JP2002336649A - 除害装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＮＦ3等のフッ素系ガスを含有するガスの熱分
解による除害効率の向上と、装置の腐食を防止した除害
装置を提供する。 【解決手段】スクラバ６を有し、被除害ガスが導入され
る導入管６と、導入管６のスクラバ６によって処理され
た被除害ガスを更に熱分解処理するための反応室１と、
熱分解処理後のガスをスクラバ４によって処理して排出
する導出管７と、反応室１の下方に設けられ、スクラバ
３，４で処理され生成した排水を貯瑠するためのタンク
９とを備え、すり鉢状の構造の反応室下部壁５に水洗水
ノズル１０から水洗水を噴出して旋回させるようにし
た。生成した腐食性のガスを水洗水によって効率よく除
去でき、また、水洗水ノズル１０から絶えず噴出する水
洗水のよって反応室下部壁５が洗浄され、反応室下部壁
５の腐食性ガスによる腐食も防止できる。
解による除害効率の向上と、装置の腐食を防止した除害
装置を提供する。 【解決手段】スクラバ６を有し、被除害ガスが導入され
る導入管６と、導入管６のスクラバ６によって処理され
た被除害ガスを更に熱分解処理するための反応室１と、
熱分解処理後のガスをスクラバ４によって処理して排出
する導出管７と、反応室１の下方に設けられ、スクラバ
３，４で処理され生成した排水を貯瑠するためのタンク
９とを備え、すり鉢状の構造の反応室下部壁５に水洗水
ノズル１０から水洗水を噴出して旋回させるようにし
た。生成した腐食性のガスを水洗水によって効率よく除
去でき、また、水洗水ノズル１０から絶えず噴出する水
洗水のよって反応室下部壁５が洗浄され、反応室下部壁
５の腐食性ガスによる腐食も防止できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は除害装置に関し、特
に半導体装置の製造等で生成する排ガスを熱分解し生成
した腐食性ガスを効率よく除去できる除害装置に関す
る。
に半導体装置の製造等で生成する排ガスを熱分解し生成
した腐食性ガスを効率よく除去できる除害装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造のエッチング工程で
は、ＮＦ3等のプラズマガスが使用されるが、エッチン
グ後残ったガスは排ガスとして製造装置から排出される
ために、予め除害処理する必要がある。例えば、ＮＦ3
を除害する方法としては、（ａ）ＮＦ3を含有する気体
と水蒸気とを混合し、ＮＦ3を水と反応させて分解する
方法（特開平３―６５２１８号公報等）、（ｂ）ＮＦ3
を含む排ガスに水とＮＨ3と加え、加熱反応させて分解
する方法（特開平９―８５０４５号公報等）などがあ
る。
は、ＮＦ3等のプラズマガスが使用されるが、エッチン
グ後残ったガスは排ガスとして製造装置から排出される
ために、予め除害処理する必要がある。例えば、ＮＦ3
を除害する方法としては、（ａ）ＮＦ3を含有する気体
と水蒸気とを混合し、ＮＦ3を水と反応させて分解する
方法（特開平３―６５２１８号公報等）、（ｂ）ＮＦ3
を含む排ガスに水とＮＨ3と加え、加熱反応させて分解
する方法（特開平９―８５０４５号公報等）などがあ
る。
【０００３】上記（ａ）の方法では、ＮＦ3は水と反応
してＮＯ，ＨＮＯ3，ＨＦに分解されるものと考えられ
る（３ＮＦ3＋５Ｈ2Ｏ→２ＮＯ＋ＨＮＯ3＋９ＨＦ）。
してＮＯ，ＨＮＯ3，ＨＦに分解されるものと考えられ
る（３ＮＦ3＋５Ｈ2Ｏ→２ＮＯ＋ＨＮＯ3＋９ＨＦ）。
【０００４】また、上記（ｂ）の方法では、ＮＦ3は水
と反応して、フッ化水素、ＮＯｘ等に分解されるものと
考えられる（２ＮＦ3＋３Ｈ2Ｏ→ＮＯ＋ＮＯ2＋６Ｈ
Ｆ）。ここで生成したフッ化水素はアンモニアと反応し
てフッ化アンモニウムとなり、ＮＯｘもアンモニアと反
応して最終的に窒素と水に分解される。また、ＮＦ3は
アンモニアとも直接反応して窒素とフッ化水素に分解さ
れると考えられる（ＮＦ 3＋ＮＨ3→Ｎ2＋３ＨＦ）。
と反応して、フッ化水素、ＮＯｘ等に分解されるものと
考えられる（２ＮＦ3＋３Ｈ2Ｏ→ＮＯ＋ＮＯ2＋６Ｈ
Ｆ）。ここで生成したフッ化水素はアンモニアと反応し
てフッ化アンモニウムとなり、ＮＯｘもアンモニアと反
応して最終的に窒素と水に分解される。また、ＮＦ3は
アンモニアとも直接反応して窒素とフッ化水素に分解さ
れると考えられる（ＮＦ 3＋ＮＨ3→Ｎ2＋３ＨＦ）。
【０００５】図５は、上記の従来技術に使用される除害
装置の概要断面図である。ＮＦ３等を含む被除害ガスを
導入管１０５から導入する。導入管１０５の内部にはス
クラバ１０２が設けられており、導入管１０５に導入さ
れた被除害ガスは、このスクラバによって処理され、被
除害ガス中に水が混合される。被除害ガス中の水に溶解
しやすい成分はスクラバ処理により取り除かれタンク１
０８に排水として貯瑠する。スクラバ処理された被除害
ガスは、内筒１０７を通って反応室１００に導かれる。
反応室１００は、内部に設けられたセラミック等の材料
からなるヒーター１０１により通常３００〜１０００℃
の範囲に加熱されている。反応室１００に導かれた被除
害ガス中のＮＦ3は上記のように加熱されて水と反応
し、ＮＯ，ＨＮＯ3，ＨＦを生成する。これらの含むガ
スは導出管１０６に導かれ、導出管１０６内に設けられ
たスクラバ１０３により処理される。水に溶解しやすい
ガス成分はスクラバ処理水に溶解し、排水としてタンク
１０８に貯瑠する。タンク１０８内に溜まった排液は、
タンク１０８外に導かれ、通常のアルカリ処理により中
和される。
装置の概要断面図である。ＮＦ３等を含む被除害ガスを
導入管１０５から導入する。導入管１０５の内部にはス
クラバ１０２が設けられており、導入管１０５に導入さ
れた被除害ガスは、このスクラバによって処理され、被
除害ガス中に水が混合される。被除害ガス中の水に溶解
しやすい成分はスクラバ処理により取り除かれタンク１
０８に排水として貯瑠する。スクラバ処理された被除害
ガスは、内筒１０７を通って反応室１００に導かれる。
反応室１００は、内部に設けられたセラミック等の材料
からなるヒーター１０１により通常３００〜１０００℃
の範囲に加熱されている。反応室１００に導かれた被除
害ガス中のＮＦ3は上記のように加熱されて水と反応
し、ＮＯ，ＨＮＯ3，ＨＦを生成する。これらの含むガ
スは導出管１０６に導かれ、導出管１０６内に設けられ
たスクラバ１０３により処理される。水に溶解しやすい
ガス成分はスクラバ処理水に溶解し、排水としてタンク
１０８に貯瑠する。タンク１０８内に溜まった排液は、
タンク１０８外に導かれ、通常のアルカリ処理により中
和される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術の除害
装置では、反応室１００で生成したＨＦが反応室下部壁
１０４に付着する。このＨＦは腐食性が大きく、反応室
下部壁１０４を腐食し、該壁にピンホールや亀裂を発生
させ、装置の寿命を低下させる問題があった。
装置では、反応室１００で生成したＨＦが反応室下部壁
１０４に付着する。このＨＦは腐食性が大きく、反応室
下部壁１０４を腐食し、該壁にピンホールや亀裂を発生
させ、装置の寿命を低下させる問題があった。
【０００７】その対策として装置内部に樹脂コーティン
グを施す試みもなされているが、決定的な効果が得られ
ていなかった。
グを施す試みもなされているが、決定的な効果が得られ
ていなかった。
【０００８】本発明の目的は、上記の従来の除害装置の
問題点を解決し、装置の寿命が改善できる除害装置を提
供することにある。
問題点を解決し、装置の寿命が改善できる除害装置を提
供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の除害装置は、内
部に第１のスクラバを有し、除去されるべき成分を含有
する被除害ガスが導入される導入管と、該導入管の前記
第１のスクラバによって処理された被除去成分含有ガス
を更に熱分解処理するための反応室と、内部に第２のス
クラバを有し、前記熱分解処理後のガスを前記第２のス
クラバによって処理して排出する導出管と、前記反応室
の下方に設けられ、前記第１および第２のスクラバで処
理された排水を貯瑠するためのタンクとを備え、前記反
応室の下部壁の構造がすり鉢状であり、前記下部壁に該
壁に同一方向に旋回するように水洗水を噴出するノズル
を少なくとも一つ設けられていることを特徴とする。
部に第１のスクラバを有し、除去されるべき成分を含有
する被除害ガスが導入される導入管と、該導入管の前記
第１のスクラバによって処理された被除去成分含有ガス
を更に熱分解処理するための反応室と、内部に第２のス
クラバを有し、前記熱分解処理後のガスを前記第２のス
クラバによって処理して排出する導出管と、前記反応室
の下方に設けられ、前記第１および第２のスクラバで処
理された排水を貯瑠するためのタンクとを備え、前記反
応室の下部壁の構造がすり鉢状であり、前記下部壁に該
壁に同一方向に旋回するように水洗水を噴出するノズル
を少なくとも一つ設けられていることを特徴とする。
【００１０】前記ノズルは同一高さに所定の間隔で複数
個設けることができ、また前記ノズルは、異なる高さに
複数個設けることもできる。
個設けることができ、また前記ノズルは、異なる高さに
複数個設けることもできる。
【００１１】本発明の除害装置には、前記ノズルから前
記水洗水は連続して噴出され、その流量が所定の量以下
になった場合に警報を出すアラーム装置を備えることが
できる。また、前記アラーム装置の警報に基づき前記被
除害ガスの導入を中止する電磁弁等の手段を備えること
ができる。
記水洗水は連続して噴出され、その流量が所定の量以下
になった場合に警報を出すアラーム装置を備えることが
できる。また、前記アラーム装置の警報に基づき前記被
除害ガスの導入を中止する電磁弁等の手段を備えること
ができる。
【００１２】本発明の除害装置では、反応室の下部壁を
すり鉢状にしてその壁に水洗水が壁を旋回するように噴
射するノズルを備えることによって水を旋回させて腐食
性ガスと水との接触効率を高めて腐食性ガスを高効率で
水に溶解させ除去できる。また反応室下部壁には新鮮の
水を連続して噴射するために該壁への腐食性ガスの吸着
を抑制して、該壁の腐食を防止でき、装置の延命化が図
れる。
すり鉢状にしてその壁に水洗水が壁を旋回するように噴
射するノズルを備えることによって水を旋回させて腐食
性ガスと水との接触効率を高めて腐食性ガスを高効率で
水に溶解させ除去できる。また反応室下部壁には新鮮の
水を連続して噴射するために該壁への腐食性ガスの吸着
を抑制して、該壁の腐食を防止でき、装置の延命化が図
れる。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の除害装置の実施の
形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、
本発明の第１の実施の形態の除害装置の概略を示す断面
図である。図１を参照すると、本発明の第1の実施の形
態の除害装置は、内部にスクラバ３を有し、ＮＦ3等の
除去されるべき成分を含有する被除害ガスが導入される
導入管６と、スクラバ３によって処理された被除去成分
（ＮＦ3等）を含有するガスを更に熱分解処理するため
の反応室１と、内部にスクラバ４を有し、反応室１で熱
分解された後のガスをスクラバ４によって処理して排出
する導出管７とを備えている。そして、さらに、反応室
１の下方には、スクラバ３，４で処理され生成した排水
を貯瑠するためのタンク９とを備えている。
形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、
本発明の第１の実施の形態の除害装置の概略を示す断面
図である。図１を参照すると、本発明の第1の実施の形
態の除害装置は、内部にスクラバ３を有し、ＮＦ3等の
除去されるべき成分を含有する被除害ガスが導入される
導入管６と、スクラバ３によって処理された被除去成分
（ＮＦ3等）を含有するガスを更に熱分解処理するため
の反応室１と、内部にスクラバ４を有し、反応室１で熱
分解された後のガスをスクラバ４によって処理して排出
する導出管７とを備えている。そして、さらに、反応室
１の下方には、スクラバ３，４で処理され生成した排水
を貯瑠するためのタンク９とを備えている。
【００１４】導入管の途中にはタンク内にスクラバ３で
処理され生成した排水をタンク９に放出するための排出
管６ａが接続されている。導入管６の反応室１への導入
部にはセラミックス等の高耐熱材からなる内筒８が設け
られており、内筒８の先端開放部から被除去成分（ＮＦ
3等）を含有するガスが反応室１内に放出される。
処理され生成した排水をタンク９に放出するための排出
管６ａが接続されている。導入管６の反応室１への導入
部にはセラミックス等の高耐熱材からなる内筒８が設け
られており、内筒８の先端開放部から被除去成分（ＮＦ
3等）を含有するガスが反応室１内に放出される。
【００１５】反応室下部壁５の構造は、すり鉢状であ
り、該壁に同一方向に旋回するように水洗水を噴出する
水洗水ノズル１０を少なくと一つ設けている。
り、該壁に同一方向に旋回するように水洗水を噴出する
水洗水ノズル１０を少なくと一つ設けている。
【００１６】通常、水洗水ノズル１０は反応室下部壁５
の上端部に設けられる。このノズルは反応室下部壁５の
上端部周囲の同一高さに所定の間隔で複数設けることが
できる。
の上端部に設けられる。このノズルは反応室下部壁５の
上端部周囲の同一高さに所定の間隔で複数設けることが
できる。
【００１７】反応室１の熱分解処理手段には、セラミッ
ク製のヒーター２が使用される。反応室１の内部温度は
ヒーター２によって３００〜１０００℃の範囲に制御さ
れる。なお、反応室１の内壁、反応室下部壁５および内
筒８の材料にはアルミナ等の耐熱材が使用される。
ク製のヒーター２が使用される。反応室１の内部温度は
ヒーター２によって３００〜１０００℃の範囲に制御さ
れる。なお、反応室１の内壁、反応室下部壁５および内
筒８の材料にはアルミナ等の耐熱材が使用される。
【００１８】図２は図１の水洗水ノズル１０から噴出す
る水洗水の流動方向を示す反応室下部壁５部の平断面図
であり、図３は図１の水洗水ノズル１０から噴出する水
洗水の流動方向を示す反応室下部壁５部の縦断面斜視図
である。図中、符号２０は水洗水の流動方向を示す。水
洗水ノズル１０からは連続して水洗水がすり鉢状の反応
室下部壁５を旋回しながら下方に落下して行き、やがて
タンク９に落下する。反応室１で熱分解して生成したガ
スは反応室下部壁の水洗水で冷却され、水に溶解性のガ
スは、この水洗水に溶解して排水としてタンク９内に落
下して貯瑠される。
る水洗水の流動方向を示す反応室下部壁５部の平断面図
であり、図３は図１の水洗水ノズル１０から噴出する水
洗水の流動方向を示す反応室下部壁５部の縦断面斜視図
である。図中、符号２０は水洗水の流動方向を示す。水
洗水ノズル１０からは連続して水洗水がすり鉢状の反応
室下部壁５を旋回しながら下方に落下して行き、やがて
タンク９に落下する。反応室１で熱分解して生成したガ
スは反応室下部壁の水洗水で冷却され、水に溶解性のガ
スは、この水洗水に溶解して排水としてタンク９内に落
下して貯瑠される。
【００１９】次に、図１の除害装置の動作について、Ｎ
Ｆ3含有ガス（被除害ガスという）を処理する場合を例
に説明する。まず、被除害ガスを導入管６に所定の流量
速度で導入する。導入管６に導入された被除害ガスの水
溶性成分や塵埃はスクラバ３から噴霧される水に溶解ま
たは混入して排液となり導入管６に接続された排出管６
ａを通ってタンク９への移動して貯瑠される。タンク９
の貯瑠液は水の使用量を低減させるためにスクラバ３か
ら噴霧する水として循環される。
Ｆ3含有ガス（被除害ガスという）を処理する場合を例
に説明する。まず、被除害ガスを導入管６に所定の流量
速度で導入する。導入管６に導入された被除害ガスの水
溶性成分や塵埃はスクラバ３から噴霧される水に溶解ま
たは混入して排液となり導入管６に接続された排出管６
ａを通ってタンク９への移動して貯瑠される。タンク９
の貯瑠液は水の使用量を低減させるためにスクラバ３か
ら噴霧する水として循環される。
【００２０】スクラバ３によって処理された被除害ガス
にはスクラバから噴霧された水が含有されて、導入管６
に接続された内筒８の先端開放部から反応室１内に放出
される。ヒーター２によって高温に加熱された反応室１
に放出された被除害ガス中のＮＦ３ガスは、水と反応
し、ＮＯ，ＨＮＯ3，ＨＦを生成する。ＮＯは被除害ガ
ス中に含まれる酸素と水によって酸化されＨＮＯ3を生
成すると考えられる。
にはスクラバから噴霧された水が含有されて、導入管６
に接続された内筒８の先端開放部から反応室１内に放出
される。ヒーター２によって高温に加熱された反応室１
に放出された被除害ガス中のＮＦ３ガスは、水と反応
し、ＮＯ，ＨＮＯ3，ＨＦを生成する。ＮＯは被除害ガ
ス中に含まれる酸素と水によって酸化されＨＮＯ3を生
成すると考えられる。
【００２１】熱分解反応で生成したＨＮＯ3，ＨＦ等を
含むガス（熱分解ガスという）は下方に移動し、反応室
下部壁の領域に到達する。反応室下部壁５の壁には水洗
水ノズル１０から連続して噴出され旋回しており、この
水で熱分解ガスが冷却され凝結し、水溶性のガス（ＨＮ
Ｏ3，ＨＦ）は水洗水中に溶解してタンク内に排水とし
て貯瑠される。水洗水ノズル１０の水の噴出口径が２０
ｍｍの場合、反応室ｋ部壁を水洗水が旋回するようにす
るためには、水の噴出量は例えば、２０Ｌ／分以上が必
要である。水洗水の旋回流を作り出す事により、反応室
下部壁５の上部より流入してきた腐食性ガスは旋回流に
巻き込まれ、水との接触効率及び接触時間が高める。従
って、腐食性ガスを高効率で除去することが可能とな
り、反応室下部壁５やその他の除害装置内部の腐食を防
止することができる。なお、水洗水ノズル１０から噴出
される水洗水の流量は、接点付き流量計で制御される。
そして、流量が所定よりも下がった場合にはアラームを
出すアラーム装置を設けておくことが望ましい。また、
アラーム装置のアラームによって被除害ガスの導入管６
への導入を中止する電磁弁等を設けることができる。
含むガス（熱分解ガスという）は下方に移動し、反応室
下部壁の領域に到達する。反応室下部壁５の壁には水洗
水ノズル１０から連続して噴出され旋回しており、この
水で熱分解ガスが冷却され凝結し、水溶性のガス（ＨＮ
Ｏ3，ＨＦ）は水洗水中に溶解してタンク内に排水とし
て貯瑠される。水洗水ノズル１０の水の噴出口径が２０
ｍｍの場合、反応室ｋ部壁を水洗水が旋回するようにす
るためには、水の噴出量は例えば、２０Ｌ／分以上が必
要である。水洗水の旋回流を作り出す事により、反応室
下部壁５の上部より流入してきた腐食性ガスは旋回流に
巻き込まれ、水との接触効率及び接触時間が高める。従
って、腐食性ガスを高効率で除去することが可能とな
り、反応室下部壁５やその他の除害装置内部の腐食を防
止することができる。なお、水洗水ノズル１０から噴出
される水洗水の流量は、接点付き流量計で制御される。
そして、流量が所定よりも下がった場合にはアラームを
出すアラーム装置を設けておくことが望ましい。また、
アラーム装置のアラームによって被除害ガスの導入管６
への導入を中止する電磁弁等を設けることができる。
【００２２】反応室下部壁の領域を通過して水洗水に溶
解しなかったガスは導出管７に移動して、スクラバ４に
よって処理され、水溶性のガス成分はスクラバ水に溶解
して排水となりタンク９内に貯瑠される。導出管７を通
過したガスは外部に放出されるか、または二次処理装置
によって処理された後に、外部に放出される。なお、ス
クラバ４から噴霧する水は新水が使用される。
解しなかったガスは導出管７に移動して、スクラバ４に
よって処理され、水溶性のガス成分はスクラバ水に溶解
して排水となりタンク９内に貯瑠される。導出管７を通
過したガスは外部に放出されるか、または二次処理装置
によって処理された後に、外部に放出される。なお、ス
クラバ４から噴霧する水は新水が使用される。
【００２３】次に、本発明の本発明の除害装置の実施の
形態について図面を参照して説明する。図４は、本発明
の第１の実施の形態の除害装置の概略を示す断面図であ
る。
形態について図面を参照して説明する。図４は、本発明
の第１の実施の形態の除害装置の概略を示す断面図であ
る。
【００２４】本実施の形態の除害装置は、反応室下部壁
５の水洗水ノズルを異なる高さにそれぞれ少なくとも一
つ設けた場合である。このように水洗水ノズルを配置す
ることによって反応室下部壁５の洗浄性と熱分解生成ガ
スと水洗水との接触性を高め、熱分解生成ガスの除去率
を向上させることができる。
５の水洗水ノズルを異なる高さにそれぞれ少なくとも一
つ設けた場合である。このように水洗水ノズルを配置す
ることによって反応室下部壁５の洗浄性と熱分解生成ガ
スと水洗水との接触性を高め、熱分解生成ガスの除去率
を向上させることができる。
【００２５】上記の本発明の実施の形態では、ＮＦ3を
水と熱分解反応させて除害する場合について説明した
が、導入管６に同時にＮＨ3ガスを導入してＮＦ3を水お
よびＮＨ3とで本発明の除害装置は熱分解反応させて除
害する場合についても本発明は適用できる。
水と熱分解反応させて除害する場合について説明した
が、導入管６に同時にＮＨ3ガスを導入してＮＦ3を水お
よびＮＨ3とで本発明の除害装置は熱分解反応させて除
害する場合についても本発明は適用できる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では反応室
下部壁をすり鉢状にするとともに、壁を旋回するように
水洗水を噴出させるノズルを反応室下部壁に設置した構
造としたことにより次の効果が得られる。 （１）水を直接腐食性ガスに接触させる事が出来、また
接触時間が長いために高効率で熱分解で生成した腐食性
ガスを除去出来る。 （２）常に水が流れる構造（滞留しない）となっている
ため、腐食の原因となる腐食性のある水滴が反応室下部
壁に付着（滞留）しないために反応室下部壁の腐食が防
止でき、装置の寿命を延ばすことができる。
下部壁をすり鉢状にするとともに、壁を旋回するように
水洗水を噴出させるノズルを反応室下部壁に設置した構
造としたことにより次の効果が得られる。 （１）水を直接腐食性ガスに接触させる事が出来、また
接触時間が長いために高効率で熱分解で生成した腐食性
ガスを除去出来る。 （２）常に水が流れる構造（滞留しない）となっている
ため、腐食の原因となる腐食性のある水滴が反応室下部
壁に付着（滞留）しないために反応室下部壁の腐食が防
止でき、装置の寿命を延ばすことができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の除害装置の概略を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１の水洗水ノズルから噴出する水洗水の流動
方向を示す反応室下部壁部の平断面図である。
方向を示す反応室下部壁部の平断面図である。
【図３】図１の水洗水ノズルから噴出する水洗水の流動
方向を示す反応室下部壁部の縦断面斜視図である。
方向を示す反応室下部壁部の縦断面斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態の除害装置の概略を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】従来の除害装置の概略を示す断面図である。
１，１００ 反応室 ２，１０１ ヒーター ３，４，１０２，１０３ スクラバ ５，１０４ 反応室下部壁 ６，１０５ 導入管 ６ａ 排出管 ７，１０６ 導出管 ８，１０７ 内筒 ９，１０８ タンク １０，１０ａ 水洗水ノズル ２０ 水洗水の流動方向
Claims (9)
- 【請求項１】 内部に第１のスクラバを有し、除去され
るべき成分を含有する被除害ガスが導入される導入管
と、該導入管の前記第１のスクラバによって処理された
被除去成分含有ガスを更に熱分解処理するための反応室
と、内部に第２のスクラバを有し、前記熱分解処理後の
ガスを前記第２のスクラバによって処理して排出する導
出管と、前記反応室の下方に設けられ、前記第１および
第２のスクラバで処理され生成した排水を貯瑠するため
のタンクとを備え、前記反応室の下部壁の構造がすり鉢
状であり、前記下部壁に該壁に同一方向に旋回するよう
に水洗水を噴出するノズルを少なくとも一つ設けられて
いることを特徴とする除害装置。 - 【請求項２】 前記ノズルが同一高さに所定の間隔で複
数個設けられていることを特徴とする請求項１記載の除
害装置。 - 【請求項３】 前記ノズルが異なる高さに複数個設けら
れていることを特徴とする請求項１記載の除害装置。 - 【請求項４】 前記ノズルから前記水洗水が連続して噴
出されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記
載の除害装置。 - 【請求項５】 前記ノズルから噴出する流量が所定の量
以下になった場合にアラームを出すアラーム装置を備え
ていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載
の除害装置。 - 【請求項６】 前記アラーム装置の警報に基づき前記被
除害ガスの導入を中止する手段を備えていることを特徴
とする請求項５記載の除害装置。 - 【請求項７】 前記反応室の前記熱分解手段としてセラ
ミックヒーターが使用されることを特徴とする請求項１
〜６のいずれかに記載の除害装置。 - 【請求項８】 前記被除害ガスが被除去成分含有ガスと
してＮＦ3を含むことを特徴とする請求項１〜７のいず
れかに記載の除害装置。 - 【請求項９】 前記導入管にさらにＮＨ3ガス導入管が
接続されていることを特徴とする請求項１記載の除害装
置。
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