JP2002284352A - 薬液配送方法 - Google Patents

薬液配送方法

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JP2002284352A
JP2002284352A JP2001092068A JP2001092068A JP2002284352A JP 2002284352 A JP2002284352 A JP 2002284352A JP 2001092068 A JP2001092068 A JP 2001092068A JP 2001092068 A JP2001092068 A JP 2001092068A JP 2002284352 A JP2002284352 A JP 2002284352A
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Tatsuro Nohara
達郎 野原
Yoshihiro Asahara
義広 浅原
Yoshifumi Inoue
賀文 井上
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Tokuyama Corp
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Tokuyama Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 薬液が充填された容器に装着して該容器中の
薬液を供給する該容器に着脱可能な薬液供給装置であっ
て、該装置が装着された容器内の薬液供給終了後に該容
器から取り外して薬液が充填された交換用容器に装着し
て使用する薬液供給装置を有するユーザーに薬液メーカ
ーから薬液が充填された交換用容器を発送すると共に、
使用済みの容器を薬液メーカーが回収する薬液配送方法
において、ユーザー間の在庫管理方法の違いの影響を受
け難く、効率よく出荷・空容器の回収が行なえる方法を
提供する。 【解決手段】 容器に各容器に固有の識別コードを付
し、各容器の保管場所や使用状態が変わった時にその場
でその容器の使用状況を表す情報を作成し、その情報を
薬液メーカーがアクセス可能な情報処理装置に入力し、
薬液メーカーが全容器の使用状況を把握することによ
り、ユーザーにおける適正在庫を実現するとともに発注
し忘れを防止し、効率よく交換用容器の出荷、配送、お
よび空容器の回収を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェハー
や各種電子材料部品を洗浄するための洗浄装置等に洗浄
液等の薬液を供給するための薬液供給装置を使用するユ
ーザーに、該薬液供給装置専用の容器に充填された薬液
を配送する方法、および該方法で使用するシステムに関
する。
【0002】
【従来の技術】各種電子材料部品等の製造においては、
シリコンウェハー等の製造原材料、中間製品、又は製品
に付着した油脂等の汚れやパーティクルを除去する目的
で有機溶媒あるいは水系洗浄剤等の薬液で洗浄すること
が一般に行われている。これら薬液においては、その使
用目的からその品質は厳重に管理されており、薬液製造
過程は勿論、薬液を容器に充填したり、運搬したり、更
には容器から洗浄装置へ薬液を移送する際にパーティク
ル等の異物や金属イオン等の不純物が混入するのを防止
するシステムが構築されている。
【0003】そのようなシステムの一つとして、薬液供
給装置を用いて洗浄装置等に薬液を供給するシステムが
あり、該システムにおいては、たとえば、薬液メーカー
(以下、単にメーカーともいう。)において製造された
薬液は、クリーンルーム内で専用の容器に充填されて出
荷され、使用地において該薬液容器に専用の薬液供給装
置を装着し、専用ラインを通して洗浄装置等に薬液を移
送することにより、薬液の品質を保ったまま洗浄装置に
薬液を供給することが可能となっている。
【0004】上記のような薬液容器に直接装着するタイ
プの薬液供給装置においては、容器内の薬液を移送し終
わった場合には、薬液供給装置を空容器から取り外し、
メーカーから配送された薬液が充填された未使用の別の
容器(以下、交換用容器ともいう。)に装着し直すこと
により、薬液の供給を続けることが出来るようになって
いる。このため、該薬液供給装置を有する薬液のユーザ
ー(以下、単にユーザーともいう。)においては、交換
用容器を複数個在庫として保管し、在庫の交換用容器が
少なくなった場合に、メーカーに交換用容器をある程度
まとめて注文し、在庫の補充を行っている。また、使用
済みの空容器は、容器自体が高価であるため、ユーザー
から回収され、メーカーにおいて洗浄等を行った後に薬
液を充填することにより再使用されている。
【0005】従来、交換用容器の在庫管理はユーザーで
行なわれており、ユーザーによっては、特定の担当者が
マニュアルで未使用交換用容器の数や空容器数を確認
し、薬液の使用予定等を勘案して注文や空容器回収の指
示が行われている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このように、在庫管理
が自動化されていないユーザーにおいては、確認し忘れ
等の人的エラー、或いは薬液の使用予定の急な変更など
によって在庫が殆どなくなった時点でまとまった量の注
文がされることが度々ある。そして、その際に薬液メー
カーの在庫が不足していたり、他のユーザからの注文が
重なったりして注文量の交換用容器が確保できない場合
には、注文された量の交換用容器を一度に配送すること
ができずに複数回に分けて発送しなければならないこと
もあり、メーカー側にとっては輸送コストの上昇を来
し、ユーザー側には使用時に必要量の薬液が確保できな
いかもしれないといったリスクが発生するといった問題
があった。
【0007】また、使用済み容器(空容器)の回収は、
通常は交換用容器の配送に使用したトラック便等を利用
し、帰路に空容器を運搬することにより行われている
が、ユーザーが多大な在庫を持ったり、空容器の積み残
しが発生したりする場合には、容器の利用率(回転率)
が低下し、結果としてメーカーは多くの容器数を所有し
なければならないという問題もあった。さらに、ユーザ
ーにおける空容器保管状況はまちまちであり、長期間放
置された場合には、異物が混入する場合があり、回収さ
れた容器のなかにはこのような容器が含まれている可能
性があるため、容器の再使用に当たっては品質管理の点
から全ての容器を対象に十分な洗浄等を行なう必要があ
った。
【0008】このように、従来の交換用容器の出荷、お
よび空容器の回収はユーザーの管理システムに依存する
部分が大きく、薬液メーカー側から総合的に見た場合に
は、トラック便や容器の有効利用、更に容器のメンテナ
ンスなどの点で問題があった。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
問題を解決するためになされたもので、容器に各容器に
固有の識別コードを付し、各容器の保管場所や使用状態
が変わった時にその場でその容器の使用状況を表す情報
を作成し、その情報を薬液メーカーがアクセス可能な情
報処理装置に入力し、薬液メーカーが全容器の使用状況
を把握することにより、ユーザーにおける適正在庫を実
現するとともに発注し忘れを防止し、効率よく交換用容
器の出荷、配送、および空容器の回収を行なおうとする
ものである。
【0010】即ち、本発明は、薬液が充填された容器に
装着して該容器中の薬液を供給する薬液供給装置であっ
て、該装置が装着された容器内の薬液の供給が終了した
場合に該容器から取り外した後に薬液が充填された別の
容器(交換用容器)に装着することにより続けて薬液の
供給を行なうことができる薬液供給装置を有するユーザ
ーに、薬液メーカーから薬液が充填された容器(交換用
容器)を発送すると共に、使用済みの容器を薬液メーカ
ーが回収する薬液配送方法において、(1)所定のユー
ザーに配送された薬液が充填された容器(交換用容器)
の受け入れ時に当該配送された容器(交換用容器)に付
された識別コードを読み取り、読み取られた当該識別コ
ードの付された容器が当該所定のユーザーに受け入れら
れたことを示す情報を作成し、該情報を情報通信手段を
用いて薬液メーカーがアクセス可能な情報処理装置に入
力する工程、(2)前記所定のユーザーに受け入れられ
た薬液が充填された容器(交換用容器)に薬液供給装置
が装着された時に該容器に付された識別コードを読み取
り、読み取られた当該識別コードの付された容器が使用
中であることを示す情報作成し、該情報を情報通信手段
を用いて薬液メーカーがアクセス可能な情報処理装置に
入力する工程、(3)薬液メーカーがアクセス可能な情
報処理装置において、該情報処理装置に入力されたこれ
ら情報に基づき、前記所定のユーザーにおいて保管され
ている未使用の薬液が充填された容器(交換用容器)の
数算出し、算出された未使用の薬液が充填された容器
(交換用容器)の数が予め定めた任意の所定の数以下と
なった時に前記所定のユーザーに対して薬液メーカーが
薬液の注文の確認を行なう工程、並びに(4)前記所定
のユーザーからの注文に基づき薬液メーカーが薬液が充
填された容器(交換用容器)を発送すると共に、該ユー
ザーから使用済みの容器を回収する工程を含むことを特
徴とする薬液配送方法である。
【0011】上記本発明の方法の中でも、前記工程
(3)において、薬液メーカーがアクセス可能な前記情
報処理装置に前記工程(2)で作成された情報が入力さ
れたときに、交換用容器に薬液供給装置が装着される直
前に該薬液供給装置が取り外された容器が使用済みにな
ったと認識して記憶すると共に、前記所定のユーザーに
おいて保管されている使用済み容器の数を算出し、薬液
メーカーが薬液の注文確認と合わせてユーザーが返却す
べき空容器の数を指定して空容器返却の依頼をユーザー
に行い、更に前記工程(4)において、空容器の回収時
に回収される空容器に付された識別コードを読みとり、
読み取られた当該識別コードの付された容器が薬液メー
カーに返却されたことを示す情報作成し、該情報を情報
通信手段を用いて薬液メーカーがアクセス可能な情報処
理装置に入力するようにした方法では、空容器の回収を
より確実に行うことが可能となる。更に、前記情報処理
装置に蓄積された情報に基づき、所定の期間内に薬液メ
ーカーから出荷された交換用容器の総数を算出し、その
経時的な変化から統計的に薬液の需要を予測し、該予測
に基づいて薬液の生産を行なう工程を含むことにより、
薬液メーカーにおける薬液の在庫量を適正化することも
可能となる。
【0012】また、他の本発明は、薬液が充填された容
器に装着して該容器中の薬液を供給する該容器に着脱可
能な薬液供給装置であって、該装置が装着された容器内
の薬液の供給が終了した場合に該容器から取り外した後
に薬液が充填された別の容器に装着することにより続け
て薬液の供給を行なうことができる薬液供給装置を有す
るユーザーに、薬液メーカーから薬液が充填された交換
用容器を発送すると共に、使用済みの容器を薬液メーカ
ーが回収する薬液配送方法に使用するシステムであっ
て、交換用容器に付された識別コードを読み取り、読み
取られた当該識別コードの付された容器の存在地又は使
用状況を示す情報を作成し、作成された情報を送信する
機能を有する少なくとも1台の端末と、該端末で作成さ
れ送信された情報を受信して記憶すると共に、予め記憶
させられたユーザー毎に各ユーザーが保有する未使用の
交換用容器および使用済み容器の数を算出することがで
きる情報処理装置とを含んでなることを特徴とする薬液
配送システムである。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の薬液配送方法では、薬液
が充填された容器に装着して該容器中の薬液を供給する
(該容器に着脱可能な)薬液供給装置であって、該装置
が装着された容器内の薬液の供給が終了した場合には該
容器から取り外した後に薬液が充填された別の容器に装
着することにより続けて薬液の供給を行なうことができ
る薬液供給装置を有するユーザーに薬液が充填された容
器(交換用容器)を発送すると共に、ユーザーから使用
済みの容器を薬液メーカーに返送される。
【0014】ここで、薬液とは工業において洗浄剤、現
像液、剥離剤、原材料として使用される液体であれば特
に限定されず、具体例としては、メタノール、エタノー
ル、イソプロピルアルコール等のアルコール類、塩化メ
チレン、クロロホルム等の塩素系溶剤等の各種有機溶
剤;各種水溶性有機溶剤や界面活性剤等を含む水系洗浄
剤等が挙げられる。
【0015】また、容器は、後述する薬液供給装置が着
脱可能に設計された専用容器であれば、その材質は特に
限定されないが、金属イオンの溶出がなく汚染されにく
いという観点から、ステンレス等の耐食性の金属で構成
されるか、その内部が、ポリエチレンやフッ素樹脂等で
被覆された構造であるのが好ましい。また、容器の大き
さや形状も特に限定されないが、具体例としては、天井
面に薬液を充填するための薬液充填口が設けられた内容
積1〜200リットルの密閉可能な樽状容器が挙げられ
る。なお、該容器は、夏季に倉庫内で保存したときに薬
液の蒸気圧により加圧状態となったり、薬液供給装置を
装着して使用する際に微加圧することもあるので、耐圧
性容器であるのが好適である。さらに、該容器には、各
容器を他の容器から識別するための識別コードが個別に
付されている。識別コードは、機械的に読みとり可能な
ものであれば、特に限定されないが、バーコードが最も
一般的である。この識別コードは、容器に直接印刷され
ていてもよいし、印刷されたシールを貼付する事により
付されていてもよい。
【0016】また、薬液供給装置とは、上記容器に着脱
可能で、配管等を通して洗浄装置や反応装置等の薬液使
用機器に薬液を供給できる装置であれば特に限定されな
い。このような薬液供給装置としては、例えば、上記の
樽状容器に装着して使用するものとして、薬液充填口に
密嵌可能な栓状物であり、該栓状物には、薬液の液面を
加圧するための乾燥空気や窒素ガス等のガスラインに接
続可能な加圧ガス導入孔が設けられ、さらに加圧ガスを
導入することにより加圧された薬液を容器外の洗浄装置
等の薬液使用機器まで圧送するための薬液移送ラインに
接続可能な薬液排出管が容器内底部近傍まで貫入してい
る構造のものが挙げられる。
【0017】本発明の方法では、特定のシステムを使用
することにより、薬液メーカーにおいて、流通している
全容器の存在場所、および薬液が充填された状態で未使
用であるか、薬液供給装置が装着中(使用中)である
か、又は薬液を供給し終わり薬液供給装置が取り外され
た状態である(使用済み)かといった使用状況を把握し
て、タイムリーにユーザーに注文確認を行なうことによ
り、効率よく交換用容器の出荷、配送、および空容器の
回収を行なうことが可能となる。
【0018】本発明の方法は、前記した(1)〜(4)
の工程を含んでなり、ユーザーにおける交換用容器の受
入から一連の工程を経て次の発注がなされ、その注文に
基づいてメーカーが交換用容器を発送すると共に使用済
み容器を回収するというサイクルを構成している。
【0019】以下、図を参照して、各工程について詳し
く説明する。
【0020】図1は、本発明の方法のフローチャートを
示すものであり、ユーザー(A)およびメーカー(B)
で成される作業、及び情報処理装置(C)で成させる作
業または動作、並びにその流れが示されている。なお、
本発明の方法は上記したようにサイクルを構成している
ため、どの段階からサイクルをスタートさせてもよい
が、図1では一般的な商慣行に鑑み、ユーザー(A)か
らの発注からフローを開始している。また、ユーザー
(A)、メーカー(B)、および情報処理装置(C)ご
とに各作業・動作が行われる順に連番が付されている。
また、図1のフローチャートでは、前記サイクルが機能
していることを前提としており、発注(A−1)がされ
る段階において薬液供給装置は使用中の容器に装着され
ており、またユーザー(A)において1又は2以上の使
用済み容器(空容器)が保管されているものとする。
【0021】本発明の方法では、ユーザー(A)から成
された発注(A−1)に基づきメーカー(B)から交換
用容器が出荷(発送)され(B−1)、トラック便等ユ
ーザーまで運搬される(AB−1)。ユーザーでは運搬
された交換用容器を受入るともに、保管していた空容器
の返却を行い(A−2)、空容器は帰りのトラック便を
利用してユーザー(A)まで運搬される(AB−2)。
なお、空容器の返却は、メーカー(B)からの空容器返
却依頼が有る場合には、これに基づいて行われることに
なる。このとき、返却する空容器に付された識別コード
を読みとり、読み取られた当該識別コードの付された容
器が返却されたことを示す情報作成し、該情報を情報通
信手段を用いて薬液メーカーがアクセス可能な情報処理
装置に入力してもよい。この様な情報入力を行うことに
より、ユーザーが保管する空容器についても管理する事
が出来るようになる。また、運搬された空容器は、メー
カー(B)において洗浄・薬液充填等の再使用工程(B
−2)に移される。
【0022】一方、ユーザー(A)においては、交換容
器受入れ時に容器に付された識別コードの読み取りが行
われ、読みとった識別コードに、予めユーザー毎に決め
られたユーザー識別コード及び容器がユーザーに受入れ
らたことを示すコードを組み合わせること等により発注
元のユーザーに交換容器が受入れられたことを示す情報
を作成する(A−3)。容器識別コードの読みとりは、
電送機能付きハンディーターミナルに接続した演算機能
付きのバーコードリーダー等の端末を用いて行われ、作
成された上記情報は、情報通信手段を用いてメーカーが
アクセス可能な情報処理装置に送られ(AC−1)、該
装置に入力され、記憶される(C−1)。なお、ハンデ
ィーターミナルとして、その内部に過去のデータを蓄積
できるものを使用した場合には、ユーザー側で現在の在
庫状況、空容器情報を確認することができるので好まし
い。また、情報伝達手段としては、社内LAN、一般電
話回線、インターネット、又はこれらの組み合わせが利
用できる。特に、インターネットを利用した場合には、
通信料を抑えるとともに国内外を問わず、同一の環境で
使用できる。さらに、ファイヤーウォールを通過させる
ため、e−mailを用いてデータの送受信を行い、特
定アカウントへのメールを直接サーバーより参照し、情
報処理装置のデータベースへ書き込んでもよい。
【0023】その後、ユーザー(A)に於いて受け入ら
れた交換用容器は、使用されるまで在庫としてユーザー
に保管される。交換用容器を使用するとき、すなわち、
使用済み容器から薬液供給装置を取り外し、該薬液供給
装置を交換用容器に装着する(A−4)際には、新たに
薬液供給装置が装着される交換用容器(新規装着容器)
に付された識別コードが読みとられ、該新規装着容器が
使用中であることを示す情報が作成される(A−5)。
この時のコードの読みとり及び情報の作成は、前記工程
A−3と同様して行われ、作成された情報は、電送等の
情報通信手段を用いて同様にメーカーがアクセス可能な
情報処理装置に送られ(AC−2)、該装置に入力さ
れ、記憶される(C−2)。また、薬液供給装置が取り
外され空容器は回収されるまでユーザーで保管される
(A−6)。
【0024】これら情報が入力された情報処理装置
(C)では、入力保存されたこれら情報に基づき、前記
所定のユーザーにおいて保管されている未使用交換用容
器の在庫数が算出される(C−3)。このとき、新たに
使用される交換用容器に薬液供給装置が装着される直前
に使用されていた容器が使用済みとなったと認識・記憶
し、前記所定のユーザーにおいて保管されている使用済
み容器の在庫数をあわせて算出するようにしておいても
よい。こうすることにより、ユーザーが保管する空容器
についても管理する事が出来るようになる。
【0025】メーカ(B)では、上記情報処理装置
(C)にアクセスし、各ユーザー毎の未使用交換用容器
の在庫数を確認し(B−3)、算出された在庫数が予め
定めた任意の所定の数以下となった時に前記所定のユー
ザーに対して薬液メーカーが薬液の注文の確認を行なう
(B−4)。このとき、ユーザー毎の空容器在庫数が明
らかなときは、注文確認と共にユーザーが返却すべき空
容器の数を指定して空容器返却の依頼をしてもよい。な
お、上記未使用交換用容器の在庫の確認は、定期的にメ
ーカーが情報処理装置にアクセスして確認してもよい
し、情報処理装置に在庫数が予め定めた任意の所定の数
以下となった時にメーカー側の端末にその旨の情報を送
信し、表示するようにしておいてもよい。人的エラーを
少なくするという観点からは、後者の方が好適である。
ユーザーでは、この注文確認に基づき、交換用容器の新
たな発注(A−1)を行えばよい。
【0026】また、本発明の方法では、前記情報処理装
置に入力された情報に基づき、該情報処理装置又は別の
情報処理装置において、所定の期間内に薬液メーカーか
ら出荷された交換用容器の総数を算出して、その経時的
な変化から統計処理により薬液の需要を予測し、その結
果を表示できるようにプログラミングしておくことによ
り、メーカにおいては得られた予測に基づいて薬液の生
産を行なうことにより、薬液の在庫量を適正化を図るこ
とも可能となる。
【0027】
【発明の効果】本発明の方法によれば、薬液充填用容器
の存在場所および使用状態を薬液メーカー側で把握する
ことが可能となり、その結果、メーカー側にとっては、
容器の効率的な運用、計画的な出荷作業が行えるように
なる。また、精度の高い需要予測をすることが可能にな
るため、その予測に基づいて計画的な薬液製造を行なう
ことが出来、薬液の不足を起こしたり過剰在庫を抱えた
りすることを防止することができる。さらに、空容器の
回収が確実に行えるため、空容器が長期間ユーザー側で
放置されることがなくなり、回収容器についてもほぼ一
様な清浄状態を保つことが可能になり、洗浄の簡素化
等、容器再生処理の簡略化も可能となる。また、ユーザ
ー側にとっては、メーカー側からタイムリーに注文確認
がなされるので、発注のし忘れを防止することが出来、
薬液を使用する作業に支障をきたす危険性を低減するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本図は、本発明の方法のフロー図である。
【符号の説明】
A・・・ユーザー B・・・メーカー C・・・情報処理装置 A−1・・・発注(注文) A−2・・・交換用容器受入れ・空容器返却 A−3・・・受入れ交換用容器識別コード読取り・容器
受入れ情報作成 A−4・・・薬液供給装置装着容器の交換 A−5・・・新規装着容器の容器識別コード読取り・容
器使用開始情報の作成 A−6・・・空容器保管 B−1・・・出荷(発送) B−2・・・回収から容器再使用処理 B−3・・・ユーザーごとの未使用容器・空容器数確認 B−4・・・ユザーへの注文確認(空容器返却依頼) C−1・・・容器受入れ情報記憶 C−2・・・容器使用開始情報記憶 C−3・・・登録ユーザーごとの未使用容器数(及び空
容器数)算出 AB−1・・・交換用容器運搬 AB−2・・・空容器返却 AC−1・・・情報送信・入力 AC−2・・・情報送信・入力

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 薬液が充填された容器に装着して該容器
    中の薬液を供給する薬液供給装置であって、該装置が装
    着された容器内の薬液の供給が終了した場合に該容器か
    ら取り外した後に薬液が充填された別の容器に装着する
    ことにより続けて薬液の供給を行なうことができる薬液
    供給装置を有するユーザーに、薬液メーカーから薬液が
    充填された容器を発送すると共に、使用済みの容器を薬
    液メーカーが回収する薬液配送方法において、(1)所
    定のユーザーに配送された薬液が充填された容器の受け
    入れ時に当該配送された容器に付された識別コードを読
    み取り、読み取られた当該識別コードの付された容器が
    当該所定のユーザーに受け入れられたことを示す情報を
    作成し、該情報を情報通信手段を用いて薬液メーカーが
    アクセス可能な情報処理装置に入力する工程、(2)前
    記所定のユーザーに受け入れられた容器に薬液供給装置
    が装着された時に該容器に付された識別コードを読み取
    り、読み取られた当該識別コードの付された容器が使用
    中であることを示す情報作成し、該情報を情報通信手段
    を用いて薬液メーカーがアクセス可能な情報処理装置に
    入力する工程、(3)薬液メーカーがアクセス可能な情
    報処理装置において、該情報処理装置に入力されたこれ
    ら情報に基づき、前記所定のユーザーにおいて保管され
    ている未使用の薬液が充填されている容器の数を算出
    し、算出された未使用容器の数が予め定めた任意の所定
    の数以下となった時に前記所定のユーザーに対して薬液
    メーカーが薬液の注文の確認を行なう工程、並びに
    (4)前記所定のユーザーからの注文に基づき薬液メー
    カーが薬液が充填された容器を発送すると共に、該ユー
    ザーから使用済みの容器を回収する工程を含むことを特
    徴とする薬液配送方法。
  2. 【請求項2】 前記工程(3)において、薬液メーカー
    がアクセス可能な前記情報処理装置に前記工程(2)で
    作成された情報が入力されたときに、薬液が充填された
    容器に薬液供給装置が装着される直前に該薬液供給装置
    が取り外された容器が使用済みになったと認識して記憶
    すると共に、前記所定のユーザーにおいて保管されてい
    る使用済み容器の数を算出し、薬液メーカーが薬液の注
    文確認と合わせてユーザーが返却すべき空容器の数を指
    定して空容器返却の依頼をユーザーに行い、更に前記工
    程(4)において、空容器の回収時に回収される空容器
    に付された識別コードを読みとり、読み取られた当該識
    別コードの付された容器が薬液メーカーに返却されたこ
    とを示す情報作成し、該情報を情報通信手段を用いて薬
    液メーカーがアクセス可能な情報処理装置に入力するこ
    とを特徴とする請求項1に記載の方法。
  3. 【請求項3】 前記情報処理装置に蓄積された情報に基
    づき、所定の期間内に薬液メーカーから出荷された薬液
    が充填された容器の総数を算出し、その経時的な変化か
    ら統計的に薬液の需要を予測し、該予測に基づいて薬液
    の生産を行なう工程を含むことを特徴とする請求項1又
    は2に記載の方法。
  4. 【請求項4】 薬液が充填された容器に装着して該容器
    中の薬液を供給する薬液供給装置であって、該装置が装
    着された容器内の薬液の供給が終了した場合に該容器か
    ら取り外した後に薬液が充填された別の容器に装着する
    ことにより続けて薬液の供給を行なうことができる薬液
    供給装置を有するユーザーに、薬液メーカーから薬液が
    充填された容器を発送すると共に、使用済みの容器を薬
    液メーカーが回収する薬液配送方法に使用するシステム
    であって、容器に付された識別コードを読み取り、読み
    取られた当該識別コードの付された容器の存在地又は使
    用状況を示す情報を作成し、作成された情報を送信する
    機能を有する少なくとも1台の端末と、該端末で作成さ
    れ送信された情報を受信して記憶すると共に、予め記憶
    させられたユーザー毎に各ユーザーが保有する未使用の
    薬液が充填された容器および使用済み容器の数を算出す
    ることができる情報処理装置とを含んでなることを特徴
    とする薬液配送システム。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009181168A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Purex:Kk リユース製品の流通管理システム
JP2010171258A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Sokudo Co Ltd 基板処理装置及び基板処理方法
JP2018096521A (ja) * 2016-12-16 2018-06-21 岩谷産業株式会社 高圧ガス容器の管理システム

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