JP2002294356A - シャワープレートの製造方法 - Google Patents
シャワープレートの製造方法Info
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- JP2002294356A JP2002294356A JP2001094453A JP2001094453A JP2002294356A JP 2002294356 A JP2002294356 A JP 2002294356A JP 2001094453 A JP2001094453 A JP 2001094453A JP 2001094453 A JP2001094453 A JP 2001094453A JP 2002294356 A JP2002294356 A JP 2002294356A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小径の穴を綺麗に形成することのできる金属
−セラミックス複合材料からなるシャワープレートの製
造方法を提供すること。 【解決手段】 強化材であるセラミックス粉末またはセ
ラミックス繊維で穴を有するプリフォームを形成し、そ
のプリフォームの穴にステンレスまたはマシナブルセラ
ミックスを挿入し、そのプリフォームに窒素中で７００
〜９００℃の温度で溶融したアルミニウムまたはアルミ
ニウム合金を非加圧で浸透させて複合材料を作製した
後、そのステンレスまたはマシナブルセラミックスの部
分に穴を開けることとしたシャワープレートの製造方
法。
−セラミックス複合材料からなるシャワープレートの製
造方法を提供すること。 【解決手段】 強化材であるセラミックス粉末またはセ
ラミックス繊維で穴を有するプリフォームを形成し、そ
のプリフォームの穴にステンレスまたはマシナブルセラ
ミックスを挿入し、そのプリフォームに窒素中で７００
〜９００℃の温度で溶融したアルミニウムまたはアルミ
ニウム合金を非加圧で浸透させて複合材料を作製した
後、そのステンレスまたはマシナブルセラミックスの部
分に穴を開けることとしたシャワープレートの製造方
法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シャワープレート
の製造方法に関し、特に半導体、液晶などの製造装置に
用いる金属−セラミックス複合材料からなるシャワープ
レートの製造方法に関する。
の製造方法に関し、特に半導体、液晶などの製造装置に
用いる金属−セラミックス複合材料からなるシャワープ
レートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、半導体製造装置や液晶製造装置等
にセラミックス粉末またはセラミックス繊維を強化材と
し、アルミニウムまたはアルミニウム合金をマトリック
スとする金属−セラミックス複合材料が使われ始められ
ている。
にセラミックス粉末またはセラミックス繊維を強化材と
し、アルミニウムまたはアルミニウム合金をマトリック
スとする金属−セラミックス複合材料が使われ始められ
ている。
【０００３】この複合材料の製造方法、特に金属として
アルミニウムをマトリックスとする複合材料の製造方法
としては、粉末冶金法、高圧鋳造法、真空鋳造法等の方
法が従来から知られている。しかし、これらの方法で
は、強化材であるセラミックスの含有率を高くできな
い、あるいは大型の加圧装置が必要である、もしくはニ
アネットの成形が困難である、コストが極めて高いなど
の理由によりいずれも満足できるものではなかった。
アルミニウムをマトリックスとする複合材料の製造方法
としては、粉末冶金法、高圧鋳造法、真空鋳造法等の方
法が従来から知られている。しかし、これらの方法で
は、強化材であるセラミックスの含有率を高くできな
い、あるいは大型の加圧装置が必要である、もしくはニ
アネットの成形が困難である、コストが極めて高いなど
の理由によりいずれも満足できるものではなかった。
【０００４】そこで最近では、上記問題を解決する製造
方法として、米国ランクサイド社が開発した非加圧金属
浸透法（ＰｒｉｍｅｘTM）がある。この方法は、ＳｉＣ
やＡｌ2Ｏ3などのセラミックス粉末で形成されたプリフ
ォームにＭｇを含むアルミニウム合金を接触させ、これ
をＮ2雰囲気炉中で７００〜９００℃の温度に加熱して
溶融したアルミニウム合金を浸透させる方法である。こ
れは、Ｍｇの化学反応を利用してセラミックス粉末と溶
