JP2015127079A - 砥石、研削装置、研削方法及びガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る研削装置100の概略構成を例示する図である。
次に、外周砥石50の研削面51について説明する。図2は、実施形態に係る外周砥石50の研削面51の概略構成を例示する断面図である。
次に、実施形態に係る研削装置100における研削方法1〜3について、図面に基づいて説明する。なお、以下では、外周砥石50の回転軸Rに直交する方向をX方向、回転軸Rに平行な回転軸方向をY方向、Y方向において研削面51の第1面取り部53側を上方、第2面取り部57側を下方として説明する。
図3は、実施形態に係る研削装置100における研削方法1を例示する図である。
図4は、実施形態に係る研削装置100における研削方法2を例示する図である。
図5は、実施形態に係る研削装置100における研削方法3を例示する図である。
次に、上記した研削装置100を用いた研削方法により、ガラス基板10を研削して面取りする面取り工程を有するガラス基板の製造方法について説明する。
(工程1)ガラス素基板から、中心孔を有する円盤状のガラス基板に加工する加工工程
(工程2)内周面及び外周面を面取り加工する面取り工程
(工程3)ガラス基板の端面(内周端面及び外周端面)を研磨する端面研磨工程
(工程4)ガラス基板の主表面を研磨する主表面研磨工程
(工程5)ガラス基板を精密洗浄して乾燥する洗浄工程
また、上記各工程により得られるガラス基板10は、例えばその上に磁性層等の薄膜を形成する薄膜形成工程等を経て、磁気ディスク(磁気記録媒体)となる。
10a 第1主表面
10b 第2主表面
11a 第1面
11b 側面
11c 第2面
20 テーブル
30 ノズル
40 内周砥石
50 外周砥石
51 研削面
53 第1面取り部
51 側面研削部
57 第2面取り部
100 研削装置
Claims (8)
- 第1主表面、第2主表面及び端面を有するガラス基板の主表面に略垂直な回転軸を中心に回転し、前記端面を研削する砥石であって、
前記端面において、
側面を形成する側面研削部と、
前記第1主表面と前記側面との間に第1面を形成する第1面取り部と、
前記第2主表面と前記側面との間に第2面を形成する第2面取り部と、
を設けた研削面を有し、
前記側面研削部は、前記回転軸に略平行な面であり、前記回転軸に平行な方向の長さが、前記ガラス基板の板厚よりも長い
ことを特徴とする砥石。 - 前記側面研削部は、前記回転軸に平行な方向の長さが、前記ガラス基板の厚さの1.2倍以下であることを特徴とする請求項1に記載の砥石。
- 前記研削面の砥粒は、#270以上#500以下である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の砥石。 - 請求項1から3の何れか一項に記載の砥石を有する研削装置。
- 請求項1から3の何れか一項に記載の砥石を用いて、前記端面を研削して面取りする研削方法であって、
前記砥石が前記回転軸に直交する方向に移動し、前記側面研削部が前記ガラス基板の前記側面を形成する側面研削工程と、
前記砥石が前記回転軸に平行する方向に移動し、前記第1面取り部が前記ガラス基板の前記第1面を形成する第1面取り工程と、
前記砥石が前記回転軸に平行する方向に移動し、前記第2面取り部が前記ガラス基板の前記第2面を形成する第2面取り工程とを有する
ことを特徴とする研削方法。 - 前記砥石が、前記回転軸に直交する方向に移動しながら、前記回転軸に平行する方向に移動し、
前記側面研削工程と、前記第1面取り工程又は前記第2面取り工程とが同時に行われる
ことを特徴とする請求項5に記載の研削方法。 - 前記側面研削工程が完了した後に、前記第1面取り工程及び前記第2面取り工程が行われることを特徴とする請求項5に記載の研削方法。
- 請求項5から7の何れか一項に記載の研削方法を用いて、前記端面を研削して面取りする面取り工程を有する
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
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JP2013273333A JP2015127079A (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 砥石、研削装置、研削方法及びガラス基板の製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110465699A (zh) * | 2018-05-10 | 2019-11-19 | 三星显示有限公司 | 倒角加工用轮及具有该倒角加工用轮的倒角加工装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000317789A (ja) * | 1999-05-12 | 2000-11-21 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り方法及び装置 |
JP2002361563A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-18 | Allied Material Corp | ガラス基板加工用ダイヤモンドホイール及びガラス基板の加工法 |
JP2004344996A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Daishinku Corp | 光学フィルタの製造方法、および当該製造方法による光学フィルタ |
-
2013
- 2013-12-27 JP JP2013273333A patent/JP2015127079A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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