JP2002334312A - Contact/non-contact combination type ic module and its manufacturing method - Google Patents

Contact/non-contact combination type ic module and its manufacturing method

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JP2002334312A JP2001141480A JP2001141480A JP2002334312A JP 2002334312 A JP2002334312 A JP 2002334312A JP 2001141480 A JP2001141480 A JP 2001141480A JP 2001141480 A JP2001141480 A JP 2001141480A JP 2002334312 A JP2002334312 A JP 2002334312A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a contact/non-contact combination type IC module which, of simple and reliable structure, facilitates its manufacturing process, and is reducible in thickness and its manufacturing method. SOLUTION: This module is equipped with a substrate 111 made of sealing resin, a contact/non-contact combination type IC chip 112 which is embedded in one surface of the substrate 111 and arranged so that a connection terminal 112a is outside, an external contact terminal 119 which is connected to the connection terminal 112a and formed on one surface of the substrate 111, and an antenna 118 for non-contact communication which is formed on one surface of the substrate 111 and has the same layer structure with the external contact terminal 119.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ICカード,SI
M,ICタグなどに使用される接触・非接触兼用型など
のICモジュールとその製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC card, an SI
The present invention relates to a contact / non-contact type IC module used for M, IC tags and the like, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】接触・非接触兼用型ICカードは、カー
ドの外部端子と外部処理装置の端子とを接触させて、デ
ータの送受信を行う接触方式の機能と、電磁波でデータ
の送受信を行うアンテナコイルとデータ処理のためのI
C回路を内蔵し、外部処理装置との間の読み書きをいわ
ゆる無線方式で行うと共に、IC回路の駆動電力が電磁
誘導で供給され、バッテリを内蔵しない非接触方式の機
能とを、1枚のカードに持たせたものである。
2. Description of the Related Art A contact / non-contact type IC card has a contact type function of transmitting and receiving data by bringing an external terminal of the card into contact with a terminal of an external processing device, and an antenna for transmitting and receiving data by electromagnetic waves. I for coil and data processing
A card that has a built-in C circuit, performs reading and writing with an external processing device by a so-called wireless system, and is supplied with driving power of an IC circuit by electromagnetic induction and has a non-contact system function that does not include a battery. It is what we have.

【0003】特開平7−239922号は、ICカード
用のICモジュールとして、表面にアンテナの導体パタ
ーンと、端子電極の導体パターンとをそれぞれ設け、こ
れらの導体パターンをスルーホールを介して、ICモジ
ュール内部のICチップと電気的に接続する発明が開示
されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-239922 discloses an IC module for an IC card in which a conductor pattern of an antenna and a conductor pattern of a terminal electrode are provided on the surface, respectively, and these conductor patterns are provided through through holes. An invention for electrically connecting to an internal IC chip is disclosed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、各導体パター
ンとICチップとをワイヤボインディングにより接続す
る場合に、ICチップに圧力がかかるため、ICチップ
にはその圧力に耐えうる程度の厚さが必要とされ、薄型
化の障害となっていた。また、構造及び工程が複雑であ
り、作業工程が多いため、信頼性が低く、製造コストが
高くなる問題があった。
However, when each conductor pattern is connected to the IC chip by wire binding, pressure is applied to the IC chip. Therefore, the IC chip has a thickness enough to withstand the pressure. It was needed and was an obstacle to thinning. In addition, there are problems that the structure and the process are complicated and the number of working steps is large, so that reliability is low and manufacturing cost is high.

【0005】本発明の課題は、構造が簡単で信頼性が高
く、製造工程の簡素化及び薄型化を図ることができる接
触・非接触兼用型ICモジュールとその製造方法を提供
することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a contact / non-contact type IC module which has a simple structure, has high reliability, can simplify a manufacturing process and can be thin, and a method of manufacturing the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、以下のような
解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容
易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付
して説明するが、これに限定されるものではない。すな
わち、請求項1の発明は、封止樹脂からなる基板(11
1)と、前記基板の一方の面に埋め込まれ、接続端子部
(112a)が外側になるように配置された接触・非接
触兼用型ICチップ(112)と、前記接続端子部に接
続され、前記基板の一方の面に形成された外部接触用端
子(119,119A)と、前記基板の一方の面に形成
され、前記外部接触用端子と同じ層構造を有する非接触
通信用アンテナ(118)と、を備えた接触・非接触兼
用型ICモジュール(110,110−2)である。
The present invention solves the above-mentioned problems by the following means. In addition, in order to make it easy to understand, description is given with reference numerals corresponding to the embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this. That is, the invention of claim 1 provides a substrate (11) made of a sealing resin.
1) a contact / non-contact type IC chip (112) embedded in one surface of the substrate and arranged so that the connection terminal portion (112a) is on the outside, and connected to the connection terminal portion; An external contact terminal (119, 119A) formed on one surface of the substrate; and a non-contact communication antenna (118) formed on one surface of the substrate and having the same layer structure as the external contact terminal. And a contact / non-contact type IC module (110, 110-2).

【0007】請求項2の発明は、請求項1に記載の接触
・非接触兼用型ICモジュールにおいて、前記外部接触
用端子及び/又は前記非接触通信用アンテナの接続端子
部(118a)は、前記接触・非接触兼用型ICチップ
の接続端子部と接触して形成されること、を特徴とする
接触・非接触兼用型ICモジュール(110)である。
According to a second aspect of the present invention, in the contact / non-contact type IC module according to the first aspect, the connection terminal portion (118a) of the external contact terminal and / or the non-contact communication antenna includes the contact terminal portion (118a). A contact / non-contact type IC module (110) characterized by being formed in contact with a connection terminal portion of a contact / non-contact type IC chip.

【0008】請求項3の発明は、請求項1に記載の接触
・非接触兼用型ICモジュールにおいて、前記基板の一
方の面で少なくとも前記接触・非接触兼用型ICチップ
を覆う絶縁層(116)と、前記絶縁層に設けられ、前
記接触・非接触兼用型ICチップの接続端子部に連通す
る貫通孔(116a)と、前記外部接触用端子と一体
に、前記貫通孔に形成され、前記接触・非接触兼用型I
Cチップの接続端子部と前記外部接触用端子とを接続す
る接続部(119B)とを備えること、を特徴とする接
触・非接触兼用型ICモジュール(110−2)であ
る。
According to a third aspect of the present invention, in the contact / non-contact type IC module according to the first aspect, the insulating layer (116) covering at least the contact / non-contact type IC chip on one surface of the substrate. And a through-hole (116a) provided in the insulating layer and communicating with a connection terminal of the contact / non-contact type IC chip; and a through-hole integrally formed with the external contact terminal;・ Non-contact type I
A contact / non-contact type IC module (110-2) characterized by comprising a connection part (119B) for connecting a connection terminal part of a C chip and the external contact terminal.

【0009】請求項4の発明は、請求項1から請求項3
までのいずれか1項に記載の接触・非接触兼用型ICモ
ジュールにおいて、前記非接触通信用アンテナは、アン
テナ内側領域(B)に対して前記外部接触用端子をずら
して配置することにより、その前記外部接触用端子と干
渉しないアンテナ有効領域(C)が確保されているこ
と、を特徴とする接触・非接触兼用型ICモジュール
(110,110−2)である。
[0009] The invention of claim 4 is the invention of claims 1 to 3.
The contact / non-contact type IC module according to any one of the above, wherein the non-contact communication antenna is arranged by shifting the external contact terminal with respect to the antenna inner area (B). A contact / non-contact type IC module (110, 110-2) characterized in that an effective antenna area (C) that does not interfere with the external contact terminal is secured.

