JP2002320147A - 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法 - Google Patents

固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法

Info

Publication number
JP2002320147A
JP2002320147A JP2001124015A JP2001124015A JP2002320147A JP 2002320147 A JP2002320147 A JP 2002320147A JP 2001124015 A JP2001124015 A JP 2001124015A JP 2001124015 A JP2001124015 A JP 2001124015A JP 2002320147 A JP2002320147 A JP 2002320147A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shutter pulse
solid
signal
shift register
signal charge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001124015A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4682439B2 (ja
Inventor
Hiroyuki Takezoe
博行 竹添
Kazutoshi Nakajima
和敏 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2001124015A priority Critical patent/JP4682439B2/ja
Publication of JP2002320147A publication Critical patent/JP2002320147A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4682439B2 publication Critical patent/JP4682439B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 タイミング回路の構成を複雑化することな
く、シャッタパルス印加時における垂直シフトレジスタ
の取扱信号電荷量の低減を防止することができる固体撮
像素子の駆動装置及び駆動方法を提供すること。 【解決手段】 露光期間を制御するためのシャッタパル
スVsubを、水平ブランキング期間内における信号電
荷の垂直転送の前に印加することにより、シャッタパル
ス印加時における垂直シフトレジスタの取扱信号電荷量
の低減を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CCD(電荷結合
素子)を用いた固体撮像素子を駆動するための固体撮像
素子の駆動装置及び駆動方法に関し、更に詳しくは、電
子シャッタ機能を有する固体撮像素子の駆動装置及び駆
動方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電気的に露光時間の調整を行い得
るようになされた固体撮像素子、すなわち電子シャッタ
機能を有する固体撮像素子として、N型シリコン基板上
にP型ウェル領域を形成すると共に、このP型ウェル領
域内に受光部としてのフォトセンサ、垂直シフトレジス
タ、水平シフトレジスタ及び出力部を設けた構造のもの
がある。この種の固体撮像素子では、N型シリコン基板
に高電圧を印加してフォトセンサに蓄積された信号電荷
を基板側へ掃き捨てることにより、フォトセンサの信号
電荷蓄積時間、すなわち露光時間を制御することができ
る。電子シャッタ機能における信号電荷の掃き捨て方法
としては、例えば、露光開始時までの間、水平同期信号
と同じ周期で基板にシャッタパルスを印加して、信号電
荷の掃き捨てを繰り返し行う方法がある。
【0003】図9は、従来のシャッタパルスの印加タイ
ミングの一例を示すタイミングチャートである。ここで
は、4相駆動の垂直シフトレジスタを用いた固体撮像素
子の例を挙げている。図において(a)は水平ブランキ
ング信号H−BLKを示し、この信号のLレベル時が水
平ブランキング期間を表している。(b)〜(e)は4
相の垂直転送パルスφV1〜φV4を示し、これらの垂
直転送パルスφV1〜φV4がHレベルの時、転送電極
下のポテンシャルが深くなり、信号電荷はポテンシャル
が深くなっている部分に保持される。(f)はシャッタ
パルスVsubを示し、Hレベルの時に信号電荷の掃き
捨てが行われる。
【0004】図9におけるT1〜T8の各時間における
垂直シフトレジスタでの電荷転送状態を表したポテンシ
ャル図を図10に示す。時間T1の状態では、信号電荷
が転送電極V1,V2,V3に蓄積されていることを示
している。次の時間T2の状態でV1がLレベルにな
り、信号電荷はV2,V3に蓄積される。次いで、時間
T3の状態でV4がHレベルになり、信号電荷はV2,
V3,V4に蓄積される。このような動作を繰り返すこ
とによって信号電荷が順次転送される。このとき、シャ
ッタパルスVsubは、垂直転送中に1回、Hレベルに
維持される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、近年におけ
る固体撮像素子は、画素数増加のために画素サイズの小
型化が進み、垂直シフトレジスタの1セルに占める割合
が狭められ、垂直シフトレジスタの取扱信号電荷量も減
少する傾向にある。その中で、垂直転送中にシャッタパ
ルスVsubを印加すると、図11に示すようにシャッ
タパルスVsubがHレベルになったときのP型ウェル
領域によるバリア電位aの方が信号電荷の電位bよりも
深い電位となり、垂直シフトレジスタを転送されている
信号電荷が基板側へ掃き捨てられてしまう。このため、
垂直シフトレジスタの取扱信号電荷量が減少することに
なり、ダイナミックレンジが狭められてしまうという問
題がある。なお、図において破線はシャッタパルスVs
ubがLレベルのときのポテンシャル分布を示してい
る。
【0006】一方、特開平10−136270号公報に
は、シャッタパルス印加時における垂直シフトレジスタ
の取扱信号電荷量の減少を防止するために、垂直シフト
レジスタの転送電極のうちの過半数の転送電極にHレベ
ルの垂直転送パルスが印加されている間に、固体撮像素
子に対してシャッタパルスを印加する方法が提案されて
いる。すなわち、信号電荷の垂直転送中において最も垂
直シフトレジスタの電荷保持能力が大きい期間にシャッ
タパルスを印加するようにして、垂直シフトレジスタか
らの信号電荷の溢れ出しを防ぎ、もって垂直シフトレジ
スタの取扱信号電荷量の減少を防止するようにしてい
る。
【0007】しかしながら、上記公報に記載の方法で
は、垂直シフトレジスタの最も電荷保持能力が大きい期
間を選んでシャッタパルスを印加するようにしているた
め、水平ブランキング期間において複数回にわたってシ
ャッタパルスを印加することによってフォトセンサにお
ける確実な電荷掃き捨て作用を確保する必要性が生じ、
したがってシャッタパルスを発信するタイミング回路が
複雑化するという問題がある。
【0008】また、垂直シフトレジスタの最も電荷保持
能力が大きい期間を選んでシャッタパルスを印加するよ
うにしても、結局、電荷の垂直転送中にシャッタパルス
を印加する構成であるので、シャッタパルスの印加によ
る垂直シフトレジスタのポテンシャル分布の変動は否め
ず、これによって転送電荷の部分的な溢れ出しが誘発さ
れることになる。要するに、上記公報に記載の方法は、
シャッタパルスの印加による垂直シフトレジスタの取扱
信号電荷量の低減に対する根本的な解決方法とはなり得
ない。
【0009】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、タイ
ミング回路の構成を複雑化することなく、シャッタパル
ス印加時における垂直シフトレジスタの取扱信号電荷量
の低減を防止することができる固体撮像素子の駆動装置
及び駆動方法を提供することを課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するに
当たり、本発明の固体撮像素子の駆動装置は、水平ブラ
ンキング期間内における信号電荷の垂直転送の前、又は
前記垂直転送の後に、シャッタパルスを印加するシャッ
タパルス印加手段を備えたことを特徴とする。
【0011】また、以上の課題を解決するに当たり、本
発明の固体撮像素子の駆動方法は、シャッタパルスを、
水平ブランキング期間内であって、信号電荷の垂直転送
の前、又は垂直転送の後に印加するようにしたことを特
徴とする。
【0012】本発明では、シャッタパルスの印加タイミ
ングを信号電荷の垂直転送の前又は後とすることによ
り、タイミング回路を複雑化することなく、シャッタパ
ルスの印加による垂直シフトレジスタの取扱信号電荷量
の低減を防止するようにしている。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
【0014】(第1の実施の形態)図1は、本発明の第
1の実施の形態による固体撮像素子の駆動装置を含むC
CD固体撮像素子カメラシステムの要部の構成を示すブ
ロック図である。このシステムは、CCDを用いた固体
撮像素子であるCCDイメージャ1と、垂直同期信号V
D及び水平同期信号HD等の同期信号を発生する同期信
号発生器2と、同期信号発生器2から出力される垂直同
期信号VD及び水平同期信号HD等が入力され、CCD
イメージャ1の駆動用の各種のタイミング信号を発生す
るタイミング発生器3と、タイミング発生器3から出力
されるタイミング信号が入力され、垂直転送パルス、水
平転送パルス及び信号電荷の掃き捨てのためにCCDイ
メージャ1の基板に印加されるシャッタパルス等を与え
てCCDイメージャ1を駆動するドライバ4とを備えて
いる。
【0015】これら同期信号発生器2、タイミング発生
器3及びドライバ4により本実施の形態における固体撮
像素子の駆動装置が構成される。特に、ドライバ4は、
本発明に係るシャッタパルス印加手段を構成する。な
お、タイミング発生器3は、必要に応じてリセットゲー
トパルス等のタイミングパルスを直接、CCDイメージ
ャ1に印加するようになっている。また、CCDイメー
ジャ1の出力信号の信号処理系については、その図示を
省略している。
【0016】CCDイメージャ1は、図2に模式的に示
すように、二次元的に配列されたフォトセンサからなる
複数の受光部11と、それぞれ一列分の受光部11に対
し読出しゲート12を介して接続される垂直シフトレジ
スタ13と、垂直シフトレジスタ13の下端に共通に接
続される水平シフトレジスタ14と、水平シフトレジス
タの一端に接続される出力部15とを備えた、いわゆる
インターライン転送方式のCCD固体撮像素子として構
成される。
【0017】CCDイメージャ1を構成する固体撮像素
子の画素周辺の断面構造を図3に示す。第1導電型の半
導体基板であるN型シリコン基板21に形成した第2導
電型の領域であるP型ウェル領域22の表面に、受光部
11を形成するためのN型の不純物拡散領域からなる信
号電荷蓄積領域24と、垂直シフトレジスタ13を構成
するN型の電荷転送領域31及びP+ 型のチャネルスト
ッパ領域34とが形成されている。更に、上記N型の不
純物拡散領域24の表面にはP++型の正電荷蓄積領域2
5が形成され、N型の電荷転送領域31の直下にスミア
の低減を目的としたP+ 型ウェル領域30が形成されて
いる。N型の不純物拡散領域24と電荷転送領域31と
の間のP型領域は、読出しゲート部35を構成してい
る。
【0018】また、電荷転送領域31、チャネルストッ
パ領域34及び読出しゲート部35上に、例えばSiO
2 からなるゲート絶縁膜23を介して多結晶シリコン層
からなる転送電極32が形成され、これら電荷転送領域
31、ゲート絶縁膜23及び転送電極32によって、垂
直シフトレジスタ13が構成される。なお、転送電極3
2は1層目の多結晶シリコン層及び2層目の多結晶シリ
コン層から構成されるが、図では1層目の多結晶シリコ
ン層のみを示している。
【0019】転送電極32の表面には熱酸化によるシリ
コン酸化膜26が形成され、その上に金属遮光膜33が
形成されている。金属遮光膜33は受光部11の形成領
域において選択的にエッチング除去されており、光は、
このエッチング除去によって形成された開口を通じて受
光部11内に入射される。金属遮光膜33及び受光部1
1の全面には層間絶縁膜27を介してカラーフィルタ
(R,G,Bの三原色フィルタやY,M,C,Gの補色
フィルタ)28が形成されており、更にカラーフィルタ
28の上にはマイクロレンズ29が形成されている。
【0020】本実施の形態では、上記のように、N型シ
リコン基板21の表面にP型ウェル領域22を形成する
と共に、このP型ウェル領域22内に受光部11を構成
するN型の不純物拡散領域24を形成することで、いわ
ゆる電子シャッタ機能付きのCCD固体撮像素子が構成
される。すなわち、シリコン基板21に供給される基板
電位をシャッタパルスに同期して高レベルにすることに
より、P型ウェル領域22におけるポテンシャル障壁が
下がり、受光部11に蓄積された信号電荷(この場合、
電子)が上記ポテンシャル障壁を越えて縦方向、つまり
シリコン基板21側に掃き捨てられる。これにより、シ
ャッタパルスの最終印加時点から電荷読出し時点までの
期間が実質的な露光期間とされる。
【0021】図4に、(a)読出しパルスVt及び
(b)シャッタパルスVsubのタイミングチャートの
一例を示す。読出しパルスVt1により、受光部11に
蓄積された信号電荷を読み出した後の1フィールド期間
において、シャッタ期間T2においては、水平ブランキ
ング期間毎にシャッタパルスVsubがLレベルからH
レベルに切り換わり、受光部11内の信号電荷が基板2
1側へ引き抜かれる。シャッタ期間T2後の露光期間T
3では、シャッタパルスVsubはLレベルに維持さ
れ、受光部11内に信号電荷が蓄積される。露光期間T
3内に蓄積された信号電荷は、1フィールド終了後の読
出しパルスVt2によって垂直シフトレジスタ13に読
み出される。
【0022】次に、本発明の第1の実施の形態による固
体撮像素子の駆動装置の作用及び、本実施の形態による
固体撮像素子の駆動方法ついて説明する。
【0023】タイミング発生器3は、同期信号発生器2
から発生される垂直同期信号VD及び水平同期信号HD
が入力されることにより、CCDイメージャ1の駆動用
の各種のタイミング信号を発生する。ドライバ4は、タ
イミング信号発生器3から出力されるタイミング信号が
入力されることにより、垂直転送パルス、水平転送パル
ス及びシャッタパルス等をCCDイメージャ1に与えて
CCDイメージャ1を駆動する。
【0024】図5及び図6は、本実施の形態におけるシ
