JP2002353147A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- JP2002353147A JP2002353147A JP2001154341A JP2001154341A JP2002353147A JP 2002353147 A JP2002353147 A JP 2002353147A JP 2001154341 A JP2001154341 A JP 2001154341A JP 2001154341 A JP2001154341 A JP 2001154341A JP 2002353147 A JP2002353147 A JP 2002353147A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 配管の過温度を過温度防止回路が一度検出し
たら、リセットされるまで、その検出を保持し、警報を
発生継続する半導体製造装置を提供する。 【解決手段】 本発明の半導体製造装置は、過温度防止
回路１０が過温度発生を検出して、配管ヒータ１１への
電源供給を停止するとき、過温度発生検出器も過温度発
生を検出し、その検出をインターロック回路２０がリセ
ットされるまで保持する。したがって、配管の温度が低
下し、過温度防止回路が過温度を検出しなくなっても、
インターロック回路は、リセットされるまでは過温度が
既に発生したことを保持している。このことにより、例
えば、インターロック回路を警報の発生に利用すれば、
過温度防止回路の動作とは独立して、リセットされるま
で警報を出し続け、オペレータなどが直ちに異常発生を
認識し、適切な処置を行うことを可能にできる。
たら、リセットされるまで、その検出を保持し、警報を
発生継続する半導体製造装置を提供する。 【解決手段】 本発明の半導体製造装置は、過温度防止
回路１０が過温度発生を検出して、配管ヒータ１１への
電源供給を停止するとき、過温度発生検出器も過温度発
生を検出し、その検出をインターロック回路２０がリセ
ットされるまで保持する。したがって、配管の温度が低
下し、過温度防止回路が過温度を検出しなくなっても、
インターロック回路は、リセットされるまでは過温度が
既に発生したことを保持している。このことにより、例
えば、インターロック回路を警報の発生に利用すれば、
過温度防止回路の動作とは独立して、リセットされるま
で警報を出し続け、オペレータなどが直ちに異常発生を
認識し、適切な処置を行うことを可能にできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置に関
し、特に、配管ヒータによる配管の加熱により、配管の
温度が過温度閾値に到達したときには、配管ヒータへの
電源供給を遮断する過温度防止回路を備えた半導体製造
装置に関する。
し、特に、配管ヒータによる配管の加熱により、配管の
温度が過温度閾値に到達したときには、配管ヒータへの
電源供給を遮断する過温度防止回路を備えた半導体製造
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、この種の半導体製造装置におい
て用いられる従来の過温度防止回路（過温度防止用スイ
ッチ）を示す回路図である。半導体製造装置において、
多くの配管には配管ヒータが用いられており、この配管
ヒータによる加熱は、配管を所望の温度範囲に保つよう
に設計されているが、何らかの原因で配管が所望の温度
範囲を超えて過温度状態になってしまうことがある。そ
こで、図２のように、その過温度を防止するために、配
管ヒータ３１の電力（例えば、ＡＣ１００Ｖ）の供給ラ
インに直列に過温度防止回路３０のバイメタルスイッチ
３２を接続し、配管ヒータ３１とともに配管に装着して
いる。上述のような構成により、配管の温度が過温度閾
値に達しないときは、バイメタルスイッチ３２はオン状
態で、配管ヒータに通常の制御下の電力が供給され、配
管ヒータ３１による配管の加熱が行われる。しかし、配
管の温度が過温度閾値以上であると、バイメタルスイッ
チ３２はオフ状態になり、配管ヒータ３１への電力供給
が遮断される。したがって、配管は過温度状態から保護
される。
て用いられる従来の過温度防止回路（過温度防止用スイ
ッチ）を示す回路図である。半導体製造装置において、
多くの配管には配管ヒータが用いられており、この配管
ヒータによる加熱は、配管を所望の温度範囲に保つよう
に設計されているが、何らかの原因で配管が所望の温度
範囲を超えて過温度状態になってしまうことがある。そ
こで、図２のように、その過温度を防止するために、配
管ヒータ３１の電力（例えば、ＡＣ１００Ｖ）の供給ラ
インに直列に過温度防止回路３０のバイメタルスイッチ
３２を接続し、配管ヒータ３１とともに配管に装着して
いる。上述のような構成により、配管の温度が過温度閾
値に達しないときは、バイメタルスイッチ３２はオン状
態で、配管ヒータに通常の制御下の電力が供給され、配
管ヒータ３１による配管の加熱が行われる。しかし、配
管の温度が過温度閾値以上であると、バイメタルスイッ
チ３２はオフ状態になり、配管ヒータ３１への電力供給
が遮断される。したがって、配管は過温度状態から保護
される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の半導体装置においては、配管ヒータへの電源供給ライ
ンにバイメタルスイッチを接続することにより、配管が
万一過温度状態になった場合には、配管ヒータへの電力
供給を遮断するようにしている。しかし、電力供給の遮
断後に配管温度が低下すると、再びバイメタルスイッチ
は、オン状態になり通常の電力供給が再開され、オペレ
ータが何らかの対応を行わない限り、バイメタルスイッ
チは、オン／オフの切り換え動作を繰り返すことなる。
このように、過温度状態が発生して過温度防止回路のバ
イメタルスイッチがオフとなり、オペレータが配管ヒー
タへの電源供給を停止すべき場合にも、オペレータがそ
れに気付かなければ、配管ヒータへの電源再供給（復
電）およびその遮断が繰り返し行われ、ついには、配管
ヒータの溶断などの重大事故を誘発してしまうことがあ
る。
の半導体装置においては、配管ヒータへの電源供給ライ
ンにバイメタルスイッチを接続することにより、配管が
万一過温度状態になった場合には、配管ヒータへの電力
供給を遮断するようにしている。しかし、電力供給の遮
断後に配管温度が低下すると、再びバイメタルスイッチ
は、オン状態になり通常の電力供給が再開され、オペレ
ータが何らかの対応を行わない限り、バイメタルスイッ
チは、オン／オフの切り換え動作を繰り返すことなる。
このように、過温度状態が発生して過温度防止回路のバ
イメタルスイッチがオフとなり、オペレータが配管ヒー
タへの電源供給を停止すべき場合にも、オペレータがそ
れに気付かなければ、配管ヒータへの電源再供給（復
電）およびその遮断が繰り返し行われ、ついには、配管
ヒータの溶断などの重大事故を誘発してしまうことがあ
る。
【０００４】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたものであって、配管ヒータによってもたらされた
配管の過温度状態を一度検出したら、リセットされない
限り、警報音などの発生を継続し、オペレータなどによ
る適切な処置を求めることができる半導体製造装置を提
供することを目的とする。
されたものであって、配管ヒータによってもたらされた
配管の過温度状態を一度検出したら、リセットされない
限り、警報音などの発生を継続し、オペレータなどによ
る適切な処置を求めることができる半導体製造装置を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、本発明は、配管ヒータによる配管の加熱によ
り、配管の温度が過温度に到達した場合に、前記配管ヒ
ータへの電源供給を遮断する過温度防止用スイッチを備
えた半導体製造装置において、前記過温度防止用スイッ
チが前記電源供給を遮断すべく作動したことを検出する
ための手段を備えたことを特徴とする。
ために、本発明は、配管ヒータによる配管の加熱によ
り、配管の温度が過温度に到達した場合に、前記配管ヒ
ータへの電源供給を遮断する過温度防止用スイッチを備
えた半導体製造装置において、前記過温度防止用スイッ
チが前記電源供給を遮断すべく作動したことを検出する
ための手段を備えたことを特徴とする。
【０００６】なお、本発明の実施の形態では、配管ヒー
タ１１による配管の加熱により、配管の温度が過温度閾
値に到達したときには、配管ヒータ１１への電源供給を
遮断する過温度防止回路（過温度防止用スイッチ）１０
を備えた半導体製造装置において、前記配管の温度が過
温度閾値に到達した過温度発生を検出する過温度発生検
出器２１と、過温度発生検出器２１が過温度発生を検出
したことをリセットが行われるまで保持するインターロ
ック回路２０とを有し、本発明の手段を過温度発生検出
器２１と、インターロック回路２０とで構成している。
タ１１による配管の加熱により、配管の温度が過温度閾
値に到達したときには、配管ヒータ１１への電源供給を
遮断する過温度防止回路（過温度防止用スイッチ）１０
を備えた半導体製造装置において、前記配管の温度が過
温度閾値に到達した過温度発生を検出する過温度発生検
出器２１と、過温度発生検出器２１が過温度発生を検出
したことをリセットが行われるまで保持するインターロ
ック回路２０とを有し、本発明の手段を過温度発生検出
器２１と、インターロック回路２０とで構成している。
【０００７】そして、このような構成によれば、過温度
防止回路（過温度防止用スイッチ）が過温度発生を検出
して、配管ヒータへの電源供給を停止したことを検出で
きるので、初期的な異常状態の発生が容易に検出でき
る。また、実施の形態においては、過温度発生検出器も
過温度発生を検出し、その検出をインターロック回路が
リセットされるまで保持するようにしている。すなわ
ち、過温度防止回路が電源供給を停止して、配管の温度
が低下し、過温度を検出しなくなっても、インターロッ
ク回路は過温度が既に発生したことを保持している。従
って、例えば、インターロック回路を警報の発生に利用
すれば、過温度防止回路の動作とは独立して、インター
ロック回路はリセットされるまで警報を出し続ける。
防止回路（過温度防止用スイッチ）が過温度発生を検出
して、配管ヒータへの電源供給を停止したことを検出で
きるので、初期的な異常状態の発生が容易に検出でき
る。また、実施の形態においては、過温度発生検出器も
過温度発生を検出し、その検出をインターロック回路が
リセットされるまで保持するようにしている。すなわ
ち、過温度防止回路が電源供給を停止して、配管の温度
が低下し、過温度を検出しなくなっても、インターロッ
ク回路は過温度が既に発生したことを保持している。従
って、例えば、インターロック回路を警報の発生に利用
すれば、過温度防止回路の動作とは独立して、インター
ロック回路はリセットされるまで警報を出し続ける。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面に基づいて説明する。図１は、本発明の半導
体製造装置において用いられる配管ヒータ、過温度防止
回路（過温度防止用スイッチ）、過温度発生検出器、お
よび、インターロック回路を示す回路図である。図１の
過温度防止回路１０は、バイメタルスイッチ１２を用い
ており、図２の過温度防止回路３０と実質的に同じよう
に構成されている。また、過温度防止回路１０とは別体
として配置された過温度発生検出器２１は、バイメタル
スイッチ２２を用いているが、このバイメタルスイッチ
２２は、過温度防止回路１０のバイメタルスイッチ１２
と同じ機能を有し、同じような温度に保たれる環境に配
置されているものとする。また、過温度発生検出器２１
のバイメタルスイッチ２２は、インターロック回路２０
に接続されている。
て添付図面に基づいて説明する。図１は、本発明の半導
体製造装置において用いられる配管ヒータ、過温度防止
回路（過温度防止用スイッチ）、過温度発生検出器、お
よび、インターロック回路を示す回路図である。図１の
過温度防止回路１０は、バイメタルスイッチ１２を用い
ており、図２の過温度防止回路３０と実質的に同じよう
に構成されている。また、過温度防止回路１０とは別体
として配置された過温度発生検出器２１は、バイメタル
スイッチ２２を用いているが、このバイメタルスイッチ
２２は、過温度防止回路１０のバイメタルスイッチ１２
と同じ機能を有し、同じような温度に保たれる環境に配
置されているものとする。また、過温度発生検出器２１
のバイメタルスイッチ２２は、インターロック回路２０
に接続されている。
【０００９】図１の回路において、電力（例えば、ＡＣ
１００Ｖ）は、過温度防止回路１０のバイメタルスイッ
チ１２を介して配管ヒータ１１に供給されている。した
がって、配管ヒータ１１とバイメタルスイッチ１２，２
２とが装着された配管（不図示）の温度が過温度閾値に
達しないときは、バイメタルスイッチ１２，２２はオン
状態で、配管ヒータ１１にはバイメタルスイッチ１２を
介して、通常の制御下の電力が供給され、配管が所望の
温度範囲にあるように、配管ヒータ１１による配管の加
熱が行われる。配管の温度がこのような状態の場合、イ
ンターロック回路２０は、過温度発生検出器２１のバイ
メタルスイッチ２２がオンであることを検出して配管の
加熱の状態は正常であると判断し、警報は発生しない。
１００Ｖ）は、過温度防止回路１０のバイメタルスイッ
チ１２を介して配管ヒータ１１に供給されている。した
がって、配管ヒータ１１とバイメタルスイッチ１２，２
２とが装着された配管（不図示）の温度が過温度閾値に
達しないときは、バイメタルスイッチ１２，２２はオン
状態で、配管ヒータ１１にはバイメタルスイッチ１２を
介して、通常の制御下の電力が供給され、配管が所望の
温度範囲にあるように、配管ヒータ１１による配管の加
熱が行われる。配管の温度がこのような状態の場合、イ
ンターロック回路２０は、過温度発生検出器２１のバイ
メタルスイッチ２２がオンであることを検出して配管の
加熱の状態は正常であると判断し、警報は発生しない。
【００１０】しかし、何らかの異常が発生して、配管の
温度が過温度閾値以上になると、バイメタルスイッチ１
２，２２はともにオフ状態になる。そこで、過温度防止
回路１０においては、バイメタルスイッチ１２を介して
の配管ヒータ１１への電力供給が遮断される。このと
き、インターロック回路２０は、過温度発生検出器２１
のバイメタルスイッチ２２がオフになったことを検出
し、リセットされるまで警報（警報音やディスプレイへ
の表示など）を発生させ、オペレータが直ちに異常発生
を認識し、適切な処置を行うことができるようにする。
したがって、1度でもバイメタルスイッチ２２がオフに
なれば、オペレータへの異常発生の通知を確実に行うこ
とができ、異常への早急な対応が可能となる。
温度が過温度閾値以上になると、バイメタルスイッチ１
２，２２はともにオフ状態になる。そこで、過温度防止
回路１０においては、バイメタルスイッチ１２を介して
の配管ヒータ１１への電力供給が遮断される。このと
き、インターロック回路２０は、過温度発生検出器２１
のバイメタルスイッチ２２がオフになったことを検出
し、リセットされるまで警報（警報音やディスプレイへ
の表示など）を発生させ、オペレータが直ちに異常発生
を認識し、適切な処置を行うことができるようにする。
したがって、1度でもバイメタルスイッチ２２がオフに
なれば、オペレータへの異常発生の通知を確実に行うこ
とができ、異常への早急な対応が可能となる。
【００１１】次に、他の実施の形態について説明する。
図１の例においては、過温度状態の検出のためにバイメ
タルスイッチ１２とは別体のバイメタルスイッチ２２を
用いることにより、簡単な構造で過温度に関連する異常
の発生について警報を発生させているが、これとは異な
り、バイメタルスイッチ１２の両端に印加されるＡＣ電
源の電圧を検出し、バイメタルスイッチ１２の両端に電
圧が発生したときに、過温度の発生を検出してもよい。
また、配管ヒータ１１への電源供給ラインに直列に電流
検出手段を挿入し、電源供給ラインに流れる電流が停止
したことを検出して、過温度の発生を検出してもよい。
図１の例においては、過温度状態の検出のためにバイメ
タルスイッチ１２とは別体のバイメタルスイッチ２２を
用いることにより、簡単な構造で過温度に関連する異常
の発生について警報を発生させているが、これとは異な
り、バイメタルスイッチ１２の両端に印加されるＡＣ電
源の電圧を検出し、バイメタルスイッチ１２の両端に電
圧が発生したときに、過温度の発生を検出してもよい。
また、配管ヒータ１１への電源供給ラインに直列に電流
検出手段を挿入し、電源供給ラインに流れる電流が停止
したことを検出して、過温度の発生を検出してもよい。
【００１２】以上に詳述したように、本発明の実施の形
態によれば、過温度防止回路が過温度発生を検出して、
配管ヒータへの電源供給を停止するとき、過温度発生検
出器も過温度発生を検出し、その検出をインターロック
回路がリセットされるまで保持する。したがって、過温
度防止回路が電源供給を停止して、配管の温度が低下
し、過温度を検出しなくなっても、インターロック回路
は過温度が既に発生したことを保持している。このこと
により、例えば、インターロック回路を警報の発生に利
用すれば、過温度防止回路の動作とは独立して、インタ
ーロック回路はリセットされるまで警報を出し続け、オ
ペレータなどが直ちに異常発生を認識し、適切な処置を
行うことを可能にできるという効果がある。
態によれば、過温度防止回路が過温度発生を検出して、
配管ヒータへの電源供給を停止するとき、過温度発生検
出器も過温度発生を検出し、その検出をインターロック
回路がリセットされるまで保持する。したがって、過温
度防止回路が電源供給を停止して、配管の温度が低下
し、過温度を検出しなくなっても、インターロック回路
は過温度が既に発生したことを保持している。このこと
により、例えば、インターロック回路を警報の発生に利
用すれば、過温度防止回路の動作とは独立して、インタ
ーロック回路はリセットされるまで警報を出し続け、オ
ペレータなどが直ちに異常発生を認識し、適切な処置を
行うことを可能にできるという効果がある。
【００１３】
【発明の効果】本発明の半導体製造装置は、以上におい
て説明したように構成されているので、過温度防止用ス
イッチが作動し、初期的な異常があったことが容易に知
り得、大きな故障や事故を未然に防止し得るという効果
を奏する。
て説明したように構成されているので、過温度防止用ス
イッチが作動し、初期的な異常があったことが容易に知
り得、大きな故障や事故を未然に防止し得るという効果
を奏する。
【図１】本発明の半導体製造装置において用いられる過
温度防止回路、過温度発生検出器、およびインターロッ
ク回路を示す回路図である。
温度防止回路、過温度発生検出器、およびインターロッ
ク回路を示す回路図である。
【図２】従来の半導体製造装置において用いられる過温
度防止回路を示す回路図である。
度防止回路を示す回路図である。
１０ 過温度防止回路 １１ 配管ヒータ １２，２２ バイメタルスイッチ ２０ インターロック回路 ２１ 過温度発生検出器
Claims (1)
- 【請求項１】 配管ヒータによる配管の加熱により、配
管の温度が過温度に到達した場合に、前記配管ヒータへ
の電源供給を遮断する過温度防止用スイッチを備えた半
導体製造装置において、 前記過温度防止用スイッチが前記電源供給を遮断すべく
作動したことを検出するための手段を備えたことを特徴
とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001154341A JP2002353147A (ja) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001154341A JP2002353147A (ja) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002353147A true JP2002353147A (ja) | 2002-12-06 |
Family
ID=18998696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001154341A Withdrawn JP2002353147A (ja) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002353147A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009514207A (ja) * | 2005-11-01 | 2009-04-02 | スン， ヤン リー， | 廃棄ガス誘導装置 |
| CN113767463A (zh) * | 2019-04-30 | 2021-12-07 | 应用材料公司 | 低温可偏置基板支撑件 |
-
2001
- 2001-05-23 JP JP2001154341A patent/JP2002353147A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009514207A (ja) * | 2005-11-01 | 2009-04-02 | スン， ヤン リー， | 廃棄ガス誘導装置 |
| CN113767463A (zh) * | 2019-04-30 | 2021-12-07 | 应用材料公司 | 低温可偏置基板支撑件 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050930 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051109 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20070118 |