【0010】請求項5の発明は、封止樹脂からなる基板
(111)の一方の面に、接続端子部(112a)が外
側になるように接触・非接触兼用型ICチップ(11
2)を埋め込むICチップ埋め込み工程(#11,#2
1)と、前記基板の一方の面に非接触通信用アンテナ
(118)及び外部接触用端子(119)を同時に形成
するアンテナ・外部接触用端子形成工程(#12,#2
3)と、を備えた接触・非接触兼用型ICモジュール
(110,110−2)の製造方法である。
According to a fifth aspect of the present invention, a contact / non-contact type IC chip (11) is provided on one surface of a substrate (111) made of a sealing resin such that the connection terminal (112a) is on the outside.
2) IC chip embedding process (# 11, # 2)
1) and an antenna / external contact terminal forming step (# 12, # 2) of simultaneously forming a non-contact communication antenna (118) and an external contact terminal (119) on one surface of the substrate.
3) A method for manufacturing a contact / non-contact type IC module (110, 110-2) comprising:

【0011】請求項6の発明は、請求項5に記載の接触
・非接触兼用型ICモジュールの製造方法において、前
記接触・非接触兼用型ICチップを切断する及び/又は
削ることにより薄くする切削工程(#11,#21)を
備えること、を特徴とする接触・非接触兼用型ICモジ
ュール(110,110−2)の製造方法である。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to the fifth aspect, wherein the contact / non-contact type IC chip is cut and / or thinned by cutting. A method for manufacturing a contact / non-contact type IC module (110, 110-2) characterized by comprising steps (# 11, # 21).

【0012】請求項7の発明は、請求項6に記載の接触
・非接触兼用型ICモジュールの製造方法において、前
記切削工程は、前記ICチップ埋め込み工程で前記基板
に埋め込まれた前記接触・非接触兼用型ICチップを切
断する及び/又は削ること、を特徴とする接触・非接触
兼用型ICモジュール(110,110−2)の製造方
法である。
According to a seventh aspect of the present invention, in the method of manufacturing a contact / non-contact type IC module according to the sixth aspect, the cutting step includes the step of cutting the contact / non-contact type embedded in the substrate in the IC chip embedding step. A method for manufacturing a contact / non-contact type IC module (110, 110-2), characterized by cutting and / or shaving a contact / type IC chip.

【0013】請求項8の発明は、請求項5から請求項7
までのいずれか1項に記載の接触・非接触兼用型ICモ
ジュールの製造方法において、前記接触・非接触兼用型
ICモジュールは、同一面で複数製造する多面付けによ
り製造されること、を特徴とする接触・非接触兼用型I
Cモジュール(110,110−2)の製造方法であ
る。
[0013] The invention of claim 8 is the invention of claims 5 to 7.
The method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to any one of the above, wherein the contact / non-contact type IC module is manufactured by multi-face mounting in which a plurality of IC modules are manufactured on the same surface. Contact / non-contact type I
This is a method for manufacturing the C module (110, 110-2).

【0014】請求項9の発明は、請求項5から請求項8
までのいずれか1項に記載の接触・非接触兼用型ICモ
ジュールの製造方法において、前記アンテナ・外部接触
用端子形成工程は、前記接続端子部に接するように前記
外部接触用端子を形成することを特徴とする接触・非接
触兼用型ICモジュール(110)の製造方法である。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided an image processing apparatus comprising:
In the method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to any one of the above, the step of forming the antenna / external contact terminal includes forming the external contact terminal so as to be in contact with the connection terminal portion. A method for manufacturing a contact / non-contact type IC module (110) characterized by the following features.

【0015】請求項10の発明は、請求項5から請求項
8までのいずれか1項に記載の接触・非接触兼用型IC
モジュールの製造方法において、前記アンテナ・外部接
触用端子形成工程は、前記外部接触用端子と一体に前記
接続端子部と前記外部接触用端子とを接続する接続部
(119B)を前記外部接触用端子と一体にかつ同時に
形成し、前記基板の一方の面で少なくとも前記接触・非
接触兼用型ICチップを覆う絶縁層を形成する絶縁層形
成工程(#21)と、前記絶縁層に、前記接触・非接触
兼用型ICチップに連通する貫通孔を形成する貫通孔形
成工程(#22)とを備えること、を特徴とする接触・
非接触兼用型ICモジュール(110−2)の製造方法
である。
According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a contact / non-contact type IC according to any one of the fifth to eighth aspects.
In the method for manufacturing a module, the step of forming the antenna / external contact terminal includes the step of forming a connection portion (119B) connecting the connection terminal portion and the external contact terminal integrally with the external contact terminal to the external contact terminal Forming an insulating layer on at least one of the surfaces of the substrate, the insulating layer covering at least the contact / non-contact type IC chip (# 21); A through-hole forming step (# 22) of forming a through-hole communicating with the non-contact type IC chip.
This is a method for manufacturing a non-contact type IC module (110-2).

【0016】請求項11の発明は、請求項5から請求項
10までのいずれか1項に記載の接触・非接触兼用型I
Cモジュールの製造方法において、前記アンテナ・外部
接触用端子形成工程は、エッチング及び/又はめっきに
より前記非接触通信用アンテナ及び前記外部接触用端子
を形成すること、を特徴とする接触・非接触兼用型IC
モジュール(110,110−2)の製造方法である。
According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided the contact / non-contact type I according to any one of the fifth to tenth aspects.
In the method for manufacturing a C module, the antenna / external contact terminal forming step includes forming the non-contact communication antenna and the external contact terminal by etching and / or plating. Type IC
This is a method for manufacturing the module (110, 110-2).

【0017】請求項12の発明は、請求項10に記載の
接触・非接触兼用型ICモジュールの製造方法におい
て、前記アンテナ・外部接触用端子形成工程は、エッチ
ング及び/又はめっきにより非接触通信用アンテナ、外
部接触用端子及び接続部を形成すること、を特徴とする
接触・非接触兼用型ICモジュール(110−2)の製
造方法である。
According to a twelfth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to the tenth aspect, the step of forming the antenna / external contact terminal is performed by etching and / or plating. A method for manufacturing a contact / non-contact type IC module (110-2), comprising forming an antenna, an external contact terminal, and a connection portion.

【0018】請求項13の発明は、請求項5から請求項
12までのいずれか1項に記載の接触・非接触兼用型I
Cモジュールの製造方法において、前記アンテナ・外部
接触用端子形成工程は、アンテナ内側領域に対して前記
外部接触用端子をずらして配置することにより、その前
記外部接触用端子と干渉しないアンテナ有効領域が確保
するように形成すること、を特徴とする接触・非接触兼
用型ICモジュール(110,110−2)の製造方法
である。
According to a thirteenth aspect of the present invention, the contact / non-contact type I according to any one of the fifth to twelfth aspects is provided.
In the method for manufacturing a C module, the antenna / external contact terminal forming step includes disposing the external contact terminal with respect to the antenna inner region so that an antenna effective area that does not interfere with the external contact terminal is formed. And a contact / non-contact type IC module (110, 110-2).

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
の実施の形態について、さらに詳しくに説明する。図
1、図2は、本発明による接触・非接触兼用型ICモジ
ュールとその製造方法の第1実施形態を示す図である。
Embodiments of the present invention will be described below in more detail with reference to the drawings. 1 and 2 are views showing a first embodiment of a contact / non-contact type IC module and a method of manufacturing the same according to the present invention.

