JPH1092863A - ボンディング装置用ワイヤクランパ - Google Patents

ボンディング装置用ワイヤクランパ

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JPH1092863A
JPH1092863A JP8265164A JP26516496A JPH1092863A JP H1092863 A JPH1092863 A JP H1092863A JP 8265164 A JP8265164 A JP 8265164A JP 26516496 A JP26516496 A JP 26516496A JP H1092863 A JPH1092863 A JP H1092863A
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JP
Japan
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clamp
pieces
clamp pieces
giant magnetostrictive
wire
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JP8265164A
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Yoshiharu Nakatomi
芳春 中富
Yasuhiro Matsui
康浩 松井
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Moritex Corp
Nidec Tosok Corp
Original Assignee
Moritex Corp
Tosok Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プッシュプルソレノイドで駆動する方式、ボ
イスコイル系リニアモータで駆動する方式、圧電素子で
駆動する方式の欠点を全て解消したボンディグ装置用ワ
イヤクランパを提供する。 【課題手段】 クランプ片２ａ，２ｂは、基端部４の内
側に形成された略コ字状の連結枠５により一体化され、
この連結枠５は、両クランプ片２ａ，２ｂに沿った方向
に延在し一端部が各クランプ片２ａ，２ｂの基端部４に
結合された一対の対向部５ａ，５ｂと、この対向部５
ａ，５ｂの他端部間に架橋された架橋部５ｃとを一体的
に有している。また、前記基端部４の外側には、ベース
部７が一体的に設けられ、ベース部７と前記対向部５
ａ，５ｂ間には、この空間部８に連なるスリット９ａ，
９ｂが設けられている。空間部８内には、超磁歪アクチ
ュエータ１０が収容配置されており、この超磁歪アクチ
ュエータ１０は超磁歪合金を駆動源とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程の
一工程であるワイヤボンディング工程の終了後に、ワイ
ヤをボンディング点から引き千切る際にワイヤを挟持す
るボンディグ装置用ワイヤクランパに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程中のワイヤボンディング
工程は、図１０に示すような方法で行われている。すな
わち、スプール５０から繰り出した金、アルミ等の金属
細線であるワイヤ５１を、ガイド５２、ワイヤクランパ
５３、キャピラリ５４を通し、ワイヤ５１の先端部をキ
ャピラリ５４の先端から所定だけ突出させておき、ワイ
ヤ５１の当該先端部をトーチ等でボール状にする。しか
る後に、キャピラリ５４を降下させ、当該ボールをリー
ドフレームをのアイランド５５上に固着されている半導
体素子５６の電極５７上に押し付けてボンディング（第
１ボンディング）する。次いで、キャピラリ５４を移動
させその先端から突出しているワイヤ部分を外部リード
端子５８のボンディング点５９にボンディング（第２ボ
ンディング）した後、キャピラリ５４を上昇させる。ワ
イヤクランパ５３はキャピラリ５４に固定されているの
で、該キャピラリ５４と同時に上昇し、所定長上昇した
時点でワイヤクランパ５３を閉じて、該ワイヤクランパ
５３に設けられている一対のクランプ片５３ａ，５３ｂ
間にワイヤ５１をクランプする。これにより、ワイヤ５
１は第２ボンディング点直上で引き千切られ、当該部位
におけるワイヤボンディング作業が終了する。
【０００３】従来、このワイヤボンディング作業に用い
られているワイヤクランパ５３としては、両クランプ片
５３ａ，５３ｂをプッシュプルソレノイドで駆動する方
式、ボイスコイル系リニアモータで駆動する方式、圧電
素子で駆動する方式のものが用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プッシ
ュプルソレノイドで駆動する方式のワイヤクランパにあ
っては、応答速度が遅くボンディング作業の高速化には
限界があり、クランプ圧の微調整が困難であって、構造
が複雑となるという欠点を有する。また、ボイスコイル
系リニアモータで駆動する方式のものにあっては、同様
に構造が複雑となるとともに、その全体が大型化してし
まう。一方、圧電素子で駆動する方式のものにあって
は、小型化が可能となる反面、素子の材料を積層構造と
するため製作費が高く、駆動に高電圧を必要としこれら
に起因して破損率が高く且つ寿命が短く、さらには駆動
用電源回路が複雑となる等の欠点を有する。
【０００５】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、従来の各方式における欠点を全て
解消したボンディグ装置用ワイヤクランパを提供するこ
とを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に請求項１記載の発明にあっては、一対のクランプ片を
有し、この一対のクランプ片を駆動してその先端部間に
て、半導体素子の電極上にボンディグされるワイヤを挟
持するボンディグ装置用ワイヤクランパにおいて、超磁
歪合金と磁界形成手段とを設け、該磁界形成手段の磁界
形成に伴う前記超磁歪合金の変形により、前記一対のク
ランプ片の少なくとも一方を駆動するようにしてある。
かかる構成において、磁界形成手段により磁界を形成す
ると、超磁歪合金は磁界の中で磁界方向と平行に伸びる
正磁歪と反対に縮む負磁歪とのいずれかにより変形す
る。これによりクランプ片が駆動されて、その先端部間
にてワイヤを挟持することが可能となる。
【０００７】また、請求項２記載の発明にあっては、前
記一対のクランプ片をその基端部にて一体化し、この一
体化された基端部に、前記一対のクランプ片に沿った方
向への押圧に伴って該クランプ片を駆動させる入力部と
該入力部に隣接する空間部とを形成するとともに、該空
間部内に、伸長変形に伴って前記入力部を前記方向へ押
圧するように前記超磁歪合金を収容配置してある。かか
る構成において、磁界を形成すると、この超磁歪合金は
磁界の中で磁界方向と平行に伸びる正磁歪により伸長変
形する。すると、この伸長変形した超磁歪合金により入
力部がクランプ片に沿った方向に押圧され、これにより
クランプ片が駆動されて、その先端部間にてワイヤを挟
持することが可能となる。また、一対のクランプ片は、
その基端部にて一体化されていることから、両者の先端
部にずれが生じにくく、所定の部位にて適性にワイヤを
クランプすることができる。
【０００８】また、請求項３記載の発明にあっては、前
記一対のクランプ片をその基端部にて一体化するととも
に、該基端部に、前記一対のクランプ片に沿った方向に
延在しこれと交差する方向への押圧に伴って前記クラン
プ片を駆動させる一対の入力片を延設し、該一対の入力
片を伸長変形に伴って前記方向へ押圧するように前記超
磁歪合金を配置してある。つまり、この発明において
は、入力片を介してクランプ片が駆動することから、入
力片の長さにより超磁歪合金から発生する力を増大させ
て、十分なクランプ圧を発生させることができる。
【０００９】また、請求項４記載の発明にあっては、前
記一対のクランプ片をその基端部にて一体化し、この一
体化した部位よりも先端部側に、圧接されて前記クラン
プ片を駆動させる同一角度からなる一対のテーパー面を
有する空間部を設け、該空間部内に、伸長変形に伴って
前記テーパー面に圧接するように前記超磁歪合金を収容
配置してある。つまり、この発明においては、一対のテ
ーパー面への圧接に伴ってクランプ片が駆動される構成
であることから、磁界を形成するに必要な電流の調整の
みならず、テーパー面の角度によっても、クランプ片の
動作速度を設定することが可能となる。
【００１０】また、請求項５記載の発明にあっては、一
方のクランプ片には支点突起部を設け他方のクランプ片
には前記支点突起部を支持する支点突起部支持面を設
け、前記支点突起部を支点として前記先端部間を開閉可
能とし、各クランプ片の基端部に、当該クランプ片に沿
った方向に延在しこれと交差する方向への押圧に伴って
前記クランプ片を駆動させる入力片を延設するととも
に、該入力片を伸長変形に伴って前記方向へ押圧するよ
うに前記超磁歪合金を配置してある。また、請求項６記
載の発明にあっては、一方のクランプ片には支点突起部
を設け他方のクランプ片には前記支点突起部を支持する
支点突起部支持面を設け、前記支点突起部を支点として
前記先端部間を開閉可能とし、両クランプ片の基端部に
は、同一角度からなり圧接されて前記クランプ片を駆動
させるテーパー面を各々設けるとともに、両クランプ片
とは別体に、伸長変形に伴って該テーパー面に圧接する
ように前記超磁歪合金を配置したてある。さらに、請求
項７記載の発明にあっては、前記一対のクランプ片をそ
の基端部にて連結部材を介して結合するとともに、該基
端部に各クランプ片に沿った方向に延在しこれと交差す
る方向への押圧に伴って両クランプ片を駆動させる一対
の入力片を延設し、該入力片を伸長変形に伴って前記方
向へ押圧するように前記超磁歪合金を配置してある。
【００１１】これら、請求項５から７に記載の発明にあ
っては、両クランプ片が別体であることから、一方のク
ランプ片に不具合が生じた場合には、当該不具合が生じ
たクランプ片のみを交換するのみにより、引き続き使用
可能となる。また、請求項６記載の発明においては、超
磁歪合金もクランプ片とは別体で配置させれていること
から、超磁歪合金や磁界形成手段を構成するコイルに不
具合が生じた際には、これを交換することにより、迅速
に対応が可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
に従って説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態
を示すものであり、ボンディグ装置用ワイヤクランパ１
は、一対の略平行な長尺状のクランプ片２ａ，２ｂを有
しており、両クランプ片２ａ，２ｂの先端であって相対
向する部位には、セラミック製の挟持子３ａ，３ｂが取
り付けられている。両クランプ片２ａ，２ｂは、基端部
４の内側に形成された略コ字状の連結枠５により一体化
され、この連結枠５は、両クランプ片２ａ，２ｂに沿っ
た方向に延在し一端部が各クランプ片２ａ，２ｂの基端
部４に結合された一対の対向部５ａ，５ｂと、この対向
部５ａ，５ｂの他端部間に架橋され、本実施の形態にお
ける入力部である架橋部５ｃとを一体的に有している。
【００１３】また、前記基端部４の外側には、ベース部
７が一体的に設けられている。該ベース部７には、前記
架橋部５ｃに隣接して矩形状の空間部８が設けられてお
り、また、ベース部７と前記対向部５ａ，５ｂ間には、
この空間部８に連なるスリット９ａ，９ｂが設けられて
いる。ベース部７には、空間部８の端部近傍に両クラン
プ片２ａ，２ｂに対し直交する方向のスリット２８と該
スリット２８に連なる矩形状の窓部４０とが形成されて
おり、これにより該窓部４０と空間部８適宜撓み変形す
ることが可能な可撓部３０が形成されている。さらにベ
ース部７には、その端面から窓部４０に至るクランプ圧
調整ねじ６が螺合されており、該クランプ圧調整ねじ６
の先端部は、前記可撓部３０に当接している。すなわ
ち、この第１の実施の形態においては、両クランプ片２
ａ，２ｂからベース部７までが、所定の金属を用いて一
体的に形成されており、また、前記連結枠５は、両クラ
ンプ片２ａ，２ｂの先端部を閉方向に弾持している。
【００１４】前記空間部８内には、超磁歪アクチュエー
タ１０が収容配置されている。この超磁歪アクチュエー
タ１０は、図２に示すように、筒状のハウジング１１を
有し、該ハウジング１１の内部には、超磁歪合金１７と
該超磁歪合金１７に巻装されたコイル１８とが収容され
ている。このコイル１８の端部は、図外の電流供給部に
接続されており、前記超磁歪合金１７はハウジング１１
の中心部に位置しているとともに、その両端部１７ａ，
１７ｂはハウジング１１の外部に突出している。
【００１５】この超磁歪合金１７は、ダイヤモンドカッ
ター、放電加工ないしはマルチワイヤソー加工等によっ
て、超磁歪合金インゴットから０．５〜３．０ｍｍ角×
５．０〜２０．０ｍｍ長の極細角棒（望ましくは、０．
８〜１．２ｍｍ角×８．０〜１２．０ｍｍ長の角棒）を
切り出して製作したものである。また、このアクチュエ
ータ１０の出力は、例えば１．０ｍｍ角×１０．０ｍｍ
長の角棒使用の場合、最大２．０ｋｇｆの力を発生する
性能を有する。超磁歪合金１７の組成は、希土類元素Ｒ
と鉄Ｆｅの原子比で１：２（ＲＦｅ2）であり、例えば
ＴｂＦｅ2，ＤｙＦｅ2，ＳｍＦｅ2，ＨｏＦｅ2，ＥｒＦ
ｅ2である。また、好ましい組成はＴｂ0.3Ｄｙ0.7Ｆｅ2
であり、さらに好ましい組成はＴｂ.27Ｄｙ0.73Ｆｅ1.9
であり、磁歪率≧２，０００ｐｐｍである。
【００１６】かかる超磁歪アクチュエータ１０は、前記
空間部８内に収容されて適宜の固定手段により固定され
ているとともに、超磁歪合金１７の両端部１７ａ，１７
ｂは前記架橋部５ｃと可撓部３０の長手方向における中
央部に各々接着されている。
【００１７】以上の構成にかかる本実施の形態におい
て、このボンディング装置用クランパ１は、ベース部７
にて、キャピラリ５４（図８参照）を取り付けている本
体に固定されて、半導体製造工程中のワイヤボンディン
グ工程において使用される。そして、所定の電流をコイ
ル１８に供給すると、このコイル１８により形成される
磁界中において超磁歪合金１７が伸長変形する。これに
より、架橋部５ｃの中央が押圧されて、この架橋部５ｃ
からの押圧力は両対向部５ａ，５ｂを介して、基端部４
において両クランプ片２ａ，２ｂの内側から作用する。
その結果、両クランプ片２ａ，２ｂが、外側に押し広げ
られ、先端部の挟持子３ａ，３ｂが相互に離間する開方
向に駆動される。したがって、この状態においては、両
挟持子３ａ，３ｂに介挿されるワイヤ５１（図８参照）
は、クランプされることなく自在に両挟持子３ａ，３ｂ
にて移動することが可能である。
【００１８】そして、ワイヤ５１を前記第２ボンディン
グ点直上で引き千切るに際して、電流端子１９からの電
流の供給を停止すると、超磁歪合金１７は、磁界の消失
に伴って収縮する。これにより、架橋部５ｃに対する押
圧が解除されて、基端部４において両クランプ片２ａ，
２ｂの内側から作用していた力が消失し、両クランプ片
２ａ，２ｂは連結枠５の復元力等により、先端部を閉方
向に動作させ、これにより両挟持子３ａ，３ｂ間が閉じ
る。
【００１９】また、超磁歪合金１７の両端部１７ａ，１
７ｂは、架橋部５ｃと可撓部３０とに結合されているこ
とから、架橋部５ｃには超磁歪合金１７の収縮に伴って
力が引張力として作用する。したがって、両クランプ片
２ａ，２ｂの先端部は、前記復元力と前記引張力とによ
り閉方向に動作し、両挟持子３ａ，３ｂ間にワイヤ５１
が挟持される。したがって、キャピラリ５４を上昇させ
つつ、両挟持子３ａ，３ｂ間にワイヤ５１を挟持するこ
とにより、ワイヤ５１は第２ボンディング点直上で引き
千切られ、当該部位におけるワイヤボンディング作業が
終了する。
【００２０】ここで、一対のクランプ片２ａ，２ｂは、
その基端部にて一体化されていることから、先端部間の
寸法に誤差が生じにくく、精度よく両挟持子３ａ，３ｂ
を合致させてワイヤ５１を確実にクランプすることがで
きる。また、クランプ圧調整ねじ６を螺進及び螺退させ
ることにより、両挟持子３ａ，３ｂ間にワイヤ５１が挟
持された際の圧力であるクランプ圧を調整することもで
きる。
【００２１】なお、この実施の形態においては、超磁歪
合金１７の両端部１７ａ，１７ｂを前記架橋部５ｃと可
撓部３０とに結合させるようにしたが、結合させること
なく当接させる構成であってもよい。この場合、クラン
パ１のクランプ圧は連結枠５の復元力に依存することか
ら、所定のクランプ圧が得られるように対向部５ａ，５
ｂの角度、幅等を設定すればよい。
【００２２】図３は、本発明の第２の実施の形態を示す
ものであり、クランプ片２ａ，２ｂが、基端部４におい
て連結枠５により一体化されている等、第１の実施の形
態と同一符号を付した部分は、同様の構成を有してい
る。さらに、この実施の形態においては、各クランプ片
２ａ，２ｂの基端部であってスリット９ａ，９ｂの外側
には、両クランプ片２ａ，２ｂに沿った方向に延在する
一対の入力片２５ａ，２５ｂが一体的に設けられ、この
入力片２５ａ，２５ｂの端末部は略コ字状の変形部４１
により連結されていている。そして、この入力片２５
ａ，２５ｂの間には、一方の入力片２５ｂ側に変位した
状態で前記超磁歪アクチュエータ１０が介装され、この
超磁歪アクチュエータ１０の超磁歪合金１７は、その両
端部１７ａ，１７ｂにて、一方の両入力片２５ｂ，２５
ａの内側面に当接している。
【００２３】なお、この第２の実施の形態においては、
連結枠５は、挟持子３ａ，３ｂ間が所定量開いてワイヤ
が移動可能な状態に両クランプ片２ａ，２ｂを弾持して
いる。また、他方の入力片２５ａ側には、前述したクラ
ンプ圧調整ねじ６、スリット２８、窓部４０、可撓部３
０が設けられている。
【００２４】したがって、この第２の実施の形態におい
ては、非クランプ時には、電流端子１９からの電流の供
給を停止しておく。これにより、超磁歪合金１７は収縮
しており、両入力片２５ａ，２５ｂは開駆動されること
なく、所定の初期状態を維持し、両クランプ片２ａ，２
ｂは、前述のように挟持子３ａ，３ｂ間を所定量開いて
ワイヤが移動可能な状態を維持している。
【００２５】そして、ワイヤを引き千切るに際して、電
流端子１９から所定の電流をコイル１８に供給すると、
このコイル１８により形成される磁界中において超磁歪
合金１７が伸長変形する。これにより、両入力片２５
ａ，２５ｂが開き方向に駆動されて、対向部５ａ，５ｂ
の両クランプ片２ａ，２ｂとの結合部側端部を相近接さ
せる方向に変形し、これに伴って両クランプ片２ａ，２
ｂの先端部が閉方向に作動して、ワイヤを両挟持子３
ａ，３ｂ間に挟持することができる。また、入力片２５
ａ，２５ｂを介してクランプ片２ａ，２ｂを駆動するこ
とから、該入力片２５ａ，２５ｂを長くすればこれに伴
って超磁歪合金１７から発生する力が少なくても、十分
なクランプ圧を発生させることができる。
【００２６】つまり、両クランプ片２ａ，２ｂ間に１０
０μｍの変位を与えるには、この実施の形態に示す原理
による拡大機構の利用が不可欠となり、また、幸いにク
ランプ圧を適性な５０ｇ程度に低下させ得る。また、こ
の拡大機構は、てこの原理において腕の比が１：２５で
あれば、クランプ片２ａ，２ｂの開きは２５倍に拡大さ
れるが、クランプ圧は逆に１／７になる。超磁歪合金
は、変位が大きく出力も大きいので拡大比を小さくでき
るメリットもある。
【００２７】図４は、本発明の第３の実施の形態を示す
ものであり、両クランプ片２ａ，２ｂは、その基端部４
に連設されたベース部２６にて一体化されている。この
ベース部２６は、両クランプ片２ａ，２ｂに連なりこれ
らに沿った方向に延在する可動部２６ａ，２６ｂと、こ
の可動部２６ａ，２６ｂの端末部間に架橋されたこれら
よりも遙かに幅広状のベース帯２６ｃとで構成されてい
る。前記可動部２６ａ，２６ｂ間には、空間部２９が形
成されており、この空間部２９のクランプ片２６ａ，２
６ｂ側の端部には、各クランプ片２ａ，２ｂ毎にテーパ
ー面２７ａ，２７ｂが形成され、このテーパー面２７
ａ，２７ｂは同一角度からなる。また、前記ベース帯２
６ｃには、空間部２９の近傍に両クランプ片２ａ，２ｂ
に対し直交する方向の前記スリット２８及び窓部４０が
形成されており、これにより該窓部４０と空間部２９間
には、適宜撓み変形することが可能な可撓部３０が形成
されているとともに、前記クランプ圧調整ねじ６が設け
られている。
【００２８】空間部２９内には、超磁歪アクチュエータ
４２が収容されている。この超磁歪アクチュエータ４２
は、図５に示すように、筒状のハウジング１１を有し、
該ハウジング１１の両端部は、リヤプレート１２とフロ
ントプレート１３とにより閉鎖されており、フロントプ
レート１３の中央部には貫通孔１３ａが形成されてい
る。また、ハウジング１１の内周面に沿って環状の永久
磁石１６が配置され、この永久磁石１６の中心部には超
磁歪合金１７が配置されている。なお、この永久磁石１
６は、バイアス磁界を形成するために配置されており、
これを省略することも可能である。さらに、この超磁歪
合金１７と前記永久磁石１６との間には、磁界形成手段
としてのコイル１８が配置されており、このコイル１８
の端部はハウジング１１に設けられた図示しない電流端
子に接続されている。
【００２９】超磁歪合金１７の端部には、アクチュエー
タロッド２０が結合されている。該アクチュエータロッ
ド２０の先端部２０ａは球面状であって、前記貫通孔１
３ａより外部に突出しており、アクチュエータロッド２
０の基端部にはフランジ２２が形成されている。該フラ
ンジ２２と前記フロントプレート１３との間には、皿ば
ね２３が介装されており、この皿ばね２３はフランジ２
２に圧接することにより、アクチュエータロッド２０を
介して超磁歪合金１７をリヤプレート１２方向に付勢し
ている。
【００３０】そして、この超磁歪アクチュエータ４５は
リヤプレート１２を可撓部３０に当接させ、アクチュエ
ータロッド２０の先端部２０ａを両テーパー面２７ａ，
２７ｂに均等に当接させて固定されている。なお、この
第３の実施の形態も前述した第１の実施の形態と同様
に、両クランプ片２ａ，２ｂはベース部２６により先端
部が閉じる方向に弾持されている。
【００３１】以上の構成にかかる本実施の形態におい
て、電流端子から所定の電流をコイル１８に供給する
と、超磁歪合金１７が伸長変形し、アクチュエータロッ
ド２０が超磁歪合金１７により押圧され、皿ばね２３に
抗して外部方向に突出作動する。これにより、アクチュ
エータロッド２０の先端部２０ａが両テーパー面２７
ａ，２７ｂに圧接し、両クランプ片２ａ，２ｂ間が押し
広げられて、先端部の挟持子３ａ，３ｂが相互に離間す
る開方向に駆動される。したがって、この状態において
は、両挟持子３ａ，３ｂに介挿されるワイヤ５１は、ク
ランプされることなく自在に両挟持子３ａ，３ｂにて移
動することが可能である。
【００３２】そして、ワイヤ５１を前記第２ボンディン
グ点直上で引き千切るに際して、電流端子からの電流の
供給を停止すると、超磁歪合金１７は、磁界の消失に伴
って収縮する。すると、フランジ２２にて皿ばね２３に
より付勢されているアクチュエータロッド２０も一体的
に移動して、前述した図２に示す初期位置に復帰する。
これにより、テーパー面２７ａ，２７ｂに対する圧接が
解除されて、両クランプ片２ａ，２ｂは復元力により、
先端部を閉方向に動作させ、これにより両挟持子３ａ，
３ｂ間が閉じ、前記復元力に対応するクランプ圧力で、
ワイヤをクランプすることができる。このように、この
実施の形態においては、一対のテーパー面２７ａ，２７
ｂへの圧接に伴ってクランプ片２ａ，２ｂが駆動される
構成であることから、コイル１８へ供給する電流の調整
のみならず、テーパー面２７ａ，２７ｂの角度によって
も、クランプ片２ａ，２ｂの動作速度を設定することが
可能となる。
【００３３】図６は、本発明の第４の実施の形態を示す
ものであり、クランプ片２ａ，２ｂは別体で形成されて
いる。一方のクランプ片２ａの基端部４には、当該クラ
ンプ片２ａに沿った方向に延在する入力片２５ａが一体
的に設けられているとともに、先端が平面状の支点突起
部３１がクランプ片２ａと直交する方向に突設されてい
る。また、基端部４の表面側と裏面側には同一部位にピ
ン３２，３２が突設されており、該ピン３２，３２には
コイルスプリング３３，３３の一端部が係止されてい
る。
【００３４】他方のクランプ片２ｂの基端部４にも、当
該クランプ片２ｂに沿った方向に延在する入力片２５ｂ
が一体的に設けられているとともに、前記支点突起部３
１が当接する先端が平面状の支点突起部支持面３４が形
成されている。また、同様に基端部４の表面側と裏面側
には同一部位にピン３２，３２が突設されており、該ピ
ン３２，３２には前記コイルスプリング３３，３３の一
端部が係止されている。さらに、両入力片２５ａ，２５
ｂの端面にも、ピン４４，４４が突設され、この両ピン
４４，４４間には、引っ張り方向に付勢力を有するクラ
ンプ圧調整ばね４５が着脱自在に架装されている。この
クランプ圧調整ばね４５は、異なるばね力のものが予め
複数種用意されており、この複数種のばね力のものから
適宜を選択して架装することにより、クランプ圧を調整
できるようになっている。
【００３５】前記入力片２５ａ，２５ｂ間には超磁歪ア
クチュエータ４６が介装されている。この超磁歪アクチ
ュエータ４６は、図７に示すように、筒状のハウジング
１１を有し、該ハウジング１１の両端部は、リヤプレー
ト１２とフロントプレート１３とにより閉鎖されてお
り、フロントプレート１３の中央部には貫通孔１３ａが
形成されている。また、ハウジング１１の内周面に沿っ
て環状の永久磁石１６が配置され、この永久磁石１６の
中心部には超磁歪合金１７が配置されている。なお、こ
の永久磁石１６は、バイアス磁界を形成するために配置
されており、これを省略することも可能である。さら
に、この超磁歪合金１７と前記永久磁石１６との間に
は、磁界形成手段としてのコイル１８が配置されてお
り、このコイル１８の端部はハウジング１１に設けられ
た図示しない電流端子に接続されている。超磁歪合金１
７の先端部１７ａは球面状であって、前記貫通孔１３ａ
に嵌装されたリング状のスライドスペーサ２１を挿通し
て外部に突出している。そして、この超磁歪アクチュエ
ータ４６は、前記リヤプレート１２にて一方の入力片２
５ｂの内側面に当接し、超磁歪合金１７の先端部１７ａ
にて他方の入力片２５ａの内側面に当接している。
【００３６】かかる第４の実施の形態において、電流端
子からの電流の供給が停止していると、超磁歪合金１７
は収縮している。したがって、両入力片２５ａ，２５ｂ
は開駆動されることなく、クランプ圧調整ばね４５の不
勢力により弾持されて支点突起部３１の先端面が支点突
起部支持面３に全面的に当接した状態にある。この状態
においは、両クランプ片２ａ，２ｂは、挟持子３ａ，３
ｂ間を所定量開いており、よってワイヤは移動可能であ
る。
【００３７】そして、ワイヤを引き千切るに際して、電
流端子から所定の電流をコイル１８に供給すると、この
コイル１８により形成される磁界中において超磁歪合金
１７が伸長変形し、該超磁歪合金１７の先端部１７ａは
一方入力片２５ａを押圧するとともに、その反作用によ
り他方の入力片２５ｂが押圧される。したがって、両入
力片２５ａ，２５ｂが開き方向に駆動され、これに伴っ
て両クランプ片２ａ，２ｂの先端部が閉方向に作動し
て、ワイヤを両挟持子３ａ，３ｂ間に挟持することがで
きる。
【００３８】図８は、本発明の第５の実施の形態を示す
ものであり、前述した第４の実施の形態と同様に、クラ
ンプ片２ａ，２ｂは別体で形成されており、同様に支点
突起部３１、ピン３２，３２、コイルスプリング３３，
３３が設けられている。さらに、両クランプ片２ａ，２
ｂの基端部４には、前述した図４の実施の形態と同様の
テーパー面２７ａ，２７ｂが形成されているとともに、
図６に示した実施の形態と同様に、ピン４４，４４及び
クランプ圧調整ばね４５が設けられている。
【００３９】また、超磁歪アクチュエータ４２は、前述
の図５に示した構成であって、これらクランプ片２ａ，
２ｂとは別部材であるベース部材３５にリヤプレート１
２側にて支持されており、アクチュエータロッド２０の
先端部２０ａは球面状であって、両テーパー面２７ａ，
２７ｂに均等に当接させている。
【００４０】かかる第５の実施の形態において、電流端
子からの電流の供給が停止していると、アクチュエータ
ロッド２０は皿ばね２３の不勢力を受けて後退してい
る。したがって、両入力片２５ａ，２５ｂは開駆動され
ることなく、所定の初期状態を維持し、支点突起部３１
の先端面が支点突起部支持面３４に全面的に当接した状
態にある。この状態においは、両クランプ片２ａ，２ｂ
は、挟持子３ａ，３ｂ間を所定量開いており、よって挟
持子３ａ，３ｂ間においてワイヤは移動可能である。
【００４１】そして、ワイヤを引き千切るに際して、電
流端子から所定の電流をコイル１８に供給すると、この
コイル１８により形成される磁界中において超磁歪合金
１７が伸長変形する。これにより、アクチュエータロッ
ド２０が超磁歪合金１７により押圧され、皿ばね２３に
抗して外部方向に突出作動して、アクチュエータロッド
２０の先端部２０ａが両テーパー面２７ａ，２７ｂに圧
接する。このとき、両クランプ片２ａ，２ｂの回転支点
である支点突起部３１と支点突起部支持面３４との当接
点は、テーパー面２７ａ，２７ｂよりも前方に設けられ
ていることから、アクチュエータロッド２０の先端部２
０ａが両テーパー面２７ａ，２７ｂに圧接するに伴っ
て、クランプ圧調整ばね４５を引張しつつクランプ片２
ａ，２ｂは先端部を閉方向に動作させる。これにより両
挟持子３ａ，３ｂ間が閉じ、該挟持子３ａ，３ｂにてワ
イヤがクランプされることとなる。
【００４２】図９は、本発明の第６の実施の形態を示す
ものであり、前述した第４及び第５の実施の形態と同様
に、クランプ片２ａ，２ｂは別体で形成されている。両
クランプ片２ａ，２ｂの基端部４には、その内側に該ク
ランプ片２ａ，２ｂと直交する方向の平面部３６ａ，３
６ｂが形成され、外側にクランプ片２ａ，２ｂに沿った
方向に延在する入力片２５ａ，２５ｂが延設されてい
る。両クランプ片２ａ，２ｂの平面部２５ａ，２５ｂ間
には可撓性を有する連結部材３７が架橋されており、該
連結部材３７は各々ねじ３８ａ，３８ｂにより、平面部
２５ａ，２５ｂに固定されている。これにより、両クラ
ンプ片２ａ，２ｂは、連結部材３７を介して連結されて
いるとともに、先端部の挟持子３ａ，３ｂ間は、ワイヤ
５１が移動可能な間隙が確保されている。そして、前記
入力片２５ａ，２５ｂの先端部間に前述の図７に示した
超磁歪アクチュエータ４６が介装され、この超磁歪アク
チュエータ４６は、前記リヤプレート１２にて一方の入
力片２５ｂの内側面に当接し、超磁歪合金１７の先端部
１７にて他方の入力片２５ａの内側面に当接している。
【００４３】かかる第６の実施の形態において、電流端
子からの電流の供給が停止していると、超磁歪合金１７
は収縮している。したがって、両入力片２５ａ，２５ｂ
は開駆動されることなく、所定の初期状態を維持しこの
状態においは、両クランプ片２ａ，２ｂは、挟持子３
ａ，３ｂ間を所定量開いており、よって挟持子３ａ，３
ｂ間においてワイヤは移動可能である。
【００４４】そして、ワイヤを引き千切るに際して、電
流端子から所定の電流をコイル１８に供給すると、この
コイル１８により形成される磁界中において超磁歪合金
１７が伸長変形する。これにより、超磁歪合金１７の先
端部１７ａは一方入力片２５ａを押圧するとともに、そ
の反作用により他方の入力片２５ｂが押圧される。した
がって、両入力片２５ａ，２５ｂが開き方向に駆動さ
れ、これに伴って両クランプ片２ａ，２ｂの先端部が閉
方向に作動して、ワイヤを両挟持子３ａ，３ｂ間に挟持
することができる。
【００４５】また、電流端子からコイル１８への電流供
給を停止させると、超磁歪合金１７が収縮して、連結部
材３７の復元力とクランプ圧調整ばね４５の引張力によ
り、両クランプ片２ａ，２ｂは前述した挟持子３ａ，３
ｂ間を所定量開いた初期状態に復帰する。
【００４６】この第６の実施の形態、及び前述した第４
及び第５の実施の形態においては、両クランプ片２ａ，
２ｂが別体であることから、何れか一方に不具合が生じ
た場合には、当該不具合が生じたクランプ片のみを交換
すれば継続して使用することができ、よって、低コスト
にて継続的使用が可能となる。また、第６の実施の形態
にあっては、両クランプ片２ａ，２ｂが同一形状である
ことから、１種類のクランプ片のみを製造すれば、当該
ボンディグ装置用クランパを製作することができるとと
もに、不具合が生じたクランプ片の交換を行うことがで
き、これにより製造コスト及び管理維持コストの低減を
図ることができる。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ボンディ
グ装置用ワイヤクランパのクランプ片を磁界形成に伴う
超磁歪合金の変形により駆動するようにした。よって、
ワイヤクランパの小型、軽量化、及び構造の単純化が可
能となるとともに、製作の容易化を図ることができる。
また、応答速度を向上（圧電素子を用いた場合の１／１
０に短縮）させて作業効率の改善を図ることができ、低
電圧での駆動が可能となり作業環境の安全性の確保が可
能となるとともに、電源と超磁歪金属とは非接触である
ことから耐久性に優れ、また、駆動回路は磁界の形成す
れば足りるのであるから、駆動回路の製作が容易である
とともに耐久性を有するものにすることができる。さら
に、超磁歪金属のキュリー温度が高いため１００°Ｃ程
度の高温雰囲気に耐えることができ、供給電流を制御す
ることによりワイヤクランプ圧を自由に変えることがで
きる。
【００４８】加えて本発明は、一対のクランプ片をその
基端部にて一体化するようにしたことから、両者の先端
部にずれが生じにくく、所定の部位にて適性にワイヤを
クランプすることができる。また、クランプ片に沿った
方向に延在しこれと交差する方向への押圧に伴って前記
クランプ片を駆動させる一対の入力片を延設し、該一対
の入力片を伸長変形に伴って前記方向へ押圧するように
前記超磁歪合金を配置したことから、入力片を介してク
ランプ片が駆動されることとなり、入力片の長さにより
超磁歪合金から発生する力が少ない場合であっても、十
分なクランプ圧を発生させることができる。
【００４９】また、一対のテーパー面への圧接に伴って
クランプ片が駆動される構成であることから、コイルへ
供給する電流の調整のみならず、テーパー面の角度によ
っても、クランプ片の動作速度を設定することが可能と
なる。さらに、両クランプ片を別体としたことから、一
方のクランプ片に不具合が生じた場合には、当該不具合
が生じたクランプ片のみを交換するのみにより、低コス
トで継続的使用が可能となり、超磁歪合金もクランプ片
と別体とすることにより容易に交換が可能となり、超磁
歪合金や磁界形成手段に不具合が生じた際の対応を迅速
に行うことができる。
【００５０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｄ）は右側面図で
ある。
【図２】超磁歪アクチュエータの断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｄ）は右側面図で
ある。
【図４】本発明の第３の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｄ）は右側面図で
ある。
【図５】他の超磁歪アクチュエータの断面図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｄ）は右側面図で
ある。
【図７】他の超磁歪アクチュエータの断面図である。
【図８】本発明の第５の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｄ）は右側面図で
ある。
【図９】本発明の第６の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｄ）は右側面図で
ある。
【図１０】ワイヤボンディング工程を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
１ ボンディング装置用クランンパ ２ａ，２ｂ クランプ片 ４ 基端部 ８ 空間部 １０ 超磁歪アクチュエータ １７ 超磁歪金属 １８ コイル ２７ａ，２７ｂ テーパー面 ３７ 連結部材 ４２ 超磁歪アクチュエータ ４６ 超磁歪アクチュエータ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年１０月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 ボンディング装置用ワイヤクランパ
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程の
一工程であるワイヤボンディング工程の終了後に、ワイ
ヤをボンディング点から引き千切る際にワイヤを挟持す
るボンディング装置用ワイヤクランパに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程中のワイヤボンディング
工程は、図１０に示すような方法で行われている。すな
わち、スプール５０から繰り出した金、アルミ等の金属
細線であるワイヤ５１を、ガイド５２、ワイヤクランパ
５３、キャピラリ５４を通し、ワイヤ５１の先端部をキ
ャピラリ５４の先端から所定だけ突出させておき、ワイ
ヤ５１の当該先端部をトーチ等でボール状にする。しか
る後に、キャピラリ５４を降下させ、当該ボールをリー
ドフレームをのアイランド５５上に固着されている半導
体素子５６の電極５７上に押し付けてボンディング（第
１ボンディング）する。次いで、キャピラリ５４を移動
させその先端から突出しているワイヤ部分を外部リード
端子５８のボンディング点５９にボンディング（第２ボ
ンディング）した後、キャピラリ５４を上昇させる。ワ
イヤクランパ５３はキャピラリ５４に固定されているの
で、該キャピラリ５４と同時に上昇し、所定長上昇した
時点でワイヤクランパ５３を閉じて、該ワイヤクランパ
５３に設けられている一対のクランプ片５３ａ，５３ｂ
間にワイヤ５１をクランプする。これにより、ワイヤ５
１は第２ボンディング点直上で引き千切られ、当該部位
におけるワイヤボンディング作業が終了する。
【０００３】従来、このワイヤボンディング作業に用い
られているワイヤクランパ５３としては、両クランプ片
５３ａ，５３ｂをプッシュプルソレノイドで駆動する方
式、ボイスコイル系リニアモータで駆動する方式、圧電
素子で駆動する方式のものが用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プッシ
ュプルソレノイドで駆動する方式のワイヤクランパにあ
っては、応答速度が遅くボンディング作業の高速化には
限界があり、クランプ圧の微調整が困難であって、構造
が複雑となるという欠点を有する。また、ボイスコイル
系リニアモータで駆動する方式のものにあっては、同様
に構造が複雑となるとともに、その全体が大型化してし
まう。一方、圧電素子で駆動する方式のものにあって
は、小型化が可能となる反面、素子の材料を積層構造と
するため製作費が高く、駆動に高電圧を必要としこれら
に起因して破損率が高く且つ寿命が短く、さらには駆動
用電源回路が複雑となる等の欠点を有する。
【０００５】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、従来の各方式における欠点を全て
解消したボンディング装置用ワイヤクランパを提供する
ことを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に請求項１記載の発明にあっては、一対のクランプ片を
有し、この一対のクランプ片を駆動してその先端部間に
て、半導体素子の電極上にボンディングされるワイヤを
挟持するボンディング装置用ワイヤクランパにおいて、
超磁歪合金と磁界形成手段とを設け、該磁界形成手段の
磁界形成に伴う前記超磁歪合金の変形により、前記一対
のクランプ片の少なくとも一方を駆動するようにしてあ
る。かかる構成において、磁界形成手段により磁界を形
成すると、超磁歪合金は磁界の中で磁界方向と平行に伸
びる正磁歪と反対に縮む負磁歪とのいずれかにより変形
する。これによりクランプ片が駆動されて、その先端部
間にてワイヤを挟持することが可能となる。
【０００７】また、請求項２記載の発明にあっては、前
記一対のクランプ片をその基端部にて一体化し、この一
体化された基端部に、前記一対のクランプ片に沿った方
向への押圧に伴って該クランプ片を駆動させる入力部と
該入力部に隣接する空間部とを形成するとともに、該空
間部内に、伸長変形に伴って前記入力部を前記方向へ押
圧するように前記超磁歪合金を収容配置してある。かか
る構成において、磁界を形成すると、この超磁歪合金は
磁界の中で磁界方向と平行に伸びる正磁歪により伸長変
形する。すると、この伸長変形した超磁歪合金により入
力部がクランプ片に沿った方向に押圧され、これにより
クランプ片が駆動されて、その先端部間にてワイヤを挟
持することが可能となる。また、一対のクランプ片は、
その基端部にて一体化されていることから、両者の先端
部にずれが生じにくく、所定の部位にて適性にワイヤを
クランプすることができる。
【０００８】また、請求項３記載の発明にあっては、前
記一対のクランプ片をその基端部にて一体化するととも
に、該基端部に、前記一対のクランプ片に沿った方向に
延在しこれと交差する方向への押圧に伴って前記クラン
プ片を駆動させる一対の入力片を延設し、該一対の入力
片を伸長変形に伴って前記方向へ押圧するように前記超
磁歪合金を配置してある。つまり、この発明において
は、入力片を介してクランプ片が駆動することから、入
力片の長さにより超磁歪合金から発生する力を増大させ
て、十分なクランプ圧を発生させることができる。
【０００９】また、請求項４記載の発明にあっては、前
記一対のクランプ片をその基端部にて一体化し、この一
体化した部位よりも先端部側に、圧接されて前記クラン
プ片を駆動させる同一角度からなる一対のテーパー面を
有する空間部を設け、該空間部内に、伸長変形に伴って
前記テーパー面に圧接するように前記超磁歪合金を収容
配置してある。つまり、この発明においては、一対のテ
ーパー面への圧接に伴ってクランプ片が駆動される構成
であることから、磁界を形成するに必要な電流の調整の
みならず、テーパー面の角度によっても、クランプ片の
動作速度を設定することが可能となる。
【００１０】また、請求項５記載の発明にあっては、一
方のクランプ片には支点突起部を設け他方のクランプ片
には前記支点突起部を支持する支点突起部支持面を設
け、前記支点突起部を支点として前記先端部間を開閉可
能とし、各クランプ片の基端部に、当該クランプ片に沿
った方向に延在しこれと交差する方向への押圧に伴って
前記クランプ片を駆動させる入力片を延設するととも
に、該入力片を伸長変形に伴って前記方向へ押圧するよ
うに前記超磁歪合金を配置してある。また、請求項６記
載の発明にあっては、一方のクランプ片には支点突起部
を設け他方のクランプ片には前記支点突起部を支持する
支点突起部支持面を設け、前記支点突起部を支点として
前記先端部間を開閉可能とし、両クランプ片の基端部に
は、同一角度からなり圧接されて前記クランプ片を駆動
させるテーパー面を各々設けるとともに、両クランプ片
とは別体に、伸長変形に伴って該テーパー面に圧接する
ように前記超磁歪合金を配置したてある。さらに、請求
項７記載の発明にあっては、前記一対のクランプ片をそ
の基端部にて連結部材を介して結合するとともに、該基
端部に各クランプ片に沿った方向に延在しこれと交差す
る方向への押圧に伴って両クランプ片を駆動させる一対
の入力片を延設し、該入力片を伸長変形に伴って前記方
向へ押圧するように前記超磁歪合金を配置してある。
【００１１】これら、請求項５から７に記載の発明にあ
っては、両クランプ片が別体であることから、一方のク
ランプ片に不具合が生じた場合には、当該不具合が生じ
たクランプ片のみを交換するのみにより、引き続き使用
可能となる。また、請求項６記載の発明においては、超
磁歪合金もクランプ片とは別体で配置させれていること
から、超磁歪合金や磁界形成手段を構成するコイルに不
具合が生じた際には、これを交換することにより、迅速
に対応が可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
に従って説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態
を示すものであり、ボンディング装置用ワイヤクランパ
１は、一対の略平行な長尺状のクランプ片２ａ，２ｂを
有しており、両クランプ片２ａ，２ｂの先端であって相
対向する部位には、セラミック製の挟持子３ａ，３ｂが
取り付けられている。両クランプ片２ａ，２ｂは、基端
部４の内側に形成された略コ字状の連結枠５により一体
化され、この連結枠５は、両クランプ片２ａ，２ｂに沿
った方向に延在し一端部が各クランプ片２ａ，２ｂの基
端部４に結合された一対の対向部５ａ，５ｂと、この対
向部５ａ，５ｂの他端部間に架橋され、本実施の形態に
おける入力部である架橋部５ｃとを一体的に有してい
る。
【００１３】また、前記基端部４の外側には、ベース部
７が一体的に設けられている。該ベース部７には、前記
架橋部５ｃに隣接して矩形状の空間部８が設けられてお
り、また、ベース部７と前記対向部５ａ，５ｂ間には、
この空間部８に連なるスリット９ａ，９ｂが設けられて
いる。ベース部７には、空間部８の端部近傍に両クラン
プ片２ａ，２ｂに対し直交する方向のスリット２８と該
スリット２８に連なる矩形状の窓部４０とが形成されて
おり、これにより該窓部４０と空間部８との間には適宜
撓み変形することが可能な可撓部３０が形成されてい
る。さらにベース部７には、その端面から窓部４０に至
るクランプ圧調整ねじ６が螺合されており、該クランプ
圧調整ねじ６の先端部は、前記可撓部３０に当接してい
る。すなわち、この第１の実施の形態においては、両ク
ランプ片２ａ，２ｂからベース部７までが、所定の金属
を用いて一体的に形成されており、また、前記連結枠５
は、両クランプ片２ａ，２ｂの先端部を閉方向に弾持し
ている。
【００１４】前記空間部８内には、超磁歪アクチュエー
タ１０が収容配置されている。この超磁歪アクチュエー
タ１０は、図２に示すように、筒状のハウジング１１を
有し、該ハウジング１１の内部には、超磁歪合金１７と
該超磁歪合金１７に巻装されたコイル１６とが収容され
ている。このコイル１６の端部は、図外の電流供給部に
接続されており、前記超磁歪合金１７はハウジング１１
の中心部に位置しているとともに、その両端部１７ａ，
１７ｂはハウジング１１の外部に突出している。
【００１５】この超磁歪合金１７は、ダイヤモンドカッ
ター、放電加工ないしはマルチワイヤソー加工等によっ
て、超磁歪合金インゴットから０．５〜３．０ｍｍ角×
５．０〜２０．０ｍｍ長の極細角棒（望ましくは、０．
８〜１．２ｍｍ角×８．０〜１２．０ｍｍ長の角棒）を
切り出して製作したものである。また、このアクチュエ
ータ１０の出力は、例えば１．０ｍｍ角×１０．０ｍｍ
長の角棒使用の場合、最大２．０ｋｇｆの力を発生する
性能を有する。超磁歪合金１７の組成は、希土類元素Ｒ
と鉄Ｆｅの原子比で１：２（ＲＦｅ2）であり、例えば
ＴｂＦｅ2，ＤｙＦｅ2，ＳｍＦｅ2，ＨｏＦｅ2，ＥｒＦ
ｅ2である。また、好ましい組成はＴｂ0.3Ｄｙ0.7Ｆｅ2
であり、さらに好ましい組成はＴｂ.27Ｄｙ0.73Ｆｅ1.9
であり、磁歪率≧２，０００ｐｐｍである。
【００１６】かかる超磁歪アクチュエータ１０は、前記
空間部８内に収容されて適宜の固定手段により固定され
ているとともに、超磁歪合金１７の両端部１７ａ，１７
ｂは前記架橋部５ｃと可撓部３０の長手方向における中
央部に各々接着されている。
【００１７】以上の構成にかかる本実施の形態におい
て、このボンディング装置用クランパ１は、ベース部７
にて、キャピラリ５４（図１０参照）を取り付けている
本体に固定されて、半導体製造工程中のワイヤボンディ
ング工程において使用される。そして、所定の電流をコ
イル１８に供給すると、このコイル１８により形成され
る磁界中において超磁歪合金１７が伸長変形する。これ
により、架橋部５ｃの中央が押圧されて、この架橋部５
ｃからの押圧力は両対向部５ａ，５ｂを介して、基端部
４において両クランプ片２ａ，２ｂの内側から作用す
る。その結果、両クランプ片２ａ，２ｂが、外側に押し
広げられ、先端部の挟持子３ａ，３ｂが相互に離間する
開方向に駆動される。したがって、この状態において
は、両挟持子３ａ，３ｂに介挿されるワイヤ５１（図１
０参照）は、クランプされることなく自在に両挟持子３
ａ，３ｂにて移動することが可能である。
【００１８】そして、ワイヤ５１を前記第２ボンディン
グ点直上で引き千切るに際して、図示しない電流端子か
らの電流の供給を停止すると、超磁歪合金１７は、磁界
の消失に伴って収縮する。これにより、架橋部５ｃに対
する押圧が解除されて、基端部４において両クランプ片
２ａ，２ｂの内側から作用していた力が消失し、両クラ
ンプ片２ａ，２ｂは連結枠５の復元力等により、先端部
を閉方向に動作させ、これにより両挟持子３ａ，３ｂ間
が閉じる。
【００１９】また、超磁歪合金１７の両端部１７ａ，１
７ｂは、架橋部５ｃと可撓部３０とに結合されているこ
とから、架橋部５ｃには超磁歪合金１７の収縮に伴って
力が引張力として作用する。したがって、両クランプ片
２ａ，２ｂの先端部は、前記復元力と前記引張力とによ
り閉方向に動作し、両挟持子３ａ，３ｂ間にワイヤ５１
が挟持される。したがって、キャピラリ５４を上昇させ
つつ、両挟持子３ａ，３ｂ間にワイヤ５１を挟持するこ
とにより、ワイヤ５１は第２ボンディング点直上で引き
千切られ、当該部位におけるワイヤボンディング作業が
終了する。
【００２０】ここで、一対のクランプ片２ａ，２ｂは、
その基端部にて一体化されていることから、先端部間の
寸法に誤差が生じにくく、精度よく両挟持子３ａ，３ｂ
を合致させてワイヤ５１を確実にクランプすることがで
きる。また、クランプ圧調整ねじ６を螺進及び螺退させ
ることにより、両挟持子３ａ，３ｂ間にワイヤ５１が挟
持された際の圧力であるクランプ圧を調整することもで
きる。
【００２１】なお、この実施の形態においては、超磁歪
合金１７の両端部１７ａ，１７ｂを前記架橋部５ｃと可
撓部３０とに結合させるようにしたが、結合させること
なく当接させる構成であってもよい。この場合、クラン
パ１のクランプ圧は連結枠５の復元力に依存することか
ら、所定のクランプ圧が得られるように対向部５ａ，５
ｂの角度、幅等を設定すればよい。
【００２２】図３は、本発明の第２の実施の形態を示す
ものであり、クランプ片２ａ，２ｂが、基端部４におい
て連結枠５により一体化されている等、第１の実施の形
態と同一符号を付した部分は、同様の構成を有してい
る。さらに、この実施の形態においては、各クランプ片
２ａ，２ｂの基端部であってスリット９ａ，９ｂの外側
には、両クランプ片２ａ，２ｂに沿った方向に延在する
一対の入力片２５ａ，２５ｂが一体的に設けられ、この
入力片２５ａ，２５ｂの端末部は略コ字状の変形部４１
により連結されていている。そして、この入力片２５
ａ，２５ｂの間には、一方の入力片２５ｂ側に変位した
状態で前記超磁歪アクチュエータ１０が介装され、この
超磁歪アクチュエータ１０の超磁歪合金１７は、その両
端部１７ａ，１７ｂにて、一方の両入力片２５ｂ，２５
ａの内側面に当接している。
【００２３】なお、この第２の実施の形態においては、
連結枠５は、挟持子３ａ，３ｂ間が所定量開いてワイヤ
が移動可能な状態に両クランプ片２ａ，２ｂを弾持して
いる。また、他方の入力片２５ａ側には、前述したクラ
ンプ圧調整ねじ６、スリット２８、窓部４０、可撓部３
０が設けられている。
【００２４】したがって、この第２の実施の形態におい
ては、非クランプ時には、電流端子からの電流の供給を
停止しておく。これにより、超磁歪合金１７は収縮して
おり、両入力片２５ａ，２５ｂは開駆動されることな
く、所定の初期状態を維持し、両クランプ片２ａ，２ｂ
は、前述のように挟持子３ａ，３ｂ間を所定量開いてワ
イヤが移動可能な状態を維持している。
【００２５】そして、ワイヤを引き千切るに際して、電
流端子から所定の電流をコイル１８に供給すると、この
コイル１８により形成される磁界中において超磁歪合金
１７が伸長変形する。これにより、両入力片２５ａ，２
５ｂが開き方向に駆動されて、対向部５ａ，５ｂの両ク
ランプ片２ａ，２ｂとの結合部側端部を相近接させる方
向に変形し、これに伴って両クランプ片２ａ，２ｂの先
端部が閉方向に作動して、ワイヤを両挟持子３ａ，３ｂ
間に挟持することができる。また、入力片２５ａ，２５
ｂを介してクランプ片２ａ，２ｂを駆動することから、
該入力片２５ａ，２５ｂを長くすればこれに伴って超磁
歪合金１７から発生する力が少なくても、十分なクラン
プ圧を発生させることができる。
【００２６】つまり、両クランプ片２ａ，２ｂ間に１０
０μｍの変位を与えるには、この実施の形態に示す原理
による拡大機構の利用が不可欠となり、また、幸いにク
ランプ圧を適性な５０ｇ程度に低下させ得る。また、こ
の拡大機構は、てこの原理において腕の比が１：２５で
あれば、クランプ片２ａ，２ｂの開きは２５倍に拡大さ
れるが、クランプ圧は逆に１／７になる。超磁歪合金
は、変位が大きく出力も大きいので拡大比を小さくでき
るメリットもある。
【００２７】図４は、本発明の第３の実施の形態を示す
ものであり、両クランプ片２ａ，２ｂは、その基端部４
に連設されたベース部２６にて一体化されている。この
ベース部２６は、両クランプ片２ａ，２ｂに連なりこれ
らに沿った方向に延在する可動部２６ａ，２６ｂと、こ
の可動部２６ａ，２６ｂの端末部間に架橋されたこれら
よりも遙かに幅広状のベース帯２６ｃとで構成されてい
る。前記可動部２６ａ，２６ｂ間には、空間部２９が形
成されており、この空間部２９のクランプ片２６ａ，２
６ｂ側の端部には、各クランプ片２ａ，２ｂ毎にテーパ
ー面２７ａ，２７ｂが形成され、このテーパー面２７
ａ，２７ｂは同一角度からなる。また、前記ベース帯２
６ｃには、空間部２９の近傍に両クランプ片２ａ，２ｂ
に対し直交する方向の前記スリット２８及び窓部４０が
形成されており、これにより該窓部４０と空間部２９間
には、適宜撓み変形することが可能な可撓部３０が形成
されているとともに、前記クランプ圧調整ねじ６が設け
られている。
【００２８】空間部２９内には、超磁歪アクチュエータ
４２が収容されている。この超磁歪アクチュエータ４２
は、図５に示すように、筒状のハウジング１１を有し、
該ハウジング１１の両端部は、リヤプレート１２とフロ
ントプレート１３とにより閉鎖されており、フロントプ
レート１３の中央部には貫通孔１３ａが形成されてい
る。また、ハウジング１１の内周面に沿って環状の永久
磁石１６が配置され、この永久磁石１６の中心部には超
磁歪合金１７が配置されている。なお、この永久磁石１
６は、バイアス磁界を形成するために配置されており、
これを省略することも可能である。さらに、この超磁歪
合金１７と前記永久磁石１６との間には、磁界形成手段
としてのコイル１８が配置されており、このコイル１８
の端部はハウジング１１に設けられた図示しない電流端
子に接続されている。
【００２９】超磁歪合金１７の端部には、アクチュエー
タロッド２０が結合されている。該アクチュエータロッ
ド２０の先端部２０ａは球面状であって、前記貫通孔１
３ａより外部に突出しており、アクチュエータロッド２
０の基端部にはフランジ２２が形成されている。該フラ
ンジ２２と前記フロントプレート１３との間には、皿ば
ね２３が介装されており、この皿ばね２３はフランジ２
２に圧接することにより、アクチュエータロッド２０を
介して超磁歪合金１７をリヤプレート１２方向に付勢し
ている。
【００３０】そして、この超磁歪アクチュエータ４２は
リヤプレート１２を可撓部３０に当接させ、アクチュエ
ータロッド２０の先端部２０ａを両テーパー面２７ａ，
２７ｂに均等に当接させて固定されている。なお、この
第３の実施の形態も前述した第１の実施の形態と同様
に、両クランプ片２ａ，２ｂはベース部２６により先端
部が閉じる方向に弾持されている。
【００３１】以上の構成にかかる本実施の形態におい
て、図示しない電流端子から所定の電流をコイル１８に
供給すると、超磁歪合金１７が伸長変形し、アクチュエ
ータロッド２０が超磁歪合金１７により押圧され、皿ば
ね２３に抗して外部方向に突出作動する。これにより、
アクチュエータロッド２０の先端部２０ａが両テーパー
面２７ａ，２７ｂに圧接し、両クランプ片２ａ，２ｂ間
が押し広げられて、先端部の挟持子３ａ，３ｂが相互に
離間する開方向に駆動される。したがって、この状態に
おいては、両挟持子３ａ，３ｂに介挿されるワイヤ５１
は、クランプされることなく自在に両挟持子３ａ，３ｂ
にて移動することが可能である。
【００３２】そして、ワイヤ５１を前記第２ボンディン
グ点直上で引き千切るに際して、電流端子からの電流の
供給を停止すると、超磁歪合金１７は、磁界の消失に伴
って収縮する。すると、フランジ２２にて皿ばね２３に
より付勢されているアクチュエータロッド２０も一体的
に移動して、前述した図２に示す初期位置に復帰する。
これにより、テーパー面２７ａ，２７ｂに対する圧接が
解除されて、両クランプ片２ａ，２ｂは復元力により、
先端部を閉方向に動作させ、これにより両挟持子３ａ，
３ｂ間が閉じ、前記復元力に対応するクランプ圧力で、
ワイヤをクランプすることができる。このように、この
実施の形態においては、一対のテーパー面２７ａ，２７
ｂへの圧接に伴ってクランプ片２ａ，２ｂが駆動される
構成であることから、コイル１８へ供給する電流の調整
のみならず、テーパー面２７ａ，２７ｂの角度によって
も、クランプ片２ａ，２ｂの動作速度を設定することが
可能となる。
【００３３】図６は、本発明の第４の実施の形態を示す
ものであり、クランプ片２ａ，２ｂは別体で形成されて
いる。一方のクランプ片２ａの基端部４には、当該クラ
ンプ片２ａに沿った方向に延在する入力片２５ａが一体
的に設けられているとともに、先端が平面状の支点突起
部３１がクランプ片２ａと直交する方向に突設されてい
る。また、基端部４の表面側と裏面側には同一部位にピ
ン３２，３２が突設されており、該ピン３２，３２には
コイルスプリング３３，３３の一端部が係止されてい
る。
【００３４】他方のクランプ片２ｂの基端部４にも、当
該クランプ片２ｂに沿った方向に延在する入力片２５ｂ
が一体的に設けられているとともに、前記支点突起部３
１が当接する先端が平面状の支点突起部支持面３４が形
成されている。また、同様に基端部４の表面側と裏面側
には同一部位にピン３２，３２が突設されており、該ピ
ン３２，３２には前記コイルスプリング３３，３３の一
端部が係止されている。さらに、両入力片２５ａ，２５
ｂの端面にも、ピン４４，４４が突設され、この両ピン
４４，４４間には、引っ張り方向に付勢力を有するクラ
ンプ圧調整ばね４５が着脱自在に架装されている。この
クランプ圧調整ばね４５は、異なるばね力のものが予め
複数種用意されており、この複数種のばね力のものから
適宜を選択して架装することにより、クランプ圧を調整
できるようになっている。
【００３５】前記入力片２５ａ，２５ｂ間には超磁歪ア
クチュエータ４６が介装されている。この超磁歪アクチ
ュエータ４６は、図７に示すように、筒状のハウジング
１１を有し、該ハウジング１１の両端部は、リヤプレー
ト１２とフロントプレート１３とにより閉鎖されてお
り、フロントプレート１３の中央部には貫通孔１３ａが
形成されている。また、ハウジング１１の内周面に沿っ
て環状の永久磁石１６が配置され、この永久磁石１６の
中心部には超磁歪合金１７が配置されている。なお、こ
の永久磁石１６は、バイアス磁界を形成するために配置
されており、これを省略することも可能である。さら
に、この超磁歪合金１７と前記永久磁石１６との間に
は、磁界形成手段としてのコイル１８が配置されてお
り、このコイル１８の端部はハウジング１１に設けられ
た図示しない電流端子に接続されている。超磁歪合金１
７の先端部１７ａは球面状であって、前記貫通孔１３ａ
に嵌装されたリング状のスライドスペーサ２１を挿通し
て外部に突出している。そして、この超磁歪アクチュエ
ータ４６は、前記リヤプレート１２にて一方の入力片２
５ｂの内側面に当接し、超磁歪合金１７の先端部１７ａ
にて他方の入力片２５ａの内側面に当接している。
【００３６】かかる第４の実施の形態において、電流端
子からの電流の供給が停止していると、超磁歪合金１７
は収縮している。したがって、両入力片２５ａ，２５ｂ
は開駆動されることなく、クランプ圧調整ばね４５の付
勢力により弾持されて支点突起部３１の先端面が支点突
起部支持面３４に全面的に当接した状態にある。この状
態においは、両クランプ片２ａ，２ｂは、挟持子３ａ，
３ｂ間を所定量開いており、よってワイヤは移動可能で
ある。
【００３７】そして、ワイヤを引き千切るに際して、電
流端子から所定の電流をコイル１８に供給すると、この
コイル１８により形成される磁界中において超磁歪合金
１７が伸長変形し、該超磁歪合金１７の先端部１７ａは
一方入力片２５ａを押圧するとともに、その反作用によ
り他方の入力片２５ｂが押圧される。したがって、両入
力片２５ａ，２５ｂが開き方向に駆動され、これに伴っ
て両クランプ片２ａ，２ｂの先端部が閉方向に作動し
て、ワイヤを両挟持子３ａ，３ｂ間に挟持することがで
きる。
【００３８】図８は、本発明の第５の実施の形態を示す
ものであり、前述した第４の実施の形態と同様に、クラ
ンプ片２ａ，２ｂは別体で形成されており、同様に支点
突起部３１、ピン３２，３２、コイルスプリング３３，
３３が設けられている。さらに、両クランプ片２ａ，２
ｂの基端部４には、前述した図４の実施の形態と同様の
テーパー面２７ａ，２７ｂが形成されているとともに、
図６に示した実施の形態と同様に、ピン４４，４４及び
クランプ圧調整ばね４５が設けられている。
【００３９】また、超磁歪アクチュエータ４２は、前述
の図５に示した構成であって、これらクランプ片２ａ，
２ｂとは別部材であるベース部材３５にリヤプレート１
２側にて支持されており、アクチュエータロッド２０の
先端部２０ａは球面状であって、両テーパー面２７ａ，
２７ｂに均等に当接させている。
【００４０】かかる第５の実施の形態において、電流端
子からの電流の供給が停止していると、アクチュエータ
ロッド２０は皿ばね２３の不勢力を受けて後退してい
る。したがって、両入力片２５ａ，２５ｂは開駆動され
ることなく、所定の初期状態を維持し、支点突起部３１
の先端面が支点突起部支持面３４に全面的に当接した状
態にある。この状態においは、両クランプ片２ａ，２ｂ
は、挟持子３ａ，３ｂ間を所定量開いており、よって挟
持子３ａ，３ｂ間においてワイヤは移動可能である。
【００４１】そして、ワイヤを引き千切るに際して、電
流端子から所定の電流をコイル１８に供給すると、この
コイル１８により形成される磁界中において超磁歪合金
１７が伸長変形する。これにより、アクチュエータロッ
ド２０が超磁歪合金１７により押圧され、皿ばね２３に
抗して外部方向に突出作動して、アクチュエータロッド
２０の先端部２０ａが両テーパー面２７ａ，２７ｂに圧
接する。このとき、両クランプ片２ａ，２ｂの回転支点
である支点突起部３１と支点突起部支持面３４との当接
点は、テーパー面２７ａ，２７ｂよりも前方に設けられ
ていることから、アクチュエータロッド２０の先端部２
０ａが両テーパー面２７ａ，２７ｂに圧接するに伴っ
て、クランプ圧調整ばね４５を引張しつつクランプ片２
ａ，２ｂは先端部を閉方向に動作させる。これにより両
挟持子３ａ，３ｂ間が閉じ、該挟持子３ａ，３ｂにてワ
イヤがクランプされることとなる。
【００４２】図９は、本発明の第６の実施の形態を示す
ものであり、前述した第４及び第５の実施の形態と同様
に、クランプ片２ａ，２ｂは別体で形成されている。両
クランプ片２ａ，２ｂの基端部４には、その内側に該ク
ランプ片２ａ，２ｂと直交する方向の平面部３６ａ，３
６ｂが形成され、外側にクランプ片２ａ，２ｂに沿った
方向に延在する入力片２５ａ，２５ｂが延設されてい
る。両クランプ片２ａ，２ｂの平面部２５ａ，２５ｂ間
には可撓性を有する連結部材３７が架橋されており、該
連結部材３７は各々ねじ３８ａ，３８ｂにより、平面部
２５ａ，２５ｂに固定されている。これにより、両クラ
ンプ片２ａ，２ｂは、連結部材３７を介して連結されて
いるとともに、先端部の挟持子３ａ，３ｂ間は、ワイヤ
５１が移動可能な間隙が確保されている。そして、前記
入力片２５ａ，２５ｂの先端部間に前述の図７に示した
超磁歪アクチュエータ４６が介装され、この超磁歪アク
チュエータ４６は、前記リヤプレート１２にて一方の入
力片２５ｂの内側面に当接し、超磁歪合金１７の先端部
１７にて他方の入力片２５ａの内側面に当接している。
【００４３】かかる第６の実施の形態において、電流端
子からの電流の供給が停止していると、超磁歪合金１７
は収縮している。したがって、両入力片２５ａ，２５ｂ
は開駆動されることなく、所定の初期状態を維持しこの
状態においは、両クランプ片２ａ，２ｂは、挟持子３
ａ，３ｂ間を所定量開いており、よって挟持子３ａ，３
ｂ間においてワイヤは移動可能である。
【００４４】そして、ワイヤを引き千切るに際して、電
流端子から所定の電流をコイル１８に供給すると、この
コイル１８により形成される磁界中において超磁歪合金
１７が伸長変形する。これにより、超磁歪合金１７の先
端部１７ａは一方入力片２５ａを押圧するとともに、そ
の反作用により他方の入力片２５ｂが押圧される。した
がって、両入力片２５ａ，２５ｂが開き方向に駆動さ
れ、これに伴って両クランプ片２ａ，２ｂの先端部が閉
方向に作動して、ワイヤを両挟持子３ａ，３ｂ間に挟持
することができる。
【００４５】また、電流端子からコイル１８への電流供
給を停止させると、超磁歪合金１７が収縮して、連結部
材３７の復元力とクランプ圧調整ばね４５の引張力によ
り、両クランプ片２ａ，２ｂは前述した挟持子３ａ，３
ｂ間を所定量開いた初期状態に復帰する。
【００４６】この第６の実施の形態、及び前述した第４
及び第５の実施の形態においては、両クランプ片２ａ，
２ｂが別体であることから、何れか一方に不具合が生じ
た場合には、当該不具合が生じたクランプ片のみを交換
すれば継続して使用することができ、よって、低コスト
にて継続的使用が可能となる。また、第６の実施の形態
にあっては、両クランプ片２ａ，２ｂが同一形状である
ことから、１種類のクランプ片のみを製造すれば、当該
ボンディング装置用クランパを製作することができると
ともに、不具合が生じたクランプ片の交換を行うことが
でき、これにより製造コスト及び管理維持コストの低減
を図ることができる。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ボンディ
ング装置用ワイヤクランパのクランプ片を磁界形成に伴
う超磁歪合金の変形により駆動するようにした。よっ
て、ワイヤクランパの小型、軽量化、及び構造の単純化
が可能となるとともに、製作の容易化を図ることができ
る。また、応答速度を向上（圧電素子を用いた場合の１
／１０に短縮）させて作業効率の改善を図ることがで
き、低電圧での駆動が可能となり作業環境の安全性の確
保が可能となるとともに、電源と超磁歪金属とは非接触
であることから耐久性に優れ、また、駆動回路は磁界の
形成すれば足りるのであるから、駆動回路の製作が容易
であるとともに耐久性を有するものにすることができ
る。さらに、超磁歪金属のキュリー温度が高いため１０
０°Ｃ程度の高温雰囲気に耐えることができ、供給電流
を制御することによりワイヤクランプ圧を自由に変える
ことができる。
【００４８】加えて本発明は、一対のクランプ片をその
基端部にて一体化するようにしたことから、両者の先端
部にずれが生じにくく、所定の部位にて適性にワイヤを
クランプすることができる。また、クランプ片に沿った
方向に延在しこれと交差する方向への押圧に伴って前記
クランプ片を駆動させる一対の入力片を延設し、該一対
の入力片を伸長変形に伴って前記方向へ押圧するように
前記超磁歪合金を配置したことから、入力片を介してク
ランプ片が駆動されることとなり、入力片の長さにより
超磁歪合金から発生する力が少ない場合であっても、十
分なクランプ圧を発生させることができる。
【００４９】また、一対のテーパー面への圧接に伴って
クランプ片が駆動される構成であることから、コイルへ
供給する電流の調整のみならず、テーパー面の角度によ
っても、クランプ片の動作速度を設定することが可能と
なる。さらに、両クランプ片を別体としたことから、一
方のクランプ片に不具合が生じた場合には、当該不具合
が生じたクランプ片のみを交換するのみにより、低コス
トで継続的使用が可能となり、超磁歪合金もクランプ片
と別体とすることにより容易に交換が可能となり、超磁
歪合金や磁界形成手段に不具合が生じた際の対応を迅速
に行うことができる。
【００５０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図で
ある。
【図２】超磁歪アクチュエータの断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図で
ある。
【図４】本発明の第３の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図で
ある。
【図５】他の超磁歪アクチュエータの断面図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図で
ある。
【図７】他の超磁歪アクチュエータの断面図である。
【図８】本発明の第５の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図で
ある。
【図９】本発明の第６の実施の形態を示す図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図で
ある。
【図１０】ワイヤボンディング工程を示す説明図であ
る。
【符号の説明】 １ ボンディング装置用クランンパ ２ａ，２ｂ クランプ片 ４ 基端部 ８ 空間部 １０ 超磁歪アクチュエータ １７ 超磁歪金属 １８ コイル ２７ａ，２７ｂ テーパー面 ３７ 連結部材 ４２ 超磁歪アクチュエータ ４６ 超磁歪アクチュエータ
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一対のクランプ片を有し、この一対のク
    ランプ片を駆動してその先端部間にて、半導体素子の電
    極上にボンディグされるワイヤを挟持するボンディグ装
    置用ワイヤクランパにおいて、超磁歪合金と磁界形成手
    段とを設け、該磁界形成手段の磁界形成に伴う前記超磁
    歪合金の変形により、前記一対のクランプ片の少なくと
    も一方を駆動するようにしたことを特徴とするボンディ
    グ装置用ワイヤクランパ。
  2. 【請求項２】 前記一対のクランプ片をその基端部にて
    一体化し、この一体化された基端部に、前記一対のクラ
    ンプ片に沿った方向への押圧に伴って該クランプ片を駆
    動させる入力部と該入力部に隣接する空間部とを形成す
    るとともに、該空間部内に、伸長変形に伴って前記入力
    部を前記方向へ押圧するように前記超磁歪合金を収容配
    置したことを特徴とする請求項１記載のボンディグ装置
    用ワイヤクランパ。
  3. 【請求項３】 前記一対のクランプ片をその基端部にて
    一体化するとともに、該基端部に、前記一対のクランプ
    片に沿った方向に延在しこれと交差する方向への押圧に
    伴って前記クランプ片を駆動させる一対の入力片を延設
    し、該一対の入力片を伸長変形に伴って前記方向へ押圧
    するように前記超磁歪合金を配置したことを特徴とする
    請求項１記載のボンディグ装置用ワイヤクランパ。
  4. 【請求項４】 前記一対のクランプ片をその基端部にて
    一体化し、この一体化された部位よりも先端部側に、圧
    接されて前記クランプ片を駆動させる同一角度からなる
    一対のテーパー面を有する空間部を設け、該空間部内
    に、伸長変形に伴って前記テーパー面に圧接するように
    前記超磁歪合金を収容配置したことを特徴とする請求項
    １記載のボンディグ装置用ワイヤクランパ。
  5. 【請求項５】 一方のクランプ片には支点突起部を設け
    他方のクランプ片には前記支点突起部を支持する支点突
    起部支持面を設け、前記支点突起部を支点として前記先
    端部間を開閉可能とし、各クランプ片の基端部に、当該
    クランプ片に沿った方向に延在しこれと交差する方向へ
    の押圧に伴って前記クランプ片を駆動させる入力片を延
    設するとともに、該入力片を伸長変形に伴って前記方向
    へ押圧するように前記超磁歪合金を配置したことを特徴
    とする請求項１記載のボンディグ装置用ワイヤクラン
    パ。
  6. 【請求項６】 一方のクランプ片には支点突起部を設け
    他方のクランプ片には前記支点突起部を支持する支点突
    起部支持面を設け、前記支点突起部を支点として前記先
    端部間を開閉可能とし、両クランプ片の基端部には、同
    一角度からなり圧接されて前記クランプ片を駆動させる
    テーパー面を各々設けるとともに、両クランプ片とは別
    体に、伸長変形に伴って前記テーパー面に圧接するよう
    に前記超磁歪合金を配置したことを特徴とする請求項１
    記載のボンディグ装置用ワイヤクランパ。
  7. 【請求項７】 前記一対のクランプ片をその基端部にて
    連結部材を介して結合するとともに、該基端部に各クラ
    ンプ片に沿った方向に延在しこれと交差する方向への押
    圧に伴って両クランプ片を駆動させる一対の入力片を延
    設し、該入力片を伸長変形に伴って前記方向へ押圧する
    ように前記超磁歪合金を配置したことを特徴とする請求
    項１記載のボンディグ装置用ワイヤクランパ。
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