EP1249614A1 - Gasreibungspumpe mit zusätzlichem Gaseinlass - Google Patents

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EP1249614A1
EP1249614A1 EP02002738A EP02002738A EP1249614A1 EP 1249614 A1 EP1249614 A1 EP 1249614A1 EP 02002738 A EP02002738 A EP 02002738A EP 02002738 A EP02002738 A EP 02002738A EP 1249614 A1 EP1249614 A1 EP 1249614A1
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EP
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gas
pump
gas inlet
housing
friction pump
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EP02002738A
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Armin Conrad
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps

Definitions

  • the invention relates to a gas friction pump with an additional gas inlet according to the preamble of the first claim.
  • the invention has for its object a gas inlet on a Imagine gas friction pump at the height of the rotor disks, which opposite the prior art has a higher effectiveness and a faster Enables the desired effects to occur.
  • the flow conditions of the additional gas inlet arrangement significantly improved.
  • the flow resistance is thereby reduced since there is no longer a tightly bundled one through the inlet bore Gas jet hits the rotor disks and has to be redirected there.
  • the figure is intended to illustrate the invention using the example of a turbomolecular pump are explained. It shows a turbomolecular pump with the housing 1, which has a suction opening 2 and a gas outlet opening 3.
  • the rotor 4 and the Stator disks 6 have pump-active structures, which in the present case are one Turbomolecular pump made of blade rings with an angle to the disc plane employed blades 8 exist.
  • An additional gas inlet 10 in The shape of an elongated hole is attached to the circumference of the housing. This Gas inlet extends in its longitudinal direction over part of the outer one Edge of a rotor disk 4.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

Am Gehäuse (1) einer Gasreibungspumpe, welches mit einer Ansaugöffnung (2) und einer Gasaustrittsöffnung (3) versehen ist, befindet sich ein weiterer Gaseinlass (10). Dieser Gaseinlass weist die Form eines Langloches auf und ist so angebracht, dass er sich in seiner Längsrichtung über einen Teil des äußeren Randes eines rotierenden Bauteiles erstreckt. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Gasreibungspumpe mit zusätzlichem Gaseinlass nach dem Oberbegriff des 1. Patentanspruches.
Im Gehäuse einer Gasreibungspumpe sind feststehende und rotierende pumpaktive Bauteile untergebracht. Diese bestehen im vorliegenden Beispiel einer Turbomolekularpumpe aus mit Schaufeln versehenen Scheiben, die abwechselnd hintereinander angeordnet sind. Durch das Zusammenwirken dieser Scheiben wird der Pumpeffekt erzeugt. Gase, welche durch die Ansaugöffnung auf der Hochvakuumseite in die Pumpe gelangen, werden verdichtet und zur Vorvakuumseite gefördert. Von hier aus können sie durch interne oder externe Pumpstufen weiter bis Atmosphärendruck verdichtet werden. Über einen Vorvakuumanschluss können externe Pumpsysteme angeschlossen werden.
Es gibt unterschiedliche Gründe, neben der Hauptansaugöffnung noch einen oder mehrere zusätzliche Gaseinlässe an der Pumpe anzubringen. Im Folgenden einige Beispiele:
  • Wird zum Beispiel eine Turbomolekularpumpe außer Betrieb gesetzt, so ist es sinnvoll, die Pumpe mit trockenem Gas zu fluten, um Verunreinigungen, insbesondere durch Kohlenwasserstoffe und Wasser, zu verhindern und die Pumpzeit beim Wiedereinschalten zu verkürzen. Dies geschieht vorzugsweise über ein Ventil, welches am Umfang der Pumpe angebracht ist und den Gasstrom zwischen zwei Rotorscheiben führt (DE-A 18 09 902, DE-A 44 27 153).
  • Während des Betriebes einer Turbomolekularpumpe kann es für den Pumpeffekt von Vorteil sein, ein Spülgas einzulassen (DE-A 18 09 902, DE-A 44 27 153).
  • Ausgewählte Gase können wirkungsvoll zum Kühlen der Pumpe während des Betriebes eingelassen werden (DE-A 195 08 566).
  • Durch Zuführung eines Teils des Gasstromes aus einem Gebiet höheren Druckes auf die Hochvakuumseite in der Höhe der letzten Scheiben kann das Saugvermögen einer Turbomolekularpumpe beeinflusst werden (DE-A 197 04 234)
  • Turbomolekularpumpen, welche an Lecksuchanlagen oder Analysensystemen eingesetzt werden, sind in der Regel an mehreren Stellen mit Gaseinlässen versehen, welche das zu zuführende Gas zwischen die Rotorscheiben leiten (DE-A 16 48 648, DE-A 43 31 589).
Bei allen diesen Einrichtungen erfolgt der Gaseinlass über Bohrungen im Gehäuse der Pumpe. Daraus resultiert ein Gasstrahl in radialer Richtung zwischen Rotorscheiben. Zur Weiterförderung muss der Strahl um 90° umgelenkt werden. Solche, dem Stand der Technik entsprechenden Anordnungen stellen dem Solche, dem Stand der Technik entsprechenden Anordnungen stellen dem Gaseinlass einen hohen Strömungswiderstand entgegen, wodurch die erzielte Wirkung behindert wird und nur mit Zeitverzögerung einsetzen kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Gaseinlass an einer Gasreibungspumpe in der Höhe der Rotorscheiben vorzustellen, welcher gegenüber dem Stand der Technik eine höhere Wirksamkeit aufweist und ein schnelleres Eintreten der angestrebten Effekte ermöglicht.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Teile des Schutzanspruches gelöst.
Durch die erfindungsgemäße Anordnung werden die Strömungsverhältnisse der zusätzlichen Gaseinlassanordnung erheblich verbessert. Der Strömungswiderstand wird dadurch reduziert, da nicht mehr ein durch die Einlassbohrung eng gebündelter Gasstrahl die Rotorscheiben trifft und dort umgelenkt werden muss.
Anhand der Figur soll die Erfindung am Beispiel einer Turbomolekularpumpe näher erläutert werden. Sie zeigt eine Turbomolekularpumpe mit dem Gehäuse 1, welches eine Ansaugöffnung 2 und eine Gasaustrittsöffnung 3 aufweist. Die Rotor- 4 und die Statorscheiben 6 sind mit pumpaktiven Strukturen, die im vorliegenden Falle einer Turbomolekularpumpe aus Schaufelkränzen mit schräg zur Scheibenebene angestellten Schaufeln 8 bestehen, versehen. Ein zusätzlicher Gaseinlass 10 in Form eines Langloches ist am Umfang des Gehäuses angebracht. Dieser Gaseinlass erstreckt sich in seiner Längsrichtung über einen Teil des äußeren Randes einer Rotorscheibe 4.

Claims (1)

  1. Gasreibungspumpe mit in einem Gehäuse (1) untergebrachten rotierenden (4) und feststehenden Bauteilen (6), die mit pumpaktiven Strukturen zur Förderung von Gasen und zur Aufrechterhaltung eines Druckverhältnis versehen sind, wobei das Gehäuse eine Ansaugöffnung (2) und eine Gasaustrittsöffnung (3) sowie einen zusätzlichen Gaseinlass (10) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der zusätzliche Gaseinlass (10) in der Form eines Langloches ausgebildet ist, welches in Umfangsrichtung am Gehäuse (1) angebracht ist und sich in seiner Längsausdehnung über einen Teil des äußeren Randes eines rotierenden Bauteiles erstreckt.
EP02002738A 2001-03-10 2002-02-07 Gasreibungspumpe mit zusätzlichem Gaseinlass Expired - Lifetime EP1249614B1 (de)

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