JP4593751B2 - リニアセンサ及びその駆動方法 - Google Patents
リニアセンサ及びその駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4593751B2 JP4593751B2 JP2000295898A JP2000295898A JP4593751B2 JP 4593751 B2 JP4593751 B2 JP 4593751B2 JP 2000295898 A JP2000295898 A JP 2000295898A JP 2000295898 A JP2000295898 A JP 2000295898A JP 4593751 B2 JP4593751 B2 JP 4593751B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charge
- charge transfer
- discharge
- insulating film
- photodiode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアセンサの電気的特性に関し、特に、画像情報取得時のノイズ低減(残像信号量低減)に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のリニアセンサでは、画像取り込み時の画質の劣化の一つの要因としてフォトダイオード(以下、PDと略称する)部1セル毎に所定の時間、そこに入射するの光情報量(光エネルギー量)に比例した電子が電子数としてPDへ蓄積され、そのPD1セル毎の電子の電荷量を電荷転送チャネル(以下、CCDと略称する)を用いて電荷電圧変換素子へ次々と転送し、転送されてきた電荷量を出力部で電圧へ変換して、そのPDセル1個が受けた光量情報として出力される構造となっている。
【0003】
この従来のリニアセンサの平面模式図及び平面模式図の切断線A−A’における1画素分の模式断面図及び信号電荷読み出し時の電子ポテンシャルを図4に示す。
【0004】
図4(a)において、B、G、RはそれぞれPD22を示し、PD22の一列全部がそれらの光の入射側にそれぞれBlue、Green、Redの着色層を有していることを示している。PD22内で蓄積した信号電荷(電子)は、図面右横のCCD23に読み出され、CCD23の上方に設けられた電荷転送電極に信号を印加することにより図面下方に転送され、出力部29により電圧として出力される。
【0005】
PD22及びCCD23は、図4(b)の断面図に示すように、例えば、p型の半導体領域21に形成され、それぞれ所定の不純物濃度、拡散層深さを有するn型拡散層であり、半導体領域21の上方には、絶縁膜24(ここでは、ゲート絶縁膜及び層間絶縁膜を一括して絶縁膜として示している)を介して読み出しゲート電極25、電荷転送ゲート電極26が設けられ、PD22に隣接するCCD23では、読み出しゲート電極25及び電荷転送ゲート電極26が短絡されることを示している。
【0006】
また、PD22内で蓄積した信号電荷をCCD23に読み出すときの電子ポテンシャル図は、図4(c)のようになる。
【0007】
PD22において一定時間蓄積した信号電荷(電子)をCCD23へ読み出して転送する動作が行われる際、PD22に読み出し残りとして残った残留電荷(電子)が、次のラインの画像取り込み時の残像ノイズとして問題となるため、リニアセンサを読み出し残りが発生しない構成とすることが重要な要素の一つとなっている。
【0008】
このような残像ノイズの低減対策として、エリアセンサの中には電子シャッタと称して、PD部に残留する残留電荷をPD下方の半導体基板側に、半導体基板に15〜30V程度の電圧を印加することにより引き抜く技術が採用されているが、リニアセンサにおいては、1フィールド画像当たりのPDからCCDへの転送間隔が短いため、信号電荷蓄積前のPDにおける残留電荷の排出が殆ど考慮されていない現状である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、PDの信号電荷を読み出してからCCDを通って信号電荷を転送した後のPD内での電子の残り(以後、残像とも称する)は、従来大きな問題として顕在化しなかったが、リニアセンサの高解像度化に伴い、PDの微細化によって蓄積電子量の低下(信号量の低下)となり、残像不良が顕在化し、特性の劣化(S/N比の劣化)を引き起こしている。
【0010】
本発明の主な目的の1つは PDの信号電荷の読み出し、転送後に発生する残留電荷を少なくすることで、S/N比の大きい(良い)画像情報を実現できるリニアセンサ及びその駆動方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかるリニアセンサの駆動方法は、半導体基板内に一列に並んだフォトダイオードとそれに対応して一列に配置された電荷転送チャネルと、フォトダイオードと電荷転送チャネルとの間に位置し、半導体基板上の読み出しゲート絶縁膜を介して設けられた読み出しゲート電極と、電荷転送チャネル上に電荷転送ゲート絶縁膜を介して位置し、隣接する読み出しゲート電極と同電位に接続された電荷転送電極とを有し、電荷転送チャネルと電荷排出層との間の半導体基板上には、電荷排出ゲート絶縁膜を介して電荷排出ゲート電極が設けられたリニアセンサの駆動方法であって、フォトダイオードに光を照射してフォトダイオード内に信号電荷を蓄積した後、読み出しゲート電極に読み出し信号を印加することにより信号電荷をフォトダイオードから電荷転送チャネルに読み出し、その後、信号電荷を電荷転送チャネル上の電荷転送ゲート絶縁膜を介した電荷転送電極により電荷転送チャネル内を一列の方向に出力部に向かって転送し、転送されてきた信号電荷による信号を出力部に出力し、信号電荷を出力部に向かって転送した後に、読み出しゲート及び電荷排出ゲートを共に同時にオン状態にすると共に、電荷排出ゲート電極に印加する排出電圧を読み出しゲート電極に印加する読出電圧よりも大きくしてフォトダイオード内に残った残留電荷を排出し、残留電荷を電荷排出層に排出した後、読出電圧をオフすると同時にフォトダイオード内で信号電荷の蓄積を開始し、その後、排出電圧をオフし、その後、所定の時間フォトダイオード内での信号電荷の蓄積を継続することを特徴とする。
【0012】
また、本発明にかかるリニアセンサの駆動方法は、残留電荷の電荷排出層への排出が、電子ポテンシャル分布をフォトダイオードから電荷排出層に向かうに従って低くなるようにすることにより行われることが好ましい。
【0013】
本発明にかかるリニアセンサは、半導体基板内に一列に並んだフォトダイオードとそれに対応して一列に配置された電荷転送チャネルと、フォトダイオードと電荷転送チャネルとの間に位置し、半導体基板上の読み出しゲート絶縁膜を介して設けられた読み出しゲート電極と、電荷転送チャネルの横に、電荷転送チャネルに対してフォトダイオードの反対側の半導体基板内に設けられた電荷排出層と、電荷転送チャネル上に電荷転送ゲート絶縁膜を介して位置し、隣接する読み出しゲート電極と同電位に接続された電荷転送電極とを有し、電荷転送チャネルと電荷排出層との間の半導体基板上には、電荷排出ゲート絶縁膜を介して電荷排出ゲート電極が設けられたリニアセンサであって、リニアセンサは、フォトダイオードに光を照射してフォトダイオード内に信号電荷を蓄積した後、読み出しゲート電極に読み出し信号を印加することにより信号電荷をフォトダイオードから電荷転送チャネルに読み出し、その後、信号電荷を電荷転送電極により電荷転送チャネル内を一列の方向に出力部に向かって転送し、転送されてきた信号電荷による信号を出力部に出力し、信号電荷を出力部に向かって転送した後に、読み出しゲート及び電荷排出ゲートを共に同時にオン状態にすると共に、電荷排出ゲート電極に印加する排出電圧を読み出しゲート電極に印加する読出電圧よりも大きくしてフォトダイオード内に残った残留電荷を排出し、残留電荷を電荷排出層に排出した後、読出電圧をオフすると同時にフォトダイオード内で信号電荷の蓄積を開始し、その後、排出電圧をオフし、その後、所定の時間フォトダイオード内での信号電荷の蓄積を継続することを特徴とする。
【0014】
また、本発明にかかるリニアセンサは、フォトダイオード内に残った残留電荷を、電子ポテンシャル分布をフォトダイオードから電荷排出層に向かうに従って低くなるようにすることにより電荷排出層に排出することを特徴とすることが望ましい。また、電荷排出層の上には排出電荷転送ゲート絶縁膜を介して排出電荷転送ゲート電極が設けられ、電荷排出ゲート電極及びそれに隣接する排出電荷転送ゲート電極が同電位に接続されることが望ましい。
【0015】
さらに、本発明にかかるリニアセンサは、電荷転送チャネル及び電荷排出層、電荷転送ゲート絶縁膜及び排出電荷転送ゲート絶縁膜、読み出しゲート絶縁膜及び電荷排出ゲート絶縁膜は、それぞれ同時に形成される拡散層、転送ゲート絶縁膜、ゲート絶縁膜であることが望ましい。
【0016】
またさらに、電荷転送チャネル及び電荷排出層が、互いに異なる拡散層であり、電荷転送ゲート絶縁膜及び排出電荷転送ゲート絶縁膜、読み出しゲート絶縁膜及び電荷排出ゲート絶縁膜は、それぞれ同時に形成される転送ゲート絶縁膜、ゲート絶縁膜であることが望ましい。
【0017】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態について図1〜3を参照して説明する。図1(a)はリニアセンサの平面模式図であり、図1(b)は、平面模式図の切断線A−A’における1画素分の模式断面図、図2は、図1(b)の断面図に対応した各拡散層の信号電荷読み出し前及び読み出し時の電子ポテンシャル、図3は、信号電荷読み出し動作を説明する信号タイミングチャートである。
【0018】
図1(a)において、B、G、RはそれぞれPD2を示し、PD2の一列全部がそれらの光の入射側にそれぞれBlue、Green、Redの着色層を有していることを示している。
【0019】
本発明の実施形態によるリニアセンサは、従来のリニアセンサのセル構造が図4(b)に示すように、PDとCCD及びその間の電荷転送ゲート電極で構成しているのに対して、残像電荷除去回路またはノイズ情報取得回路用として図1に示すように、CCD3の外側にPD2の残像電子を低減する、または、残像電子を情報として取り込むためのCCD13(n型拡散層)を有し、PD2の残留電荷をCCD13に排出するための電荷排出ゲート電極7、CCD13に排出されてきたPD2の残留電荷の転送を制御する排出電荷転送ゲート電極8を有するのが特徴である。
【0020】
ここで、CCD13をCCD3と同時に形成すれば製造工程短縮の面で有利であるが、CCD13をCCD3とは別の工程で形成して、CCD3とは不純物濃度及び拡散層深さの異なる拡散層としても良い。
【0021】
また、本実施形態の他の部分は、従来例と同じであり、図1(b)の断面図に示すように、例えば、PD2及びCCD3は、p型の半導体領域1に形成され、それぞれ所定の不純物濃度、拡散層深さを有するn型拡散層であり、半導体領域1の上方には、絶縁膜4(ここでは、ゲート絶縁膜及び層間絶縁膜を一括して絶縁膜として示している)を介して読み出しゲート電極5、電荷転送ゲート電極6が設けられ、PD2に隣接するCCD3では、読み出しゲート電極5及び電荷転送ゲート電極6が短絡される構成となっている。
【0022】
ここで、PD2の残留電荷のCCD13への排出時には、図2のように、読み出しゲート電極5及び電荷転送ゲート電極6、電荷排出ゲート電極7及び排出電荷転送ゲート電極8に印加される信号電圧は、PD2の片側に隣接して続く2つのCCD3及びCCD13のポテンシャルが電子に対して階段状に深くなるように制御される。
【0023】
リニアセンサをこのような半導体構造とし、駆動することにより、図2(b)の残留電荷排出モードを実現し、この後、読み出しゲート電極5のみをオフすると同時にPD2内の信号電荷の蓄積を開始し、その後電荷排出ゲート電極7もオフし、その後所定の時間経過後に再度読み出しゲート電極5のみをオンすることにより、図2(c)に示すように、PD2に蓄積した信号電荷をCCD3に読み出す。この後は、CCD3に読み出された信号電荷の転送期間に入り、転送期間終了後に再び残留電荷排出モードに戻る。
【0024】
リニアセンサを残留電荷排出モードからPD2に蓄積した信号電荷をCCD3に読み出すまでのサイクルを高速に切り変えることができる構成及び構造とすることで、PD2での余分な(残像)情報の除去を完全に実施する機能をリニアセンサに持たせることを可能とした。
【0025】
図3は、上記の残留電荷排出モードからPD2に蓄積した信号電荷をCCD3に読み出すまでのサイクルを、読み出しゲート電極5及び電荷転送ゲート電極6、電荷排出ゲート電極7及び排出電荷転送ゲート電極8にそれぞれ印加される信号電圧φ1、φsのタイミングチャートである。電荷転送電極の電荷転送チャネル方向への転送信号は省略している。
【0026】
まず、t1において読み出しゲート電極5(及び電荷転送ゲート電極6)と電荷排出ゲート電極7(及び排出電荷転送ゲート電極8)に同時に信号v1、v2を印加し(v1<v2)、PD2からCCD3に到る電子ポテンシャル分布を図2(a)のようにして、PD2の残留電荷を全てCCD3に排出する。
【0027】
次に、t2において読み出しゲート電極5のみをオフし、読み出しチャネルの電子ポテンシャルを高くし、PD2において信号電荷の蓄積を開始する。
【0028】
次に、t3において電荷排出ゲート電極7もオフし、PD2、CCD3、CCD13は互いに電子ポテンシャルにより電荷的に遮断される。
【0029】
この後、t4において再度読み出しゲート電極5に信号v1を印加して、t2〜t4までの間にPD2に蓄積した信号電荷をCCD3に読み出す。
【0030】
続いて、読み出された信号電荷は、t5で読み出しゲート電極5をオフした後、図示しない電荷転送電極に転送信号を印加することにより他のCCD3内に移され、CCDの配列方向に出力部9に向かって転送される。全てのPDの信号電荷が出力部に転送され終わったt6において、再びt1〜t5〜のサイクルを繰り返し、被撮像体の被撮像部を1ラインシフトさせて、隣接するラインの画像情報を取り込む。
【0031】
以上のように、従来のCCD3の横にCCD13を設け、PD2における信号電荷の蓄積前に、PD2からCCD13に到る電子ポテンシャルがCCD13に向かって下がる形状とし、PD2内に残留する電荷をCCD13に引き抜いておく。従って、PD2内での信号電荷の蓄積時にはノイズとしての残留電荷が混入しないこととなり、光量に正確に対応した画像信号を再生することができる。
【0032】
また、本発明のリニアセンサ構造は、従来のCCDの横に新たに電荷排出用CCDを並べて加える形となっており、電荷排出用CCD用の電荷排出ゲート電極を形成することで従来のCCD構造と同一となることから、製造が容易であり、エリアセンサにおいて用いられるVOD(縦型オーバーフロードレイン)に比して低電圧での残留電荷排出動作が可能となる。
【0033】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明のリニアセンサ及びその駆動方法においては、従来のCCDの横に電荷排出用のCCDを新たに設け、PDにおける信号電荷の蓄積前に、PDから電荷排出用CCDに到る電子ポテンシャルが電荷排出用CCDに向かって単調に下がる形状とし、PD内に残留する電荷を電荷排出用CCDに引き抜いておく。従って、PD内での信号電荷の蓄積時にはノイズとしての残留電荷が混入しないこととなり、光量に正確に対応した画像信号を再生することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態のリニアセンサの模式平面図及び模式断面図である。
【図2】本発明の実施形態のリニアセンサの信号電荷読み出し前後の電子ポテンシャル図である。
【図3】本発明の実施形態のリニアセンサの信号電荷読み出しを中心とする信号電圧タイミングチャートである。
【図4】従来のリニアセンサの模式平面図、模式断面図及び信号電荷読み出し時の電子ポテンシャル図である。
【符号の説明】
1、21 半導体領域
2、22 フォトダイオード(PD)
3、13、23 電荷転送チャネル(CCD)
4、24 絶縁膜
5、25 読み出しゲート電極
6、26 電荷転送ゲート電極
7 電荷排出用ゲート電極
8 排出電荷転送ゲート電極
9、29 出力部
Claims (7)
- 半導体基板内に一列に並んだフォトダイオードとそれに対応して一列に配置された電荷転送チャネルと、
前記フォトダイオードと前記電荷転送チャネルとの間に位置し、前記半導体基板上の読み出しゲート絶縁膜を介して設けられた読み出しゲート電極と、
前記電荷転送チャネルの横に、前記電荷転送チャネルに対して前記フォトダイオードの反対側の半導体基板内に設けられた電荷排出層と、
前記電荷転送チャネル上に電荷転送ゲート絶縁膜を介して位置し、隣接する前記読み出しゲート電極と同電位に接続された電荷転送電極とを有し、
前記電荷転送チャネルと前記電荷排出層との間の半導体基板上には、電荷排出ゲート絶縁膜を介して電荷排出ゲート電極が設けられたリニアセンサの駆動方法であって、
前記フォトダイオードに光を照射して前記フォトダイオード内に信号電荷を蓄積した後、
前記読み出しゲート電極に読み出し信号を印加することにより前記信号電荷を前記フォトダイオードから前記電荷転送チャネルに読み出し、その後、
前記信号電荷を前記電荷転送電極により前記電荷転送チャネル内を前記一列の方向に出力部に向かって転送し、
転送されてきた前記信号電荷による信号を前記出力部に出力し、
前記信号電荷を前記出力部に向かって転送した後に、読み出しゲート及び電荷排出ゲートを共に同時にオン状態にすると共に、前記電荷排出ゲート電極に印加する排出電圧を前記読み出しゲート電極に印加する読出電圧よりも大きくして前記フォトダイオード内に残った残留電荷を排出し、
前記残留電荷を前記電荷排出層に排出した後、前記読出電圧をオフすると同時に前記フォトダイオード内で信号電荷の蓄積を開始し、その後、
前記排出電圧をオフし、その後、
所定の時間前記フォトダイオード内での信号電荷の蓄積を継続することを特徴とするリニアセンサの駆動方法。 - 前記残留電荷の前記電荷排出層への排出が、電子ポテンシャル分布を前記フォトダイオードから前記電荷排出層に向かうに従って低くなるようにすることにより行われる請求項1記載のリニアセンサの駆動方法。
- 半導体基板内に一列に並んだフォトダイオードとそれに対応して一列に配置された電荷転送チャネルと、
前記フォトダイオードと前記電荷転送チャネルとの間に位置し、前記半導体基板上の読み出しゲート絶縁膜を介して設けられた読み出しゲート電極と、
前記電荷転送チャネルの横に、前記電荷転送チャネルに対して前記フォトダイオードの反対側の半導体基板内に設けられた電荷排出層と、
前記電荷転送チャネル上に電荷転送ゲート絶縁膜を介して位置し、隣接する前記読み出しゲート電極と同電位に接続された電荷転送電極とを有し、
前記電荷転送チャネルと前記電荷排出層との間の半導体基板上には、電荷排出ゲート絶縁膜を介して電荷排出ゲート電極が設けられたリニアセンサであって、前記リニアセンサは、
前記フォトダイオードに光を照射して前記フォトダイオード内に信号電荷を蓄積した後、
前記読み出しゲート電極に読み出し信号を印加することにより前記信号電荷を前記フォトダイオードから前記電荷転送チャネルに読み出し、その後、
前記信号電荷を前記電荷転送電極により前記電荷転送チャネル内を前記一列の方向に出力部に向かって転送し、
転送されてきた前記信号電荷による信号を前記出力部に出力し、
前記信号電荷を前記出力部に向かって転送した後に、読み出しゲート及び電荷排出ゲートを共に同時にオン状態にすると共に、前記電荷排出ゲート電極に印加する排出電圧を前記読み出しゲート電極に印加する読出電圧よりも大きくして前記フォトダイオード内に残った残留電荷を排出し、
前記残留電荷を前記電荷排出層に排出した後、前記読出電圧をオフすると同時に前記フォトダイオード内で信号電荷の蓄積を開始し、その後、
前記排出電圧をオフし、その後、
所定の時間前記フォトダイオード内での信号電荷の蓄積を継続することを特徴とするリニアセンサ。 - 前記フォトダイオード内に残った残留電荷を、電子ポテンシャル分布を前記フォトダイオードから前記電荷排出層に向かうに従って低くなるようにすることにより前記電荷排出層に排出することを特徴とする請求項3記載のリニアセンサ。
- 前記電荷排出層の上には排出電荷転送ゲート絶縁膜を介して排出電荷転送ゲート電極が設けられ、前記電荷排出ゲート電極及びそれに隣接する排出電荷転送ゲート電極が同電位に接続される請求項3又は4記載のリニアセンサ。
- 前記電荷転送チャネル及び前記電荷排出層、前記電荷転送ゲート絶縁膜及び前記排出電荷転送ゲート絶縁膜、前記読み出しゲート絶縁膜及び前記電荷排出ゲート絶縁膜は、それぞれ同時に形成される拡散層、転送ゲート絶縁膜、ゲート絶縁膜である請求項3乃至5記載のリニアセンサ。
- 前記電荷転送チャネル及び前記電荷排出層は、互いに異なる拡散層であり、前記電荷転送ゲート絶縁膜及び前記排出電荷転送ゲート絶縁膜、前記読み出しゲート絶縁膜及び前記電荷排出ゲート絶縁膜は、それぞれ同時に形成される転送ゲート絶縁膜、ゲート絶縁膜である請求項3乃至5記載のリニアセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000295898A JP4593751B2 (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | リニアセンサ及びその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000295898A JP4593751B2 (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | リニアセンサ及びその駆動方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002110958A JP2002110958A (ja) | 2002-04-12 |
JP4593751B2 true JP4593751B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=18778252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000295898A Expired - Fee Related JP4593751B2 (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | リニアセンサ及びその駆動方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4593751B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7488782B2 (ja) | 2021-03-03 | 2024-05-22 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | フォトダイオード |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60120555A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-28 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
JPH01241161A (ja) * | 1988-03-23 | 1989-09-26 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
JPH06339081A (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-06 | Sony Corp | 固体撮像素子の駆動方法 |
JPH09307816A (ja) * | 1996-01-18 | 1997-11-28 | Lg Semicon Co Ltd | Ccd |
-
2000
- 2000-09-28 JP JP2000295898A patent/JP4593751B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60120555A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-28 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
JPH01241161A (ja) * | 1988-03-23 | 1989-09-26 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
JPH06339081A (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-06 | Sony Corp | 固体撮像素子の駆動方法 |
JPH09307816A (ja) * | 1996-01-18 | 1997-11-28 | Lg Semicon Co Ltd | Ccd |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002110958A (ja) | 2002-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8530945B2 (en) | Solid-state image pickup element, method of manufacturing the same, and electronic apparatus | |
US8896737B2 (en) | Imaging apparatus with element that selectively transfers charge accumulated in first semiconductor region of accumulating element to floating diffusion region and method | |
JP5167799B2 (ja) | 固体撮像装置およびカメラ | |
KR100262287B1 (ko) | 증폭형고체촬상장치 | |
JP4397105B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
US8120682B2 (en) | Solid-state image pickup device and method of resetting the same | |
US20110025896A1 (en) | Driving method for solid-state imaging apparatus, and imaging system | |
JP3554224B2 (ja) | 光電変換装置 | |
US8355067B2 (en) | Solid state imaging device and imaging apparatus | |
JP4774311B2 (ja) | 固体撮像素子及びその駆動方法並びに撮像装置 | |
JP2525781B2 (ja) | 固体撮像装置の駆動方法 | |
JP2011004370A (ja) | 固体撮像装置およびカメラ | |
JP2010182887A (ja) | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、固体撮像装置の駆動方法、電子機器 | |
US4688098A (en) | Solid state image sensor with means for removing excess photocharges | |
JP2000201300A (ja) | 固体撮像装置、画像入力装置及び固体撮像装置のリセット方法 | |
JP3317248B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP4593751B2 (ja) | リニアセンサ及びその駆動方法 | |
JP2006210680A (ja) | 固体撮像素子 | |
JPH09307094A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2002151673A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2007201092A (ja) | 固体撮像素子及びその駆動方法 | |
JPH0150156B2 (ja) | ||
JPH06339081A (ja) | 固体撮像素子の駆動方法 | |
JP2001177769A (ja) | 固体撮像素子の駆動方法 | |
JPH06291294A (ja) | 固体撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050516 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20070703 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070717 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100421 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100816 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100907 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100916 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130924 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |