JP2002350480A - 電気検査治具。 - Google Patents
電気検査治具。Info
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- JP2002350480A JP2002350480A JP2001155066A JP2001155066A JP2002350480A JP 2002350480 A JP2002350480 A JP 2002350480A JP 2001155066 A JP2001155066 A JP 2001155066A JP 2001155066 A JP2001155066 A JP 2001155066A JP 2002350480 A JP2002350480 A JP 2002350480A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】各種高精細高密度配線基板の電気検査治具にお
ける従来の問題を解消するための課題は、（１）電極面
プローブと検査ポイントとの接触を安定化させること。
（２）検査治具の製作コストを削減すること。 【解決手段】導電性線材１５の先端面に所望の凹部２１
を形成し、凹部２１を導電性液体１６に浸け、導電性液
体１６を付着させ被検査物２の検査ポイント３に導電性
線材１５の凹部２１を合わせてステージの上駆動により
導電性線材１５と凹部２１に附着した導電性液体１６と
検査ポイント３により回路を構成して電気検査をする。
ける従来の問題を解消するための課題は、（１）電極面
プローブと検査ポイントとの接触を安定化させること。
（２）検査治具の製作コストを削減すること。 【解決手段】導電性線材１５の先端面に所望の凹部２１
を形成し、凹部２１を導電性液体１６に浸け、導電性液
体１６を付着させ被検査物２の検査ポイント３に導電性
線材１５の凹部２１を合わせてステージの上駆動により
導電性線材１５と凹部２１に附着した導電性液体１６と
検査ポイント３により回路を構成して電気検査をする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種高精細高密度配
線基板の電気検査に使用される電気検査治具に関する。
線基板の電気検査に使用される電気検査治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線板や各種半導体パッケージ
基板（ＴＡＢ，ＢＧＡ，ＣＳＰ等）の電気検査治具には
マイクロプローブを使ったもの、リジッドプローブを使
ったもの、異方性導電ゴムを使ったもの等がある。
基板（ＴＡＢ，ＢＧＡ，ＣＳＰ等）の電気検査治具には
マイクロプローブを使ったもの、リジッドプローブを使
ったもの、異方性導電ゴムを使ったもの等がある。
【０００３】図９は係る従来のマイクロプローブを使っ
た電気検査治具の側断面図の一例である。マイクロプロ
ーブを使った電気検査治具１はベースとなる板４に孔を
あけ、プローブ先端部５とスプリング６を直接孔にいれ
た構造となっている。
た電気検査治具の側断面図の一例である。マイクロプロ
ーブを使った電気検査治具１はベースとなる板４に孔を
あけ、プローブ先端部５とスプリング６を直接孔にいれ
た構造となっている。
【０００４】被検査物２（各種高精細高密度配線基板）
上部表面の検査ポイント３の位置に電気検査治具１のプ
ローブ先端部５を合わせて（図９ａ）、被検査物２が置
かれているいるステージの上下駆動する機構により、ス
テージを上方向に駆動して加圧により、（図９ｂ）スプ
リング６の上部及び下部のプローブ先端５を介して被検
査物２上部表面の検査ポイント３と検査機に備えたテス
ター部２０との回路を構成し電気検査が行われる。
上部表面の検査ポイント３の位置に電気検査治具１のプ
ローブ先端部５を合わせて（図９ａ）、被検査物２が置
かれているいるステージの上下駆動する機構により、ス
テージを上方向に駆動して加圧により、（図９ｂ）スプ
リング６の上部及び下部のプローブ先端５を介して被検
査物２上部表面の検査ポイント３と検査機に備えたテス
ター部２０との回路を構成し電気検査が行われる。
【０００５】この際に、所望の荷重を得ることができる
コイル状のスプリング６を入れなければならず、被検査
物２上部表面の検査ポイント３の細かいピッチの被検査
物２の検査は適当でないし、現状対応できるピッチは２
００μｍ程度である。
コイル状のスプリング６を入れなければならず、被検査
物２上部表面の検査ポイント３の細かいピッチの被検査
物２の検査は適当でないし、現状対応できるピッチは２
００μｍ程度である。
【０００６】図１０は係る従来のリジッドプローブを使
った電気検査治具の側断面図の一例である。リジッドプ
ローブ８を使った電気検査治具７はベースとなる板４に
孔をあけ、リジッドプローブ８を直接孔に入れた構造と
なっている。
った電気検査治具の側断面図の一例である。リジッドプ
ローブ８を使った電気検査治具７はベースとなる板４に
孔をあけ、リジッドプローブ８を直接孔に入れた構造と
なっている。
【０００７】被検査物２（各種高精細高密度配線基板）
上部表面の検査ポイント３の位置に電気検査治具７のリ
ジッドプローブ８先端部を合わせて（図１０ａ）、被検
査物２が置かれているステージの上下駆動する機構によ
り、ステージを上方向に駆動して、加圧により（図１０
ｂ）リジッドププローブ８を介して被検査物２上部表面
の検査ポイント３と検査機に備えたテスター部２０との
回路を構成し電気検査が行われる。
上部表面の検査ポイント３の位置に電気検査治具７のリ
ジッドプローブ８先端部を合わせて（図１０ａ）、被検
査物２が置かれているステージの上下駆動する機構によ
り、ステージを上方向に駆動して、加圧により（図１０
ｂ）リジッドププローブ８を介して被検査物２上部表面
の検査ポイント３と検査機に備えたテスター部２０との
回路を構成し電気検査が行われる。
【０００８】この際に、リジッドプローブ８は検査ポイ
ントの段差、リジッドプローブの加工時に発生する内部
応力、上下のベース板にあけられた孔のずれ等により変
形する。その為リジッドプローブ８はある程度の太さ、
或いは硬さが必要となり、現状対応できるピッチは１５
０μｍ〜２００μｍ程度である。
ントの段差、リジッドプローブの加工時に発生する内部
応力、上下のベース板にあけられた孔のずれ等により変
形する。その為リジッドプローブ８はある程度の太さ、
或いは硬さが必要となり、現状対応できるピッチは１５
０μｍ〜２００μｍ程度である。
【０００９】図１１に係る従来の偏在型異方性導電ゴム
を使った電気検査治具の側断面図の一例である。異方性
導電ゴムを使った電気検査治具９は偏在型異方性導電ゴ
ム層と検査ポイント変換板１３との構造からなり、又検
査機側には、検査機側プローブヘッド１４を経由してテ
スター部２０と回路構成する全体構造となっている。
を使った電気検査治具の側断面図の一例である。異方性
導電ゴムを使った電気検査治具９は偏在型異方性導電ゴ
ム層と検査ポイント変換板１３との構造からなり、又検
査機側には、検査機側プローブヘッド１４を経由してテ
スター部２０と回路構成する全体構造となっている。
【００１０】被検査物２（各種高精細高密度配線基板）
上部表面の検査ポイント３の位置に電気検査治具９の電
極１１を合わせて（図１１ａ）、被検査物２が置かれて
いるステージの上下駆動する機構により、ステージを上
方向に駆動して、加圧により（図１１ｂ）検査ポイント
変換板１３と検査側プローブヘッド１４を介して被検査
物２上部表面の検査ポイント３と検査機に備えたテスタ
ー部２０との回路を構成し電気検査が行われる。
上部表面の検査ポイント３の位置に電気検査治具９の電
極１１を合わせて（図１１ａ）、被検査物２が置かれて
いるステージの上下駆動する機構により、ステージを上
方向に駆動して、加圧により（図１１ｂ）検査ポイント
変換板１３と検査側プローブヘッド１４を介して被検査
物２上部表面の検査ポイント３と検査機に備えたテスタ
ー部２０との回路を構成し電気検査が行われる。
【００１１】この際に、偏在させて作った電極の間の絶
縁物１２の内部に導電性微粒子１０がわずかながら残っ
てしまい絶縁性が低下する。さらに、面接触という構造
的特徴から、検査ポイント３上にごみ等の異物、検査治
具のわずかなずれ等により、電極と検査ポイントの十分