融金属との濡れ性を改善し、機械的な加圧を行わなくて
もプリフォーム中に浸透できるという特徴があるので、
加圧装置が不要な優れた方法である。そして、この複合
材料を用いたシャワープレートが特開平１２−１０９３
７２号公報で開示されている。
方法として、米国ランクサイド社が開発した非加圧金属
浸透法（ＰｒｉｍｅｘTM）がある。この方法は、ＳｉＣ
やＡｌ2Ｏ3などのセラミックス粉末で形成されたプリフ
ォームにＭｇを含むアルミニウム合金を接触させ、これ
をＮ2雰囲気炉中で７００〜９００℃の温度に加熱して
溶融したアルミニウム合金を浸透させる方法である。こ
れは、Ｍｇの化学反応を利用してセラミックス粉末と溶
融金属との濡れ性を改善し、機械的な加圧を行わなくて
もプリフォーム中に浸透できるという特徴があるので、
加圧装置が不要な優れた方法である。そして、この複合
材料を用いたシャワープレートが特開平１２−１０９３
７２号公報で開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このシ
ャワープレートは、その作製方法が、穴を有するプリフ
ォームにアルミニウム合金を浸透させて穴の部分にもア
ルミニウム合金を浸透させ、その穴に浸透されたアルミ
ニウム合金に穴を開ける方法であるため、浸透されたア
ルミニウム合金が緻密でなく、穴の内面が欠けたり、ポ
アがあったりして小径の穴を綺麗に形成することが難し
いという問題があった。
ャワープレートは、その作製方法が、穴を有するプリフ
ォームにアルミニウム合金を浸透させて穴の部分にもア
ルミニウム合金を浸透させ、その穴に浸透されたアルミ
ニウム合金に穴を開ける方法であるため、浸透されたア
ルミニウム合金が緻密でなく、穴の内面が欠けたり、ポ
アがあったりして小径の穴を綺麗に形成することが難し
いという問題があった。
【０００６】本発明は、上述したシャワープレートの製
造方法が有する課題に鑑みなされたものであって、その
目的は、小径の穴を綺麗に形成することのできる金属−
セラミックス複合材料からなるシャワープレートの製造
方法を提供することにある。
造方法が有する課題に鑑みなされたものであって、その
目的は、小径の穴を綺麗に形成することのできる金属−
セラミックス複合材料からなるシャワープレートの製造
方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するため鋭意研究した結果、ステンレスまたはマ
シナブルセラミックスを埋め込んだ複合材料を作製し、
そのステンレスまたはマシナブルセラミックスの部分に
穴を開ければ、小径の穴を綺麗に形成することができる
との知見を得て本発明を完成するに至った。
を達成するため鋭意研究した結果、ステンレスまたはマ
シナブルセラミックスを埋め込んだ複合材料を作製し、
そのステンレスまたはマシナブルセラミックスの部分に
穴を開ければ、小径の穴を綺麗に形成することができる
との知見を得て本発明を完成するに至った。
【０００８】即ち、本発明は、（１）強化材であるセラ
ミックス粉末またはセラミックス繊維で穴を有するプリ
フォームを形成し、そのプリフォームの穴にステンレス
またはマシナブルセラミックスを挿入し、そのプリフォ
ームに窒素中で７００〜９００℃の温度で溶融したアル
ミニウムまたはアルミニウム合金を非加圧で浸透させて
複合材料を作製した後、そのステンレスまたはマシナブ
ルセラミックスの部分に穴を開けることを特徴とするシ
ャワープレートの製造方法（請求項１）とし、（２）強
化材であるセラミックス粉末またはセラミックス繊維で
穴を有するプリフォームを形成し、そのプリフォームに
窒素中で７００〜９００℃の温度で溶融したアルミニウ
ムまたはアルミニウム合金を非加圧で浸透させて複合材
料を作製し、その複合材料のプリフォームの穴に相当す
る部分に穴に開け、その穴にステンレスまたはマシナブ
ルセラミックスを挿入し、そのステンレスまたはマシナ
ブルセラミックスの周囲の隙間に溶融したアルミニウム
またはアルミニウム合金を流し込んだ後、そのステンレ
スまたはマシナブルセラミックスの部分に穴を開けるこ
とを特徴とするシャワープレートの製造方法（請求項
２）とし、（３）前記ステンレスまたはマシナブルセラ
ミックスの部分に開ける穴の大きさが、径で１ｍｍ以下
であることを特徴とする請求項１または２記載のシャワ
ープレートの製造方法（請求項３）とすることを要旨と
する。以下さらに詳細に説明する。
ミックス粉末またはセラミックス繊維で穴を有するプリ
フォームを形成し、そのプリフォームの穴にステンレス
またはマシナブルセラミックスを挿入し、そのプリフォ
ームに窒素中で７００〜９００℃の温度で溶融したアル
ミニウムまたはアルミニウム合金を非加圧で浸透させて
複合材料を作製した後、そのステンレスまたはマシナブ
ルセラミックスの部分に穴を開けることを特徴とするシ
ャワープレートの製造方法（請求項１）とし、（２）強
化材であるセラミックス粉末またはセラミックス繊維で
穴を有するプリフォームを形成し、そのプリフォームに
窒素中で７００〜９００℃の温度で溶融したアルミニウ
ムまたはアルミニウム合金を非加圧で浸透させて複合材
料を作製し、その複合材料のプリフォームの穴に相当す
る部分に穴に開け、その穴にステンレスまたはマシナブ
ルセラミックスを挿入し、そのステンレスまたはマシナ
ブルセラミックスの周囲の隙間に溶融したアルミニウム
またはアルミニウム合金を流し込んだ後、そのステンレ
スまたはマシナブルセラミックスの部分に穴を開けるこ
とを特徴とするシャワープレートの製造方法（請求項
２）とし、（３）前記ステンレスまたはマシナブルセラ
ミックスの部分に開ける穴の大きさが、径で１ｍｍ以下
であることを特徴とする請求項１または２記載のシャワ
ープレートの製造方法（請求項３）とすることを要旨と
する。以下さらに詳細に説明する。
【０００９】上記で述べたように、本発明の製造方法と
して、先ず穴を有するプリフォームを作製し、そのプリ
フォームの穴にステンレスまたはマシナブルセラミック
スを挿入し、そのプリフォームに窒素中で７００〜９０
０℃の温度で溶融したアルミニウムまたはアルミニウム
合金を非加圧で浸透させることにより、緻密なステンレ
スまたはマシナブルセラミックスが埋め込まれた複合材
料が作製され、そのステンレスまたはマシナブルセラミ
ックスの部分にドリルなどで穴を開けることにより、小
径の穴を綺麗に形成することができるシャワープレート
の製造方法となる。
して、先ず穴を有するプリフォームを作製し、そのプリ
フォームの穴にステンレスまたはマシナブルセラミック
スを挿入し、そのプリフォームに窒素中で７００〜９０
０℃の温度で溶融したアルミニウムまたはアルミニウム
合金を非加圧で浸透させることにより、緻密なステンレ
スまたはマシナブルセラミックスが埋め込まれた複合材
料が作製され、そのステンレスまたはマシナブルセラミ
ックスの部分にドリルなどで穴を開けることにより、小
径の穴を綺麗に形成することができるシャワープレート
の製造方法となる。
【００１０】また、別の製造方法として、穴を有するプ
リフォームを形成し、そのプリフォームにアルミニウム
またはアルミニウム合金を浸透させて複合材料を作製す
ることにより、穴を有する複合材料、あるいは穴にアル
ミニウムまたはアルミニウム合金が浸透された複合材料
が作製され、穴を有する場合には、その穴をドリル等で
綺麗で正確な穴とし、プリフォームの穴にアルミニウム
またはアルミニウム合金が浸透してきた場合には、穴に
相当する金属部分にドリル等で穴を開けることにより、
穴を有する複合材料となり、その穴にステンレスまたは
マシナブルセラミックスを挿入し、そのステンレスまた
はマシナブルセラミックスの周囲の隙間に溶融したアル
ミニウムまたはアルミニウム合金を流し込むことによ
り、前記したと同様緻密なステンレスまたはマシナブル
セラミックスが埋め込まれた複合材料が作製され、その
ステンレスまたはマシナブルセラミックスの部分にドリ
ルなどで穴を開けることにより、前記したと同様小径の
穴を綺麗に形成することができるシャワープレートの製
造方法となる。
リフォームを形成し、そのプリフォームにアルミニウム
またはアルミニウム合金を浸透させて複合材料を作製す
ることにより、穴を有する複合材料、あるいは穴にアル
ミニウムまたはアルミニウム合金が浸透された複合材料
が作製され、穴を有する場合には、その穴をドリル等で
綺麗で正確な穴とし、プリフォームの穴にアルミニウム
またはアルミニウム合金が浸透してきた場合には、穴に
相当する金属部分にドリル等で穴を開けることにより、
穴を有する複合材料となり、その穴にステンレスまたは
マシナブルセラミックスを挿入し、そのステンレスまた
はマシナブルセラミックスの周囲の隙間に溶融したアル
ミニウムまたはアルミニウム合金を流し込むことによ
り、前記したと同様緻密なステンレスまたはマシナブル
セラミックスが埋め込まれた複合材料が作製され、その
ステンレスまたはマシナブルセラミックスの部分にドリ
ルなどで穴を開けることにより、前記したと同様小径の
穴を綺麗に形成することができるシャワープレートの製
造方法となる。
【００１１】そのステンレスまたはマシナブルセラミッ
クスの部分に開ける穴の大きさとしては、径で１ｍｍ以
下とした。このような極めて細い穴でも、穴を開ける部
分を緻密なステンレスまたはマシナブルセラミックスと
することにより、ドリル等で綺麗に多数形成することが
できる。
クスの部分に開ける穴の大きさとしては、径で１ｍｍ以
下とした。このような極めて細い穴でも、穴を開ける部
分を緻密なステンレスまたはマシナブルセラミックスと
することにより、ドリル等で綺麗に多数形成することが
できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の複合材料の製造方法をさ
らに詳しく述べると、先ず強化材としてセラミックス粉
末またはセラミックス繊維としてＳｉＣ、Ａｌ2Ｏ3、Ａ
ｌＮなどのセラミックス粉末またはセラミックス繊維を
用意し、さらに、埋め込むステンレスまたはマシナブル
セラミックスも用意する。一方、マトリックスとする金
属としてＭｇを含むアルミニウム合金のインゴットも用
意する。
らに詳しく述べると、先ず強化材としてセラミックス粉
末またはセラミックス繊維としてＳｉＣ、Ａｌ2Ｏ3、Ａ
ｌＮなどのセラミックス粉末またはセラミックス繊維を
用意し、さらに、埋め込むステンレスまたはマシナブル
セラミックスも用意する。一方、マトリックスとする金
属としてＭｇを含むアルミニウム合金のインゴットも用
意する。
【００１３】用意したセラミックス粉末またはセラミッ
クス繊維で穴を有するプリフォームを形成する。穴の大
きさはプリフォームの穴位置精度を考慮して５ｍｍ程度
でよい。得られたプリフォームの穴に用意したステンレ
スまたはマシナブルセラミックスを挿入し、そのプリフ
ォームに用意したアルミニウム合金のインゴットを接触
させ、それを窒素雰囲気中で７００〜９００℃の温度で
溶融したアルミニウム合金をプリフォーム中に非加圧で
浸透させてステンレスまたはマシナブルセラミックスが
埋め込まれた複合材料を作製する。
クス繊維で穴を有するプリフォームを形成する。穴の大
きさはプリフォームの穴位置精度を考慮して５ｍｍ程度
でよい。得られたプリフォームの穴に用意したステンレ
スまたはマシナブルセラミックスを挿入し、そのプリフ
ォームに用意したアルミニウム合金のインゴットを接触
させ、それを窒素雰囲気中で７００〜９００℃の温度で
溶融したアルミニウム合金をプリフォーム中に非加圧で
浸透させてステンレスまたはマシナブルセラミックスが
埋め込まれた複合材料を作製する。
【００１４】一方、穴を有する複合材料を作製する場合
には、同様に穴を有するプリフォームを形成し、そのプ
リフォーム中に溶融したアルミニウム合金を非加圧で浸
透させて複合材料を作製し、その複合材料の穴部または
アルミニウム合金が浸透されたプリフォームの穴の部分
にドリル等で綺麗で正確な穴を開けることにより、穴を
有する複合材料を作製する。
には、同様に穴を有するプリフォームを形成し、そのプ
リフォーム中に溶融したアルミニウム合金を非加圧で浸
透させて複合材料を作製し、その複合材料の穴部または
アルミニウム合金が浸透されたプリフォームの穴の部分
にドリル等で綺麗で正確な穴を開けることにより、穴を
有する複合材料を作製する。
【００１５】得られた複合材料の穴に用意したステンレ
スまたはマシナブルセラミックスを挿入し、そのステン
レスまたはマシナブルセラミックスの周囲の隙間に溶融
したアルミニウム合金を流し込んでステンレスまたはマ
シナブルセラミックスを埋め込んだ複合材料を作製す
る。ステンレスまたはマシナブルセラミックスの種類は
問わない。ステンレスまたはマシナブルセラミックスの
周囲の隙間は０．５ｍｍ程度の隙間でよい。ステンレス
またはマシナブルセラミックスの周囲の隙間が広くなっ
た場合には、その隙間にセラミックス粉末を充填し、そ
のセラミックス粉末にアルミニウム合金を浸透させても
よい。得られた複合材料のステンレスまたはマシナブル
セラミックスの部分にドリル等で１ｍｍ以下の貫通穴を
形成することにより、シャワープレートが作製される。
スまたはマシナブルセラミックスを挿入し、そのステン
レスまたはマシナブルセラミックスの周囲の隙間に溶融
したアルミニウム合金を流し込んでステンレスまたはマ
シナブルセラミックスを埋め込んだ複合材料を作製す
る。ステンレスまたはマシナブルセラミックスの種類は
問わない。ステンレスまたはマシナブルセラミックスの
周囲の隙間は０．５ｍｍ程度の隙間でよい。ステンレス
またはマシナブルセラミックスの周囲の隙間が広くなっ
た場合には、その隙間にセラミックス粉末を充填し、そ
のセラミックス粉末にアルミニウム合金を浸透させても
よい。得られた複合材料のステンレスまたはマシナブル
セラミックスの部分にドリル等で１ｍｍ以下の貫通穴を
形成することにより、シャワープレートが作製される。
【００１６】以上の方法でシャワープレートを作製すれ
ば、小径で綺麗に形成された穴を有する複合材料からな
るシャワープレートが得られる。
ば、小径で綺麗に形成された穴を有する複合材料からな
るシャワープレートが得られる。
【００１７】
【実施例】以下本発明の実施例を比較例と共に具体的に
挙げ、本発明をより詳細に説明する。
挙げ、本発明をより詳細に説明する。
【００１８】（実施例１） （１）シャワープレートの作製 強化材として＃１８０（平均粒径６６μｍ）の市販Ｓｉ
Ｃ粉末７０重量部と＃５００（平均粒径２５μｍ）の市
販ＳｉＣ粉末３０重量部を用い、それにバインダーとし
てコロイダルシリカ液をシリカ固形分が２重量部となる
量を添加し、それにさらにイオン交換水を２４重量部加
え、ポットミルで１２時間混合した。
Ｃ粉末７０重量部と＃５００（平均粒径２５μｍ）の市
販ＳｉＣ粉末３０重量部を用い、それにバインダーとし
てコロイダルシリカ液をシリカ固形分が２重量部となる
量を添加し、それにさらにイオン交換水を２４重量部加
え、ポットミルで１２時間混合した。
【００１９】得られたスラリーを６ｍｍの貫通穴を形成
できる２００×２００×２０ｍｍの成形体が得られるゴ
ム型に流し込み、それを２４時間静置し、ＳｉＣ粉末を
沈殿させ、上澄み液を布などで除去した後、それを冷凍
室に入れ、３０時間冷凍させて脱型した。得られた成形
体を１０００℃の温度で焼成してＳｉＣ粉末の充填率が
７０体積％の穴を有するプリフォームを形成した。
できる２００×２００×２０ｍｍの成形体が得られるゴ
ム型に流し込み、それを２４時間静置し、ＳｉＣ粉末を
沈殿させ、上澄み液を布などで除去した後、それを冷凍
室に入れ、３０時間冷凍させて脱型した。得られた成形
体を１０００℃の温度で焼成してＳｉＣ粉末の充填率が
７０体積％の穴を有するプリフォームを形成した。
【００２０】得られたプリフォームの穴に径が５ｍｍの
ステンレス（ＳＵＳ４４０Ｃ）の棒を挿入し、そのプリ
フォームにＡｌ−１２Ｓｉ−３Ｍｇ組成のアルミニウム
合金のインゴットを接触させ、窒素雰囲気中で８２５℃
の温度で溶融したアルミニウム合金を２４時間プリフォ
ーム中に非加圧で浸透させた後、冷却してステンレスを
埋め込んだ複合材料を作製した。得られた複合材料のス
テンレス部分にドリルで１ｍｍの穴を１４０個開けてシ
ャワープレートを作製した。
ステンレス（ＳＵＳ４４０Ｃ）の棒を挿入し、そのプリ
フォームにＡｌ−１２Ｓｉ−３Ｍｇ組成のアルミニウム
合金のインゴットを接触させ、窒素雰囲気中で８２５℃
の温度で溶融したアルミニウム合金を２４時間プリフォ
ーム中に非加圧で浸透させた後、冷却してステンレスを
埋め込んだ複合材料を作製した。得られた複合材料のス
テンレス部分にドリルで１ｍｍの穴を１４０個開けてシ
ャワープレートを作製した。
【００２１】（２）評価 得られたシャワープレートの穴部を切断し、穴部の状態
を目視で調べた。その結果、穴の内面には欠けや亀裂が
なく、穴は綺麗に仕上がっていた。
を目視で調べた。その結果、穴の内面には欠けや亀裂が
なく、穴は綺麗に仕上がっていた。
【００２２】（実施例２） （１）シャワープレートの作製 実施例１で得られたスラリーを６ｍｍの貫通穴を形成で
きる２００×２００×２０ｍｍの成形体が得られるゴム
型に流し込み、それを２４時間静置し、ＳｉＣ粉末を沈
殿させ、上澄み液を布などで除去した後、それを冷凍室
に入れ、３０時間冷凍させて脱型した。得られた成形体
を１０００℃の温度で焼成してＳｉＣ粉末の充填率が７
０体積％の穴を有するプリフォームを形成した。
きる２００×２００×２０ｍｍの成形体が得られるゴム
型に流し込み、それを２４時間静置し、ＳｉＣ粉末を沈
殿させ、上澄み液を布などで除去した後、それを冷凍室
に入れ、３０時間冷凍させて脱型した。得られた成形体
を１０００℃の温度で焼成してＳｉＣ粉末の充填率が７
０体積％の穴を有するプリフォームを形成した。
【００２３】得られたプリフォームにＡｌ−１２Ｓｉ−
３Ｍｇ組成のアルミニウム合金のインゴットを接触さ
せ、窒素雰囲気中で８２５℃の温度で溶融したアルミニ
ウム合金中を２４時間プリフォーム中に非加圧で浸透さ
せた後、冷却して複合材料を作製した。
３Ｍｇ組成のアルミニウム合金のインゴットを接触さ
せ、窒素雰囲気中で８２５℃の温度で溶融したアルミニ
ウム合金中を２４時間プリフォーム中に非加圧で浸透さ
せた後、冷却して複合材料を作製した。
【００２４】得られた複合材料の穴部をドリルで６ｍｍ
の穴に形成し直し、その穴に先のステンレス棒を挿入
し、そのステンレスの周囲に先の溶融したアルミニウム
合金を流し込んで冷却してステンレスを埋め込んだ複合
材料を作製した。得られた複合材料のステンレス部分に
ドリルで１ｍｍの穴を１４０個開けてシャワープレート
を作製した。
の穴に形成し直し、その穴に先のステンレス棒を挿入
し、そのステンレスの周囲に先の溶融したアルミニウム
合金を流し込んで冷却してステンレスを埋め込んだ複合
材料を作製した。得られた複合材料のステンレス部分に
ドリルで１ｍｍの穴を１４０個開けてシャワープレート
を作製した。
【００２５】（２）評価 得られたシャワープレートの穴部を切断し、穴部の状態
を目視で調べた。その結果、穴の内面には欠けやポアが
なく、穴は綺麗に仕上がっていた。
を目視で調べた。その結果、穴の内面には欠けやポアが
なく、穴は綺麗に仕上がっていた。
【００２６】（実施例３）ステンレスの代わりにマシナ
ブルセラミックス（石原薬品社製、商品名マコール）と
した他は実施例１と同様にシャワープレートを作製し、
評価した。その結果、穴の内面には欠けやポアがなく、
穴は綺麗に仕上がっていた。このことは、実施例１、２
を含めて述べると、本発明であれば、小径で綺麗に多数
形成された穴を有するシャワープレートを作製すること
のできる製造方法とすることができることを示してい
る。
ブルセラミックス（石原薬品社製、商品名マコール）と
した他は実施例１と同様にシャワープレートを作製し、
評価した。その結果、穴の内面には欠けやポアがなく、
穴は綺麗に仕上がっていた。このことは、実施例１、２
を含めて述べると、本発明であれば、小径で綺麗に多数
形成された穴を有するシャワープレートを作製すること
のできる製造方法とすることができることを示してい
る。
【００２７】（比較例）比較のために、実施例１で得ら
れた穴を有するプリフォームに実施例１のアルミニウム
合金を浸透させてプリフォームの穴にもアルミニウム合
金が浸透された複合材料を作製し、その複合材料のプリ
フォームの穴部に浸透してきたアルミニウム合金部にド
リルで２ｍｍの穴を８０個開けてシャワープレートを作
製し、それを実施例１と同様に評価した。その結果、穴
の内面には一部に欠けやポアが見られ、綺麗な穴ではな
かった。
れた穴を有するプリフォームに実施例１のアルミニウム
合金を浸透させてプリフォームの穴にもアルミニウム合
金が浸透された複合材料を作製し、その複合材料のプリ
フォームの穴部に浸透してきたアルミニウム合金部にド
リルで２ｍｍの穴を８０個開けてシャワープレートを作
製し、それを実施例１と同様に評価した。その結果、穴
の内面には一部に欠けやポアが見られ、綺麗な穴ではな
かった。
【００２８】
【発明の効果】以上の通り、本発明のシャワープレート
の製造方法であれば、複合材料からなる小径で綺麗に多
数形成された穴を有するシャワープレートを作製するこ
とのできる製造方法とすることができるようになった。
このことにより、シャワープレートの用途が大きく広が
った。
の製造方法であれば、複合材料からなる小径で綺麗に多
数形成された穴を有するシャワープレートを作製するこ
とのできる製造方法とすることができるようになった。
このことにより、シャワープレートの用途が大きく広が
った。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２２Ｄ 25/02 Ｂ２２Ｄ 25/02 Ｇ Ｃ０４Ｂ 41/88 Ｃ０４Ｂ 41/88 Ｕ Ｃ２２Ｃ 1/05 Ｃ２２Ｃ 1/05 Ｃ 47/06 47/06 49/06 49/06 49/14 49/14 //(Ｃ２２Ｃ 49/14 Ｃ２２Ｃ 101:04 101:04 101:14 101:14 101:16 101:16） Ｆターム(参考） 4K018 AA15 AA33 BA11 CA08 CA33 CA44 DA11 FA35 KA70 4K020 AA06 AA08 AA10 AA22 AC01 AC07 BA02 BA03 BA05 BB02 BB22 BB41 BC03
Claims (3)
- 【請求項１】 強化材であるセラミックス粉末またはセ
ラミックス繊維で穴を有するプリフォームを形成し、そ
のプリフォームの穴にステンレスまたはマシナブルセラ
ミックスを挿入し、そのプリフォームに窒素中で７００
〜９００℃の温度で溶融したアルミニウムまたはアルミ
ニウム合金を非加圧で浸透させて複合材料を作製した
後、そのステンレスまたはマシナブルセラミックスの部
分に穴を開けることを特徴とするシャワープレートの製
造方法。 - 【請求項２】 強化材であるセラミックス粉末またはセ
ラミックス繊維で穴を有するプリフォームを形成し、そ
のプリフォームに窒素中で７００〜９００℃の温度で溶
融したアルミニウムまたはアルミニウム合金を非加圧で
浸透させて複合材料を作製し、その複合材料のプリフォ
ームの穴に相当する部分に穴に開け、その穴にステンレ
スまたはマシナブルセラミックスを挿入し、そのステン
レスまたはマシナブルセラミックスの周囲の隙間に溶融
したアルミニウムまたはアルミニウム合金を流し込んだ
後、そのステンレスまたはマシナブルセラミックスの部
分に穴を開けることを特徴とするシャワープレートの製
造方法。 - 【請求項３】 前記ステンレスまたはマシナブルセラミ
ックスの部分に開ける穴の大きさが、径で１ｍｍ以下で
あることを特徴とする請求項１または２記載のシャワー
プレートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001094453A JP2002294356A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | シャワープレートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001094453A JP2002294356A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | シャワープレートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002294356A true JP2002294356A (ja) | 2002-10-09 |
Family
ID=18948650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001094453A Pending JP2002294356A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | シャワープレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002294356A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007290012A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Toshiba Corp | 異方性多孔質材料の製造方法 |
| CN106676433A (zh) * | 2017-03-01 | 2017-05-17 | 大连大学 | 氧化铝陶瓷纤维/粒子强化金属基复合材料的低压加压制备方法 |
-
2001
- 2001-03-29 JP JP2001094453A patent/JP2002294356A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007290012A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Toshiba Corp | 異方性多孔質材料の製造方法 |
| CN106676433A (zh) * | 2017-03-01 | 2017-05-17 | 大连大学 | 氧化铝陶瓷纤维/粒子强化金属基复合材料的低压加压制备方法 |
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