JPH02103311A

JPH02103311A - 有毒性排ガスの燃焼処理方法

Info

Publication number: JPH02103311A
Application number: JP63255614A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Yoneda; 則行米田; Hidehiko Kudo; 英彦工藤; Norio Iwamoto; 岩本　憲男; Munekazu Nakamura; 宗和中村; Chiaki Kojima; 千秋小島; Kunio Kaneko; 金子　邦雄; Yoshifumi Mori; 森　芳文; Hideto Ishikawa; 石川　秀人
Original assignee: Chiyoda Corp; Sony Corp; Chiyoda Chemical Engineering and Construction Co Ltd
Current assignee: Chiyoda Corp; Sony Corp; Chiyoda Chemical Engineering and Construction Co Ltd
Priority date: 1988-10-11
Filing date: 1988-10-11
Publication date: 1990-04-16
Anticipated expiration: 2013-04-22
Also published as: JP2742562B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明は、アルシン（ＡｓＨ＊）、ホスフィン（ＰＨ３
）。

ジボラン（ＢＩ　Ｈ＠　）、モノシラン（ＳｉＨ４）等
で代表される有毒性ガスを含む排ガスを無害化するため
の燃焼処理方法に関するものである。

〔従来技術及びその問題点〕

半導体製造工程からは、前記した如きガス状の有毒性物
質を含む有毒性排ガスが生成する。このような有毒性排
ガスは人体に対する毒性が極めて高いので、その排ガス
の大気への放出に際しては、それに含まれる有毒性物質
の完全除去が要求される。また排ガスの処理操作中にお
ける有毒ガスの漏洩も防止する必要がある。

排ガス中に含まれる有毒性物質を除去するための有効な
方法の１つとして、燃焼法が知られている（特開昭６２
−１３４４１４号、特開昭６２−１５２５１７号）、こ
の方法は、排ガス中の有毒性物質を燃焼条件で酸化分解
し、単体元素や酸化物の固体状物質に変換させて除去す
る方法である。アルシンを燃焼処理すると、砒素（Ａｓ
）や砒素酸化物（Ａｓ、０．）、ホスフィンを燃焼処理
すると、燐（Ｐ）、リン酸化物（Ｐ３０．　）、シラン
を燃焼させると、砒素酸化物（Ｓｊ　Ｏ。

５ｉｎ２）等の固体微粉末がそれぞれ生成する。

この固体状物質も有毒であるため完全に燃焼ガス中から
除去されなければならないが、生成される固体状物質は
、気相で生成されるためサブミクロンサイズの微粉末で
あることから、通常の数ミクロンサイズの微粉末に比し
燃焼ガス中のこの固体微粉末を燃焼ガスから完全除去す
るのに著しい困難が生じる。前記従来の方法においては
、支燃ガスとして空気を用いるとともに、微粉末の炉壁
への付着を防止するために、炉壁がら空気を通風ガスと
して導入し、炉内に線速度の大きい空気流を形成させ、
生成した微粉末を燃焼炉からの排ガス中に同伴させて燃
焼炉外へ導き、炉外に設けた湿式除塵装置を用いて排ガ
スから除去している。

しかしながら、このような空気燃焼法では、排ガス流量
に対して火炎が安定して存在する範囲が極めて狭く、火
炎の吹飛びが生じて有毒性ガスの完全燃焼が行えず、燃
焼炉からの排ガス中には未分解の有毒性ガスが残るため
、その除去のための吸着処理等の２次処理が必要となる
。その上、燃焼炉から排出される微粉末を含む排ガス量
が多いため、除塵装置が大型のものになるという問題が
ある。さらに、生成される微粉末には、本来完全酸化物
であればＡｓ２Ｏ６、Ｐ２ＯいＳｉｎ、等の高次酸化物
が生成するはずのものが１部分酸化物や熱分解物、例え
ば、Ａｓ）ｌ、の燃焼処理ではＡｓ２Ｏ３やＡｓ、　Ｐ
Ｈ３の燃焼処理ではＰ２Ｏ３やＰ、　５ｉ）１．の燃焼
処理ではＳｉや自然発火性のＳｉＯ等の部分酸化物や熱
分解物が生成して微粉末に含まれるという問題がある。

そして、これらのものは、水に不溶性であったり、溶解
度が低かったりするため、排ガスから湿式除塵すること
が困難となる。またＳｉＯのように自然発火性のものは
危険を伴うため、取扱いが困難であるという問題を含む
。

〔発明の課題〕

本発明は、従来の有毒性排ガスの燃焼処理に見られる前
記問題を解決することをその課題とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意研究を重
ねた結果、支燃ガスとして６０％以上の酸素濃度を有す
る酸素ガスを用いるとともに、炉内に導入される全非可
燃性ガス量を、同じく炉内に導入される有毒性排ガス量
の４倍以下に保持して有毒性排ガスを燃焼処理し、生成
した燃焼ガスを固体冷却面と接触させ、該燃焼ガスに含
まれる水蒸気を凝縮させるとともに、該燃焼ガスに水滴
を噴射して燃焼ガス中に含まれる固体微粉末を該水滴に
捕捉吸収させた後、炉外へ排出することによって、前記
課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに到
った。

即ち、本発明によれば、天井部に下向きの拡散型バーナ
を有する燃焼炉内に有毒性排ガス及び支燃ガスを該バー
ナを介して導入して燃焼させる方法において、該支燃ガ
スとして６０ｖｏｌ％以上の酸素濃度を有する酸素ガス
を用い、かつ該炉内に導入される全非可燃性ガス量を、
該有毒性排ガス導入量１容量部当り、４容量部以下に保
持して該有毒性排ガスを燃焼処理し、生成した燃焼ガス
を固体冷却面と接触させ、該燃焼ガスに含まれる水蒸気
を凝縮させるとともに、該燃焼ガスに水滴を噴射して燃
焼ガス中に含まれる固体微粉末を該水滴に捕捉吸収させ
た後、炉外へ排出させることを特徴とする有毒性排ガス
の燃焼処理方法が提供される。

本発明で処理対象とする有毒性ガスは、燃焼処理により
固体微粉末を生成するものである。このような有毒性ガ
スの代表例としては、アルシン。

ホスフィン、ジボラン、セレン化水素、モノシラン、ク
ロロシラン、トリメチルガリウム、トリメチルインジウ
ム、トリメチルアルミニウム等の周期律表■族〜■族の
元素の化合物であり、常温で気体状態を示すものが挙げ
られる。このような有毒性ガスは、半導体製造工程や、
新素材製造工程、光フアイバー製造工程等の反応工程か
ら生成される排ガス中に含まれる。このような排ガスに
おいて、有毒性ガス含有量は、容量％で、０．０１〜５
０％であり、残部は、その排ガスの種類に対応して、水
素ガスや、窒素、アルゴン等のガスからなる。また、排
ガス中に可燃成分が少なく火炎形成の不十分なときは、
排ガスに、水素、メタン等の可燃性ガスを混合してもよ
い。この場合、これ等可燃性ガスを混合した全量を排ガ
スとみなし処理する。

本発明において、有毒性排ガスの燃焼処理に用いる支燃
ガスとして、酸素濃度６０％（ｖｏｌ）以上の酸素ガス
、好ましくは濃度１００％の酸素ガスを用いる。

このような支燃ガスを用いる燃焼処理により、火炎の吹
飛びを防止し、有毒性ガスを実質的に完全分解でき、か
つ分解生成物の大部分をスクラバー等で除去の容易な水
溶性の高次酸化物に変換させることができる。さらに、
前記高濃度の酸素ガスを用いる時には、燃焼ガス中の窒
素量は著しく減少し、燃焼炉から排出される燃焼排ガス
量を効果的に低減化できる。

