JP2002284533A - ガラス母材の製造方法および製造装置 - Google Patents
ガラス母材の製造方法および製造装置Info
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
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- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 多孔質ガラスを生成する反応容器のガラス窓
に、生成中のスス等の付着がなく、スス付け制御を長時
間に亘り正常に行なうことができる光ファイバ母材の製
造方法とそのための製造装置を提供する。 【解決手段】 反応容器３内で石英などの基材にガラス
原料と火炎ガスをバーナー２で吹き付け、火炎加水分解
により基材にガラス微粒子を堆積させ、ガラス微粒子の
堆積をレーザ光１３により制御して多孔質ガラス１を製
造するガラス母材の製造装置であって、レーザ光１３を
透過させるガラス窓４を、気体層間隙４ｃを有する二重
ガラスで形成する。
に、生成中のスス等の付着がなく、スス付け制御を長時
間に亘り正常に行なうことができる光ファイバ母材の製
造方法とそのための製造装置を提供する。 【解決手段】 反応容器３内で石英などの基材にガラス
原料と火炎ガスをバーナー２で吹き付け、火炎加水分解
により基材にガラス微粒子を堆積させ、ガラス微粒子の
堆積をレーザ光１３により制御して多孔質ガラス１を製
造するガラス母材の製造装置であって、レーザ光１３を
透過させるガラス窓４を、気体層間隙４ｃを有する二重
ガラスで形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス光ファイバ
等の製造に用いられ、ガラス微粒子を堆積させ多孔質ガ
ラスを製造するガラス母材の製造方法とそのための製造
装置に関する。
等の製造に用いられ、ガラス微粒子を堆積させ多孔質ガ
ラスを製造するガラス母材の製造方法とそのための製造
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ファイバ用のガラス母材の製造
において、例えば、ＶＡＤ法（気相軸付け法）で、多孔
質ガラスを作製し、この多孔質ガラスを脱水、焼結して
透明ガラス化する方法が知られている。このＶＡＤ法
は、ガラス原料と火炎用ガスをバーナーから噴射させ、
ガラス微粒子を回転する石英などの基材に軸方向に堆積
させる方法である。また、ガラス微粒子（以下、ススと
いう）の堆積で形成された多孔質ガラスを、脱水、焼結
して透明ガラス化したガラス母材の外側に、さらにスス
を堆積させて多孔質ガラスを形成し、所定の外径のガラ
ス母材を得ている。この他に、石英棒の外側にガラスを
堆積させるＯＶＤ法（外付け気相蒸着法）、石英管の内
側にガラスを堆積させるＣＶＤ法（化学気相蒸着法）が
知られている。
において、例えば、ＶＡＤ法（気相軸付け法）で、多孔
質ガラスを作製し、この多孔質ガラスを脱水、焼結して
透明ガラス化する方法が知られている。このＶＡＤ法
は、ガラス原料と火炎用ガスをバーナーから噴射させ、
ガラス微粒子を回転する石英などの基材に軸方向に堆積
させる方法である。また、ガラス微粒子（以下、ススと
いう）の堆積で形成された多孔質ガラスを、脱水、焼結
して透明ガラス化したガラス母材の外側に、さらにスス
を堆積させて多孔質ガラスを形成し、所定の外径のガラ
ス母材を得ている。この他に、石英棒の外側にガラスを
堆積させるＯＶＤ法（外付け気相蒸着法）、石英管の内
側にガラスを堆積させるＣＶＤ法（化学気相蒸着法）が
知られている。
【０００３】ＶＡＤ法、ＯＶＤ法およびＣＶＤ法のいず
れの方法においても、多孔質ガラスの製造は、反応容器
を用いて行なわれる。反応容器内では、光ファイバのコ
ア部用のガラス原料としての四塩化珪素（ＳｉＣｌ4 ）
に四塩化ゲルマニウムを添加し、火炎用ガスとして酸素
ガス（Ｏ2 ）および水素ガス（Ｈ2 ）がコアバーナーか
ら供給される。また、光ファイバのクラッド部用のガラ
ス原料としての四塩化珪素（ＳｉＣｌ4 ）と、火炎用ガ
スとして酸素ガス（Ｏ2 ）および水素ガス（Ｈ 2 ）がク
ラッドバーナーから供給される。
れの方法においても、多孔質ガラスの製造は、反応容器
を用いて行なわれる。反応容器内では、光ファイバのコ
ア部用のガラス原料としての四塩化珪素（ＳｉＣｌ4 ）
に四塩化ゲルマニウムを添加し、火炎用ガスとして酸素
ガス（Ｏ2 ）および水素ガス（Ｈ2 ）がコアバーナーか
ら供給される。また、光ファイバのクラッド部用のガラ
ス原料としての四塩化珪素（ＳｉＣｌ4 ）と、火炎用ガ
スとして酸素ガス（Ｏ2 ）および水素ガス（Ｈ 2 ）がク
ラッドバーナーから供給される。
【０００４】反応容器内では、例えば、 ＳｉＣｌ4 ＋４Ｈ2 ＋２Ｏ2 →ＳｉＯ2 ＋４ＨＣｌ＋２
Ｈ2 Ｏ のような火炎加水分解反応が生じる。この反応により生
じたＨＣｌや２Ｈ2 Ｏは、反応容器内壁に付着したり結
露する。また、この他に、多孔質ガラスの母体として付
着されずに浮遊状態にあるススが、反応容器内壁に付着
し膜状にこびり付くことがある。反応容器内に付着した
ＨＣｌや結露により金属水和物が生成され、次のガラス
母材の生成時には、加熱されて金属酸化物となる。この
金属酸化物は、その後のガラス母材の生成時には、不純
物として混入し、光ファイバの伝送特性を低下させる恐
れもある。
Ｈ2 Ｏ のような火炎加水分解反応が生じる。この反応により生
じたＨＣｌや２Ｈ2 Ｏは、反応容器内壁に付着したり結
露する。また、この他に、多孔質ガラスの母体として付
着されずに浮遊状態にあるススが、反応容器内壁に付着
し膜状にこびり付くことがある。反応容器内に付着した
ＨＣｌや結露により金属水和物が生成され、次のガラス
母材の生成時には、加熱されて金属酸化物となる。この
金属酸化物は、その後のガラス母材の生成時には、不純
物として混入し、光ファイバの伝送特性を低下させる恐
れもある。
【０００５】反応容器には、通常、ガラス窓が設けら
れ、このガラス窓を通してガラスの生成状態を監視した
り、レーザ光でガラス生成の外径等を制御している。反
応容器内壁への結露やススの付着とともに、ガラス窓に
も結露やススが付着すると、ガラス窓が曇ったり汚れた
りするため監視ができなくなり、また、多孔質ガラスの
生成制御ができなくなる。このため、一般に、反応容器
には、これらの浮遊物が器壁に付着しないように乾燥し
た清浄空気や不活性気体を導入し、これらの導入気体に
水蒸気や浮遊ススを含ませて排出するようにしている。
また、ガラス窓の内面に、これらの導入気体を当てるよ
うにして、ガラス窓が結露したり、浮遊ススが付着しな
いようにもしている。
れ、このガラス窓を通してガラスの生成状態を監視した
り、レーザ光でガラス生成の外径等を制御している。反
応容器内壁への結露やススの付着とともに、ガラス窓に
も結露やススが付着すると、ガラス窓が曇ったり汚れた
りするため監視ができなくなり、また、多孔質ガラスの
生成制御ができなくなる。このため、一般に、反応容器
には、これらの浮遊物が器壁に付着しないように乾燥し
た清浄空気や不活性気体を導入し、これらの導入気体に
水蒸気や浮遊ススを含ませて排出するようにしている。
また、ガラス窓の内面に、これらの導入気体を当てるよ
うにして、ガラス窓が結露したり、浮遊ススが付着しな
いようにもしている。
【０００６】しかし、排出用の導入気体の量が少なすぎ
ると、水蒸気や浮遊スス等が十分排出されず、また、多
すぎると反応容器内が乾燥しすぎて静電気が発生し、帯
電したススが反応容器内壁に多量に付着し、ガス流を乱
し反応制御を困難にするという問題がある。このため、
反応容器内への乾燥空気の導入量を火炎加水分解により
発生する水蒸気量の２〜３０倍、好ましくは４〜８倍と
する技術が知られている（特開平１１−１７１５７８号
公報参照）。
ると、水蒸気や浮遊スス等が十分排出されず、また、多
すぎると反応容器内が乾燥しすぎて静電気が発生し、帯
電したススが反応容器内壁に多量に付着し、ガス流を乱
し反応制御を困難にするという問題がある。このため、
反応容器内への乾燥空気の導入量を火炎加水分解により
発生する水蒸気量の２〜３０倍、好ましくは４〜８倍と
する技術が知られている（特開平１１−１７１５７８号
公報参照）。
【０００７】しかしながら、上記の技術によるも乾燥空
気の導入量の最適化は、ある程度の試行錯誤で設定する
必要があり、また、ガラス窓へのスス付着等を多少抑え
ることは可能かも知れないが、完全に防止することはで
きない。このため、多孔質ガラスの生成中に、反応容器
のガラス窓に曇りが生じ、レーザ光による制御が困難と
なり、正常なスス付けが実施できなくなることがある。
気の導入量の最適化は、ある程度の試行錯誤で設定する
必要があり、また、ガラス窓へのスス付着等を多少抑え
ることは可能かも知れないが、完全に防止することはで
きない。このため、多孔質ガラスの生成中に、反応容器
のガラス窓に曇りが生じ、レーザ光による制御が困難と
なり、正常なスス付けが実施できなくなることがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、多孔質ガラスを生成する反
応容器のガラス窓に生成中のスス等の付着がなく、スス
付け制御を長時間に亘り正常に行なうことができる光フ
ァイバ母材の製造方法とそのための製造装置の提供を課
題とする。
情に鑑みてなされたもので、多孔質ガラスを生成する反
応容器のガラス窓に生成中のスス等の付着がなく、スス
付け制御を長時間に亘り正常に行なうことができる光フ
ァイバ母材の製造方法とそのための製造装置の提供を課
題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス母材の製
造方法は、反応容器内で石英などの基材にガラス原料と
火炎ガスをバーナーで吹き付け、火炎加水分解により基
材にガラス微粒子を堆積させ、ガラス微粒子の堆積をレ
ーザ光により制御して多孔質ガラスを製造するガラス母
材の製造方法であって、レーザ光を気体層間隙を有する
二重ガラスからなるガラス窓を透過させることを特徴と
する。
造方法は、反応容器内で石英などの基材にガラス原料と
火炎ガスをバーナーで吹き付け、火炎加水分解により基
材にガラス微粒子を堆積させ、ガラス微粒子の堆積をレ
ーザ光により制御して多孔質ガラスを製造するガラス母
材の製造方法であって、レーザ光を気体層間隙を有する
二重ガラスからなるガラス窓を透過させることを特徴と
する。
【００１０】また、本発明のガラス母材の製造装置は、
反応容器内で石英などの基材にガラス原料と火炎ガスを
バーナーで吹き付け、火炎加水分解により基材にガラス
微粒子を堆積させ、ガラス微粒子の堆積をレーザ光によ
り制御して多孔質ガラスを製造するガラス母材の製造装
置であって、レーザ光を透過させるガラス窓が気体層間
隙を有する二重ガラスで形成されていることを特徴とす
る。
反応容器内で石英などの基材にガラス原料と火炎ガスを
バーナーで吹き付け、火炎加水分解により基材にガラス
微粒子を堆積させ、ガラス微粒子の堆積をレーザ光によ
り制御して多孔質ガラスを製造するガラス母材の製造装
置であって、レーザ光を透過させるガラス窓が気体層間
隙を有する二重ガラスで形成されていることを特徴とす
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】図により、本発明の実施の形態を
説明する。図１は反応容器の部分側面図、図２は図１の
ａ−ａ断面図を示す。図中、１は多孔質ガラス母材、２
はバーナー、３は反応容器、４はガラス窓、４ａは外側
ガラス、４ｂは内側ガラス、４ｃは気体層間隙、５は窓
枠、６は熱風発生器、７は送出管、８は排出口、９は気
体送出器、１０は送出管、１１は送出口、１２は排気
口、１３はレーザ光、１４はレーザ発信器、１５は受光
器を示す。
説明する。図１は反応容器の部分側面図、図２は図１の
ａ−ａ断面図を示す。図中、１は多孔質ガラス母材、２
はバーナー、３は反応容器、４はガラス窓、４ａは外側
ガラス、４ｂは内側ガラス、４ｃは気体層間隙、５は窓
枠、６は熱風発生器、７は送出管、８は排出口、９は気
体送出器、１０は送出管、１１は送出口、１２は排気
口、１３はレーザ光、１４はレーザ発信器、１５は受光
器を示す。
【００１２】多孔質ガラス母材１は、反応容器３内でバ
ーナー２から噴出するガラス原料と火炎ガスにより、火
炎加水分解されて生成するガラス微粒子（以下、ススと
いう）を、出発基材に堆積させて形成される。なお、出
発基材には、石英などのガラスが用いられる。図１で
は、多孔質ガラス母材を脱水、焼結して透明ガラス化さ
れた光ファイバ母材（図示せず）の外側に、さらにクラ
ッドガラスを追加形成する多孔質ガラスをジャケット付
けする例を示している。反応容器３では、この他、クラ
ッドバーナーとドーパントを添加したコアバーナーを用
いて、ＶＡＤ法による多孔質ガラス母材の作製も行なう
ことができる。また、反応容器の形態を変えることで、
ＯＶＤ法やＣＶＤ法による多孔質ガラス母材を作製する
こともできる。
ーナー２から噴出するガラス原料と火炎ガスにより、火
炎加水分解されて生成するガラス微粒子（以下、ススと
いう）を、出発基材に堆積させて形成される。なお、出
発基材には、石英などのガラスが用いられる。図１で
は、多孔質ガラス母材を脱水、焼結して透明ガラス化さ
れた光ファイバ母材（図示せず）の外側に、さらにクラ
ッドガラスを追加形成する多孔質ガラスをジャケット付
けする例を示している。反応容器３では、この他、クラ
ッドバーナーとドーパントを添加したコアバーナーを用
いて、ＶＡＤ法による多孔質ガラス母材の作製も行なう
ことができる。また、反応容器の形態を変えることで、
ＯＶＤ法やＣＶＤ法による多孔質ガラス母材を作製する
こともできる。
【００１３】反応容器３は、矩形筒状または円筒状に形
成され、多孔質ガラス母材１は、反応容器３の軸方向の
中心に沿って堆積される。多孔質ガラス母材１の外径
は、反応容器３の側面に設けられたガラス窓４を通して
当てられるレーザ光１３により制御される。ガラス窓４
は、反応容器３の側面に対抗する位置に設けられ、一方
のガラス窓４の外側に配されたレーザ発信器１４からの
レーザ光１３は、反対側のガラス窓４の外側に配された
受光器１５で受光される。レーザ光１３の受光のオン、
オフで多孔質ガラス母材１の外径を検知し、この検知信
号を制御装置にフィードバックさせ、ガラス原料や火炎
ガスの供給等を調整する。
成され、多孔質ガラス母材１は、反応容器３の軸方向の
中心に沿って堆積される。多孔質ガラス母材１の外径
は、反応容器３の側面に設けられたガラス窓４を通して
当てられるレーザ光１３により制御される。ガラス窓４
は、反応容器３の側面に対抗する位置に設けられ、一方
のガラス窓４の外側に配されたレーザ発信器１４からの
レーザ光１３は、反対側のガラス窓４の外側に配された
受光器１５で受光される。レーザ光１３の受光のオン、
オフで多孔質ガラス母材１の外径を検知し、この検知信
号を制御装置にフィードバックさせ、ガラス原料や火炎
ガスの供給等を調整する。
【００１４】ガラス窓４は、外側ガラス４ａと内側ガラ
ス４ｂとの間に気体層間隙４ｃを有する２重ガラスで形
成され、窓枠５により反応容器３の側壁に取付けられ
る。ガラス窓４を気体層を介した２重ガラスで構成する
ことにより、内側ガラス４ｂが外気温により冷やされる
のを抑え、内側ガラス４ｂの内面温度を上昇させること
ができる。内側ガラス４ｂの内面温度が高くなること
で、ガラス窓４の内面にススや水蒸気が付着しにくくな
り、レーザ光による制御を長時間継続させることができ
る。なお、気体層間隙４ｃを減圧状態（真空状態を含
む）にすることによっても同様な効果を得ることができ
る。
ス４ｂとの間に気体層間隙４ｃを有する２重ガラスで形
成され、窓枠５により反応容器３の側壁に取付けられ
る。ガラス窓４を気体層を介した２重ガラスで構成する
ことにより、内側ガラス４ｂが外気温により冷やされる
のを抑え、内側ガラス４ｂの内面温度を上昇させること
ができる。内側ガラス４ｂの内面温度が高くなること
で、ガラス窓４の内面にススや水蒸気が付着しにくくな
り、レーザ光による制御を長時間継続させることができ
る。なお、気体層間隙４ｃを減圧状態（真空状態を含