ャッタパルスの印加タイミングを示すタイミングチャー
トである。ここでは、4相駆動の垂直シフトレジスタを
用いた固体撮像素子の例を挙げている。図5において
(a)は水平ブランキング信号H−BLKを示し、この
信号のLレベル時が水平ブランキング期間を表してい
る。(b)〜(e)は4相の垂直転送パルスφV1〜φ
V4を示し、これらの垂直転送パルスφV1〜φV4が
Hレベルの時、転送電極下のポテンシャルが深くなり、
信号電荷はポテンシャルが深くなっている部分に保持さ
れる。(f)はシャッタパルスVsub を示し、Hレ
ベルの時に信号電荷の掃き捨てが行われる。また、図6
において(a)〜(d)は垂直転送パルスφV1〜φV
4を示し、これらには信号電荷の読出し時に読出し用の
ゲートパルスVtが重畳される。(e)はシャッタパル
スVsubを示し、Hレベル時に信号電荷の掃き捨てが
行われる。このシャッタパルスVsubが停止した後、
次の信号読出し時までの間が信号電荷蓄積時間、つまり
露光期間となる。
【0025】なお、図5に示した各垂直転送パルスφV
1〜φV4の相互のタイミング波形は、図8に示した従
来のそれと変わらず、したがって図9に示した形態で垂
直シフトレジスタ13において信号電荷が転送される。
【0026】さて、本実施の形態では、図5に示したよ
うにシャッタパルスVsubを、水平ブランキング期間
内であって、信号電荷の垂直転送の前に印加するように
している。このように、信号電荷の垂直転送期間をはず
してシャッタパルスVsubを印加するようにしている
ので、シャッタパルスVsubの印加時に垂直転送され
ている信号電荷の溢れ出し、すなわち信号電荷の一部が
基板側へ掃き捨てられることが回避される。これによ
り、シャッタパルスVsubの印加による垂直シフトレ
ジスタ13の取扱信号電荷量の減少が原理的に防止され
ることになる。また、シャッタパルスVsubを複数回
に分けて印加する必要もないので、シャッタパルス印加
手段としてのドライバ4の構成を複雑化することもな
い。
【0027】なお、本実施の形態においては、水平ブラ
ンキング期間を従来の水平ブランキング期間と同等とし
ている。したがって、信号電荷の垂直転送の前にシャッ
タパルスVsubを印加する期間を設けているために、
各垂直転送パルスφV1〜φV4のオーバーラップ期間
が従来よりも短くなり、その結果、垂直シフトレジスタ
13の取扱信号電荷量が従来よりも減少することは事実
である。
【0028】しかしながら、信号電荷の垂直転送中にお
けるシャッタパルスVsubの印加による垂直シフトレ
ジスタ13の取扱信号電荷量の減少量の方が、垂直転送
パルスφV1〜φV4のオーバーラップ期間の減少によ
る垂直シフトレジスタ13の取扱信号電荷量の減少量に
比べて大きいことが本発明者らの実験によって確認され
ている。
【0029】図7はその実験結果を示すもので、垂直転
送パルスのオーバーラップ量(ビット数)と垂直シフト
レジスタの取扱信号電荷量との関係を表している。図7
より、シャッタパルスVsubの印加による垂直シフト
レジスタの取扱信号電荷量の減少量は、シャッタパルス
Vsubを印加しない場合(本発明)の5〜20%に達
することがわかる。また、垂直転送中にシャッタパルス
Vsubを印加しない場合であっても、垂直転送パルス
のある一定のオーバーラップ量(図においてAで示
す。)以下ではシャッタパルスVsubを印加する場合
と同等以下の取扱信号電荷量となることも認められ、し
たがって少なくとも上記Aを越えるオーバーラップ量を
確保することによって、垂直シフトレジスタの取扱信号
電荷量の向上を図ることができる。
【0030】以上のように、信号電荷の垂直転送中にシ
ャッタパルスVsubを印可する従来の固体撮像素子の
駆動方法に比べて、垂直シフトレジスタ13の取扱信号
電荷量を向上させることができるので、ダイナミックレ
ンジの拡大及びS/Nの向上を図ることができると共
に、大光量時においても垂直シフトレジスタ13におけ
る信号電荷の転送残しを防止できる。
【0031】また本実施の形態によれば、垂直シフトレ
ジスタ13における取扱信号電荷量を向上させることが
できるので、受光部11に対する垂直シフトレジスタ1
3の面積比を小さくすることができ、これにより画素サ
イズの小型化による受光部11の面積の縮小率を低減し
て受光感度を向上させることができ、また、飽和信号量
の増大によってS/Nの向上を図ることができる。更
に、垂直シフトレジスタ13を縮小できるため金属遮光
膜33の受光部11側への張り出し量を拡大でき、これ
によりスミア特性の改善が図られる。
【0032】また、垂直シフトレジスタ13の取扱信号
電荷量が増加した分、転送電極32下におけるポテンシ
ャル分布を浅くすることが可能となり、垂直シフトレジ
スタ13における信号電荷の転送効率の向上を図ること
ができる。
【0033】更に、垂直シフトレジスタ13の取扱信号
電荷量が増加した分、垂直シフトレジスタ13を縮小し
受光部11の面積を拡大できるので、電子シャッタ用シ
ャッタパルスの印加電圧を低減でき、また、受光部11
のポテンシャルが浅くなることによって読出しゲート部
35に対する読出しパルス電圧も低減でき、これらによ
り低消費電力化を図ることができる。また、受光部11
のポテンシャルが浅くなることによって、白点、白キ
ズ、暗電流の発生を抑えることも可能となる。
【0034】(第2の実施の形態)続いて、本発明の第
2の実施の形態について説明する。図8は本実施の形態
におけるシャッタパルスVsubの印加タイミングを示
すタイミングチャートである。なお、CCDイメージャ
及びその駆動装置の構成は、上述の第1の実施の形態と
同様であるとし、その説明は省略する。
【0035】図8において(a)は水平ブランキング信
号H−BLKを示し、この信号のLレベル時が水平ブラ
ンキング期間を表している。(b)〜(e)は4相の垂
直転送パルスφV1〜φV4を示し、これらの垂直転送
パルスφV1〜φV4がHレベルの時、転送電極下のポ
テンシャルが深くなり、信号電荷はポテンシャルが深く
なっている部分に保持される。(f)はシャッタパルス
Vsub を示し、Hレベルの時に信号電荷の掃き捨て
が行われる。
【0036】すなわち本実施の形態では、シャッタパル
スVsubの印加タイミングを水平ブランキング期間内
における信号電荷の垂直転送の後としている。これによ
っても、上述の実施の形態と同様な効果を得ることがで
きる。
【0037】以上、本発明の各実施の形態について説明
したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、
本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能であ
る。
【0038】例えば以上の実施の形態では、垂直シフト
レジスタ13に印可する垂直転送パルスを4相とした
が、少なくとも2相以上の転送パルスを印加することに
よって信号電荷を転送する垂直シフトレジスタを備えた
固体撮像素子に対して、本発明は適用可能である。
【0039】また、CCDイメージャ1における信号電
荷の読出し方式として、1フィールド期間で全画素の信
号電荷を読み出す方式と、偶数フィールド及び奇数フィ
ールドを交互に読み出す方式の何れにも本発明は適用可
能である。
【0040】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の固体撮像素
子の駆動装置によれば、タイミング回路の構成を複雑化
することなく、シャッタパルスの印加による垂直シフト
レジスタの取扱信号電荷量の低減を防止することができ
る。
【0041】また、本発明の固体撮像素子の駆動方法に
よれば、垂直シフトレジスタの取扱信号電荷量の低減を
防止することができるので、ダイナミックレンジの拡大
を図ることができると共に、S/Nの向上を図ることが
できる。また、画素サイズの小型化に伴って垂直シフト
レジスタの縮小比を受光部面積のそれよりも大きくとる
ことができるので、受光感度の向上が図られると共に、
低消費電力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による固体撮像素子
の駆動装置を含むCCD固体撮像素子カメラシステムの
要部の構成を示すブロック図である。
【図2】図1におけるCCDイメージャの構成の一例を
示す説明図である。
【図3】図1におけるCCDイメージャの受光部とその
周辺を示す断面図である。
【図4】図1におけるCCDイメージャの露光期間を説
明するシャッタパルスの説明図である。
【図5】本発明の第1の実施の形態によるシャッタパル
スの印加タイミングを示すタイミングチャートである。
【図6】本発明の第1の実施の形態によるシャッタパル
スの印加タイミングを示すタイミングチャートである。
【図7】本発明と従来の垂直シフトレジスタの取扱信号
電荷量を比較する説明図である。
【図8】本発明の第2の実施の形態によるシャッタパル
スのタイミングチャートである。
【図9】従来のシャッタパルスの印加タイミングを示す
タイミングチャートである。
【図10】図9中の各タイミングにおける転送電極下の
ポテンシャルを示す説明図である。
【図11】従来技術の問題点を説明する転送電極下のポ
テンシャル図である。
【符号の説明】
1…CCDイメージャ(固体撮像素子)、2…同期信号
発生器、3…タイミング発生器、4…ドライバ(シャッ
タパルス印加手段)、11…受光部、13…垂直シフト
レジスタ、14…水平シフトレジスタ、21…N型シリ
コン基板(第1導電型の半導体基板)、22…P型ウェ
ル領域(第2導電型の領域)、24…信号電荷蓄積領
域、31…電荷転送領域、φV1〜φV4…垂直転送パ
ルス、Vsub…シャッタパルス。
フロントページの続き Fターム(参考) 4M118 AA02 AA05 AA10 AB01 BA13 CA04 DB06 DB08 DB09 FA06 FA13 GB11 GC08 GC09 GD04 5C024 CX41 CX43 CX54 GY04 JX25 JX44

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1導電型の半導体基板に形成された第
    2導電型の領域に、フォトセンサからなる信号電荷蓄積
    領域と、前記信号電荷蓄積領域にて蓄積された信号電荷
    を垂直転送する転送領域とが設けられた固体撮像素子に
    対し、前記信号電荷蓄積領域に蓄積された信号電荷を前
    記半導体基板側に掃き捨てて、露光期間の制御を行うた
    めのシャッタパルスを印加する固体撮像素子の駆動装置
    において、 前記固体撮像素子に対して、水平ブランキング期間内に
    おける前記信号電荷の垂直転送の前、又は前記垂直転送
    の後に、前記シャッタパルスを印加するシャッタパルス
    印加手段を備えたことを特徴とする固体撮像素子の駆動
    装置。
  2. 【請求項2】 第1導電型の半導体基板に形成された第
    2導電型の領域に、フォトセンサからなる信号電荷蓄積
    領域と、前記信号電荷蓄積領域にて蓄積された信号電荷
    を垂直転送する転送領域とが設けられた固体撮像素子に
    対し、前記信号電荷蓄積領域に蓄積された信号電荷を前
    記半導体基板側に掃き捨てて、露光期間の制御を行うた
    めのシャッタパルスを印加する固体撮像素子の駆動方法
    において、 前記シャッタパルスを、水平ブランキング期間内であっ
    て、前記信号電荷の垂直転送の前、又は前記垂直転送の
    後に印加するようにしたことを特徴とする固体撮像素子
    の駆動方法。
JP2001124015A 2001-04-23 2001-04-23 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法 Expired - Fee Related JP4682439B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001124015A JP4682439B2 (ja) 2001-04-23 2001-04-23 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001124015A JP4682439B2 (ja) 2001-04-23 2001-04-23 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002320147A true JP2002320147A (ja) 2002-10-31
JP4682439B2 JP4682439B2 (ja) 2011-05-11

Family

ID=18973476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001124015A Expired - Fee Related JP4682439B2 (ja) 2001-04-23 2001-04-23 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4682439B2 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10136270A (ja) * 1996-10-25 1998-05-22 Sony Corp 固体撮像素子の駆動装置および方法
JPH11136585A (ja) * 1997-10-30 1999-05-21 Nec Corp 固体撮像素子の駆動方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10136270A (ja) * 1996-10-25 1998-05-22 Sony Corp 固体撮像素子の駆動装置および方法
JPH11136585A (ja) * 1997-10-30 1999-05-21 Nec Corp 固体撮像素子の駆動方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4682439B2 (ja) 2011-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7944495B2 (en) Solid-state image pickup element including a thinning method to discharge unnecessary image data
JP4305970B2 (ja) 固体撮像素子の駆動方法
US6982751B1 (en) Solid-state imaging apparatus, its driving method, and camera system
JP2007110496A (ja) 固体撮像素子の制御回路および固体撮像素子の駆動方法
JPWO2010092644A1 (ja) 固体撮像装置及びカメラ
JP3009041B1 (ja) 固体撮像装置の駆動方法
JP4682439B2 (ja) 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法
JP2002151673A (ja) 固体撮像素子
JP2006262086A (ja) 撮像装置の駆動方法
JPH09139486A (ja) 固体撮像素子及び固体撮像素子の駆動方法
JPH0654259A (ja) Fit型固体撮像装置
JP2000134546A (ja) 固体撮像素子の駆動方法
US20060220070A1 (en) Imaging system and driving method
JP2894489B2 (ja) 固体撮像素子の駆動方法
JPH06339081A (ja) 固体撮像素子の駆動方法
JP4296025B2 (ja) 固体撮像装置及びその駆動方法
JP3158324B2 (ja) 固体撮像素子の駆動方法
JP4593751B2 (ja) リニアセンサ及びその駆動方法
JP4734760B2 (ja) 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法
JPH08279965A (ja) 固体撮像素子及び固体撮像素子の駆動方法
JPH08279608A (ja) 電荷転送素子及び電荷転送素子の駆動方法
JPH10271395A (ja) 固体撮像装置およびその駆動方法
JPH06268923A (ja) 固体撮像装置の駆動方法
JP3148459B2 (ja) 固体撮像素子の駆動方法
JPH05316429A (ja) 固体撮像装置の駆動方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20071027

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071221

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100203

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100209

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100406

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100427

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100720

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20100804

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110111

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110124

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140218

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140218

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees