JP2002365323A - 剥離帯電量測定装置 - Google Patents
剥離帯電量測定装置Info
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- JP2002365323A JP2002365323A JP2001205777A JP2001205777A JP2002365323A JP 2002365323 A JP2002365323 A JP 2002365323A JP 2001205777 A JP2001205777 A JP 2001205777A JP 2001205777 A JP2001205777 A JP 2001205777A JP 2002365323 A JP2002365323 A JP 2002365323A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は被貼着物から保護フィルムを剥離する
際に発生する帯電量を測定する測定装置および方法に関
する。 【解決手段】被貼着物と保護フィルムを置くための金属
板とそれと導線により結線されている帯電量を測定する
ためのクーロンメーターを有し、該金属板は絶縁物の上
にある被貼着物から保護フィルムを剥離する際に発生す
る帯電量を逐次測定できることを特徴とする測定装置お
よび該測定装置を用い、金属板に貼り合わせた被貼着物
と保護フィルムを置き、保護フィルムを剥離する際に発
生する帯電量をクーロンメーターにより測定する方法。
際に発生する帯電量を測定する測定装置および方法に関
する。 【解決手段】被貼着物と保護フィルムを置くための金属
板とそれと導線により結線されている帯電量を測定する
ためのクーロンメーターを有し、該金属板は絶縁物の上
にある被貼着物から保護フィルムを剥離する際に発生す
る帯電量を逐次測定できることを特徴とする測定装置お
よび該測定装置を用い、金属板に貼り合わせた被貼着物
と保護フィルムを置き、保護フィルムを剥離する際に発
生する帯電量をクーロンメーターにより測定する方法。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は被貼着物から保護フィルム
を剥離する際に発生する帯電量を測定する測定装置およ
び方法に関する。本測定装置および方法は、例えば液晶
ディスプレー等の電子部品に用いられる被貼着物である
プラスチックフィルムから保護フィルムを剥離する際に
発生する帯電量を好適に測定することができる。
を剥離する際に発生する帯電量を測定する測定装置およ
び方法に関する。本測定装置および方法は、例えば液晶
ディスプレー等の電子部品に用いられる被貼着物である
プラスチックフィルムから保護フィルムを剥離する際に
発生する帯電量を好適に測定することができる。
【０００２】
【従来の技術】被貼着物から保護フィルムを剥離する際
に剥離帯電という現象が起こることは広く知られてい
る。この現象は剥離した保護フィルムが手にまとわりつ
くなどの軽微な問題を起こしているうちは特に問題とさ
れなかった。しかし、近年半導体の製造工程や液晶ディ
スプレイの製造工程でその工程内で使用される保護フィ
ルム付きの被貼着物あるいは保護フィルム自体が発生す
る剥離帯電により半導体や液晶ディスプレイの駆動装置
内にある半導体の絶縁破壊により動作不良が起こるとい
う重大な不具合が発生するようになった。そこで、剥離
帯電による帯電量を調べる必要がでてきた。
に剥離帯電という現象が起こることは広く知られてい
る。この現象は剥離した保護フィルムが手にまとわりつ
くなどの軽微な問題を起こしているうちは特に問題とさ
れなかった。しかし、近年半導体の製造工程や液晶ディ
スプレイの製造工程でその工程内で使用される保護フィ
ルム付きの被貼着物あるいは保護フィルム自体が発生す
る剥離帯電により半導体や液晶ディスプレイの駆動装置
内にある半導体の絶縁破壊により動作不良が起こるとい
う重大な不具合が発生するようになった。そこで、剥離
帯電による帯電量を調べる必要がでてきた。
【０００３】被貼着物から保護フィルムを剥離する際に
発生する帯電の程度を測定するには、保護フィルムを剥
離した被貼着物に帯電した帯電圧を測定する帯電圧測定
装置を使用するのが一般的である。
発生する帯電の程度を測定するには、保護フィルムを剥
離した被貼着物に帯電した帯電圧を測定する帯電圧測定
装置を使用するのが一般的である。
【０００４】この測定装置を使用して測定する場合、被
貼着物との距離により帯電圧が変化するという欠点があ
る。これは原理上誘導電流を測定するという方法で測定
しているため、被貼着物との距離が変わることにより測
定される帯電圧が変化するのは避けられない。また、被
貼着物の帯電圧をＶ、被貼着物の静電容量をＣ、被貼着
物の帯電量をＱとすると、Ｑ＝ＣＶの式で表すことがで
きることからわかるように、被貼着物の静電容量により
被貼着物が実際に帯電している帯電量が変わってくると
いう問題点がある。さらに、測定可能な範囲が狭く、測
定しようとしている被貼着物全体で発生している剥離帯
電量がどの程度あるのかを定量的に測定することができ
ないという問題がある。そして、被貼着物全体で剥離途
中で発生している剥離帯電量がどのようなプロファイル
で変化しているかを知ることができないという問題があ
る。
貼着物との距離により帯電圧が変化するという欠点があ
る。これは原理上誘導電流を測定するという方法で測定
しているため、被貼着物との距離が変わることにより測
定される帯電圧が変化するのは避けられない。また、被
貼着物の帯電圧をＶ、被貼着物の静電容量をＣ、被貼着
物の帯電量をＱとすると、Ｑ＝ＣＶの式で表すことがで
きることからわかるように、被貼着物の静電容量により
被貼着物が実際に帯電している帯電量が変わってくると
いう問題点がある。さらに、測定可能な範囲が狭く、測
定しようとしている被貼着物全体で発生している剥離帯
電量がどの程度あるのかを定量的に測定することができ
ないという問題がある。そして、被貼着物全体で剥離途
中で発生している剥離帯電量がどのようなプロファイル
で変化しているかを知ることができないという問題があ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題】本発明は距離の影響や
被貼着物の静電容量の影響を受けずに被貼着物全体で発
生している剥離帯電量を測定でき、該被貼着物から保護
フィルムを剥離している最中に発生している剥離帯電量
のプロファイルを測定できる測定装置を提供するもので
ある。
被貼着物の静電容量の影響を受けずに被貼着物全体で発
生している剥離帯電量を測定でき、該被貼着物から保護
フィルムを剥離している最中に発生している剥離帯電量
のプロファイルを測定できる測定装置を提供するもので
ある。
【０００６】
【問題を解決するための手段】本発明は被貼着物から保
護フィルムを剥離する際の帯電量の測定装置およびその
方法であり、更には被貼着物から保護フィルムを剥離す
る際に発生する剥離帯電量を逐次測定できることを特徴
とする測定装置およびその方法である。
護フィルムを剥離する際の帯電量の測定装置およびその
方法であり、更には被貼着物から保護フィルムを剥離す
る際に発生する剥離帯電量を逐次測定できることを特徴
とする測定装置およびその方法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】図３は本発明の剥離帯電量の測定
装置の一例である。被貼着物１は金属板４上に置かれ、
留め具１３によって被貼着物１が移動しないように止め
られている。
装置の一例である。被貼着物１は金属板４上に置かれ、
留め具１３によって被貼着物１が移動しないように止め
られている。
【０００８】被貼着物１は保護フィルムが貼着されるも
のなら何でもよくその材質、形状には特に限定されな
い、例えば、プラスチックフィルム、半導体ウエハある
いは金属などの導電性物質がある。液晶ディスプレイで
使用されているトリアセチルセルロース樹脂製フィルム
のような非導電性物質について好適に測定することがで
きる。プラスチックフィルムにカーボンブラックなどの
導電性材料を混入などしたものや表面に帯電防止剤を塗
布したものも測定できる。但し、非導電性物質では厚み
があると保護フィルムの剥離表面で発生している帯電量
全てを測定することは原理上困難であるためできるだけ
厚みの薄いものが好ましいが測定できないわけではな
い。
のなら何でもよくその材質、形状には特に限定されな
い、例えば、プラスチックフィルム、半導体ウエハある
いは金属などの導電性物質がある。液晶ディスプレイで
使用されているトリアセチルセルロース樹脂製フィルム
のような非導電性物質について好適に測定することがで
きる。プラスチックフィルムにカーボンブラックなどの
導電性材料を混入などしたものや表面に帯電防止剤を塗
布したものも測定できる。但し、非導電性物質では厚み
があると保護フィルムの剥離表面で発生している帯電量
全てを測定することは原理上困難であるためできるだけ
厚みの薄いものが好ましいが測定できないわけではな
い。
【０００９】金属板４は金属製の板であれば何でもよい
が、長期にわたって使用することを考慮に入れるとサビ
の発生しない材質の金属が良く、ステンレス板などが好
適に使用される。また、金属板４は被貼着物以上の面積
をもつことが好ましい。被貼着物１の金属板４に接する
側で剥離帯電により発生した電気力線を全て捕捉して測
定精度を上げるためである。
が、長期にわたって使用することを考慮に入れるとサビ
の発生しない材質の金属が良く、ステンレス板などが好
適に使用される。また、金属板４は被貼着物以上の面積
をもつことが好ましい。被貼着物１の金属板４に接する
側で剥離帯電により発生した電気力線を全て捕捉して測
定精度を上げるためである。
【００１０】導線５により金属板４と電荷量の測定装置
であるクーロンメーター６の測定プローブ７は結線され
ている。クーロンメーター６は導線８によりアースに常
時接続されている。クーロンメーターとは、検出された
電荷を一旦コンデンサーに貯めて、貯まった電荷量を測
定するという原理の測定器である。市販のものをそのま
ま使用することができる。
であるクーロンメーター６の測定プローブ７は結線され
ている。クーロンメーター６は導線８によりアースに常
時接続されている。クーロンメーターとは、検出された
電荷を一旦コンデンサーに貯めて、貯まった電荷量を測
定するという原理の測定器である。市販のものをそのま
ま使用することができる。
【００１１】導線９により、金属板４はスイッチ１０を
介してアースに接続されている。さらにアースに接続さ
れた被貼着物１の面積と同等、もしくは、それ以上の面
積を保つ金属製の除電板１１が別途用意されている。除
電板１１は金属製の板であれば何でもよい。除電板１１
は被貼着物、保護フィルムのうち面積の大きいものが全
て接触できる面積をもつことが好ましい。
介してアースに接続されている。さらにアースに接続さ
れた被貼着物１の面積と同等、もしくは、それ以上の面
積を保つ金属製の除電板１１が別途用意されている。除
電板１１は金属製の板であれば何でもよい。除電板１１
は被貼着物、保護フィルムのうち面積の大きいものが全
て接触できる面積をもつことが好ましい。
【００１２】金属板４は絶縁物１４を介して電気的な接
続をもたずに金属製の測定台１５に固定されている。絶
縁物１４は電気的に絶縁可能で帯電しにくいものであれ
ば何でもよく、例えばセラミックスやガラスなどを用い
ることができ、好ましくはセラミックスである。
続をもたずに金属製の測定台１５に固定されている。絶
縁物１４は電気的に絶縁可能で帯電しにくいものであれ
ば何でもよく、例えばセラミックスやガラスなどを用い
ることができ、好ましくはセラミックスである。
【００１３】被貼着物１上に貼着された保護フィルム１
２を剥離すると剥離することにより発生した電荷が被貼
着物１に発生する。このとき被貼着物１に密接している
金属板４には正負が反対の極性の電荷が発生すると同時
に被貼着物１に発生した電荷と同じ極性の電荷が導線５
を通ってクーロンメーター６の測定プローブ７に伝達さ
れ、そのときの剥離帯電電荷量としてクーロンメーター
６に表示される。
２を剥離すると剥離することにより発生した電荷が被貼
着物１に発生する。このとき被貼着物１に密接している
金属板４には正負が反対の極性の電荷が発生すると同時
に被貼着物１に発生した電荷と同じ極性の電荷が導線５
を通ってクーロンメーター６の測定プローブ７に伝達さ
れ、そのときの剥離帯電電荷量としてクーロンメーター
６に表示される。
【００１４】金属板４を使用することにより、上述した
ように剥離帯電により発生する被貼着物１全体で発生し
た電荷を捕捉することができるため、被貼着物１全体で
発生する剥離帯電量を測定できる。
ように剥離帯電により発生する被貼着物１全体で発生し
た電荷を捕捉することができるため、被貼着物１全体で
発生する剥離帯電量を測定できる。
【００１５】図５はまた本発明の剥離帯電量測定装置の
一例である。スイッチ２０を介して導線５、２５により
金属板４と電荷量の測定装置であるクーロンメーター６
の測定プローブ７は結線されている。クーロンメーター
６は導線８により、チャートレコーダー２２に接続さ
れ、アース２３に常時接続されている。金属板４は、ス
イッチ２０を介して導線２４によりアースに接続するこ
ともできる。
一例である。スイッチ２０を介して導線５、２５により
金属板４と電荷量の測定装置であるクーロンメーター６
の測定プローブ７は結線されている。クーロンメーター
６は導線８により、チャートレコーダー２２に接続さ
れ、アース２３に常時接続されている。金属板４は、ス
イッチ２０を介して導線２４によりアースに接続するこ
ともできる。
【００１６】金属板１５は導線２１を介してアースに接
続されている。また、金属板１５は図示されていない非
導電性材料の上に置かれている。非導電性材料とは非導
電性の材料であって、例えば木などをあげることができ
るがこれに限定されるものではない。
続されている。また、金属板１５は図示されていない非
導電性材料の上に置かれている。非導電性材料とは非導
電性の材料であって、例えば木などをあげることができ
るがこれに限定されるものではない。
【００１７】被貼着物１上に貼着された保護フィルム１
２を剥離すると剥離することにより発生した電荷が被貼
着物１に発生する。このとき被貼着物１に密接している
金属板４の被貼着物１に近い側には正負が反対の極性の
電荷が発生すると同時に被貼着物１に発生した電荷と同
じ極性の電荷が導線５、２５を通ってクーロンメーター
６の測定プローブ７に伝達され、そのときの剥離帯電電
荷量としてクーロンメーター６に表示される。電荷は保
護フィルム１２を剥離するに従い発生するため、クーロ
ンメーター６に導線８を介して接続されたチャートレコ
ーダー２２には、この電荷量を時間軸に対してプロット
することができ、剥離帯電量のプロファイルを知ること
ができる。
２を剥離すると剥離することにより発生した電荷が被貼
着物１に発生する。このとき被貼着物１に密接している
金属板４の被貼着物１に近い側には正負が反対の極性の
電荷が発生すると同時に被貼着物１に発生した電荷と同
じ極性の電荷が導線５、２５を通ってクーロンメーター
６の測定プローブ７に伝達され、そのときの剥離帯電電
荷量としてクーロンメーター６に表示される。電荷は保
護フィルム１２を剥離するに従い発生するため、クーロ
ンメーター６に導線８を介して接続されたチャートレコ
ーダー２２には、この電荷量を時間軸に対してプロット
することができ、剥離帯電量のプロファイルを知ること
ができる。
【００１８】金属板１５上に、導線17によりアースに接
続された導電性材料で作られたシールド１６で、測定装
置を周囲の電気的影響から遮蔽することが好ましい。導
電性材料とは導電性の材料であって、例えば金属あるい
は測定に影響しない程度の穴を空けた金属を用いること
ができるがこれに限定されるものではない。測定装置の
うち上述したクーロンメーター６、測定プローブ７、ス
イッチ１０などの樹脂が使用されている製品はシールド
１６の外に置くことが好ましく、やむを得ずシールド１
６内に置く場合は、導電性材料で周囲を覆うことが好ま
しい。
続された導電性材料で作られたシールド１６で、測定装
置を周囲の電気的影響から遮蔽することが好ましい。導
電性材料とは導電性の材料であって、例えば金属あるい
は測定に影響しない程度の穴を空けた金属を用いること
ができるがこれに限定されるものではない。測定装置の
うち上述したクーロンメーター６、測定プローブ７、ス
イッチ１０などの樹脂が使用されている製品はシールド
１６の外に置くことが好ましく、やむを得ずシールド１
６内に置く場合は、導電性材料で周囲を覆うことが好ま
しい。
【００１９】シールド１６内にある保護フィルム１２を
剥離して剥離帯電量を測定する際には、導電性材料で作
られたクリップなどの保護フィルム担持治具１８で保護
フィルム１２を挟むなどして担持し、保護フィルム担持
治具１８に接続された非導電性材料で作られたひも１９
を引っ張ることにより実施される。導電性材料とは導電
性の材料であって、例えば金属を用いることができるが
これに限定されるものではない。非導電性材料とは非導
電性の材料であって、例えば綿を用いることができるが
これに限定されるものではない。保護フィルム担持治具
１８に接続された非導電性材料で作られたひも１９は、
ひも状である必要はなく、シールド１６内にある保護フ
ィルム１２をシールド外から剥離できる手段であれば、
特に限定されるものではなく、保護フィルム担持治具１
８を介さず保護フィルム１２にひも１９を直接取り付け
て使用するなど上述した方法に限定されるものでもな
い。
剥離して剥離帯電量を測定する際には、導電性材料で作
られたクリップなどの保護フィルム担持治具１８で保護
フィルム１２を挟むなどして担持し、保護フィルム担持
治具１８に接続された非導電性材料で作られたひも１９
を引っ張ることにより実施される。導電性材料とは導電
性の材料であって、例えば金属を用いることができるが
これに限定されるものではない。非導電性材料とは非導
電性の材料であって、例えば綿を用いることができるが
これに限定されるものではない。保護フィルム担持治具
１８に接続された非導電性材料で作られたひも１９は、
ひも状である必要はなく、シールド１６内にある保護フ
ィルム１２をシールド外から剥離できる手段であれば、
特に限定されるものではなく、保護フィルム担持治具１
８を介さず保護フィルム１２にひも１９を直接取り付け
て使用するなど上述した方法に限定されるものでもな
い。
【００２０】被貼着物１及び保護フィルム１２を金属板
４に留め具１３を使って固定する前に、あらかじめ、除
電して帯電圧が０Ｖであることを確認することが望まし
い。この際、被貼着物１及び保護フィルム１２が再び帯
電することのないように、電気的に絶縁可能で帯電しに
くいもの、例えばセラミックスやガラスなどでできたピ
ンセットなどで保持しながら除電することが望ましい。
この操作は行わなくても本測定装置を使用して剥離帯電
量を測定することは可能であるが、測定結果の正確さを
要求する場合には、この操作を実施することが望まし
い。
４に留め具１３を使って固定する前に、あらかじめ、除
電して帯電圧が０Ｖであることを確認することが望まし
い。この際、被貼着物１及び保護フィルム１２が再び帯
電することのないように、電気的に絶縁可能で帯電しに
くいもの、例えばセラミックスやガラスなどでできたピ
ンセットなどで保持しながら除電することが望ましい。
この操作は行わなくても本測定装置を使用して剥離帯電
量を測定することは可能であるが、測定結果の正確さを
要求する場合には、この操作を実施することが望まし
い。
【００２１】本発明の測定装置を使用することにより、
従来使用されていた帯電圧を測定する装置と違い、距離
の影響や被貼着物の静電容量の影響を受けずに被貼着物
全体で発生している剥離帯電量を測定でき、被貼着物を
保護する保護フィルムを剥離している最中に発生する剥
離帯電量のプロファイルを測定することができる。その
結果、半導体の製造工程や液晶ディスプレイの製造工程
で、その工程内で使用される保護フィルム付きの被貼着
物、あるいは、保護フィルム自体が発生する剥離帯電に
より半導体や液晶ディスプレイの駆動装置内にある半導
体の絶縁破壊により動作不良が起こるという重大な不具
合が発生するような微小な電荷量を測定することができ
る測定装置を提供するものである。
従来使用されていた帯電圧を測定する装置と違い、距離
の影響や被貼着物の静電容量の影響を受けずに被貼着物
全体で発生している剥離帯電量を測定でき、被貼着物を
保護する保護フィルムを剥離している最中に発生する剥
離帯電量のプロファイルを測定することができる。その
結果、半導体の製造工程や液晶ディスプレイの製造工程
で、その工程内で使用される保護フィルム付きの被貼着
物、あるいは、保護フィルム自体が発生する剥離帯電に
より半導体や液晶ディスプレイの駆動装置内にある半導
体の絶縁破壊により動作不良が起こるという重大な不具
合が発生するような微小な電荷量を測定することができ
る測定装置を提供するものである。
【００２２】
【実施例】（実施例１）図３に示す構造の剥離帯電量測
定装置を用い、被貼着物としてポリエチレンテレフタレ
ート樹脂フィルムＳＬ（帝人・デュポン社製）、保護フ
ィルムとしてスミロンＥ−２０３５（スミロン社製）を
使用した。被貼着物を留め具１３を用いて、被貼着物と
同じ面積（１２５ｍｍ×５０ｍｍ）で絶縁物１４（セラ
ミックス）の上に置かれた金属板４（ＪＩＳ Ｇ ４３
０５記載のステンレス製の厚さが１．５ｍｍ、表面状態
はＪＩＳ Ｒ ６２５３記載の２８０番の耐水研磨紙で
試験板の幅方向に研磨紙で軽く指標を付け、この指標が
完全に消えるまで全長にわたって長さ方向に均一に研磨
したもの。）に固定し、１２５ｍｍ×５０ｍｍ（実際に
貼着する部分は１００ｍｍ×５０ｍｍ）の保護フィルム
をＪＩＳ Ｚ−０２３７準拠のローラーで３００ｍｍ／
ｍｉｎの速度で貼着し（被貼着物にあらかじめ保護フィ
ルムを貼ったものを使用することもできる）、除電板１
１（ＪＩＳ Ｇ ４３０５記載のステンレス製の厚さが
１．５ｍｍ、表面状態はＪＩＳ Ｒ ６２５３記載の２
８０番の耐水研磨紙で試験板の幅方向に研磨紙で軽く指
標を付け、この指標が完全に消えるまで全長にわたって
長さ方向に均一に研磨したもの。）を保護フィルムの上
に載せると同時に、スイッチ１０を切り替えて金属板４
をアースに接続し、３０秒間放置する。この後、速やか
に除電板１１を取り除き、スイッチ１０を切り替えて金
属板４とアースとの接続を切る。セラミック製のピンセ
ットで保護フィルムを約２，０００ｍｍ／ｍｉｎの速度
で剥離することで、剥離帯電量を測定した。クーロンメ
ーターとして春日電機株式会社のＮＫ−１００１を使用
した。測定した剥離帯電量の積算値を経時でプロットし
たものを図４に示す。
定装置を用い、被貼着物としてポリエチレンテレフタレ
ート樹脂フィルムＳＬ（帝人・デュポン社製）、保護フ
ィルムとしてスミロンＥ−２０３５（スミロン社製）を
使用した。被貼着物を留め具１３を用いて、被貼着物と
同じ面積（１２５ｍｍ×５０ｍｍ）で絶縁物１４（セラ
ミックス）の上に置かれた金属板４（ＪＩＳ Ｇ ４３
０５記載のステンレス製の厚さが１．５ｍｍ、表面状態
はＪＩＳ Ｒ ６２５３記載の２８０番の耐水研磨紙で
試験板の幅方向に研磨紙で軽く指標を付け、この指標が
完全に消えるまで全長にわたって長さ方向に均一に研磨
したもの。）に固定し、１２５ｍｍ×５０ｍｍ（実際に
貼着する部分は１００ｍｍ×５０ｍｍ）の保護フィルム
をＪＩＳ Ｚ−０２３７準拠のローラーで３００ｍｍ／
ｍｉｎの速度で貼着し（被貼着物にあらかじめ保護フィ
ルムを貼ったものを使用することもできる）、除電板１
１（ＪＩＳ Ｇ ４３０５記載のステンレス製の厚さが
１．５ｍｍ、表面状態はＪＩＳ Ｒ ６２５３記載の２
８０番の耐水研磨紙で試験板の幅方向に研磨紙で軽く指
標を付け、この指標が完全に消えるまで全長にわたって
長さ方向に均一に研磨したもの。）を保護フィルムの上
に載せると同時に、スイッチ１０を切り替えて金属板４
をアースに接続し、３０秒間放置する。この後、速やか
に除電板１１を取り除き、スイッチ１０を切り替えて金
属板４とアースとの接続を切る。セラミック製のピンセ
ットで保護フィルムを約２，０００ｍｍ／ｍｉｎの速度
で剥離することで、剥離帯電量を測定した。クーロンメ
ーターとして春日電機株式会社のＮＫ−１００１を使用
した。測定した剥離帯電量の積算値を経時でプロットし
たものを図４に示す。
【００２３】（実施例２）図5に示す構造の剥離帯電量
測定装置を用い、被貼着物としてポリエチレンテレフタ
レート樹脂フィルムＳＬ（帝人・デュポン社製）、保護
フィルムとしてスミロンＥ−２０３５（スミロン社製）
を使用した。測定にあたり、スイッチ２０をアースに接
続された導線２４側に切り替えて金属板４をアースに接
続する。被貼着物１（１２５ｍｍ×５０ｍｍ）をイオン
化エアー除電装置（キーエンス社製ＳＪ−Ｓ０２０）を
使用して除電し、帯電圧が０Ｖであることを帯電圧測定
装置（キーエンス社製ＳＫ２００）を使用して確認す
る。同様に、保護フィルム１２（１２５ｍｍ×２５ｍ
ｍ）についてもイオン化エアー除電装置を使用して除電
し、帯電圧が０Ｖであることを確認する。除電された保
護フィルム１２をＪＩＳ Ｚ−０２３７準拠のローラー
で３００ｍｍ／ｍｉｎの速度で被貼着物１に１００ｍｍ
×２５ｍｍの範囲で貼着し（被貼着物にあらかじめ保護
フィルムを貼ったものを使用することもできる）、これ
を再びイオン化エアー除電装置で除電し、帯電圧が０Ｖ
であることを確認した上で、留め具１３を用いて被貼着
物と同じ面積（１２５ｍｍ×５０ｍｍ）で絶縁物１４
（セラミックス）の上に置かれた金属板４（ＪＩＳ Ｇ
４３０５記載のステンレス製の厚さが１．５ｍｍ、表
面状態はＪＩＳ Ｒ ６２５３記載の２８０番の耐水研
磨紙で試験板の幅方向に研磨紙で軽く指標を付け、この
指標が完全に消えるまで全長にわたって長さ方向に均一
に研磨したもの。）に固定する。この後、保護フィルム
１２の非貼着部を保護フィルム担持治具１８を使用して
担持し、シールド１６で遮蔽した後、スイッチ２０を切
り替えて金属板４とアースとの接続を切る。ひも１９を
約３００ｍｍ／ｓｅｃの速度で剥離することで剥離帯電
量を測定した。クーロンメーターとして春日電機株式会
社のＮＫ−１００１を使用した。また、被貼着物１、保
護フィルム１２を除電する操作では、セラミック製のピ
ンセットを使用して直接手で触れない方法をとった。
測定装置を用い、被貼着物としてポリエチレンテレフタ
レート樹脂フィルムＳＬ（帝人・デュポン社製）、保護
フィルムとしてスミロンＥ−２０３５（スミロン社製）
を使用した。測定にあたり、スイッチ２０をアースに接
続された導線２４側に切り替えて金属板４をアースに接
続する。被貼着物１（１２５ｍｍ×５０ｍｍ）をイオン
化エアー除電装置（キーエンス社製ＳＪ−Ｓ０２０）を
使用して除電し、帯電圧が０Ｖであることを帯電圧測定
装置（キーエンス社製ＳＫ２００）を使用して確認す
る。同様に、保護フィルム１２（１２５ｍｍ×２５ｍ
ｍ）についてもイオン化エアー除電装置を使用して除電
し、帯電圧が０Ｖであることを確認する。除電された保
護フィルム１２をＪＩＳ Ｚ−０２３７準拠のローラー
で３００ｍｍ／ｍｉｎの速度で被貼着物１に１００ｍｍ
×２５ｍｍの範囲で貼着し（被貼着物にあらかじめ保護
フィルムを貼ったものを使用することもできる）、これ
を再びイオン化エアー除電装置で除電し、帯電圧が０Ｖ
であることを確認した上で、留め具１３を用いて被貼着
物と同じ面積（１２５ｍｍ×５０ｍｍ）で絶縁物１４
（セラミックス）の上に置かれた金属板４（ＪＩＳ Ｇ
４３０５記載のステンレス製の厚さが１．５ｍｍ、表
面状態はＪＩＳ Ｒ ６２５３記載の２８０番の耐水研
磨紙で試験板の幅方向に研磨紙で軽く指標を付け、この
指標が完全に消えるまで全長にわたって長さ方向に均一
に研磨したもの。）に固定する。この後、保護フィルム
１２の非貼着部を保護フィルム担持治具１８を使用して
担持し、シールド１６で遮蔽した後、スイッチ２０を切
り替えて金属板４とアースとの接続を切る。ひも１９を
約３００ｍｍ／ｓｅｃの速度で剥離することで剥離帯電
量を測定した。クーロンメーターとして春日電機株式会
社のＮＫ−１００１を使用した。また、被貼着物１、保
護フィルム１２を除電する操作では、セラミック製のピ
ンセットを使用して直接手で触れない方法をとった。
【００２４】
【発明の効果】このように、本発明の剥離帯電量測定装
置を使用すると、従来の測定器では測定できなかった被
貼着物全体での剥離帯電量を安定して測定できるととも
に、剥離過程における剥離帯電量のプロファイルを得る
ことができ、剥離中に起こる帯電量の変化を把握するの
に利用できる。
置を使用すると、従来の測定器では測定できなかった被
貼着物全体での剥離帯電量を安定して測定できるととも
に、剥離過程における剥離帯電量のプロファイルを得る
ことができ、剥離中に起こる帯電量の変化を把握するの
に利用できる。
【図１】図１は従来の帯電圧測定装置の概略図。
【図２】図２は従来の帯電圧測定装置での被貼着物の測
定範囲の概略図。
定範囲の概略図。
【図３】図３は本発明の剥離帯電量測定装置の一例の概
略図。
略図。
【図４】図４は本発明に係わる帯電量の測定方法により
得られた剥離中における剥離帯電量のプロファイルの一
例
得られた剥離中における剥離帯電量のプロファイルの一
例
【図５】本発明の剥離帯電量測定装置の一例の概略図。
１、被貼着物 ２、測定装置 ３、観測窓 ４、金属板 ５、導線 ６、クーロンメーター ７、測定プローブ ８、導線 ９、導線 １０、スイッチ １１、除電板 １２、保護フィルム １３、留め具 １４、絶縁物 １５、金属製の測定台板 １６、シールド １７、導線 １８、保護フィルム担持治具 １９、ひも ２０、スイッチ ２１、導線 ２２、チャートレコーダー ２３、導線 ２４、導線 ２６、導線
Claims (7)
- 【請求項１】被貼着物から保護フィルムを剥離する際の
帯電量の測定装置。 - 【請求項２】被貼着物から保護フィルムを剥離する際に
発生する剥離帯電量を逐次測定できることを特徴とする
測定装置。 - 【請求項３】被貼着物と保護フィルムを置くための金属
板とそれと導線により結線されている帯電量を測定する
ためのクーロンメーターを有し、該金属板は絶縁物の上
にある請求項１または請求項２の測定装置。 - 【請求項４】金属板の面積が被貼着物と保護フィルムよ
り大きい請求項３の測定装置。 - 【請求項５】金属板とクーロンメーターがアースされて
いる請求項３または請求項４の測定装置。 - 【請求項６】測定装置は、その周囲をアースされている
導電性の材料で覆われていることを特徴とする請求項２
乃至請求項５のいずれか一に記載の測定装置。 - 【請求項７】請求項１乃至請求項６のいずれか一に記載
の測定装置を用い、金属板に置かれた、貼り合わせた被
貼着物と保護フィルムから保護フィルムを剥離する際に
発生する帯電量を測定する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001205777A JP3691001B2 (ja) | 2001-04-05 | 2001-07-06 | 剥離帯電量測定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-106855 | 2001-04-05 | ||
| JP2001106855 | 2001-04-05 | ||
| JP2001205777A JP3691001B2 (ja) | 2001-04-05 | 2001-07-06 | 剥離帯電量測定装置 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005006986A Division JP4854967B2 (ja) | 2001-04-05 | 2005-01-14 | 剥離帯電量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002365323A true JP2002365323A (ja) | 2002-12-18 |
| JP3691001B2 JP3691001B2 (ja) | 2005-08-31 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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|---|---|
| JP (1) | JP3691001B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004054619A1 (ja) | 2002-12-17 | 2004-07-01 | Wakunaga Pharmaceutical Co., Ltd. | 遮光剤及び皮膜組成物 |
| JP2006214967A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Denki Kagaku Kogyo Kk | キャリアテープの剥離帯電量測定装置 |
-
2001
- 2001-07-06 JP JP2001205777A patent/JP3691001B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| WO2004054619A1 (ja) | 2002-12-17 | 2004-07-01 | Wakunaga Pharmaceutical Co., Ltd. | 遮光剤及び皮膜組成物 |
| JP2006214967A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Denki Kagaku Kogyo Kk | キャリアテープの剥離帯電量測定装置 |
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| Publication number | Publication date |
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| JP3691001B2 (ja) | 2005-08-31 |
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