む）にすることによっても同様な効果を得ることができ
る。
【００１５】また、外側ガラス４ａと内側ガラス４ｂと
の間の気体層間隙４ｃには、熱風発生器６から送られる
熱風を送出管７により吹き込むように構成することがで
きる。吹き込まれた加熱された気体は、排出口８から排
出される。気体層間隙４ｃに吹き込まれた加熱された気
体により、内側ガラス４ｂの内面温度を所定の温度に制
御することが可能となる。内側ガラス４ｂを所定の温度
に制御維持することにより、ガラス窓４の内面にススや
水蒸気の付着を抑制することができ、光ファイバガラス
母材の大型化を可能とする。なお、気体層間隙４ｃに送
り込む加熱された気体として、乾燥空気や不活性ガスを
用いることができる。
の間の気体層間隙４ｃには、熱風発生器６から送られる
熱風を送出管７により吹き込むように構成することがで
きる。吹き込まれた加熱された気体は、排出口８から排
出される。気体層間隙４ｃに吹き込まれた加熱された気
体により、内側ガラス４ｂの内面温度を所定の温度に制
御することが可能となる。内側ガラス４ｂを所定の温度
に制御維持することにより、ガラス窓４の内面にススや
水蒸気の付着を抑制することができ、光ファイバガラス
母材の大型化を可能とする。なお、気体層間隙４ｃに送
り込む加熱された気体として、乾燥空気や不活性ガスを
用いることができる。
【００１６】反応容器３には、この他、従来技術で説明
したのと同様に、火炎加水分解によって生じる水蒸気や
堆積されずに容器内で浮遊状態にあるススが、反応容器
内壁に付着する前に排出するための気体を導入し、導入
気体とともにススや水蒸気を排出する排気口１２を設け
ている。導入気体としては、乾燥した清浄な空気または
窒素ガス等の不活性ガスが用いられる。この導入気体の
一部は、例えば、ガラス窓４の窓枠５を通じて形成され
た送出口１１に、気体送出器９からの導入気体を送出管
１０を介して送出する。
したのと同様に、火炎加水分解によって生じる水蒸気や
堆積されずに容器内で浮遊状態にあるススが、反応容器
内壁に付着する前に排出するための気体を導入し、導入
気体とともにススや水蒸気を排出する排気口１２を設け
ている。導入気体としては、乾燥した清浄な空気または
窒素ガス等の不活性ガスが用いられる。この導入気体の
一部は、例えば、ガラス窓４の窓枠５を通じて形成され
た送出口１１に、気体送出器９からの導入気体を送出管
１０を介して送出する。
【００１７】ガラス窓４の近くに設けた送出口１１から
は、導入気体がガラス窓４の内側ガラス４ｂの内面を拭
うようして送出されるので、ガラス窓４の近くを浮遊す
るススや水蒸気が、ガラス窓に定着しようとするのを抑
制することができる。また、導入気体を８０℃程度に加
熱しておくことにより、ガラス窓の内面温度を上げるよ
うにしてもよい。この導入気体の送出と、上述の２重ガ
ラスとしたことによる内側ガラス４ｂの温度上昇によ
り、ガラス窓の内面にススや水蒸気が付着するのを防止
し、レーザ光による多孔質ガラス母材１の生成制御を、
より長時間継続させることができる。
は、導入気体がガラス窓４の内側ガラス４ｂの内面を拭
うようして送出されるので、ガラス窓４の近くを浮遊す
るススや水蒸気が、ガラス窓に定着しようとするのを抑
制することができる。また、導入気体を８０℃程度に加
熱しておくことにより、ガラス窓の内面温度を上げるよ
うにしてもよい。この導入気体の送出と、上述の２重ガ
ラスとしたことによる内側ガラス４ｂの温度上昇によ
り、ガラス窓の内面にススや水蒸気が付着するのを防止
し、レーザ光による多孔質ガラス母材１の生成制御を、
より長時間継続させることができる。
【００１８】具体的には、２重ガラスの気体層間隙を５
ｍｍで形成した。この結果、ガラス窓４にスス等が付着
し、レーザ光による制御が困難となる時間を従来より２
倍に延長することができた。また、２重ガラスの気体層
間隙４ｃに加熱された気体を入れることにより、従来よ
りも２．５倍以上の時間でレーザ光による制御ができる
ようになった。
ｍｍで形成した。この結果、ガラス窓４にスス等が付着
し、レーザ光による制御が困難となる時間を従来より２
倍に延長することができた。また、２重ガラスの気体層
間隙４ｃに加熱された気体を入れることにより、従来よ
りも２．５倍以上の時間でレーザ光による制御ができる
ようになった。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、反応容器のガラス窓の曇りや汚れの発生を抑
制し、レーザ光による多孔質ガラス母材の生成制御を長
時間安定して継続させることができる。この結果、ファ
イバ母材の製造の歩留まりを向上させるとともに、大型
のファイバ母材の製造を可能にする。
によれば、反応容器のガラス窓の曇りや汚れの発生を抑
制し、レーザ光による多孔質ガラス母材の生成制御を長
時間安定して継続させることができる。この結果、ファ
イバ母材の製造の歩留まりを向上させるとともに、大型
のファイバ母材の製造を可能にする。
【図１】本発明の実施の形態を説明する反応容器の部分
側面図である。
側面図である。
【図２】本発明の実施の形態を説明する反応容器の部分
断面図である。
断面図である。
１…多孔質ガラス母材、２…バーナー、３…反応容器、
４…ガラス窓、４ａ…外側ガラス、４ｂ…内側ガラス、
４ｃ…気体層間隙、５…窓枠、６…熱風発生器、７…送
出管、８…排出口、９…気体送出器、１０…送出管、１
１…送出口、１２…排気口、１３…レーザ光、１４…レ
ーザ発信器、１５…受光器。
４…ガラス窓、４ａ…外側ガラス、４ｂ…内側ガラス、
４ｃ…気体層間隙、５…窓枠、６…熱風発生器、７…送
出管、８…排出口、９…気体送出器、１０…送出管、１
１…送出口、１２…排気口、１３…レーザ光、１４…レ
ーザ発信器、１５…受光器。
Claims (5)
- 【請求項１】 反応容器内で石英などの基材にガラス原
料と火炎ガスをバーナーで吹き付け、火炎加水分解によ
り前記基材にガラス微粒子を堆積させ、前記ガラス微粒
子の堆積をレーザ光により制御して多孔質ガラスを製造
するガラス母材の製造方法であって、前記レーザ光を気
体層間隙を有する二重ガラスからなるガラス窓を透過さ
せることを特徴とするガラス母材の製造方法。 - 【請求項２】 前記気体層間隙に熱風を送ることを特徴
とする請求項１に記載のガラス母材の製造方法。 - 【請求項３】 前記反応容器内に生じる浮遊物を排出す
る導入気体の一部を、前記ガラス窓の内面を拭うように
して前記反応容器内に送出することを特徴とする請求項
１に記載のガラス母材の製造方法。 - 【請求項４】 反応容器内で石英などの基材にガラス原
料と火炎ガスをバーナーで吹き付け、火炎加水分解によ
り前記基材にガラス微粒子を堆積させ、前記ガラス微粒
子の堆積をレーザ光により制御して多孔質ガラスを製造
するガラス母材の製造装置であって、前記レーザ光を透
過させるガラス窓が気体層間隙を有する二重ガラスで形
成されていることを特徴とするガラス母材の製造装置。 - 【請求項５】 前記気体層間隙に熱風を送出する熱風発
生器と送出管を備えていることを特徴とする請求項４に
記載のガラス母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| CN106007357A (zh) * | 2015-03-30 | 2016-10-12 | 株式会社藤仓 | 光纤母材的制造装置以及光纤母材的制造方法 |
| CN114735926A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-12 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种用于制备半导体掩膜版用高品质石英的装置和方法 |
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2001
- 2001-03-23 JP JP2001085664A patent/JP2002284533A/ja active Pending
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