JP2002361563A - ガラス基板加工用ダイヤモンドホイール及びガラス基板の加工法 - Google Patents
ガラス基板加工用ダイヤモンドホイール及びガラス基板の加工法Info
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- JP2002361563A JP2002361563A JP2001171028A JP2001171028A JP2002361563A JP 2002361563 A JP2002361563 A JP 2002361563A JP 2001171028 A JP2001171028 A JP 2001171028A JP 2001171028 A JP2001171028 A JP 2001171028A JP 2002361563 A JP2002361563 A JP 2002361563A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】電着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイ
ヤモンドホイールを締結した一体のダイヤモンドホイー
ルにより、ガラス基板の内外周端縁加工を高能率に行
い、しかもチッピングの少ない高品位の表面性状を得
る。 【解決手段】粗加工用の複数の溝からなる電着ダイヤモ
ンドホイール２の作用面４と、仕上加工用の複数の溝か
らなるメタルボンドダイヤモンドホイール３の作用面５
の同軸度公差を１０μｍ以内とする。
ヤモンドホイールを締結した一体のダイヤモンドホイー
ルにより、ガラス基板の内外周端縁加工を高能率に行
い、しかもチッピングの少ない高品位の表面性状を得
る。 【解決手段】粗加工用の複数の溝からなる電着ダイヤモ
ンドホイール２の作用面４と、仕上加工用の複数の溝か
らなるメタルボンドダイヤモンドホイール３の作用面５
の同軸度公差を１０μｍ以内とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク用
ガラス基板の内外周端縁加工用ダイヤモンドホイール及
びガラス基板の加工方法に関するものであり、その中で
も特に、コンピュータのハードディスク用ガラス基板の
内外周端縁加工に用いるダイヤモンドホイール及びガラ
ス基板の加工法に関するものである。
ガラス基板の内外周端縁加工用ダイヤモンドホイール及
びガラス基板の加工方法に関するものであり、その中で
も特に、コンピュータのハードディスク用ガラス基板の
内外周端縁加工に用いるダイヤモンドホイール及びガラ
ス基板の加工法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスク用基板材料として、金属
材料としてはアルミニウム合金、非金属材料としては、
ガラス、セラミックス等が用いられている。最近では、
ハードディスクの高速回転化、高記録密度化、省電力化
等を目的として、基板材料に高ヤング率、高耐熱性、低
熱膨張率、低比重等の諸特性が求められるようになっ
た。上記の基板材料のなかでも、ガラス基板はアルミニ
ウム基板よりも上記の諸特性が優れており、将来、ガラ
ス基板の需要が増大するものと考えられている。ガラス
基板の加工工程について説明すると、ガラス基板の両面
を粗加工するラッピング工程、内外周端縁を研削加工し
て高精度な面取りを行うチャンファリング工程、表面を
仕上げ研削するポリシング工程からなる。内外周端縁を
研削加工するには、粗工程及び仕上げ工程が必要になる
が、両方の工程に電着ダイヤモンドホイールが用いられ
ていた。
材料としてはアルミニウム合金、非金属材料としては、
ガラス、セラミックス等が用いられている。最近では、
ハードディスクの高速回転化、高記録密度化、省電力化
等を目的として、基板材料に高ヤング率、高耐熱性、低
熱膨張率、低比重等の諸特性が求められるようになっ
た。上記の基板材料のなかでも、ガラス基板はアルミニ
ウム基板よりも上記の諸特性が優れており、将来、ガラ
ス基板の需要が増大するものと考えられている。ガラス
基板の加工工程について説明すると、ガラス基板の両面
を粗加工するラッピング工程、内外周端縁を研削加工し
て高精度な面取りを行うチャンファリング工程、表面を
仕上げ研削するポリシング工程からなる。内外周端縁を
研削加工するには、粗工程及び仕上げ工程が必要になる
が、両方の工程に電着ダイヤモンドホイールが用いられ
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】内外周端縁加を行うの
に、粗加工と仕上げ加工が必要であり、これらの加工を
別々の研削盤で行う場合もあるが、生産能率を考慮して
同一の研削盤で粗加工と仕上げ加工が行われる場合が多
くなってきている。これを実現するために、電着ダイヤ
モンドホイールと、メタルボンドダイヤモンドホイール
を組み合わせて一体とし、同一の研削盤で粗加工と仕上
げ加工を行うことが試みられている。しかしながら、電
着ダイヤモンドホイールと、メタルボンドダイヤモンド
ホイールを組み合わせて一体とした場合、主として、電
着ダイヤモンドホイールの作用面の振れ精度が原因でガ
ラス基板のコーナー部に大きなチッピングが発生し、こ
れが仕上げ加工のメタルボンドダイヤモンドホイールで
取りきれない問題が発生していた。また、同じ原因で電
着ダイヤモンドホイールの寿命が短縮される問題も発生
していた。
に、粗加工と仕上げ加工が必要であり、これらの加工を
別々の研削盤で行う場合もあるが、生産能率を考慮して
同一の研削盤で粗加工と仕上げ加工が行われる場合が多
くなってきている。これを実現するために、電着ダイヤ
モンドホイールと、メタルボンドダイヤモンドホイール
を組み合わせて一体とし、同一の研削盤で粗加工と仕上
げ加工を行うことが試みられている。しかしながら、電
着ダイヤモンドホイールと、メタルボンドダイヤモンド
ホイールを組み合わせて一体とした場合、主として、電
着ダイヤモンドホイールの作用面の振れ精度が原因でガ
ラス基板のコーナー部に大きなチッピングが発生し、こ
れが仕上げ加工のメタルボンドダイヤモンドホイールで
取りきれない問題が発生していた。また、同じ原因で電
着ダイヤモンドホイールの寿命が短縮される問題も発生
していた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の問題点
を解決するためになされたものであり、ガラス基板の内
外周端縁加工あって、粗加工用の複数の溝からなる電着
ダイヤモンドホイールと、仕上げ加工用の複数の溝から
なるメタルボンドダイヤモンドホイールから構成され、
電着ダイヤモンドホイールの作用面と、メタルボンドダ
イヤモンドホイールの作用面の同軸度公差が、１０μｍ
以内であることを特徴とするものである。電着ダイヤモ
ンドホイールを基準として、これにメタルボンドダイヤ
モンドホイールを取り付け、両者の同軸度公差を１０μ
ｍ以内とすることにより、チッピングの発生が極めて少
なく、高精度かつ高能率なガラス基板の内外周端縁加工
を可能にすることを見いだしたものである。なお、両者
の同軸度公差は８μｍ以内であることがより好ましい。
を解決するためになされたものであり、ガラス基板の内
外周端縁加工あって、粗加工用の複数の溝からなる電着
ダイヤモンドホイールと、仕上げ加工用の複数の溝から
なるメタルボンドダイヤモンドホイールから構成され、
電着ダイヤモンドホイールの作用面と、メタルボンドダ
イヤモンドホイールの作用面の同軸度公差が、１０μｍ
以内であることを特徴とするものである。電着ダイヤモ
ンドホイールを基準として、これにメタルボンドダイヤ
モンドホイールを取り付け、両者の同軸度公差を１０μ
ｍ以内とすることにより、チッピングの発生が極めて少
なく、高精度かつ高能率なガラス基板の内外周端縁加工
を可能にすることを見いだしたものである。なお、両者
の同軸度公差は８μｍ以内であることがより好ましい。
【０００５】そして、電着ダイヤモンドホイールには、
振れ出し基準面が設けてあることを特徴とするものであ
る。振れ出し基準面を設けるには、ホイールの台金を加
工する際に、ダイヤモンド砥粒を固着する面と、振れ出
し基準面を同時に加工する。振れ出し基準面は、回転軸
に対して平行な面と、回転軸に対して垂直な面を設ける
のが一般的である。
振れ出し基準面が設けてあることを特徴とするものであ
る。振れ出し基準面を設けるには、ホイールの台金を加
工する際に、ダイヤモンド砥粒を固着する面と、振れ出
し基準面を同時に加工する。振れ出し基準面は、回転軸
に対して平行な面と、回転軸に対して垂直な面を設ける
のが一般的である。
【０００６】そして、電着ダイヤモンドホイールとメタ
ルボンドダイヤモンドホイールは、機械的に締結され、
それぞれのホイールの取り替えが可能な構造であること
を特徴とするものである。ホイールの取り付け構造につ
いては、電着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイ
ヤモンドホイールを別々に研削盤に取り付ける方法もあ
るが、所望の同軸度公差を満足するのに大変な時間と手
間を必要とする。これを解決するために、両者を機械的
に締結して一体とし、取り付けに必要な時間を短縮する
ことができる。具体的には両者に勘合部を設けて、ボル
ト等により締結することができる。
ルボンドダイヤモンドホイールは、機械的に締結され、
それぞれのホイールの取り替えが可能な構造であること
を特徴とするものである。ホイールの取り付け構造につ
いては、電着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイ
ヤモンドホイールを別々に研削盤に取り付ける方法もあ
るが、所望の同軸度公差を満足するのに大変な時間と手
間を必要とする。これを解決するために、両者を機械的
に締結して一体とし、取り付けに必要な時間を短縮する
ことができる。具体的には両者に勘合部を設けて、ボル
ト等により締結することができる。
【０００７】さらに、電着ダイヤモンドホイールのダイ
ヤモンド砥粒の粒径は、４０〜１２０μｍであることを
特徴とするものである。ダイヤモンド砥石の粒度を限定
した理由を説明すると、特にハードディスク用ガラス基
板の内外周端縁の粗加工を行うのに、最適なダイヤモン
ド砥粒の粒度範囲を限定したものである。４０μｍより
細かくなると、切れ味が低下して十分な加工能率が得ら
れず、１２０μｍを超えるとチッピングが大きくなるた
めである。
ヤモンド砥粒の粒径は、４０〜１２０μｍであることを
特徴とするものである。ダイヤモンド砥石の粒度を限定
した理由を説明すると、特にハードディスク用ガラス基
板の内外周端縁の粗加工を行うのに、最適なダイヤモン
ド砥粒の粒度範囲を限定したものである。４０μｍより
細かくなると、切れ味が低下して十分な加工能率が得ら
れず、１２０μｍを超えるとチッピングが大きくなるた
めである。
【０００８】さらに詳しくは、メタルボンドダイヤモン
ドホイールのダイヤモンド砥粒の粒径は、２０〜８０μ
ｍであることを特徴とするものである。ダイヤモンド砥
粒の粒度を限定した理由は、仕上げ研削に要求される表
面粗さを満足する粒度範囲を限定したもので、２０μｍ
より細かくなると切れ味低下によって十分な加工能率が
得られず、８０μｍを超えるとチッピングが大きくなる
ためである。
ドホイールのダイヤモンド砥粒の粒径は、２０〜８０μ
ｍであることを特徴とするものである。ダイヤモンド砥
粒の粒度を限定した理由は、仕上げ研削に要求される表
面粗さを満足する粒度範囲を限定したもので、２０μｍ
より細かくなると切れ味低下によって十分な加工能率が
得られず、８０μｍを超えるとチッピングが大きくなる
ためである。
【０００９】そして、請求項１から５のいずれかのダイ
ヤモンドホイールを用いて、ガラス基板の内外周端縁を
加工する方法であって、電着ダイヤモンドホイールによ
って粗加工を行う第一ステップと、メタルボンドダイヤ
モンドホイールによって仕上げ加工を行う第二ステップ
からなることを特徴とするガラス基板の内外周端縁加工
法を提供するものである。
ヤモンドホイールを用いて、ガラス基板の内外周端縁を
加工する方法であって、電着ダイヤモンドホイールによ
って粗加工を行う第一ステップと、メタルボンドダイヤ
モンドホイールによって仕上げ加工を行う第二ステップ
からなることを特徴とするガラス基板の内外周端縁加工
法を提供するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】発明実施の形態については、実施
例の項で詳細に説明する。
例の項で詳細に説明する。
【００１１】
【実施例】（実施例１）まず、粗加工用の電着ダイヤモ
ンドホイールの台金を製作する。台金のダイヤモンド砥
粒固着面と、研削盤に取り付けた際に、振れ出しに利用
する基準面を同時に加工した。それからダイヤモンド砥
粒、＃２７０（平均粒径５４μｍ）をニッケルめっきで
固着して電着ダイヤモンドホイールを製作した。外径は
１５０ｍｍ、溝は３カ所に設けられ、溝の深さは０．５
ｍｍ、溝の開き角度は９０度、溝の間口は１．７ｍｍで
ある。次に、ダイヤモンド砥粒、＃６００（平均粒径３
０μｍ）のメタルボンドダイヤモンドホイールを以下の
手順で製作した。結合材として、Ｃｕ−Ｓｎ系のメタル
ボンドを用い、これにダイヤモンド砥粒を体積比率で、
結合材：ダイヤモンド砥粒＝７５：２５になるように均
一に混合した。この混合物を金型に充填して、金型を焼
結炉に入れ、約７００℃にてホットプレスして焼結し
た。冷却後、焼結炉から取り出し、台金を所定の形状に
加工してメタルボンドダイヤモンドホイールを製作し
た。次に、メタルボンドダイヤモンドホイールの溝を以
下の手順で仕上げた。まず、電着ダイヤモンドホイール
の振れ出し基準面が３μｍ以内になるように溝仕上用研
削盤に取り付けた。その後、電着ダイヤモンドホイール
にメタルボンドダイヤモンドホイールを取り付けボルト
で一体とし、メタルボンドダイヤモンドホイールの溝を
仕上げ、本発明の実施例１のダイヤモンドホイールを製
作した。メタルボンドダイヤモンドホイールの溝は３カ
所、溝の深さは０．５ｍｍ、溝の開き角度は９０度、溝
の間口は１．７ｍｍであった。完成後の電着ダイヤモン
ドホイールとメタルボンドダイヤモンドホイールの作用
面の同軸度公差は５μｍであった。
ンドホイールの台金を製作する。台金のダイヤモンド砥
粒固着面と、研削盤に取り付けた際に、振れ出しに利用
する基準面を同時に加工した。それからダイヤモンド砥
粒、＃２７０（平均粒径５４μｍ）をニッケルめっきで
固着して電着ダイヤモンドホイールを製作した。外径は
１５０ｍｍ、溝は３カ所に設けられ、溝の深さは０．５
ｍｍ、溝の開き角度は９０度、溝の間口は１．７ｍｍで
ある。次に、ダイヤモンド砥粒、＃６００（平均粒径３
０μｍ）のメタルボンドダイヤモンドホイールを以下の
手順で製作した。結合材として、Ｃｕ−Ｓｎ系のメタル
ボンドを用い、これにダイヤモンド砥粒を体積比率で、
結合材：ダイヤモンド砥粒＝７５：２５になるように均
一に混合した。この混合物を金型に充填して、金型を焼
結炉に入れ、約７００℃にてホットプレスして焼結し
た。冷却後、焼結炉から取り出し、台金を所定の形状に
加工してメタルボンドダイヤモンドホイールを製作し
た。次に、メタルボンドダイヤモンドホイールの溝を以
下の手順で仕上げた。まず、電着ダイヤモンドホイール
の振れ出し基準面が３μｍ以内になるように溝仕上用研
削盤に取り付けた。その後、電着ダイヤモンドホイール
にメタルボンドダイヤモンドホイールを取り付けボルト
で一体とし、メタルボンドダイヤモンドホイールの溝を
仕上げ、本発明の実施例１のダイヤモンドホイールを製
作した。メタルボンドダイヤモンドホイールの溝は３カ
所、溝の深さは０．５ｍｍ、溝の開き角度は９０度、溝
の間口は１．７ｍｍであった。完成後の電着ダイヤモン
ドホイールとメタルボンドダイヤモンドホイールの作用
面の同軸度公差は５μｍであった。
【００１２】（実施例２）実施例１と同様な手順で製作
した。台金のダイヤモンド砥粒固着面と、研削盤に取り
付けた際に、振れ出しに利用する基準面を同時に加工し
た。それからダイヤモンド砥粒、＃２７０（平均粒径５
４μｍ）をニッケルめっきで固着して電着ダイヤモンド
ホイールを製作した。次に、ダイヤモンド砥粒、＃６０
０（平均粒径３０μｍ）のメタルボンドダイヤモンドホ
イールを以下の手順で製作した。結合材として、Ｃｕ−
Ｓｎ系のメタルボンドを用い、これにダイヤモンド砥粒
を体積比率で、結合材：ダイヤモンド砥粒＝７５：２５
になるように均一に混合した。この混合物を金型に充填
して、金型を焼結炉に入れ、約７００℃にてホットプレ
スして焼結した。冷却後、焼結炉から取り出し、台金を
所定の形状に加工してメタルボンドダイヤモンドホイー
ルを製作した。次に、メタルボンドダイヤモンドホイー
ルの溝を以下の手順で仕上げた。まず、電着ダイヤモン
ドホイールの振れ出し基準面が３μｍ以内になるように
溝仕上用研削盤に取り付けた。その後、電着ダイヤモン
ドホイールにメタルボンドダイヤモンドホイールを取り
付けボルトで一体とし、メタルボンドダイヤモンドホイ
ールの溝を仕上げ、本発明の実施例２のダイヤモンドホ
イールを製作した。溝の形状については実施例１とすべ
て同一寸法とした。完成後の電着ダイヤモンドホイール
とメタルボンドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度
公差は８μｍであった。
した。台金のダイヤモンド砥粒固着面と、研削盤に取り
付けた際に、振れ出しに利用する基準面を同時に加工し
た。それからダイヤモンド砥粒、＃２７０（平均粒径５
４μｍ）をニッケルめっきで固着して電着ダイヤモンド
ホイールを製作した。次に、ダイヤモンド砥粒、＃６０
０（平均粒径３０μｍ）のメタルボンドダイヤモンドホ
イールを以下の手順で製作した。結合材として、Ｃｕ−
Ｓｎ系のメタルボンドを用い、これにダイヤモンド砥粒
を体積比率で、結合材：ダイヤモンド砥粒＝７５：２５
になるように均一に混合した。この混合物を金型に充填
して、金型を焼結炉に入れ、約７００℃にてホットプレ
スして焼結した。冷却後、焼結炉から取り出し、台金を
所定の形状に加工してメタルボンドダイヤモンドホイー
ルを製作した。次に、メタルボンドダイヤモンドホイー
ルの溝を以下の手順で仕上げた。まず、電着ダイヤモン
ドホイールの振れ出し基準面が３μｍ以内になるように
溝仕上用研削盤に取り付けた。その後、電着ダイヤモン
ドホイールにメタルボンドダイヤモンドホイールを取り
付けボルトで一体とし、メタルボンドダイヤモンドホイ
ールの溝を仕上げ、本発明の実施例２のダイヤモンドホ
イールを製作した。溝の形状については実施例１とすべ
て同一寸法とした。完成後の電着ダイヤモンドホイール
とメタルボンドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度
公差は８μｍであった。
【００１３】（実施例３）上記の実施例１、２と同様に
して、電着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイヤ
モンドホイールを製作した。電着ダイヤモンドホイール
にメタルボンドダイヤモンドホイールを取り付けボルト
で一体とし、メタルボンドダイヤモンドホイールの溝を
仕上げ、本発明の実施例３のダイヤモンドホイールを製
作した。溝の形状については実施例１とすべて同一寸法
とした。完成後の電着ダイヤモンドホイールとメタルボ
ンドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差は１０
μｍであった。
して、電着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイヤ
モンドホイールを製作した。電着ダイヤモンドホイール
にメタルボンドダイヤモンドホイールを取り付けボルト
で一体とし、メタルボンドダイヤモンドホイールの溝を
仕上げ、本発明の実施例３のダイヤモンドホイールを製
作した。溝の形状については実施例１とすべて同一寸法
とした。完成後の電着ダイヤモンドホイールとメタルボ
ンドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差は１０
μｍであった。
【００１４】（比較例１）実施例１、２及び３と同様な
手順で電着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイヤ
モンドホイールを製作した。次に、両者をボルトにより
締結して一体とし、溝仕上研削盤に取り付け、メタルボ
ンドダイヤモンドホイールの溝を仕上げた。完成後の電
着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイヤモンドホ
イールの作用面の同軸度公差は１４μｍであった。
手順で電着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイヤ
モンドホイールを製作した。次に、両者をボルトにより
締結して一体とし、溝仕上研削盤に取り付け、メタルボ
ンドダイヤモンドホイールの溝を仕上げた。完成後の電
着ダイヤモンドホイールとメタルボンドダイヤモンドホ
イールの作用面の同軸度公差は１４μｍであった。
【００１５】（比較例２）比較例１と同様な手順で製作
した。完成後の電着ダイヤモンドホイールとメタルボン
ドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差は１９μ
ｍであった。
した。完成後の電着ダイヤモンドホイールとメタルボン
ドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差は１９μ
ｍであった。
【００１６】（比較例３）比較例１と同様な手順で製作
した。完成後の電着ダイヤモンドホイールとメタルボン
ドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差は２６μ
ｍであった。
した。完成後の電着ダイヤモンドホイールとメタルボン
ドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差は２６μ
ｍであった。
【００１７】（比較例４）比較例１と同様な手順で製作
した。完成後の電着ダイヤモンドホイールとメタルボン
ドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差は３２μ
ｍであった。
した。完成後の電着ダイヤモンドホイールとメタルボン
ドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差は３２μ
ｍであった。
【００１８】本発明の効果を確認するために、研削テス
トを行った。実施例１〜３、および比較例１〜４を交互
に、ガラス基板の研削機に取り付けて、サイズが、外径
約３．５インチ、厚み１．１ｍｍのガラス基板の外周端
縁を研削加工し、実施例と比較例の加工結果の比較検討
した。その結果を図９に示す。同軸度交差を１０μｍ以
内にすることにより、ガラス基板のチッピングを極めて
小さくすることができることがわかる。また、その際の
研削テスト条件を表１に示す。
トを行った。実施例１〜３、および比較例１〜４を交互
に、ガラス基板の研削機に取り付けて、サイズが、外径
約３．５インチ、厚み１．１ｍｍのガラス基板の外周端
縁を研削加工し、実施例と比較例の加工結果の比較検討
した。その結果を図９に示す。同軸度交差を１０μｍ以
内にすることにより、ガラス基板のチッピングを極めて
小さくすることができることがわかる。また、その際の
研削テスト条件を表１に示す。
【００１９】
【表１】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、ガラス基
板の内外周端縁加工に用いるダイヤモンドホイールにお
いて、粗加工用の複数の溝からなる電着ダイヤモンドホ
イールの作用面と、仕上加工用の複数の溝からなるメタ
ルボンドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差を
１０μｍ以内とすることによって、チッピングが極めて
小さく、良好な表面性状のガラス基板を得ることができ
る。
板の内外周端縁加工に用いるダイヤモンドホイールにお
いて、粗加工用の複数の溝からなる電着ダイヤモンドホ
イールの作用面と、仕上加工用の複数の溝からなるメタ
ルボンドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差を
１０μｍ以内とすることによって、チッピングが極めて
小さく、良好な表面性状のガラス基板を得ることができ
る。
【図１】実施例１のダイヤモンドホイールを示す。
【図２】実施例１のダイヤモンドホイールの作用面の部
分断面図を示す。
分断面図を示す。
【図３】実施例１の電着ダイヤモンドホイールを示す。
【図４】実施例１のメタルボンドダイヤモンドホイール
を示す。
を示す。
【図５】他の実施例のダイヤモンドホイールを示す。
【図６】他の実施例のダイヤモンドホイールの作用面の
部分断面図を示す。
部分断面図を示す。
【図７】他の実施例の電着ダイヤモンドホイールを示
す。
す。
【図８】他の実施例のメタルボンドダイヤモンドホイー
ルを示す。
ルを示す。
【図９】研削テストの結果を示すグラフである。
１ 外周端縁加工用ダイヤモンドホイール ２ 電着ダイヤモンドホイール ３ メタルボンドダイヤモンドホイール ４ 電着ダイヤモンドホイールの作用面 ５ メタルボンドダイヤモンドホイールの作用面 ６ 振れ出し基準面 ７ 内周端縁加工用ダイヤモンドホイール Ｈ 溝深さ Ｗ 溝の間口 θ 溝の角度
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２４Ｄ 5/02 Ｂ２４Ｄ 5/02 Ｂ Ｃ０３Ｂ 33/10 Ｃ０３Ｂ 33/10
Claims (6)
- 【請求項１】ガラス基板の内外周端縁加工に用いるダイ
ヤモンドホイールであって、 粗加工用の複数の溝からなる電着ダイヤモンドホイール
と、 仕上げ加工用の複数の溝からなるメタルボンドダイヤモ
ンドホイールから構成され、 上記電着ダイヤモンドホイールの作用面と、上記メタル
ボンドダイヤモンドホイールの作用面の同軸度公差が、
１０μｍ以内であることを特徴とするダイヤモンドホイ
ール。 - 【請求項２】上記電着ダイヤモンドホイールには、振れ
出し基準面が設けてあることを特徴とする請求項１記載
のダイヤモンドホイール。 - 【請求項３】上記電着ダイヤモンドホイールと上記メタ
ルボンドダイヤモンドホイールは機械的に締結され、そ
れぞれのホイールの取り替えが可能な構造であることを
特徴とする請求項１または２記載のダイヤモンドホイー
ル。 - 【請求項４】上記電着ダイヤモンドホイールのダイヤモ
ンド砥粒の粒径は、４０〜１２０μｍであることを特徴
とする請求項１から３のいずれかに記載のダイヤモンド
ホイール。 - 【請求項５】上記メタルボンドダイヤモンドホイールの
ダイヤモンド砥粒の粒径は、２０〜８０μｍであること
を特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のダイヤ
モンドホイール。 - 【請求項６】請求項１から５のいずれかのダイヤモンド
ホイールを用いて、ガラス基板の内外周端縁を加工する
方法であって、 電着ダイヤモンドホイールによって粗加工を行う第一ス
テップと、 メタルボンドダイヤモンドホイールによって仕上げ加工
を行う第二ステップからなることを特徴とするガラス基
板の内外周端縁加工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001171028A JP2002361563A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | ガラス基板加工用ダイヤモンドホイール及びガラス基板の加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001171028A JP2002361563A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | ガラス基板加工用ダイヤモンドホイール及びガラス基板の加工法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002361563A true JP2002361563A (ja) | 2002-12-18 |
Family
ID=19012863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001171028A Pending JP2002361563A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | ガラス基板加工用ダイヤモンドホイール及びガラス基板の加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002361563A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015127079A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 旭硝子株式会社 | 砥石、研削装置、研削方法及びガラス基板の製造方法 |
| CN109848877A (zh) * | 2017-11-30 | 2019-06-07 | 张家界航空工业职业技术学院 | 一种带铁质底的瓷砖磨具的加工工艺 |
Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
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