JP2002315358A - インバータ装置 - Google Patents
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Abstract
がない接続構造でパワー素子と冷媒間の熱抵抗を低減
し、小形で高い効率のインバータ装置を実現する。 【解決手段】本発明のインバータ装置は、絶縁基板の裏
面電極板が絶縁基板より大きく、裏面電極板周辺がケー
スに接合され、冷媒の流路を絶縁基板の直下に設けた。
また、絶縁基板の表面電極板は0.5mm 以上の厚さを有
するかあるいは、ヒートパイプで構成し、裏面電極板に
3mm以下のピッチの凹凸を設け、裏面電極板とケースの
接合は、半田あるいは接着剤あるいは機械的固定あるい
はこれらを複合した。
Description
り、特に効率的なパワー素子の冷却を実現するインバー
タ構造に関する。
るためパワー半導体素子に通電し安定な動作を確保する
ためには冷却機構を設けることが必要である。すなわち
IGBTやパワーMOS等のパワー半導体素子からなるイン
バータ装置においては、素子の安定動作を確保するため
半導体素子の動作時の温度が所定の限界動作温度を越え
ないように空冷ないし冷媒を用いた液冷、あるいは、沸
騰冷却などといった冷却機構が備えられている。近年、
インバータ装置の小型化,高効率化への要求から素子の
電流密度は増加傾向にあり、これに伴って素子の発熱密
度は増加してきているため、素子の温度上昇を抑えるた
め冷却機構の高効率化が求められてきている。特に、ハ
イブリッド電気自動車(HEV)や燃料電池車(FCE
V)等の自動車用電気駆動系に適用されるインバータ装
置においては、設置面積や重量の制限のため小型で高効
率の冷却構造への要求は高い。
に示す冷却構造が開示されている。図11では、IGB
T等のパワー半導体素子1501が絶縁基板1502上
に半田等で接合されており、さらにベース金属板150
3に半田接合されたパワー半導体モジュール1510が
熱伝導性グリース1504を介して冷却部1505に取
り付けられている。絶縁基板は窒化アルミニウム(Al
N)やアルミナ(Al2O3)等のセラミック基板に電極用
金属薄板が接合されている。このようなパワー回路部モ
ジュール1510にコンデンサ1508,制御回路基板
1507等が接続され、冷却部1505と一体をなすケ
ース1509に搭載されてインバータ装置を構成する。
冷却部1505には、冷却水1506の流路が形成され
ている。冷却水は循環水冷系のポンプを用いて外部放熱
部と循環している。パワー半導体素子1501で発生し
た熱は、絶縁基板1502,ベース金属板1503,冷
却部1505などへ熱伝導し、流路の熱伝達表面で冷却
水1506に熱伝導し、ポンプで冷却水が外部放熱部に
移動した後、温度上昇した冷却水と外気が熱交換して外
部に排出される。
57号公報に絶縁基板裏面を直接冷却する構造が開示さ
れている。この構造においては、IGBT等のパワー半
導体素子1601が絶縁基板1602上に半田等で接合
されており、絶縁基板1602が延在した部分をボルトなど
の締付手段1612で封止部材1611と共にケース1
609に取り付けている。絶縁基板は窒化アルミニウム
(AlN)やアルミナ(Al2O3)等のセラミック基板
1610に電極用金属薄板1603,1604が接合し
たものである。絶縁基板1602の裏面はケース160
9に設けられた流路を通る冷却水1606で冷却され
る。
発熱部であるパワー半導体素子1501と冷却水1506の
間にいくつもの層が介在しているため十分な冷却能力が
得られず、素子の電流密度を増加し小型化することには
限界がある。また、前記図12の構造では大型の絶縁基
板を取り付けボルトで締めつけるため、絶縁基板の割れ
が生じやすく、取り付け占有面積も大きい問題がある。
バータを小型化しても半導体素子の温度上昇を効果的に
抑制できる小形高効率インバータ構造を実現するため
に、小型で簡易な方法でパワー素子と冷媒間の熱抵抗を
低減する構造を提供することである。また、本発明の目
的は、防水性を確保しつつ絶縁基板の割れなどの恐れの
ない接続構造で熱抵抗を低減する構造を提供し、パワー
素子の絶縁基板を小型化し組み立ての容易な構造を提供
することである。
は、絶縁基板の冷却冷媒側の電極板は絶縁基板より大き
く、冷却冷媒側の電極板周辺がケースに接合され、冷却
冷媒の流路を絶縁基板の直下に設け、絶縁基板のパワー
素子側の電極板は0.5mm 以上の厚さであって、絶縁基
板の冷却冷媒側の電極板は3mm以下のピッチの凹凸を設
けた。
ワー素子側の電極板がヒートパイプで構成されていて、
絶縁基板の冷却冷媒側の電極板は絶縁基板より大きく、
ケース部分に全面が接合され、前記ケース部分は冷却冷
媒で冷却されている。本発明のインバータ装置は、絶縁
基板が全面接合するケース部分がヒートパイプからなる
構造である。
却冷媒側の電極板は絶縁基板より大きく、絶縁基板と冷
却冷媒の流路が形成されたケースの周辺部の接合は、半
田あるいは接着剤あるいは機械的固定あるいはこれらの
複合された接合構造である。
却冷媒側の電極板は絶縁基板より大きく、絶縁基板と冷
却冷媒の流路が形成されたケース周辺部の接合部の電極
板は折り曲げられた構造であり、冷却冷媒側の電極板の
表面側がケースに接合され、裏面側が冷却冷媒の流路を
構成する他のケース部材に接合されていて、パワー素子
の封止はトランスファーモールド構造であって、冷却冷
媒に絶縁基板の裏面電極板が接している。
流路を絶縁基板の直下に設けたことにより、発熱部であ
るパワー半導体素子と冷却冷媒の間は絶縁基板と薄い電
極金属板のみとなるため熱抵抗が大幅に低減される。ま
た、本発明のインバータ装置は、絶縁基板の冷却冷媒側
の電極板が絶縁基板より大きいため組み立てあるいは実
使用による割れやクラックを防止できる。特に、ケース
との接合部に絶縁基板がないため接合作業が容易であ
る。
ワー素子側の電極板厚さが0.5mm以上であるので、発
熱部のパワー半導体素子の熱を効果的に横方向に広げる
ことができ、伝熱面積が拡がり熱抵抗が低減する。ま
た、絶縁基板の冷却冷媒側の電極板は3mm以下のピッチ
の凹凸があるので、冷却冷媒に乱流が生じやすくなり、
熱抵抗が低減する。
ワー素子側の電極板がヒートパイプなので、発熱部のパ
ワー半導体素子の熱を効果的に横方向に広げることがで
き、伝熱面積が拡がり熱抵抗が低減する。また、絶縁基
板の冷却冷媒側の電極板は絶縁基板より大きく、ケース
部分に全面が接合され、前記ケース部分は冷却冷媒で冷
却されているので、防水性を確保しつつ熱抵抗が低減す
る。
面接合するケース部分がヒートパイプからなるので、防
水性を確保しつつ熱抵抗がさらに低減する。また、絶縁
基板の冷却冷媒側の電極板は絶縁基板より大きく、絶縁
基板の裏面電極板周辺部と冷却冷媒の流路が形成された
ケースの接合は、半田あるいは接着剤あるいは機械的固
定あるいはこれらの複合された接合構造であるので、小
さい面積で防水性を確保した接合ができる。
て説明する。 (実施例1)図1に本実施例のインバータ装置の断面図
を示す。図1に示すようにIGBT等のパワー半導体素
子101が絶縁電極基板120上に半田等で接合してい
る。絶縁電極基板120は例えば窒化アルミニウム(A
lN)やアルミナ(Al2O3)あるいは窒化珪素(Si
N)等のセラミック絶縁基板110に電極用金属薄板が
接合されたものである。絶縁電極基板120表面には電
極用の薄膜金属板103が接合されており、裏面には薄
膜金属板121が接合されている。パワー半導体素子1
01表面のエミッタないしゲート電極はアルミニウムワ
イヤ210で薄膜金属板103に接続している。これら
素子側の部分は接続端子109,115が接合された
後、例えば樹脂材料111としてパワー半導体素子10
1付近はシリコーンゲルで封止し、その周りはPPSま
たはPBT等の樹脂製ケース材で構成している。あるい
は樹脂材料111はトランスファーモールド構造であ
る。なお、図1では説明の都合上、パワー半導体素子は
1個であるが、通常は複数個配置されている。接続端子
109は主端子であってコンデンサ117ないしは負荷
等に接続され外部にあるモータに接続され、接続端子1
15は制御端子であって制御回路基板116に接続さ
れ、コネクタ118から外部信号を入力してインバータ
動作を行う。インバータ装置全体はケース105内に収
納されていて、図13に示すインバータ回路を構成す
る。なお、図13では制御回路や電流センサなどの構成
部品は省略している。
パワー素子の平面レイアウト図である。図13の回路構
成では1相分パワー回路301に相当するもので、例え
ばパワー素子としてIGBT101,302とフリーホ
イールダイオード素子195,303が各1個で1アー
ム分であり、P側配線304に接続される端子接続部1
91,N側配線305に接続される端子接続部193,
モータが接続している負荷配線306に接続される端子
接続部192などが配置されている。
ダイキャスト等からなるインバータ装置のケース105
に半田あるいは接着剤あるいは機械的固定あるいはこれ
らの複合された接合構造により接合され、絶縁電極基板
120裏面には冷却用の冷媒106がある構造であっ
て、裏面薄膜金属板121が絶縁基板110より大きい
ものであり、裏面薄膜金属板121周辺のみがアルミダ
イキャストケース105と接続部材107を用いて接続
される。
極基板120とは裏面薄膜金属板121周辺が接続され
ている。アルミダイキャストには例えば3〜14%Si
含有Al合金あるいは、Zn含有Al合金が適用でき
る。接続部材107の半田には、低融点の共晶半田ある
いはBi系のPbフリー半田が適用できる。この部分の
半田には高い熱伝導性を必要としないため半田厚さを例
えば0.2mm 以上にして半田への熱応力を軽減する。ま
た、半田を接合部材として用いることにより裏面薄膜金
属板121とアルミダイキャストケース105が電気的
に接続されるため電磁シールド性が向上する。