【0020】第1実施形態の接触・非接触兼用型ICモ
ジュール110は、図2(g)(h)に示すように、S
IMの大きさの封止樹脂からなる基板111と、基板1
11の上面に埋め込まれ、接続端子部112aを有する
接触・非接触兼用型ICチップ112と、基板111の
上面に形成され、接続端子118aを有する非接触通信
用アンテナ118と、外部接触用端子119とを備えて
いる。
As shown in FIGS. 2 (g) and 2 (h), the contact / non-contact type IC module 110 of the first embodiment
A substrate 111 made of a sealing resin having a size of IM;
11, a contact / non-contact type IC chip 112 having a connection terminal portion 112a, a non-contact communication antenna 118 formed on the upper surface of the substrate 111 and having a connection terminal 118a, and an external contact terminal 119. And

【0021】基板111は、GSM規格で規定されてい
る小型のPlug−in−SIM(Subscribe
r Identification Module:加
入者識別素子)サイズの封止樹脂を使用した。Plug
−in−SIMは、例えば、加入者固有の番号が格納さ
れたICモジュールであり、移動体通信機の番号を特定
すること等を目的として使用されている。外部接触用端
子119は、外部のリーダライタ(以下、R/Wとす
る。)と接触することにより、接触・非接触兼用型IC
チップ112及びR/W間の情報の入出力を媒介する端
子である。外部接触用端子119及び非接触通信用アン
テナ118の接続端子118aは、接触・非接触兼用型
ICチップ112の接続端子112aと接触するように
配置され、接続端子112aと導通している。
The substrate 111 is a small Plug-in-SIM (Subscribe) defined by the GSM standard.
r Identification Module: a subscriber identification element) size sealing resin was used. Plug
The -in-SIM is, for example, an IC module in which a number unique to a subscriber is stored, and is used for the purpose of specifying the number of a mobile communication device. The external contact terminal 119 is brought into contact with an external reader / writer (hereinafter, referred to as R / W) to form a contact / non-contact type IC.
A terminal that mediates input and output of information between the chip 112 and the R / W. The external contact terminal 119 and the connection terminal 118a of the non-contact communication antenna 118 are arranged so as to be in contact with the connection terminal 112a of the contact / non-contact type IC chip 112, and are electrically connected to the connection terminal 112a.

【0022】この実施形態の接触・非接触兼用型ICモ
ジュールの製造方法は、図1、図2に示すように、IC
チップ埋め込み工程#11と、パターン形成工程#12
等とを備えている。なお、図1、図2では、1つのIC
モジュールのみを図示しているが、実際には、複数個を
同時に製造する多面付けによって、製造した後に切断す
るようにしている。
The method of manufacturing a contact / non-contact type IC module according to this embodiment is, as shown in FIGS.
Chip embedding step # 11 and pattern forming step # 12
And the like. In FIGS. 1 and 2, one IC
Although only the module is illustrated, in practice, the module is cut after manufacturing by multi-face mounting in which a plurality of modules are manufactured at the same time.

【0023】ICチップ埋め込み工程#11は、封止樹
脂からなる基板111の上面に、接触・非接触兼用型I
Cチップ112を埋め込む工程である。基板111とな
るエポキシのプリプレグ(カーボン繊維強化プラスチッ
ク)[図1(a)]に、接触・非接触兼用型ICチップ
112を加熱状態で押し付け、接続端子112aの面を
上部にして埋め込む[図1(b)]。埋め込み方法は、
これによらず、例えば、仮の支持体に端子面を下にして
設置しておき、その上から封止材を形成して作製しても
よい。封止樹脂は、フィルム状のもの、液状のもの又は
半固形のものでもよく、熱をかけて軟化するものであれ
ば、前述したエポシキの他に、PET等のポリエステル
などが使用できる。尚、接触・非接触兼用型ICチップ
112を基板111に埋め込む前に削って厚さを調整し
てもよい。また、埋め込んだ後に基板111とともに削
って厚さを調整してもよい。
In the IC chip embedding step # 11, the contact / non-contact type I
This is a step of embedding the C chip 112. A contact / non-contact type IC chip 112 is pressed against an epoxy prepreg (carbon fiber reinforced plastic) [FIG. 1A] serving as a substrate 111 in a heated state, and embedded with the surface of the connection terminal 112a upward [FIG. (B)]. The embedding method is
Instead, for example, a terminal may be placed on a temporary support with the terminal surface facing down, and a sealing material may be formed from above. The sealing resin may be in the form of a film, liquid, or semi-solid. If the resin is softened by heating, polyester such as PET may be used in addition to the epoxy resin described above. The thickness may be adjusted by shaving the contact / non-contact type IC chip 112 before embedding it in the substrate 111. Further, the thickness may be adjusted by shaving with the substrate 111 after embedding.

【0024】パターン形成工程#12は、基板111の
上面に非接触通信用アンテナ118及び外部接触用端子
119のパターンを同時に形成し、非接触通信用アンテ
ナ118を接触・非接触兼用型ICチップ112の接続
端子112aに接続する工程である。まず、基板111
上に、スパッタにより銅層113を形成する[図1
(c)]。ついで、感光性ドライフィルムレジスト11
4を、ラミネートし、露光・現像して、めっきの開口パ
ターン114aを作製する[図1(d)]。この開口パ
ターン114aに銅めっき、ニッケルめっき、金めっき
工程をそれぞれ水洗工程を間にはさみ、連続めっきをし
て、めっき層115を形成する[図2(e)]。さら
に、感光性ドライフィルムレジスト114を剥離し、銅
層113をソフトエッチング処理により除去して、非接
触通信用アンテナ118及び外部接触用端子119のパ
ターンを同時に形成する[図2(f),(g)]。
In the pattern forming step # 12, the pattern of the non-contact communication antenna 118 and the pattern of the external contact terminal 119 are simultaneously formed on the upper surface of the substrate 111, and the non-contact communication antenna 118 is contact / non-contact type IC chip 112. This is a step of connecting to the connection terminal 112a. First, the substrate 111
A copper layer 113 is formed thereon by sputtering [FIG.
(C)]. Then, the photosensitive dry film resist 11
4 is laminated, exposed and developed to produce an opening pattern 114a for plating [FIG. 1 (d)]. Copper plating, nickel plating, and gold plating steps are interposed between the opening pattern 114a and the water washing step, and continuous plating is performed to form a plating layer 115 (FIG. 2E). Further, the photosensitive dry film resist 114 is peeled off, and the copper layer 113 is removed by a soft etching process, so that the patterns of the non-contact communication antenna 118 and the external contact terminal 119 are formed at the same time [FIGS. g)].

【0025】以上のように、本実施形態によれば、以下
のような効果がある。 (1) アンテナ118及び外部接触用端子119を直
接めっき配線していくので、温度変化、経時変化、スト
レスなどで剥がれていく心配はなく、結線の安定性、信
頼性が極めて高い。また、従来の半田ボール、金バンプ
で形成されたものよりは、抵抗も少ない。
As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained. (1) Since the antenna 118 and the external contact terminal 119 are directly plated and wired, there is no fear that the antenna 118 and the external contact terminal 119 are peeled off due to a temperature change, a time-dependent change, a stress, or the like, and the connection stability and reliability are extremely high. In addition, the resistance is lower than that formed by conventional solder balls and gold bumps.

【0026】(2) 基板111となる封止樹脂に、接
触・非接触兼用型ICチップ112を埋め込むので、接
触・非接触兼用型ICチップ112を1個ずつ搭載する
必要がなく、大きな封止樹脂シートの中に、接触・非接
触兼用型ICチップ112を置いていけばよく、以後の
工程も、その封止樹脂シートの単位で加工していくこと
ができる。
(2) Since the contact / non-contact type IC chip 112 is embedded in the sealing resin to be the substrate 111, it is not necessary to mount the contact / non-contact type IC chip 112 one by one. The contact / non-contact type IC chip 112 may be placed in the resin sheet, and the subsequent steps can be processed in units of the sealing resin sheet.

【0027】つまり、従来は、ICチップの接続端子
と、非接触通信用アンテナ又は外部接触用端子をつなぐ
のに、ワイヤボンドを打ったり、直接、フリップチップ
実装(半田ボールや金バンプをつけて配線に乗せてい
く)していた。このとき、ICチップを個々に実装し、
ワイヤボンディングにしても、半田ボールにしても、個
別に作業していたため、大きな時間のロスがあった。し
かし、本実施形態は、ICチップが複数並んでいても、
多面付けで一括で作ることができる。また、めっき、エ
ッチングも、全部一括プロセスで形成することができ
る。
That is, conventionally, the connection terminal of the IC chip is connected to the non-contact communication antenna or the external contact terminal by wire bonding or directly by flip chip mounting (by attaching a solder ball or a gold bump). Put it on the wiring). At this time, the IC chips are individually mounted,
Regardless of whether the wire bonding or the solder ball is performed individually, there is a large amount of time lost. However, in the present embodiment, even if a plurality of IC chips are arranged,
It can be made in batches with multiple impositions. In addition, plating and etching can all be formed by a collective process.

【0028】(3) 基板111となる封止樹脂に、接
触・非接触兼用型ICチップ112を乗せて、非接触通
信用アンテナ118、外部接触用端子119を、その片
面に同時に形成するため、構造が簡単であり、工程を簡
素化できる。
(3) The contact / non-contact type IC chip 112 is placed on the sealing resin to be the substrate 111, and the non-contact communication antenna 118 and the external contact terminal 119 are simultaneously formed on one side thereof. The structure is simple and the process can be simplified.

【0029】(4) めっき、エッチング処理等の化学
的処理により、非接触用アンテナ118及び外部接触用
端子119を形成し、接触・非接触兼用型ICチップ1
12自体の強度を必要としないため、薄い接触・非接触
兼用型ICチップ112を用いることにより、また、外
部接触用端子119を直に接触・非接触兼用型ICチッ
プ112に接続するため、ICモジュール110を薄く
することが可能である。例えば、接触・非接触兼用型I
Cチップ112を削って100〜150μmの厚さに設
定した場合には、基板111を200〜250μm、非
接触用アンテナ118及び外部接触用端子119を10
〜30μmの厚さとすることにより、ICモジュール1
10全体の厚さを210〜280μmとすることができ
る。
(4) The non-contact antenna 118 and the external contact terminal 119 are formed by a chemical treatment such as plating and etching, and the contact / non-contact type IC chip 1 is formed.
Since the strength of the contact 12 itself is not required, a thin contact / non-contact type IC chip 112 is used, and the external contact terminal 119 is directly connected to the contact / non-contact type IC chip 112. The module 110 can be made thin. For example, contact / non-contact type I
When the thickness of the C chip 112 is reduced to 100 to 150 μm, the substrate 111 is set to 200 to 250 μm, the non-contact antenna 118 and the external contact terminal 119 are set to 10 μm.
The thickness of the IC module 1
10 can have a thickness of 210 to 280 μm.

【0030】(第2実施形態)図3、図4は、本発明に
よる接触・非接触兼用型ICモジュールとその製造方法
の第2実施形態を示す図である。なお、前述した実施形
態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を付し
て、重複する説明を適宜省略する。第2実施形態の接触
・非接触兼用型ICモジュール110−2は、図4
(g)に示すように、基板111と、接触・非接触兼用
型ICチップ112と、基板111の上面に形成され、
接続端子118aを有する非接触通信用アンテナ118
と、基板111の上面で少なくとも接触・非接触兼用型
ICチップ112を覆う絶縁層116と、絶縁層116
に設けられ、接触・非接触兼用型ICチップ112の接
続端子112aに連通する貫通孔116aと、絶縁層1
16上に形成された外部接触用端子119Aと、外部接
触用端子119Aと一体に形成され、接触・非接触兼用
型ICチップ112の接続端子部と非接触通信用アンテ
ナ118及び外部接触用端子119Aの接続端子部とを
接続する接続部119Bとを備えている。
(Second Embodiment) FIGS. 3 and 4 are views showing a second embodiment of a contact / non-contact type IC module according to the present invention and a method of manufacturing the same. Note that the same reference numerals are given to portions that perform the same functions as those in the above-described embodiment, and redundant description will be omitted as appropriate. The contact / non-contact type IC module 110-2 of the second embodiment is shown in FIG.
As shown in (g), a substrate 111, a contact / non-contact type IC chip 112, formed on the upper surface of the substrate 111,
Non-contact communication antenna 118 having connection terminal 118a
An insulating layer 116 covering at least the contact / non-contact type IC chip 112 on the upper surface of the substrate 111;
And a through-hole 116a communicating with the connection terminal 112a of the contact / non-contact type IC chip 112;
The external contact terminal 119A and the external contact terminal 119A are formed integrally on the IC chip 112, and the connection terminal portion of the contact / non-contact type IC chip 112, the non-contact communication antenna 118, and the external contact terminal 119A And a connection section 119B for connecting the connection terminal section to the connection terminal section.

【0031】この実施形態の接触・非接触兼用型ICモ
ジュールの製造方法は、図3、図4に示すように、IC
チップ埋め込み工程#21と、貫通孔形成工程#22
と、パターン形成工程#23等とを備えている。なお、
図3、図4では、1つのICモジュールのみを図示して
いるが、実際には、複数個を同時に製造する多面付けに
よって、製造した後に切断するようにしている。
The method of manufacturing the contact / non-contact type IC module of this embodiment is, as shown in FIGS.
Chip embedding step # 21 and through-hole forming step # 22
And a pattern forming step # 23 and the like. In addition,
Although only one IC module is shown in FIGS. 3 and 4, in actuality, a plurality of IC modules are manufactured at the same time, and then cut after manufacturing.

【0032】ICチップ埋め込み工程#21は、基板1
11に、接触・非接触兼用型ICチップ112を埋め込
む工程である。まず、絶縁層116である絶縁性の樹脂
(ポリイミドフィルム)に、スパッタにより銅層113
を0.25〜1.00μmの厚みとなるように形成し、
この支持体に接触・非接触兼用型ICチップ112を端
子面が下になり、絶縁層116に接するように設置する
[図3(a)]。その上に封止樹脂からなる基板111
となる層を形成し、同時に接触・非接触兼用型ICチッ
プ112を埋め込む[図3(b)]。
In the IC chip embedding step # 21, the substrate 1
This is a step of embedding a contact / non-contact type IC chip 112 in FIG. First, the copper layer 113 is formed on the insulating resin (polyimide film) serving as the insulating layer 116 by sputtering.
Is formed to have a thickness of 0.25 to 1.00 μm,
The contact / non-contact type IC chip 112 is placed on the support so that the terminal surface faces down and comes into contact with the insulating layer 116 (FIG. 3A). A substrate 111 made of a sealing resin is formed thereon.
And a contact / non-contact type IC chip 112 is buried at the same time [FIG. 3B].

【0033】貫通孔形成工程#22は、銅層113及び
絶縁層116に、接触・非接触兼用型ICチップ112
の接続端子112aに連通する貫通孔116aを形成す
る工程である。接触・非接触兼用型ICチップ112が
埋め込まれた基板111を上下反転し、銅層113をソ
フトエッチング処理し、絶縁層116をポリイミド専用
の有機系アルカリのエッチング液でエッチング処理し、
銅層113及び絶縁層116に貫通孔116aを形成す
る[図3(c)]。レーザで一括して貫通孔116aを
形成してもよい。
In the through-hole forming step # 22, a contact / non-contact type IC chip 112 is formed on the copper layer 113 and the insulating layer 116.
This is a step of forming a through hole 116a communicating with the connection terminal 112a. The substrate 111 in which the contact / non-contact type IC chip 112 is embedded is turned upside down, the copper layer 113 is soft-etched, and the insulating layer 116 is etched with an organic alkali etchant dedicated to polyimide.
A through hole 116a is formed in the copper layer 113 and the insulating layer 116 (FIG. 3C). The through holes 116a may be formed collectively by laser.

【0034】パターン形成工程#23は、基板111の
上面に非接触通信用アンテナ118及び外部接触用端子
119Aのパターンを同時に形成し、非接触通信用アン
テナ118及び外部接触用端子119Aを接触・非接触
兼用型ICチップ112の接続端子に接続する工程であ
る。感光性ドライフィルムレジスト114をラミネート
し、露光・現像して、めっきの開口パターン114aを
作製する[図3(d)]。この開口パターン114aに
銅めっき、ニッケルめっき、金めっき工程をそれぞれ水
洗工程を間にはさみ、連続めっきをして、めっき層11
5を形成する[図3(e)]。さらに、感光性ドライフ
ィルムレジスト114を剥離し、銅層113をソフトエ
ッチング処理により除去して、非接触通信用アンテナ1
18及び外部接触用端子119Aのパターンを形成す
る。同時に接続部119Bを形成し、非接触通信用アン
テナ118の接続端子118a及び外部接触用端子11
9Aを接触・非接触兼用型ICチップ112の接続端子
112aに接続する[図3(f),(g)]。
In the pattern forming step # 23, a pattern of the non-contact communication antenna 118 and the external contact terminal 119A is simultaneously formed on the upper surface of the substrate 111, and the non-contact communication antenna 118 and the external contact terminal 119A are brought into contact with each other. This is a step of connecting to a connection terminal of the contact-type IC chip 112. A photosensitive dry film resist 114 is laminated, exposed and developed to form an opening pattern 114a for plating [FIG. 3 (d)]. A copper plating, nickel plating, and gold plating processes are interposed between the opening pattern 114a and the water washing process, and continuous plating is performed to form the plating layer 11a.
5 (FIG. 3E). Further, the photosensitive dry film resist 114 is peeled off, the copper layer 113 is removed by soft etching, and the non-contact communication antenna 1 is removed.
18 and the pattern of the external contact terminal 119A. At the same time, a connection portion 119B is formed, and the connection terminal 118a of the non-contact communication antenna 118 and the external contact terminal 11
9A is connected to the connection terminal 112a of the contact / non-contact type IC chip 112 [FIGS. 3 (f) and 3 (g)].

【0035】以上のように、本実施形態によれば、絶縁
層116、基板111で接触・非接触兼用型ICチップ
112を封止しても第1実施形態と同様の効果を得るこ
とが可能である。
As described above, according to this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained even when the contact / non-contact type IC chip 112 is sealed with the insulating layer 116 and the substrate 111. It is.

【0036】ここで、上記各実施形態では、図2
(h),図4(h)に示すように、外部接触用端子11
9,119Aは、非接触通信用アンテナ118の内側領
域Bに対して、左側にずらして配置することにより、そ
の外部接触用端子119,119Aと干渉しないアンテ
ナ有効領域Cが確保されている。このため、より干渉の
少ないアンテナ有効領域Cが確保できると共に、非接触
通信用アンテナ118を接触・非接触兼用型ICチップ
112に接続しやすい。
In each of the above embodiments, FIG.
(H), as shown in FIG.
9 and 119A are shifted to the left with respect to the inner area B of the non-contact communication antenna 118, so that an antenna effective area C that does not interfere with the external contact terminals 119 and 119A is secured. Therefore, the antenna effective area C with less interference can be secured, and the non-contact communication antenna 118 can be easily connected to the contact / non-contact type IC chip 112.

【0037】非接触ICモジュールにおいて、大きな通
信距離を安定して確保するためには、非接触用アンテナ
118の面積が大きければ大きいほどよい。しかし、非
接触通信用アンテナ118が大きければ、製造コスト
は、材料費も含め、面積に比例して大きくなることか
ら、通信に必要な最低限の大きさであればよい。非接触
通信用アンテナ118のコイル面積と通信特性につい
て、検討した結果、ISO14443TypeA及びTypeB方式を前
提として、最低限必要なコイルの大きさは、コイルの形
状やピッチで異なるものの、面積として、概ね10mm
2 以上は最低必要であり、400mm2 あれば十分であ
ることが判明した。
In the non-contact IC module, in order to stably secure a large communication distance, the larger the area of the non-contact antenna 118 is, the better. However, if the size of the contactless communication antenna 118 is large, the manufacturing cost, including the material cost, increases in proportion to the area, so that the minimum size required for communication is sufficient. As a result of examining the coil area and communication characteristics of the non-contact communication antenna 118, assuming that the ISO14443 Type A and Type B methods are used, the minimum required coil size differs depending on the shape and pitch of the coil.
It was found that at least 2 was the minimum required, and 400 mm 2 was sufficient.

【0038】さらに、カード又はモジュールの大きさ、
形状が規格により決められている場合に、特に、小型の
モジュールで寸法が機器の制約で約2cm角以内と限ら
れている場合など、自ずと非接触通信用アンテナ118
の大きさをICモジュール110,110−2に対し
て、全面に使うことが必要とされ、非接触通信用アンテ
ナ118は、ICモジュール110,110−2の外周
一杯に形成することが要求される。この制約から、非接
触通信用アンテナ118のデザインルールとして、外周
はなるべく大きく、そのピッチを狭めて配置した方がよ
い。ピッチとしては、100μm以下、最も望ましく
は、50μm以下である。また、ピッチが20μm以下
になると、安定して作製することが難しくなる。また、
フエースダウン型のフリップチップ実装を行うと、IC
モジュール110,110−2の厚みを薄くでき、望ま
しい。本実施形態では、外部接触用端子119,119
Aの間をコイル配線が通るように設置する必要があり、
この場合も、ピッチを100μm以下、最も望ましく
は、50μm以下にすると、デザイン上設計の自由度が
確保でき、非接触通信用アンテナ118の内側面積を大
きくすることができる。
Further, the size of the card or module,
When the shape is determined by the standard, especially when the size of a small module is limited to about 2 cm square or less due to the restriction of the device, the contactless communication antenna 118 is naturally used.
Is required to be used on the entire surface of the IC modules 110 and 110-2, and the contactless communication antenna 118 is required to be formed on the entire outer periphery of the IC modules 110 and 110-2. . From this restriction, as a design rule of the non-contact communication antenna 118, the outer circumference is as large as possible, and it is better to arrange the antenna with a narrow pitch. The pitch is 100 μm or less, most preferably 50 μm or less. Further, when the pitch is 20 μm or less, it is difficult to stably manufacture. Also,
When face down type flip chip mounting is performed, IC
The thickness of the modules 110 and 110-2 can be reduced, which is desirable. In the present embodiment, the external contact terminals 119, 119
It is necessary to install so that the coil wiring passes between A,
Also in this case, if the pitch is set to 100 μm or less, most preferably 50 μm or less, the degree of freedom in design can be ensured, and the area inside the non-contact communication antenna 118 can be increased.

【0039】また、非接触通信用アンテナ118の膜厚
としては、デザインルールが小さくなると抵抗が大きく
なるため、望ましくは、5μm以上、最も望ましくは、
10μm以上である。非接触通信用アンテナ118の膜
厚を大きくすると、安定して作製することが難しくなる
ため、30μm以下にすることが望ましい。これらのデ
ザインルールを満足するためには、非接触通信用アンテ
ナ118の作製方法は、エッチング法かめっきによるセ
ミアディテイブ法による方法のどちらかであるが、ピッ
チ50μm以下に作製する場合は、めっきによるセミア
デティブ法に限られる。
The thickness of the non-contact communication antenna 118 is preferably 5 μm or more, most preferably, because the resistance increases as the design rule decreases.
10 μm or more. When the thickness of the non-contact communication antenna 118 is increased, it is difficult to manufacture the antenna 118 stably. Therefore, the thickness is desirably 30 μm or less. In order to satisfy these design rules, the method of manufacturing the non-contact communication antenna 118 is either the etching method or the semi-additive method by plating. Limited to the semi-additive method.

【0040】また、接触・非接触兼用のICモジュール
110,110−2においては、外部接触用端子119
と非接触通信用アンテナ118を、同一モジュール内に
形成する必要がある。一般に、非接触通信用アンテナ1
18の内部に置かれた、金属部分は電磁波の遮蔽効果を
持ち、通信の障害となる。よって、ICカードのデザイ
ンでは、金属製である外部接触用端子119,119A
による電磁波の遮蔽効果を避けるために、その端子11
9,119Aから非接触通信用アンテナ118の中心を
ずらして配置することがが必要である。この場合に、ア
ンテナ有効面積Cは、ICモジュール110,110−
2の面積に対して、0.5〜0.9倍が望ましいという
新規事実を得た。
In the contact / non-contact IC modules 110 and 110-2, the external contact terminals 119 are provided.
And the contactless communication antenna 118 must be formed in the same module. Generally, non-contact communication antenna 1
The metal part placed inside 18 has an effect of shielding electromagnetic waves, and becomes an obstacle to communication. Therefore, in the design of the IC card, the external contact terminals 119 and 119A made of metal are used.
In order to avoid the effect of shielding electromagnetic waves due to
It is necessary to displace the center of the non-contact communication antenna 118 from 9, 119A. In this case, the antenna effective area C is determined by the IC modules 110 and 110−
The new fact that 0.5 to 0.9 times is desirable for the area of 2 has been obtained.

【0041】(変形形態)以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。 (1) 本実施形態では、携帯電話などに使用するSI
Mを例に説明したが、通常のICカードや、基板形状が
特定されないICタグなどであってもよい。 (2) 小型のICモジュール単体で必要な通信距離が
確保できなければ、外部にブースターコイルを別途作製
し、ICモジュールと近接させて共振回路を形成し、通
信距離を確保することも可能である。このブースターコ
イルは、ICモジュールを収納するケース、例えば、定
期入れなどに設置して使用してもよい。
(Modifications) Various modifications and changes are possible without being limited to the above-described embodiment, and these are also within the equivalent scope of the present invention. (1) In this embodiment, the SI used for a mobile phone or the like is used.
Although M has been described as an example, a normal IC card or an IC tag whose substrate shape is not specified may be used. (2) If the required communication distance cannot be secured by a small IC module alone, a booster coil can be separately manufactured outside and a resonance circuit can be formed in close proximity to the IC module to secure the communication distance. . This booster coil may be installed and used in a case for accommodating an IC module, for example, a regular case.

【0042】(3) 本発明の方式では、外部接触用端
子と非接触用アンテナを具備する構成であるが、場合に
よっては、外部接触用端子と非接触用アンテナの接続端
子118aのみをICモジュールに設け、アンテナコイ
ルを別途作製してもよい。このアンテナコイルは、IC
モジュールを収納するケース、例えば、定期入れなどに
設置して、ICモジュールを挿入することによって機能
するようにしてもよい。
(3) In the method of the present invention, an external contact terminal and a non-contact antenna are provided. In some cases, only the external contact terminal and the non-contact antenna connection terminal 118a are connected to the IC module. And an antenna coil may be separately manufactured. This antenna coil is an IC
The module may be installed in a case for accommodating the module, for example, a regular case, and may function by inserting an IC module.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項1又
は請求項5の発明によれば、外部接触用端子及び非接触
通信用アンテナは、接触・非接触ICチップと同一の面
で形成され、同じ層構造を有するため、構造が簡単であ
り、製造工程を簡素化することができる。
As described above in detail, according to the first or fifth aspect of the present invention, the external contact terminal and the non-contact communication antenna are formed on the same surface as the contact / non-contact IC chip. Since they have the same layer structure, the structure is simple and the manufacturing process can be simplified.

【0044】請求項2の発明によれば、請求項1の発明
の効果に加え、接触・非接触兼用型ICチップの接続端
子部に外部接触用端子が直に接続されるため、結線の安
定性、信頼性が極めて高い。
According to the second aspect of the present invention, in addition to the effect of the first aspect, since the external contact terminal is directly connected to the connection terminal portion of the contact / non-contact type IC chip, the connection is stabilized. Extremely high reliability and reliability.

【0045】請求項3の発明によれば、特に、絶縁層及
び基板で接触・非接触兼用型ICチップを封止した場合
でも請求項2の発明と同様の効果を得ることができる。
According to the third aspect of the invention, the same effect as the second aspect of the invention can be obtained even when the contact / non-contact type IC chip is sealed with the insulating layer and the substrate.

【0046】請求項4の発明によれば、請求項1から請
求項3までのいずれか1項の発明の効果に加え、アンテ
ナ有効領域を確保することにより、通信安定性の向上を
図ることができる。
According to the fourth aspect of the present invention, in addition to the effects of the first aspect of the present invention, communication stability can be improved by securing an effective antenna area. it can.

【0047】請求項6の発明によれば、請求項5の発明
の効果に加え、接触・非接触兼用型ICチップを切断す
る及び/又は削ることにより薄くする切削工程を備える
ため、特に、接触・非接触兼用型ICモジュールを薄く
製造することができる。
According to the invention of claim 6, in addition to the effect of the invention of claim 5, a cutting step for cutting and / or shaving the contact / non-contact type IC chip to reduce the thickness is provided. -It is possible to manufacture a non-contact type IC module thinly.

【0048】請求項7の発明によれば、請求項6の発明
の効果に加え、基板に埋め込まれた接触・非接触兼用型
ICチップを削るため、製造工程の簡素化を図ることが
できる。
According to the seventh aspect of the present invention, in addition to the effects of the sixth aspect, since the contact / non-contact type IC chip embedded in the substrate is cut, the manufacturing process can be simplified.

【0049】請求項8の発明によれば、請求項5から請
求項7までのいずれか1項の発明の効果に加え、他面付
けによって製造することにより、一層の製造工程の簡素
化、製造コストの低減を図ることができる。
According to the eighth aspect of the present invention, in addition to the effects of any one of the fifth to seventh aspects of the present invention, further manufacturing is further simplified and manufactured by manufacturing by another imposition. Cost can be reduced.

【0050】請求項9の発明によれば、請求項5から請
求項8までのいずれか1項の発明の効果に加え、接触・
非接触兼用型ICチップの接続端子部に外部接触用端子
が直に接続されるため、結線の安定性、信頼性が極めて
高い。
According to the ninth aspect of the present invention, in addition to the effect of any one of the fifth to eighth aspects, the contact and
Since the external contact terminal is directly connected to the connection terminal portion of the non-contact type IC chip, the stability and reliability of the connection are extremely high.

【0051】請求項10の発明によれば、特に、絶縁層
及び基板で接触・非接触兼用型ICチップを封止した場
合でも請求項9の発明と同様の効果を得ることができ
る。
According to the tenth aspect, the same effect as that of the ninth aspect can be obtained even when the contact / non-contact type IC chip is sealed with the insulating layer and the substrate.

【0052】請求項11又は請求項12の発明によれ
ば、請求項5から請求項10までのいずれか1項の発明
の効果に加え、特に、科学的処理である、エッチング及
び/又はめっきにより非接触通信用アンテナ及び外部接
触用端子等を形成するため、接触・非接触兼用型ICチ
ップに圧力等の外力がかかることが少なく、接触・非接
触兼用型ICチップをより薄く設定することができる。
According to the eleventh or twelfth aspect of the present invention, in addition to the effects of any one of the fifth to tenth aspects, in particular, the etching and / or plating, which is a scientific treatment, is performed. Since an antenna for non-contact communication and a terminal for external contact are formed, external force such as pressure is hardly applied to the contact / non-contact IC chip, and the contact / non-contact IC chip can be set thinner. it can.

【0053】請求項13の発明によれば、請求項5から
請求項12までのいずれか1項の発明の効果に加え、非
接触通信用アンテナを容易に接触・非接触兼用型ICチ
ップに接続することができ、アンテナ有効領域を確保す
ることにより、通信安定性の向上を図ることができる。
According to the thirteenth aspect of the present invention, in addition to the effects of any one of the fifth to twelfth aspects, the non-contact communication antenna is easily connected to the contact / non-contact type IC chip. The communication stability can be improved by securing the antenna effective area.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による接触・非接触兼用型ICモジュー
ルとその製造方法の第1実施形態を示す図(その1)で
ある。
FIG. 1 is a diagram (part 1) showing a first embodiment of a contact / non-contact type IC module and a method of manufacturing the same according to the present invention.

【図2】本発明による接触・非接触兼用型ICモジュー
ルとその製造方法の第1実施形態を示す図(その2)で
ある。
FIG. 2 is a diagram (part 2) showing a first embodiment of a contact / non-contact type IC module and a method of manufacturing the same according to the present invention.

【図3】本発明による接触・非接触兼用型ICモジュー
ルとその製造方法の第2実施形態を示す図(その1)で
ある。
FIG. 3 is a diagram (part 1) illustrating a contact / non-contact type IC module and a method of manufacturing the same according to a second embodiment of the present invention;

【図4】本発明による接触・非接触兼用型ICモジュー
ルとその製造方法の第2実施形態を示す図(その2)で
ある。
FIG. 4 is a diagram (part 2) illustrating a contact / non-contact type IC module according to a second embodiment of the present invention and a method for manufacturing the same.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

110 接触・非接触兼用型ICモジュール 111 基板 112 接触・非接触兼用型ICチップ 112a 接続端子 116 絶縁層 116a 貫通孔 118 非接触通信用アンテナ 119,119A 外部接触用端子 119B 接続部 #11,#21 ICチップ埋め込み工程 #12,#23 パターン形成工程 #22 貫通孔形成工程 110 Contact / non-contact type IC module 111 Substrate 112 Contact / non-contact type IC chip 112a Connection terminal 116 Insulating layer 116a Through hole 118 Non-contact communication antenna 119, 119A External contact terminal 119B Connection part # 11, # 21 IC chip embedding process # 12, # 23 Pattern formation process # 22 Through-hole formation process

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 封止樹脂からなる基板と、 前記基板の一方の面に埋め込まれ、接続端子部が外側に
なるように配置された接触・非接触兼用型ICチップ
と、 前記接続端子部に接続され、前記基板の一方の面に形成
された外部接触用端子と、 前記基板の一方の面に形成され、前記外部接触用端子と
同じ層構造を有する非接触通信用アンテナと、を備えた
接触・非接触兼用型ICモジュール。
A substrate made of a sealing resin; a contact / non-contact type IC chip embedded on one surface of the substrate and arranged so that a connection terminal portion is located outside; An external contact terminal connected to and formed on one surface of the substrate; and a non-contact communication antenna formed on one surface of the substrate and having the same layer structure as the external contact terminal. Contact / non-contact type IC module.
【請求項2】 請求項1に記載の接触・非接触兼用型I
Cモジュールにおいて、 前記外部接触用端子及び/又は前記非接触通信用アンテ
ナの接続端子部は、前記接触・非接触兼用型ICチップ
の接続端子部と接触して形成されること、を特徴とする
接触・非接触兼用型ICモジュール。
2. The contact / non-contact type I according to claim 1.
In the C module, the external contact terminal and / or the connection terminal portion of the non-contact communication antenna are formed in contact with the connection terminal portion of the contact / non-contact type IC chip. Contact / non-contact type IC module.
【請求項3】 請求項1に記載の接触・非接触兼用型I
Cモジュールにおいて、 前記基板の一方の面で少なくとも前記接触・非接触兼用
型ICチップを覆う絶縁層と、 前記絶縁層に設けられ、前記接触・非接触兼用型ICチ
ップの接続端子部に連通する貫通孔と、 前記外部接触用端子と一体に、前記貫通孔に形成され、
前記接触・非接触兼用型ICチップの接続端子部と前記
外部接触用端子とを接続する接続部とを備えること、を
特徴とする接触・非接触兼用型ICモジュール。
3. The contact / non-contact type I according to claim 1.
In the C module, an insulating layer that covers at least the contact / non-contact type IC chip on one surface of the substrate, and is provided on the insulating layer and communicates with a connection terminal portion of the contact / non-contact type IC chip. A through hole, integral with the external contact terminal, formed in the through hole,
A contact / non-contact type IC module, comprising: a connection portion for connecting the contact / non-contact type IC chip to the external contact terminal.
【請求項4】 請求項1から請求項3までのいずれか1
項に記載の接触・非接触兼用型ICモジュールにおい
て、 前記非接触通信用アンテナは、アンテナ内側領域に対し
て前記外部接触用端子をずらして配置することにより、
その前記外部接触用端子と干渉しないアンテナ有効領域
が確保されていること、を特徴とする接触・非接触兼用
型ICモジュール。
4. One of claims 1 to 3
The contact / non-contact type IC module according to Item, wherein the non-contact communication antenna is arranged such that the external contact terminal is displaced with respect to an antenna inner area,
A contact / non-contact type IC module, wherein an effective antenna area that does not interfere with the external contact terminal is secured.
【請求項5】 封止樹脂からなる基板の一方の面に、接
続端子部が外側になるように接触・非接触兼用型ICチ
ップを埋め込むICチップ埋め込み工程と、前記基板の
一方の面に非接触通信用アンテナ及び外部接触用端子を
同時に形成するアンテナ・外部接触用端子形成工程と、
を備えた接触・非接触兼用型ICモジュールの製造方
法。
5. An IC chip embedding step of embedding a contact / non-contact type IC chip on one surface of a substrate made of a sealing resin so that a connection terminal portion is on the outside, and a non-contact IC chip on one surface of the substrate. An antenna / external contact terminal forming step of simultaneously forming a contact communication antenna and an external contact terminal,
A method for producing a contact / non-contact type IC module comprising:
【請求項6】 請求項5に記載の接触・非接触兼用型I
Cモジュールの製造方法において、 前記接触・非接触兼用型ICチップを切断する及び/又
は削ることにより薄くする切削工程を備えること、を特
徴とする接触・非接触兼用型ICモジュールの製造方
法。
6. The contact / non-contact type I according to claim 5.
A method for manufacturing a contact / non-contact type IC module, comprising a cutting step of cutting and / or shaving the contact / non-contact type IC chip to reduce the thickness.
【請求項7】 請求項6に記載の接触・非接触兼用型I
Cモジュールの製造方法において、 前記切削工程は、前記ICチップ埋め込み工程で前記基
板に埋め込まれた前記接触・非接触兼用型ICチップを
切断する及び/又は削ること、を特徴とする接触・非接
触兼用型ICモジュールの製造方法。
7. The contact / non-contact type I according to claim 6.
In the method for manufacturing a C module, the cutting step cuts and / or cuts the contact / non-contact type IC chip embedded in the substrate in the IC chip embedding step. A method for manufacturing a dual-purpose IC module.
【請求項8】 請求項5から請求項7までのいずれか1
項に記載の接触・非接触兼用型ICモジュールの製造方
法において、 前記接触・非接触兼用型ICモジュールは、同一面で複
数製造する多面付けにより製造されること、を特徴とす
る接触・非接触兼用型ICモジュールの製造方法。
8. One of claims 5 to 7
3. The method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to the item [2], wherein the contact / non-contact type IC module is manufactured by multi-face mounting in which a plurality of IC modules are manufactured on the same surface. A method for manufacturing a dual-purpose IC module.
【請求項9】 請求項5から請求項8までのいずれか1
項に記載の接触・非接触兼用型ICモジュールの製造方
法において、 前記アンテナ・外部接触用端子形成工程は、前記接続端
子部に接するように前記外部接触用端子を形成するこ
と、を特徴とする接触・非接触兼用型ICモジュールの
製造方法。
9. Any one of claims 5 to 8
The method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to Item, wherein the step of forming the antenna / external contact terminal forms the external contact terminal so as to be in contact with the connection terminal portion. A method for manufacturing a contact / non-contact type IC module.
【請求項10】 請求項5から請求項8までのいずれか
1項に記載の接触・非接触兼用型ICモジュールの製造
方法において、 前記アンテナ・外部接触用端子形成工程は、前記外部接
触用端子と一体に前記接続端子部と前記外部接触用端子
とを接続する接続部を前記外部接触用端子と一体にかつ
同時に形成し、 前記基板の一方の面で少なくとも前記接触・非接触兼用
型ICチップを覆う絶縁層を形成する絶縁層形成工程
と、 前記絶縁層に、前記接触・非接触兼用型ICチップに連
通する貫通孔を形成する貫通孔形成工程とを備えるこ
と、を特徴とする接触・非接触兼用型ICモジュールの
製造方法。
10. The method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to any one of claims 5 to 8, wherein the antenna / external contact terminal forming step includes the external contact terminal. Forming a connection part for connecting the connection terminal part and the external contact terminal integrally and simultaneously with the external contact terminal; and forming at least the contact / non-contact type IC chip on one surface of the substrate An insulating layer forming step of forming an insulating layer covering the semiconductor chip; and a through hole forming step of forming a through hole communicating with the contact / non-contact type IC chip in the insulating layer. A method for manufacturing a non-contact type IC module.
【請求項11】 請求項5から請求項10までのいずれ
か1項に記載の接触・非接触兼用型ICモジュールの製
造方法において、 前記アンテナ・外部接触用端子形成工程は、エッチング
及び/又はめっきにより前記非接触通信用アンテナ及び
前記外部接触用端子を形成すること、を特徴とする接触
・非接触兼用型ICモジュールの製造方法。
11. The method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to any one of claims 5 to 10, wherein the antenna / external contact terminal forming step includes etching and / or plating. Forming the contactless communication antenna and the external contact terminal according to the following method.
【請求項12】 請求項10に記載の接触・非接触兼用
型ICモジュールの製造方法において、 前記アンテナ・外部接触用端子形成工程は、エッチング
及び/又はめっきにより非接触通信用アンテナ、外部接
触用端子及び接続部を形成すること、を特徴とする接触
・非接触兼用型ICモジュールの製造方法。
12. The method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to claim 10, wherein the step of forming the antenna / external contact terminals comprises etching and / or plating for a non-contact communication antenna and an external contact. A method of manufacturing a contact / non-contact type IC module, comprising forming terminals and connection portions.
【請求項13】 請求項5から請求項12までのいずれ
か1項に記載の接触・非接触兼用型ICモジュールの製
造方法において、 前記アンテナ・外部接触用端子形成工程は、アンテナ内
側領域に対して前記外部接触用端子をずらして配置する
ことにより、その前記外部接触用端子と干渉しないアン
テナ有効領域が確保するように形成すること、を特徴と
する接触・非接触兼用型ICモジュールの製造方法。
13. The method for manufacturing a contact / non-contact type IC module according to any one of claims 5 to 12, wherein the step of forming an antenna / external contact terminal comprises: Wherein the external contact terminals are shifted to form an effective antenna area which does not interfere with the external contact terminals. .
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022507119A (en) * 2018-11-08 2022-01-18 スマート パッケージング ソリューションズ Electronic module for chip card

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01235699A (en) * 1988-03-17 1989-09-20 Oki Electric Ind Co Ltd Production of ic card and ic chip
JPH05139082A (en) * 1991-11-19 1993-06-08 Hitachi Ltd Electronic device
JPH07239922A (en) * 1994-02-25 1995-09-12 Dainippon Printing Co Ltd Ic module for ic card
WO2000021027A1 (en) * 1998-10-05 2000-04-13 Orga Kartensysteme Gmbh Method for producing a supporting element for an integrated circuit module for placement in chip cards
JP2000172814A (en) * 1998-12-02 2000-06-23 Toppan Printing Co Ltd Composite ic module and composite ic card
JP2000207515A (en) * 1999-01-19 2000-07-28 Seiko Epson Corp Contact type ic card
JP2000294577A (en) * 1999-04-06 2000-10-20 Sony Chem Corp Semiconductor device
JP2001056850A (en) * 1999-08-20 2001-02-27 Dainippon Printing Co Ltd Ic module with noncontact communication function and contact and noncontact type common-use ic card

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01235699A (en) * 1988-03-17 1989-09-20 Oki Electric Ind Co Ltd Production of ic card and ic chip
JPH05139082A (en) * 1991-11-19 1993-06-08 Hitachi Ltd Electronic device
JPH07239922A (en) * 1994-02-25 1995-09-12 Dainippon Printing Co Ltd Ic module for ic card
WO2000021027A1 (en) * 1998-10-05 2000-04-13 Orga Kartensysteme Gmbh Method for producing a supporting element for an integrated circuit module for placement in chip cards
JP2002526869A (en) * 1998-10-05 2002-08-20 オルガ・カルテンズュステーメ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング Method of manufacturing a transport element for an IC module for mounting in a chip card
JP2000172814A (en) * 1998-12-02 2000-06-23 Toppan Printing Co Ltd Composite ic module and composite ic card
JP2000207515A (en) * 1999-01-19 2000-07-28 Seiko Epson Corp Contact type ic card
JP2000294577A (en) * 1999-04-06 2000-10-20 Sony Chem Corp Semiconductor device
JP2001056850A (en) * 1999-08-20 2001-02-27 Dainippon Printing Co Ltd Ic module with noncontact communication function and contact and noncontact type common-use ic card

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022507119A (en) * 2018-11-08 2022-01-18 スマート パッケージング ソリューションズ Electronic module for chip card
JP7474251B2 (en) 2018-11-08 2024-04-24 スマート パッケージング ソリューションズ Electronic modules for chip cards

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