な電気的接触が得られない。
縁物１２の内部に導電性微粒子１０がわずかながら残っ
てしまい絶縁性が低下する。さらに、面接触という構造
的特徴から、検査ポイント３上にごみ等の異物、検査治
具のわずかなずれ等により、電極と検査ポイントの十分
な電気的接触が得られない。
【００１２】検査ポイントが例えばエリアアレーの場
合、検査ポイント変換板１３を多層化の為、コストアッ
プとなる。
合、検査ポイント変換板１３を多層化の為、コストアッ
プとなる。
【００１３】従来の検査工程では、高精細高密度パター
ン配線を持つ被検査物２の検査対応では次の（１）〜
（２）に示すような問題がある。
ン配線を持つ被検査物２の検査対応では次の（１）〜
（２）に示すような問題がある。
【００１４】（１）プローブの先端と検査ポイントとの
接触が不安定となる。（２）電気検査治具の製作コスト
が高い。
接触が不安定となる。（２）電気検査治具の製作コスト
が高い。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は各種高精細高
密度配線基板の電気検査治具又はその検査治具を備えた
検査機における上記の従来の問題を解消するためになさ
れたものであり、本発明の課題は（１）電極面と検査ポ
イントとの接触が安定（２）電気検査治具の製作コスト
（高価な部品）の削減、により安価に高精細高密度配線
基板向けの電気検査治具を提供することを目的とする。
密度配線基板の電気検査治具又はその検査治具を備えた
検査機における上記の従来の問題を解消するためになさ
れたものであり、本発明の課題は（１）電極面と検査ポ
イントとの接触が安定（２）電気検査治具の製作コスト
（高価な部品）の削減、により安価に高精細高密度配線
基板向けの電気検査治具を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、各種高精細高密度配線基板の電気的不良の有無
を検査するための電気検査治具において、所定の位置に
配置した導電性線材の、被検査物の検査ポイントと接触
する側の先端に導電性液体を付着させて、被検査物に対
して電気的接触を得ることのできるようにしたことを特
徴とする電気検査治具ある。
発明は、各種高精細高密度配線基板の電気的不良の有無
を検査するための電気検査治具において、所定の位置に
配置した導電性線材の、被検査物の検査ポイントと接触
する側の先端に導電性液体を付着させて、被検査物に対
して電気的接触を得ることのできるようにしたことを特
徴とする電気検査治具ある。
【００１７】本発明の請求項２に係る発明は、各種高精
細高密度配線基板の電気的不良の有無を検査するための
電気検査治具において導電性線材１５の先端面に液体が
附着する凹部２１を備え、その凹部２１に導電性液体１
６を附着させる付着手段を有し、導電性線材１５とその
凹部２１に附着した導電性液体１６を介して被検査物２
上部表面の検査ポイント３とテスター部２０との回路を
構成し電気検査を可能とすることを特徴とする電気検査
治具である。
細高密度配線基板の電気的不良の有無を検査するための
電気検査治具において導電性線材１５の先端面に液体が
附着する凹部２１を備え、その凹部２１に導電性液体１
６を附着させる付着手段を有し、導電性線材１５とその
凹部２１に附着した導電性液体１６を介して被検査物２
上部表面の検査ポイント３とテスター部２０との回路を
構成し電気検査を可能とすることを特徴とする電気検査
治具である。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明は、図１〜図６は本発明の
請求項１に係る導電性液体を用いた検査治具の側断面図
であり、以下、図面を参照して本発明の実施の形態につ
いて説明する。
請求項１に係る導電性液体を用いた検査治具の側断面図
であり、以下、図面を参照して本発明の実施の形態につ
いて説明する。
【００１９】図１が基本的な形態であり、所定の厚さの
ベース板４の検査ポイントに対応する位置に孔をあけて
作製する。以下 ベース板４の事例を示す。
ベース板４の検査ポイントに対応する位置に孔をあけて
作製する。以下 ベース板４の事例を示す。
【００２０】図２はベース板４が厚く孔をあけることが
困難な場合、容易に孔をあけることのできる厚さのベー
ス板４を２枚に孔をあけ、それを上面と下面に所定の間
隔により構成配置したものである。又図には示していな
いが図２において治具の周辺部に導電性線材の破損防
止、異物混入防止の為のガード部材取り付けることも有
効である。
困難な場合、容易に孔をあけることのできる厚さのベー
ス板４を２枚に孔をあけ、それを上面と下面に所定の間
隔により構成配置したものである。又図には示していな
いが図２において治具の周辺部に導電性線材の破損防
止、異物混入防止の為のガード部材取り付けることも有
効である。
【００２１】図３は所定の間隔に配置された２枚のベー
ス板４の間に絶縁性充填物１８を充填したもので、外的
要因による導電性線材１５の破損や、２枚のベース板４
の間に導電性を有する異物が入り込むことによる疑似シ
ョートの発生を防ぐものである。
ス板４の間に絶縁性充填物１８を充填したもので、外的
要因による導電性線材１５の破損や、２枚のベース板４
の間に導電性を有する異物が入り込むことによる疑似シ
ョートの発生を防ぐものである。
【００２２】絶縁性充填物１８については材料として特
に制限はない。例えばエポキシ樹脂等が使用可能ある。
に制限はない。例えばエポキシ樹脂等が使用可能ある。
【００２３】図４は２枚のベース板４のいずれか一方が
ないもの、図５は２枚のベースの両方がないもので、図
６は複数のベース板４に全く同じ位置に、同じ孔あけを
行いそれを重ね合わせたもので絶縁性充填物１８の充填
が容易に行うことができない場合に有効である。
ないもの、図５は２枚のベースの両方がないもので、図
６は複数のベース板４に全く同じ位置に、同じ孔あけを
行いそれを重ね合わせたもので絶縁性充填物１８の充填
が容易に行うことができない場合に有効である。
【００２４】次にベース板４に明けた孔に導電性線材１
５を入れて固定する。固定の方法は導電性線材１５とベ
ース板４を固着できる接着剤等による固定が最も容易で
ある。例えば再溶融性のある接着剤を用いる方法よって
固定の場合には導電性線材１５の交換を行うことも可能
である。
５を入れて固定する。固定の方法は導電性線材１５とベ
ース板４を固着できる接着剤等による固定が最も容易で
ある。例えば再溶融性のある接着剤を用いる方法よって
固定の場合には導電性線材１５の交換を行うことも可能
である。
【００２５】導電性線材１５は所望の電気的導通が確保
できるものであれば特に制限はない。一般的に使用中に
曲がることがないので、バネ性を目的とした太さや硬さ
は不要である。例えば高速度鋼やピアノ線も使用可能で
ある。
できるものであれば特に制限はない。一般的に使用中に
曲がることがないので、バネ性を目的とした太さや硬さ
は不要である。例えば高速度鋼やピアノ線も使用可能で
ある。
【００２６】図７は 本発明に係る、導電性液体を用い
た電気検査治具の導電性線材先端の導電性液体を付着さ
せる凹部形成の手順を示す側断面図。図７ａに示すよう
に、所定の位置に孔を開けたベース板４に導電性線材１
５をエポキシ系の接着財で固定した側断面図である。次
に、図７ｂに示すように、導電性線材１５の検査ポイン
ト３と接触する側から導電性線材１５の先端断面を溶融
することのできるエッチング液体によって、所望の凹部
２１を形成する。例えば導電性線材が鉄系のものである
場合、塩化第二鉄等が使用可能であり、エッチングプロ
セスと同じように、エッチング液体の温度、濃度、溶融
時間等を管理することにより、凹部２１の深さを制御で
きる。凹部２１を形成した後、図７ｃに示すように、凹
部２１に導電性液体１６を付着させる。形成する凹部２
１の深さ、形状、表面状態の最適化により十分な量の導
電性液体１６を付着させることができる。
た電気検査治具の導電性線材先端の導電性液体を付着さ
せる凹部形成の手順を示す側断面図。図７ａに示すよう
に、所定の位置に孔を開けたベース板４に導電性線材１
５をエポキシ系の接着財で固定した側断面図である。次
に、図７ｂに示すように、導電性線材１５の検査ポイン
ト３と接触する側から導電性線材１５の先端断面を溶融
することのできるエッチング液体によって、所望の凹部
２１を形成する。例えば導電性線材が鉄系のものである
場合、塩化第二鉄等が使用可能であり、エッチングプロ
セスと同じように、エッチング液体の温度、濃度、溶融
時間等を管理することにより、凹部２１の深さを制御で
きる。凹部２１を形成した後、図７ｃに示すように、凹
部２１に導電性液体１６を付着させる。形成する凹部２
１の深さ、形状、表面状態の最適化により十分な量の導
電性液体１６を付着させることができる。
【００２７】導電性液体１６は水銀等の液体の金属、又
はイオン性の溶液、あるいは導電性の粒子を含むコロイ
ド溶液等、その他物性例えば表面張力、等使用できる。
被検査物２の電気検査を行う環境（例えば、被検査物２
の電気検査規格）において所望の導電性を有し、液相で
あるものであればよい。
はイオン性の溶液、あるいは導電性の粒子を含むコロイ
ド溶液等、その他物性例えば表面張力、等使用できる。
被検査物２の電気検査を行う環境（例えば、被検査物２
の電気検査規格）において所望の導電性を有し、液相で
あるものであればよい。
【００２８】図８は本発明に係る、導電性液体を用いた
電気検査治具を用いた検査機の検査手順を示す側断面図
である。使用する場合の概略手順は図８ａ〜図８ｅ示
す。８ａに示すように、電気検査治具を製作後、次に、
図８ｂに示すように、導電性線材１５の検査ポイント３
と接触する側に形成した凹部２１を導電性液体１６に浸
け、図８ｃに示すように、導電性線材１５の凹部２１に
導電性液体１６を付着させる。
電気検査治具を用いた検査機の検査手順を示す側断面図
である。使用する場合の概略手順は図８ａ〜図８ｅ示
す。８ａに示すように、電気検査治具を製作後、次に、
図８ｂに示すように、導電性線材１５の検査ポイント３
と接触する側に形成した凹部２１を導電性液体１６に浸
け、図８ｃに示すように、導電性線材１５の凹部２１に
導電性液体１６を付着させる。
【００２９】次に、図８ｄに示すように、被検査物２を
検査機のステージに置き、被検査物２（各種高精細高密
度配線基板）上部表面の検査ポイント３の位置に電気検
査治具１９の導電性線材１５の凹部２１を合わせて、被
検査物２が置かれているステージの上下駆動する機構に
より、ステージを上方向に駆動して軽く接触させること
により、導電性線材１５の凹部２１に附着した導電性液
体１６を介して被検査物２上部表面の検査ポイント３と
検査機に備えたテスター部２０との回路を構成し電気検
査が行われる。
検査機のステージに置き、被検査物２（各種高精細高密
度配線基板）上部表面の検査ポイント３の位置に電気検
査治具１９の導電性線材１５の凹部２１を合わせて、被
検査物２が置かれているステージの上下駆動する機構に
より、ステージを上方向に駆動して軽く接触させること
により、導電性線材１５の凹部２１に附着した導電性液
体１６を介して被検査物２上部表面の検査ポイント３と
検査機に備えたテスター部２０との回路を構成し電気検
査が行われる。
【００３０】
【発明の効果】本発明の導電性液体を使つた電気検査治
具は各種高精細高配線密度基板の電気検査のとき、検査
ポイントに段差がある場合も確実に電気的接触ができ検
査ができる。又電気検査治具の構造の変更により、バネ
性や硬さが不要となり、その効果により所望の電気抵抗
を満足する範囲で電気検査治具のピッチを細くすること
ができた。導電性線材はベース板に固定されているた
め、又は接触後の加圧が無い為に検査ポイントに接触し
ようとするとき、導電性線材の変形がなくなり、従来の
技術に比べ、本発明の導電性液体を用いた電気検査治具
を有した検査機を使用した高精細高密度配線基板の電気
検査の稼動率、及び検査のデータの精度は改善し、又導
電性線材の選択範囲も従来の技術の場合に比べて広く、
組合わせの最適化により、電気検査の信頼性や処理能力
（数）の向上、運用コストの低減に効果ある。
具は各種高精細高配線密度基板の電気検査のとき、検査
ポイントに段差がある場合も確実に電気的接触ができ検
査ができる。又電気検査治具の構造の変更により、バネ
性や硬さが不要となり、その効果により所望の電気抵抗
を満足する範囲で電気検査治具のピッチを細くすること
ができた。導電性線材はベース板に固定されているた
め、又は接触後の加圧が無い為に検査ポイントに接触し
ようとするとき、導電性線材の変形がなくなり、従来の
技術に比べ、本発明の導電性液体を用いた電気検査治具
を有した検査機を使用した高精細高密度配線基板の電気
検査の稼動率、及び検査のデータの精度は改善し、又導
電性線材の選択範囲も従来の技術の場合に比べて広く、
組合わせの最適化により、電気検査の信頼性や処理能力
（数）の向上、運用コストの低減に効果ある。
【図１】本発明の導電性液体を用いた電気検査治具の側
断面図の例を示す。
断面図の例を示す。
【図２】本発明の導電性液体を用いた電気検査治具の側
断面図の例を示す。
断面図の例を示す。
【図３】本発明の導電性液体を用いた電気検査治具の側
断面図の例を示す。
断面図の例を示す。
【図４】本発明の導電性液体を用いた電気検査治具の側
断面図の例を示す。
断面図の例を示す。
【図５】本発明の導電性液体を用いた電気検査治具の側
断面図の例を示す。
断面図の例を示す。
【図６】本発明の導電性液体を用いた電気検査治具の側
断面図の例を示す。
断面図の例を示す。
【図７】本発明の導電性液体を用いた電気検査治具の導
電性線材先端の導電性液体を付着させる凹部形成の手順
を示す側断面図。
電性線材先端の導電性液体を付着させる凹部形成の手順
を示す側断面図。
【図８】本発明の導電性液体を用いた電気検査治具を用
いた検査機の検査手順を示す側断面図。
いた検査機の検査手順を示す側断面図。
【図９】マイクロプローブを使った電気検査治具の側断
面図の例を示す。
面図の例を示す。
【図１０】リジッドプローブを使った電気検査治具の側
断面図の例を示す。
断面図の例を示す。
【図１１】偏在型異方性導電ゴムを使った電気検査治具
の側断面図の例を示す。
の側断面図の例を示す。
１…マイクロプローブを使った電気検査治具 ２…被検査物 ３…検査ポイント ４…ベース板 ５…プローブ先端部 ６…スプリング ７…リジッドプローブを使った電気検査治具 ８…リジッドプローブ ９…偏在型異方性導電ゴムを使った電気検査治具 １０…導電性微粒子 １１…電極 １２…絶縁物 １３…検査ポイント変換板 １４…検査機側プローブヘッド １５…導電性線材 １６…導電性液体 １７…空洞部 １８…絶縁性充填物 １９…導電性液体を使った電気検査治具 ２０…検査機側テスター部 ２１…導電性線材の先端に形成した凹部
Claims (2)
- 【請求項１】各種高精細高密度配線基板の電気的不良の
有無を検査するための電気検査治具において、所定の位
置に配置した導電性線材の、被検査物の検査ポイントと
接触する側の先端に導電性液体を付着させて、被検査物
に対して電気的接触を得ることのできるようにしたこと
を特徴とする電気検査治具。 - 【請求項２】各種高精細高密度配線基板の電気的不良の
有無を検査するための電気検査治具において導電性線材
１５の先端面に液体が附着する凹部２１を備え、その凹
部２１に導電性液体１６を附着させる付着手段を有し、
導電性線材１５とその凹部２１に附着した導電性液体１
６を介して被検査物２上部表面の検査ポイント３とテス
ター部２０との回路を構成し電気検査を可能とすること
を特徴とする電気検査治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001155066A JP2002350480A (ja) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | 電気検査治具。 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001155066A JP2002350480A (ja) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | 電気検査治具。 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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