JP3201275B2 - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤにより電子
部品の電極の接続などを行うワイヤボンディング装置に
関するものである。
部品の電極の接続などを行うワイヤボンディング装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品と基板の電気的接続や電子部品
の電極上にバンプ形成などを行うワイヤボンディング装
置は、ホーンの先端部に保持されたキャピラリツールに
ワイヤを挿通し、ホーンを上下方向へ揺動させながら、
所定の作業を行うようになっている。
の電極上にバンプ形成などを行うワイヤボンディング装
置は、ホーンの先端部に保持されたキャピラリツールに
ワイヤを挿通し、ホーンを上下方向へ揺動させながら、
所定の作業を行うようになっている。
【０００３】図７は、従来のワイヤボンディング装置の
側面図である。ホーン１の先端部にはキャピラリツール
２が保持されており、キャピラリツール２にはワイヤ３
が挿通されている。ホーン１の基端部はブロック４に保
持されており、ブロック４は軸受部５にピン６を中心に
回転自在に軸着されている。ブロック５の背面にはコイ
ル部７が装着されている。コイル部７はマグネット８に
装入されている。コイル部７とマグネット８はボイスコ
イルモータ９を構成している。
側面図である。ホーン１の先端部にはキャピラリツール
２が保持されており、キャピラリツール２にはワイヤ３
が挿通されている。ホーン１の基端部はブロック４に保
持されており、ブロック４は軸受部５にピン６を中心に
回転自在に軸着されている。ブロック５の背面にはコイ
ル部７が装着されている。コイル部７はマグネット８に
装入されている。コイル部７とマグネット８はボイスコ
イルモータ９を構成している。
【０００４】１０はクランパユニットであって、保持部
材１１と、保持部材１１に取り付けられた左右一対のカ
ットクランパ１２と、カットクランパ１２に開閉動作を
行わせるボイスコイルモータ１３から成っている。カッ
トクランパ１２の先端内面にはワイヤ３をクランプする
ためのパッド１４が装着されている。１５はボイスコイ
ルモータ１３への給電用コードであって、電源（図外）
に接続されている。クランパユニット１０は、ビス１６
によりブロック４の上面に着脱自在に装着されている。
軸受部５やマグネット８が設けられた台板１７は可動テ
ーブル１８上に設置されており、可動テーブル１８が駆
動することにより、台板１７上の諸要素はＸ方向やＹ方
向へ水平移動する。Ｓはワイヤボンディングの対象とな
るリードフレームなどの基板、Ｐは基板Ｓに搭載された
チップである。
材１１と、保持部材１１に取り付けられた左右一対のカ
ットクランパ１２と、カットクランパ１２に開閉動作を
行わせるボイスコイルモータ１３から成っている。カッ
トクランパ１２の先端内面にはワイヤ３をクランプする
ためのパッド１４が装着されている。１５はボイスコイ
ルモータ１３への給電用コードであって、電源（図外）
に接続されている。クランパユニット１０は、ビス１６
によりブロック４の上面に着脱自在に装着されている。
軸受部５やマグネット８が設けられた台板１７は可動テ
ーブル１８上に設置されており、可動テーブル１８が駆
動することにより、台板１７上の諸要素はＸ方向やＹ方
向へ水平移動する。Ｓはワイヤボンディングの対象とな
るリードフレームなどの基板、Ｐは基板Ｓに搭載された
チップである。
【０００５】次に動作を説明する可動テーブル１８が駆
動することによりキャピラリツール２はＸ方向やＹ方向
へ移動し、またボイスコイルモータ９のコイル部７に通
電すると、コイル部７とマグネット８の間の磁気力によ
りブロック４はピン６を中心に往復回転し、これにより
ホーン１は上下方向Ａへ揺動し、キャピラリツール２に
挿通されたワイヤ３によりチップＰの電極と基板Ｓの電
極を接続する。なお図７において、ワイヤ３の下端部に
電気的スパークによりボールを形成するトーチなどは省
略している。
動することによりキャピラリツール２はＸ方向やＹ方向
へ移動し、またボイスコイルモータ９のコイル部７に通