えばエポキシ樹脂系接着剤,ポリウレタン系接着剤,シ
リコーンゴム系接着剤が適用できる。エポキシ樹脂系接
着剤としては例えばウレタン変性エポキシ樹脂を含有す
る2液性接着剤(例えば(株)横浜ゴム製)、あるい
は、油面接着性を有する1液性接着剤(例えば宇部興産
(株)製)があり、ポリウレタン系接着剤としては例え
ば1成分型弾性接着剤(例えばシーカ製)がある。接続
部材107が接着剤の場合、半田接続の場合のような高
温のプロセスを必要としないため製作が容易である。
替フロンあるいは空気などであって、適宜設定された流
速で流路を流れている。不凍液の場合には例えばエチレ
ングリコール系不凍液(商品名LLC、デンソー(株)
製)が適用できる。裏面薄膜金属板121の表面は冷媒
による腐食を防止するためNiP,NiBなどのNiメ
ッキ等の処理が施される。また、流路のアルミダイキャ
ストの表面は例えばニッケルクロムメッキを施して耐食
性を向上させる方が好ましい。冷媒106は別途設けら
れたポンプで循環され、ラジエータで冷却された後イン
バータ部分に再度循環されるため温度は一定値以下に保
たれる。
パワー半導体素子101と冷媒106との間には絶縁電極
基板120とパワー素子を接合する半田しかないため熱
抵抗が極めて小さい。従ってパワー半導体素子101の
電流密度を増加して発熱密度が増加しても最大動作温度
を越えることがなく安定に動作できるため、パワー素子
を小型化でき、インバータ装置が小型になる。
続のため裏面薄膜金属板121とアルミダイキャストケ
ース105との接続を行いやすく、作業性が向上し、防
水性を確保しやすい。また、絶縁基板110が比較的小
さく、また、絶縁基板110の下部に接続部材107が
ないため組み立てあるいは実使用による絶縁基板110の
割れやクラックを防止できる。また、パワー半導体素子
101の発生する熱は、表面薄膜金属板103,絶縁基
板110,裏面薄膜金属板121である程度拡がりつつ
裏面薄膜金属板121表面で冷媒106に伝達されるた
め冷媒106の流路を形成しているアルミダイキャスト
ケース105の温度上昇はさほど大きなものではない。
従って接続部材107に加わる熱応力は低減される。
バータのパワー回路部分を示す。絶縁電極基板の表面薄
膜金属板161はCuあるいはAlあるいはCuMo,
CuW等の複合材料あるいはCu,Wの積層材料から構
成されるが、その厚さd1は0.5mm 以上であり、望ま
しくは0.5mm 以上2mm以下である。これによってパワ
ー半導体素子101で発生する熱が表面薄膜金属板16
1で十分に広がり、熱抵抗が低減する。表面薄膜金属板
161のパターン周辺端部は厚さを薄くするかあるいは
凹凸を形成してあるので、ヒートサイクル時の絶縁基板
のクラックや割れは起こりにくい。また、絶縁基板はA
lNなど適宜選択されるが、特にSiNは機械強度に優
れているため表面薄膜金属板161が厚くなっても絶縁
基板のクラックや割れが起こりにくく好ましい。絶縁基
板のそり及び割れを避けるために実質的に表面薄膜金属
板161が厚くなるのに対応して裏面薄膜金属板121
も厚くするので、この部分で熱が広がり、熱抵抗が低減
する。なお、図3(b)は絶縁電極基板単体の構造を示
す。
で表面薄膜金属板は実質的に内側金属板801,接合材
802,外側金属板803の3層からなっており、これ
らの合計の厚さが0.5mm 以上である。なお、図示して
いないが内側金属板801は直接接合あるいはロー材な
どの公知の接合手段で絶縁基板110に接合されてよ
く、メタライズ層として形成されていてもよい。通常は
内側金属板801は0.1mm 以下と薄くこのためパターン
端部での絶縁基板への応力を緩和できる。特に、はみ出
部804を設けると応力緩和効果が大きい。接合材80
2は直接接合,ロー材あるいは半田などを用いる。外側
金属板803は合計厚さを確保するため、例えば0.4m
m 以上にする。このような構造とすることにより絶縁基
板への過大な応力を緩和し信頼性が確保できる。図3
(d)は裏面薄膜金属板についても内側金属板807,
接合材805,外側金属板806の3層として表面薄膜
金属板との応力バランスをとり信頼性を確保した。図3
(d)では外側金属板806が絶縁基板より大きい。
本実施例では裏面薄膜金属板140に凹凸141を設け
た。凹凸141の高さ,幅,間隔等の寸法Lは3mm以下
である。このような凹凸141は冷媒の流動方向に水平
あるいは垂直の縞状、あるいは、ピン状の突起、あるい
は、円形の穴の繰り返しなど所望の形状及び配列に設定
する。このような凹凸で冷媒との熱伝達境界面積が増加
するため熱伝達率が向上し熱抵抗がさらに低減する。ま
た、このような凹凸の寸法Lを例えば1mm以下にすれ
ば、金属板のプレス成形などで凹凸を容易に形成でき
る。なお、図4(b)は絶縁電極基板単体の構造を示
す。
施例では表面薄膜金属板169はヒートパイプで構成さ
れている。ヒートパイプは内部に熱媒体が移動する経路
があり、図5(b)に示すように本実施例ではこの経路1
46は絶縁基板110に平行な方向である。表面薄膜金
属板169がヒートパイプのため、パワー半導体素子1
01で発生する熱はヒートパイプ内部の熱媒体によって
横方向に移動する。このため熱抵抗が低減する。ヒート
パイプはAlあるいはCuなどの材質で構成され、公知
の蛇行細管などでもよい。絶縁基板110と表面薄膜金
属板169であるヒートパイプとの接合にロー材を用い
て絶縁電極基板129を構成してもよい。あるいは、絶
縁基板110を樹脂で構成し、ヒートパイプと樹脂を熱
圧着などの方法で接着してもよい。この場合の樹脂は例
えばシリコーン系の樹脂材料である。本実施例ではヒー
トパイプの熱輸送能力によって横方向への熱広がりが大
きいため表面薄膜金属板169の横方向の寸法を大きく
して熱抵抗を低減できる。さらに、裏面薄膜金属板12
1をヒートパイプにする構成でも同様な効果が得られ
る。
す。本実施例では絶縁電極基板120は全面がアルミダ
イキャストケース151に接合されている。接合には半
田152を用いる。アルミダイキャストケース151に
は下側に蓋153を設けて冷媒106が流れる流路を形
成する。絶縁電極基板120と接合しているアルミダイ
キャストケース接合部155の厚さd2は例えば0.5m
m 以下の厚さにして熱抵抗を低減する。
に通じる接合部分がないため、防水性が高い。また、図
6(b)に示すようにアルミダイキャストケースにフィ
ン196を設けると熱抵抗がさらに低減する。
施例では絶縁電極基板120はアルミダイキャストケー
スに接合されているがケースの接合部162がヒートパ
イプで構成されている。下側には蓋153を設けて冷媒
106が流れる流路が形成されている。ケースがヒート
パイプで構成されているため横方向に熱が広がり熱抵抗
が低減できる。本実施例ではケース接合部162の横方
向の寸法を自由に拡大できるため放熱効果がさらに増加
する。
部分周辺を示す。図8(a)では裏面薄膜金属板121
周辺は封止する樹脂材料111からはみ出ており、曲部
142が設けられ、半田あるいは接着剤等の接続材料で
接続部143でケース105に接続している。裏面薄膜
金属板121周辺は封止する樹脂材料111からはみ出
ているため接続部143の接続作業が容易である。ま
た、本実施例では曲部142が設けられているため冷却
冷媒106の内圧変化による接続部への応力を緩和しや
すいので接続の信頼性が向上する。また、接続部143
には半田あるいは接着剤あるいは機械的固定あるいはこ
れらの複合された接合構造を用いているので接続信頼性
と防水性が高い。
金属板121周辺は封止する樹脂材料111からはみ出
ており、曲部144が設けられ、半田あるいは接着剤等
の接続材料で接続部145でケース105に接続されて
いるが、曲部144はS字状の形状となっている。この
ため冷却冷媒106の内圧変化による接続部への応力を
さらに緩和しやすいため、接続の信頼性がさらに向上す
る。
金属板121周辺は封止する樹脂材料111からはみ出
ており、ボルト147などの機械的手段で接続されてい
る。なお、図示していないが裏面薄膜金属板121周辺
のはみ出部148とケース105の間には半田あるいは
接着剤が併用されてもよいし、あるいはガスケットある
いはOリングを用いてもよい。
施例の絶縁電極基板120は図1と同様に裏面薄膜金属
板121が絶縁基板110より大きく、裏面薄膜金属板
121のみがアルミダイキャストケース105と接続部
材107を用いて接続される構造であるが、裏面薄膜金
属板121の表面側でアルミダイキャストケース105
と接続される。接続構造は半田,接着剤などを適宜選択
する。本実施例では冷媒106の流路はアルミダイキャ
ストケース105とは別に設けた冷媒ケース125が裏
面薄膜金属板121に接続している。この接続部126
の接続構造はOリングやガスケットなどを適宜選択す
る。本実施例によると万一、接続部126で冷媒の漏れ
ても冷媒は外部に流出するため強電部分が存在するイン
バータ内部に冷媒が漏れない。
す。絶縁電極基板は実施例1と同様に裏面薄膜金属板1
21が絶縁基板181より大きいものであり、裏面薄膜
金属板121周辺のみがアルミダイキャストケース10
5と接続部材107を用いて接続される。本実施例で
は、絶縁基板181がパワー半導体素子101が搭載さ
れた表面薄膜金属板103の下部のみにあり、端子接続
部には別途設けたリード端子182を用い、パワー半導
体素子101とリード端子182をアルミニウムワイヤ
等で接続する。リード端子182と裏面薄膜金属板12
1との間には樹脂製のモールド材183を充填して絶縁
性を保つ。冷却冷媒106には実施例1同様に絶縁基板
181の裏面薄膜金属板121が接している。樹脂のモ
ールド材183は例えばトランスファーモールド法で充
填する。
ウト図である。外部への接続端子部はリード端子182
で構成されていて、立ち上がり部を有する。なお、リー
ド端子182は図10(c)に示す一体構造で成型され
た後組み立てに使用される。端子接続部にはリード端子
182を用いるため、この部分の絶縁電極基板への接続
工程が不要になる。また、リード端子部分に絶縁基板が
ないため、絶縁基板を必要最小限の大きさにでき、この
ため絶縁基板の割れやクラックが生じにくい。
金属板がリードフレームと一体となったものである。す
なわち、図10(e)に示すようにリード端子接合部2
01とリード端子202,204とが一体となったリー
ドフレームにあらかじめ絶縁基板181,裏面薄膜金属
板121が接合されており、この部品に半導体素子が搭
載される。絶縁基板181との接合面はリード端子接合
部201の部分となり、境界線203より外側のリード
端子204は接合されていない。このような構造として
組み立て工程がさらに簡略化される。
ャスト製として説明したが樹脂、他のアルミニウム合
金,Mg合金などその他の材質でも構わない。また、パ
ワー素子はIGBTの他にパワーMOSFET,パワー
トランジスタ等システムの条件に応じて適宜選択でき
る。
パワー素子と冷媒間の熱抵抗を低減できるため、インバ
ータ装置を小型化できる。
イアウト図である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
レイアウト図である。
3,161,169,801…表面薄膜金属板、10
5,151…ケース、106,197…冷媒、107…
裏面薄膜金属板とケースの接続部材、109,115…
接続端子、110,181…絶縁基板、111…樹脂材料、
116…制御回路基板、117,307…コンデンサ、
118…コネクタ、120,129…絶縁電極基板、1
21,140…裏面薄膜金属板、125…冷媒ケース、
126…冷媒ケース接続部、141…裏面薄膜金属板の
凹凸、142,144…裏面薄膜金属板曲部、143,
145…裏面薄膜金属板とケースの接続部、146…ヒ
ートパイプの熱媒体経路、147…ボルト、148…裏
面薄膜金属板はみ出部、153…蓋、155,162…
ケース接合部、182,202,204…リード端子、
183…モールド材、191,192,193…端子接
続部、195,303…フリーホイールダイオード、1
96…フィン、201…リード端子接合部、203…リ
ード端子接合部境界、210…アルミワイヤ、301…
1相分パワー回路、304…P側配線、305…N側配
線、306…負荷配線、802,805…接合材、80
3,806,807…金属板、804…はみ出部。
Claims (13)
- 【請求項1】パワー素子と、電極板が表裏に接合され前
記パワー素子が搭載された絶縁基板及び端子などからな
るパワー回路部と、冷却冷媒の流路が形成されたケース
と、制御回路部分とからなるインバータ装置において、 前記電極板が接合された絶縁基板の冷却冷媒側の電極板
は絶縁基板より大きく、前記冷却冷媒側の電極板の周辺
部はケースに接合され、電極板が接合された絶縁基板の
裏面は冷却冷媒で冷却されていることを特徴とするイン
バータ装置。 - 【請求項2】電極板が接合された絶縁基板のパワー素子
側の電極板は0.5mm 以上の厚さであることを特徴とす
る請求項1記載のインバータ装置。 - 【請求項3】電極板が接合された絶縁基板の冷却冷媒側
の電極板は3mm以下のピッチの凹凸が設けられているこ
とを特徴とする請求項1記載のインバータ装置。 - 【請求項4】電極板が接合された絶縁基板のパワー素子
側の電極板はヒートパイプで構成されていることを特徴
とする請求項1記載のインバータ装置。 - 【請求項5】電極板が接合された絶縁基板の冷却冷媒側
電極板周辺部と冷却冷媒の流路が形成されたケースの接
合は、半田あるいは接着剤あるいは機械的固定あるいは
これらの複合された接合構造とすることを特徴とする請
求項1記載のインバータ装置。 - 【請求項6】電極板が接合された絶縁基板の冷却冷媒側
の電極板は表面側がケースに接合され、裏面側が冷却冷
媒の流路を構成する他のケース部材に接合されているこ
とを特徴とする請求項1記載のインバータ装置。 - 【請求項7】パワー素子と、電極板が表裏に接合され前
記パワー素子が搭載された絶縁基板及び端子などからな
るパワー回路部と、冷却冷媒の流路が形成されたケース
と、制御回路部分とからなるインバータ装置において、 前記電極板が接合された絶縁基板の冷却冷媒側の電極板
は絶縁基板より大きく、前記冷却冷媒側の電極板はケー
ス部分に全面が接合され、前記ケース部分は冷却冷媒で
冷却されていることを特徴とするインバータ装置。 - 【請求項8】パワー素子と、電極板が表裏に接合され前
記パワー素子が搭載された絶縁基板及び端子などからな
るパワー回路部と、冷却冷媒の流路が形成されたケース
と、制御回路部分とからなるインバータ装置において、 前記電極板が接合された絶縁基板の冷却冷媒側の電極板
は絶縁基板より大きく、前記冷却冷媒側の電極板はケー
ス部分に全面が接合され、少なくとも前記絶縁基板が接
合するケース部分がヒートパイプからなることを特徴と
するインバータ装置。 - 【請求項9】パワー素子と、電極板が表裏に接合され前
記パワー素子が搭載された絶縁基板及び端子などからな
るパワー回路部と、冷却冷媒の流路が形成されたケース
と、制御回路部分とからなるインバータ装置において、 前記電極板が接合された絶縁基板の冷却冷媒側の電極板
は絶縁基板より大きく、パワー素子の封止はトランスフ
ァーモールド構造であって、パワー素子と、外部端子と
一体となっている電極端子がワイヤあるいは接続板で接
続されていることを特徴とする請求項1〜8記載のイン
バータ装置。 - 【請求項10】金属板が両面に接合されたセラミック絶
縁基板において、少なくとも表面金属板の一部は0.5m
m 以上の厚さを有し、裏面金属板は前記セラミック絶縁
基板より広い面積でセラミック絶縁基板に接合されてい
ることを特徴とするセラミック絶縁基板。 - 【請求項11】金属板が両面に接合されたセラミック絶
縁基板において、裏面金属板には概略全面にわたって凹
凸が設けられていることを特徴とするセラミック絶縁基
板。 - 【請求項12】金属板が両面に接合されたセラミック絶
縁基板において、少なくとも片面の金属板の一部は板状
ヒートパイプからなることを特徴とするセラミック絶縁
基板。 - 【請求項13】金属板が両面に接合されたセラミック絶
縁基板において、少なくとも表面金属板の一部はリード
フレームと一体となっておりリードフレームの一部が前
記セラミック絶縁基板に接合されていることを特徴とす
るセラミック絶縁基板。
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Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005110406A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パワー変換モジュールデバイスおよびそれを用いた電源装置 |
WO2005038935A1 (ja) * | 2003-10-15 | 2005-04-28 | Nichia Corporation | 発光装置 |
JP2005261016A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Toshiba Elevator Co Ltd | エレベータの電力変換装置 |
JP2005282715A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Denso Corp | 制御装置 |
JP2006004961A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Hitachi Ltd | 半導体モジュール |
JP2007235004A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2007295765A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Hitachi Ltd | 電力変換装置 |
JP2010188932A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Nsk Ltd | 電動パワーステアリング装置 |
JP2011060914A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
JP2011125179A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Jtekt Corp | 制御装置及び制御装置の製造方法 |
JP2011177004A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-09-08 | Hitachi Ltd | 半導体パワーモジュール及びそれが搭載される電力変換装置並びに半導体パワーモジュール搭載用水路形成体の製造方法 |
JP2012124459A (ja) * | 2010-09-23 | 2012-06-28 | Valeo Systemes De Controle Moteur | 車両用電子式モジュール |
WO2014030458A1 (ja) * | 2012-08-20 | 2014-02-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | パワー半導体モジュール |
WO2014073159A1 (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-15 | 株式会社デンソー | 高電圧電気装置及び電動圧縮機 |
KR20140137781A (ko) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 현대모비스 주식회사 | 모터 일체형 인버터 패키지 및 이에 적용되는 일체형 인버터 |
JP2016039699A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 株式会社デンソー | 電力変換装置 |
US9362219B2 (en) | 2013-05-09 | 2016-06-07 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor module and semiconductor device |
US10867980B2 (en) | 2018-10-15 | 2020-12-15 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor equipment |
WO2023224254A1 (ko) * | 2022-05-19 | 2023-11-23 | 뉴브이테크주식회사 | Pcb 냉각장치 및 그 제조방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6233260B2 (ja) | 2014-09-22 | 2017-11-22 | 株式会社デンソー | 電子装置の製造方法、及び電子装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06169526A (ja) * | 1991-12-25 | 1994-06-14 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の地絡保護装置 |
JPH09121557A (ja) * | 1995-10-23 | 1997-05-06 | Hitachi Ltd | 回転機器の電子部品冷却構造及びその製作方法 |
JPH09307040A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Hitachi Ltd | 半導体装置、インバータ装置、および半導体装置の製造方法 |
JP2001045601A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Hitachi Ltd | 自動車駆動装置 |
-
2001
- 2001-04-17 JP JP2001117592A patent/JP3646665B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06169526A (ja) * | 1991-12-25 | 1994-06-14 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の地絡保護装置 |
JPH09121557A (ja) * | 1995-10-23 | 1997-05-06 | Hitachi Ltd | 回転機器の電子部品冷却構造及びその製作方法 |
JPH09307040A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Hitachi Ltd | 半導体装置、インバータ装置、および半導体装置の製造方法 |
JP2001045601A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Hitachi Ltd | 自動車駆動装置 |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005110406A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パワー変換モジュールデバイスおよびそれを用いた電源装置 |
US7482636B2 (en) | 2003-10-15 | 2009-01-27 | Nichia Corporation | Light emitting device |
WO2005038935A1 (ja) * | 2003-10-15 | 2005-04-28 | Nichia Corporation | 発光装置 |
US7812365B2 (en) | 2003-10-15 | 2010-10-12 | Nichia Corporation | Heat dissipation member, semiconductor apparatus and semiconductor light emitting apparatus |
JP2005261016A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Toshiba Elevator Co Ltd | エレベータの電力変換装置 |
JP4610209B2 (ja) * | 2004-03-09 | 2011-01-12 | 東芝エレベータ株式会社 | エレベータの電力変換装置 |
JP2005282715A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Denso Corp | 制御装置 |
JP2006004961A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Hitachi Ltd | 半導体モジュール |
JP2007235004A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2007295765A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Hitachi Ltd | 電力変換装置 |
JP2010188932A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Nsk Ltd | 電動パワーステアリング装置 |
JP2011060914A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
JP2011125179A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Jtekt Corp | 制御装置及び制御装置の製造方法 |
JP2011177004A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-09-08 | Hitachi Ltd | 半導体パワーモジュール及びそれが搭載される電力変換装置並びに半導体パワーモジュール搭載用水路形成体の製造方法 |
DE102011003307B4 (de) | 2010-01-29 | 2022-11-24 | Hitachi Power Semiconductor Device, Ltd. | Inverter oder Konverter mit einem Halbleiterleistungsmodul |
JP2012124459A (ja) * | 2010-09-23 | 2012-06-28 | Valeo Systemes De Controle Moteur | 車両用電子式モジュール |
WO2014030458A1 (ja) * | 2012-08-20 | 2014-02-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | パワー半導体モジュール |
WO2014073159A1 (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-15 | 株式会社デンソー | 高電圧電気装置及び電動圧縮機 |
JP2014096957A (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-22 | Denso Corp | 高電圧電気装置及び電動圧縮機 |
CN104782041A (zh) * | 2012-11-12 | 2015-07-15 | 株式会社电装 | 高电压电气装置以及电动压缩机 |
CN104782041B (zh) * | 2012-11-12 | 2017-05-03 | 株式会社电装 | 高电压电气装置以及电动压缩机 |
US9362219B2 (en) | 2013-05-09 | 2016-06-07 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor module and semiconductor device |
KR20140137781A (ko) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 현대모비스 주식회사 | 모터 일체형 인버터 패키지 및 이에 적용되는 일체형 인버터 |
KR102063726B1 (ko) * | 2013-05-24 | 2020-01-08 | 현대모비스 주식회사 | 모터 일체형 인버터 패키지 및 이에 적용되는 일체형 인버터 |
JP2016039699A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 株式会社デンソー | 電力変換装置 |
US9894814B2 (en) | 2014-08-07 | 2018-02-13 | Denso Corporation | Electric power convertor |
US10867980B2 (en) | 2018-10-15 | 2020-12-15 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor equipment |
WO2023224254A1 (ko) * | 2022-05-19 | 2023-11-23 | 뉴브이테크주식회사 | Pcb 냉각장치 및 그 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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