本発明においては、前記高濃度酸素ガスの使用との関連
において、炉内に導入される支燃ガス、通風ガス等を合
せた全非可燃性ガス量を、同じく炉内に導入される有毒
性排ガス量１容量部当り、４容量部以下、好ましくは１
．５容量部以下に保持する。この全非可燃性ガス量の規
定は、支燃ガスとして燃焼反応にとって不必要な窒素を
低減せしめた高濃度酸素ガスを用いることによって達成
することができる。更に、高濃度酸素ガスを用いる時に
は、有毒性ガスの燃焼により生成される微粉末は、水溶
性の高次酸化物（ｐ、ｏ、、Ａｓ、０．、　Ｓｉｎ、等
）で、炉内に存在する水や水滴によって容易に捕捉吸収
されてガスから分離される。また、支燃ガス中の酸素は
、前記のように有毒性ガスを微粉末としての高次酸化物
に変換させる他、水素等の他の可燃性ガスを水蒸気に変
換させるが、この水蒸気は冷却面と接触させることによ
り凝縮水としてガスから分離することができる。このよ
うにして、炉内に導入する全非可燃性ガス量を減少させ
ることができ、燃焼炉からの燃焼排ガス量を著しく減少
させることができる。さらに、前記のように、燃焼処理
で生成した微粉末を炉内において水により吸収捕捉させ
てガスから分離することにより、燃焼排ガスに同伴され
る微粉末量を減少させることができる。この場合、燃焼
排ガス量が少なくなるため、微粉末の湿式除塵率が高く
なり、最終的に系外に排出される微粉末の量も、従来法
に比し極めて減少させることができる。

以上の結果、燃焼炉燃焼排ガスの除塵処理は非常に容易
になり、その除塵設備は小型のものですむ。

なお、本明細書中で言う非可燃性ガスとは、燃焼炉に供
給される排ガス及びバーナー閉塞防止のためのカーテン
用ガス、及びパイロットバーナ用の可燃性ガス以外のガ
スをいい、即ち、支燃ガスに含まれる酸素及び窒素、燃
焼炉の通気に用いられる空気、バーナ閉塞防止のために
用いられるカーテン用窒素、炉内に水を噴射する際に用
いる空気等が包含される。

本発明においては、有毒性排ガスの燃焼処理により生成
した燃焼ガスは、炉外へ排出される以前に、冷却処理さ
れる。この冷却処理は、燃焼ガスを固体冷却面と接触さ
せることによって行うことができる。固体冷却面は１例
えば、冷却器あるいは熱交換器を配設し、これに冷却ガ
ス又は冷却水を流通させることによって形成することが
できる。

冷却器あるいは熱交換器は公知のものを使用すればよく
５例えば、冷却コイルを用いるものや、プレート型熱交
換器を用いることができる。固体冷却面は、燃焼炉に後
続して設置してもよいが、好ましくは燃焼炉内に設置す
るのがよい。また、燃焼炉の炉壁を二重壁のジャケット
としてジャケット型熱交換器とすれば設置空間が節約で
き好ましい、これらの固体冷却面による冷却処理により
、燃焼ガス中に含まれる水蒸気は凝縮して水に変換され
る。そして、この凝縮水は、有毒性ガスの燃焼処理によ
り生成゛した微粉末を捕捉吸収する。

本発明においては、さらに、燃焼ガスには、水滴を噴射
し、燃焼ガスに含まれる固体微粉末を捕捉吸収する。こ
の場合、燃焼ガスへの水滴の噴射は、スプレーノズルや
ベンチュリースクラバー等を用いて行うことができる。

前記のようにして、燃焼ガスを冷却しかつ水滴と接触さ
せる時には、燃焼ガスに含まれる固体微粉末を効率よく
捕捉吸収させることができるので、燃焼炉からの排ガス
中に含まれる固体微粉末量を著しく減少させることがで
きる。

即ち１本発明の場合は、前記のように、支燃ガスとして
高濃度酸素ガスを用いて有毒性ガスを燃焼処理している
ことから、固体微粉末は高次酸化物となり、水溶性の高
いものとなっている。また、全非可燃性ガス量が少なく
規定されて、凝縮水及び噴射水滴との接触効率が高めら
れている。酒従って、この固体微粉末は、前記のように
して燃焼ガスの冷却によって生成する凝縮水及び外部か
ら噴射される水滴によって、容易に捕捉吸収され、燃焼
ガスから除去され、これによって、燃焼炉排ガス中の固
体微粉末濃度は著しく減少する。

本発明で用いる燃焼バーナとしては、拡散型バーナの使
用が好ましい、拡散型バーナでは、燃焼炉の先端におい
て有毒性ガスと支燃ガスとの混合が行われる。燃焼炉に
入る手前で有毒性ガスと支燃ガスとの混合を行う予混合
方式のバーナでは。

その有毒性ガスが高反応性の場合、その有毒性ガスと支
燃ガスとがノズル内で反応し、固形分を生成するため、
ノズル閉塞の問題が生じるので好ましくない、この拡散
型バーナの基本構造は、有毒性ガス流通路と支燃ガス流
路をそれぞれ独立して有するものであり、必要に応じ、
可燃性ガス流路や不活性ガス流路を有し、また外周部に
水冷ジャケットを有する。支燃ガスとしては、酸素富化
空気又は酸素が用いられる。可燃性ガスとしては、水素
、メタン等が用いられる。

有毒性ガス流路と支燃ガス流路との間に可燃性ガス流路
を介在させる時には、バーナ出口直後における有毒性ガ
スと支燃ガスとの拡散混合を防止し得るので、固体微粉
末のバーナ先端部への付着が防止される。即ち、この場
合には、バーナ先端部では、支燃ガスは可燃性ガスによ
り全て消費されて、有毒性ガスまで拡散しないので、バ
ーナ先端部での有毒性ガスと酸素等の支燃ガスとの反応
を確実に防止することができる。前記可燃性ガスに代え
て窒素ガス等の不活性ガスを使用することによっても、
バーナ先端部での有毒性ガスと支燃ガスとの拡散混合を
防止し得るが、この場合には、バーナ先端部での有毒性
ガスと酸素等の支燃性ガスとの反応を完全には防止し得
ないので、有毒性ガスが高温度である場合や、゛長時間
の燃焼処理を行う場合には、バーナ先端部への固体微粉
末の付着を十分には防止することができず、しかも燃焼
効率が低下するという問題がある。従って、バーナ先端
部での有毒性ガスと支燃性ガスとの混合を防止するには
、燃焼条件に応じ、可燃性ガス又は不活性ガスを適宜選
択するのがよい。

拡散型バーナの具体例を示すと１例えば、全体を４重管
構造とし、その中心部に位置する第１導管を有毒性ガス
ノズル、その外側に位置する第２導管を１次支燃ガスノ
ズル、その外側に位置する第３導管を２次支燃ガスノズ
ルとしてそれぞれ形成し、その外側の第４導管をその先
端を封止し、冷却ジャケットとして形成したものや、全
体を３重管構造とし、中心部に位置する第１導管を有毒
性ガスノズル、その外側に位置する第２導管を支燃ガス
ノズルとしてそれぞれ形成し、その外側に位置する第３
導管をその先端を封止して冷却ジャケットとして形成し
たもの、全体を４重管構造とし、その中心部に位置する
第１導管を有毒性ガスノズル、その外側に位置する第２
導管を可燃性ガスノズル、その外側に位置する第３導管
を支燃ガスノズルとしてそれぞれ形成し、その外側に位
置する第４導管をその先端を封止して冷却ジャケットと
して形成したもの、全体を４重管構造とし、その中心部
に位置する第１導管を可燃性ガスノズル、その外側に位
置する第２導管を有毒性ガスノズル、その外側に位置す
る第３導管を可燃性ガスノズル、その外側に位置する第
４導管を支燃ガスノズルとしてそれぞれ形成したもの、
２重管の中心部に複数の導管を挿入した構造で、その中
心部の複数の導管を有毒性ガスノズルとして形成し、そ
れを包囲する導管を可燃性ガスノズル、その外側に位置
する導管を支燃性ガスノズルとして形成したもの、及び
各ノズルの先端部をそれぞれしぼった構造のバーナ等が
挙げられる。先端部をしぼったバーナは火炎が集中し、
着火及び燃焼が安定し、燃焼効率がよい。

更に、本発明において燃焼バーナを燃焼炉の天井部に下
向きに設置し、火炎を下方に向けて形成する。火炎を下
向きとすることにより火炎を集中化することができ、高
温で有毒性排ガスを完全燃焼することが可能であり、燃
焼スペースもコンパクト化できる。また、燃焼ガスへの
水滴の噴射を。

炉内下部で行うことにより火炎に対し影響を与えること
がなく、その上燃焼ガス中の固体微粉末の吸収も効率よ
くなされる。

次に本発明を図面により説明する。第１図は、本発明の
方法を実施するための燃焼炉の１例についての説明断面
図を示す。

この燃焼炉は、その本体を形成する筒体１の天井部にバ
ーナ５が配設され、また筒体１の底部には燃焼ガス排出
管１３が下向きに配設されている。筒体１の周壁は内壁
１５と外壁１６とから構成される２重壁構造になり、２
重壁間の空隙部１１には冷却水が流通されるようになっ
ている。即ち、下端部の導管７から冷却水が導入され、
この冷却水は２重壁の空隙部１１を通った後、上端部の
導管１２を通して導出される。このような冷却水の流通
により、内壁１５は冷却面を形成する。バーナ５を前記
のように下向きにし、下向きの火炎を形成する。

また、燃焼炉（筒体）１の下部壁には、スプレーノズル
３０が配設されている。このスプレーノズル３０は、炉
内に水滴を噴射し、燃焼ガスに衝突させて、燃焼ガスを
急冷するとともに、燃焼ガス中の固体微粉末を除去する
ために設けられたものである。即ち、燃焼ガスを急冷す
ることにより、ガス中の水蒸気が、固体微粉末を核とし
て凝縮して水滴化し、固体微粉末を水滴中に取込み除去
するものであり、また、固体微粉末と噴射水滴とが衝突
することにより、固体微粉末が水滴中に取込まれ除去さ
れる。

水滴噴射は、スプレーノズル３０の代りにガス排出口に
ベンチュリースクラバーを配置して行ってもよい、ベン
チュリースクラバーでは、ストロ−より圧力水を噴射し
て形成した微細水滴と燃焼ガス中の固体微粉末が衝突し
、固体微粉末は水滴中に捕集され、上記スプレーノズル
と同様に燃焼ガス中から除去される。

また、燃焼炉には、図示されてはいないが、パイロット
バーナや、パイロットバーナの点火を確認されるための
火炎検知装置（紫外線検知装置）が配設されている。

次に、第１図に示した装置を用いて本発明を実施する場
合の具体例について説明する。

先ず、パイロットバーナ（図示されず）で水素ガスを空
気で燃焼させて水素炎を形成するとともに、スプレーノ
ズル３０から水滴を炉内に噴射し、さらに、導管７から
冷却水を導入し、これを導管１２により導出させる。

次に、拡散型バーナ５の先端封止の第４導管２４に水を
装入して水冷ジャケットを形成し、第３導管２３に２次
酸素、第２導管２２に１次酸素及び第１導管２１に有毒
性排ガスを導入し、これらのガスをバーナ先端から噴出
させ、パイロットバーナの水素炎で着火し、燃焼させる
。このようにして有毒性排ガスを燃焼処理することによ
り、固体微粉末を含む燃焼ガスが生成されるが、この燃
焼ガスは、炉壁に形成された冷却面によって冷却される
とともに、スプレーノズル３０から噴射される水滴によ
って冷却される。燃焼ガスに含まれる固体微粉末は、燃
焼ガスの冷却により凝縮した凝縮水及びスプレーノズル
３０から噴射される水滴によって捕捉吸収される。そし
て、固体微粉末を捕捉吸収した水は、炉底部の開口部か
ら排出管１３を通って炉外へ燃焼排ガスとともに排出さ
れる。

前記のように炉壁内面に冷却面を形成して有毒性排ガス
を燃焼処理する場合、燃焼バーナ側から。

燃焼ガス排出口側へ向うように導管３２がら空気を導入
して炉内ガスを流してもよい、排出口へ向う炉内ガスの
線速度は、１重１秒以下、好ましくは０．０５膳／秒以
下、さらに好ましくは０．０１ｇ＋／秒以下にするのが
よい、このような非常に遅い炉内の線速度では、固体微
粉末の炉内の滞留時間が長くなり、固体微粉末は炉内に
存在する水と長く接触し、効率よく燃焼ガスから除去さ
れる。

前記のような有毒性排ガスの燃焼処理においては、生成
した固体微粉末の大部分を炉内において捕捉することが
できる。

〔発明の効果〕

本発明では、高酸素濃度の支燃ガスを用いたことから、
有毒性排ガスの処理により生成する微粉末は、高次酸化
物となって可溶性を示し、取扱いの容易なものであり、
燃焼排ガスから容易に分離することができる上、燃焼炉
に導入される全非可燃性ガス量を、同じく燃焼炉に導入
される有毒性排ガス量の４倍以下に保持したことにより
、燃焼炉からの燃焼排ガス量は著しく少なくなり、燃焼
排ガスの処理が非常に容易となる。即ち、炉内の非可燃
性ガスを有毒性排ガス量の４倍以下とすることにより燃
焼排ガス量が著しく減少され、燃焼により生ずる毒性微
粉末が前記のように炉内において容易に湿式除塵され、
系外に排出される燃焼排ガス中に含有される微粉末量も
減少され（一般には、排ガス１ｒ＋？当り１〜５ｇ以下
）、最終工程における除塵にフィルターを用いる場合、
除塵フィルターの寿命が延びる等工業的に極めて有利と
なる。

この場合、フィルターは、一般には炉外へ配設されるが
、場合によっては、燃焼炉の下端部に配設することも可
能である。

〔実施例〕

次に本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。

実施例１第１図に示した装置を用い、有毒性ガスの燃焼処理を行
った。この場合、有毒性ガスとしては、ホスフィン（Ｐ
Ｈ，）５容量％、アルシン（ＡｓＨａ）１容量％及び残
部水素ガスからなるガスを用いた。

第１図に示した装置において、導管７から冷却水を導入
し、導管１２から冷却水を導出して、炉壁に冷却面を形
成するとともに、パイロットバーナで水素を燃焼させて
水素炎を形成し、そして、スプレーノズル３０から水を
噴出させて、炉内に水滴を分散させた。

次に、前記有毒性排ガスを燃焼処理するために、バーナ
の導管２２を通して１次酸素（１００％０□）、導管２
３を通して２次酸素（１００％０□）をそれぞれ炉内に
導入するとともに、導管２１を通して前記有毒性排ガス
を炉内に導入して燃焼させた。また、先端封止の導管２
４には水を装入して水冷ジャケットを形成した。

次に、具体的操作条件を示す。

〔燃焼条件〕

（１）有毒性排ガス（導管２１）流　量：１２ＮＱ／分線速度：　５ｍ／秒（２）１次酸素（導管２２）流　量：　６１１１Ｑ／分線速度：１．４ｍ＋／秒（３）２次酸素（導管２３）流　量：１０１１ｇ／分線速度：　１　、５ｍ／秒〔冷却面形成条件〕（１）水量（導管？）　：　２０Ｑ／分〔水滴形成条件
〕（１）噴水量（スプレーノズル３０）：１２Ｑ／分〔炉
内ガス条件〕（２）非可燃性ガス／有毒性排ガス容積比：約１．３（
３）上方から下方への炉内ガス線速度”　：　０．５８
ｃｍ／秒０燃焼後の水蒸気を除いた残存ガスペース前記のように
して有毒性排ガスを燃焼処理した結果、炉底部から排出
される燃焼排ガス中にはホスフィン及びアルシンは全く
検出されなかった。

また、燃焼排ガス中に含まれる固体微粉末（Ｐｓｉｓ及
びＡｓ、Ｏ，等）を測定し、この測定量と全有毒性ガス
処理量に基づく固体微粉末生成量とから、炉内における
固体微粉末除去率を算出した結果、Ｐ２Ｏ。

等の除去率９８．３％及びＡｓ、０．率の除去率９６．
９％の成績が得られた。

比較例１実施例１において、２次酸素１　ＯＮＬ’分に代え空気
量を５ＯＮＩ２／分にし、非可燃性ガス／有毒性排ガス
容積比＝４．７とした以外は同様にして実験を行った。

この場合、炉底部から排出される燃焼排ガス中にはホス
フィン及びアルシンは、それぞれ３ｐｐｍ、０．５ｐｐ
ｍ検出された。Ａｓ２Ｏ３等除去率は９２．錦及びＰ２
Ｏ１等除去率は９３．１％にそれぞれ低下した。

実施例２実施例１において、有毒性排ガスとしてホスフィン（Ｐ
Ｉ（、）３容ｆｆｉ％と水素ガス９７容量％との混合物
を用い、下記の操作条件を用い、それ以外は同様にして
実験を行った。

〔燃焼条件〕

（１）有毒性排ガス（導管２］）流　景：２１ＮＱ／分線速度：　８　、７５ｍ／秒（２）１次酸素（導管２２）流　量：４ＮＱ／分線速度：　０　、９ｍ／秒（３）２次酸素（導管２３）流　量：１ＯＮＱ１分線　速：　１　、５ｍ／分〔炉内ガス条件〕（２）非可燃性ガス／有毒性排ガス容積比：約０．７（
３）炉内ガス線速度：０．３３ｃｍ／秒前記のようにし
て燃焼処理した結果、炉底部から排出される燃焼排ガス
中のホスフィンは全く検出されず、燃焼排ガス中のＰ、
０．濃度測定より求めたｐ、　ｏ、除去率は９９．１％
であった。

実施例３実施例１において、有毒性排ガスとしてホスフィン５容
量２と水素ガス９５容ｆｉｔ％との混合物を用い、下記
の操作条件を用い、それ以外は同様にして実験を行った
。

〔燃焼条件〕

（１）有毒排ガス（導管２１）：１２ＮＱ／分（２）酸
素（導管２２）　：４ＮＱ１分（３）空気（導管２３）
　：　１６ＮＱ／分〔炉内ガス条件〕（２）非可燃性ガス／有毒性排ガス容積比：１．７（３
）炉内ガス線速度：　０．８１ｃｍ／秒前記のようにし
て燃焼処理を行った結果、燃焼排ガス中にはホスフィン
は検出されなかった。

比較例２実施例３において、導管２２から空気：　１ＯＮｆｆｉ
／分。

導管２３から空気：３５Ｎρ／分をそれぞれ導入した以
外は同様にして実験を行った結果、燃焼排ガス中にはホ
スフィン１２ｐｐｎ＋が検出された。

【図面の簡単な説明】第１図は本発明の方法を実施するための燃焼炉の説明断
面図である。１・・・炉本体、５・・・燃焼バーナ、１５・・・冷却
面、１３・・・ガス排出管、　３０・・・スプレーノズ
ル。第１図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）天井部に下向きの拡散型バーナを有する燃焼炉内
に有毒性排ガス及び支燃ガスを該バーナを介して導入し
て燃焼させる方法において、該支燃ガスとして６０ｖｏ
ｌ％以上の酸素濃度を有する酸素ガスを用い、かつ該炉
内に導入される全非可燃性ガス量を、該有毒性排ガス導
入量１容量部当り、４容量部以下に保持して該有毒性排
ガスを燃焼処理し。生成した燃焼ガスを固体冷却面と接触させ、該燃焼ガス
に含まれる水蒸気を凝縮させるとともに、該燃焼ガスに
水滴を噴射して燃焼ガス中に含まれる固体微粉末を該水
滴に捕捉吸収させた後、炉外へ排出させることを特徴と
する有毒性排ガスの燃焼処理方法。
（２）該燃焼炉内壁に固体冷却面が形成されている請求
項１の方法。
（３）炉内ガスの線速度が０．０５ｍ／秒以下である請
求項２の方法。
（４）該酸素ガスが濃度１００％の酸素ガスである請求
項１〜３のいずれかの方法。