電すると、コイル部７とマグネット８の間の磁気力によ
りブロック４はピン６を中心に往復回転し、これにより
ホーン１は上下方向Ａへ揺動し、キャピラリツール２に
挿通されたワイヤ３によりチップＰの電極と基板Ｓの電
極を接続する。なお図７において、ワイヤ３の下端部に
電気的スパークによりボールを形成するトーチなどは省
略している。
【０００６】チップＰと基板Ｓを接続したワイヤ３は、
カットクランパ１２のパッド１４でクランプされ、その
状態でカットクランパ１２が上方へ揺動することによ
り、基板Ｓへのボンディング点から切断される。以上の
動作を高速度で繰り返すことにより、チップＰの電極と
基板Ｓの電極は次々にワイヤで接続されていく。
カットクランパ１２のパッド１４でクランプされ、その
状態でカットクランパ１２が上方へ揺動することによ
り、基板Ｓへのボンディング点から切断される。以上の
動作を高速度で繰り返すことにより、チップＰの電極と
基板Ｓの電極は次々にワイヤで接続されていく。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記ワイヤボンディン
グ装置では、軸受部５にピン６で軸支された部分（符号
１，２，４，７，１０を付した要素から成る鎖線で囲ま
れた部分で、以下「揺動部１９」という）がピン６を中
心に一体的に上下方向へ揺動する。ところが揺動部１９
の重心Ｇは、揺動中心であるピン６の中心Ｏからかなり
高い位置（高さＺ１）にあり、このため可動テーブル１
８の駆動による揺動部１９の高速水平移動、特にホーン
１の長手方向（Ｙ方向）への高速移動が不安定となり、
このためホーン１の揺動動作が不安定となって所謂「ホ
ーンの振られ」現象が発生し、所定の作業を安定的に行
いにくいという問題点があった。
グ装置では、軸受部５にピン６で軸支された部分（符号
１，２，４，７，１０を付した要素から成る鎖線で囲ま
れた部分で、以下「揺動部１９」という）がピン６を中
心に一体的に上下方向へ揺動する。ところが揺動部１９
の重心Ｇは、揺動中心であるピン６の中心Ｏからかなり
高い位置（高さＺ１）にあり、このため可動テーブル１
８の駆動による揺動部１９の高速水平移動、特にホーン
１の長手方向（Ｙ方向）への高速移動が不安定となり、
このためホーン１の揺動動作が不安定となって所謂「ホ
ーンの振られ」現象が発生し、所定の作業を安定的に行
いにくいという問題点があった。
【０００８】したがって本発明は、ホーンの振られ現象
を解消し、高速度での安定した動作を実現できるワイヤ
ボンディング装置を提供することを目的とする。
を解消し、高速度での安定した動作を実現できるワイヤ
ボンディング装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、先端部にキャ
ピラリツールを保持するホーンと、このホーンの基端部
を保持するホーン保持手段と、前記キャピラリツールの
上方にあって前記キャピラリツールに挿通されたワイヤ
をクランプするカットクランパを備えたクランパユニッ
トとを含む揺動部と、この揺動部を上下方向に揺動自在
に軸着する軸受部と、この揺動部を水平移動させる可動
テーブルとを備えたワイヤボンディング装置であって、
前記ホーン保持手段が着脱自在に結合される上ブロック
と下ブロックから成り、この下ブロックに前記軸受部に
軸支されるピンを設け、かつ前記下ブロックを前記上ブ
ロックよりも比重の大きい金属にて形成した。
ピラリツールを保持するホーンと、このホーンの基端部
を保持するホーン保持手段と、前記キャピラリツールの
上方にあって前記キャピラリツールに挿通されたワイヤ
をクランプするカットクランパを備えたクランパユニッ
トとを含む揺動部と、この揺動部を上下方向に揺動自在
に軸着する軸受部と、この揺動部を水平移動させる可動
テーブルとを備えたワイヤボンディング装置であって、
前記ホーン保持手段が着脱自在に結合される上ブロック
と下ブロックから成り、この下ブロックに前記軸受部に
軸支されるピンを設け、かつ前記下ブロックを前記上ブ
ロックよりも比重の大きい金属にて形成した。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明によれば、ホーンを含む揺
動部の重心位置を低くして、高速度での安定した動作が
可能となる。
動部の重心位置を低くして、高速度での安定した動作が
可能となる。
【００１１】次に、本発明の一実施の形態を図面を参照
しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態のワ
イヤボンディング装置の側面図、図２は同ワイヤボンデ
ィング装置のホーンとホーン保持手段とクランパユニッ
トの分解斜視図、図３は同ワイヤボンディング装置のホ
ーン保持手段の断面図、図４は同ワイヤボンディング装
置のクランパユニットの平面図、図５は同ワイヤボンデ
ィング装置のクランパユニットの側面図、図６（ａ），
（ｂ）は同ワイヤボンディング装置のホーン保持手段と
クランパユニットの接続部の断面図である。
しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態のワ
イヤボンディング装置の側面図、図２は同ワイヤボンデ
ィング装置のホーンとホーン保持手段とクランパユニッ
トの分解斜視図、図３は同ワイヤボンディング装置のホ
ーン保持手段の断面図、図４は同ワイヤボンディング装
置のクランパユニットの平面図、図５は同ワイヤボンデ
ィング装置のクランパユニットの側面図、図６（ａ），
（ｂ）は同ワイヤボンディング装置のホーン保持手段と
クランパユニットの接続部の断面図である。
【００１２】まず、図１を参照してワイヤボンディング
装置の全体構造を説明する。ホーン２１の先端部にはキ
ャピラリツール２２が保持されており、キャピラリツー
ル２２にはワイヤ２３が挿通されている。またホーン２
１の後端部にはホーン２１を超音波振動させるための振
動器２４が装着されている。ホーン２１の基端部はホー
ン保持手段２５に保持されている。
装置の全体構造を説明する。ホーン２１の先端部にはキ
ャピラリツール２２が保持されており、キャピラリツー
ル２２にはワイヤ２３が挿通されている。またホーン２
１の後端部にはホーン２１を超音波振動させるための振
動器２４が装着されている。ホーン２１の基端部はホー
ン保持手段２５に保持されている。
【００１３】図２において、ホーン保持手段２５は、上
ブロック２６と下ブロック２７から成っている。上ブロ
ック２６の下面には、半円状のアーム２８が設けられて
いる（図３）。このアーム２８は片持ち構造であって、
上下方向に若干の弾性を有している。アーム２８の先端
の自由端部にはつば部２９が形成されている。また下ブ
ロック２７の上面は、アーム２８が嵌合する凹入部３０
が形成されている。上ブロック２６は、例えばアルミな
どの比重の小さい軽量金属により形成されており、また
下ブロック２７は鋼材などの比重が大きくかつ剛性の大
きい重量金属により形成されており、これにより揺動部
の重心位置Ｇを低くするとともに、ホーン２１をしっか
り保持できるようにしている。
ブロック２６と下ブロック２７から成っている。上ブロ
ック２６の下面には、半円状のアーム２８が設けられて
いる（図３）。このアーム２８は片持ち構造であって、
上下方向に若干の弾性を有している。アーム２８の先端
の自由端部にはつば部２９が形成されている。また下ブ
ロック２７の上面は、アーム２８が嵌合する凹入部３０
が形成されている。上ブロック２６は、例えばアルミな
どの比重の小さい軽量金属により形成されており、また
下ブロック２７は鋼材などの比重が大きくかつ剛性の大
きい重量金属により形成されており、これにより揺動部
の重心位置Ｇを低くするとともに、ホーン２１をしっか
り保持できるようにしている。
【００１４】上ブロック２６の両側部にはビス孔３１が
形成されており、また下ブロック２７の両側部にもビス
孔３２が形成されている。ホーン２１の基端部には膨大
部３３が形成されている。この膨大部３３をアーム２８
の内部に挿入し、上ブロック２６と下ブロック２７を重
ねてビス３４をビス孔３１，３２に装着することによ
り、上ブロック２６と下ブロック２７は着脱自在に結合
される。また上ブロック２６の一側部にはビス孔３５が
形成されており、またアーム２８のつば部２９にはこの
ビス孔３５に対応するビス孔３６が形成されている。ビ
ス３７をビス孔３５，３６に挿着することにより（図
３）、ホーン２１の膨大部３３はアーム２８にしっかり
保持される。
形成されており、また下ブロック２７の両側部にもビス
孔３２が形成されている。ホーン２１の基端部には膨大
部３３が形成されている。この膨大部３３をアーム２８
の内部に挿入し、上ブロック２６と下ブロック２７を重
ねてビス３４をビス孔３１，３２に装着することによ
り、上ブロック２６と下ブロック２７は着脱自在に結合
される。また上ブロック２６の一側部にはビス孔３５が
形成されており、またアーム２８のつば部２９にはこの
ビス孔３５に対応するビス孔３６が形成されている。ビ
ス３７をビス孔３５，３６に挿着することにより（図
３）、ホーン２１の膨大部３３はアーム２８にしっかり
保持される。
【００１５】下ブロック２７の側面からはピン３８が突
出している。図１において、このピン３８は軸受部３９
に回転自在に軸着される。下ブロック２７の背面にはコ
イル部４１が装着されている。コイル部４１はマグネッ
ト４２に装入されており、コイル部４１とマグネット４
２はボイスコイルモータ４３を構成している。４４は台
板であり、軸受部３９やマグネット４２が設置されてい
る。台板４４は可動テーブル４０上に設置されており、
可動テーブル４０が駆動すると、台板４４上の揺動部４
５（後述）はＸ方向やＹ方向へ水平移動する。
出している。図１において、このピン３８は軸受部３９
に回転自在に軸着される。下ブロック２７の背面にはコ
イル部４１が装着されている。コイル部４１はマグネッ
ト４２に装入されており、コイル部４１とマグネット４
２はボイスコイルモータ４３を構成している。４４は台
板であり、軸受部３９やマグネット４２が設置されてい
る。台板４４は可動テーブル４０上に設置されており、
可動テーブル４０が駆動すると、台板４４上の揺動部４
５（後述）はＸ方向やＹ方向へ水平移動する。
【００１６】図２において、クランパユニット５０は、
板状の保持部材５１を主体にしている。保持部材５１に
は左右一対の第１のカットクランパ５２と第２のカット
クランパ５３が保持されている。５４は第１のカットク
ランパ５２を保持部材５１に装着するビスである。保持
部材５１の後端部の左右からは突片５５，５６が突出し
ている。一方の突片５５の内面にはボイスコイルモータ
５７が装着されている。第２のカットクランパ５３は、
保持部材５１の先端部下面に回転軸５８により回転自在
に軸着されている（図４も参照）。第１のカットクラン
パ５２と第２のカットクランパ５３の先端部内面には、
ワイヤ２３をクランプするパッド６１，６２が装着され
ている。ボイスコイルモータ５７に通電すると、第２の
カットクランパ５３は回転軸５８を中心に回転し、第１
のカットクランパ５２と第２のカットクランパ５３は開
閉する。この開閉動作により、パッド６１，６２はワイ
ヤ２３をクランプし、またクランプを解除する。すなわ
ちボイスコイルモータ５７は、第１のカットクランパ５
２と第２のカットクランパ５３に開閉動作を行わせる駆
動部となっている。
板状の保持部材５１を主体にしている。保持部材５１に
は左右一対の第１のカットクランパ５２と第２のカット
クランパ５３が保持されている。５４は第１のカットク
ランパ５２を保持部材５１に装着するビスである。保持
部材５１の後端部の左右からは突片５５，５６が突出し
ている。一方の突片５５の内面にはボイスコイルモータ
５７が装着されている。第２のカットクランパ５３は、
保持部材５１の先端部下面に回転軸５８により回転自在
に軸着されている（図４も参照）。第１のカットクラン
パ５２と第２のカットクランパ５３の先端部内面には、
ワイヤ２３をクランプするパッド６１，６２が装着され
ている。ボイスコイルモータ５７に通電すると、第２の
カットクランパ５３は回転軸５８を中心に回転し、第１
のカットクランパ５２と第２のカットクランパ５３は開
閉する。この開閉動作により、パッド６１，６２はワイ
ヤ２３をクランプし、またクランプを解除する。すなわ
ちボイスコイルモータ５７は、第１のカットクランパ５
２と第２のカットクランパ５３に開閉動作を行わせる駆
動部となっている。
【００１７】図２において、一方の突片５６にはピン状
の端子６３が２本立設されている。また上ブロック２６
から前方へ左右の突片６４，６５が延出しており、一方
の突片６４にはピン状の端子６６が２本下方へ突設され
ている。突片５５，５６および突片６４，６５にはそれ
ぞれビス孔６７，６８が形成されており、ビス孔６７，
６８にビス６９を挿着することにより、クランパユニッ
ト５０は上ブロック２６上に着脱自在に装着される（図
５）。
の端子６３が２本立設されている。また上ブロック２６
から前方へ左右の突片６４，６５が延出しており、一方
の突片６４にはピン状の端子６６が２本下方へ突設され
ている。突片５５，５６および突片６４，６５にはそれ
ぞれビス孔６７，６８が形成されており、ビス孔６７，
６８にビス６９を挿着することにより、クランパユニッ
ト５０は上ブロック２６上に着脱自在に装着される（図
５）。
【００１８】図６（ａ），（ｂ）は端子６３と端子６６
の接続構造を示している。端子６３はスプリング７０に
より上下動自在に弾発されて突片５６に立設されてい
る。また端子６６の上端部には座金７１が設けられてい
る。図６（ａ）は、ビス６９（図１，図２）で保持部材
５１を上ブロック２６上に装着した状態を示している。
この状態で、端子６３の下端部は座金７１上に接地す
る。この場合、端子６３はスプリング７０のばね力によ
り座金７１にしっかり接地する。図６（ｂ）に示すよう
に、ビス６９を取りはずして保持部材５１を上ブロック
２６から分離すると、端子６３は端子６６から離れる。
端子６３はリード線７２によりボイスコイルモータ５７
に接続されている。また端子６６は給電用コード７３に
より電源（図示せず）に接続されている。したがって図
６（ａ）に示すように端子６３と端子６６が接触する
と、ボイスコイルモータ５７への給電路は閉成される。
の接続構造を示している。端子６３はスプリング７０に
より上下動自在に弾発されて突片５６に立設されてい
る。また端子６６の上端部には座金７１が設けられてい
る。図６（ａ）は、ビス６９（図１，図２）で保持部材
５１を上ブロック２６上に装着した状態を示している。
この状態で、端子６３の下端部は座金７１上に接地す
る。この場合、端子６３はスプリング７０のばね力によ
り座金７１にしっかり接地する。図６（ｂ）に示すよう
に、ビス６９を取りはずして保持部材５１を上ブロック
２６から分離すると、端子６３は端子６６から離れる。
端子６３はリード線７２によりボイスコイルモータ５７
に接続されている。また端子６６は給電用コード７３に
より電源（図示せず）に接続されている。したがって図
６（ａ）に示すように端子６３と端子６６が接触する
と、ボイスコイルモータ５７への給電路は閉成される。
【００１９】図１において、軸受部３９にピン３８で軸
支された諸要素（符号２１，２２，２５，４１，５０を
付した諸要素、すなわち鎖線で囲まれた部分）は揺動部
４５となっている。コイル部４１に通電すると、マグネ
ット４２との間に発生する磁気力により、ホーン２１を
含む揺動部４５はピン３８を中心に上下方向へ揺動す
る。Ｇは揺動部４５の重心である。上述したように、保
持手段２５は、軽量の上ブロック２６と重量のある下ブ
ロック２７から成るので、重心Ｇの位置は図７に示す従
来例よりも低くなっている。Ｚ２はピン３８の中心０か
らの重心Ｇの高さである。なお、トーチなどについて
は、説明を省略する。
支された諸要素（符号２１，２２，２５，４１，５０を
付した諸要素、すなわち鎖線で囲まれた部分）は揺動部
４５となっている。コイル部４１に通電すると、マグネ
ット４２との間に発生する磁気力により、ホーン２１を
含む揺動部４５はピン３８を中心に上下方向へ揺動す
る。Ｇは揺動部４５の重心である。上述したように、保
持手段２５は、軽量の上ブロック２６と重量のある下ブ
ロック２７から成るので、重心Ｇの位置は図７に示す従
来例よりも低くなっている。Ｚ２はピン３８の中心０か
らの重心Ｇの高さである。なお、トーチなどについて
は、説明を省略する。
【００２０】このワイヤボンディング装置は上記のよう
な構成より成り、次に取り扱い動作の説明を行う。図１
において、可動テーブル４０が駆動することによりキャ
ピラリツール２２はＸ方向やＹ方向へ高速移動し、また
ボイスコイルモータ４３が駆動することにより、ホーン
２１は上下方向へ揺動し、ワイヤ２３により基板Ｓの電
極とチップＰの電極を接続する。また第１のカットクラ
ンパ５２と第２のカットクランパ５３はボイスコイルモ
ータ５７に駆動されて開閉動作を行ってワイヤ２３をク
ランプし、これを引き上げることにより基板Ｓへのボン
ディング点からワイヤ２３を切断する。
な構成より成り、次に取り扱い動作の説明を行う。図１
において、可動テーブル４０が駆動することによりキャ
ピラリツール２２はＸ方向やＹ方向へ高速移動し、また
ボイスコイルモータ４３が駆動することにより、ホーン
２１は上下方向へ揺動し、ワイヤ２３により基板Ｓの電
極とチップＰの電極を接続する。また第１のカットクラ
ンパ５２と第２のカットクランパ５３はボイスコイルモ
ータ５７に駆動されて開閉動作を行ってワイヤ２３をク
ランプし、これを引き上げることにより基板Ｓへのボン
ディング点からワイヤ２３を切断する。
【００２１】上記動作において、揺動部４５の重心Ｇは
低いので、揺動部４５がホーン２１の長手方向（Ｙ方
向）へ高速移動してもホーン２１が振られることはな
く、したがって安定的に作業を行うことができる。
低いので、揺動部４５がホーン２１の長手方向（Ｙ方
向）へ高速移動してもホーン２１が振られることはな
く、したがって安定的に作業を行うことができる。
【００２２】ところで、長時間運転する間にパッド６
１，６２は次第に摩耗するので、パッド６１，６２は適
宜交換される。この交換は次のようにして行う。すなわ
ち、図１においてビス６９を取りはずし、クランパユニ
ット５０をホーン保持手段２５の上ブロック２６から分
離する。そしてクランパユニット５０を作業場所へ持ち
運び、そこでパッド６１，６２の交換作業を行う。そし
て交換が終了したならば、再びビス６９でクランパユニ
ット５０をホーン保持手段２５の上ブロック２６に装着
する。この場合、給電用コード７３はホーン保持手段２
５側にあるので、クランパユニット５０はホーン保持手
段２５から完全に分離されることとなり、したがってク
ランパユニット５０の持ち運びやパッド６１，６２の交
換作業に給電用コード７３が邪魔になることはまったく
なく、パッド６１，６２の交換を手軽に行うことができ
る。
１，６２は次第に摩耗するので、パッド６１，６２は適
宜交換される。この交換は次のようにして行う。すなわ
ち、図１においてビス６９を取りはずし、クランパユニ
ット５０をホーン保持手段２５の上ブロック２６から分
離する。そしてクランパユニット５０を作業場所へ持ち
運び、そこでパッド６１，６２の交換作業を行う。そし
て交換が終了したならば、再びビス６９でクランパユニ
ット５０をホーン保持手段２５の上ブロック２６に装着
する。この場合、給電用コード７３はホーン保持手段２
５側にあるので、クランパユニット５０はホーン保持手
段２５から完全に分離されることとなり、したがってク
ランパユニット５０の持ち運びやパッド６１，６２の交
換作業に給電用コード７３が邪魔になることはまったく
なく、パッド６１，６２の交換を手軽に行うことができ
る。
【００２３】本発明は上記実施の形態に限定されないの
であって、例えばボイスコイルモータに代えて圧電素子
などの駆動部を用い、カットクランパに開閉動作を行わ
せてもよく、あるいはホーン保持手段側の端子６６をス
プリングにより上下動自在に弾発してもよい。
であって、例えばボイスコイルモータに代えて圧電素子
などの駆動部を用い、カットクランパに開閉動作を行わ
せてもよく、あるいはホーン保持手段側の端子６６をス
プリングにより上下動自在に弾発してもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明は、ホーンを保持するホーン保持
手段を上ブロックと下ブロックに分割し、下ブロックを
比重の大きい金属にて形成しているので、ホーンを含む
揺動部の重心位置を低くして、ホーンの振られ現象を解
消し高速度での安定した動作が可能となる。
手段を上ブロックと下ブロックに分割し、下ブロックを
比重の大きい金属にて形成しているので、ホーンを含む
揺動部の重心位置を低くして、ホーンの振られ現象を解
