JP2002340645A - 流量検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定流体が脈動した場合であってもリーン
化誤差を有効に低減して被測定流体の流量を正確に検出
できるようにし、従来よりも流量の検出精度をさらに向
上した流量検出装置を提供する。 【解決手段】 被測定流体内に設けられた発熱抵抗体１
２から被測定流体への伝熱現象を利用して被測定流体の
流量に応じた流量検出信号Ｓｆを出力する流量検出手段
５０と、この流量検出手段５０からの流量検出信号Ｓｆ
を増幅してこの信号Ｓｆの誤差を補償する利得補償手段
６０とを備えており、この利得補償手段６０は、被測定
流体の脈動最低周波数に相当する周波数ｆ２Ａよりも高
い周波数域において、周波数が零のときの直流利得Ｇ１
よりも大きいほぼ一定の交流利得Ｇ３でもって流量検出
信号Ｓｆを増幅するように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば自動車用
エンジン等の吸入空気量を検出するのに用いられる主に
熱式の流量検出装置に関し、特にはエンジン脈動流に対
する検出精度を高めるための技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、自動車用エンジン等は、エンジ
ン本体の燃焼室内で燃料と吸入空気との混合ガスを燃焼
し、その燃焼圧からエンジンの回転出力を取り出すの
で、燃焼時の噴射量を適切に制御する上で吸入空気の流
量を精度良く検出することが重要である。そこで、従来
より吸入空気の流量を検出するために各種の熱式の流量
検出装置が提供されている（例えば、特開昭５７−２２
５６３号公報等参照）。

【０００３】ところで、自動車用エンジン等への吸入空
気の流量は、エンジンの運転条件によって異なるが、例
えば、エンジンの回転数を一定にしてスロットルバルブ
の開度を大きくする程、スロットルバルブの通気抵抗が
減少する。これに伴い、インテークマニホールドの圧力
が増大して流量が増加するとともに、脈動流の振幅が大
きくなる。

【０００４】このような脈動流に対して、熱式流量検出
装置は、流量と検出出力との関係が非線形であり、か
つ、発熱抵抗体の熱的な応答遅れがあるために、検出出
力を逐一流量に変換した場合の流量平均値は、実際の流
量よりも小さくなる（以下、これをリーン化誤差と称す
る）。このリーン化誤差は、エンジン回転数が大きくな
るほど、また、脈動振幅が大きくなるほど増大する。

【０００５】図７はスロットルバルブの開度に応じたイ
ンテークマニホールドの圧力Ｐと吸入空気の流量（流量
信号平均値）Ｑavとの関係を示す特性図である。ここ
で、エンジン回転数を一定にした条件の下で、スロット
ル開度を大きくした場合、実際の流量は図７の符号Ｃａ
で示す曲線となる。これに対して、従来の熱式流量検出
装置で得られる平均流量は、同図の符号Ｃｂで示す曲線
となり、両曲線Ｃａ，Ｃｂ間でリーン化誤差Δｌが生じ
ている。曲線Ｃｂのような流量検出特性をもつ場合に
は、互いに異なる２つの負荷状態において同一の流量が
存在することになり、一義的に流量が決まらなくなると
いう不具合を生じる。

【０００６】このように、検出流量が実際の吸入空気の
流量よりも低下してリーン化誤差Δｌを生じるという問
題に対処するため、従来、例えば、特開昭５８−１９５
１０号公報に開示されているような分流式の熱式流量検
出装置が提案されている（以下、従来技術１という）。

【０００７】この従来技術１では、発熱抵抗体を配する
検出流管となる分流通路を主通路よりも長く形成して分
流通路の空気流の慣性力を大きくしている。このように
すると、分流通路の平均流量が定常流の時の流量よりも
増加し、さらに分流通路の脈動流速振幅も低減する。し
たがって、分流通路と主通路の慣性長さの比を適当に設
定することにより、前述の発熱抵抗体の熱的応答遅れに
起因した脈動流の検出誤差を相殺させることができる。

【０００８】一方、特開２０００−２０５９１５号公報
に開示されているように、流量検出装置内に利得補償手
段を付加して脈動流に対する検出流量誤差を補償する熱
式流量検出装置も提案されている（以下、従来技術２と
いう）。

【０００９】この従来技術２の装置は、被測定流体内に
設けられた感温抵抗体の抵抗値によって流量に応じた流
量検出信号を演算する流量演算回路と、この流量演算回
路による流量検出信号を増幅して感温抵抗体の熱時定数
によって低下した利得を補償する利得補償手段とから構
成されている。

【００１０】図５は、利得補償手段の利得と周波数特性
との関係を示す特性図である。同図において、縦軸は利
得補償回路の利得Ｇを、横軸は周波数ｆを、符号Ｔｏで
示す曲線は従来技術２の装置における利得補償手段の周
波数特性を示している。

【００１１】したがって、従来技術２の装置では、流量
が第１の所定周波数ｆ１Ｂより低い周波数で脈動する時
は、流量演算手段から出力される流量検出信号は、流量
の脈動にほぼ対応した値となる。この場合、利得補償手
段は、予め決められた一定の利得Ｇ１で流量検出信号を
増幅する。

【００１２】また、流量が第１の所定流量ｆ１Ｂよりも
高い周波数で脈動するときは、流量演算回路から出力さ
れる流量検出信号は、感温抵抗の熱時定数と流量と流量
検出信号の非線形な関係から出力が低下する。このと
き、利得補償手段は、周波数に対応した利得Ｇ２で流量
信号を増幅する。したがって、感温抵抗体の熱時定数に
よる遅れを補償することになり、利得補償手段の出力は
真の流量変動に近い波形が得られる。

【００１３】さらに、流量が第２の所定周波数ｆ２Ｂよ
りも高い周波数でもって脈動するとき、流量演算回路か
ら出力される流量検出信号は、利得補償手段において一
定の利得Ｇ３（＞Ｇ１）で増幅する。したがって、流量
検出にほとんど影響を与えない高周波側の流量検出信号
を必要以上に増幅することが無くなるため、高周波側の
流量検出信号による誤差が無くなり、検出精度を高める
ことができる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術１の装置は、発熱抵抗体の熱的応答遅れに起因し
た脈動流の検出誤差を相殺することが可能になるもの
の、分流通路の通路長を確保するための構造が複雑にな
り、また、発熱抵抗体近傍の流れが乱れ易い。さらに、
流量を検出する発熱抵抗体近傍の流速は主流の流速より
も低くなるため、流量検出感度が充分に得られないとい
う不具合がある。

【００１５】一方、従来技術２の装置は、利得補償手段
を設けることで感温抵抗体の熱時定数による流量検出信
号の低下を補償できるものの、脈動波形や、感温抵抗体
を配した検出流管や感温抵抗体等の構造によっては、感
温抵抗体の熱時定数によって決まる周波数ｆ１Ｂよりも
低い周波数を有する脈動流において、前述したような流
量検出信号の低下が生じ、実際の流量とのリーン化誤差
が大きくなる場合がある。次に、この点についてさらに
詳述する。

【００１６】感温抵抗体の熱時定数によって決まる周波
数ｆ１Ｂよりも低い周波数を有する脈動流においてもリ
ーン化誤差が生じる原因の一つとして、主流流管と検出
流管との流量比率が、脈動時と定常時とで異なることが
挙げられる。例えば、流れの安定化を図るために、検出
流管の形状を入口から出口に向かって縮流するような構
成とした場合には、出口通路面積が入り口通路面積より
も小さくなる。このような流管形状を有する流量検出装
置は、脈動周波数が高くなると、検出流管の出口近傍に
定常時には生じなかった渦が生成され、検出流管に流れ
難い傾向を示す。このため、脈動時の方が定常状態より
も検出流管の流体的損失が増大し、脈動時の検出流管の
平均流量は、定常時の平均流量に比べて低下するように
なる。以下、このように、検出流管において脈動時に定
常時と異なる現象が生じることを過渡特性と称する。そ
して、このような過渡特性が問題となる周波数は、一般
に、感温抵抗体の熱時定数によって決まる周波数ｆＢ１
よりもかなり低い周波数領域である。

【００１７】ところが、図５の特性曲線Ｔｏで示したよ
うに、従来技術２では、感温抵抗体の時定数によって決
まる周波数ｆＢ１以下の周波数をもつ脈動流に対して、
利得補償手段における利得はＧ１という一定値であるた
め、利得補償手段の効果を十分に発揮することができ
ず、このため、リーン化誤差を生じて正確な流量を検出
できなくなる。

【００１８】本発明は、上述した従来技術の問題に鑑み
てなされたもので、被測定流体が脈動した場合であって
もリーン化誤差を有効に低減して被測定流体の流量を正
確に検出できるようにし、これによって、流量の検出精
度を向上した流量検出装置を提供することを課題とす
る。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の流量検出装置は、次の構成を採る。すな
わち、請求項１記載に係る発明では、被測定流体内に設
けられた発熱抵抗体から被測定流体への伝熱現象を利用
して被測定流体の流量に応じた流量検出信号を出力する
流量検出手段と、この流量検出手段からの流量検出信号
を増幅して当該信号の利得を補償する利得補償手段とを
備え、前記利得補償手段は、前記被測定流体の脈動最低
周波数よりも高い周波数域において、周波数が零のとき
の直流利得よりも大きいほぼ一定の交流利得でもって前
記流量検出信号を増幅するものであることを特徴として
いる。

【００２０】請求項２記載に係る発明では、被測定流体
内に配置された発熱抵抗体の上流側と下流側にそれぞれ
に設けられた感温抵抗体で得られる各温度の差を検出す
る温度差検出手段と、この温度差検出手段からの温度差
検出信号を流量検出信号として入力し、当該信号を増幅
して利得を補償する利得補償手段とを備え、前記利得補
償手段は、前記被測定流体の脈動最低周波数よりも高い
周波数域において、周波数が零のときの直流利得よりも
大きいほぼ一定の交流利得でもって前記流量検出信号を
増幅するものであることを特徴としている。

【００２１】請求項３記載に係る発明では、被測定流体
内に配置された発熱抵抗体の上流側と下流側にそれぞれ
設けられた感温抵抗体の温度を個別に検出する温度検出
手段と、この温度検出手段から出力される温度検出信号
に基づいて流量検出信号を演算する流量演算手段とを有
し、この流量演算手段は、前記発熱抵抗体よりも上流側
に設けた感温抵抗体の温度に対応する温度検出信号の位
相を進めた信号を増幅して出力する第１の位相補償手段
と、前記発熱抵抗体よりも下流側に設けた感温抵抗体の
温度に対応する温度検出信号の位相を進めた信号を増幅
して出力する第２の位相補償手段と、両位相補償手段の
出力信号の差を流量検出信号として出力する差動増幅器
とからなることを特徴としている。

【００２２】請求項４記載に係る発明では、請求項３記
載の構成において、前記第１、第２位相補償手段は、共
に、前記被測定流体の脈動最低周波数よりも高い周波数
域において、周波数が零のときの直流利得よりも大きい
ほぼ一定の交流利得でもって前記温度検出信号を増幅す
る利得補償手段で構成されていることを特徴としてい
る。

【００２３】請求項５記載に係る発明では、請求項１、
２、４のいずれか１項に記載の構成において、前記利得
補償手段は、前記被測定流体の脈動最低周波数よりも高
い周波数における交流利得が約１．０５倍から１．３倍
の範囲内になるように設定されていることを特徴として
いる。

【００２４】請求項６記載に係る発明では、請求項１、
２、４、５のいずれか１項に記載の構成において、前記
利得補償手段は、演算増幅器と、この演算増幅器の後段
側に接続された周波数特性設定用のコンデンサと、この
演算増幅器とコンデンサとの直列回路に並列に接続され
たバイパス用の抵抗と、演算増幅器の反転入力端子に接
続された交流利得設定用の抵抗とを備えることを特徴と
している。

【００２５】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は本発明の実
施の形態１における流量検出装置の一部を切断して示す
正面図、図２は同装置の側面図である。

【００２６】この実施の形態１の流量検出装置は、吸入
空気などの被測定流体が流れる主流流管１内に挿入配置
される素子収納部２と、主流流管１の外側に配置される
回路収納部３とを有し、回路収納部３には後述の制御ユ
ニット（ＥＣＵ）４０を電気的に接続するためのコネク
タ部４が一体に設けられている。主流流管１の下流側は
図示しないスロットルボディへの配管に接続されてい
る。

【００２７】素子収納部２は、流入側から流出側に向け
て次第に縮径された検出流管６を備え、この検出流管６
の内部にホルダ７を介して検出素子８が固定されてい
る。この場合、検出素子８の表面はホルダ７とほぼ面一
になるように設けられている。一方、回路収納部３の内
部には後述の検出回路部３０が収納されている。

【００２８】上記の検出素子８は、図３に示すように、
シリコン基板９の表面側の上下に絶縁膜を介して発熱抵
抗体１２と感温抵抗体１３とが共に形成されている。ま
た、両抵抗体１２，１３の熱容量を下げるために、シリ
コン基板９各抵抗体１２，１３を形成した位置の裏面側
の一部はエッチングにより除去されて数μｍの厚みをも
つダイアフラム１４，１５が形成されている。

【００２９】ここで、上記の発熱抵抗体１２および感温
抵抗体１３は、共に抵抗値が温度によって変化する例え
ば白金薄膜からなり、各抵抗体１２，１３はリード１２
ａ，１３ａを介してシリコン基板９の末端部まで引き出
されている。これらの各抵抗体１２，１３は、蒸着、ス
パッタリング等でシリコン基板９上に絶縁膜を介して例
えば０．２μｍ程度の膜厚で着膜し、その後パターニン
グして形成されている。また、各抵抗体１２，１３の上
には絶縁膜からなる保護膜がスパッタリング等で形成さ
れている。さらに、各リード１２ａ，１３ａの端部は、
保護膜の一部が除去、開口されて電極部１２ｂ，１３ｂ
が形成されており、これらの電極部１２ｂ，１３ｂによ
り外部との電気的接続を可能にしている。

【００３０】図４はこの実施の形態１の流量検出装置の
全体構成を示す回路図である。同図において、３０は回
路収納部３の内部に設けられた検出回路部、４０はこの
検出回路部３０の出力信号に基づいて吸入空気などの被
測定流体の流量を決定して例えばエンジンの燃焼時の噴
射量等を制御する制御ユニット（ＥＣＵ）であり、両者
３０，４０は前述のコネクタ部４を介して互いに電気的
に接続されている。

【００３１】上記の検出回路部３０は、流量検出手段５
０と利得補償手段６０とからなる。この実施の形態１に
おいて、流量検出手段５０は、前述の検出素子８の発熱
抵抗体１２と感温抵抗体１３とを有するとともに、３つ
の固定抵抗１９，２０，２１を備え、これらの抵抗１
２，１３，１９，２０，２１によってブリッジ回路が構
成されている。また、このブリッジ回路の出力を差動増
幅する差動増幅器Ａ１、および電流制御用のトランジス
タＴｒによって発熱抵抗体１２の温度を一定に保つため
のフィードバック系が構成されている。さらに、ブリッ
ジ回路を構成する発熱抵抗体１２と固定抵抗２０との接
続中点には、固定抵抗２０により生じる電圧を入力とす
る演算増幅器Ａ２が接続されている。

【００３２】この流量検出手段５０において、発熱抵抗
体１２は、感温抵抗体１３よりも一定温度高くなるよう
に制御されており、吸入空気等の被測定流体の流れによ
って発熱抵抗体１２が冷やされると、これに伴い、差動
増幅器Ａ１の出力によりトランジスタＴｒのベース電流
が変化し、これに応じて発熱抵抗体１２に供給される加
熱電流が増加し、これが流量の関数となる。したがっ
て、この発熱抵抗体１２に直列接続されている固定抵抗
２０により生じる電圧が加わる演算増幅器Ａ２の出力が
流量検出信号Ｓｆとして得られる構成となっている。

【００３３】一方、利得補償手段６０は、演算増幅器Ａ
３と、この演算増幅器Ａ３の非反転入力端子に接続され
た抵抗Ｒ０と、演算増幅器Ａ３の後段側に接続された周
波数特性設定用のコンデンサＣと、抵抗Ｒ０、演算増幅
器Ａ３およびコンデンサＣからなる直列回路に対して並
列に接続されたバイパス用の抵抗Ｒ１と、演算増幅器Ａ
３の反転入力端子に接続された所定周波数域での交流利
得設定用の固定抵抗Ｒ２，Ｒ３とから構成されている。

【００３４】前述のごとく、感温抵抗体１３を配した検
出流管６の過渡特性に起因したリーン化誤差は、感温抵
抗体１３の熱時定数によって決まる周波数ｆ１Ｂ（図５
参照）よりも低い周波数領域において生じる。

【００３５】そこで、利得補償手段６０において、過渡
特性に起因したリーン化誤差を確実に補償するための利
得Ｇ３が得られる周波数ｆ２Ａを、エンジン脈動周波数
の最低周波数近傍になるように設定する。例えば、４気
筒エンジンの場合、アイドリング状態での脈動流の最低
周波数は１０〜２０Ｈｚとなる。この場合、流量検出信
号Ｓｆに対する交流利得Ｇ３は、検出流管６の過渡特性
および感温抵抗体１３の時定数等に依存するが、１．０
５〜１．３の範囲内に設定するのが望ましい。その理由
は、交流利得Ｇ３を大きくし過ぎると、利得補償手段６
０の出力信号の変動が大きくなり、また、急加速時に流
量信号が実流量よりも大きくなって、制御ユニット４０
の入力可能範囲の最大値を超えてしまうことがある一
方、交流利得Ｇ３が小さ過ぎると利得補償手段６０によ
る補償効果が現れないからである。なお、検出流管の過
渡特性が問題にならない周波数ｆ１Ａ以下の場合にはリ
ーン化誤差は極めて小さいので直流利得Ｇ１＝１のまま
でよい。

【００３６】以上の観点から、利得補償手段６０におけ
る各所定周波数、利得、および回路定数の関係は次のよ
うにして設定される。 ｆ１Ａ＝１／｛２πＣＲ１｝ ｆ２Ａ＝１／｛２πＣＲ１・（１＋Ｒ３／Ｒ２）｝ Ｇ１＝１ Ｇ３＝１＋（Ｒ３／Ｒ２）

【００３７】図５において、符号Ｔｉで示す曲線は、こ
の実施の形態１における利得補償手段６０の周波数特性
を示している。なお、符号Ｔｏで示す曲線は従来技術２
の利得補償手段の周波数特性である。ｆ１Ａ近傍が前述
した検出流管６の過渡特性で決まる周波数に相当し、ｆ
２Ａがエンジン脈動周波数の最低周波数に相当し、ｆ１
Ｂが感温抵抗体の熱時定数に相当する周波数に相当す
る。エンジン脈動周波数の最低周波数ｆ２Ａ以上では、
利得Ｇ３は周波数によらずほぼ一定となっている。この
ように、この実施の形態１の流量検出装置において、利
得補償手段６０の周波数特性は、従来よりも低い周波数
から利得を増大させた特性を示している。

【００３８】制御ユニット４０は、メモリ４１を備えて
おり、このメモリ４１には、図６に示すように、利得補
償手段６０から出力される流量検出信号Ｓｆｃと流量Ｑ
との関係を定義した特性曲線Ｕが予め記憶されている。
ここで、流量Ｑに対する流量検出手段Ｓｆｃの関係は、
非線形な特性となっている。

【００３９】そして、利得補償手段６０から出力される
流量検出信号Ｓｆｃは、制御ユニット４０により、その
内部のメモリ４１に予め記憶されている特性曲線Ｕを用
いて逐次、流量に変換され、さらに、この流量の平均値
Ｑａｖが算出されるようになっている。

【００４０】次に、上記構成の流量検出装置の流量検出
動作について説明する。吸入空気等の被測定流体の流れ
によって発熱抵抗体１２が冷やされると、差動増幅器Ａ
１の出力によってトランジスタＴｒのベース電流が変化
し、これに応じて発熱抵抗体６に供給される加熱電流が
増加する。そして、この発熱抵抗体１２に直列接続され
ている固定抵抗２０により生じる電圧が演算増幅器Ａ２
に入力され、この電圧が演算増幅器Ａ２で増幅されて流
量検出信号Ｓｆとして出力される。

【００４１】ここで、図５において、検出流管６内でｆ
２Ａからｆ１Ｂ間の周波数で流量が脈動していた場合に
ついて着目する。従来技術２の装置では、ｆ１Ｂの周波
数以下では流量演算回路からの流量検出信号Ｓｆは利得
補償手段で何ら増幅されずそのまま出力される。このた
め、図６に示すように、流量検出信号Ｓｆは、検出流管
６の過渡特性が原因となって、脈動振幅が低流量側にド
リフトする。その結果、制御ユニット４０のメモリ４１
に予め登録されている特性曲線Ｕを用いて流量変換した
流量信号Ｑ２の平均値Ｑａｖ２は実際の平均流量Ｑａｖ
よりも小さくなる。

【００４２】一方、この実施の形態１の流量検出装置の
場合、上述した脈動流に対して、流量検出手段５０から
出力される流量検出信号Ｓｆは、利得補償手段６０によ
って予め定められた一定の利得Ｇ３で増幅される。この
ため、利得補償手段６０から増幅出力される流量検出信
号Ｓｆｃを制御ユニット４０のメモリ４１に予め登録さ
れている特性曲線Ｕを用いて流量変換した流量信号Ｑ１
は、従来技術２の場合に得られる流量信号Ｑ２よりも振
幅が拡大される。つまり、特性曲線Ｕは非線形性を示す
ために、流量検出信号Ｓｆｃを流量変換して得られる流
量信号Ｑ１は、大流量側に一層振幅が拡大されて平均流
量Ｑａｖ１が増大する。したがって、利得補償後の流量
検出信号Ｓｆｃに基づいて得られる平均流量Ｑａｖ１
は、実際の平均流量Ｑａｖに近い値となる。

【００４３】このように、従来は感温抵抗体の熱時定数
に対応した周波数ｆ１Ｂよりも低い周波数領域の脈動流
に対しては、一定の利得Ｇ１で増幅していたために、信
号振幅が小さく平均流量が少なくなってリーン化誤差が
大きくなっていたの対して、この実施の形態１の装置
は、一定の利得Ｇ３ではあるが、Ｇ３＞Ｇ１であるた
め、信号振幅が大きくなって平均流量が実際値に近くな
りリーン化誤差が小さくなる。しかも、所定周波数ｆ２
Ａよりも十分に高い周波数を持った流量検出信号Ｓｆに
対しては、ほぼ一定の利得Ｇ３で増幅するので、流量の
検出には殆ど影響を与えない高周波側の流量検出信号Ｓ
ｆを必要以上に増幅することがなくなる。

【００４４】この実施の形態１における利得補償手段６
０の作用は、図７を用いれば次のように言い換えること
ができる。流量検出装置で得られる脈動時の平均流量
は、理想的には符号Ｃａで示す実際の流量と同じになる
ことが望ましいが、上述したように、従来装置において
は、過渡特性等やその他の要因によって平均流量は符号
Ｃｂで示す曲線のようになり、リーン化誤差Δｌが生じ
る。そこで、この実施の形態１では、熱式流量検出装置
で得られる平均流量を符号Ｃｃで示すように上方に立ち
上がるように利得補償手段６０において補償しているこ
とになる。これにより、低周波数から高周波数まで広い
脈動周波数にわたって流量検出精度を高めることができ
る。

【００４５】なお、ここでは、脈動時において検出流管
６と主流流管１の流速比率が変化するという過渡特性に
起因してリーン化誤差が生じる場合について説明した
が、検出素子８の形状や発熱抵抗体１２の位置やサイズ
等に依存して同様なリーン化誤差が生じることが有る。
したがって、このような場合にも上述した利得補償手段
６０を設けることにより、リーン化誤差を低減すること
が可能である。

【００４６】実施の形態２．図８はこの実施の形態２に
おける検出素子の構成を示す平面図、図９はこの実施の
形態２の流量検出装置の全体構成を示す回路図であり、
図１ないし図４に示した実施の形態１と対応する構成部
分には同一の符号を付す。

【００４７】この実施の形態２において、検出素子８
は、シリコン基板９上の表面側に絶縁膜を介して上下に
発熱抵抗体１２と感温抵抗体１３とが共に形成され、さ
らに、発熱抵抗体１２を前後に挟んで第１、第２の感温
抵抗体１７，１８が隣接して形成されている。この場
合、図中矢印で示すように、被測定流体の流れる方向に
対して、第１の感温抵抗体１７は発熱抵抗体１２の上流
側に、また、第２感温抵抗体１８は発熱抵抗体１２の下
流側にそれぞれ位置するように配置されている。そし
て、各抵抗体１２，１３，１７，１８の熱容量を下げる
ために、シリコン基板９には、各抵抗体１２，１３，１
７，１８を形成した位置の裏面側にダイアフラム１４，
１５が形成されている。

【００４８】これらの各抵抗体１２，１３，１７，１８
はいずれも抵抗値が温度によって変化する例えば白金薄
膜からなるもので、各抵抗体１２，１３，１７，１８
は、リード１２ａ，１３ａ，１７ａ，１８ａを介してシ
リコン基板９の末端部まで引き出され、各リード１２
ａ，１３ａ，１７ａ，１８ａの端部分は保護膜の一部が
除去されて外部端子接続用の電極部１２ｂ，１３ｂ，１
７ｂ，１８ｂが形成されている。この検出素子８のその
他の構成は実施の形態１の場合と同じであるから、詳し
い説明は省略する。

【００４９】また、この実施の形態２において、回路収
納部３の内部に収納された検出回路部３０は、図９に示
すように、流量検出手段５０と利得補償手段６０とから
なる。そして、流量検出手段５０は、温度差検出手段７
０Ａと定温度制御手段８０とを備えている。

【００５０】温度差検出手段７０は、前述の検出素子８
に設けられた第１、第２の感温抵抗体１７，１８を有す
るとともに、２つの固定抵抗２２，２３を備え、これら
の抵抗１７，１８，２２，２３によってブリッジ回路が
構成されている。また、このブリッジ回路の出力を差動
増幅する差動増幅器Ａ４が設けられている。

【００５１】そして、被測定流体の流れによって図８に
示した発熱抵抗体１２を挟む上流側と下流側の第１、第
２の感温抵抗体１７，１８間に生じる温度差を各固定抵
抗２２，２３で電圧に変換した後、差動増幅器Ａ４で両
電圧の差を増幅することにより流量検出信号Ｓｆを得る
構成となっている。

【００５２】また、定温度制御手段８０は、実施の形態
１の流量検出手段５０の構成から演算増幅器Ａ２が省か
れている点を除けば類似した構成になっている。すなわ
ち、この定温度制御手段８０は、前述の検出素子８の発
熱抵抗体１２と感温抵抗体１３、および３つの固定抵抗
１９，２０，２１によってブリッジ回路が構成されてい
る。また、このブリッジ回路の出力を差動増幅する差動
増幅器Ａ１、および電流制御用のトランジスタＴｒによ
って発熱抵抗体１２の温度を一定に保つためのフィード
バック系が構成されている。

【００５３】したがって、定温度制御手段８０におい
て、吸入空気等の被測定流体の流れによって発熱抵抗体
１２が冷やされると、これに伴い、差動増幅器Ａ１の出
力によりトランジスタＴｒのベース電流が変化し、これ
に応じて発熱抵抗体１２に供給される加熱電流が増加し
て、発熱抵抗体１２の温度が一定に保たれるように制御
される。

【００５４】なお、利得補償手段６０、制御ユニット４
０、およびメモリ４１の構成は、実施の形態１の場合と
基本的に同じであり、また、利得補償手段６０の回路定
数の設定条件等も実施の形態１の場合と同様であるか
ら、ここでは詳しい説明は省略する。

【００５５】次に、この実施の形態２における流量検出
装置の流量検出動作について説明する。温度差検出手段
７０において、図８の矢印で示す方向から被測定流体の
流れがあったときには、発熱抵抗体１２の上流側に位置
する第１の温度検出抵抗１７が冷却されて温度が下がる
のに対して、発熱抵抗体１２の下流側に位置する第２の
感温抵抗体１８は、発熱抵抗体１２からの熱を受けるた
めにさほど温度が下がらず、このため、２つの感温抵抗
体１７，１８の間に温度差が生じる。この温度差は流量
が大きくなるほど増大する。

【００５６】発熱抵抗体１２を挟む上流側と下流側の第
１、第２の感温抵抗体１７，１８間に生じる温度差によ
る電流変化は、各固定抵抗２２，２３によって電圧に変
換される。そして、両電圧の差が差動増幅器Ａ４で増幅
されて流量検出信号Ｓｆとして取り出される。

【００５７】なお、温度差検出手段７０から出力された
後の流量検出信号Ｓｆに対する利得補償手段６０の動作
や、制御ユニット４０における信号処理の動作は、実施
の形態１と同じであるので、ここでは詳しい説明は省略
する。

【００５８】したがって、この実施の形態２の流量検出
装置においても、前記の実施の形態１の場合と同様に、
第１、第２感温抵抗体１７，１８の熱時定数によって決
まる周波数ｆ１Ｂよりも低い周波数を有する脈動流が生
じた場合にも流量を正確に検出することができ、リーン
化誤差を低減することができる。

【００５９】しかも、この実施の形態２では、温度差検
出手段７０において、発熱抵抗体１２の前後に第１、第
２の感温抵抗体１７，１８を配置し、その電圧差を差動
増幅器Ａ４で検出して流量検出信号Ｓｆを得ているの
で、逆流を伴う脈動流に対しても精度良く流量を検出す
ることができる。

【００６０】実施の形態３．図１０はこの実施の形態３
における流量検出装置の全体構成を示す回路図であり、
図９に示した実施の形態２と対応する構成部分には同一
の符号を付す。

【００６１】この実施の形態３において、検出流管６の
内部に固定される検出素子８の構成は、図８に示した実
施の形態２のものと同じである。一方、この実施の形態
３において、検出回路部３０は、定温度制御手段８０、
温度検出手段９０、および流量演算手段１００により構
成されている。

【００６２】定温度制御手段８０は、発熱抵抗体１２の
温度を一定に保持するためのもので、その構成および動
作は図９に示した実施の形態２の場合と同様であるの
で、詳しい説明は省略する。

【００６３】温度検出手段９０は、被測定流体内に配置
された発熱抵抗体１２の上流側と下流側にそれぞれ設け
られた第１、第２感温抵抗体１７，１８の温度を個別に
検出するもので、第１、第２の定電流回路ＣＣ１，ＣＣ
２、第１、第２の各感温抵抗体１７，１８、および第
１、第２の演算増幅器Ａ５，Ａ６を備える。

【００６４】そして、第１、第２の定電流回路ＣＣ１，
ＣＣ２に対して個別に第１、第２の感温抵抗体１７，１
８が接続され、また、第１定電流回路ＣＣ１と第１感温
抵抗体１７との接続中点に第１演算増幅器Ａ５の非反転
入力端子が接続され、第１演算増幅器Ａ５の出力端子と
反転入力端子との間が帰還抵抗２４で接続されている。
同様に、第２定電流回路ＣＣ２と第２感温抵抗体１８と
の接続中点に第２演算増幅器Ａ６の非反転入力端子が接
続され、第２演算増幅器Ａ６の出力端子と反転入力端子
との間が帰還抵抗２５で接続されている。

【００６５】これにより、第１演算増幅器Ａ５は、第１
感温抵抗体１７の抵抗変化に応じた電圧を増幅して第１
の温度検出信号Ｓ１１として出力し、また、第２演算増
幅器Ａ６は第２感温抵抗体１８の抵抗変化に応じた電圧
を増幅して第２の温度検出信号Ｓ２１として出力するよ
うに構成されている。

【００６６】ここで、第１、第２の感温抵抗体１７，１
８は、流量が零の場合にはほぼ同じ温度になるが、図１
１に示すように、予め第２演算増幅器Ａ６のオフセット
電圧を調整することにより、流量が零の場合でも第２温
度検出信号Ｓ２１の出力が第１温度検出信号Ｓ１１より
も一定電圧ΔＥだけ高くなるように設定している。これ
により、後述の流量演算手段１００から出力される流量
検出信号Ｓｆｃが逆流領域も含めて流量に対して単調増
加の特性を示すようになる。このため、脈動波の正流方
向だけでなく逆流方向の検出も可能となる。

【００６７】流量演算手段１００は、温度検出手段９０
の第１感温抵抗体１７に対応した第１演算増幅器Ａ５か
ら出力される第１温度検出信号Ｓ１１の位相を進めて増
幅する第１の位相補償手段６１と、第２感温抵抗体１８
に対応した第２演算増幅器Ａ６から出力される第２温度
検出信号Ｓ２１の位相を進めて増幅する第２の位相補償
手段６２と、両位相補償手段６１，６２の出力信号Ｓ１
２，Ｓ２２の差を流量検出信号Ｓｆｃとして出力する差
動増幅器Ａ７とからなる。

【００６８】ここで、第１、第２の位相補償手段６１，
６２の構成は、実施の形態１，２において説明した利得
補償手段６０と同じである。そして、第１、第２の位相
補償手段６１，６２の回路定数の設定条件等も実施の形
態１，２の利得補償手段６０の場合と同様であるから、
ここでは詳しい説明は省略する。また、制御ユニット４
０、およびメモリ４１の構成は、実施の形態１，２の場
合と基本的に同じであるので、詳しい説明は省略する。

【００６９】次に、この実施の形態３の流量検出装置に
おける流量検出動作について説明する。温度検出手段９
０において、図８の矢印で示す方向から被測定流体の流
れがあったときには、発熱抵抗体１２の上流側に位置す
る第１の温度検出抵抗１７が冷却されて温度が下がるの
に対して、発熱抵抗体１２の下流側に位置する第２の感
温抵抗体１８は、発熱抵抗体１２からの熱を受けるため
にさほど温度が下がらず、このため、２つの感温抵抗体
１７，１８の間に温度差が生じ、これに伴って抵抗値も
変化する。この変化量は流量が大きくなるほど増大す
る。

【００７０】発熱抵抗体１２を挟む上流側と下流側の第
１、第２の感温抵抗体１７，１８の抵抗値変化に伴って
生じる各電圧は、第１、第２の演算増幅器Ａ５，Ａ６に
個別に加わるため、第１、第２の演算増幅器Ａ５，Ａ６
は、この抵抗値変化に比例した電圧を増幅し、これが温
度検出信号Ｓ１１，Ｓ２１として取り出される。

【００７１】第１、第２の位相補償手段６１，６２は、
各温度検出信号Ｓ１１，Ｓ１２の位相を進めて増幅し、
振幅の拡大した信号Ｓ１２，Ｓ２２を出力する。ここ
で、温度検出手段９０から出力された後の各温度検出信
号Ｓ１１，Ｓ２１に対する第１、第２の位相補償手段６
１，６２の具体的な動作は、実施の形態１で説明した利
得補償手段６０の場合と同じであるので、詳しい説明は
省略する。

【００７２】第１、第２の位相補償手段６１，６２から
出力された信号Ｓ１２，Ｓ２２は、共に差動増幅器Ａ７
に加わるため、差動増幅器Ａ７は、両位相補償手段６
１，６２の出力信号Ｓ１２，Ｓ２２の差をとって流量検
出信号Ｓｆｃとして出力する。この流量検出信号Ｓｆｃ
は、図１１に示したように単純増加性を示すので、脈動
波の正流方向だけでなく逆流方向の検出も可能である。

【００７３】なお、流量演算手段１００の差動増幅器Ａ
７から出力された後の温度検出信号Ｓｆｃに対する制御
ユニット４０の信号処理の動作は、実施の形態１，２と
同じであるので、ここでは詳しい説明は省略する。

【００７４】図１２は、この実施の形態３の流量検出装
置において、脈動流が生じている場合に各部で得られる
信号波形を示す特性図である。制御ユニット４０のメモ
リ４１に記憶されている特性曲線Ｕ（図６参照）に基づ
いて変換した流量信号Ｑが、例えば同図（ｂ）に示すよ
うな脈動流を伴う波形であるとしたとき、温度検出手段
９０から出力される第１、第２の温度検出信号Ｓ１１，
Ｓ２１、および流量演算手段１００から出力される流量
検出信号Ｓｆｃの各波形は、同図（ａ）に示すようにな
っている。

【００７５】すなわち、第１位相補償手段６１の出力信
号Ｓ１２は、第１温度検出信号Ｓ１１の位相遅れを補償
した信号であり、また、第２位相補償手段６２の出力信
号Ｓ２２は、第２温度検出信号Ｓ２１の位相遅れを補償
した信号である。第１、第２のいずれの位相補償手段６
１，６２の出力信号Ｓ１２，Ｓ２２も温度検出信号Ｓ１
１，Ｓ２１の位相を進め、かつ、振幅を拡大した信号と
なるため、第１、第２感温抵抗体１７，１８の時定数を
小さくしたのと同様な信号が得られている。

【００７６】つまり、この実施の形態３では、流量が所
定周波数ｆ２Ａよりも高い周波数で脈動する時は、脈動
周波数に応じて、温度検出信号Ｓ１２，Ｓ２２の位相が
進むと同時に出力振幅が大きくなるので、見掛け上、第
１、第２感温抵抗体１７，１８の時定数が小さくなり、
逆流を伴う脈動流に対して温度検出信号Ｓｆｃの応答性
が高くなる。したがって、制御ユニット４０において、
この温度検出信号Ｓｆｃをメモリ４１の特性曲線Ｕを用
いて流量信号に変換したときには、実際の流量変化に追
従した流量信号Ｑが得られる。このため、検出精度が大
幅に改善される。

【００７７】なお、図１２（ａ）において、Ｓｆｏは第
１、第２の位相補償手段６１，６２を使用しない場合に
得られる流量検出信号であり、また、図１０（ｂ）のＱ
ｏは制御ユニット４０において、この温度検出信号Ｓｆ
ｏをメモリ４１の特性曲線Ｕを用いて変換したときの流
量信号である。このように、位相補償手段６１，６２を
使用しないときには、実際の流量変動Ｑに対して平均流
量は低くなり、また、遅れにより逆流検出もできていな
いことが分かる。

【００７８】

【発明の効果】請求項１記載の発明に係る流量検出装置
は、検出流管や流量検出素子等の周囲の流れ特性に起因
して流量検出信号の平均値が低下するような所定の周波
数領域においては、流量検出信号を脈動がない定常流の
場合の利得より高い一定の利得で増幅するので、位相が
進むと同時に利得補償手段の出力振幅が大きくなる。そ
の結果、流量特性の非線形性により平均検出流量が増大
し、実際の平均流量に近い流量信号が得られる。このた
め、被測定流体が脈動した場合であっても平均流量信号
のリーン化誤差が低減され、被測定流体の流量を正確に
検出できるようになる。

【００７９】請求項２記載の発明に係る流量検出装置
は、温度差検出手段によって発熱抵抗体の上下流にそれ
ぞれ配置した感温抵抗体で得られる温度の差を検出する
ので脈動波の逆流時の検出も可能となる。また、利得補
償手段は、温度差検出手段からの温度差検出信号を流量
検出信号として入力し、当該信号の位相を進めるので、
見掛け上、応答性が速くなり、しかも、流量検出信号を
脈動がない定常流の場合の利得より高い一定の利得で増
幅するので、平均検出流量が増大し、実際の平均流量に
近い流量信号が得られる。このため、請求項１の場合と
同様に、被測定流体が脈動した場合であっても平均流量
信号のリーン化誤差が低減され、被測定流体の流量を正
確に検出できるようになる。

【００８０】また、請求項３記載の発明に係る流量検出
装置は、発熱抵抗体の上下流にそれぞれ配置した感温抵
抗体の温度検出信号の位相をそれぞれ進めることで、見
掛け上、応答性が速くなり、しかも、脈動波の逆流時の
検出も可能となる。このため、感温抵抗体の温度差から
演算した流量信号は実際の脈動波形により一層近づくた
めに、検出精度がさらに向上する。

【００８１】請求項４記載の発明に係る流量検出装置
は、位相補償手段が請求項１、２の発明と同じ利得補償
手段で構成されているので、請求項１，２記載した発明
の効果を同時に奏することができる。

【００８２】請求項５記載の発明に係る流量検出装置
は、請求項１、２、４の効果に加えて、利得補償手段の
利得範囲を適切に設定することで、流量検出信号に対し
て確実な利得補償が行われるとともに、流量検出信号を
必要以上に増幅することがない。このため、低周波域か
ら高周波域までの広い範囲の脈動周波数にわたって流量
の検出精度を確保することができる。

【００８３】請求項６記載の発明に係る流量検出装置
は、利得補償手段を比較的簡単な構成で、かつ安価に実
現することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１に係る流量検出装置の
一部を切断して示す正面図である。

【図２】 同装置の側面図である。

【図３】 本発明の実施の形態１に係る検出素子の平面
図である。

【図４】 本発明の実施の形態１に係る流量検出装置の
全体構成を示す回路図である。

【図５】 本発明に係る利得補償手段の周波数特性を示
す図である。

【図６】 脈動流に対する流量と検出信号との関係を示
す特性図である。

【図７】 スロットルバルブ開度に応じたインテークマ
ニホールドの圧力と検出流量の平均値との関係を示す特
性図である。

【図８】 本発明の実施の形態２，３に係る検出素子の
平面図である。

【図９】 本発明の実施の形態２に係る流量検出装置の
全体構成を示す回路図である。

【図１０】 本発明の実施の形態３に係る流量検出装置
の全体構成を示す回路図である。

【図１１】 本発明の実施の形態３における流量検出装
置における流量特性を示す図である。

【図１２】 本発明の実施の形態３の流量検出装置にお
いて、脈動流が生じている場合の各部で得られる信号波
形を示す特性図である。

【符号の説明】

１ 主流流管、６ 検出流管、８ 検出素子、１２ 発
熱抵抗体、１３ 感温抵抗体、１７ 第１の感温抵抗
体、１８ 第２の感温抵抗体、３０ 検出回路部、４０
制御ユニット、４１ メモリ、５０ 流量検出手段、
６０ 利得補償手段、６１ 第１の位相補償手段、６２
第２の位相補償手段、７０ 温度差検出手段、８０
定温度制御手段、９０ 温度検出手段、１００ 流量演
算手段、Ａ３ 演算増幅器、Ｃ コンデンサ、Ｒ１ バ
イパス用の抵抗、Ｒ２，Ｒ３ 交流利得設定用の抵抗、
Ａ７ 差動増幅器、Ｓｆ 流量検出信号、Ｓｆｃ 利得
補償後の流量検出信号、Ｓ１１，Ｓ２１ 温度検出信
号、Ｓ２１，Ｓ２２ 位相補償後の温度検出信号。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山川 智也 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 遠山 隆二 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2F035 AA02 EA05 EA09 3G084 DA04 FA08

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定流体内に設けられた発熱抵抗体か
   ら被測定流体への伝熱現象を利用して被測定流体の流量
   に応じた流量検出信号を出力する流量検出手段と、この
   流量検出手段からの流量検出信号を増幅して利得を補償
   する利得補償手段とを備え、前記利得補償手段は、前記
   被測定流体の脈動最低周波数よりも高い周波数域におい
   て、周波数が零のときの直流利得よりも大きいほぼ一定
   の交流利得でもって前記流量検出信号を増幅するもので
   あることを特徴とする流量検出装置。
2. 【請求項２】 被測定流体内に配置された発熱抵抗体の
   上流側と下流側にそれぞれに設けられた感温抵抗体で得
   られる各温度の差を検出する温度差検出手段と、この温
   度差検出手段からの温度差検出信号を流量検出信号とし
   て入力し、当該信号を増幅して利得を補償する利得補償
   手段とを備え、前記利得補償手段は、前記被測定流体の
   脈動最低周波数よりも高い周波数域において、周波数が
   零のときの直流利得よりも大きいほぼ一定の交流利得で
   もって前記流量検出信号を増幅するものであることを特
   徴とする流量検出装置。
3. 【請求項３】 被測定流体内に配置された発熱抵抗体の
   上流側と下流側にそれぞれ設けられた感温抵抗体の温度
   を個別に検出する温度検出手段と、この温度検出手段か
   ら出力される温度検出信号に基づいて流量検出信号を演
   算する流量演算手段とを有し、この流量演算手段は、前
   記発熱抵抗体よりも上流側に設けた感温抵抗体の温度に
   対応する温度検出信号の位相を進めた信号を増幅して出
   力する第１の位相補償手段と、前記発熱抵抗体よりも下
   流側に設けた感温抵抗体の温度に対応する温度検出信号
   の位相を進めた信号を増幅して出力する第２の位相補償
   手段と、両位相補償手段の出力信号の差を流量検出信号
   として出力する差動増幅器とからなることを特徴とする
   流量検出装置。
4. 【請求項４】 前記第１、第２位相補償手段は、共に、
   前記被測定流体の脈動最低周波数よりも高い周波数域に
   おいて、周波数が零のときの直流利得よりも大きいほぼ
   一定の交流利得でもって前記温度検出信号を増幅する利
   得補償手段で構成されていることを特徴とする請求項３
   記載の流量検出装置。
5. 【請求項５】 前記利得補償手段は、前記被測定流体の
   脈動最低周波数よりも高い周波数における交流利得が約
   １．０５倍から１．３倍の範囲になるように設定されて
   いることを特徴とする請求項１、２、４のいずれか１項
   に記載の流量検出装置。
6. 【請求項６】 前記利得補償手段は、演算増幅器と、こ
   の演算増幅器の後段側に接続された周波数特性設定用の
   コンデンサと、この演算増幅器とコンデンサとの直列回
   路に並列に接続されたバイパス用の抵抗と、前記演算増
   幅器の反転入力端子に接続された交流利得設定用の抵抗
   とを備えることを特徴とする請求項１、２、４、５のい
   ずれか１項に記載の流量検出装置。