JP2002365232A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 第１の対象の両側部から反射された光信号間の位相差を計測するための装置において、この装置が、
   第１の入射平面において該第１の対象の第１の面に向かって第１の入射光信号を伝送するための第１の光源であって、該第１の面で反射する該第１の光信号が第１と第２の反射偏光光信号構成要素を有する前記第１の光源と、
   第１の位相を有する第１の混合された反射偏光光信号構成要素及び該第１の位相とは異なる第２の位相を有する第２の混合された反射偏光光信号構成要素を、該第１の面で反射された第１の反射光信号から分離するための第１の偏光スプリッタであって、該第１の偏光スプリッタにおいて、該第１の混合された反射偏光光信号構成要素は、該第１の入射光信号の入射平面に対してＰ偏光光及びＳ偏光光を共に具備しており、該第２の混合された反射偏光光信号構成要素は、該第１の入射光信号の入射平面に対してＰ偏光光及びＳ偏光光を共に具備する、第１の偏光スプリッタと、
   該第１の混合された反射偏光光信号構成要素の第１の強度を検知するための第１の検知器と、
   該第２の混合された反射偏光光信号構成要素の第２の強度を検知するための第２の検知器と、
   該第１と第２の強度に基づいて、該第１と第２の混合された反射偏光光信号構成要素間の第１の位相差を決定するための第１の位相決定器と、
   第１の入射平面とは異なる第２の入射平面において、該第１の対象の第２の面に向かって第２の入射光信号を伝送するための第２の光源と、
   第３の位相を有する第３の混合された反射偏光光信号構成要素及び該第３の位相とは異なる第４の位相を有する第４の混合された反射偏光光信号構成要素を、該第２の面で反射された第２の反射光信号から分離するための第２の偏光スプリッタであって、該第２の偏光スプリッタにおいて、該第３の混合された反射偏光光信号構成要素は、前記第２の入射光信号の入射平面に対してＰ偏光光及びＳ偏光光を共に具備しており、前記第４の混合された反射偏光光信号構成要素は、前記第２の入射光信号の入射平面に対してＰ偏光光及びＳ偏光光を共に具備する、第２の偏光スプリッタと、
   該第３の混合された反射偏光光信号構成要素の第３の強度を検知するための第３の検知器と、
   該第４の混合された反射偏光光信号構成要素の第４の強度を検知するための第４の検知器と、更に
   該第３と第４の強度に基づいて、該第３と第４の混合された反射偏光光信号構成要素間の第２の位相差を決定するための第２の位相決定器と、
   を具備する装置。
2. 該第１の対象が、磁気ディスク又はシリコンウエファーのいずれか一方である請求項１に記載の装置。
3. 該第１の対象が透明なガラス基板である請求項１に記載の装置。
4. 該第１の位相差に基づいて、該第１の面上の潤滑剤の厚みを決定するための第１の厚み決定器を更に具備する請求項１に記載の装置。
5. 該第２の位相差に基づいて、該第２の面上の潤滑剤の厚みを決定するための第２の厚み決定器を更に具備する請求項４に記載の装置。
6. 該第１の位相差に基づいて、該第１の面上のカーボン層の厚みを決定するための第１のカーボン厚み決定器を更に具備する請求項１に記載の装置。
7. 該第２の位相差に基づいて、該第２の面のカーボン層の厚みを決定するための第２のカーボン厚み決定器を更に具備する請求項６に記載の装置。
8. 該第１の位相差に基づいて、該第１の面の磁気特性を決定するための第１の磁気識別器を更に具備する請求項１に記載の装置。
9. 該第２の位相差に基づいて、該第２の面の磁気特性を決定するための第２の磁気識別器を更に具備する請求項８に記載の装置。
10. 該第１の位相差に基づいて、該第１の面の磁気光カー効果を計測するための第１のカー効果決定器を更に具備する請求項１に記載の装置。
11. 該第１と第２の強度に基づいて、前記第１の面上の第１の位置に第１の欠陥が存在するかどうかを決定するための第１の欠陥決定器を更に具備する請求項１に記載の装置。
12. ２つの光信号の各々の位相のずれを計測するための方法において、この方法が、
    第１の入射平面において第１の対象の第１の面に向かって第１の入射光信号を伝送する手順と
    第１の位相を有する第１の混合された反射偏光光信号構成要素及び該第１の位相とは異なる第２の位相を有する第２の混合された反射偏光光信号構成要素を、該第１の面で反射された第１の反射光信号から分離する手順であって、この手順において、前記第１の混合された反射偏光光信号構成要素は、該第１の入射光信号の入射平面に対してＰ偏光光及びＳ偏光光を共に具備しており、前記第２の混合された反射偏光光信号構成要素は、該第１の入射光信号の入射平面に対してＰ偏光光及びＳ偏光光を共に具備する、分離する手順と、
    該第１の混合された反射偏光光信号構成要素の第１の強度を検知する手順と、
    該第２の混合された反射偏光光信号構成要素の第２の強度を検知する手順と、
    該第１と第２の強度に基づいて、該第１と第２の混合された反射偏光光信号構成要素間の第１の位相差を決定する手順と、
    前記第１の入射平面とは異なる第２の入射平面において、該第１の対象の第２の面に向かって第２の入射光信号を伝送する手順と、
    第３の位相を有する第３の混合された反射偏光光信号構成要素及び該第３の位相とは異なる第４の位相を有する第４の混合された反射偏光光信号構成要素を、該第２の面で反射された第２の反射光信号から分離する手順であって、この手順において、前記第３の混合された反射偏光光信号構成要素は、前記第２の入射光信号の入射平面に対してＰ偏光光及びＳ偏光光を共に具備しており、前記第４の混合された反射偏光光信号構成要素は、前記第２の入射光信号の入射平面に対してＰ偏光光及びＳ偏光光を共に具備する、分離する手順と、
    該第３の混合された反射偏光光信号構成要素の第３の強度を検知する手順と、
    該第４の混合された反射偏光光信号構成要素の第４の強度を検知する手順と、更に
    該第３と第４の強度に基づいて、該第３と第４の混合された反射偏光光信号構成要素間の第２の位相差を決定する手順と、
    を具備する方法。
13. 前記第１の入射平面と前記第２の入射平面はお互いに実質的に垂直である請求項１２に記載の方法。
14. 該第１の対象が、磁気ディスク又はシリコンウエファーのいずれか一方である請求項１２に記載の方法。
15. 該第１の対象が透明なガラス基板である請求項１２に記載の方法。
16. 該第１の対象の前記第１の面の第１の位相ずれイメージを生成する手順と、
    該第１の対象の前記第１の面の第２の位相ずれイメージを生成する手順と、更に
    前記第１の位相ずれイメージと前記第２の位相ずれイメージを共に加えて、該第１の対象の前記第１の面上の模様により生成された信号を減少させる手順と、
    を更に具備する請求項１２に記載の方法。
17. 該第１の対象の前記第１の面の第１の位相ずれイメージを生成する手順と、
    該第１の対象の前記第１の面の第２の位相ずれイメージを生成する手順と、更に
    前記第１の位相ずれイメージを前記第２の位相ずれイメージから差し引いて、該第１の対象の前記第１の面上の模様により生成された信号を減少させる手順と、
    を更に具備する請求項１２に記載の方法。
18. 該第１の対象の第２の面で反射した光信号を遮断して、該第１の対象の前記第２の面で反射された該光信号の検知を阻止する手順を更に具備する請求項１２に記載の方法。