消し高速度での安定した動作が可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の側面図
置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のホーンとホーン保持手段とクランパユニットの分解
斜視図
置のホーンとホーン保持手段とクランパユニットの分解
斜視図
【図３】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のホーン保持手段の断面図
置のホーン保持手段の断面図
【図４】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のクランパユニットの平面図
置のクランパユニットの平面図
【図５】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のクランパユニットの側面図
置のクランパユニットの側面図
【図６】（ａ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディ
ング装置のホーン保持手段とクランパユニットの接続部
の断面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装置
のホーン保持手段とクランパユニットの接続部の断面図
ング装置のホーン保持手段とクランパユニットの接続部
の断面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装置
のホーン保持手段とクランパユニットの接続部の断面図
【図７】従来のワイヤボンディング装置の側面図
２１ ホーン ２２ キャピラリツール ２３ ワイヤ ２５ ホーン保持手段 ３８ ピン ３９ 軸受部 ４０ 可動テーブル ４３ ボイスコイルモータ ４５ 揺動部
Claims (1)
- 【請求項１】先端部にキャピラリツールを保持するホー
ンとこのホーンの基端部を保持するホーン保持手段と前
記キャピラリツールの上方にあって前記キャピラリツー
ルに挿通されたワイヤをクランプするカットクランパを
備えたクランパユニットとを含む揺動部と、この揺動部
を上下方向に揺動自在に軸着する軸受部と、この揺動部
を水平移動させる可動テーブルとを備えたワイヤボンデ
ィング装置であって、前記ホーン保持手段が着脱自在に
結合される上ブロックと下ブロックから成り、この下ブ
ロックに前記軸受部に軸支されるピンを設け、かつ前記
下ブロックを前記上ブロックよりも比重の大きい金属に
て形成したことを特徴とするワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879096A JP3201275B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879096A JP3201275B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1092860A JPH1092860A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3201275B2 true JP3201275B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=17035328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23879096A Expired - Fee Related JP3201275B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3201275B2 (ja) |
-
1996
- 1996-09-10 JP JP23879096A patent/JP3201275B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1092860A (ja) | 1998-04-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |