを把
持する一対のワイヤクランプと、該一対のワイヤクラン
プの少なくとも一方を駆動するアクチュエータとを有す
るワイヤクランプ装置において、駆動される前記ワイヤ
クランプが弾性体を含み、該ワイヤクランプの一端に接
続される前記アクチュエータの駆動に伴って、前記ワイ
ヤクランプが弾性変形して前記ボンディングワイヤを把
持又は解放するものである。
【０００９】本発明においては、前記ボンディングアー
ム及び該ボンディングアームに固定される構成物全体の
重心が、該ボンディングアームの回転軸近傍に位置する
ように、前記アクチュエータの配設位置が設定されるこ
とが好ましい。
【００１０】また、本発明のワイヤボンディング用ワイ
ヤクランプ装置は、ＸＹステージ上のＺ方向回転軸を中
心にＺ軸に揺動するボンディングアーム上に配設され、
ボンディングワイヤを把持するためのワイヤクランプと
該ワイヤクランプを駆動するアクチュエータと含むワイ
ヤボンダ用ワイヤクランプ装置において、前記ワイヤク
ランプは、前記ボンディングアームに固定される第１の
把持部と、前記第１の把持部に固定される第２の把持部
とで構成され、かつ、前記第２の把持部は、駆動用ワイ
ヤを介して前記アクチュエータと接続されているもので
ある。
【００１１】本発明においては、前記第２の把持部が弾
性体で構成されていることが好ましく、前記第１の把持
部と前記第２の把持部の一端とが回転軸を介して接続さ
れており、前記第１の把持部と前記第２の把持部の他端
とが弾性体を介して接続されている構成とすることがで
きる。
【００１２】また、本発明のワイヤボンディング用ワイ
ヤクランプ装置は、ＸＹステージ上のＺ方向回転軸を中
心にＺ軸に揺動するボンディングアーム上に配設され、
ボンディングワイヤを把持するためのワイヤクランプと
該ワイヤクランプを駆動するアクチュエータと含むワイ
ヤボンダ用ワイヤクランプ装置において、前記ワイヤク
ランプは、第１の把持部と第２の把持部とで構成され、
前記第１の把持部の一端は、前記ボンディングアームの
第１の領域に固定され、前記第２の把持部の一端は、前
記ボンディングアームの第２の領域に固定され、かつ、
前記第１の把持部の他端と前記第２の把持部の他端との
うち少なくとも一方が、駆動用ワイヤを介して前記アク
チュエータと接続されているものである。
【００１３】また、本発明においては、前記第１の把持
部又は前記第２の把持部の少なくとも一方が弾性体で構
成されていることが好ましく、前記第１の把持部と前記
ボンディングアームとが第１の回転軸を介して接続さ
れ、前記第２の把持部と前記ボンディングアームとが第
２の回転軸を介して接続されており、前記第１の把持部
と前記第２の把持部とが弾性体を介して接続されている
構成とすることができる。
【００１４】前記アクチュエータが、前記アクチュエー
タと前記第１の把持部と前記第２の把持部と前記ボンデ
ィングアームとホーン及びキャピラリとを含む重心が前
記Ｚ方向回転軸近傍となる位置に設けられていることが
好ましい。
【００１５】このように、本発明は上記構成により、揺
動するＺ軸の軽量化、低イナーシャ化を図ることがで
き、高速なボンディングを実施することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明に係るワイヤボンディング
用ワイヤクランプ装置は、その好ましい一実施の形態に
おいて、ＸＹステージ上に固定されたＺ方向回転軸を中
心にＺ軸に揺動するボンディングアーム上に、ボンディ
ングワイヤを把持するための固定クランパ、固定ワイヤ
把持部、可動クランプ、可動ワイヤ把持部と、可動クラ
ンプを駆動するカットクランプ動作用アクチュエータ
と、可動クランプの開放側端部とカットクランプ動作用
アクチュエータとを接続する駆動用ワイヤと有し、可動
クランプを板ばね等の弾性体で形成し、可動クランプの
弾性変形によってボンディングワイヤを把持又は開放
し、かつ、ボンディングアーム全体の重心がＺ軸支点軸
近傍となるようにカットクランプ動作用アクチュエータ
の配設位置を調整することにより、ワイヤクランプ部の
軽量化及びボンディングアーム部の小イナーシャ化を図
っている。上記ワイヤクランプ装置の各実施形態につい
て以下に説明する。
【００１７】［実施の形態１］まず、本発明の第１の実
施形態に係るワイヤボンディング用ワイヤクランプ装置
について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、
第１の実施形態に係るワイヤボンディング装置の全体構
成を示す斜視図であり、図２は、ワイヤクランプ部を拡
大した斜視図である。
【００１８】本実施形態は、ＸＹステージ１、２と、Ｘ
Ｙステージ上に固定された揺動するＺ軸支点軸１３と、
金線ワイヤ９をボンディングするためのホーン５及びキ
ャピラリ６と、金線ワイヤ９を把持するためのワイヤク
ランプ装置をボンディングアーム４上に有するワイヤボ
ンディング装置において、ワイヤクランプ装置の一部を
弾性のある板ばね等の可動クランプ１１で構成し、この
弾性のある可動クランプ１１を駆動させるためのカット
クランプ動作用アクチュエータ１２が駆動用ワイヤ１５
により接続されているものである。
【００１９】図１の全体図と図２の拡大図を参照して説
明すると、Ｘ軸ステージ１及びＹ軸ステージ２と、Ｘ軸
ステージ１及びＹ軸ステージ２をそれぞれ動作させるＸ
軸ステージ用アクチュエータ１７及びＹ軸ステージ用ア
クチュエータ１８と、Ｘ軸ステージ１とＹ軸ステージ２
とに取り付けられたボンディングヘッド３と、ボンディ
ングヘッド３に取り付けられたＺ軸支点軸１３を持つボ
ンディングアーム４と、ボンディングアーム４に取り付
けられた固定クランパ７と、その先端に取り付けられる
固定ワイヤ把持部８と、固定クランパ７に取り付けられ
た板ばね等の可動クランプ１１と、可動クランプ１１の
先端に取り付けられ固定ワイヤ把持部８とで金線ワイヤ
９をクランプする可動ワイヤ把持部１０と、可動クラン
プ１１とカットクランプ動作用アクチュエータ１２とを
連結する駆動用ワイヤ１５とで構成される。なお、可動
クランプ１１は、弾性変形するものであれば良く、金属
製、例えば、ステンレス製やバネ鋼製やベリリウム銅製
や、プラスチック製でも構成することができる。
【００２０】次に、ワイヤのクランプ動作について説明
する。ワイヤボンディング装置のワイヤクランプ装置
は、Ｘ軸ステージ１とＹ軸ステージ２とに取り付けられ
たボンディングヘッド３のＺ軸支点軸１３を中心に揺動
するボンディングアーム４に取り付けられており、ボン
ディングアーム４は、ボンディングツールであるホーン
５を保持し、ホーン５の先端にはキャピラリ６が固定さ
れている。このキャピラリ６に金線ワイヤ９を通してキ
ャピラリ６の上方位置において固定ワイヤ把持部８と可
動ワイヤ把持部１０とで金線ワイヤ９を挟持する。
【００２１】可動ワイヤ把持部１０は弾性変形する可動
クランプ１１の先端に取り付けられ、可動クランプ１１
は固定クランパ７の先端に取り付けられている。把持動
作をさせるカットクランプ動作用アクチュエータ１２
は、ボンディングアーム４に設けられた凹部に収納さ
れ、ホーン５とキャピラリ６と固定クランパ７と固定ワ
イヤ把持部８と可動ワイヤ把持部１０と可動クランプ１
１とを含むボンディングアーム４にカットクランプ動作
用アクチュエータ１２を取りつけた時の重心が、揺動す
るボンディングアーム４のＺ軸支点軸１３近傍になるよ
うに取り付けられている。
【００２２】このように、カットクランプ動作用アクチ
ュエータ１２を、Ｚ軸支点軸１３に対して垂直であるＺ
方向の位置をＺ軸支点軸１３近傍にした場合は、揺動す
るボンディングアーム４のイナーシャを抑える事ができ
る。また、カットクランプ動作用アクチュエータ１２
を、Ｚ軸支点軸１３に対し垂直で、Ｘ軸ステージ１ある
いはＹ軸ステージ２に平行な方向の位置をＺ軸支点軸１
３近傍にした場合は、ホーン５とキャピラリ６と固定ク
ランパ７と固定ワイヤ把持部８と可動ワイヤ把持部１０
と可動クランプ１１とを含むボンディングアーム４とカ
ットクランプ動作用アクチュエータ１２との重心をＺ軸
支点軸１３近傍にする事ができ、揺動するボンディング
アーム４のイナーシャを抑える事ができる。
【００２３】そして、カットクランプ動作用アクチュエ
ータ１２が駆動すると、駆動用ワイヤ１５により可動ク
ランプ１１を弾性変形させて可動ワイヤ把持部１０と固
定ワイヤ把持部８とで金線ワイヤ９を挟持する。ワイヤ
クランプ装置は、金線ワイヤ９を挟持したままＺ軸支点
軸１３回りに揺動し、金線ワイヤ９を引きちぎる。な
お、金線ワイヤ９の解放は、カットクランプ動作用アク
チュエータ１２が可動クランプ１１の変形を緩める方向
に移動し、可動クランプ１１のたわみを元に戻すことに
より行われる。
【００２４】このように、本実施形態のワイヤクランブ
装置によれば、弾性変形する板ばね等で可動クランプ１
１を形成し、かつ、可動クランプ１１を駆動するための
カットクランプ動作用アクチュエータ１２をＺ軸支点軸
１３近傍に設置することにより、Ｚ軸ボンディングアー
ム全体の軽量化・小イナーシャ化を実現することができ
る。
【００２５】［実施の形態２］次に、本発明の第２の実
施形態に係るワイヤボンディング用ワイヤクランプ装置
について、図３を参照して説明する。図３は、第２の実
施形態に係るワイヤクランプ部の拡大図である。なお、
本実施形態は、第１の実施形態の固定側ワイヤクランプ
と可動側ワイヤクランプとの位置を反対向きに配置した
ことを特徴とするものである。
【００２６】図３に示すように、固定クランパ７の先端
には、固定ワイヤ把持部８が設けられ、固定クランパ７
のカットクランプ動作用アクチュエータ１２側の位置に
可動クランプ１１が設けられ、可動クランプ１１には可
動ワイヤ把持部１０が設けられている。この場合、可動
側ワイヤクランプ（可動クランプ１１および可動ワイヤ
把持部１０）は、カットクランプ動作用アクチュエータ
１２が動作していない初期状態で固定ワイヤ把持部８お
よび可動ワイヤ把持部１０は閉じている状態となり、金
線ワイヤ９を挟持する。
【００２７】このような構成によっても、Ｚ軸ボンディ
ングアーム全体の軽量化・小イナーシャ化を実現するこ
とができる。
【００２８】［実施の形態３］次に、本発明の第３の実
施形態に係るワイヤボンディング用ワイヤクランプ装置
について、図７及び図８を参照して説明する。図７は、
第３の実施形態に係るワイヤボンディング装置の全体構
成を示す斜視図であり、図８は、ワイヤクランプ部を拡
大した斜視図である。なお、本実施形態は、第１の実施
形態で金線ワイヤをクランプする部分のクランプ方向を
９０度回転させたことを特徴とするものである。
【００２９】すなわち、図７及び図８に示すように、ボ
ンディングアーム４から突き出したホーン５の突き出し
と同軸方向に固定ワイヤ把持部８と可動ワイヤ把持部１
０との開閉方向を有する第１の実施形態および第２の実
施形態と異なり、ボンディングアーム４から突き出した
ホーン５の突き出しと垂直方向に固定ワイヤ把持部８と
可動ワイヤ把持部１０との開閉方向を有する形態であ
る。本実施形態では、金線ワイヤ９をホーン５にセット
する作業を行う場合、作業者はホーン５の突き出された
先にいるため、ホーン５の先端に設けられた金線ワイヤ
９を挿入する穴を容易に確認することができ、作業性が
向上するという効果が得られる。
【００３０】また、図８に示すように、可動クランプ１
１は、固定クランパ７に取り付けるための第１の部位
と、可動ワイヤ把持部１０を設けるための第２の部位と
を有し、第１の部位と第２の部位とが弾性部により接続
されている。この弾性部は、弾性のある形状あるいは材
質であれば良く、例えば、弾性部を板バネのように金属
等で薄く構成したり、弾性変形させる方向とは垂直な方
向にスリットや凹形状を設ける構成も可能である。更
に、第１の部位と第２の部位と弾性部を一体として構成
することも可能である。
【００３１】［実施の形態４］次に、本発明の第４の実
施形態に係るワイヤボンディング用ワイヤクランプ装置
について説明する。
【００３２】前記した第１乃至第３の実施形態では、固
定クランパ７の一部に弾性変形する可動クランプ１１が
設けられたものであったが、弾性変形する可動クランプ
１１を同作用を実現できる構成であれば良く、固定クラ
ンパ７の一部に可動ワイヤ把持部１０を含む可動クラン
プ１１が回転軸を介して接続され、固定クランパ７と可
動クランプ１１とが弾性体を介して接続されていても良
い。この場合、弾性体はコイル上の一般的なバネを使用
することも可能であり、第１の実施形態の場合には、バ
ネが自由長の状態で金線ワイヤ９は開放されており、第
２の実施形態の場合には、バネが自由長の状態で金線ワ
イヤ９を挟持している。開放・挟持の動作に関してはそ
れぞれ第１の実施形態、第２の実施形態と同様である。
本実施形態の構成では、可動クランプ１１の材質の選択
肢を広げることができ、いろいろな使用条件に対応した
装置を構成することができる。
【００３３】［実施の形態５］次に、本発明の第５の実
施形態に係るワイヤボンディング用ワイヤクランプ装置
について説明する。
【００３４】前記した第１乃至第４の実施形態におい
て、駆動用ワイヤ１５の代わりに、剛性を有した棒状部
材を用いて可動クランプ１１に接続させることにより、
可動クランプ１１の弾性を利用した動作ではなく、カッ
トクランパ動作用アクチュエータ１２の駆動力を直接伝
達させて動作させることも可能である。
【００３５】［実施の形態６］次に、本発明の第６の実
施形態に係るワイヤボンディング用ワイヤクランプ装置
について、図９を参照して説明する。図９は、ワイヤボ
ンディング装置のワイヤクランプ部の拡大図である。
【００３６】図９に示すように、本実施形態のワイヤク
ランプ装置は、ボンディングアーム４に可動クランプ１
１ａと可動クランプ１１ｂとを設け、可動クランプ１１
ａおよび可動クランプ１１ｂの先端には、可動ワイヤ把
持部１０ａ、１０ｂが設けられている。また、可動クラ
ンプ１１ａ、１１ｂはそれぞれ可動ワイヤ把持部１０
ａ、１０ｂとは反対側の面において、駆動用ワイヤ１５
と接続され、駆動用ワイヤ１５は、可動クランプ１１
ａ、１１ｂを揺動するカットクランプ動作用アクチュエ
ータ１２と接続されている。また、可動クランプ１１
ａ、１１ｂは第１乃至第３の実施形態と同様に弾性体で
構成されており、カットクランプ動作用アクチュエータ
１２の駆動により、ワイヤ把持部１０ａ、１０ｂは開閉
する。可動クランプ１１ａ、１１ｂが変形していない開
放状態で金線ワイヤ９は挟持されており、支点２２を介
して駆動ワイヤ１５により可動クランプ１１ａ、１１ｂ
を変形させた状態で金線ワイヤ９を開放する。
【００３７】なお、図９では支点２２を設けた例を記載
しているが、可動クランプ１１ａ、１１ｂと駆動用ワイ
ヤ１５との接続点αと、カットクランプ動作用アクチュ
エータ１２と駆動用ワイヤ１５との接続点βとの位置関
係によっては、支点２２を設ける必要はなく、可動クラ
ンプ１１ａ、１１ｂの開閉方向に駆動用ワイヤ１５の張
力が発生すれば良い。また、カットクランプ動作用アク
チュエータ１２は１つとしているが、可動クランプ１１
ａと可動クランプ１１ｂとに１つずつ設けても良い。
【００３８】本実施形態の構成によれば、ワイヤ把持部
１０ａ、１０ｂ間の金線ワイヤ９開放時の開き量を第１
乃至第３の実施形態と同じとする場合、ひとつの可動ク
ランプで見ると、その開き量は１／２で良く、カットク
ランプ動作用アクチュエータ１２の駆動力を少なくする
事ができる。つまり、小型のカットクランプ動作用アク
チュエータ１２を選択する事ができ、ボンディングアー
ム４上の重量を減らすことができるため、低イナーシャ
化において効果を奏する事ができる。また、本実施形態
の場合も第４の実施形態と同様に、可動クランプ１１ａ
と可動クランプ１１ｂとを弾性体で接続する構成とする
ことも可能である。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤボ
ンディング用ワイヤクランプ装置によれば、可動側カッ
トクランプと、可動側カットクランプを動作させるため
のカットクランプ動作用アクチュエータを駆動用ワイヤ
で接続し、アクチュエータをＺ軸揺動中心に近づけるこ
と及びカットクランプ装置の一部を弾性のある材質で構
成し、バネ性を持たせることにより、揺動するＺ軸の軽
量化、低イナーシャ化を図ることができ、高速なボンデ
ィングを実施することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るワイヤボンディ
ング装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るワイヤボンディ
ング装置のワイヤクランプ部の拡大図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るワイヤボンディ
ング装置のワイヤクランプ部の拡大図である。
【図４】従来のワイヤボンディング装置の上面図であ
る。
【図５】従来のワイヤボンディング装置の側面図であ
る。
【図６】ワイヤボンディング装置のボンディングシーケ
ンスである。
【図７】本発明の第３の実施形態に係るワイヤボンディ
ング装置の全体図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係るワイヤボンディ
ング装置のワイヤクランプ部の拡大図である。
【図９】本発明の第６の実施形態に係るワイヤボンディ
ング装置のワイヤクランプ部の拡大図である。
【符号の説明】
１ Ｘ軸ステージ ２ Ｙ軸ステージ ３ ボンディングヘッド ４ ボンディングアーム ５ ホーン ６ キャピラリ ７ 固定クランパ ８ 固定ワイヤ把持部 ９ 金線ワイヤ １０、１０ａ、１０ｂ 可動ワイヤ把持部 １１、１１ａ、１１ｂ 可動クランプ １２ カットクランプ動作用アクチュエータ １３ Ｚ軸支点軸 １４ ワイヤボンディング装置ベース １５ 駆動用ワイヤ １６ 可動クランパ １７ Ｘ軸ステージ用アクチュエータ １８ Ｙ軸ステージ用アクチュエータ １９ カットクランプ用アクチュエータ（ＶＣＭ磁気回
路） ２０ カットクランプ用アクチュエータ（ＶＣＭコイ
ル） ２１ 支点 ２２ 支点

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ボンディングアーム上に、ボンディングワ
    イヤを把持する一対のワイヤクランプと、該一対のワイ
    ヤクランプの少なくとも一方を駆動するアクチュエータ
    とを有するワイヤクランプ装置において、 駆動される前記ワイヤクランプが弾性体を含み、該ワイ
    ヤクランプの一端に接続される前記アクチュエータの駆
    動に伴って、前記ワイヤクランプが弾性変形して前記ボ
    ンディングワイヤを把持又は解放することを特徴とする
    ワイヤボンダ用ワイヤクランプ装置。
  2. 【請求項２】前記ボンディングアーム及び該ボンディン
    グアームに固定される構成物全体の重心が、該ボンディ
    ングアームの回転軸近傍に位置するように、前記アクチ
    ュエータの配設位置が設定されることを特徴とする請求
    項１記載のワイヤボンダ用ワイヤクランプ装置。
  3. 【請求項３】ＸＹステージ上のＺ方向回転軸を中心にＺ
    軸に揺動するボンディングアーム上に配設され、ボンデ
    ィングワイヤを把持するためのワイヤクランプと該ワイ
    ヤクランプを駆動するアクチュエータと含むワイヤボン
    ダ用ワイヤクランプ装置において、 前記ワイヤクランプは、前記ボンディングアームに固定
    される第１の把持部と、前記第１の把持部に固定される
    第２の把持部とで構成され、かつ、前記第２の把持部
    は、駆動用ワイヤを介して前記アクチュエータと接続さ
    れていることを特徴とするワイヤボンダ用ワイヤクラン
    プ装置。
  4. 【請求項４】前記第２の把持部が弾性体で構成されてい
    ることを特徴とする請求項３記載のワイヤボンダ用ワイ
    ヤクランプ装置。
  5. 【請求項５】前記第１の把持部と前記第２の把持部の一
    端とが回転軸を介して接続されており、前記第１の把持
    部と前記第２の把持部の他端とが弾性体を介して接続さ
    れていることを特徴とする請求項３又は４に記載のワイ
    ヤボンダ用ワイヤクランプ装置。
  6. 【請求項６】ＸＹステージ上のＺ方向回転軸を中心にＺ
    軸に揺動するボンディングアーム上に配設され、ボンデ
    ィングワイヤを把持するためのワイヤクランプと該ワイ
    ヤクランプを駆動するアクチュエータと含むワイヤボン
    ダ用ワイヤクランプ装置において、 前記ワイヤクランプは、第１の把持部と第２の把持部と
    で構成され、前記第１の把持部の一端は、前記ボンディ
    ングアームの第１の領域に固定され、前記第２の把持部
    の一端は、前記ボンディングアームの第２の領域に固定
    され、かつ、前記第１の把持部の他端と前記第２の把持
    部の他端とのうち少なくとも一方が、駆動用ワイヤを介
    して前記アクチュエータと接続されていることを特徴と
    するワイヤボンダ用ワイヤクランプ装置。
  7. 【請求項７】前記第１の把持部又は前記第２の把持部の
    少なくとも一方が弾性体で構成されていることを特徴と
    する請求項６記載のワイヤボンダ用ワイヤクランプ装
    置。
  8. 【請求項８】前記第１の把持部と前記ボンディングアー
    ムとが第１の回転軸を介して接続され、前記第２の把持
    部と前記ボンディングアームとが第２の回転軸を介して
    接続されており、前記第１の把持部と前記第２の把持部
    とが弾性体を介して接続されていることを特徴とする請
    求項６又は７に記載のワイヤボンダ用ワイヤクランプ装
    置。
  9. 【請求項９】前記アクチュエータが、前記アクチュエー
    タと前記第１の把持部と前記第２の把持部と前記ボンデ
    ィングアームとホーン及びキャピラリとを含む重心が前
    記Ｚ方向回転軸近傍となる位置に設けられていることを
    特徴とする請求項３乃至８のいずれか一に記載のワイヤ
    ボンダ用ワイヤクランプ装置。
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