JP2002292663A - 多層積層板の製造方法 - Google Patents

多層積層板の製造方法

Info

Publication number
JP2002292663A
JP2002292663A JP2001097830A JP2001097830A JP2002292663A JP 2002292663 A JP2002292663 A JP 2002292663A JP 2001097830 A JP2001097830 A JP 2001097830A JP 2001097830 A JP2001097830 A JP 2001097830A JP 2002292663 A JP2002292663 A JP 2002292663A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
copper foil
prepreg
area
circuit board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001097830A
Other languages
English (en)
Inventor
Noriyasu Oto
則康 大戸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP2001097830A priority Critical patent/JP2002292663A/ja
Publication of JP2002292663A publication Critical patent/JP2002292663A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 銅箔に給電して抵抗加熱によって成形をする
多層積層板の製造方法にあって、生産性の向上を実現で
きる多層積層板の製造方法を提供する。 【解決手段】 長尺の銅箔1とプリプレグ2を対とした
表層材12が複数重に折り返して連なっており、プリプ
レグ2とプリプレグ2の間に内層用回路板3を、銅箔1
と銅箔1の間に成形用プレート9を配し、成形用プレー
ト9を最外側として、上記表層材12の間に内層用回路
板3と成形用プレート9を交互に配置して形成された被
圧体10をプレスして上記銅箔1に給電して抵抗加熱に
よって加熱、加圧成形すると共に、上記プリプレグ2は
折り返し部分が樹脂含浸不足域2bとする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板に
利用される多層積層板の製造方法に関し、具体的には、
銅箔に給電して抵抗加熱によって加熱、加圧成形をする
多層積層板の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】プリント配線板に利用される多層積層板
は、内層用回路板にプリプレグ及び外層に銅箔を配して
形成した積層体を成形用プレートに挟み、加熱加圧して
プリプレグの樹脂を硬化させ、一体化することで作製さ
れる。上記加熱加圧する方法としては、銅箔に給電し
て、抵抗加熱により加熱しながら加圧する方法が知られ
ている(例えば、特表平8−506289号公報等)。
この抵抗加熱は、電気抵抗を有する導電体に電流を流
し、ジュール効果で発生する熱により加熱する方法であ
る。
【0003】この抵抗加熱により加熱しながら加圧する
方法としては、例えば、図6に示すように、銅箔21と
して長尺のものを用い、この銅箔21を複数重ね折り返
し屈曲させると共に、屈曲して対向する銅箔21間に、
内層用回路板23を内包したプリプレグ22と、成形用
プレート29を交互に複数配置して被圧体30を作製す
る。次いで、上記方法は、この被圧体30をプレスし
て、加圧した状態で銅箔21に給電すると、抵抗加熱に
よりプリプレグ22が加熱され、一体化する。
【0004】上記抵抗加熱による成形法は、銅箔21を
熱源として直接に加熱することができるため、一つの被
圧体30に多数の多層積層板を成形しても、それぞれを
均一に加熱することができるので、品質のばらつきの少
ない多層積層板を得ることができるものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】近年の薄物化、高密度
化の高まりに伴い、多層積層板は、製造に際して内層用
回路板の両側にプリプレグを1枚のみ配設して銅箔を積
層したものが採用されている。そのため、上記給電して
抵抗加熱によって加熱、加圧成形をする方法において
も、被圧体を組み合せする生産性の向上の観点から、長
尺のプリプレグを用いてこのプリプレグを折り返す方法
が試みられているが、プリプレグを折り返すと、プリプ
レグの折れた個所から半硬化状態の樹脂粉が飛散し、こ
の飛散した樹脂粉が銅箔面に付着して外観不良を生じる
恐れがある。
【0006】一方、予め銅箔に樹脂を塗工して樹脂層を
形成した樹脂付き銅箔が知られている。多層積層板の製
造に際して、プリプレグを用いることなく、内層用回路
板の両側に樹脂付き銅箔を積層したものが採用されてい
る。上記給電して抵抗加熱によって加熱、加圧成形をす
る方法においても、被圧体を組み合せする生産性の向上
の観点から、樹脂付き銅箔を採用することが試みられて
いるが、樹脂付き銅箔は樹脂層が厚くて折り返し難く、
また、成形後に切断する際、樹脂層が柔らかくて切断し
難いものである。
【0007】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、銅箔に給電して抵抗加熱
によって成形をする多層積層板の製造方法にあって、生
産性の向上を実現できる多層積層板の製造方法を提供す
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の多層積層
板の製造方法は、樹脂含浸域と樹脂含浸不足域とを有す
る長尺のプリプレグを用い、このプリプレグと長尺の銅
箔とで対となる表層材を複数重に折り返して連ね、この
折り返し個所のプリプレグを上記樹脂含浸不足域とする
と共に、上記プリプレグの樹脂含浸域と樹脂含浸域の間
に内層用回路板を、銅箔と銅箔の間に成形用プレートを
配し、成形用プレートを最外側として、上記表層材の間
に内層用回路板と成形用プレートを交互に配置して被圧
体を形成し、次いで、この被圧体をプレスして上記銅箔
に給電することによって加熱、加圧成形することを特徴
とする。
【0009】なお、プリプレグの樹脂含浸域とは、多層
積層板が得られた際に樹脂層を形成するに十分な脂量を
含有した領域を示すものである。また、プリプレグの樹
脂含浸不足域とは、樹脂の含浸が殆どない未含浸の領
域、又は、樹脂を含浸していても極端に少ない領域を示
すものである。
【0010】上記によって、プリプレグの樹脂含浸不足
域で折り返しをするので、この折り返し個所から樹脂粉
が飛散することを抑えることができるものである。その
結果、上記製造方法は、長尺のプリプレグを用いて被圧
体を形成するので、成形にかかる作業時間を短くするこ
とができるため、生産性が向上するものである。
【0011】請求項2記載の多層積層板の製造方法は、
請求項1記載の多層積層板の製造方法において、上記プ
リプレグの樹脂含浸不足域の樹脂含有量が20質量%以
下であることを特徴とする。
【0012】請求項3記載の多層積層板の製造方法は、
片面側に樹脂を塗工して樹脂層を形成した塗工域と、塗
工がされていない非塗工域とを有する長尺の銅箔を用
い、この銅箔を複数重に折り返して連ね、この折り返し
個所を上記非塗工域とすると共に、上記銅箔の樹脂層と
樹脂層の間に内層用回路板を、その反対面側の銅箔と銅
箔の間に成形用プレートを配し、成形用プレートを最外
側として、上記銅箔の間に内層用回路板と成形用プレー
トを交互に配置して被圧体を形成し、次いで、この被圧
体をプレスして上記銅箔に給電することによって加熱、
加圧成形することを特徴とする。
【0013】上記によって、銅箔の非塗工域で折り返し
をするので、折り返しが容易にできるものである。その
結果、上記製造方法は、樹脂付き銅箔を用いて被圧体を
形成するので、成形にかかる作業時間を短くすることが
できる。その結果、上記製造方法は、生産性が向上する
ものである。
【0014】請求項4記載の多層積層板の製造方法は、
請求項1乃至請求項3いずれか記載の多層積層板の製造
方法において、上記成形用プレートが、アルミニウム板
の表面に絶縁被覆を施したものであることを特徴とす
る。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1、2に係る発明
を図に基づいて説明する。図1〜3は、請求項1に係る
発明の実施の形態の一例を示し、図1は多層積層板の製
造方法を説明する説明図、図2はプリプレグの断面を模
式的に示した断面説明図、図3は多層積層板の断面図で
ある。
【0016】本発明の対象となる多層積層板は、図3に
示す如く、絶縁基板4の表面に回路5を形成した内層用
回路板3を内蔵し、この内層用回路板3の上下面に樹脂
が硬化した絶縁層6を配し、表層に銅箔1を積層したも
のである。本発明の製造方法は、成形の際に、銅箔1に
給電することによって、抵抗加熱による加熱、及び、加
圧で多層積層板を得る方法である。
【0017】上記多層積層板の製造方法に用いるプリプ
レグ2は、ガラス織物等の基材7にエポキシ樹脂等の熱
硬化性樹脂を含浸させ、この樹脂8をBステージ状態に
半硬化させたものである。上記プリプレグ2は、図2に
模式的に示す如く、長尺の長さ方向にわたって横断的
に、樹脂含浸域2aと、樹脂含浸不足域2bとを形成し
ている。上記プリプレグ2の樹脂含浸域2aは、上記多
層積層板が得られた際に、絶縁層6を形成するに十分な
樹脂量を含有した領域であり、具体的には、樹脂含有量
が40〜60質量%程度に含浸した領域である。上記プ
リプレグ2の樹脂含浸不足域2bは、樹脂の含浸が殆ど
ない未含浸の領域、又は、樹脂を含浸していても極端に
少ない、例えば、樹脂含有量が20質量%以下の領域で
ある。上記樹脂含有量が20質量%以下の領域は、基材
7がガラス織物の場合、樹脂が繊維と繊維の間に浸透し
ていくので、表面の多大な領域で繊維が露出した状態に
観察されるものである。
【0018】上記プリプレグ2は、長尺の基材7に熱硬
化性樹脂を含有した樹脂組成物を貯えた含浸槽に導入
し、樹脂組成物を含浸した基材7を絞りロールで絞りな
がら、加熱機で加熱させる含浸方法の場合、絞りロール
の間隔を所定間隔に調整することで、樹脂含浸域2aと
樹脂含浸不足域2bを作製することができる。また、上
記プリプレグ2は、上記含浸方法にあって、所定間隔で
含浸槽に貯えた樹脂組成物に含浸されないよう基材7が
流れる経路を変動されることで、樹脂含浸域2aと樹脂
含浸不足域2bを作製してもよい。
【0019】上記多層積層板の製造方法は、プリプレグ
2の樹脂含浸域2aを、内層用回路板3の上面及び下面
に接して配設し、プリプレグ2の樹脂含浸不足域2bを
製品外となる個所に配設し、上記プリプレグ2の樹脂含
浸不足域2bで折り返す。
【0020】上記製造方法は、図1に示す如く、長尺の
銅箔1、1と、樹脂含浸域2aと樹脂含浸不足域2bを
有する長尺のプリプレグ2、2とで対となる表層材1
2、12を形成する。上記表層材12、12は、内層用
回路板3の両側に1対として用いることができる。上記
製造方法は、内層用回路板3の上面及び下面に接してプ
リプレグ2の樹脂含浸域2aを配置し、その外側に銅箔
1を配置し、さらに、その外側に成形用プレート9を配
置する。上記製造方法は、プリプレグ2の樹脂含浸不足
域2bで、複数重ね折り返し屈曲させることで、成形用
プレート9を最外側として、表層材12の間に内層用回
路板3と成形用プレート9を交互に配置した被圧体10
が得られる。次いで、上記製造方法は、この被圧体10
をプレスして上記銅箔1に給電する。なお、このとき、
必要に応じて、被圧体10の外側にクッション材や熱伝
導調整材を配してもよい。上記製造方法は、銅箔1に給
電し、抵抗加熱により加熱しながら加圧することで、プ
リプレグ2の樹脂含浸域2aの樹脂が硬化し、多層積層
板が作製される。
【0021】上記製造方法に使用される成形用プレート
9は、アルミニウム板の表面に絶縁被覆を施したもの
が、絶縁性及び熱伝導性に優れ、多層積層板を効率的に
加熱できるので、最適である。
【0022】上記製造方法は、プリプレグ2を折り返す
個所が樹脂含浸不足域2bであるので、折れた個所から
半硬化した樹脂粉が飛散するのを抑えることができる。
その結果、上記製造方法は、内層用回路板3の両側にプ
リプレグ2を1枚のみ配設して多層積層板を製造するに
際し、長尺のプリプレグ2を折り返して使用することが
できるため、被圧体10を組み合せが容易となり、生産
性が向上するものである。
【0023】因みに、プリプレグ2として、厚み0.1
mmのガラス織物の基材にエポキシ樹脂組成物を用い、
樹脂含浸量が58質量%の樹脂含浸域2aと、樹脂含浸
量が18〜20質量%の樹脂含浸不足域2bを、絞りロ
ールの間隔を調整することで作製した。厚み0.1mm
の内層用回路板3、厚み0.018mmの銅箔、及び、
厚さ1.0mmのアルミニウム板の表面に絶縁被覆を施
した成形用プレート9を用い、多層積層板を10セット
組みあがるようにして作業したところ、従来の切断した
プリプレグを用いた場合に比較し、作業時間を20%削
減することができた。
【0024】次に、本発明の請求項3に係る発明を図に
基づいて説明する。図4〜5は、請求項3に係る発明の
実施の形態の一例を示し、図4は多層積層板の製造方法
を説明する説明図、図5は樹脂付き銅箔の断面を模式的
に示した断面説明図である。上記実施の形態と異なる点
のみ説明する。
【0025】上記多層積層板の製造方法に用いる銅箔1
1は、図5に示す如く、長尺の長さ方向にわたって横断
的に、片面側に樹脂を塗工した塗工域11aと、塗工が
されていない非塗工域11bとを有している。上記銅箔
11の塗工域11aは、銅箔の片面(粗化面)にエポキ
シ樹脂等の熱硬化性樹脂を含有する樹脂組成物を塗工し
て樹脂層14を形成している。この樹脂層14は、上記
多層積層板が得られた際に、絶縁層6を形成するに十分
な厚みを有する樹脂量が塗工されているものであり、具
体的には、上記樹脂層14の厚みが約0.05〜0.1
5mm程度で形成される。上記銅箔11の非塗工域11
bは、樹脂の塗工がされず銅箔11が露出した状態とな
っている。
【0026】上記銅箔11は、長尺の銅箔の片面(粗化
面)に樹脂組成物を転写ロールで塗工することで塗工域
11aを作製し、この転写ロールを銅箔に非接触するこ
とで非塗工域11bを作製する。上記銅箔11は、加熱
機で加熱させて塗工した樹脂を半硬化させて樹脂層14
を形成するものである。
【0027】上記多層積層板の製造方法は、銅箔11の
樹脂層14を内層用回路板3の上面及び下面に接して配
設し、銅箔11の非塗工域11bを製品外となる個所に
配設し、この銅箔11の非塗工域11bで折り返す。
【0028】上記製造方法は、図4に示す如く、1対の
樹脂付き銅箔11を用い、内層用回路板3の上面及び下
面に樹脂層14が接するようにして銅箔11の塗工域1
1aを配置し、その外側に成形用プレート9を配置す
る。上記製造方法は、銅箔11の非塗工域11bで複数
重ね折り返し屈曲させることで、成形用プレート9を最
外側として、樹脂付き銅箔11の間に内層用回路板3と
成形用プレート9を交互に配置した被圧体15が得られ
る。次いで、上記製造方法は、この被圧体15をプレス
して上記銅箔1に給電する。上記製造方法は、銅箔11
に給電し、抵抗加熱により加熱しながら加圧すること
で、樹脂層14の樹脂が硬化し、多層積層板が作製され
る。
【0029】上記製造方法は、銅箔11を折り返す個所
が、樹脂層14を形成していない非塗工域11bとする
ので、折り返しが容易である。その結果、上記製造方法
は、内層用回路板3の両側に樹脂付き銅箔11を配設し
て多層積層板を成形することができるため、生産性が向
上するものである。
【0030】因みに、樹脂付き銅箔11として、厚み
0.018mmの銅箔の片面(粗化面)にエポキシ樹脂
を含有した樹脂組成物を転写ロールで塗工して、厚み
0.08mm程度の樹脂層14を形成した塗工域11a
と、転写ロールを非接触として樹脂組成物が塗工されな
い非塗工域11bを作製した。。厚み0.1mmの内層
用回路板3、及び、厚さ1.0mmのアルミニウム板の
表面に絶縁被覆を施した成形用プレート9を用い、多層
積層板を10セット組みあがるようにして作業したとこ
ろ、従来の切断したプリプレグと通常の銅箔のみを用い
た場合に比較し、作業時間を30%削減することができ
た。
【0031】
【発明の効果】本発明の請求項1記載の多層積層板の製
造方法は、長尺のプリプレグを用いて折り返しをして
も、折り返す個所がプリプレグの樹脂含浸不足域である
ので、折れた個所から半硬化状態の樹脂粉が飛散するの
を抑えることができるため、生産性の向上を実現でき
る。
【0032】本発明の請求項3記載の多層積層板の製造
方法は、長尺の樹脂付き銅箔を用いても、折り返す個所
が非塗工域であるので、折り返しが容易であるため、生
産性の向上を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示し、多層積層板
の製造方法を説明する説明図である。
【図2】同上で用いるプリプレグの断面を模式的に示し
た断面説明図である。
【図3】多層積層板の断面図である。
【図4】本発明の他の実施の形態の一例を示し、多層積
層板の製造方法を説明する説明図である。
【図5】同上で用いる樹脂付き銅箔の断面を模式的に示
した断面説明図である。
【図6】従来の製造方法を説明する説明図である。
【符号の説明】
1 銅箔 2 プリプレグ 2a 樹脂含浸域 2b 樹脂含浸不足域 3 内層用回路板 6 絶縁層 9 成形用プレート 10、15 被圧体 11 樹脂付きの銅箔 11a 塗工域 11b 非塗工域 12 表層材 14 樹脂層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B29L 9:00 B29L 9:00 Fターム(参考) 4F204 AA39 AD03 AD04 AD16 AG03 AH36 FA01 FB01 FB13 FF01 FF05 FN11 FQ08 5E346 CC04 CC32 DD12 EE02 EE09 HH31

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂含浸域と樹脂含浸不足域とを有する
    長尺のプリプレグを用い、このプリプレグと長尺の銅箔
    とで対となる表層材を複数重に折り返して連ね、この折
    り返し個所のプリプレグを上記樹脂含浸不足域とすると
    共に、上記プリプレグの樹脂含浸域と樹脂含浸域の間に
    内層用回路板を、銅箔と銅箔の間に成形用プレートを配
    し、成形用プレートを最外側として、上記表層材の間に
    内層用回路板と成形用プレートを交互に配置して被圧体
    を形成し、次いで、この被圧体をプレスして上記銅箔に
    給電することによって加熱、加圧成形することを特徴と
    する多層積層板の製造方法。
  2. 【請求項2】 上記プリプレグの樹脂含浸不足域の樹脂
    含有量が20質量%以下であることを特徴とする請求項
    1記載の多層積層板の製造方法。
  3. 【請求項3】 片面側に樹脂を塗工して樹脂層を形成し
    た塗工域と、塗工がされていない非塗工域とを有する長
    尺の銅箔を用い、この銅箔を複数重に折り返して連ね、
    この折り返し個所を上記非塗工域とすると共に、上記銅
    箔の樹脂層と樹脂層の間に内層用回路板を、その反対面
    側の銅箔と銅箔の間に成形用プレートを配し、成形用プ
    レートを最外側として、上記銅箔の間に内層用回路板と
    成形用プレートを交互に配置して被圧体を形成し、次い
    で、この被圧体をプレスして上記銅箔に給電することに
    よって加熱、加圧成形することを特徴とする多層積層板
    の製造方法。
  4. 【請求項4】 上記成形用プレートが、アルミニウム板
    の表面に絶縁被覆を施したものであることを特徴とする
    請求項1乃至請求項3いずれか記載の多層積層板の製造
    方法。
JP2001097830A 2001-03-30 2001-03-30 多層積層板の製造方法 Pending JP2002292663A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001097830A JP2002292663A (ja) 2001-03-30 2001-03-30 多層積層板の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001097830A JP2002292663A (ja) 2001-03-30 2001-03-30 多層積層板の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002292663A true JP2002292663A (ja) 2002-10-09

Family

ID=18951561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001097830A Pending JP2002292663A (ja) 2001-03-30 2001-03-30 多層積層板の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002292663A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006001305A1 (ja) * 2004-06-23 2006-01-05 Hitachi Chemical Co., Ltd. 印刷配線板用プリプレグ、金属箔張積層板、及び印刷配線板、並びに、多層印刷配線板の製造方法
FR3043358A1 (fr) * 2015-11-09 2017-05-12 Airbus Operations Sas Outillage de formage d'une ebauche en materiau composite et procede de fabrication d'une piece en materiau composite utilisant ledit outillage

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006001305A1 (ja) * 2004-06-23 2006-01-05 Hitachi Chemical Co., Ltd. 印刷配線板用プリプレグ、金属箔張積層板、及び印刷配線板、並びに、多層印刷配線板の製造方法
KR100979860B1 (ko) * 2004-06-23 2010-09-02 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 인쇄 배선판용 프리프레그, 금속박장 적층판 및 인쇄배선판, 및 다층 인쇄 배선판의 제조 방법
US7947332B2 (en) 2004-06-23 2011-05-24 Hitachi Chemical Company, Ltd. Prepreg for printed wiring board, metal foil clad laminate and printed wiring board, and, method for manufacturing multi-layer printed wiring board
JP2011103480A (ja) * 2004-06-23 2011-05-26 Hitachi Chem Co Ltd 多層印刷配線板の製造方法
JP2011109122A (ja) * 2004-06-23 2011-06-02 Hitachi Chem Co Ltd 多層印刷配線板の製造方法
FR3043358A1 (fr) * 2015-11-09 2017-05-12 Airbus Operations Sas Outillage de formage d'une ebauche en materiau composite et procede de fabrication d'une piece en materiau composite utilisant ledit outillage

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0460818B2 (ja)
TW200522831A (en) Method of manufacturing circuit board
TWI309146B (en) Circuit board and method for producing the same
JP2002292663A (ja) 多層積層板の製造方法
JPH11207766A (ja) 多層プリント配線板の製造方法
JP3844109B2 (ja) 積層板の製造方法
JP4723821B2 (ja) 非粘着性のフェルト材とその製造法
JP2000013024A (ja) 多層板の製造方法、及び多層板製造用平板
JPH074915B2 (ja) 多層配線板の製造方法
JP2004221236A (ja) 回路基板の製造方法
JP3329218B2 (ja) 積層体成形用サーマルバリア
JPH0476784B2 (ja)
JP3823940B2 (ja) 回路形成基板の製造方法
JP2964271B2 (ja) 金属複合積層板の製造方法
JP2000307246A (ja) 回路形成基板の製造方法および回路形成基板材料
JP2000151116A (ja) 多層プリント基板の製造方法とその製造装置
JP3726452B2 (ja) 積層体成形用サーマルバリア
JPH11238958A (ja) 回路基板の製造方法及び製造装置
JPH11214842A (ja) 多層板の製造方法
JP2000071386A (ja) 積層板の製造方法
JP2000049457A (ja) 多層板の製造方法
JP2000062092A (ja) 積層板の製造方法
JPS63285997A (ja) 多層基板の製造方法および装置
JP2002067062A (ja) 金属張り積層板の製造方法
JPH1058592A (ja) 両面金属箔張り積層板の製造方法、及び両面金属箔張り積層板の製造装置