JP2002295397A - 追加ガス吸入口を有するガス摩擦ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガス摩擦ポンプにおいて、従来技術に対し
て、より高い効率を有し且つ目的とする効果をより迅速
に得ることを可能にするガス吸入口をロータ・ディスク
の高さに設ける。 【解決手段】 吸込開口（２）およびガス流出開口
（３）が設けられているガス摩擦ポンプのハウジング
（１）に、他のガス吸入口（１０）が存在する。このガ
ス吸入口はスロットの形を有し、およびその長手方向に
おいて回転構造部分の外縁の一部にわたり伸長するよう
に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は請求項１の上位概念
に記載の、追加ガス吸入口を有するガス摩擦ポンプに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガス摩擦ポンプのハウジング内に固定お
よび回転ポンプ作用構造部分が設けられている。ターボ
分子ポンプのこの例においては、これらの固定および回
転ポンプ作用構造部分は羽根が設けられているディスク
から構成され、これらのディスクは交互に相前後して配
置されている。これらのディスクの共同作用によりポン
プ効果が発生される。高真空側の吸込開口を通過してポ
ンプ内に到達したガスは圧縮され且つ背圧側に供給され
る。ここから、内部および外部ポンプ段を通過してガス
をさらに大気圧まで圧縮可能である。外部ポンプ系は背
圧接続口を介して接続可能である。

【０００３】主吸込開口のほかにさらに１つまたは複数
の追加ガス吸入口を設けることには種々の理由が存在す
る。以下にいくつかの例を記載する。 （１）例えばターボ分子ポンプの運転が休止される場
合、特に炭化水素および水分による汚染を防止し且つ再
起動時にポンプの始動時間を短縮するために、ポンプを
ドライ・ガスで充満することが有効である。これは、ポ
ンプの周囲に設けられ且つ２つのロータ・ディスク間に
ガス流れを供給する弁を介して行われることが好ましい
（ドイツ特許公開第１８０９９０２号、ドイツ特許公開
第４４２７１５３号）。

【０００４】（２）ターボ分子ポンプの運転中に洗浄ガ
スを吸入することがポンプ効率に対して有利である（ド
イツ特許公開第１８０９９０２号、ドイツ特許公開第４
４２７１５３号）。

【０００５】（３）運転中に選択ガスが吸入されること
がポンプの冷却のために有効である（ドイツ特許公開第
１９５０８５６６号）。 （４）圧力がより高いある位置から最終ディスクの高さ
の高真空側にガス流れの一部を供給することにより、タ
ーボ分子ポンプの体積流量を調節することができる（ド
イツ特許公開第１９７０４２３４号）。

【０００６】（５）漏れ検出装置または分析装置に使用
されるターボ分子ポンプには、供給すべきガスをロータ
・ディスク間に導くガス吸入口が一般には複数の位置に
設けられている（ドイツ特許公開第１６４８６４８号、
ドイツ特許公開第４３３１５８９号）。

【０００７】これらのすべての装置において、ガス吸入
口はポンプのハウジング内の穴を介して行われる。この
穴からロータ・ディスクの間へガス噴流が半径方向に形
成される。噴流がさらにその先に供給されるためには、
噴流は９０°転向されなければならない。従来技術によ
るこのような配置は、ガス吸入口に高い流動抵抗を発生
し、これにより意図する作用が妨害され且つ意図する作
用は時間的に遅れてはじめて形成される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ガス摩擦ポンプにおい
て、従来技術に対して、より高い効率を有し且つ目的と
する効果をより迅速に得ることを可能にするガス吸入口
をロータ・ディスクの高さに設けることが本発明の課題
である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この課題は請求項１の特
徴項により解決される。本発明の配置により、追加ガス
吸入口装置の流動特性が著しく改善される。吸入孔によ
り絞られた噴流がロータ・ディスクに衝突し且つそこで
転向されることがもはや行われないので、これにより流
動抵抗が低減される。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１により、本発明をターボ分子
ポンプの例で詳細に説明する。図１は、吸込開口２およ
びガス流出開口３を有するハウジング１を備えたターボ
分子ポンプを示す。ロータ・ディスク４およびステータ
・ディスク６に、このターボ分子ポンプの場合において
はディスク面に対し斜め方向に配置された羽根８を有す
る羽根リングからなるポンプ作用構造が設けられてい
る。スロットの形の追加ガス吸入口１０はハウジングの
周囲に設けられている。この吸入口はその長手方向にお
いてロータ・ディスク４の外縁の一部にわたり伸長す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ターボ分子ポンプの例で示した本発明によるガ
ス摩擦ポンプの部分縦断面側面図である。

【符号の説明】

１ ハウジング ２ 吸込開口 ３ ガス流出開口 ４ 回転構造部分（ロータ・ディスク） ６ 固定構造部分（ステータ・ディスク） ８ 羽根 １０ 追加ガス吸入口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H031 DA02 EA00 FA31 FA37 3H034 AA02 BB01 BB08 BB17 CC03 DD01 DD20 EE18

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガスを供給し且つ圧力比を保持するため
   のポンプ作用構造が設けられ、この場合、ハウジングが
   吸込開口（２）およびガス流出開口（３）並びに追加ガ
   ス吸入口（１０）を有する、ハウジング（１）内に回転
   構造部分（４）および固定構造部分（６）を備えたガス
   摩擦ポンプにおいて、 追加ガス吸入口（１０）がスロットの形に形成され、ス
   ロットがハウジング（１）において周方向に設けられ且
   つその長手方向範囲において回転構造部分の外縁の一部
   にわたり伸長することを特徴とする追加ガス吸入口を有
   するガス摩擦ポンプ。