JP2002353289A - ウェハキャリア用蓋体の着脱装置 - Google Patents
ウェハキャリア用蓋体の着脱装置Info
- Publication number
- JP2002353289A JP2002353289A JP2001161558A JP2001161558A JP2002353289A JP 2002353289 A JP2002353289 A JP 2002353289A JP 2001161558 A JP2001161558 A JP 2001161558A JP 2001161558 A JP2001161558 A JP 2001161558A JP 2002353289 A JP2002353289 A JP 2002353289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- key
- wafer carrier
- key member
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ウェハキャリアの蓋体を着脱するために、該蓋
体に設けられた被係合部に鍵部材を係合させるとき、両
者が干渉しないようにすることである。 【解決手段】蓋体保持板５に保持されたウェハキャリア
の蓋体３を、キャリア本体に装着して施錠する際に、水
平な状態で配置されている鍵部材のラッチキー９ａを、
設定角度である９０°を超えて回動させ、しかも超過し
た角度の分だけ戻すことにより、錠装置Ｂを構成する一
対の係合突起体８と前記ラッチキー９ａとの隙間に関係
なく、前記一対の係合突起体８と前記ラッチキー９ａを
起立状態に配置させる。
体に設けられた被係合部に鍵部材を係合させるとき、両
者が干渉しないようにすることである。 【解決手段】蓋体保持板５に保持されたウェハキャリア
の蓋体３を、キャリア本体に装着して施錠する際に、水
平な状態で配置されている鍵部材のラッチキー９ａを、
設定角度である９０°を超えて回動させ、しかも超過し
た角度の分だけ戻すことにより、錠装置Ｂを構成する一
対の係合突起体８と前記ラッチキー９ａとの隙間に関係
なく、前記一対の係合突起体８と前記ラッチキー９ａを
起立状態に配置させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロードポート装置
に設置されたウェハキャリアの蓋体を着脱するための着
脱装置に関するものである。
に設置されたウェハキャリアの蓋体を着脱するための着
脱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術を説明するに当たり、本発明
の図面を援用する。図１及び図２に示されるように、ロ
ードポート装置Ｌは、装置本体１の上面に設置されたウ
ェハキャリアＣに収納された多数枚のウェハＵを、半導
体製造装置Ｈ内に移載させるための装置である。ロード
ポート装置Ｌにおける半導体製造装置Ｈの側には、該ロ
ードポート装置Ｌを前記半導体製造装置Ｈに一体に取付
けるための装着板２が設けられていて、該装着板２に、
ウェハキャリア用蓋体３（以降、単に「蓋体３」と記載
する）の着脱装置Ａが配設されている。この着脱装置Ａ
は、鍵装置Ｄと蓋体分離装置Ｅとから構成されている。
ここで、前記鍵装置Ｄは、ウェハキャリアＣを構成する
キャリア本体４に対して、前記蓋体３を施錠、或いは解
錠するという機能を有している。また、前記蓋体分離装
置Ｅは、解錠されて蓋体保持板５に保持された蓋体３
を、前記キャリア本体４に対して接近、或いは離隔させ
るという機能を有している。
の図面を援用する。図１及び図２に示されるように、ロ
ードポート装置Ｌは、装置本体１の上面に設置されたウ
ェハキャリアＣに収納された多数枚のウェハＵを、半導
体製造装置Ｈ内に移載させるための装置である。ロード
ポート装置Ｌにおける半導体製造装置Ｈの側には、該ロ
ードポート装置Ｌを前記半導体製造装置Ｈに一体に取付
けるための装着板２が設けられていて、該装着板２に、
ウェハキャリア用蓋体３（以降、単に「蓋体３」と記載
する）の着脱装置Ａが配設されている。この着脱装置Ａ
は、鍵装置Ｄと蓋体分離装置Ｅとから構成されている。
ここで、前記鍵装置Ｄは、ウェハキャリアＣを構成する
キャリア本体４に対して、前記蓋体３を施錠、或いは解
錠するという機能を有している。また、前記蓋体分離装
置Ｅは、解錠されて蓋体保持板５に保持された蓋体３
を、前記キャリア本体４に対して接近、或いは離隔させ
るという機能を有している。
【０００３】図６ないし図１１を参照しながら、ウェハ
キャリアＣの蓋体３の構成について説明する。図６及び
図７に示されるように、蓋体３における幅方向の両側部
の内部には、一対の錠装置Ｂが設けられている。一対の
錠装置Ｂは、いずれも同一構造であり、しかも、同期し
て作動するため、ここでは、一方側の錠装置Ｂについて
のみ説明する。図８及び図９に示されるように、この錠
装置Ｂは、蓋体３の高さ方向のほぼ中央部に配設された
円板状のディスク板６の上下に、ロックプレート７が昇
降可能にして取付けられた構成である。前記ディスク板
６は、その回動中心Ｐを中心にして回動可能であり、し
かも、その周方向に２本の溝カム６ａが設けられてい
る。ここで、各溝カム６ａのカム中心（図示せず）は、
ディスク板６の回動中心Ｐよりもずれた位置に設けられ
ている。このため、各溝カム６ａのカム半径Ｒ1,Ｒ
2 （ディスク板６の回動中心Ｐと、各溝カム６ａの一端
部及び他端部との距離）は、それぞれ異なっている。即
ち、図９において、（カム半径Ｒ 1 ＜カム半径Ｒ2 ）で
ある。そして、各溝カム６ａが成す角度は、９０°より
も少し大きい。
キャリアＣの蓋体３の構成について説明する。図６及び
図７に示されるように、蓋体３における幅方向の両側部
の内部には、一対の錠装置Ｂが設けられている。一対の
錠装置Ｂは、いずれも同一構造であり、しかも、同期し
て作動するため、ここでは、一方側の錠装置Ｂについて
のみ説明する。図８及び図９に示されるように、この錠
装置Ｂは、蓋体３の高さ方向のほぼ中央部に配設された
円板状のディスク板６の上下に、ロックプレート７が昇
降可能にして取付けられた構成である。前記ディスク板
６は、その回動中心Ｐを中心にして回動可能であり、し
かも、その周方向に２本の溝カム６ａが設けられてい
る。ここで、各溝カム６ａのカム中心（図示せず）は、
ディスク板６の回動中心Ｐよりもずれた位置に設けられ
ている。このため、各溝カム６ａのカム半径Ｒ1,Ｒ
2 （ディスク板６の回動中心Ｐと、各溝カム６ａの一端
部及び他端部との距離）は、それぞれ異なっている。即
ち、図９において、（カム半径Ｒ 1 ＜カム半径Ｒ2 ）で
ある。そして、各溝カム６ａが成す角度は、９０°より
も少し大きい。
【０００４】図８及び図９に示されるように、前記ロッ
クプレート７の基端部（ディスク板６の側の端部）に取
付けられた連結ピン７ａが、前記溝カム６ａに嵌合され
ている。この連結ピン７ａは、ディスク板６の回動に従
って、溝カム６ａ内を移動される。また、ディスク板６
の正面側には、一対の係合突起体８が、所定の間隔をお
いて突設されている。錠装置Ｂが施錠された状態におい
て、一対の係合突起体８は、起立状態に配置されてい
る。そして、前記蓋体３において、前記一対の係合突起
体８と対応する部分には、鍵装置Ｄ（後述）を構成する
鍵部材９の先端部（ラッチキー９ａ）を、蓋体３の内部
に進入させるための鍵穴１１が設けられている。この鍵
穴１１は、一対の係合突起体８の内幅よりも僅かに広
い。
クプレート７の基端部（ディスク板６の側の端部）に取
付けられた連結ピン７ａが、前記溝カム６ａに嵌合され
ている。この連結ピン７ａは、ディスク板６の回動に従
って、溝カム６ａ内を移動される。また、ディスク板６
の正面側には、一対の係合突起体８が、所定の間隔をお
いて突設されている。錠装置Ｂが施錠された状態におい
て、一対の係合突起体８は、起立状態に配置されてい
る。そして、前記蓋体３において、前記一対の係合突起
体８と対応する部分には、鍵装置Ｄ（後述）を構成する
鍵部材９の先端部（ラッチキー９ａ）を、蓋体３の内部
に進入させるための鍵穴１１が設けられている。この鍵
穴１１は、一対の係合突起体８の内幅よりも僅かに広
い。
【０００５】この錠装置Ｂは、上下のロックプレート７
の先端部（即ち、各ロックプレート７の上下端部）が、
ウェハキャリアＣのキャリア本体４に設けられた嵌合穴
１２に嵌合されることによって施錠される構成である。
上側のロックプレート７が嵌合穴１２に嵌合された状態
（即ち、蓋体３が施錠された状態）を図１０に示し、同
じく、嵌合穴１２から離脱された状態（即ち、蓋体３が
解錠された状態）を図１１に示す。次に、解錠状態の蓋
体３を施錠するときの作用について説明する。ここで、
蓋体３が「解錠状態」とは、図１６に示されるように、
一対の係合突起体８の間にラッチキー９ａが進入し、そ
のまま９０°回動された状態をいう。このとき、一対の
係合突起体８は、水平な状態に配置されている。
の先端部（即ち、各ロックプレート７の上下端部）が、
ウェハキャリアＣのキャリア本体４に設けられた嵌合穴
１２に嵌合されることによって施錠される構成である。
上側のロックプレート７が嵌合穴１２に嵌合された状態
（即ち、蓋体３が施錠された状態）を図１０に示し、同
じく、嵌合穴１２から離脱された状態（即ち、蓋体３が
解錠された状態）を図１１に示す。次に、解錠状態の蓋
体３を施錠するときの作用について説明する。ここで、
蓋体３が「解錠状態」とは、図１６に示されるように、
一対の係合突起体８の間にラッチキー９ａが進入し、そ
のまま９０°回動された状態をいう。このとき、一対の
係合突起体８は、水平な状態に配置されている。
【０００６】図１７及び図１８に示されるように、蓋体
３を施錠するために、ラッチキー９ａが反時計回りの方
向（矢印Ｑ2 の方向）に回動される。それに伴い、溝カ
ム６ａのカム半径Ｒ2 が徐々に大きくなるため、上下の
ロックプレート７の基端部が互いに離間する。すると、
各ロックプレート７の先端部が、キャリア本体４に設け
られた各嵌合穴１２に進入して嵌合されるため、蓋体３
が施錠される。蓋体３を解錠する場合には、上記と逆の
操作が行なわれる。なお、図８において、１３は、蓋体
３とキャリア本体４との気密を保持するためのゴムリン
グである。
３を施錠するために、ラッチキー９ａが反時計回りの方
向（矢印Ｑ2 の方向）に回動される。それに伴い、溝カ
ム６ａのカム半径Ｒ2 が徐々に大きくなるため、上下の
ロックプレート７の基端部が互いに離間する。すると、
各ロックプレート７の先端部が、キャリア本体４に設け
られた各嵌合穴１２に進入して嵌合されるため、蓋体３
が施錠される。蓋体３を解錠する場合には、上記と逆の
操作が行なわれる。なお、図８において、１３は、蓋体
３とキャリア本体４との気密を保持するためのゴムリン
グである。
【０００７】ここで、図１６に示されるように、一対の
係合突起体８とラッチキー９ａとの間には、当然のこと
ながら、僅かな隙間ｅが形成されている。このため、蓋
体３を施錠するに当たり、ラッチキー９ａを９０°だけ
回動させても、該ラッチキー９ａの回動が終了したとき
に、一対の係合突起体８が起立状態に配置されず、前記
隙間ｅに対応する角度だけ傾いた状態で配置される場合
がある。その状態を、図１８に示す。ウェハキャリアＣ
が、このままの状態で次工程に搬送され、蓋体３の解錠
を行なうためにラッチキー９ａを進入させたときに、一
対の係合突起体８とラッチキー９ａとが干渉するおそれ
がある。
係合突起体８とラッチキー９ａとの間には、当然のこと
ながら、僅かな隙間ｅが形成されている。このため、蓋
体３を施錠するに当たり、ラッチキー９ａを９０°だけ
回動させても、該ラッチキー９ａの回動が終了したとき
に、一対の係合突起体８が起立状態に配置されず、前記
隙間ｅに対応する角度だけ傾いた状態で配置される場合
がある。その状態を、図１８に示す。ウェハキャリアＣ
が、このままの状態で次工程に搬送され、蓋体３の解錠
を行なうためにラッチキー９ａを進入させたときに、一
対の係合突起体８とラッチキー９ａとが干渉するおそれ
がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、ウェハキャリアの蓋体を着脱するために、
蓋体の錠装置の被係合部に鍵部材を係合させるとき、両
者が干渉しないようにすることを課題としている。
具合に鑑み、ウェハキャリアの蓋体を着脱するために、
蓋体の錠装置の被係合部に鍵部材を係合させるとき、両
者が干渉しないようにすることを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の請求項１に記載の発明は、ロードポート装置に設置さ
れたウェハキャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に進
退動を行う蓋体保持板と、前記蓋体に設けられた錠装置
の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板の前面に突出した
状態で、該蓋体保持板に回動可能に支持された鍵部材と
を備え、前記錠装置に設けられた被係合部と前記鍵部材
とを係合させ、前記鍵部材を設定角度だけ回動させるこ
とにより蓋体を解錠し、そのまま蓋体保持板を進退動さ
せて前記蓋体を着脱する装置であって、前記鍵部材と前
記被係合部とを係合させ、駆動源によって水平移動され
る部材に取付けられたリンク機構により、前記鍵部材を
設定角度よりも超過するように回動させ、しかも、超過
した角度分だけ戻すように構成したことを特徴としてい
る。
の請求項１に記載の発明は、ロードポート装置に設置さ
れたウェハキャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に進
退動を行う蓋体保持板と、前記蓋体に設けられた錠装置
の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板の前面に突出した
状態で、該蓋体保持板に回動可能に支持された鍵部材と
を備え、前記錠装置に設けられた被係合部と前記鍵部材
とを係合させ、前記鍵部材を設定角度だけ回動させるこ
とにより蓋体を解錠し、そのまま蓋体保持板を進退動さ
せて前記蓋体を着脱する装置であって、前記鍵部材と前
記被係合部とを係合させ、駆動源によって水平移動され
る部材に取付けられたリンク機構により、前記鍵部材を
設定角度よりも超過するように回動させ、しかも、超過
した角度分だけ戻すように構成したことを特徴としてい
る。
【００１０】ウェハキャリアの蓋体には、錠装置が取付
けられていると共に、該蓋体の着脱装置には、前記錠装
置を操作して、蓋体を施錠、或いは解錠するための鍵装
置が取付けられている。ウェハキャリアの蓋体を着脱す
る場合、前記鍵部材により、施錠状態の錠装置が解錠さ
れる。このとき、施錠位置に配置された錠装置の被係合
部に係合された鍵部材が、駆動源によって水平移動され
る部材に取付けられたリンク機構により、設定角度だけ
回動される。鍵部材と被係合部との間には僅かな隙間が
存するため、鍵部材を設定角度だけ回動させても、被係
合部の回動角度が、前記設定角度よりも小さくなるおそ
れがある。しかし、本発明の場合、鍵部材は、駆動源に
よって水平移動される部材に取付けられたリンク機構に
より、前記隙間に対応する角度だけ設定角度よりも超過
して回動される（オーバードライブ）。このため、被係
合部は、常に設定角度だけ回動される。しかも、前記鍵
部材は、オーバードライブされた後、そのまま、前記隙
間に対応する角度だけ反対方向に回動されるため、該鍵
部材も設定角度だけ回動された位置に配置される。この
ため、前記鍵部材を、前記被係合部から離脱させたり、
次工程において進入させたりするときに、支障が生じる
ことはない。
けられていると共に、該蓋体の着脱装置には、前記錠装
置を操作して、蓋体を施錠、或いは解錠するための鍵装
置が取付けられている。ウェハキャリアの蓋体を着脱す
る場合、前記鍵部材により、施錠状態の錠装置が解錠さ
れる。このとき、施錠位置に配置された錠装置の被係合
部に係合された鍵部材が、駆動源によって水平移動され
る部材に取付けられたリンク機構により、設定角度だけ
回動される。鍵部材と被係合部との間には僅かな隙間が
存するため、鍵部材を設定角度だけ回動させても、被係
合部の回動角度が、前記設定角度よりも小さくなるおそ
れがある。しかし、本発明の場合、鍵部材は、駆動源に
よって水平移動される部材に取付けられたリンク機構に
より、前記隙間に対応する角度だけ設定角度よりも超過
して回動される（オーバードライブ）。このため、被係
合部は、常に設定角度だけ回動される。しかも、前記鍵
部材は、オーバードライブされた後、そのまま、前記隙
間に対応する角度だけ反対方向に回動されるため、該鍵
部材も設定角度だけ回動された位置に配置される。この
ため、前記鍵部材を、前記被係合部から離脱させたり、
次工程において進入させたりするときに、支障が生じる
ことはない。
【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明を前提として、前記鍵部材を設定角度よりも超過
するように回動させて戻すための操作は、前記水平移動
される部材を一方向に移動させることにより行なわれる
ことを特徴としている。このため、簡単な構成の装置に
より、前記鍵部材を回動させることができる。
の発明を前提として、前記鍵部材を設定角度よりも超過
するように回動させて戻すための操作は、前記水平移動
される部材を一方向に移動させることにより行なわれる
ことを特徴としている。このため、簡単な構成の装置に
より、前記鍵部材を回動させることができる。
【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明を前提として、前記駆動源は、空気圧シリンダで
あることを特徴としている。このため、駆動源の構成を
簡単なものにすることができると共に、安価にすること
ができる。
の発明を前提として、前記駆動源は、空気圧シリンダで
あることを特徴としている。このため、駆動源の構成を
簡単なものにすることができると共に、安価にすること
ができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を更
に詳細に説明する。図１は本発明に係るウェハキャリア
Ｃの蓋体３の着脱装置Ａが取付けられたロードポート装
置Ｌの側面図、図２は同じく背面図、図３は蓋体３と鍵
装置Ｄの斜視図、図４は蓋体３を保持した状態の鍵装置
Ｄの正面図、図５は一部を破断した鍵装置Ｄの平面図で
ある。最初に、ロードポート装置Ｌについて説明する。
図１及び図２に示されるように、ロードポート装置Ｌを
構成する装置本体１の上面には、該装置Ｌの前後方向に
沿ってガイドレール１４が敷設されている。このガイド
レール１４に装着されたガイド体１４ａの上面には、ウ
ェハキャリアＣを設置するためのキャリア設置板１５が
取付けられている。前記キャリア設置板１５は、空気圧
シリンダ１０のシリンダロッド（図示せず）に連結され
ている。前記空気圧シリンダ１０を作動させることによ
り、キャリア設置板１５に設置されたウェハキャリアＣ
を水平移動させて、蓋体保持板５に密着させることがで
きる。その状態のウェハキャリアＣを、図１において、
二点鎖線で示す。
に詳細に説明する。図１は本発明に係るウェハキャリア
Ｃの蓋体３の着脱装置Ａが取付けられたロードポート装
置Ｌの側面図、図２は同じく背面図、図３は蓋体３と鍵
装置Ｄの斜視図、図４は蓋体３を保持した状態の鍵装置
Ｄの正面図、図５は一部を破断した鍵装置Ｄの平面図で
ある。最初に、ロードポート装置Ｌについて説明する。
図１及び図２に示されるように、ロードポート装置Ｌを
構成する装置本体１の上面には、該装置Ｌの前後方向に
沿ってガイドレール１４が敷設されている。このガイド
レール１４に装着されたガイド体１４ａの上面には、ウ
ェハキャリアＣを設置するためのキャリア設置板１５が
取付けられている。前記キャリア設置板１５は、空気圧
シリンダ１０のシリンダロッド（図示せず）に連結され
ている。前記空気圧シリンダ１０を作動させることによ
り、キャリア設置板１５に設置されたウェハキャリアＣ
を水平移動させて、蓋体保持板５に密着させることがで
きる。その状態のウェハキャリアＣを、図１において、
二点鎖線で示す。
【００１４】次に、本発明に係る蓋体３の着脱装置Ａに
ついて説明する。最初に、鍵装置Ｄについて説明する。
図１ないし図３に示されるように、蓋体保持板５の背面
側（半導体製造措置Ｈの側）には、ウェハキャリアＣの
蓋体３を解錠するための鍵装置Ｄが配設されている。即
ち、図４及び図５に示されるように、蓋体保持板５のほ
ぼ中央部には、その水平方向に沿って一対の空気圧シリ
ンダ１６，１７が、相対向して取付けられている。各空
気圧シリンダ１６，１７のシリンダロッド１６a,１７a
の先端部は、連結ブラケット１８に取付けられていて、
該連結ブラケット１８の下端部には、スライド体１９が
取付けられている。このスライド体１９の直下の蓋体保
持板５には、台座部２１を介してガイドレール２２が固
着されていて、該ガイドレール２２にガイド体２２ａが
装着されている。前記スライド体１９は、ガイド体２２
ａと一体に取付けられているため、水平方向に沿って移
動可能である。即ち、一対の空気圧シリンダ１６，１７
のうち、一方側のシリンダロッド１６a,１７a を突出さ
せると共に、他方側のシリンダロッド１６a,１７aを引
っ込めると、スライド体１９は、ガイドレール２２にガ
イドされて水平移動される。前記蓋体保持板５は平板状
で、ウェハキャリアＣの蓋体３よりも少し大きく、しか
も前記蓋体３に相対向して取付けられている。
ついて説明する。最初に、鍵装置Ｄについて説明する。
図１ないし図３に示されるように、蓋体保持板５の背面
側（半導体製造措置Ｈの側）には、ウェハキャリアＣの
蓋体３を解錠するための鍵装置Ｄが配設されている。即
ち、図４及び図５に示されるように、蓋体保持板５のほ
ぼ中央部には、その水平方向に沿って一対の空気圧シリ
ンダ１６，１７が、相対向して取付けられている。各空
気圧シリンダ１６，１７のシリンダロッド１６a,１７a
の先端部は、連結ブラケット１８に取付けられていて、
該連結ブラケット１８の下端部には、スライド体１９が
取付けられている。このスライド体１９の直下の蓋体保
持板５には、台座部２１を介してガイドレール２２が固
着されていて、該ガイドレール２２にガイド体２２ａが
装着されている。前記スライド体１９は、ガイド体２２
ａと一体に取付けられているため、水平方向に沿って移
動可能である。即ち、一対の空気圧シリンダ１６，１７
のうち、一方側のシリンダロッド１６a,１７a を突出さ
せると共に、他方側のシリンダロッド１６a,１７aを引
っ込めると、スライド体１９は、ガイドレール２２にガ
イドされて水平移動される。前記蓋体保持板５は平板状
で、ウェハキャリアＣの蓋体３よりも少し大きく、しか
も前記蓋体３に相対向して取付けられている。
【００１５】前記スライド体１９の長手方向の両端部の
上面には、各連結板２３，２４が延設されている。各連
結板２３，２４の先端部には、それぞれ鍵装置本体部Ｋ
が設けられている。各鍵装置本体部Ｋの構成は同一なの
で、ここでは、連結板２３の側（図４の図面視における
右側）の鍵装置本体部Ｋの構成についてのみ説明する。
蓋体保持板５において、蓋体３に設けられた鍵穴１１と
対向する位置には、鍵部材９を通すための通し穴２５が
設けられている。そして、前記蓋体保持板５の背面側に
は、前記通し穴２５と対応する位置に、軸受支持体２６
が取付けられている。この軸受支持体２６には、鍵部材
９を回動可能に支持するための軸受２６ａが内装されて
いる。前記鍵部材９の先端部には、断面略長方形状のラ
ッチキー９ａが設けられていて、該ラッチキー９ａは、
蓋体保持板５における蓋体３の側の端面から突出されて
いる。
上面には、各連結板２３，２４が延設されている。各連
結板２３，２４の先端部には、それぞれ鍵装置本体部Ｋ
が設けられている。各鍵装置本体部Ｋの構成は同一なの
で、ここでは、連結板２３の側（図４の図面視における
右側）の鍵装置本体部Ｋの構成についてのみ説明する。
蓋体保持板５において、蓋体３に設けられた鍵穴１１と
対向する位置には、鍵部材９を通すための通し穴２５が
設けられている。そして、前記蓋体保持板５の背面側に
は、前記通し穴２５と対応する位置に、軸受支持体２６
が取付けられている。この軸受支持体２６には、鍵部材
９を回動可能に支持するための軸受２６ａが内装されて
いる。前記鍵部材９の先端部には、断面略長方形状のラ
ッチキー９ａが設けられていて、該ラッチキー９ａは、
蓋体保持板５における蓋体３の側の端面から突出されて
いる。
【００１６】前記鍵部材９の後端部は、軸受支持体２６
よりも突出されていて、当該部分に、長方形の板材より
成る支持板２７の一端部が固着されている。本実施例の
支持板２７は、その長手方向が、前記ラッチキー９ａの
長手方向と直交する形態で取付けられている。前記支持
板２７の他端部は、リンク板２８を介して、前記連結板
２３の先端部に取付けられている。そして、連結板２３
の先端部とリンク板２８との接続部、及び支持板２７と
リンク板２８との接続部は、それぞれの回動中心ＣＬ1,
ＣＬ2 を中心に回動自在である。本実施例のリンク板２
８は、一方側の空気圧シリンダ１６のシリンダロッド１
６ａが突出した状態、即ち、ラッチキー９ａが水平に配
置された状態で、右上がりに配置されている。また、前
記連結ブラケットの側方には、それぞれストッパボルト
２９a,２９b が取付けられている。
よりも突出されていて、当該部分に、長方形の板材より
成る支持板２７の一端部が固着されている。本実施例の
支持板２７は、その長手方向が、前記ラッチキー９ａの
長手方向と直交する形態で取付けられている。前記支持
板２７の他端部は、リンク板２８を介して、前記連結板
２３の先端部に取付けられている。そして、連結板２３
の先端部とリンク板２８との接続部、及び支持板２７と
リンク板２８との接続部は、それぞれの回動中心ＣＬ1,
ＣＬ2 を中心に回動自在である。本実施例のリンク板２
８は、一方側の空気圧シリンダ１６のシリンダロッド１
６ａが突出した状態、即ち、ラッチキー９ａが水平に配
置された状態で、右上がりに配置されている。また、前
記連結ブラケットの側方には、それぞれストッパボルト
２９a,２９b が取付けられている。
【００１７】次に、蓋体分離装置Ｅについて説明する。
図１及び図２に示されるように、装着板２における幅方
向のほぼ中央部には、高さ方向に沿ってロッドレスシリ
ンダ３１が配設されている。該ロッドレスシリンダ３１
の両側には、高さ方向に沿って一対のガイドレール３２
が配設されていて、それぞれにガイド体３２ａが装着さ
れている。前記ロッドレスシリンダ３１の移動体３１ａ
及び前記ガイド体３２ａには、ブラケット３３が固着さ
れている。ロッドレスシリンダ３１を作動させると、前
記ブラケット３３が昇降する。このブラケット３３の上
面には、ロードポート装置Ｌの前後方向に沿って２本の
ガイドレール３４が敷設されていて、それぞれにガイド
体３４ａが装着されている。各ガイド体３４ａの上面に
は、ブロック３５を介して蓋体保持板５が取付けられて
いる。そして、該蓋体保持板５は、前記ブラケット３３
の高さ方向にほぼ沿って取付けられた空気圧シリンダ３
６と、該空気圧シリンダ３６のシリンダロッド３６ａの
先端部に設けられたリンク機構（図示せず）により、ロ
ードポート装置Ｌの前後方向に沿って移動可能である。
なお、図２において、３８は、ブラケット３３の上昇端
と下降端を検出するためのスイッチである。
図１及び図２に示されるように、装着板２における幅方
向のほぼ中央部には、高さ方向に沿ってロッドレスシリ
ンダ３１が配設されている。該ロッドレスシリンダ３１
の両側には、高さ方向に沿って一対のガイドレール３２
が配設されていて、それぞれにガイド体３２ａが装着さ
れている。前記ロッドレスシリンダ３１の移動体３１ａ
及び前記ガイド体３２ａには、ブラケット３３が固着さ
れている。ロッドレスシリンダ３１を作動させると、前
記ブラケット３３が昇降する。このブラケット３３の上
面には、ロードポート装置Ｌの前後方向に沿って２本の
ガイドレール３４が敷設されていて、それぞれにガイド
体３４ａが装着されている。各ガイド体３４ａの上面に
は、ブロック３５を介して蓋体保持板５が取付けられて
いる。そして、該蓋体保持板５は、前記ブラケット３３
の高さ方向にほぼ沿って取付けられた空気圧シリンダ３
６と、該空気圧シリンダ３６のシリンダロッド３６ａの
先端部に設けられたリンク機構（図示せず）により、ロ
ードポート装置Ｌの前後方向に沿って移動可能である。
なお、図２において、３８は、ブラケット３３の上昇端
と下降端を検出するためのスイッチである。
【００１８】本発明に係る着脱装置Ａの作用について説
明する。本明細書では、蓋体保持板５に保持された蓋体
３をウェハキャリアＣに装着して、該蓋体３を施錠する
場合について説明する。図４、図５及び図１６に示され
るように、蓋体３が蓋体保持板５に保持されていると
き、ラッチキー９ａは、錠装置Ｂを構成する一対の係合
突起体８と係合されており、しかも、前記ラッチキー９
ａは水平に配置されている。即ち、ラッチキー９ａの長
手方向は、鍵穴１１の長手方向と直交した状態で配置さ
れていて、該ラッチキー９ａの抜け止めが図られてい
る。
明する。本明細書では、蓋体保持板５に保持された蓋体
３をウェハキャリアＣに装着して、該蓋体３を施錠する
場合について説明する。図４、図５及び図１６に示され
るように、蓋体３が蓋体保持板５に保持されていると
き、ラッチキー９ａは、錠装置Ｂを構成する一対の係合
突起体８と係合されており、しかも、前記ラッチキー９
ａは水平に配置されている。即ち、ラッチキー９ａの長
手方向は、鍵穴１１の長手方向と直交した状態で配置さ
れていて、該ラッチキー９ａの抜け止めが図られてい
る。
【００１９】図１に示されるように、蓋体分離装置Ｅを
作動させて、蓋体保持板５に保持された蓋体３をウェハ
キャリアＣに接近させ、キャリア本体４に装着する。そ
して、鍵装置Ｄを作動させる。即ち、図４に示されるよ
うに、他方側の空気圧シリンダ１７のシリンダロッド１
７ａを突出させると共に、一方側の空気圧シリンダ１６
のシリンダロッド１６ａを引っ込める。それに伴って、
スライド体１９がガイドレール２２にガイドされて、矢
印Ｑ1 の方向へ水平移動される。このときの鍵装置本体
部Ｋの作用について、更に詳細に説明する。
作動させて、蓋体保持板５に保持された蓋体３をウェハ
キャリアＣに接近させ、キャリア本体４に装着する。そ
して、鍵装置Ｄを作動させる。即ち、図４に示されるよ
うに、他方側の空気圧シリンダ１７のシリンダロッド１
７ａを突出させると共に、一方側の空気圧シリンダ１６
のシリンダロッド１６ａを引っ込める。それに伴って、
スライド体１９がガイドレール２２にガイドされて、矢
印Ｑ1 の方向へ水平移動される。このときの鍵装置本体
部Ｋの作用について、更に詳細に説明する。
【００２０】図１２に示されるように、スライド体１９
の水平移動に伴い、連結板２３も、矢印Ｑ1 の方向に水
平移動される。前記連結板２３の先端部には、当該部分
に設けられた回動中心ＣＬ1 を中心に、回動自在にして
リンク板２８の下端部が取付けられている。しかも、前
記リンク板２８の上端部は、回動中心ＣＬ2 を中心に、
回動自在にして支持板２７の下端部に取付けられてい
る。そして、前記支持板２７は、図５に示されるよう
に、軸受支持体２６に内装された軸受２６ａに、回動の
み可能な状態で支承された鍵部材９の後端部に固着され
ている。このため、鍵部材９は、回動中心ＣＬ3 （鍵部
材９の軸心）を中心として、反時計回りの方向（矢印Ｑ
2 の方向）に回動される。この結果、ラッチキー９ａも
同方向に回動される。
の水平移動に伴い、連結板２３も、矢印Ｑ1 の方向に水
平移動される。前記連結板２３の先端部には、当該部分
に設けられた回動中心ＣＬ1 を中心に、回動自在にして
リンク板２８の下端部が取付けられている。しかも、前
記リンク板２８の上端部は、回動中心ＣＬ2 を中心に、
回動自在にして支持板２７の下端部に取付けられてい
る。そして、前記支持板２７は、図５に示されるよう
に、軸受支持体２６に内装された軸受２６ａに、回動の
み可能な状態で支承された鍵部材９の後端部に固着され
ている。このため、鍵部材９は、回動中心ＣＬ3 （鍵部
材９の軸心）を中心として、反時計回りの方向（矢印Ｑ
2 の方向）に回動される。この結果、ラッチキー９ａも
同方向に回動される。
【００２１】ここで、図１６及び図１７に示されるよう
に、一対の係合突起体８とラッチキー９ａとの間には、
僅かな隙間ｅが設けられているため、ディスク板６は、
ラッチキー９ａが回動されても、前記隙間ｅの分だけ遅
れて回動される。この結果、スライド体１９が矢印Ｑ1
の方向に水平移動されて、図１３及び図１８に示される
ように、ラッチキー９ａが９０°回動されて起立状態に
配置されても、一対の係合突起体８が起立状態に配置さ
れない場合がある。ところが、本実施例の鍵装置Ｄの場
合、連結板２３は、更に水平移動される。このため、図
１４及び図１９に示されるように、連結板２３の長手方
向とリンク板２８の長手方向が直交するまで、ラッチキ
ー９ａは矢印Ｑ2 の方向に回動される（オーバードライ
ブ）。このとき、ラッチキー９ａがオーバードライブさ
れる角度（超過角度θ）は、一対の係合突起体８とラッ
チキー９ａとの隙間ｅに対応する角度である。このた
め、一対の係合突起体８は起立状態に配置される。
に、一対の係合突起体８とラッチキー９ａとの間には、
僅かな隙間ｅが設けられているため、ディスク板６は、
ラッチキー９ａが回動されても、前記隙間ｅの分だけ遅
れて回動される。この結果、スライド体１９が矢印Ｑ1
の方向に水平移動されて、図１３及び図１８に示される
ように、ラッチキー９ａが９０°回動されて起立状態に
配置されても、一対の係合突起体８が起立状態に配置さ
れない場合がある。ところが、本実施例の鍵装置Ｄの場
合、連結板２３は、更に水平移動される。このため、図
１４及び図１９に示されるように、連結板２３の長手方
向とリンク板２８の長手方向が直交するまで、ラッチキ
ー９ａは矢印Ｑ2 の方向に回動される（オーバードライ
ブ）。このとき、ラッチキー９ａがオーバードライブさ
れる角度（超過角度θ）は、一対の係合突起体８とラッ
チキー９ａとの隙間ｅに対応する角度である。このた
め、一対の係合突起体８は起立状態に配置される。
【００２２】そして、連結板２３は、矢印Ｑ1 の方向
に、更に水平移動される。すると、リンク板２８が、再
び反対方向に傾けられて、ラッチキー９ａは時計回りの
方向（矢印Ｑ3 の方向）に回動される。図１５に示され
るように、前記連結板２３が前進端位置に到達したとき
（即ち、図４において、連結ブラケット１８が、一方側
のストッパボルト２９ａに当接したとき）、ラッチキー
９ａは起立状態に配置される。図１９に示されるよう
に、ラッチキー９ａが矢印Ｑ3 の方向に回動されると
き、該ラッチキー９ａは、一対の係合突起体８との隙間
ｅ内で回動されるため、前記一対の係合突起体８は、起
立状態に配置されたままである。その状態を、図１９に
おいて二点鎖線で示す。
に、更に水平移動される。すると、リンク板２８が、再
び反対方向に傾けられて、ラッチキー９ａは時計回りの
方向（矢印Ｑ3 の方向）に回動される。図１５に示され
るように、前記連結板２３が前進端位置に到達したとき
（即ち、図４において、連結ブラケット１８が、一方側
のストッパボルト２９ａに当接したとき）、ラッチキー
９ａは起立状態に配置される。図１９に示されるよう
に、ラッチキー９ａが矢印Ｑ3 の方向に回動されると
き、該ラッチキー９ａは、一対の係合突起体８との隙間
ｅ内で回動されるため、前記一対の係合突起体８は、起
立状態に配置されたままである。その状態を、図１９に
おいて二点鎖線で示す。
【００２３】このようにして、キャリア本体４に装着さ
れた蓋体３が施錠される。続いて、蓋体分離装置Ｅを構
成する空気圧シリンダ３６を作動させ、蓋体保持板５を
後退させる。ラッチキー９ａは起立状態に配置されてい
るため、鍵穴１１を介して、そのまま蓋体３から離脱さ
せることができる。このとき、一対の係合突起体８は、
起立状態に配置されているため、該ウェハキャリアＣが
次工程に搬送され、その工程において蓋体３を解錠する
ためにラッチキー９ａを進入させるときに、一対の係合
突起体８とラッチキー９ａとが干渉することはない。
れた蓋体３が施錠される。続いて、蓋体分離装置Ｅを構
成する空気圧シリンダ３６を作動させ、蓋体保持板５を
後退させる。ラッチキー９ａは起立状態に配置されてい
るため、鍵穴１１を介して、そのまま蓋体３から離脱さ
せることができる。このとき、一対の係合突起体８は、
起立状態に配置されているため、該ウェハキャリアＣが
次工程に搬送され、その工程において蓋体３を解錠する
ためにラッチキー９ａを進入させるときに、一対の係合
突起体８とラッチキー９ａとが干渉することはない。
【００２４】上記したラッチキー９ａのオーバードライ
ブ、及び逆方向への回動操作は、連結板２３、支持板２
７及びリンク板２８から成るリンク機構により、スライ
ド体１９を一方向に移動させることで行なわれる。しか
も、この回動は、一工程で行なわれる。このため、鍵装
置Ｄの構成が極めて簡単なものとなる。更に、前記リン
ク機構を駆動させるための駆動源は、空気圧シリンダ１
６，１７である。このため、鍵装置Ｄを安価に構成でき
る。
ブ、及び逆方向への回動操作は、連結板２３、支持板２
７及びリンク板２８から成るリンク機構により、スライ
ド体１９を一方向に移動させることで行なわれる。しか
も、この回動は、一工程で行なわれる。このため、鍵装
置Ｄの構成が極めて簡単なものとなる。更に、前記リン
ク機構を駆動させるための駆動源は、空気圧シリンダ１
６，１７である。このため、鍵装置Ｄを安価に構成でき
る。
【００２５】
【発明の効果】本発明に係るウェハキャリア用蓋体の着
脱装置は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリ
アの蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋体保
持板と、前記蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、
かつ前記蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保
持板に回動可能に支持された鍵部材とを備え、前記錠装
置に設けられた被係合部と前記鍵部材とを係合させ、前
記鍵部材を設定角度だけ回動させることにより蓋体を解
錠し、そのまま蓋体保持板を進退動させて前記蓋体を着
脱する装置である。そして、前記鍵部材と前記被係合部
とを係合させ、駆動源によって水平移動される部材に取
付けられたリンク機構により、前記鍵部材を設定角度よ
りも超過するように回動させ、しかも、超過した角度分
だけ戻すように構成したことを特徴としている。このた
め、前記被係合部は、常に設定角度だけ回動され、この
状態で鍵部材との係合、及び離脱が行なわれる。この結
果、両者が干渉することがない。
脱装置は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリ
アの蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋体保
持板と、前記蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、
かつ前記蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保
持板に回動可能に支持された鍵部材とを備え、前記錠装
置に設けられた被係合部と前記鍵部材とを係合させ、前
記鍵部材を設定角度だけ回動させることにより蓋体を解
錠し、そのまま蓋体保持板を進退動させて前記蓋体を着
脱する装置である。そして、前記鍵部材と前記被係合部
とを係合させ、駆動源によって水平移動される部材に取
付けられたリンク機構により、前記鍵部材を設定角度よ
りも超過するように回動させ、しかも、超過した角度分
だけ戻すように構成したことを特徴としている。このた
め、前記被係合部は、常に設定角度だけ回動され、この
状態で鍵部材との係合、及び離脱が行なわれる。この結
果、両者が干渉することがない。
【図１】本発明に係るウェハキャリアＣの蓋体３の着脱
装置Ａが取付けられたロードポート装置Ｌの側面図であ
る。
装置Ａが取付けられたロードポート装置Ｌの側面図であ
る。
【図２】同じく背面図である。
【図３】蓋体３と鍵装置Ｄの斜視図である。
【図４】蓋体３を保持した状態の鍵装置Ｄの正面図であ
る。
る。
【図５】一部を破断した鍵装置Ｄの平面図である。
【図６】一部を破断したウェハキャリアＣの斜視図であ
る。
る。
【図７】同じく正面図である。
【図８】同じく側面図である。
【図９】錠装置Ｂの要部の拡大正面図である。
【図１０】蓋体３が施錠された状態の側面断面図であ
る。
る。
【図１１】同じく解錠された状態の側面断面図である。
【図１２】連結板２３を水平移動させ、ラッチキー９ａ
を回動させる状態の作用説明図である。
を回動させる状態の作用説明図である。
【図１３】ラッチキー９ａを９０°だけ回動させた状態
の作用説明図である。
の作用説明図である。
【図１４】ラッチキー９ａをオーバードライブさせた状
態の作用説明図である。
態の作用説明図である。
【図１５】ラッチキー９ａを逆方向に回動させた状態の
作用説明図である。
作用説明図である。
【図１６】蓋体３の解錠状態における錠装置Ｂの正面図
である。
である。
【図１７】図１２の状態における錠装置Ｂの作用説明図
である。
である。
【図１８】図１３の状態における錠装置Ｂの作用説明図
である。
である。
【図１９】図１４及び図１５の状態における錠装置Ｂの
作用説明図である。
作用説明図である。
Ａ：着脱装置 Ｂ：錠装置 Ｃ：ウェハキャリア Ｄ：鍵装置（着脱装置） Ｅ：蓋体分離装置（着脱装置） Ｌ：ロードポート装置 θ：超過角度 １：装置本体 ２：装着板 ３：蓋体 ５：蓋体保持板 ８：係合突起体（被係合部） ９：鍵部材 ９ａ：ラッチキー（鍵部材） １１：鍵穴 １６，１７：空気圧シリンダ １９：スライド体（水平移動される部材） ２３，２４：連結板（リンク機構） ２７：支持板（リンク機構） ２８：リンク板（リンク機構）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡 寛樹 東京都港区赤坂五丁目３番６号 ＴＢＳ放 送センター 東京エレクトロン株式会社内 (72)発明者 谷山 育志 愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地 神 鋼電機株式会社豊橋事業所内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA08 EA12 EA14 LA15 NA10
Claims (3)
- 【請求項１】 ロードポート装置に設置されたウェハキ
ャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋
体保持板と、 前記蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、かつ前記
蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保持板に回
動可能に支持された鍵部材とを備え、 前記錠装置に設けられた被係合部と前記鍵部材とを係合
させ、前記鍵部材を設定角度だけ回動させることにより
蓋体を解錠し、そのまま蓋体保持板を進退動させて前記
蓋体を着脱する装置であって、 前記鍵部材と前記被係合部とを係合させ、駆動源によっ
て水平移動される部材に取付けられたリンク機構によ
り、前記鍵部材を設定角度よりも超過するように回動さ
せ、しかも、超過した角度分だけ戻すように構成したこ
とを特徴とするウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項２】 前記鍵部材を設定角度よりも超過するよ
うに回動させて戻すための操作は、前記水平移動される
部材を一方向に移動させることにより行なわれることを
特徴とする請求項１に記載のウェハキャリア用蓋体の着
脱装置。 - 【請求項３】 前記駆動源は、空気圧シリンダであるこ
とを特徴とする請求項１又は２に記載のウェハキャリア
用蓋体の着脱装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001161558A JP4447184B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | ウェハキャリア用蓋体の着脱装置 |
| US10/155,994 US20020179892A1 (en) | 2001-05-30 | 2002-05-29 | Apparatus for detaching/attaching wafer carrier lid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001161558A JP4447184B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | ウェハキャリア用蓋体の着脱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002353289A true JP2002353289A (ja) | 2002-12-06 |
| JP4447184B2 JP4447184B2 (ja) | 2010-04-07 |
Family
ID=19004815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001161558A Expired - Fee Related JP4447184B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | ウェハキャリア用蓋体の着脱装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020179892A1 (ja) |
| JP (1) | JP4447184B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8414242B2 (en) | 2008-10-16 | 2013-04-09 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and processing method |
| JP2017037945A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 収納容器の蓋体及び収納容器 |
| JP2023537342A (ja) * | 2020-08-21 | 2023-08-31 | 北京北方華創微電子装備有限公司 | 半導体加工装置のアンロック機構、半導体加工装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5727609B2 (ja) * | 2011-07-06 | 2015-06-03 | 平田機工株式会社 | 容器開閉装置 |
| JP5993252B2 (ja) * | 2012-09-06 | 2016-09-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 蓋体開閉装置及びこれを用いた熱処理装置、並びに蓋体開閉方法 |
| CN104576461A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 晶圆存储盒开盖装置 |
| CN111734223B (zh) * | 2020-07-06 | 2021-07-30 | 颀中科技（苏州）有限公司 | 晶舟开锁工具 |
-
2001
- 2001-05-30 JP JP2001161558A patent/JP4447184B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-05-29 US US10/155,994 patent/US20020179892A1/en not_active Abandoned
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8414242B2 (en) | 2008-10-16 | 2013-04-09 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and processing method |
| JP2017037945A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 収納容器の蓋体及び収納容器 |
| JP2023537342A (ja) * | 2020-08-21 | 2023-08-31 | 北京北方華創微電子装備有限公司 | 半導体加工装置のアンロック機構、半導体加工装置 |
| JP7402379B2 (ja) | 2020-08-21 | 2023-12-20 | 北京北方華創微電子装備有限公司 | 半導体加工装置のアンロック機構、半導体加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020179892A1 (en) | 2002-12-05 |
| JP4447184B2 (ja) | 2010-04-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR19990013439A (ko) | 잠그는 도어가있는 운송모듈 | |
| JP2002353289A (ja) | ウェハキャリア用蓋体の着脱装置 | |
| US20200248331A1 (en) | Workpiece Holding Jig and Loading and Unloading Apparatus | |
| JP3965809B2 (ja) | ウェハキャリア用蓋体の着脱移動装置、及び被移動体の水平移動装置 | |
| JP4168724B2 (ja) | ロードポート | |
| KR101879728B1 (ko) | 더블형 기판 이송용 지그 | |
| JP3904772B2 (ja) | 精密基板収納容器 | |
| JP3550385B2 (ja) | 回転乾燥装置におけるウエハ保持機構 | |
| JPS61184148A (ja) | 自動車用ワイパ−装置 | |
| JP2003303869A (ja) | 基板搬送装置における蓋部材開閉装置 | |
| JP4229549B2 (ja) | ロック機構 | |
| JP3559954B2 (ja) | プッシュラッチ取付構造 | |
| JPH04183637A (ja) | 脱着式ルーフの支持構造 | |
| KR20010058722A (ko) | 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치 | |
| JP2004216462A (ja) | ターンテーブルの位置決め機構 | |
| KR20050049766A (ko) | 웨이퍼 이송 용기의 오프너 | |
| JPH0774478A (ja) | ラッチ装置 | |
| KR200176968Y1 (ko) | 리드 프레임 역전장치 | |
| JPH10108325A (ja) | 引出形の電気機器ユニットのロック装置 | |
| KR20020071828A (ko) | 후프 오프너의 후프도어 개폐장치 | |
| KR200277741Y1 (ko) | 도어용 보조잠금장치 | |
| KR100757144B1 (ko) | Ｓｍｉｆ 장비의 모터 동력전달 장치 | |
| KR100355769B1 (ko) | 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 | |
| KR101353494B1 (ko) | 점검개구 개폐장치 및 이 장치를 갖춘 평판표시소자제조장치 | |
| KR100330479B1 (ko) | 웨이퍼가 정렬된 캐리어를 수납하기 위한 파드 도어와 캐리어를 보호하기 위한 캐리어 커버를 체결시키기 위한 체결 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070921 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091015 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091218 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100119 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100120 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130129 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130129 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140129 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |