JP2008514388A - 生産工程からの有毒ガスの洗浄装置 - Google Patents
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Description
Claims (16)
- 生産工程で発生する有毒ガスを反応室内で加熱することによって変換し、その後、洗浄装置内で反応生成物を吸収剤で処理し、この処理で水溶性の反応生成物は吸収し、固体の反応生成物は除去することによって前記有毒ガスを洗浄する有毒ガス洗浄装置において、
前記反応室(1)は内壁(3)と外壁(2)とから構成され、前記内壁(3)は、予め設定された角度のテーパが付けられることにより漏斗状に下方に向かって細くなっており、前記反応室(1)の上には、前記漏斗状の内壁(3)の上部を閉鎖して有毒ガスを熱処理する装置が設置されており、前記反応室(1)の下方に向かって細くなる前記内壁(3)の内面では、フィルム状の薄い水幕(4)が下方に向かって一様に流れており、前記反応室(1)の内壁(3)の外側はウォーターカーテンによって取り囲まれており、細くなっている前記内壁(3)の下端部には排気ガス排出口(11)と水循環用のコネクター(12)が設置されていることを特徴とする有毒ガス洗浄装置。 - 有毒排気ガスを熱処理する装置が、前記反応室(1)内で火炎を下向に向かって放出して燃焼するバーナー(15)であることを特徴とする請求項1記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記バーナー(15)は、処理する有毒排気ガスを供給するセンターガス供給管(17)を少なくとも一つ備えた外部混合型のバーナーになっていることを特徴とする請求項2記載の有毒ガス洗浄装置。
- 処理する有毒排気ガス用の前記供給管(17)が複数本取り付けられており、また、燃焼ガス用のノズルおよび空気ないし酸素用のノズルが、前記センターガス供給管(17)を取り囲んでいることを特徴とする請求項3記載の有毒ガス洗浄装置。
- 有毒排気ガスを熱処理する装置は、電気加熱室(21)であり、該電気加熱室(21)には熱処理する有毒排気ガス用の供給管(17)が複数本取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記電気加熱室(21)は、該電気加熱室(21)内に突出した、互いに平行な複数のヒーターロッド(23)で加熱できることを特徴とする請求項5の有毒ガス洗浄装置。
- 前記外壁(2)と前記内壁(3)の下部が、リング状のフロアプレート(7)で連結されることにより、前記内壁(3)と前記外壁(2)との間にある内部スペース(5)を水でほぼ満杯に充填することができ、前記内壁(3)のアッパーエッジ(6)は、前記内部スペース(5)内に充填されている水をオーバーフローする構造になっており、また前記内部スペース(5)には一本の給水管が接続されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記給水管には、前記内部スペース(5)へ供給される水をコントロールする制御装置が取り付けられていることを特徴とする請求項7記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記給水管には、給水用のスロットル装置が取り付けられていることを特徴とする請求項7記載の装置。
- 前記排気ガス排出口(11)は、前記反応室(1)の隣に設置されている洗浄コラム(26)と接続していることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記排気ガス排出口(11)と洗浄コラム(26)の間には、前記内壁(3)から出た熱処理終了後の排気ガスを冷却する冷却装置が設置されていることを特徴とする請求項10記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記冷却装置は、少なくとも一つの散水用スプレーノズル(34)から構成されていることを特徴とする請求項11記載の有毒ガス洗浄装置。
- 少なくとも一つの前記スプレーノズル(34)から放出される水は、立ち昇るガス流に向かって放出されることを特徴とする請求項12記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記内部スペース(5)へ給水する前記給水管は、一本のスタンドパイプ(8)から構成されており、該スタンドパイプ(8)の排水用の開口部(9)は前記フロアプレート(7)より上方に設置されていることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記反応室は二つ(1、1’)設置されており、該反応室の排気ガス排出口(11)は、洗浄コラム(26)または水循環系(10)のどちらかに接続できるようになっていることを特徴とする請求項1乃至14のいずれかに記載の有毒ガス洗浄装置。
- 前記各反応室(1、1’)の水循環系用コネクター(12)は、給水タンク(13)に接続し、また該給水タンクは固体反応生成物用のフィルター装置(31)と、前記内部スペース(5)へ給水するポンプ(32)に接続していることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載の有毒ガス洗浄装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6047652B1 (ja) * | 2015-09-04 | 2016-12-21 | グローバル スタンダード テクノロジー カンパニー リミテッド | 統合型半導体排ガス浄化装置 |
WO2018034331A1 (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
JP2018031579A (ja) * | 2016-08-19 | 2018-03-01 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101094913B1 (ko) * | 2006-06-09 | 2011-12-16 | 소이텍 | Iii-v 족 반도체 물질을 형성하기 위한 제조 공정 시스템 |
DE102006031816B4 (de) * | 2006-07-07 | 2008-04-30 | Siemens Fuel Gasification Technology Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Kühlung von heißen Gasen und verflüssigter Schlacke bei der Flugstromvergasung |
KR101390425B1 (ko) | 2006-11-22 | 2014-05-19 | 소이텍 | 화학기상증착 챔버용 온도제어 퍼지 게이트 밸브 |
KR101379410B1 (ko) | 2006-11-22 | 2014-04-11 | 소이텍 | 3-5족 반도체 재료들의 대량생산을 위한 설비 |
KR101353334B1 (ko) * | 2006-11-22 | 2014-02-18 | 소이텍 | 갈륨 질화물 증착에서의 반응 가스 감소 |
JP5656184B2 (ja) | 2006-11-22 | 2015-01-21 | ソイテック | 三塩化ガリウムの噴射方式 |
US9481944B2 (en) | 2006-11-22 | 2016-11-01 | Soitec | Gas injectors including a funnel- or wedge-shaped channel for chemical vapor deposition (CVD) systems and CVD systems with the same |
US20090223441A1 (en) * | 2006-11-22 | 2009-09-10 | Chantal Arena | High volume delivery system for gallium trichloride |
WO2008064077A2 (en) | 2006-11-22 | 2008-05-29 | S.O.I.Tec Silicon On Insulator Technologies | Methods for high volume manufacture of group iii-v semiconductor materials |
US9481943B2 (en) | 2006-11-22 | 2016-11-01 | Soitec | Gallium trichloride injection scheme |
JP4937886B2 (ja) * | 2006-12-05 | 2012-05-23 | 株式会社荏原製作所 | 燃焼式排ガス処理装置 |
US8591819B2 (en) | 2006-12-05 | 2013-11-26 | Ebara Corporation | Combustion-type exhaust gas treatment apparatus |
TWI386251B (zh) * | 2010-06-07 | 2013-02-21 | Macronix Int Co Ltd | 製程廢氣處理裝置及製程廢氣處理方法 |
WO2012064931A1 (en) * | 2010-11-10 | 2012-05-18 | Gundersen Lutheran Health Systems, Inc. | Contaminant removal from gas streams |
US9089811B2 (en) | 2012-04-30 | 2015-07-28 | Highvac Corp. | Coaxial / coaxial treatment module |
CN104654317B (zh) * | 2014-12-22 | 2017-04-12 | 贞丰县北盘江镇鸿发实木家具厂 | 木炭窑尾气处理设备 |
GB2561190A (en) | 2017-04-04 | 2018-10-10 | Edwards Ltd | Purge gas feeding means, abatement systems and methods of modifying abatement systems |
KR20190061556A (ko) | 2017-11-28 | 2019-06-05 | 회명마루지오(주) | 유독성기체 정화장치 및 유독성 기체 정화방법 |
CN108619876A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-10-09 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 | 一种半导体制程废气中氟化物的净化装置 |
DE102019117331B4 (de) * | 2019-06-27 | 2024-07-04 | Das Environmental Expert Gmbh | Brenner zur Erzeugung einer Flamme für die Verbrennung von Prozessgas und Abgasbehandlungsvorrichtung mit einem Brenner |
KR102049811B1 (ko) | 2019-09-03 | 2019-11-28 | 회명워터젠(주) | 유독성기체 정화장치 및 유독성 기체 정화방법 |
DE102021103365B4 (de) | 2021-02-12 | 2024-02-15 | Das Environmental Expert Gmbh | Verfahren und Brenner zur thermischen Entsorgung von Schadstoffen in Prozessgasen |
CN113058356B (zh) * | 2021-03-17 | 2022-06-21 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 | 一种处理半导体dpy工艺的废气处理装置 |
CN113058360B (zh) * | 2021-03-17 | 2022-06-21 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 | 一种在线可拆废气处理装置 |
CN113230777B (zh) * | 2021-05-25 | 2022-07-12 | 承德石油高等专科学校 | 化工尾气净化处理系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02103311A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-16 | Chiyoda Corp | 有毒性排ガスの燃焼処理方法 |
JP2002166126A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-11 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 燃焼排ガスの処理装置 |
JP2002188810A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-07-05 | Kanken Techno Co Ltd | 半導体排ガス処理装置の排ガス処理塔と該処理塔用の電熱ヒータ |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58100028U (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-07 | 株式会社公害防止センタ− | 有毒悪臭ガスの清浄化装置 |
US5123836A (en) * | 1988-07-29 | 1992-06-23 | Chiyoda Corporation | Method for the combustion treatment of toxic gas-containing waste gas |
US5380487A (en) * | 1992-05-05 | 1995-01-10 | Pasteur Sanofi Diagnostics | Device for automatic chemical analysis |
DE4320044A1 (de) * | 1993-06-17 | 1994-12-22 | Das Duennschicht Anlagen Sys | Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von Abgasen |
US5737918A (en) * | 1994-01-17 | 1998-04-14 | Joint Stock Commercial Bank "Petrovsky" | Apparatus for cleaning exhaust gases of solid particles, design of a unit for neutralizing harmful gaseous emissions and a method for the manufacture of this unit |
US5591415A (en) * | 1994-01-27 | 1997-01-07 | Rpc Waste Management Services, Inc. | Reactor for supercritical water oxidation of waste |
DE4413542A1 (de) | 1994-04-19 | 1995-10-26 | Stulz Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Kühlen von Großräumen |
US5643796A (en) | 1994-10-14 | 1997-07-01 | University Of Washington | System for sensing droplet formation time delay in a flow cytometer |
DE19501914C1 (de) * | 1995-01-23 | 1996-04-04 | Centrotherm Elektrische Anlage | Vorrichtung zur Reinigung von Abgasen |
US5580531A (en) * | 1995-06-07 | 1996-12-03 | Twenty-First Century Research Corporation | Devices for making reaction products by controlling transient conversion in an atomized liquid |
USH1709H (en) * | 1996-04-19 | 1998-02-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thermal destruction of halocarbons |
CN2281208Y (zh) * | 1996-11-05 | 1998-05-13 | 河北工业大学 | 高效有毒有害气体连续净化装置 |
CN2456815Y (zh) * | 2000-11-16 | 2001-10-31 | 董向群 | 节能型除尘除硫及有害气体装置 |
WO2004089513A1 (ja) | 2003-04-04 | 2004-10-21 | Yoshizawa Kayoko | 有毒ガス、汚染土壌、又は、汚染水の浄化方法、及び、浄化装置 |
DE10342692B4 (de) * | 2003-09-09 | 2006-01-12 | DAS-Dünnschicht Anlagen Systeme GmbH Dresden | Vorrichtung zur thermischen Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen |
US7569193B2 (en) * | 2003-12-19 | 2009-08-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants |
FI120548B (fi) * | 2004-01-14 | 2009-11-30 | Rinheat Oy | Menetelmä alkaliyhdisteitä sisältävän orgaanisen jätekonsentraatin polttamiseksi hapettavissa olosuhteissa |
-
2004
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-
2005
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- 2005-09-22 DE DE502005003030T patent/DE502005003030D1/de active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02103311A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-16 | Chiyoda Corp | 有毒性排ガスの燃焼処理方法 |
JP2002188810A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-07-05 | Kanken Techno Co Ltd | 半導体排ガス処理装置の排ガス処理塔と該処理塔用の電熱ヒータ |
JP2002166126A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-11 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 燃焼排ガスの処理装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6047652B1 (ja) * | 2015-09-04 | 2016-12-21 | グローバル スタンダード テクノロジー カンパニー リミテッド | 統合型半導体排ガス浄化装置 |
JP2017048999A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | グローバル スタンダード テクノロジー カンパニー リミテッド | 統合型半導体排ガス浄化装置 |
US9956525B2 (en) | 2015-09-04 | 2018-05-01 | Global Standard Technology Co., Ltd. | Apparatus for purifying waste gases for integrated semiconductor |
WO2018034331A1 (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
JP2018031579A (ja) * | 2016-08-19 | 2018-03-01 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
CN109642725A (zh) * | 2016-08-19 | 2019-04-16 | 株式会社荏原制作所 | 废气处理装置用的燃烧头及其制造方法、以及废气处理装置用的燃烧室及其制造方法和维护方法 |
US10920981B2 (en) | 2016-08-19 | 2021-02-16 | Ebara Corporation | Burner head for exhaust gas processing apparatus, manufacturing method of the same, combustion chamber for exhaust gas processing apparatus, and manufacturing method and maintenance method of the same |
CN109642725B (zh) * | 2016-08-19 | 2021-04-23 | 株式会社荏原制作所 | 废气处理装置用的燃烧头及其制造方法、以及废气处理装置用的燃烧室及其制造方法和维护方法 |
TWI783945B (zh) * | 2016-08-19 | 2022-11-21 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 排氣處理裝置用之燃燒器頭及其製造方法,以及排氣處理裝置用的燃燒室、其製造方法及維護方法 |
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