JP2002299797A - プリント配線板の製造装置および製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】キャリアフィルムの剥離や、剥離後のキャリア
フィルムの廃棄が容易であり、かつワークの搬送機構を
簡略化することが可能であるプリント配線板の製造装置
および製造方法を提供する。 【解決手段】レジストフィルムと、レジストフィルムの
第１面上に積層されたキャリアフィルム２３ａ、２３ｂ
とを含むドライフィルム２１ａ、２１ｂを、レジストフ
ィルムの第２面がワーク７と接するように、ワーク上に
貼付するドライフィルム供給手段２と、分断されていな
いドライフィルムの一部であって、ワーク上のドライフ
ィルムに、所定のマスクパターンを転写する露光手段４
と、ワーク上のキャリアフィルムを一端から巻き取って
剥離するキャリアフィルム剥離手段６とを有するプリン
ト配線板の製造装置１、およびそれを用いたプリント配
線板の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子等の電
子機器を搭載、あるいは相互に接続するプリント配線板
の製造装置および製造方法に関し、特に、プリント配線
板にサブトラクティブ（subtractive)法により導体パタ
ーンを形成する工程で用いられるプリント配線板の製造
装置、およびそれを用いたプリント配線板の製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板に導体パターンを形成す
る方法の一つとして、サブトラクティブ法が挙げられ
る。サブトラクティブ法によれば、多層プリント配線板
の内層のコア材として、片面または両面銅張積層板を用
い、銅張積層板の不要な部分の銅箔をエッチング液で溶
解除去する。エッチングにより導体パターンが形成され
たコア材を、プリプレグと呼ばれる接着シートを挟んで
積層し、加熱加圧して接着する。

【０００３】導体パターンを形成する他の方法として
は、導体金属を無電解銅めっきにより析出させるアディ
ティブ（additive）法がある。プリント配線板の導体パ
ターンとしては、上記のような内層パターンの他、外層
パターンもある。通常、内層パターンを形成し、コア材
を積層させた後、外層パターンが形成される。外層パタ
ーンもエッチングまたはめっきにより形成される。

【０００４】サブトラクティブ法により銅張積層板にエ
ッチングを行う工程では、レジストとしてドライフィル
ムが用いられることが多い。ドライフィルムを用いる場
合、取り扱いが容易であり、塗布ムラやピンホールが皆
無であるだけでなく、両面銅張積層板の両面に同時に加
工を行うことも可能である。

【０００５】また、プリント配線板の導体パターンに
は、半導体素子の線幅ほどの微細化は要求されない。こ
のこともドライフィルムが多用される一因となってい
る。一般に、ドライフィルムは液状レジストに比較し
て、フォトリソグラフィの解像度が低い。半導体素子の
微細加工にドライフィルムを用いると、解像度が不足す
ることが多い。したがって、半導体素子の微細加工では
通常、液状レジストが用いられる。一方、プリント配線
板の導体パターンを形成する場合には、ドライフィルム
を用いても十分な解像度が得られる。

【０００６】さらに、ドライフィルムと液状レジストで
は凹凸面への密着性、すなわち段差被覆性が異なる。一
部のドライフィルムは段差被覆性を改善する目的で、フ
ロー性が特に高められたりしているが、一般に、ドライ
フィルムは液状レジストよりも段差被覆性が低い。半導
体素子の製造過程では、下地に段差が存在する場合が多
く、レジストとしてドライフィルムを使用すると、段差
部分で空隙が発生しやすい。

【０００７】一方、サブトラクティブ法によりプリント
配線板の導体パターンを形成する場合、レジストの下地
は銅張積層板の平坦な銅面である。銅張積層板の銅面に
は予め、機械研磨や薬液洗浄等の整面処理が施される。
この整面処理により、表面の凹凸は取り除かれ、適度な
粗度が付与される。したがって、ドライフィルムを用い
た場合にも、レジストの密着性が十分に得られる。主に
以上のような理由から、プリント配線板の導体パターン
形成用のレジストには、ドライフィルムが多く採用され
ている。

【０００８】次に、従来のプリント配線板の製造装置お
よび製造方法について、図面を参照して説明する。具体
的には、銅張積層板の表面にドライフィルムをラミネー
トし、ドライフィルムに露光を行ってから、現像機に移
動させるまでの一連の工程と、それに用いられる装置に
ついて説明する。

【０００９】図６は、上記の一連の工程に用いられる装
置の概略図であり、両面銅張積層板の両面にレジストを
形成する装置の例である。図６に示す製造装置４１はド
ライフィルム供給部４２、ドライフィルム切断部４３
ａ、４３ｂ、ワーク搬送部４４、露光機４５、ワーク搬
送部４６およびキャリアフィルム剥離部４７を含む。

【００１０】ドライフィルム供給部４２は、プリント配
線板のコア材となるワーク４８の両面に、ドライフィル
ム６１ａ、６１ｂを貼付する（ラミネート）。ワーク４
８の一方の面に、ドライフィルムリール４９ａからドラ
イフィルム６１ａが供給される。ドライフィルム６１ａ
は、一方の表面に保護フィルム６２ａが形成された状態
で、ドライフィルムリール４９ａに巻かれている。

【００１１】ドライフィルム６１ａをワーク４８の一方
の面にラミネートする前に、例えば押さえローラー５０
ａと保護フィルム巻き取りリール５１ａを用いて、保護
フィルム６２ａをドライフィルム６１ａから剥離する。
剥離された保護フィルム６２ａは、保護フィルム巻き取
りリール５１ａに巻き取られる。保護フィルム６２ａが
剥離されたドライフィルム６１ａは、加熱圧着ローラー
５２ａによって、ワーク４８の一方の面にラミネートさ
れる。

【００１２】ドライフィルム６１ａのラミネートと並行
して、ワーク４８の他方の面に、ドライフィルムリール
４９ｂからドライフィルム６１ｂが供給される。ドライ
フィルム６１ｂはドライフィルム６１ａと同様に、押さ
えローラー５０ｂと保護フィルム巻き取りリール５１ｂ
を用いて保護フィルム６２ｂが剥離される。その後、加
熱圧着ローラー５２ｂによって、ドライフィルム６１ｂ
がワーク４８の他方の面にラミネートされる。

【００１３】ドライフィルム切断部４３ａは、ワーク４
８の一方の面にラミネートされたドライフィルム６１ａ
を、ドライフィルムリール４９ａに巻かれたシート状の
ドライフィルム６１ａから切断する。これと並行して、
ドライフィルム切断部４３ｂは、ワーク４８の他方の面
にラミネートされたドライフィルム６１ｂを、ドライフ
ィルムリール４９ｂに巻かれたシート状のドライフィル
ム６１ｂから切断する。

【００１４】ワーク４８の両面にラミネートされたドラ
イフィルム６１ａ、６１ｂは、ドライフィルム切断部４
３ａ、４３ｂにおいて、プリント配線板とほぼ同じ大き
さに加工される。搬送部４４は、両面にドライフィルム
がラミネートされたワーク４８を、露光機４５に搬入す
る。ワーク４８は、例えばローラーコンベア４４ａによ
り搬送される。

【００１５】露光機４５は、ワーク４８の両面に露光を
行い、ドライフィルムを構成するレジストフィルムに導
体パターンを転写する。搬送部４６は、露光が終了した
ワーク４８を露光機４５から搬出する。ワーク４８は、
例えばローラーコンベア４６ａにより搬送される。

【００１６】剥離部４７はナーリングローラー５３ａ、
５３ｂとマイラーピーラー５４ａ、５４ｂを含み、ワー
ク４８上のドライフィルム６１ａ、６１ｂのうち表面層
のキャリアフィルム６３ａ、６３ｂのみ剥離する。ナー
リングローラー５３ａ、５３ｂは、表面に凹凸が設けら
れたローラーであり、ドライフィルムの端部近傍に型押
しにより凹凸を付ける（ナーリング）。ドライフィルム
の端部は型押しされず、端部近傍が型押しされると、キ
ャリアフィルムの端部がドライフィルムから浮遊した状
態となる。これにより、キャリアフィルム６３ａ、６３
ｂの剥離が容易となる。

【００１７】マイラーピーラー５４ａ、５４ｂは、例え
ばローラーを含み、ローラーに押圧しながらドライフィ
ルム上でローラーを回転させることにより、キャリアフ
ィルム６３ａ、６３ｂを剥離する。なお、マイラー（My
lar)はデュポン社製のポリエチレンテレフタラートフィ
ルムの商品名であり、ドライフィルムの表面層は慣用的
にマイラーとも呼ばれている。同様に、ドライフィルム
の表面層を剥離する装置は、慣用的にマイラーピーラー
と呼ばれている。キャリアフィルム６３ａ、６３ｂが剥
離されたワーク４８ａは、現像機に搬送され、レジスト
フィルムの現像が行われる。

【００１８】図７は、図６に示すドライフィルム６１ａ
（または６１ｂ）の断面図である。図７に示すように、
レジストフィルム６４ａ（または６４ｂ）の一方の面に
保護フィルム６２ａ（または６２ｂ）が形成されてい
る。レジストフィルム６２ａ（または６２ｂ）の他方の
面にはキャリアフィルム６３ａ（または６３ｂ）が形成
されている。

【００１９】保護フィルム６２ａ（または６２ｂ）は、
ドライフィルム６１ａ（または６１ｂ）のラミネートを
行う直前に、レジストフィルム６４ａ（または６４ｂ）
から剥離される。ドライフィルム６１ａ（または６１
ｂ）は、レジストフィルム６４ａ（または６４ｂ）がワ
ーク４８（図６参照）の表面に接するようにラミネート
される。

【００２０】図６に示す製造装置４１において、ワーク
４８として両面銅張積層板を用い、ワーク４８の両面に
図７のドライフィルム６１ａ、６１ｂをラミネートした
場合、図８に示すような断面構造をもつ積層体が得られ
る。図８に示すように、コア材６６の一方の面には銅箔
６７ａ、レジストフィルム６４ａおよびキャリアフィル
ム６３ａが順に積層される。同様に、コア材２６の他方
の面には銅箔２７ｂ、レジストフィルム６４ｂおよびキ
ャリアフィルム６３ｂが順に積層される。

【００２１】図６に示す製造装置４１と同様に、ドライ
フィルムのラミネートおよび露光に用いられる装置であ
って、銅張積層板の片面にレジストを形成する装置の例
を、図９の概略図に示す。図９の製造装置７１は、ドラ
イフィルム供給部４２がワーク４８の片面にドライフィ
ルム６１ａを供給し、ドライフィルム６１ａの切断や露
光を片面のみ行うことを除き、図６の製造装置４１と共
通の構成を有する。

【００２２】図９に示す製造装置７１において、ワーク
４８として片面銅張積層板を用い、ワーク４８の銅箔側
に図７のドライフィルム６１ａをラミネートした場合、
図１０に示すような断面構造をもつ積層体が得られる。
図１０に示すように、コア材６６の一方の面に銅箔６７
ａ、レジストフィルム６４ａおよびキャリアフィルム６
３ａが順に積層される。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のプリント配線板の製造装置４１、７１によれば、
レジストの露光前にドライフィルム６１ａ、６１ｂがワ
ーク４８の大きさに分断される。ワーク４８は個別に搬
送されるため、ワーク搬送部４４、４６には例えばロー
ラーコンベア４４ａ、４６ａのような、ワーク４８を離
散させずに一定の間隔を保ちながら、連続的に搬送でき
る機構を設ける必要がある。

【００２４】また、ワーク４８が個別に搬送されること
により、さらに大きな問題が発生する。レジストの現像
前に、ドライフィルム６１ａ、６１ｂの表面層のキャリ
アフィルム６３ａ、６３ｂを剥離する必要があるが、キ
ャリアフィルム６３ａ、６３ｂの下地のレジストフィル
ム６４ａ、６４ｂや、さらに下層の銅箔６７ａ、６７ｂ
に損傷を与えずに、キャリアフィルム６３ａ、６３ｂの
み選択的に剥離することは比較的難しい。下地の損傷を
防止するため、例えば剥離の速度を遅くすると、個々の
ワーク４８で剥離の所要時間が増加するため、スループ
ットが大幅に低下する。

【００２５】前述したように、キャリアフィルム６３
ａ、６３ｂの剥離は、ナーリングによってキャリアフィ
ルム６３ａ、６３ｂの端部を浮かせてから、マイラーピ
ーラー５４ａ、５４ｂのローラーを押圧・回転して行わ
れることが多い。したがって、ナーリングの型押し深さ
や位置、およびマイラーピーラー５４ａ、５４ｂのロー
ラーの押圧力や回転速度等を調整することにより、剥離
に作用する力が調節されるが、このような諸条件の最適
化に煩雑な作業を要する。

【００２６】特に、図６に示すように、ワーク４８の両
面で同時にキャリアフィルム６３ａ、６３ｂの剥離が行
われる場合には、両面に作用する力の大きさを均等にす
る必要があり、剥離条件の最適化は複雑となる。ワーク
４８の片面ずつ、順次キャリアフィルム６３ａ、６３ｂ
を剥離した場合、両面同時加工により作業時間が短縮で
きるという、ドライフィルムの特長を生かすことができ
ない。

【００２７】表面のキャリアフィルムのみ選択的に剥離
するため、様々な試みがなされている。例えば、特開平
５−２７８９３２号公報には、プリント配線板の両面に
レジストフィルムを介して被着されたマイラーフィルム
を剥離する、マイラーフィルム剥がし機構が開示されて
いる。このマイラーフィルム剥がし機構（マイラーピー
ラー）によれば、ローラー表面のゴムが剥離する問題を
解決する目的で、ローラー表面に粘着ゴム部分と非粘着
ゴム部分とが交互に配置される。これにより、ローラー
の粘着力や圧着力の調節が図られている。

【００２８】以上のように、キャリアフィルムを剥離す
る力を適切に制御することは難しく、現状では、キャリ
アフィルムを剥離する際に、下地のレジストフィルムの
一部も剥離されたり、剥離されたレジスト片がワーク表
面に再付着したりして、欠陥の要因となっている。

【００２９】また、ナーリングを過度に行うと、ドライ
フィルムまたは下地の銅箔が損傷を受け、ナーリングが
不十分であると、キャリアフィルムの剥離に要する力が
大きくなる。このように、ナーリングとマイラーピーラ
ーによる剥離は相互に影響するため、それぞれ独立して
条件の最適化を行うことができない。

【００３０】以上の問題の他、個々のワークからキャリ
アフィルムが剥離されることにより、剥離されたフィル
ムの廃棄作業が煩雑になるという問題も起こる。図６ま
たは図９に示すように、マイラーピーラー５４ａ、５４
ｂにおいてワーク４８から剥離されたキャリアフィルム
６３ａ、６３ｂは、１枚ずつ回収容器５５に集められ
る。

【００３１】剥離されたキャリアフィルム６３ａ、６３
ｂは廃棄されるため、回収容器５５内にキャリアフィル
ム６３ａ、６３ｂを整然と積層するような機構は設けら
れない。したがって、回収容器５５内のキャリアフィル
ム６３ａ、６３ｂは軽量でありながら、占有スペースが
大きく、頻繁に排除しないとマイラーピーラー５４ａ、
５４ｂが詰まる可能性もある。

【００３２】特開平５−１４７８１９号公報には、電子
部品搭載用基板に貼付されたドライフィルムのマイラー
を連続的に剥離・回収することが可能であるドライフィ
ルム用のマイラー剥離装置が開示されている。このマイ
ラー剥離装置によれば、剥離されたマイラーをリールに
巻回して回収する。したがって、剥離されたマイラー
（キャリアフィルム）の占有スペースは小さく、廃棄作
業の負担も少ない。

【００３３】しかしながら、このマイラー剥離装置はフ
レキシブル基板からなるプリント配線板用の構成であ
り、図６あるいは図９に示す、リジッド基板を用いるプ
リント配線板の製造装置に、特開平５−１４７８１９号
公報に記載されたような剥離フィルム回収機構を適用す
ることはできない。

【００３４】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたも
のであり、したがって本発明は、キャリアフィルムの剥
離や、剥離後のキャリアフィルムの廃棄が容易であり、
かつワークの搬送機構を簡略化することが可能であるプ
リント配線板の製造装置および製造方法を提供すること
を目的とする。

【００３５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のプリント配線板の製造装置は、レジストフ
ィルムと、前記レジストフィルムの第１面上に積層され
たキャリアフィルムとを含むドライフィルムを、前記レ
ジストフィルムの第２面がワークと接するように、前記
ワーク上に貼付するドライフィルム供給手段と、分断さ
れていない前記ドライフィルムの一部であって、前記ワ
ーク上の前記ドライフィルムに、所定のマスクパターン
を転写する露光手段と、前記ワーク上の前記ドライフィ
ルムのうち、前記キャリアフィルムを一端から巻き取
り、前記キャリアフィルムを前記ワーク上の前記レジス
トフィルムから剥離するキャリアフィルム剥離手段とを
有することを特徴とする。

【００３６】好適には、前記ドライフィルム供給手段と
前記露光手段との間に形成された第１のドライフィルム
蓄積手段をさらに有し、前記第１のドライフィルム蓄積
手段は、前記ドライフィルムと接触する少なくとも１つ
の第１の接触部分と、前記第１の接触部分を移動させ、
前記第１の接触部分の移動量に応じて、前記ドライフィ
ルム供給手段と前記露光手段との間に配置される前記ド
ライフィルムの長さを変化させる第１の接触部分移動手
段とを含む。

【００３７】好適には、前記露光手段と前記キャリアフ
ィルム剥離手段との間に形成された第２のドライフィル
ム蓄積手段をさらに有し、前記第２のドライフィルム蓄
積手段は、前記ドライフィルムと接触する少なくとも１
つの第２の接触部分と、前記第２の接触部分を移動さ
せ、前記第２の接触部分の移動量に応じて、前記露光手
段と前記キャリアフィルム剥離手段との間に配置される
前記ドライフィルムの長さを変化させる第２の接触部分
移動手段とを含む。

【００３８】好適には、前記キャリアフィルム剥離手段
は、前記ワークおよび前記ワーク上に積層された前記ド
ライフィルムに押圧するローラーと、前記ローラーを通
過した前記ドライフィルムのうち、前記キャリアフィル
ムを巻き取る巻き取りリールとを含む。好適には、前記
ドライフィルムは、前記第２面上に積層された保護フィ
ルムをさらに有し、前記ドライフィルム供給手段は、前
記保護フィルムを前記第２面から剥離する保護フィルム
剥離手段をさらに有する。

【００３９】本発明のプリント配線板の製造装置は、好
適には、前記ワークの両面に、ほぼ同時にそれぞれ前記
ドライフィルムを供給することが可能である１対の前記
ドライフィルム供給手段を有する。本発明のプリント配
線板の製造装置は、さらに好適には、前記ワークの両面
に、ほぼ同時にそれぞれ露光を行うことが可能である１
対の前記露光手段を有する。本発明のプリント配線板の
製造装置は、さらに好適には、前記ワークの両面から、
ほぼ同時にそれぞれ前記キャリアフィルムを剥離するこ
とが可能である１対の前記キャリアフィルム剥離手段を
有する。

【００４０】これにより、ワークがドライフィルムによ
って搬送され、ドライフィルムはキャリアフィルム剥離
手段により進行する。したがって、キャリアフィルム剥
離手段以外には、ワークを搬送するための手段が不要で
あり、装置構成が単純化される。また、本発明のプリン
ト配線板の製造装置によれば、ドライフィルムを切断す
る手段が不要であり、これによっても装置構成が単純化
される。

【００４１】さらに、本発明のプリント配線板の製造装
置によれば、ドライフィルムにナーリングを行うナーリ
ングローラーが不要である。これにより、装置構成が単
純化されるだけでなく、ナーリングによりレジストフィ
ルムの一部が剥離されたり、剥離されたレジスト片がレ
ジストフィルム上に再付着するのを防止することが可能
となる。したがって、フォトリソグラフィ工程における
パターン不良の発生が低減される。

【００４２】また、本発明のプリント配線板の製造装置
によれば、剥離されたキャリアフィルムはキャリアフィ
ルム剥離手段の一部に巻き付けられて回収される。した
がって、従来の製造装置のように、剥離されたキャリア
フィルムの占有スペースが大きくなるのを防止でき、廃
棄作業の負担が軽減される。

【００４３】さらに、上記の目的を達成するため、本発
明のプリント配線板の製造方法は、レジストフィルム
と、前記レジストフィルムの第１面上に積層されたキャ
リアフィルムとを含むドライフィルムを、前記レジスト
フィルムの第２面がワークと接するように、前記ワーク
上に貼付する工程と、前記ドライフィルムを分断せず
に、前記ワーク上の前記ドライフィルムに露光を行い、
所定のマスクパターンを転写する工程と、前記ワーク上
の前記ドライフィルムのうち、前記キャリアフィルムを
一端から巻き取り、前記キャリアフィルムを前記ワーク
上の前記レジストフィルムから剥離する工程とを有する
ことを特徴とする。

【００４４】好適には、前記ワーク上への前記ドライフ
ィルムの貼付と、前記キャリアフィルムの巻き取りを一
定の速度で連続して行いながら、前記ドライフィルムの
一部を周期的に蓄積させることにより、前記露光を間欠
的に行う。好適には、前記露光を間欠的に行いながら、
前記ドライフィルムの一部を周期的に蓄積させることに
より、前記キャリアフィルムの巻き取りおよび剥離を一
定の速度で連続して行う。

【００４５】好適には、前記ドライフィルムは、前記第
２面上に積層された保護フィルムをさらに有し、前記ド
ライフィルムを前記ワーク上に貼付する前に、前記保護
フィルムを前記第２面から剥離する工程をさらに有す
る。好適には、前記ドライフィルムを前記ワーク上に貼
付する工程において、前記ワークの両面に、ほぼ同時に
それぞれ前記ドライフィルムを貼付する。

【００４６】さらに好適には、前記露光工程において、
前記ワークの両面に、ほぼ同時にそれぞれ露光を行う。
さらに好適には、前記キャリアフィルムを剥離する工程
において、前記ワークの両面から、ほぼ同時にそれぞれ
前記キャリアフィルムを剥離する。

【００４７】これにより、キャリアフィルムを剥離する
ためのナーリングをドライフィルムに行う必要がなくな
り、キャリアフィルムの剥離条件の最適化が容易とな
る。また、ナーリングによりレジストフィルムの一部が
剥離されたり、剥離されたレジスト片がレジストフィル
ム上に再付着するのを防止することが可能となる。した
がって、フォトリソグラフィ工程におけるパターン不良
の発生が低減される。また、本発明のプリント配線板の
製造方法によれば、剥離されたキャリアフィルムは巻か
れて回収されるため、占有スペースが小さく、廃棄作業
の負担が軽減される。

【００４８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明のプリント配線板
の製造装置および製造方法の実施の形態について、図面
を参照して説明する。 （実施形態１）図１は本実施形態のプリント配線板の製
造装置の概略図である。図１に示す製造装置１は、銅張
積層板の表面にドライフィルムをラミネートし、ドライ
フィルムに露光を行ってから、現像機に移動させるまで
の一連の工程に用いられる。図１は、両面銅張積層板の
両面にレジストを形成する装置の例である。

【００４９】図１に示すように、製造装置１はドライフ
ィルム供給部２、アキュムレーター３、露光機４、アキ
ュムレーター５およびマイラーピーラー６を含む。本実
施形態の製造装置１によれば、ワーク７は、分断されて
いないドライフィルム２１ａ、２１ｂに接着した状態
で、露光機４に搬入され、露光機４から搬出される。

【００５０】ワーク７は、ドライフィルム２１ａ、２１
ｂの表面層（キャリアフィルム２３ａ、２３ｂ）の一端
が、マイラーピーラー６において巻き取られることによ
り、搬送される。したがって、図６または図９に示す従
来の製造装置４１、７１に設けられるようなローラーコ
ンベア４４ａ、４６ａを含む搬送部４４、４６は不要で
ある。

【００５１】ドライフィルム供給部２は、プリント配線
板のコア材となるワーク７の両面に、ドライフィルム２
１ａ、２１ｂを貼付する（ラミネート）。ワーク７の一
方の面に、ドライフィルムリール８ａからドライフィル
ム２１ａが供給される。ドライフィルム２１ａは、一方
の表面に保護フィルム２２ａが形成された状態で、ドラ
イフィルムリール４８ａに巻かれている。

【００５２】ドライフィルム２１ａをワーク７の一方の
面にラミネートする前に、例えば押さえローラー９ａと
保護フィルム巻き取りリール１０ａを用いて、保護フィ
ルム２２ａをドライフィルム２１ａから剥離する。剥離
された保護フィルム２２ａは、保護フィルム巻き取りリ
ール１０ａに巻き取られる。保護フィルム２２ａが剥離
されたドライフィルム２１ａは、加熱圧着ローラー１１
ａによって、ワーク７の一方の面にラミネートされる。

【００５３】ドライフィルム２１ａのラミネートと並行
して、ワーク７の他方の面に、ドライフィルムリール８
ｂからドライフィルム２１ｂが供給される。ドライフィ
ルム２１ｂはドライフィルム２１ａと同様に、押さえロ
ーラー９ｂと保護フィルム巻き取りリール１０ｂを用い
て保護フィルム２２ｂが剥離される。その後、加熱圧着
ローラー１１ｂによって、ドライフィルム２１ｂがワー
ク７の他方の面にラミネートされる。

【００５４】アキュムレーター３、５は必須の構成では
ないが、ドライフィルム供給部２におけるドライフィル
ム２１ａ、２１ｂのラミネートと、露光機４における個
々のワーク７への露光とのタイミングを調整する必要が
ある場合に設けられる。ドライフィルム供給部２におけ
るドライフィルムリール８ａ、８ｂと加熱圧着ローラー
１１ａ、１１ｂの回転が連続的に行われるのに対し、露
光機４における露光はショット毎に間欠的に行われる。

【００５５】したがって、露光機４でワーク７に露光を
行う間、露光されるワーク７と、それを支持する部分の
ドライフィルムは停止させることが望ましい。そこで、
例えば上下に移動可能であるテンションローラー１２
ａ、１２ｂを含むアキュムレーター３を設ける。また、
アキュムレーター３には固定された位置で回転するロー
ラー１３ａ、１３ｂも適宜設けられる。

【００５６】テンションローラー１２ａを上方に移動さ
せた場合、あるいはテンションローラー１２ｂを下方に
移動させた場合、アキュムレーター３内に蓄積されるド
ライフィルム２１ａ、２１ｂの長さが長くなる。したが
って、露光機４へのドライフィルム２１ａ、２１ｂの搬
入を遅れさせることができる。露光機４内にワーク７を
一時的に停止させるとき、上記のように、アキュムレー
ター３にドライフィルム２１ａ、２１ｂを蓄積させる。

【００５７】アキュムレーター３において、原理的には
テンションローラー１２ａとテンションローラー１２ｂ
のいずれか一方があれば、ドライフィルム２１ａ、２１
ｂの露光機４内への搬入速度を調整することは可能であ
る。但し、アキュムレーター３を用いてドライフィルム
２１ａ、２１ｂおよびワーク７を一方向のみに大きく移
動させた場合、ドライフィルム２１ａ、２１ｂやワーク
７に不可逆的な反りが生じる可能性がある。

【００５８】したがって、本実施形態の製造装置１によ
れば、逆方向に移動する２つのテンションローラー１２
ａ、１２ｂが設けられる。必要に応じてテンションロー
ラーの数や、固定された位置で回転するローラーの数を
増やしたりすることも可能である。このように、アキュ
ムレーター３の構成は任意に変更できる。

【００５９】アキュムレーター３は、ドライフィルム２
１ａ、２１ｂのラミネートと、ワーク７への露光とのタ
イミングを調整する目的で設けられるものであり、例え
ば、露光が行われる間、ドライフィルム供給部２のドラ
イフィルムリール８ａ、８ｂおよび加熱圧着ローラー１
１ａ、１１ｂの回転を一時的に停止させれば、アキュム
レーター３は不要である。

【００６０】しかしながら、ドライフィルム２１ａ、２
１ｂのラミネートは、一般に、加熱圧着ローラー１１
ａ、１１ｂによる加熱を伴う。したがって、加熱圧着ロ
ーラー１１ａ、１１ｂを一時的に停止させることによ
り、ドライフィルム２１ａ、２１ｂの加熱ムラが生じる
可能性がある。例えば加熱が不要である場合のように、
ドライフィルムリール８ａ、８ｂおよび加熱圧着ローラ
ー１１ａ、１１ｂの回転を一時的に停止させても問題が
ない場合には、アキュムレーター３を設ける必要はな
い。

【００６１】露光機４においては、ワーク７の両面に露
光が行われる。露光が終了したワーク７は、ドライフィ
ルム２１ａ、２１ｂとともに移動し、露光機４から搬出
される。ドライフィルム２１ａの表面層であるキャリア
フィルム２３ａは、マイラーピーラー６のキャリアフィ
ルム巻き取りリール１４ａによって巻き取られる。同様
に、ドライフィルム２１ｂの表面層であるキャリアフィ
ルム２３ｂは、マイラーピーラー６のキャリアフィルム
巻き取りリール１４ｂによって巻き取られる。

【００６２】キャリアフィルム巻き取りリール１４ａ、
１４ｂにキャリアフィルム２３ａ、２３ｂが巻き取られ
ることにより、ワーク７上のキャリアフィルムが剥離さ
れ、ワーク７上には露光されたレジストフィルムが残
る。マイラーピーラー６において、キャリアフィルムが
剥離されるワーク７は、押さえローラー１５ａ、１５ｂ
により上下から押圧される。

【００６３】本実施形態の製造装置１によれば、キャリ
アフィルム２３ａ、２３ｂの剥離に作用する力は、主に
ドライフィルム２１ａ、２１ｂの移動速度、すなわちキ
ャリアフィルム巻き取りリール１４ａ、１４ｂによる巻
き取り速度と、押さえローラー１５ａ、１５ｂの押圧力
によって制御することが可能である。したがって、従来
の製造装置４１（図６参照）において、ナーリングロー
ラー５３ａとマイラーピーラー５４ａの両方で剥離条件
の最適化を行わなければならないのに対し、剥離条件の
最適化が容易となる。

【００６４】なお、キャリアフィルムの剥離には、キャ
リアフィルムの粘着性や、ドライフィルムとワークとの
間の粘着性等も影響するが、これらの影響は従来の製造
装置についても当てはまり、本実施形態の製造装置１の
上記の利点を損なうものではない。

【００６５】キャリアフィルムの剥離に作用する力が、
キャリアフィルム巻き取りリール１４ａ、１４ｂによる
巻き取り速度に大きく影響を受けることから、巻き取り
速度は原則として一定とすることが望ましい。一方、露
光機４内でのワーク７への露光は間欠的に行われるた
め、露光機４からのワーク７の搬出と、マイラーピーラ
ー６によるキャリアフィルム２３ａ、２３ｂの剥離との
間には、タイミングのずれが生じる。

【００６６】そこで、露光機４とマイラーピーラー６の
押さえローラー１５ａ、１５ｂとの間に、アキュムレー
ター３と同様のアキュムレーター５を設けることが望ま
しい。アキュムレーター５は、例えばテンションローラ
ー１２ａ、１２ｂと同様のテンションローラー１２ｃ、
１２ｄやローラー１３ｃ、１３ｄを含む構成とする。あ
るいは、アキュムレーター３と同様に、他の構成とする
こともできる。

【００６７】キャリアフィルム巻き取りリール２３ａ、
２３ｂおよび押さえローラー１５ａ、１５ｂの回転を一
時的に停止させることにより、露光機４からのワーク７
の搬出と、キャリアフィルム２３ａ、２３ｂの剥離との
タイミングを合わせることは原理的には可能である。そ
の場合、アキュムレーター５は不要となるが、キャリア
フィルムの剥離に作用する力を一定とすることができな
くなる。

【００６８】これにより、キャリアフィルム下地のレジ
ストフィルムが損傷を受け、フォトリソグラフィでパタ
ーン不良が発生する可能性もある。したがって、アキュ
ムレーター５を設け、露光機４からのワーク７の搬出
と、キャリアフィルム２３ａ、２３ｂの剥離とのタイミ
ングを調整することが望ましい。

【００６９】マイラーピーラー６によってワーク７上の
ドライフィルム２１ａ、２１ｂからキャリアフィルム２
３ａ、２３ｂが剥離されると、ワーク７ａ上にはドライ
フィルム２１ａ、２１ｂのうち、レジストフィルムが残
る。キャリアフィルム２３ａ、２３ｂが剥離されるまで
は、ワーク７はドライフィルム２１によって相互に連結
されているが、キャリアフィルム２３ａ、２３ｂが除去
されると、ワーク７間は容易に分断される。これは、レ
ジストフィルムのみではドライフィルム２１ａ、２１ｂ
の強度が著しく低いことによる。

【００７０】従来の製造装置１（図６参照）によれば、
ワーク４８にドライフィルム６１ａ、６１ｂをラミネー
トした後、ワーク４８間のドライフィルム６２１ａ、６
１ｂを切断するため、ドライフィルム切断部４３ａ、４
３ｂが設けられる。それに対し、本実施形態１の製造装
置１はドライフィルム２１ａ、２１ｂを切断するための
切断部が不要であり、装置構成を単純化することができ
る。

【００７１】以上のように、上記の本実施形態の製造装
置１によれば、ワーク７がドライフィルム２１ａ、２１
ｂによって搬送され、ドライフィルム２１ａ、２１ｂは
マイラーピーラー６のキャリアフィルム巻き取りリール
１４ａ、１４ｂを回転させることにより進行する。した
がって、キャリアフィルム巻き取りリール１４ａ、１４
ｂ以外には、ワーク７を搬送するための手段を特に設け
る必要がない。また、キャリアフィルム巻き取りリール
１４ａ、１４ｂはマイラーピーラー６の一部であるた
め、製造装置１の全体構成は単純である。

【００７２】さらに、本実施形態の製造装置１によれ
ば、ドライフィルム２１ａ、２１ｂを切断する手段が不
要である。これによっても、装置構成は単純化される。
また、キャリアフィルムの剥離を容易とするためのナー
リングローラーが不要である。これにより、装置構成が
単純化されるだけでなく、ナーリングによりレジストフ
ィルムの一部が剥離されたり、剥離されたレジスト片が
レジストフィルム上に再付着して、パターン不良が発生
するのを防止することが可能となる。

【００７３】本実施形態の製造装置１を用いて、プリン
ト配線板の製造を行う場合、剥離されたキャリアフィル
ム２３ａ、２３ｂはキャリアフィルム巻き取りリール１
４ａ、１４ｂにより回収される。したがって、従来の製
造装置のように、剥離されたキャリアフィルムの占有ス
ペースが大きくなるのを防止でき、廃棄作業の負担が軽
減される。

【００７４】図２は、図１に示すドライフィルム２１ａ
（または２１ｂ）の断面図である。図２に示すように、
レジストフィルム２４ａ（または２４ｂ）の一方の面に
保護フィルム２２ａ（または２２ｂ）が形成されてい
る。レジストフィルム２４ａ（または２４ｂ）の他方の
面にはキャリアフィルム２３ａ（または２３ｂ）が形成
されている。

【００７５】保護フィルム２２ａ（または２２ｂ）は、
ドライフィルム２１ａ（または２１ｂ）のラミネートを
行う直前に、レジストフィルム２４ａ（または２４ｂ）
から剥離される。ドライフィルム２１ａ（または２１
ｂ）は、レジストフィルム２４ａ（または２４ｂ）がワ
ーク７（図１参照）の表面に接するようにラミネートさ
れる。

【００７６】図１に示す製造装置１において、ワーク７
として両面銅張積層板を用い、ワーク７の両面に図２の
ドライフィルム２１ａ、２１ｂをラミネートした場合、
図３に示すような断面構造をもつ積層体が得られる。図
３に示すように、コア材２６の一方の面には銅箔２７
ａ、レジストフィルム２４ａおよびキャリアフィルム２
３ａが順に積層される。同様に、コア材２６の他方の面
には銅箔２７ｂ、レジストフィルム２４ｂおよびキャリ
アフィルム２３ｂが順に積層される。

【００７７】コア材２６としては、例えばガラス布に樹
脂を含浸させ、加熱乾燥させて板状にしたものを用いる
ことができる。ガラス布に含浸させる樹脂としては、例
えばエポキシ樹脂が挙げられる。コア材２６と銅箔２７
ａとの層間、コア材２６と銅箔２７ｂとの層間は、それ
ぞれ予めプリプレグを挟んで加熱加圧することにより、
接着されている。このように、本実施形態の製造装置１
によれば、リジッド基板を用いてプリント配線板を製造
することが可能である。

【００７８】（実施形態２）図４は本実施形態のプリン
ト配線板の製造装置の概略図である。図４に示す製造装
置３１は、図１に示す製造装置１と同様に、ドライフィ
ルムのラミネートおよび露光に用いられる。図４の製造
装置３１は、銅張積層板の片面にレジストを形成する装
置の例であり、ドライフィルム供給部２がワーク７の片
面にドライフィルム２１ａを供給し、ドライフィルム６
１ａの切断や露光を片面のみ行うことを除き、図１の製
造装置１と共通の構成を有する。

【００７９】図４に示す製造装置３１において、ワーク
７として片面銅張積層板を用い、ワーク７の銅箔側に図
２のドライフィルム２１ａをラミネートした場合、図５
に示すような断面構造をもつ積層体が得られる。図５に
示すように、コア材２６の一方の面に銅箔２７ａ、レジ
ストフィルム２４ａおよびキャリアフィルム２３ａが順
に積層される。

【００８０】コア材２６としては、図３に示す両面銅張
積層板と同様に、例えばガラス布にエポキシ樹脂等の樹
脂を含浸させ、加熱乾燥させて板状にしたものを用いる
ことができる。コア材２６と銅箔２７ａとの層間は、予
めプリプレグを挟んで加熱加圧することにより、接着さ
れている。このように、本実施形態の製造装置３１によ
っても、リジッド基板を用いてプリント配線板を製造す
ることが可能である。

【００８１】本発明のプリント配線板の製造装置および
製造方法の実施形態は、上記の説明に限定されない。例
えば、本発明の製造装置は、ドライフィルムのラミネー
ト工程と、ドライフィルムへの露光工程を製造工程に含
む製品であれば、プリント配線板以外の製品の製造に適
用することも可能である。その他、本発明の要旨を逸脱
しない範囲で、種々の変更が可能である。

【００８２】

【発明の効果】本発明のプリント配線板の製造装置によ
れば、キャリアフィルムの剥離や、剥離後のキャリアフ
ィルムの廃棄が容易となり、かつワークの搬送機構が簡
略化される。本発明のプリント配線板の製造方法によれ
ば、キャリアフィルムの剥離や、剥離後のキャリアフィ
ルムの廃棄が容易となり、キャリアフィルムの剥離工程
に起因するパターン不良を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の実施形態１に係るプリント配線
板の製造装置の概略図である。

【図２】図２は図１のドライフィルム２１ａ（または２
１ｂ）の一部を拡大した断面図である。

【図３】図３は図１のワーク７の一部を拡大した断面図
である。

【図４】図４は本発明の実施形態２に係るプリント配線
板の製造装置の概略図である。

【図５】図５は図４のワーク７の一部を拡大した断面図
である。

【図６】図６は従来のプリント配線板の製造装置の概略
図である。

【図７】図７は図６のドライフィルム６１ａ（または６
１ｂ）の一部を拡大した断面図である。

【図８】図８は図６のワーク４８の一部を拡大した断面
図である。

【図９】図９は従来のプリント配線板の製造装置の概略
図である。

【図１０】図１０は図９のワーク４８の一部を拡大した
断面図である。

【符号の説明】

１、３１、４１、７１…製造装置、２、４２…ドライフ
ィルム供給部、３、５…アキュムレーター、４、４５…
露光機、６、５４ａ、５４ｂ…マイラーピーラー、７、
４８、４８ａ…ワーク、８ａ、８ｂ、４９ａ、４９ｂ…
ドライフィルムリール、９ａ、９ｂ、１５ａ、１５ｂ、
５０ａ、５０ｂ…押さえローラー、１０ａ、１０ｂ、５
１ａ、５１ｂ…保護フィルム巻き取りリール、１１ａ、
１１ｂ、５２ａ、５２ｂ…加熱圧着ローラー、１２ａ、
１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ…テンションローラー、１３
ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ…ローラー、１４ａ、１４
ｂ…キャリアフィルム巻き取りリール、２１ａ、２１
ｂ、６１ａ、６１ｂ…ドライフィルム、２２ａ、２２
ｂ、６２ａ、６２ｂ…保護フィルム、２３ａ、２３ｂ、
６３ａ、６３ｂ…キャリアフィルム、２４ａ、２４ｂ、
６４ａ、６４ｂ…レジストフィルム、２６、６６…コア
材、２７ａ、２７ｂ、６７ａ、６７ｂ…銅箔、４３ａ、
４３ｂ…ドライフィルム切断部、４４、４６…ワーク搬
送部、４４ａ、４４ｂ…ローラーコンベア、４７…キャ
リアフィルム剥離部、５３ａ、５３ｂ…ナーリングロー
ラー、５５…回収容器。

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レジストフィルムと、前記レジストフィル
   ムの第１面上に積層されたキャリアフィルムとを含むド
   ライフィルムを、前記レジストフィルムの第２面がワー
   クと接するように、前記ワーク上に貼付するドライフィ
   ルム供給手段と、 分断されていない前記ドライフィルムの一部であって、
   前記ワーク上の前記ドライフィルムに、所定のマスクパ
   ターンを転写する露光手段と、 前記ワーク上の前記ドライフィルムのうち、前記キャリ
   アフィルムを一端から巻き取り、前記キャリアフィルム
   を前記ワーク上の前記レジストフィルムから剥離するキ
   ャリアフィルム剥離手段とを有するプリント配線板の製
   造装置。
2. 【請求項２】前記ドライフィルム供給手段と前記露光手
   段との間に形成された第１のドライフィルム蓄積手段を
   さらに有し、 前記第１のドライフィルム蓄積手段は、前記ドライフィ
   ルムと接触する少なくとも１つの第１の接触部分と、 前記第１の接触部分を移動させ、前記第１の接触部分の
   移動量に応じて、前記ドライフィルム供給手段と前記露
   光手段との間に配置される前記ドライフィルムの長さを
   変化させる第１の接触部分移動手段とを含む請求項１記
   載のプリント配線板の製造装置。
3. 【請求項３】前記露光手段と前記キャリアフィルム剥離
   手段との間に形成された第２のドライフィルム蓄積手段
   をさらに有し、 前記第２のドライフィルム蓄積手段は、前記ドライフィ
   ルムと接触する少なくとも１つの第２の接触部分と、 前記第２の接触部分を移動させ、前記第２の接触部分の
   移動量に応じて、前記露光手段と前記キャリアフィルム
   剥離手段との間に配置される前記ドライフィルムの長さ
   を変化させる第２の接触部分移動手段とを含む請求項１
   記載のプリント配線板の製造装置。
4. 【請求項４】前記キャリアフィルム剥離手段は、前記ワ
   ークおよび前記ワーク上に積層された前記ドライフィル
   ムに押圧するローラーと、 前記ローラーを通過した前記ドライフィルムのうち、前
   記キャリアフィルムを巻き取る巻き取りリールとを含む
   請求項１記載のプリント配線板の製造装置。
5. 【請求項５】前記ドライフィルムは、前記第２面上に積
   層された保護フィルムをさらに有し、 前記ドライフィルム供給手段は、前記保護フィルムを前
   記第２面から剥離する保護フィルム剥離手段をさらに有
   する請求項１記載のプリント配線板の製造装置。
6. 【請求項６】前記ワークの両面に、ほぼ同時にそれぞれ
   前記ドライフィルムを供給することが可能である１対の
   前記ドライフィルム供給手段を有する請求項１記載のプ
   リント配線板の製造装置。
7. 【請求項７】前記ワークの両面に、ほぼ同時にそれぞれ
   露光を行うことが可能である１対の前記露光手段を有す
   る請求項６記載のプリント配線板の製造装置。
8. 【請求項８】前記ワークの両面から、ほぼ同時にそれぞ
   れ前記キャリアフィルムを剥離することが可能である１
   対の前記キャリアフィルム剥離手段を有する請求項７記
   載のプリント配線板の製造装置。
9. 【請求項９】レジストフィルムと、前記レジストフィル
   ムの第１面上に積層されたキャリアフィルムとを含むド
   ライフィルムを、前記レジストフィルムの第２面がワー
   クと接するように、前記ワーク上に貼付する工程と、 前記ドライフィルムを分断せずに、前記ワーク上の前記
   ドライフィルムに露光を行い、所定のマスクパターンを
   転写する工程と、 前記ワーク上の前記ドライフィルムのうち、前記キャリ
   アフィルムを一端から巻き取り、前記キャリアフィルム
   を前記ワーク上の前記レジストフィルムから剥離する工
   程とを有するプリント配線板の製造方法。
10. 【請求項１０】前記ワーク上への前記ドライフィルムの
    貼付と、前記キャリアフィルムの巻き取りを一定の速度
    で連続して行いながら、前記ドライフィルムの一部を周
    期的に蓄積させることにより、前記露光を間欠的に行う
    請求項９記載のプリント配線板の製造方法。
11. 【請求項１１】前記露光を間欠的に行いながら、前記ド
    ライフィルムの一部を周期的に蓄積させることにより、
    前記キャリアフィルムの巻き取りおよび剥離を一定の速
    度で連続して行う請求項９記載のプリント配線板の製造
    方法。
12. 【請求項１２】前記ドライフィルムは、前記第２面上に
    積層された保護フィルムをさらに有し、 前記ドライフィルムを前記ワーク上に貼付する前に、前
    記保護フィルムを前記第２面から剥離する工程をさらに
    有する請求項９記載のプリント配線板の製造方法。
13. 【請求項１３】前記ドライフィルムを前記ワーク上に貼
    付する工程において、前記ワークの両面に、ほぼ同時に
    それぞれ前記ドライフィルムを貼付する請求項９記載の
    プリント配線板の製造方法。
14. 【請求項１４】前記露光工程において、前記ワークの両
    面に、ほぼ同時にそれぞれ露光を行う請求項１３記載の
    プリント配線板の製造方法。
15. 【請求項１５】前記キャリアフィルムを剥離する工程に
    おいて、前記ワークの両面から、ほぼ同時にそれぞれ前
    記キャリアフィルムを剥離する請求項１４記載のプリン
    ト配線板の製造方法。