JP2002355965A - 圧電アクチュエータおよび液滴噴射装置並びにそれらの製造方法 - Google Patents
圧電アクチュエータおよび液滴噴射装置並びにそれらの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 分極工程が煩雑とならず、しかも性能面での
悪影響を与えることがない圧電アクチュエータおよび液
滴噴射装置並びにそれらの製造方法を提供する。 【解決手段】 圧電材料板１が複数の液室５について共
通に用いられ、圧電材料板１の変形を利用して複数の液
室５のそれぞれの容積を変化させることにより液室５内
の液体を噴射する液滴噴射装置において、圧電材料板１
の内部には各液室５の中央に対応して内部電極１２ａ、
各液室５の両側に対応して内部電極１１ａが設けられて
いる。内部電極１１ａどうし、内部電極１２ａどうしは
引出線で相互に接続され、すべての内部電極１１ａと内
部電極１２ａとの間に同時に分極用の電圧が印加され、
分極処理が行われる。圧電材料板１に溝を形成して引出
線を切除することによって、各内部電極１１ａ，１２ａ
を分離する。
悪影響を与えることがない圧電アクチュエータおよび液
滴噴射装置並びにそれらの製造方法を提供する。 【解決手段】 圧電材料板１が複数の液室５について共
通に用いられ、圧電材料板１の変形を利用して複数の液
室５のそれぞれの容積を変化させることにより液室５内
の液体を噴射する液滴噴射装置において、圧電材料板１
の内部には各液室５の中央に対応して内部電極１２ａ、
各液室５の両側に対応して内部電極１１ａが設けられて
いる。内部電極１１ａどうし、内部電極１２ａどうしは
引出線で相互に接続され、すべての内部電極１１ａと内
部電極１２ａとの間に同時に分極用の電圧が印加され、
分極処理が行われる。圧電材料板１に溝を形成して引出
線を切除することによって、各内部電極１１ａ，１２ａ
を分離する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電アクチュエー
タおよびその圧電アクチュエータを用いた液滴噴射装置
並びにそれらの製造方法に関する。
タおよびその圧電アクチュエータを用いた液滴噴射装置
並びにそれらの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インク等を液滴として噴射する噴射装
置、例えばインクジェットヘッドにおいて、圧電素子を
用いたものが知られている。このようなインクジェット
ヘッドでは、インクを収容する液室の１つの壁部に圧電
材料からなる板状の部材を使用する。この圧電材料に駆
動電圧を印加することにより上記壁部を変形させ、液室
内のインクに圧力を与え、液室に連続するノズルからイ
ンクを噴射するものである。
置、例えばインクジェットヘッドにおいて、圧電素子を
用いたものが知られている。このようなインクジェット
ヘッドでは、インクを収容する液室の１つの壁部に圧電
材料からなる板状の部材を使用する。この圧電材料に駆
動電圧を印加することにより上記壁部を変形させ、液室
内のインクに圧力を与え、液室に連続するノズルからイ
ンクを噴射するものである。
【０００３】このような圧電材料を変形させるモードと
して、通常、ダイレクトモードと、シェアーモードとが
ある。ダイレクトモードでは、駆動電圧の印加にともな
う駆動電界の方向は圧電材料の分極方向に沿った方向で
あり、圧電材料板の分極方向に沿った伸縮変形を利用す
る。シェアーモードでは、上記駆動電界の方向と圧電材
料の分極方向とが略直交し、圧電材料のせん断方向の変
形を利用する。発明者は先に特許第２９１３８０６号公
報に記載のシェアーモード型のインクジェットヘッドを
提案した。
して、通常、ダイレクトモードと、シェアーモードとが
ある。ダイレクトモードでは、駆動電圧の印加にともな
う駆動電界の方向は圧電材料の分極方向に沿った方向で
あり、圧電材料板の分極方向に沿った伸縮変形を利用す
る。シェアーモードでは、上記駆動電界の方向と圧電材
料の分極方向とが略直交し、圧電材料のせん断方向の変
形を利用する。発明者は先に特許第２９１３８０６号公
報に記載のシェアーモード型のインクジェットヘッドを
提案した。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記特許公報に記載の
１つの実施例の圧電材料板においては、各インク液室に
対して繰り返しパターンとなるように分極の向きが頻繁
に変化する構成が採用される。このため、分極工程にお
いて、配列された複数の分極用電極を交互に異なる電位
に接続しなければならず、工程が煩雑なものとなりがち
である。また、分極を容易にするために、圧電材料板内
に形成した分極用電極のうち同電位に接続するものをあ
らかじめて互いに接続しておく方法も考えられるが、こ
の場合には、圧電材料板を変形させるための駆動電極に
電圧を印加したときに、分極用電極をとおして電圧が他
のインク液室に対応する圧電材料部分に漏れ、いわゆる
クロストークの原因となる可能性がある。
１つの実施例の圧電材料板においては、各インク液室に
対して繰り返しパターンとなるように分極の向きが頻繁
に変化する構成が採用される。このため、分極工程にお
いて、配列された複数の分極用電極を交互に異なる電位
に接続しなければならず、工程が煩雑なものとなりがち
である。また、分極を容易にするために、圧電材料板内
に形成した分極用電極のうち同電位に接続するものをあ
らかじめて互いに接続しておく方法も考えられるが、こ
の場合には、圧電材料板を変形させるための駆動電極に
電圧を印加したときに、分極用電極をとおして電圧が他
のインク液室に対応する圧電材料部分に漏れ、いわゆる
クロストークの原因となる可能性がある。
【０００５】本発明は、分極工程が煩雑とならず、しか
も性能面での悪影響を与えることがない圧電アクチュエ
ータおよびその圧電アクチュエータを用いた液滴噴射装
置並びにそれらの製造方法を提供することを目的とす
る。
も性能面での悪影響を与えることがない圧電アクチュエ
ータおよびその圧電アクチュエータを用いた液滴噴射装
置並びにそれらの製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電材料板の
内部に、その圧電材料板の面方向に沿って複数配置され
た第１の内部電極と、その第１の内部電極と前記圧電材
料板の面方向に間隔を置いて同じく圧電材料板の面方向
に沿って複数配置された第２の内部電極を備え、その各
第１の内部電極と対応する第２の内部電極との間の圧電
材料がそれぞれ前記圧電材料板の面方向に分極された圧
電アクチュエータにおいて、前記複数の第１の内部電極
と第２の内部電極との少なくとも一方の配列方向に沿っ
て溝が前記圧電材料板に形成され、その溝の内面に前記
一方の内部電極の端部が露出されていることを特徴とす
る。
内部に、その圧電材料板の面方向に沿って複数配置され
た第１の内部電極と、その第１の内部電極と前記圧電材
料板の面方向に間隔を置いて同じく圧電材料板の面方向
に沿って複数配置された第２の内部電極を備え、その各
第１の内部電極と対応する第２の内部電極との間の圧電
材料がそれぞれ前記圧電材料板の面方向に分極された圧
電アクチュエータにおいて、前記複数の第１の内部電極
と第２の内部電極との少なくとも一方の配列方向に沿っ
て溝が前記圧電材料板に形成され、その溝の内面に前記
一方の内部電極の端部が露出されていることを特徴とす
る。
【０００７】この圧電アクチュエータによれば、圧電材
料板の各動作部位に対して、相互に接続された複数の内
部電極により分極を行った後に、圧電材料板に対し溝加
工を施すことで内部電極を、圧電材料板の各動作部位ご
とに分離できるので、分極工程が煩雑とならず、しかも
クロストークをなくすることができる。
料板の各動作部位に対して、相互に接続された複数の内
部電極により分極を行った後に、圧電材料板に対し溝加
工を施すことで内部電極を、圧電材料板の各動作部位ご
とに分離できるので、分極工程が煩雑とならず、しかも
クロストークをなくすることができる。
【０００８】上記構成において、前記第１の内部電極と
第２の内部電極は、前記圧電材料を分極するための分極
用電界をかけるための電極であって、前記圧電材料板の
表面には、その圧電材料に対して、前記分極方向と交差
する方向の駆動電界をかけるための駆動電極が形成され
てもよい。
第２の内部電極は、前記圧電材料を分極するための分極
用電界をかけるための電極であって、前記圧電材料板の
表面には、その圧電材料に対して、前記分極方向と交差
する方向の駆動電界をかけるための駆動電極が形成され
てもよい。
【０００９】前記圧電材料板は、複数のシート状の圧電
材料を積層して構成され、前記第１の内部電極および第
２の内部電極はそれぞれ前記シート状の圧電材料の間
で、平面状に複数配置されてもよい。
材料を積層して構成され、前記第１の内部電極および第
２の内部電極はそれぞれ前記シート状の圧電材料の間
で、平面状に複数配置されてもよい。
【００１０】前記圧電材料板は、複数のシート状の圧電
材料を積層して構成され、前記第１の内部電極と第２の
内部電極とは、異なる前記シート状の圧電材料上に配列
されてもよい。
材料を積層して構成され、前記第１の内部電極と第２の
内部電極とは、異なる前記シート状の圧電材料上に配列
されてもよい。
【００１１】前記第１の内部電極と第２の内部電極は、
それぞれ前記面方向において、複数行、複数列をなして
配列されてもよい。
それぞれ前記面方向において、複数行、複数列をなして
配列されてもよい。
【００１２】本発明の圧電アクチュエータの製造方法
は、圧電材料板の内部に、その圧電材料板の面方向に沿
って複数配置された第１の内部電極と、その第１の内部
電極を相互に接続する第１の引出線と、前記第１の内部
電極と前記圧電材料板の面方向に間隔を置いて同じく面
方向に沿って複数配置された第２の内部電極と、その第
２の内部電極を相互に接続する第２の引出線とを形成す
る工程と、前記第１の引出線および第２の引出線をとお
して前記複数の第１の内部電極と第２の内部電極との間
に電界をかけ、前記複数の第１の内部電極と第２の内部
電極との間の各電極材料の部分をそれぞれ前記圧電材料
板の面方向に分極する工程と、前記分極工程の後で、前
記複数の第１の引出線および第２の引出線を切除し、前
記複数の第１の内部電極および第２の内部電極をそれぞ
れ複数の分割された電極に形成する工程とを備えること
を特徴とする。
は、圧電材料板の内部に、その圧電材料板の面方向に沿
って複数配置された第１の内部電極と、その第１の内部
電極を相互に接続する第１の引出線と、前記第１の内部
電極と前記圧電材料板の面方向に間隔を置いて同じく面
方向に沿って複数配置された第２の内部電極と、その第
２の内部電極を相互に接続する第２の引出線とを形成す
る工程と、前記第１の引出線および第２の引出線をとお
して前記複数の第１の内部電極と第２の内部電極との間
に電界をかけ、前記複数の第１の内部電極と第２の内部
電極との間の各電極材料の部分をそれぞれ前記圧電材料
板の面方向に分極する工程と、前記分極工程の後で、前
記複数の第１の引出線および第２の引出線を切除し、前
記複数の第１の内部電極および第２の内部電極をそれぞ
れ複数の分割された電極に形成する工程とを備えること
を特徴とする。
【００１３】この圧電アクチュエータの製造方法によれ
ば、圧電材料板の各動作部位に対して、引出線により相
互に接続された複数の内部電極に電圧を印加して分極を
行った後に、圧電材料板に対し溝加工を施し、引出線を
切除することで内部電極を、圧電材料板の各動作部位ご
とに分離できるので、分極工程が煩雑とならず、しかも
クロストークをなくすることができる。
ば、圧電材料板の各動作部位に対して、引出線により相
互に接続された複数の内部電極に電圧を印加して分極を
行った後に、圧電材料板に対し溝加工を施し、引出線を
切除することで内部電極を、圧電材料板の各動作部位ご
とに分離できるので、分極工程が煩雑とならず、しかも
クロストークをなくすることができる。
【００１４】上記製造方法において、前記圧電材料板の
表面に、その圧電材料に対して、前記分極方向と交差す
る方向の駆動電界をかけるための駆動電極を形成する工
程をさらに備えてもよい。
表面に、その圧電材料に対して、前記分極方向と交差す
る方向の駆動電界をかけるための駆動電極を形成する工
程をさらに備えてもよい。
【００１５】前記圧電材料板を積層された複数のシート
状圧電材料で構成するため、その複数のシート状圧電材
料を成形する工程と、その複数のシート状圧電材料を積
層する工程とをさらに備え、前記内部電極を形成する工
程は、前記複数のシート状圧電材料を積層する前に、前
記シート状圧電材料上に内部電極を形成するものであっ
てもよい。
状圧電材料で構成するため、その複数のシート状圧電材
料を成形する工程と、その複数のシート状圧電材料を積
層する工程とをさらに備え、前記内部電極を形成する工
程は、前記複数のシート状圧電材料を積層する前に、前
記シート状圧電材料上に内部電極を形成するものであっ
てもよい。
【００１６】前記内部電極を形成する工程は、前記複数
の第１の内部電極および第２の内部電極を、それぞれ前
記シート状の圧電材料上に平面状に複数配置しかつそれ
ぞれ前記第１の引出線および第２の引出線により相互に
接続して形成してもよい。
の第１の内部電極および第２の内部電極を、それぞれ前
記シート状の圧電材料上に平面状に複数配置しかつそれ
ぞれ前記第１の引出線および第２の引出線により相互に
接続して形成してもよい。
【００１７】前記内部電極を形成する工程は、前記複数
の第１の内部電極および第２の内部電極を、それぞれ異
なる前記シート状の圧電材料上に平面状に複数配置しか
つそれぞれ前記第１の引出線および第２の引出線により
相互に接続して形成してもよい。
の第１の内部電極および第２の内部電極を、それぞれ異
なる前記シート状の圧電材料上に平面状に複数配置しか
つそれぞれ前記第１の引出線および第２の引出線により
相互に接続して形成してもよい。
【００１８】前記内部電極を形成する工程は、前記シー
ト状圧電材料に、前記複数の第１の内部電極および第２
の内部電極を、それぞれ複数行、複数列をなして配列し
かつその行または列方向に前記引出線により相互に接続
して形成してもよい。
ト状圧電材料に、前記複数の第１の内部電極および第２
の内部電極を、それぞれ複数行、複数列をなして配列し
かつその行または列方向に前記引出線により相互に接続
して形成してもよい。
【００１９】前記分割形成する工程は、前記積層したシ
ート状圧電材料に、前記引出線を含む幅でその圧電材料
を切除する溝を形成してもよい。
ート状圧電材料に、前記引出線を含む幅でその圧電材料
を切除する溝を形成してもよい。
【００２０】また、本発明の液滴噴射装置は、複数の液
室が隔壁を隔てて配列され、圧電材料板からなる圧電ア
クチュエータがその複数の液室にわたって延び、各液室
に対応する部分の圧電アクチュエータが選択的に変形す
ることにより、前記液室内の液体を噴射する液滴噴射装
置において、前記圧電アクチュエータは、前記圧電材料
板の面方向に沿って複数配置された第１の内部電極と、
その第１の内部電極と前記圧電材料板の面方向に間隔を
置いて同じく面方向に沿って複数配置された第２の内部
電極を備え、その各第１の内部電極と対応する第２の内
部電極との間の圧電材料がそれぞれ前記圧電材料板の面
方向に分極され、その各分極部分が前記各液室に対応し
て配置されており、前記複数の第１の内部電極と第２の
内部電極との少なくとも一方の配列方向に沿って溝が前
記圧電材料に形成され、その溝の内面に前記一方の内部
電極の端部が露出され、前記各液室に対応する前記圧電
材料の表面には、その圧電材料に対して、前記分極方向
と交差する方向の駆動電界をかけるための駆動電極が形
成されていることを特徴とする。
室が隔壁を隔てて配列され、圧電材料板からなる圧電ア
クチュエータがその複数の液室にわたって延び、各液室
に対応する部分の圧電アクチュエータが選択的に変形す
ることにより、前記液室内の液体を噴射する液滴噴射装
置において、前記圧電アクチュエータは、前記圧電材料
板の面方向に沿って複数配置された第１の内部電極と、
その第１の内部電極と前記圧電材料板の面方向に間隔を
置いて同じく面方向に沿って複数配置された第２の内部
電極を備え、その各第１の内部電極と対応する第２の内
部電極との間の圧電材料がそれぞれ前記圧電材料板の面
方向に分極され、その各分極部分が前記各液室に対応し
て配置されており、前記複数の第１の内部電極と第２の
内部電極との少なくとも一方の配列方向に沿って溝が前
記圧電材料に形成され、その溝の内面に前記一方の内部
電極の端部が露出され、前記各液室に対応する前記圧電
材料の表面には、その圧電材料に対して、前記分極方向
と交差する方向の駆動電界をかけるための駆動電極が形
成されていることを特徴とする。
【００２１】この液滴噴射装置によれば、圧電材料板に
対して、相互に接続された複数の内部電極により分極を
行った後に、圧電材料板に対し溝加工を施すことで内部
電極を、各液室ごとに分離できるので、分極工程が煩雑
とならず、しかもクロストークをなくすることができ
る。
対して、相互に接続された複数の内部電極により分極を
行った後に、圧電材料板に対し溝加工を施すことで内部
電極を、各液室ごとに分離できるので、分極工程が煩雑
とならず、しかもクロストークをなくすることができ
る。
【００２２】前記第１の内部電極と第２の内部電極のい
ずれか一方は、前記液室の中央に対応して配置され、他
方は前記隔壁に対応して配置されてもよい。
ずれか一方は、前記液室の中央に対応して配置され、他
方は前記隔壁に対応して配置されてもよい。
【００２３】前記駆動電極は、前記圧電材料の液室がわ
の表面と、それと反対側の表面とに形成されてもよい。
の表面と、それと反対側の表面とに形成されてもよい。
【００２４】前記液室は、複数行、複数列に配列され、
前記第１の内部電極と第２の内部電極のいずれか一方
は、それに対応して複数行、複数列に配置され、他方
は、前記一方の電極をその行または列方向に挟んで複数
行、複数列に配列されてもよい。
前記第１の内部電極と第２の内部電極のいずれか一方
は、それに対応して複数行、複数列に配置され、他方
は、前記一方の電極をその行または列方向に挟んで複数
行、複数列に配列されてもよい。
【００２５】本発明の液滴噴射装置の製造方法は、圧電
材料板の内部に、その圧電材料板の面方向に沿って複数
配置された第１の内部電極と、その第１の内部電極を相
互に接続する第１の引出線と、前記第１の内部電極と前
記圧電材料板の面方向に間隔を置いて同じく面方向に沿
って複数配置された第２の内部電極と、その第２の内部
電極を相互に接続する第２の引出線とを形成する工程
と、前記第１の引出線および第２の引出線をとおして前
記複数の第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界
をかけ、前記複数の第１の内部電極と第２の内部電極と
の間の各電極材料の部分をそれぞれ前記圧電材料板の面
方向に分極する工程と、前記分極工程の後で、前記複数
の第１の引出線および第２の引出線を切除し、前記複数
の第１の内部電極および第２の内部電極をそれぞれ複数
の分割された電極に形成する工程と、前記圧電材料板の
表面に、その圧電材料に対して、前記分極方向と交差す
る方向の駆動電界をかけるための駆動電極を形成する工
程と、複数の液室を隔壁を隔てて備える液室プレートユ
ニットを形成する工程と、前記圧電材料板の分極された
部分を前記液室に対応させて前記圧電材料板を前記液室
プレートユニットに接合する工程とを備えることを特徴
とする。
材料板の内部に、その圧電材料板の面方向に沿って複数
配置された第１の内部電極と、その第１の内部電極を相
互に接続する第１の引出線と、前記第１の内部電極と前
記圧電材料板の面方向に間隔を置いて同じく面方向に沿
って複数配置された第２の内部電極と、その第２の内部
電極を相互に接続する第２の引出線とを形成する工程
と、前記第１の引出線および第２の引出線をとおして前
記複数の第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界
をかけ、前記複数の第１の内部電極と第２の内部電極と
の間の各電極材料の部分をそれぞれ前記圧電材料板の面
方向に分極する工程と、前記分極工程の後で、前記複数
の第１の引出線および第２の引出線を切除し、前記複数
の第１の内部電極および第２の内部電極をそれぞれ複数
の分割された電極に形成する工程と、前記圧電材料板の
表面に、その圧電材料に対して、前記分極方向と交差す
る方向の駆動電界をかけるための駆動電極を形成する工
程と、複数の液室を隔壁を隔てて備える液室プレートユ
ニットを形成する工程と、前記圧電材料板の分極された
部分を前記液室に対応させて前記圧電材料板を前記液室
プレートユニットに接合する工程とを備えることを特徴
とする。
【００２６】前記液室プレートユニットを形成する工程
は、前記液室を複数行、複数列に形成し、前記内部電極
を形成する工程は、前記第１の内部電極と第２の内部電
極のいずれか一方を、それに対応して複数行、複数列に
形成し、他方を、前記一方の電極をその行または列方向
に挟んで複数行、複数列に形成してもよい。
は、前記液室を複数行、複数列に形成し、前記内部電極
を形成する工程は、前記第１の内部電極と第２の内部電
極のいずれか一方を、それに対応して複数行、複数列に
形成し、他方を、前記一方の電極をその行または列方向
に挟んで複数行、複数列に形成してもよい。
【００２７】前記第１の内部電極と第２の内部電極のい
ずれか一方は、前記液室の中央に対応して形成し、他方
は前記隔壁に対応して形成してもよい。
ずれか一方は、前記液室の中央に対応して形成し、他方
は前記隔壁に対応して形成してもよい。
【００２８】前記圧電材料板を積層された複数のシート
状圧電材料で構成するため、その複数のシート状圧電材
料を成形する工程と、その複数のシート状圧電材料を積
層する工程とをさらに備え、前記内部電極を形成する工
程は、前記複数のシート状圧電材料を積層する前に、前
記シート状圧電材料上に内部電極を形成してもよい。
状圧電材料で構成するため、その複数のシート状圧電材
料を成形する工程と、その複数のシート状圧電材料を積
層する工程とをさらに備え、前記内部電極を形成する工
程は、前記複数のシート状圧電材料を積層する前に、前
記シート状圧電材料上に内部電極を形成してもよい。
【００２９】前記分割形成する工程は、前記積層したシ
ート状圧電材料に、前記引出線を含む幅でその圧電材料
を切除する溝を形成してもよい。
ート状圧電材料に、前記引出線を含む幅でその圧電材料
を切除する溝を形成してもよい。
【００３０】
【発明の実施の形態】−第１の実施形態− 以下、図１〜図１２を参照して、本発明をインクジェッ
トヘッドに適用した第１の実施の形態について説明す
る。
トヘッドに適用した第１の実施の形態について説明す
る。
【００３１】図１は第１の実施の形態のインクジェット
ヘッドを示す断面図、図２は駆動電圧を印加した状態を
示す断面図、図３は駆動電圧の印加を停止した状態を示
す断面図、図４は液室およびノズルの位置関係を示す平
面図である。なお、図４におけるＸ−Ｘ線拡大断面図が
図１に相当する。
ヘッドを示す断面図、図２は駆動電圧を印加した状態を
示す断面図、図３は駆動電圧の印加を停止した状態を示
す断面図、図４は液室およびノズルの位置関係を示す平
面図である。なお、図４におけるＸ−Ｘ線拡大断面図が
図１に相当する。
【００３２】図１〜図４に示すように、第１の実施の形
態のインクジェットヘッド１００は、圧電材料からなる
圧電アクチュエータ２１と、インク液室およびノズルな
どからなるインク流路を有する液室プレートユニット２
２とを積層して一体に接合した構成である。圧電アクチ
ュエータ２１は、複数枚（この例では４枚）のグリーン
シート（シート状圧電材料）１ａ〜１ｄを積層して焼結
により一体化された圧電材料板１と、液室プレートユニ
ット２２側の表面（図１において下面）上に形成された
第１の駆動電極２と、圧電材料板１の液室５と反対側の
表面（図１において上面）上に形成された第２の駆動電
極３とを備える。また、液室プレートユニット２２は、
液室５を構成する複数の貫通孔が形成された第１の液室
プレート６と、複数の液室５にインクを供給するための
共通インク室１４（図４，図１０）が形成された第２の
液室プレート７と、複数のノズル孔８が形成されたノズ
ルプレート９と積層して一体化した構成である。第２の
液室プレート７は、共通インク室１４を液室５の一端に
接続する供給孔１３を有し、また液室５の他端をノズル
孔８に接続する貫通孔１５を備える。
態のインクジェットヘッド１００は、圧電材料からなる
圧電アクチュエータ２１と、インク液室およびノズルな
どからなるインク流路を有する液室プレートユニット２
２とを積層して一体に接合した構成である。圧電アクチ
ュエータ２１は、複数枚（この例では４枚）のグリーン
シート（シート状圧電材料）１ａ〜１ｄを積層して焼結
により一体化された圧電材料板１と、液室プレートユニ
ット２２側の表面（図１において下面）上に形成された
第１の駆動電極２と、圧電材料板１の液室５と反対側の
表面（図１において上面）上に形成された第２の駆動電
極３とを備える。また、液室プレートユニット２２は、
液室５を構成する複数の貫通孔が形成された第１の液室
プレート６と、複数の液室５にインクを供給するための
共通インク室１４（図４，図１０）が形成された第２の
液室プレート７と、複数のノズル孔８が形成されたノズ
ルプレート９と積層して一体化した構成である。第２の
液室プレート７は、共通インク室１４を液室５の一端に
接続する供給孔１３を有し、また液室５の他端をノズル
孔８に接続する貫通孔１５を備える。
【００３３】図４に示すように、液室５は、複数行、複
数列に形成され、好ましくは図示の５行、３列よりも多
く形成される。隣接する液室５間は、隔壁６ａ（図１）
によって隔てられている。圧電材料板１の後述する分極
部分が各液室５に対応するように、圧電材料板１が各液
室５を覆って液室プレートユニット２２に積層して固定
される。第１の駆動電極２は各液室５に共通に設けられ
る一方、第２の駆動電極３は各液室５に対応して設けら
れ、各液室５の形状にほぼ対応した形状に形成される。
数列に形成され、好ましくは図示の５行、３列よりも多
く形成される。隣接する液室５間は、隔壁６ａ（図１）
によって隔てられている。圧電材料板１の後述する分極
部分が各液室５に対応するように、圧電材料板１が各液
室５を覆って液室プレートユニット２２に積層して固定
される。第１の駆動電極２は各液室５に共通に設けられ
る一方、第２の駆動電極３は各液室５に対応して設けら
れ、各液室５の形状にほぼ対応した形状に形成される。
【００３４】図１〜図３において圧電材料板１の内部に
描かれた矢印（図１において符号「Ａ」で示す矢印）
は、圧電材料板１の分極方向を示す。各図に示すよう
に、圧電材料板１は各液室５の中央部分を境界とする両
側に、互いに反対方向に分極されている。それぞれの分
極方向は、圧電材料板１の面方向とほぼ同一である。
描かれた矢印（図１において符号「Ａ」で示す矢印）
は、圧電材料板１の分極方向を示す。各図に示すよう
に、圧電材料板１は各液室５の中央部分を境界とする両
側に、互いに反対方向に分極されている。それぞれの分
極方向は、圧電材料板１の面方向とほぼ同一である。
【００３５】次に、図５〜図１０を参照して、第１の実
施の形態のインクジェットヘッドの製造方法について説
明する。
施の形態のインクジェットヘッドの製造方法について説
明する。
【００３６】図５は分極用の内部電極の配置を示す平面
図、図６はグリーンシートを積層する状態を示す図、図
７はグリーンシートを焼結した後の状態を示す斜視図、
図８は内部電極の取出し部を形成した状態を示す図、図
９は圧電材料板１の分極工程を示す断面図、図１０は溝
加工により内部電極を分割する工程を示す斜視図、図１
１はインクジェットヘッドの組立工程を示す斜視図であ
る。
図、図６はグリーンシートを積層する状態を示す図、図
７はグリーンシートを焼結した後の状態を示す斜視図、
図８は内部電極の取出し部を形成した状態を示す図、図
９は圧電材料板１の分極工程を示す断面図、図１０は溝
加工により内部電極を分割する工程を示す斜視図、図１
１はインクジェットヘッドの組立工程を示す斜視図であ
る。
【００３７】図５に示すように、グリーンシート１ｂ〜
１ｄには、内部電極を構成する電極パターン１１および
電極パターン１２が導電材料をスクリーン印刷法等を用
いて形成される。電極パターン１１は、液室５を列方向
に挟む位置（すなわち行間の隔壁６ａ上方位置および液
室５の列の両端外側位置）に対応する複数の第１の内部
電極１１ａと、その複数の内部電極１１ａを列方向に互
いに接続するとともにグリーンシート１ｂ〜１ｄの端部
まで引き出す引出線１１ｂとを有する。電極パターン１
２は、各液室５の中央領域に張出す複数の第２の内部電
極１２ａと、その複数の内部電極１２ａを列方向に互い
に接続するとともに、グリーンシート１ｂ〜１ｄの端部
まで引き出す引出線１２ｂとを有する。引出線１１ｂ，
１２ｂは、液室５の列間および列の両端外側においてそ
の列方向に延びている。各電極パターン１１，１２は液
室５の列ごとに設けられ、引出線１１ｂ，１２ｂは隣接
する列で共用されるが、電極パターン１１の引出線１１
ｂどうし、電極パターン１２の引出線１２ｂどうしは、
相互に接続してもよい。２つの第１の内部電極１１ａ
は、第２の内部電極１２ａを挟んで対称に位置し、それ
ぞれ液室５の長手方向に延びている。
１ｄには、内部電極を構成する電極パターン１１および
電極パターン１２が導電材料をスクリーン印刷法等を用
いて形成される。電極パターン１１は、液室５を列方向
に挟む位置（すなわち行間の隔壁６ａ上方位置および液
室５の列の両端外側位置）に対応する複数の第１の内部
電極１１ａと、その複数の内部電極１１ａを列方向に互
いに接続するとともにグリーンシート１ｂ〜１ｄの端部
まで引き出す引出線１１ｂとを有する。電極パターン１
２は、各液室５の中央領域に張出す複数の第２の内部電
極１２ａと、その複数の内部電極１２ａを列方向に互い
に接続するとともに、グリーンシート１ｂ〜１ｄの端部
まで引き出す引出線１２ｂとを有する。引出線１１ｂ，
１２ｂは、液室５の列間および列の両端外側においてそ
の列方向に延びている。各電極パターン１１，１２は液
室５の列ごとに設けられ、引出線１１ｂ，１２ｂは隣接
する列で共用されるが、電極パターン１１の引出線１１
ｂどうし、電極パターン１２の引出線１２ｂどうしは、
相互に接続してもよい。２つの第１の内部電極１１ａ
は、第２の内部電極１２ａを挟んで対称に位置し、それ
ぞれ液室５の長手方向に延びている。
【００３８】そして図６に示すように、同様に電極パタ
ーン１１，１２が形成された複数枚のグリーンシート１
ｂ〜１ｄを積層し、その上に電極を形成していないグリ
ーンシート１ａを積層して、焼結し一体化する。焼結し
て得た圧電材料板１の端面には、電極パターン１１，１
２の引出線１１ｂ，１２ｂの端面が現れる（図７では電
極パターン１２のみ図示されている）。次に、図８に示
すように、圧電材料板１の端面には導電材からなる取出
し部１２ｃが、露出された引出線１２ｂの端面を積層方
向に並ぶものどうし接続して形成される。なお、図８に
おいて図示していないが、圧電材料板１の対向側の端面
には、導電材からなる別の取出し部が、露出された引出
線１１ｂの端面を積層方向に並ぶものどうし接続して形
成される。これらの取出し部によって、各グリーンシー
ト１ａ上に形成された電極パターン１１，１２が互いに
接続される。
ーン１１，１２が形成された複数枚のグリーンシート１
ｂ〜１ｄを積層し、その上に電極を形成していないグリ
ーンシート１ａを積層して、焼結し一体化する。焼結し
て得た圧電材料板１の端面には、電極パターン１１，１
２の引出線１１ｂ，１２ｂの端面が現れる（図７では電
極パターン１２のみ図示されている）。次に、図８に示
すように、圧電材料板１の端面には導電材からなる取出
し部１２ｃが、露出された引出線１２ｂの端面を積層方
向に並ぶものどうし接続して形成される。なお、図８に
おいて図示していないが、圧電材料板１の対向側の端面
には、導電材からなる別の取出し部が、露出された引出
線１１ｂの端面を積層方向に並ぶものどうし接続して形
成される。これらの取出し部によって、各グリーンシー
ト１ａ上に形成された電極パターン１１，１２が互いに
接続される。
【００３９】次に、図９に示すように、電極パターン１
１の取出し部をグラウンドに接続し、電極パターン１２
の取出し部１２ｃを正電位に接続することにより、各液
室に対応する内部電極１１ａ，１２ａの間に電圧を印加
する。これにより両内部電極１１ａ，１２ａ間の圧電材
料板１の部分に内部に電界を与え、圧電材料板１の同部
分を、その圧電材料板の面方向Ａ（図５，図９）に分極
を行い、圧電特性を与える。
１の取出し部をグラウンドに接続し、電極パターン１２
の取出し部１２ｃを正電位に接続することにより、各液
室に対応する内部電極１１ａ，１２ａの間に電圧を印加
する。これにより両内部電極１１ａ，１２ａ間の圧電材
料板１の部分に内部に電界を与え、圧電材料板１の同部
分を、その圧電材料板の面方向Ａ（図５，図９）に分極
を行い、圧電特性を与える。
【００４０】次に、図１０に示すように、圧電材料板１
に溝加工を施すことにより、内部電極１１ａ，１２ａど
うしを分割する。具体的には、電極パターン１１，１２
の引出線１１ｂ，１２ｂを除去する幅Ｗ（図５）で、圧
電材料板１１の各層にわたってダイヤモンドブレード等
で矢印Ｃ方向に切削して溝１ｓを形成し、内部電極１１
ａ，１２ａのそれぞれ少なくとも一部および電極パター
ン１２の張出し部１２ａの少なくとも一部を圧電材料板
１の内部に残留させる。溝１ｓの側面では、内部電極１
１ａ，１２ａの端面が圧電材料板１の切削面と面一にし
て露出している。
に溝加工を施すことにより、内部電極１１ａ，１２ａど
うしを分割する。具体的には、電極パターン１１，１２
の引出線１１ｂ，１２ｂを除去する幅Ｗ（図５）で、圧
電材料板１１の各層にわたってダイヤモンドブレード等
で矢印Ｃ方向に切削して溝１ｓを形成し、内部電極１１
ａ，１２ａのそれぞれ少なくとも一部および電極パター
ン１２の張出し部１２ａの少なくとも一部を圧電材料板
１の内部に残留させる。溝１ｓの側面では、内部電極１
１ａ，１２ａの端面が圧電材料板１の切削面と面一にし
て露出している。
【００４１】図１１に示すように、次に、圧電材料板１
の表面に第１の駆動電極２および第２の駆動電極３を印
刷法や蒸着法を用いて形成する。このように製作された
圧電アクチュエータ２１を、あらかじめ第１の液室プレ
ート６、第２の液室プレート７およびノズルプレート９
を積層して製作した液室プレートユニット２２に接合す
ることで、インクジェットヘッドが完成する。
の表面に第１の駆動電極２および第２の駆動電極３を印
刷法や蒸着法を用いて形成する。このように製作された
圧電アクチュエータ２１を、あらかじめ第１の液室プレ
ート６、第２の液室プレート７およびノズルプレート９
を積層して製作した液室プレートユニット２２に接合す
ることで、インクジェットヘッドが完成する。
【００４２】なお、駆動電極２，３は、グリーンシート
１ａの上面、およびグリーンシートの１ｄの下面にあら
かじめ形成しておき、その後グリーンシートを積層し焼
結するようにしてもよい。また、圧電アクチュエータ２
１を液室プレートユニット２２に接合した後、分極し、
溝１ｓを形成するようにしてもよい。
１ａの上面、およびグリーンシートの１ｄの下面にあら
かじめ形成しておき、その後グリーンシートを積層し焼
結するようにしてもよい。また、圧電アクチュエータ２
１を液室プレートユニット２２に接合した後、分極し、
溝１ｓを形成するようにしてもよい。
【００４３】上記のように、第１の実施の形態のインク
ジェットヘッドでは、電極パターン１１，１２を各液室
５に対して共通のパターンとして形成しておき、電極パ
ターン１１，１２を利用して、圧電材料板１の分極を行
っている。このため、複雑な操作を要することなく、交
互に反対方向にむいた分極を複数の部分に対して同時に
行うことができる。また、圧電材料板１の分極後に、圧
電材料板１に対し溝加工を施すことにより、内部電極１
１，１２を各液室ごとに分離している。このため、イン
クジェットヘッドの駆動に際して、所定の液室５への電
圧の印加が内部電極をとおして他の液室に対応する圧電
材料の部分に漏れて影響を与える（クロストーク）こと
を排除することができる。
ジェットヘッドでは、電極パターン１１，１２を各液室
５に対して共通のパターンとして形成しておき、電極パ
ターン１１，１２を利用して、圧電材料板１の分極を行
っている。このため、複雑な操作を要することなく、交
互に反対方向にむいた分極を複数の部分に対して同時に
行うことができる。また、圧電材料板１の分極後に、圧
電材料板１に対し溝加工を施すことにより、内部電極１
１，１２を各液室ごとに分離している。このため、イン
クジェットヘッドの駆動に際して、所定の液室５への電
圧の印加が内部電極をとおして他の液室に対応する圧電
材料の部分に漏れて影響を与える（クロストーク）こと
を排除することができる。
【００４４】次に、図１〜図３を参照して、液滴を噴射
する動作について説明する。図示しないインク供給源か
ら共通インク室１４、供給孔１８をとおして各液室５の
内部にインクが充填されている。このとき、第１の駆動
電極２および第２の駆動電極３はいずれもグラウンド
（０Ｖ）に接続されている。次に、図２に示すように、
第１の駆動電極２をグラウンドに接続したまま、インク
を噴射しようとする液室５に対応する第２の駆動電極３
に正電圧を印加する。このとき、第１の駆動電極２およ
び第２の駆動電極３の間に発生する電界の向きと、圧電
材料板１の分極方向とが略直交しているため、圧電材料
板１はシェアーモードで変形する。すなわち、内部電極
１２ａを挟む両圧電材料部分が対称に傾斜変形して、液
室５の中央に対応する圧電材料部分が図２において上昇
することにより、液室５の容積が増加する。
する動作について説明する。図示しないインク供給源か
ら共通インク室１４、供給孔１８をとおして各液室５の
内部にインクが充填されている。このとき、第１の駆動
電極２および第２の駆動電極３はいずれもグラウンド
（０Ｖ）に接続されている。次に、図２に示すように、
第１の駆動電極２をグラウンドに接続したまま、インク
を噴射しようとする液室５に対応する第２の駆動電極３
に正電圧を印加する。このとき、第１の駆動電極２およ
び第２の駆動電極３の間に発生する電界の向きと、圧電
材料板１の分極方向とが略直交しているため、圧電材料
板１はシェアーモードで変形する。すなわち、内部電極
１２ａを挟む両圧電材料部分が対称に傾斜変形して、液
室５の中央に対応する圧電材料部分が図２において上昇
することにより、液室５の容積が増加する。
【００４５】次に、第１の駆動電極２をグラウンドに接
続したまま第２の駆動電極３の電位をグラウンド（０
Ｖ）に戻すと、圧電材料板１の形状が変形前の状態に戻
り、液室５内のインクに圧力をあたえ、図４に示すよう
に、ノズル８をとおして所定量のインク１０が噴射され
る。
続したまま第２の駆動電極３の電位をグラウンド（０
Ｖ）に戻すと、圧電材料板１の形状が変形前の状態に戻
り、液室５内のインクに圧力をあたえ、図４に示すよう
に、ノズル８をとおして所定量のインク１０が噴射され
る。
【００４６】上記第１の実施の形態では、内部電極１
１，１２の両者について分離する例を示したが、クロス
トークが充分低減できる場合には、いずれか一方のみ、
特に正の電位側の駆動電極３に近い内部電極１２のみを
分離するようにしてもよい。
１，１２の両者について分離する例を示したが、クロス
トークが充分低減できる場合には、いずれか一方のみ、
特に正の電位側の駆動電極３に近い内部電極１２のみを
分離するようにしてもよい。
【００４７】−第２の実施の形態− 以下、図１２〜図１４を参照して、本発明の液滴噴射装
置をインクジェットヘッドに適用した第２の実施の形態
について説明する。
置をインクジェットヘッドに適用した第２の実施の形態
について説明する。
【００４８】図１２は第２の実施の形態の液滴噴射装置
を示す断面図、図１３は駆動電圧を印加した状態を示す
断面図、図１４は液室およびノズルの位置関係を示す図
である。このインクジェットヘッドにおいては、圧電ア
クチュエータ２１の内部電極の配置を除いて、圧電アク
チュエータ２１および液室プレートユニット２２の構成
は第１の実施の形態と同じであり、第１の実施の形態と
同じ符号を付して説明を省略する。
を示す断面図、図１３は駆動電圧を印加した状態を示す
断面図、図１４は液室およびノズルの位置関係を示す図
である。このインクジェットヘッドにおいては、圧電ア
クチュエータ２１の内部電極の配置を除いて、圧電アク
チュエータ２１および液室プレートユニット２２の構成
は第１の実施の形態と同じであり、第１の実施の形態と
同じ符号を付して説明を省略する。
【００４９】圧電アクチュエータ２１の内部電極１２ａ
は、図１３に示すようにグリーンシート１ｃの上面に、
各液室５の中央に対応して形成され、内部電極１１ａ
は、図１４に示すように他のグリーンシート１ｂ，１ｄ
の上面に、液室５を挟む位置に対応して形成されてい
る。前者のグリーンシート１ｃを後者のグリーンシート
１ｂ，１ｄの間に挟んで、さらにそれらの最上面にグリ
ーンシート１ａを積層し焼結する。このように積層する
ことで、平面視において、内部電極１１ａと内部電極１
２ａの位置関係は、前記実施の形態と同じであり、内部
電極１１ａと内部電極１２ａとが同じ平面にない点だけ
が相違する。引出線１１ｂ，１２ｂの形状も前記実施形
態と同様であり、後述する分極処理の後、前記実施形態
と同様に溝加工によって切除される。
は、図１３に示すようにグリーンシート１ｃの上面に、
各液室５の中央に対応して形成され、内部電極１１ａ
は、図１４に示すように他のグリーンシート１ｂ，１ｄ
の上面に、液室５を挟む位置に対応して形成されてい
る。前者のグリーンシート１ｃを後者のグリーンシート
１ｂ，１ｄの間に挟んで、さらにそれらの最上面にグリ
ーンシート１ａを積層し焼結する。このように積層する
ことで、平面視において、内部電極１１ａと内部電極１
２ａの位置関係は、前記実施の形態と同じであり、内部
電極１１ａと内部電極１２ａとが同じ平面にない点だけ
が相違する。引出線１１ｂ，１２ｂの形状も前記実施形
態と同様であり、後述する分極処理の後、前記実施形態
と同様に溝加工によって切除される。
【００５０】前記実施の形態と同様に、内部電極１１ａ
と内部電極１２ａとの間に分極用の電圧を印加すると、
両電極間の圧電材料部分をその圧電材料板の面方向に分
極することができる。内部電極１１ａと内部電極１２ａ
とが同じ平面にないから、分極用の電圧が圧電材料の層
の界面で放電されてしまうことなく、効率よく分極でき
る。必要に応じて内部電極１１ａを形成したグリーンシ
ートと内部電極１２ａを形成したグリーンシートとを交
互に積層する枚数を多くしてもよい。
と内部電極１２ａとの間に分極用の電圧を印加すると、
両電極間の圧電材料部分をその圧電材料板の面方向に分
極することができる。内部電極１１ａと内部電極１２ａ
とが同じ平面にないから、分極用の電圧が圧電材料の層
の界面で放電されてしまうことなく、効率よく分極でき
る。必要に応じて内部電極１１ａを形成したグリーンシ
ートと内部電極１２ａを形成したグリーンシートとを交
互に積層する枚数を多くしてもよい。
【００５１】また、前記実施の形態と同様に、駆動電極
２，３間に、駆動電圧を印加することにより、液室５の
中央に対応する圧電材料部分が上昇するように、圧電材
料板１がシェアーモードで変形して液室５の容積を増加
し、電圧の印加を停止することで圧電材料板１が復帰し
てインクを噴射する。
２，３間に、駆動電圧を印加することにより、液室５の
中央に対応する圧電材料部分が上昇するように、圧電材
料板１がシェアーモードで変形して液室５の容積を増加
し、電圧の印加を停止することで圧電材料板１が復帰し
てインクを噴射する。
【００５２】なお、上記各実施の形態においては、圧電
材料板はシェアーモードで駆動されていたが、内部電極
の配列のしかたによってはダイレクトモードでも駆動し
うる。すなわち、図１において、第１の電極２を、第１
の液室プレート６の上面に相当する位置にのみ設け、第
２の電極３の幅を狭くすることにより、駆動電界と分極
との交差角は小さくなり、ダイレクトモードで動作す
る。
材料板はシェアーモードで駆動されていたが、内部電極
の配列のしかたによってはダイレクトモードでも駆動し
うる。すなわち、図１において、第１の電極２を、第１
の液室プレート６の上面に相当する位置にのみ設け、第
２の電極３の幅を狭くすることにより、駆動電界と分極
との交差角は小さくなり、ダイレクトモードで動作す
る。
【００５３】また、本発明の液滴噴射装置は、インクジ
ェットプリンタへの適用に限定されず、各種印字装置や
各種塗布装置に対しても適用できる。
ェットプリンタへの適用に限定されず、各種印字装置や
各種塗布装置に対しても適用できる。
【００５４】
【発明の効果】本発明によれば、圧電材料板の各動作部
位に対して、相互に接続された複数の内部電極により分
極を行った後に、圧電材料板に対し溝加工を施すことで
内部電極を、圧電材料板の各動作部位ごとに分離できる
ので、分極工程が煩雑とならず、しかもクロストークを
なくすることができるものである。
位に対して、相互に接続された複数の内部電極により分
極を行った後に、圧電材料板に対し溝加工を施すことで
内部電極を、圧電材料板の各動作部位ごとに分離できる
ので、分極工程が煩雑とならず、しかもクロストークを
なくすることができるものである。
【図１】第１の実施の形態のインクジェットヘッドを示
す断面図。
す断面図。
【図２】駆動電圧を印加した状態を示す断面図。
【図３】駆動電圧の印加を停止した状態を示す断面図。
【図４】液室およびノズルの位置関係を示す平面図。
【図５】内部電極の配置を示す平面図。
【図６】グリーンシートを積層する状態を示す図。
【図７】グリーンシートを焼結した後の状態を示す斜視
図。
図。
【図８】内部電極の取出し部を形成した状態を示す図。
【図９】圧電材料板の分極工程を示す断面図。
【図１０】溝加工により内部電極を分割する工程を示す
斜視図。
斜視図。
【図１１】インクジェットヘッドの組立工程を示す斜視
図。
図。
【図１２】第２の実施の形態のインクジェットヘッドを
示す断面図。
示す断面図。
【図１３】グリーンシート１ｃ上の内部電極の配置を示
す平面図。
す平面図。
【図１４】グリーンシート１ｂ（１ｄ）上の内部電極の
配置を示す平面図。
配置を示す平面図。
１ 圧電材料板 １Ａ 溝 ２ 第１の駆動電極 ３ 第２の駆動電極 ５ 液室 １１ａ 内部電極 １２ａ 内部電極 １２ｃ 取出し部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 41/22
Claims (21)
- 【請求項１】 圧電材料板の内部に、その圧電材料板の
面方向に沿って複数配置された第１の内部電極と、その
第１の内部電極と前記圧電材料板の面方向に間隔を置い
て同じく圧電材料板の面方向に沿って複数配置された第
２の内部電極を備え、その各第１の内部電極と対応する
第２の内部電極との間の圧電材料がそれぞれ前記圧電材
料板の面方向に分極された圧電アクチュエータにおい
て、 前記複数の第１の内部電極と第２の内部電極との少なく
とも一方の配列方向に沿って溝が前記圧電材料板に形成
され、その溝の内面に前記一方の内部電極の端部が露出
されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記第１の内部電極と第２の内部電極
は、前記圧電材料を分極するための分極用電界をかける
ための電極であって、前記圧電材料板の表面には、その
圧電材料に対して、前記分極方向と交差する方向の駆動
電界をかけるための駆動電極が形成されていることを特
徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項３】 前記圧電材料板は、複数のシート状の圧
電材料を積層して構成され、前記第１の内部電極および
第２の内部電極はそれぞれ前記シート状の圧電材料の間
で、平面状に複数配置されていることを特徴とする請求
項１または２に記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項４】 前記圧電材料板は、複数のシート状の圧
電材料を積層して構成され、前記第１の内部電極と第２
の内部電極とは、異なる前記シート状の圧電材料上に配
列されている請求項１または２に記載の圧電アクチュエ
ータ。 - 【請求項５】 前記第１の内部電極と第２の内部電極
は、それぞれ前記面方向において、複数行、複数列をな
して配列されている請求項１〜４のいずれか１項に記載
の圧電アクチュエータ。 - 【請求項６】 圧電材料板の内部に、その圧電材料板の
面方向に沿って複数配置された第１の内部電極と、その
第１の内部電極を相互に接続する第１の引出線と、前記
第１の内部電極と前記圧電材料板の面方向に間隔を置い
て同じく面方向に沿って複数配置された第２の内部電極
と、その第２の内部電極を相互に接続する第２の引出線
とを形成する工程と、 前記第１の引出線および第２の引出線をとおして前記複
数の第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界をか
け、前記複数の第１の内部電極と第２の内部電極との間
の各電極材料の部分をそれぞれ前記圧電材料板の面方向
に分極する工程と、 前記分極工程の後で、前記複数の第１の引出線および第
２の引出線を切除し、前記複数の第１の内部電極および
第２の内部電極をそれぞれ複数の分割された電極に形成
する工程とを備えることを特徴とする圧電アクチュエー
タの製造方法。 - 【請求項７】 前記圧電材料板の表面に、その圧電材料
に対して、前記分極方向と交差する方向の駆動電界をか
けるための駆動電極を形成する工程をさらに備えること
を特徴とする請求項６に記載の圧電アクチュエータの製
造方法。 - 【請求項８】 前記圧電材料板を積層された複数のシー
ト状圧電材料で構成するため、その複数のシート状圧電
材料を成形する工程と、その複数のシート状圧電材料を
積層する工程とをさらに備え、 前記内部電極を形成する工程は、前記複数のシート状圧
電材料を積層する前に、前記シート状圧電材料上に内部
電極を形成するものであることを特徴とする請求項６に
記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 【請求項９】 前記内部電極を形成する工程は、前記複
数の第１の内部電極および第２の内部電極を、それぞれ
前記シート状の圧電材料上に平面状に複数配置しかつそ
れぞれ前記第１の引出線および第２の引出線により相互
に接続して形成することを特徴とする請求項８に記載の
圧電アクチュエータの製造方法。 - 【請求項１０】 前記内部電極を形成する工程は、前記
複数の第１の内部電極および第２の内部電極を、それぞ
れ異なる前記シート状の圧電材料上に平面状に複数配置
しかつそれぞれ前記第１の引出線および第２の引出線に
より相互に接続して形成することを特徴とする請求項８
に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 【請求項１１】 前記内部電極を形成する工程は、前記
シート状圧電材料に、前記複数の第１の内部電極および
第２の内部電極を、それぞれ複数行、複数列をなして配
列しかつその行または列方向に前記引出線により相互に
接続して形成することを特徴とする請求項８に記載の圧
電アクチュエータの製造方法。 - 【請求項１２】 前記分割形成する工程は、前記積層し
たシート状圧電材料に、前記引出線を含む幅でその圧電
材料を切除する溝を形成することを特徴とする請求項８
に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 【請求項１３】 複数の液室が隔壁を隔てて配列され、
圧電材料板からなる圧電アクチュエータがその複数の液
室にわたって延び、各液室に対応する部分の圧電アクチ
ュエータが選択的に変形することにより、前記液室内の
液体を噴射する液滴噴射装置において、 前記圧電アクチュエータは、前記圧電材料板の面方向に
沿って複数配置された第１の内部電極と、その第１の内
部電極と前記圧電材料板の面方向に間隔を置いて同じく
面方向に沿って複数配置された第２の内部電極を備え、
その各第１の内部電極と対応する第２の内部電極との間
の圧電材料がそれぞれ前記圧電材料板の面方向に分極さ
れ、その各分極部分が前記各液室に対応して配置されて
おり、 前記複数の第１の内部電極と第２の内部電極との少なく
とも一方の配列方向に沿って溝が前記圧電材料に形成さ
れ、その溝の内面に前記一方の内部電極の端部が露出さ
れ、 前記各液室に対応する前記圧電材料の表面には、その圧
電材料に対して、前記分極方向と交差する方向の駆動電
界をかけるための駆動電極が形成されていることを特徴
とする液滴噴射装置。 - 【請求項１４】 前記第１の内部電極と第２の内部電極
のいずれか一方は、前記液室の中央に対応して配置さ
れ、他方は前記隔壁に対応して配置されていることを特
徴とする請求項１３に記載の液滴噴射装置。 - 【請求項１５】 前記駆動電極は、前記圧電材料の液室
がわの表面と、それと反対側の表面とに形成されている
ことを特徴とする請求項１３に記載の液滴噴射装置。 - 【請求項１６】 前記液室は、複数行、複数列に配列さ
れ、前記第１の内部電極と第２の内部電極のいずれか一
方は、それに対応して複数行、複数列に配置され、他方
は、前記一方の電極をその行または列方向に挟んで複数
行、複数列に配列されていることを特徴とする請求項１
３に記載の液滴噴射装置。 - 【請求項１７】 圧電材料板の内部に、その圧電材料板
の面方向に沿って複数配置された第１の内部電極と、そ
の第１の内部電極を相互に接続する第１の引出線と、前
記第１の内部電極と前記圧電材料板の面方向に間隔を置
いて同じく面方向に沿って複数配置された第２の内部電
極と、その第２の内部電極を相互に接続する第２の引出
線とを形成する工程と、 前記第１の引出線および第２の引出線をとおして前記複
数の第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界をか
け、前記複数の第１の内部電極と第２の内部電極との間
の各電極材料の部分をそれぞれ前記圧電材料板の面方向
に分極する工程と、 前記分極工程の後で、前記複数の第１の引出線および第
２の引出線を切除し、前記複数の第１の内部電極および
第２の内部電極をそれぞれ複数の分割された電極に形成
する工程と、 前記圧電材料板の表面に、その圧電材料に対して、前記
分極方向と交差する方向の駆動電界をかけるための駆動
電極を形成する工程と、 複数の液室を隔壁を隔てて備える液室プレートユニット
を形成する工程と、 前記圧電材料板の分極された部分を前記液室に対応させ
て前記圧電材料板を前記液室プレートユニットに接合す
る工程とを備えることを特徴とする液滴噴射装置の製造
方法。 - 【請求項１８】 前記液室プレートユニットを形成する
工程は、前記液室を複数行、複数列に形成し、前記内部
電極を形成する工程は、前記第１の内部電極と第２の内
部電極のいずれか一方を、それに対応して複数行、複数
列に形成し、他方を、前記一方の電極をその行または列
方向に挟んで複数行、複数列に形成することを特徴とす
る請求項１７に記載の液滴噴射装置の製造方法。 - 【請求項１９】 前記第１の内部電極と第２の内部電極
のいずれか一方は、前記液室の中央に対応して形成し、
他方は前記隔壁に対応して形成することを特徴とする請
求項１８に記載の液滴噴射装置の製造方法。 - 【請求項２０】 前記圧電材料板を積層された複数のシ
ート状圧電材料で構成するため、その複数のシート状圧
電材料を成形する工程と、その複数のシート状圧電材料
を積層する工程とをさらに備え、 前記内部電極を形成する工程は、前記複数のシート状圧
電材料を積層する前に、前記シート状圧電材料上に内部
電極を形成するものであることを特徴とする請求項１７
に記載の液滴噴射装置の製造方法。 - 【請求項２１】 前記分割形成する工程は、前記積層し
たシート状圧電材料に、前記引出線を含む幅でその圧電
材料を切除する溝を形成することを特徴とする請求項２
０に記載の液滴噴射装置の製造方法。
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|---|---|---|---|
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| JP2001-95984 | 2001-03-29 | ||
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004266154A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Tdk Corp | 積層型圧電素子 |
| US20090195623A1 (en) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for producing liquid transport apparatus and method for producing piezoelectric actuator |
| US7610679B2 (en) * | 2004-11-11 | 2009-11-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of producing inkjet printhead |
| JP2015085622A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置、ならびに液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP2015085621A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
| JP2019089224A (ja) * | 2017-11-13 | 2019-06-13 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| US4902925A (en) * | 1982-07-29 | 1990-02-20 | R.F. Monolithics, Inc. | Reflectionless transducer |
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| JPH08187848A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-23 | Brother Ind Ltd | 積層式圧電素子およびその製造方法 |
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- 2001-12-07 JP JP2001373868A patent/JP3873729B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-03-15 US US10/097,354 patent/US6655790B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004266154A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Tdk Corp | 積層型圧電素子 |
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| US7610679B2 (en) * | 2004-11-11 | 2009-11-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of producing inkjet printhead |
| US20090195623A1 (en) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for producing liquid transport apparatus and method for producing piezoelectric actuator |
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| JP2015085621A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
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