JP2002283322A - セラミックコンデンサー製造用キャリヤーシートおよび製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 均一なセラミックグリーンシート薄膜を製造
することができ、製造工程での取り扱いが容易なセラミ
ックコンデンサー製造用キャリヤーシートおよびその製
造方法を提供する。 【解決手段】 少なくとも２層以上の共押出ポリエステ
ルフィルムからなり、該フィルム中の長径５０μｍ以上
のフライスペックが０．３ｍ²当り５個以下であり、該
フィルムの一方の表面に離形層を設けたセラミックコン
デンサー製造用キャリヤーシートを用いる。更に共押出
方法を用いることでキャリヤーシートの生産性がより向
上するといった優れた効果が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はセラミックコンデン
サー製造用キャリヤーシートに関し、更に詳しくはセラ
ミックコンデンサーを構成する薄膜で平坦な表面のセラ
ミックグリーンシートを製造することができるキャリヤ
ーシートおよび製造方法に関する。

【０００２】

【従来の伎術】セラミックチップコンデンサーは電子機
器の小型化に伴い、近年その使用量の伸びは著しいもの
がある。特に、移動体通信機器などの小型化、低消費電
力化に伴った使用量の伸びはめざましい。従来、このセ
ラミックチップコンデンサーは、セラミック粉体、溶
剤、バインダー及びその他の添加剤（可塑剤、分散剤、
帯電防止剤など）を適当な機械的分散方法により均質に
分散させたスラリーを流延キャスト法によりポリエチレ
ンテレフタレートフィルム等のキャリヤーシート上に塗
布し、次いで乾燥してセラミックグリーンシートを作成
し、そのシート上に内部電極を印刷し、所定の大きさに
裁断したものを積層、焼結し、外部電極を取り付けるこ
とにより製造していた。特に、セラミックグリーンシー
トを形成させる段階での厚さの精度が、最終的なチップ
コンデンサーの電気的性質に大きく影響を与えるため、
スラリーの調製のみならずキャリヤーシートに対して
も、表面の異物、均一平面性、厚み均一性など高精度の
表面特性が要求されてきた。

【０００３】例えば、キャリヤーシートの表面に大きな
突起が存在すると、この突起によるキャリヤーシート表
面の凸状形状がセラミックグリーンシートに凹状に転写
される。そして、この凹状に転写された部分がセラミッ
クグリーンシートの形状欠陥となる。また、電子機器の
小型化に伴って、チップコンデンサー自体も小型化され
てきたため、１層のセラミックグリーンシートの厚みは
数μｍ程度まで薄層化する必要があり、キャリヤーシー
ト表面の突起がセラミックグリーンシートに対し、単な
る凹みに止まらず、貫通したピンホールとなり、その後
の工程において種々の不良が発生するという重大な問題
を引き起こすことから、従来よりもキャリヤーシートの
表面特性に対する要求が厳しくなってきた。

【０００４】このキャリヤーシート表面の突起の原因
は、キャリヤーシート表面に付着したごみなどの異物の
他に、キャリヤーシートを構成する樹脂に含まれる内部
添加剤、特に滑剤などフィラーの粗大粒子による場合が
多い。前者の表面異物は、キャリヤーシートの製造工程
をクリーン化することで滅少させることができるが、後
者の内部異物は、フィラーの粒径を小さくしさらにその
添加量を下げるとともに溶融樹脂をフィルターに通し、
ある一定サイズ以上の内部異物を除去するなどの対策が
必要となる。

【０００５】しかし、単に滑剤の粒径を小さくし、さら
にその添加量を下げた場合、キャリヤーシートの表面粗
さは著しく平坦となり、シート間の滑りが悪くなりシー
ト同士が張り付く問題が生じる。特に、キャリヤーシー
トの表面にシリコーン樹脂の離形層を設けた場合はブロ
ッキング性が高くなり、上記の問題がより一層顕著とな
る。

【０００６】そのため、セラミックグリーンシートの製
造工程でのキャリヤーシートの取り扱いに重大な支障を
来す恐れがある。従来、離形層を有するフィルムとして
は例えば特開平１０−１６１６３号公報や特開平１０−
２２９０２７号公報が開示されており、片面にシリコー
ン離形層を有し、他方の面に微細粒子を含有する滑剤付
与層が塗布された離形フィルムが提案されている。これ
らは離形層を有する面、微細粒子により表面粗さが制御
された他方の面共に、ベースとなるポリエステルフィル
ムの表面に塗布層が設けられた構造を有する点が特徴で
ある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、かか
る従来技術の欠点を改良し、均一なセラミックグリーン
シート薄膜を製造することができ、かつセラミックグリ
ーンシートの製造工程でのキャリヤーシートの取り扱い
が容易で、更に共押出方法を用いることで生産性にも優
れたセラミックコンデンサー製造用キャリヤーシートお
よび製造方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、少なくとも２層以
上の共押出ポリエステルフィルムからなり、該フィルム
中の長径５０μｍ以上のフライスペックが０．３ｍ²当
り５個以下である共押出ポリエステルフィルムを用いる
ことで、加工作業性を保持しながら、低異物すなわち粗
大突起物の少ない、セラミックコンデンサー製造用キャ
リヤーフィルムが得られ、更に滑剤付与層が塗布によっ
て形成された従来の方法よりも、共押出方法を採用する
ことで、キャリヤーシートの生産性がより優れることを
見出し、本発明を完成するに至った。

【０００９】すなわち本発明は、少なくとも２層以上の
共押出ポリエステルフィルムからなり、該フィルム中の
長径５０μｍ以上のフライスペックが０．３ｍ²当り５
個以下であり、該フィルムの一方の表面に離形層を設け
たセラミックコンデンサー製造用キャリヤーシートであ
る。好ましくは、離形層を設ける側の層の中心線平均表
面粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ〜６０ｎｍ、離形層を設ける
側の層の１０点平均粗さ（Ｒｚ）が５００ｎｍ以上であ
るセラミックコンデンサー製造用キャリヤーシートであ
る。また好ましくは、該共押出フィルムの厚みが１０μ
ｍ以上２５０μｍ以下であるセラミックコンデンサー製
造用キャリヤーシートである。更に好ましくは、共押出
ポリエステルフィルムの各層がそれぞれ平均粒径の異な
る少なくとも２種以上の滑剤粒子を含有するセラミック
コンデンサー製造用キャリヤーシートである。またシリ
コーンに対し易接着性のプライマー層が、離形層と、離
形層を設ける側のポリエステルフィルム表面の間に形成
されてなることを特徴とするセラミックコンデンサー製
造用キャリヤーシートも本発明の好ましい態様として提
供される。共押出ポリエステルフィルムを構成するポリ
エステルが、ポリエチレンテレフタレートであることが
更に好ましい。

【００１０】また、本発明は、２種以上のポリエステル
組成物を共押出して２層以上の多層フィルムを製造する
にあたり、共押出後のフィルム中における長径５０μｍ
以上のフライスペックを０．３ｍ²当り５個以下にせし
め、かつ該フィルムの一方の表面に離形層を設けること
を特徴とするセラミックコンデンサー製造用キャリヤー
シートの製造方法である。以下、本発明を詳細に説明す
る。

【００１１】＜ポリエステル＞本発明のフィルムを構成
するポリエステルは、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート
（以下、ＰＥＮと略記することがある）、エチレンテレ
フタレートを主たる繰り返し単位とする共重合ポリエチ
レンテレフタレート、またはエチレン−２，６−ナフタ
レンジカルボキシレートを主たる繰り返し単位とする共
重合ＰＥＮのいずれかである。ポリエチレンテレフタレ
ートやＰＥＮは、ホモポリマーとしては高透明で偏光板
離形用フィルムに適しており、特に機械的強度が大きい
点が特長である。

【００１２】本発明において、共重合体の場合の共重合
成分は、主たる構成成分以外のジカルボン酸成分、ジオ
ール成分のいずれか一成分、または両成分を適宜選択で
きる。このジカルボン酸成分としてはテレフタル酸、イ
ソフタル酸、ナフタレンジカルボン酸、ジフェニルジカ
ルボン酸等の如き芳香族ジカルボン酸、アジピン酸、ア
ゼライン酸、セバシン酸、デカンジカルボン酸等の如き
脂肪族ジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸の如
き脂環族ジカルボン酸等が例示でき、またジオール成分
としてはトリメチレングリコール、テトラメチレングリ
コール、ヘキサメチレングリコール、ネオペンチルグリ
コール、ジエチレングリコール等の如き脂肪族ジオー
ル、１，４−シクロヘキサンジメタノールの如き脂環族
ジオール、ビスフェノールＡの如き芳香族ジオールが例
示できる。なお、これらの共重合成分は、１種のみでな
く２種以上併用していてもよい。これらの中で、イソフ
タル酸が透明性、引裂き強度が共に高い点から特に好ま
しい共重合成分として例示される。

【００１３】また、本発明において「主たる繰り返し単
位」とは、共重合体の構成成分において、全繰り返し単
位の少なくとも９０ｍｏｌ％、好ましくは少なくとも９
５ｍｏｌ％がエチレンテレフタレート単位またはエチレ
ン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート単位である
ことを意味する。この範囲内であれば、共重合成分の割
合は特に限定されないが、更に共重合ポリエチレンテレ
フタレートの融点が２４５℃〜２５８℃、共重合ＰＥＮ
の融点が２５５℃〜２６８℃を満たす範囲内で共重合成
分が添加されることが望ましい。共重合ポリエチレンテ
レフタレートにおいて、融点が２４５℃未満では耐熱性
が劣ることになる。また熱収縮率が大きく、フィルムの
平面性が低下する。また、融点が２５８℃より高い場合
は、ポリエチレンテレフタレートとしての特徴が失われ
てしまい、フィルムの製膜工程における生産性が損なわ
れる。同様に、共重合ＰＥＮにおいて、融点が２５５℃
未満ではＰＥＮとしての特徴が失われ、機械特性や熱収
縮率が低下し、一方融点が２６８℃より高い場合は、フ
ィルムの製膜工程における生産性が損なわれる。

【００１４】ポリエチレンテレフタレートまたは共重合
ポリエチレンテレフタレートの固有粘度（オルトクロロ
フェノール、３５℃）は０．５２ｄｌ／ｇ〜１．５０ｄ
ｌ／ｇであることが好ましく、さらに好ましくは０．５
７ｄｌ／ｇ〜１．００ｄｌ／ｇ、特に好ましくは０．６
０ｄｌ／ｇ〜０．８０ｄｌ／ｇである。この固有粘度が
０．５２ｄｌ／ｇ未満の場合には引裂き強度が不足する
ことがあり、他方、固有粘度が１．５０ｄｌ／ｇを超え
る場合には、原料製造工程およびフィルム製膜工程にお
ける生産性が損なわれる。ＰＥＮまたは共重合ＰＥＮの
固有粘度は０．４０ｄｌ／ｇ〜０．９０ｄｌ／ｇが好ま
しい。固有粘度が０．４０ｄｌ／ｇ未満の場合には引裂
き強度が不足することがあり、他方、固有粘度が０．９
０ｄｌ／ｇを超える場合には、原料製造工程およびフィ
ルム製膜工程における生産性が損なわれる。

【００１５】本発明におけるポリエステルは、その製法
により限定されることはないが、テレフタル酸、または
２，６−ナフタレンジカルボン酸のいずれかとエチレン
グリコール、また共重合体の場合は更に共重合成分を加
えてエステル化反応させ、次いで得られた反応生成物
を、目的とする重合度になるまで重縮合反応させてポリ
エチレンテレフタレート、ＰＥＮ、共重合ポリエチレン
テレフタレート、または共重合ＰＥＮとする方法があ
る。あるいはテレフタル酸ジメチルエステル、または
２，６−ナフタレンジカルボン酸ジメチルエステルのい
ずれかとエチレングリコール、共重合体の場合は更に共
重合成分を加えて従来公知のエステル交換触媒、例えば
ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、亜
鉛、ストロンチウム、チタン、ジルコニウム、マンガ
ン、コバルトを含む化合物の一種または二種以上を用い
てエステル交換反応させ、ついで得られた反応生成物を
目的とする重合度になるまで重合触媒の存在下で重縮合
反応させる方法を好ましく挙げることができる。ここ
で、重合触媒としては三酸化アンチモン、五酸化アンチ
モンのようなアンチモン化合物、二酸化ゲルマニウムで
代表されるようなゲルマニウム化合物、テトラエチルチ
タネート、テトラプロピルチタネート、テトラフェニル
チタネートまたはこれらの部分加水分解物、蓚酸チタニ
ルアンモニウム、蓚酸チタニルカリウム、チタントリス
アセチルアセトネートのようなチタン化合物が挙げら
れ、この中でもチタン化合物、ゲルマニウム化合物が好
ましく例示される。また、上記のような溶融重合により
得られたポリエステルは、必要に応じて固相状態での重
合方法（固相重合）により、さらに重合度の高いポリマ
ーとすることができる。

【００１６】前記ポリエステルには、必要に応じて、酸
化防止剤、熱安定剤、粘度調整剤、可塑剤、色相改良
剤、滑剤、核剤などの添加剤を加えることができる。

【００１７】本発明で用いられる２層以上からなる共押
出ポリエステルフィルムが、各層とも同種類のポリエス
テルからなる積層フィルム、または各層とも異なる種類
のポリエステルからなる積層フィルムのいずれであって
も構わないが、各層とも同種類のポリエステルからなる
積層フィルムが製膜性の点で好ましい。

【００１８】＜滑剤粒子＞本発明のセラミックコンデン
サー製造用キャリヤーシートとして用いられる共押出ポ
リエステルフィルムには、滑剤粒子を添加してフィルム
の製造工程ないし加工工程で作業性（滑り性）を確保す
ることが重要であり、透明性をも維持するために各層の
滑剤粒子の平均粒径および添加量を最適範囲に調整する
ことが好ましい。滑剤粒子としては任意のものが選べる
が、無機系滑剤としては、シリカ、アルミナ、二酸化チ
タン、炭酸カルシウム、硫酸バリウム等が例示でき、有
機系滑剤としては球状シリコーン樹脂粒子、架橋ポリス
チレン粒子等が例示できる。

【００１９】ここで、本発明における「平均粒径」と
は、粒子が１次粒子の場合は、測定した全粒子の５０重
量％の点にある粒子の「等価球形直径」を意味する。
「等価球形直径」とは、粒子と同じ容積を有する想像上
の球（理想球）の直径を意味し、粒子の電子顕微鏡写真
又は通常の沈降法による測定から計算することができ
る。また、粒子が１次粒子の凝集による２次粒子である
場合は、１次粒子に示す方法での平均粒径測定で得られ
た粒径は実際の平均粒径より小さくなる場合があるた
め、粒子を含有したフィルムを断面方向に厚さ１００ｎ
ｍの超薄切片とし、透過電子顕微鏡（例えば日本電子製
ＪＥＭ−１２００ＥＸ）を用いて、１万倍程度の倍率で
粒子を観察し、凝集粒子（２次粒子）を観察し、この写
真を用いて個々の粒子の円面積に相当する直径を画像解
析装置等を用いて粒子１０００個について測定し、数平
均した粒子径を平均２次粒径とする。

【００２０】本発明の共押出ポリエステルフィルムは、
少なくとも２層以上からなる共押出フィルムであり、各
層に添加する滑剤粒子は、平均粒径の異なる少なくとも
２種類以上からなり、それぞれの平均粒径は、離形層を
設ける側の層は大粒径のものとしては５００〜３０００
ｎｍ、好ましくは１０００〜２５００ｎｍ、更に好まし
くは１０００〜２０００ｎｍの範囲であり、小粒径のも
のは、好ましくは２０〜８００ｎｍ、更に好ましくは６
０〜６００ｎｍの範囲である。

【００２１】大粒径粒子の平均粒径が３０００ｎｍを超
えると、この面に塗布された離形層上に、厚さ３μｍの
セラミックグリーンシートを成形したときに、大粒径粒
子に起因するピンホールなどの欠点が多くなる。また、
ロールに巻いた時突起が転写してセラミックグリーンシ
ート表面の形状欠陥となることがある。平均粒径が５０
０ｎｍ未満の場合は、共押出ポリエステルフィルムの一
方の表面に離形層を塗布し、ロール状に巻取る際に巻取
り性が悪くなり、更にロールから引き出してセラミック
コンデンサー製造用キャリヤーシートとして用いる際
に、離形層がブロッキングにより物理的ダメージを受
け、セラミックグリーンシートを剥離する時にきれいに
剥離できないといった問題が生じる。

【００２２】また、小粒径粒子の平均粒径が８００ｎｍ
を超えると十分な耐擦傷性が得られにくく、２０ｎｍ未
満では耐擦傷性を得るためには添加量を極端に多く加え
る必要があり、機械物性上好ましくない。離形層を設け
る側の層における、これら滑剤粒子の好ましい含有量
は、ポリエステルに対し０．１重量％〜０．５重量％で
ある。そのうち、大粒径粒子の含有量は０．００５重量
％〜０．０２０重量％、小粒径粒子の含有量は０．１重
量％〜０．５重量％であることが好ましい。大粒径粒子
の含有量が０．０２０重量％より多いと表面が粗くなり
すぎ機械物性上も好ましくない。また０．００５重量％
より少ないと好ましい表面粗さが得られない。小粒径粒
子の含有量が０．５重量％より多いと機械物性上好まし
くなく、また０．１重量％より少ないと十分な耐擦傷性
が得られない。

【００２３】一方、共押出ポリエステルフィルムにおい
て、離形層を設ける側と反対側の最外層（以下、最外層
と略することがある）、並びに３（または３以上の）層
の場合の中間層は、２層の場合と３（または３以上の）
層の場合で滑剤粒子の好ましい平均粒径や含有量が異な
る。

【００２４】３（または３以上の）層の場合、最外層に
含まれる滑剤粒子の平均粒径は、離形層を設ける側の層
に準じる。但し、この最外層は離形層を設けない面、す
なわち、セラミックグリーンシートを成形しない面であ
り、ピンホール等の問題が生じないため、大粒径粒子の
平均粒径の上限は５０００ｎｍである。滑剤粒子の含有
量は、離形層を設ける層の７０％以上が好ましい。７０
％未満では滑り性が悪く、作業性が低下する。また、３
（または３以上の）層からなる共押出ポリエステルフィ
ルムの中間層は、ロール状に巻き取ったり、セラミック
グリーンシートを成形する際、これらの作業性には直接
寄与しないので、離形層を設ける層の表面形状に影響し
ない範囲で、滑剤粒子の平均粒径や添加量を変えても良
い。なお、フィルムの透明性が問題にならないのであれ
ば、回収ポリエステル樹脂を再利用を目的として適宜加
えても良い。もし、透明性が必要であれば、中間層の滑
剤粒子の含有量は、離形層を設ける層の７０％以下、更
には５０％以下であることが好ましい。

【００２５】２層の場合には、共押出ポリエステルフィ
ルムにおいて、離形層を設けない反対側の層にも作業性
を付与するため、滑剤粒子の含有量は、離形層を設ける
層の含有量の７０％以上であることが好ましい。７０％
未満では滑り性が悪く、作業性が低下する。また滑剤粒
子の平均粒径は離形層を設ける側の層に準じる。但し、
この層は離形層を設けない面、すなわち、セラミックグ
リーンシートを成形しない面であり、ピンホール等の問
題が生じないため、大粒径粒子の平均粒径の上限は５０
００ｎｍである。

【００２６】また、粗大粒子などに起因するフライスペ
ックの個数を減らすには、製膜時のフィルターとして線
径１５μｍ以下のステンレス鋼細線よりなる平均目開き
１０〜３０μｍ、好ましくは１５〜２５μｍの不織布型
フィルターを用い、溶融ポリマーを濾過することが推奨
される。この方法により、粒径２０μｍ以上の粗大粒子
や長径５０μｍ以上のフライスペックをほぼ除去でき
る。

【００２７】滑剤粒子の材質は特定するものではない
が、平均粒径５００〜３０００ｎｍの粒子としては球状
シリコーン樹脂、球状シリカが好ましく、粒径分布がシ
ャープであり、モース硬度が５以上の粒子が粒子の変形
が小さい点から特に好ましい。２０〜８００ｎｍの粒子
としてはアルミナ、シリカ、酸化チタン、ジルコニアや
これらの複合酸化物が好ましく、２種以上併用してもよ
い。

【００２８】滑剤粒子は、通常、ポリエステルを製造す
るための反応時、例えばエステル交換法による場合、エ
ステル交換反応中ないし重縮合反応中の任意の時期、ま
たは直接重合法による場合の任意の時期に、反応系中に
添加（好ましくはグリコール中のスラリーとして）され
る。特に、重縮合反応の初期、例えば固有粘度が約０．
３ｄｌ／ｇに至るまでの期間に滑剤粒子を反応系中に添
加するのが好ましい。

【００２９】＜フィルム厚み＞本発明の共押出ポリエス
テルフィルムの厚みは１０μｍ以上、２５０μｍ以下で
あることが好ましい。更には２０μｍ以上１００μｍ以
下、特に２５μｍ以上６５μｍ以下の範囲内であること
が好ましい。２５０μｍを超えるとヘーズ値が１０％を
超えることがあり透明性が必要とされる場合は不適当で
あるばかりか、コスト高になるので好ましくない。厚み
１０μｍ未満ではキャリヤーシートとしての強度、いわ
ゆる腰が不足し、セラミックグリーンシートを成形しに
くくなる。

【００３０】少なくとも２層以上からなる共押出ポリエ
ステルフィルムの各層の厚みは、離形層を設ける側は全
厚みの３％以上５０％以下、好ましくは４％以上４０％
以下、更に好ましくは５％以上３０％以下である。３％
未満では所望の１０点平均粗さ（Ｒｚ）が得難く、５０
％を超えるとヘーズ値やコストの悪化につながる。２層
の場合、他層の厚みは、全厚みの５０％以上９７％以
下、好ましくは６０％以上９６％以下、更に好ましくは
７０％以上９５％以下である。３（以上の）層の場合、
離形層を設ける側と反対側の最外層の厚みは全厚みの３
〜２０％が好ましい。３％未満では作業性に対する効果
が小さく、２０％を超えるとヘーズ値が大きくなり易
い。

【００３１】＜フライスペック＞本発明の共押出ポリエ
ステルフィルム中に存在する長径５０μｍ以上のフライ
スペックは、０．３ｍ²あたりのフライスペック数をラ
ンダムに１０点測定した平均個数が５個以下であること
を要する。「長径」とは、楕円に近い無定の形状を有す
るフライスペックの最も長い内径をさす。長径５０μｍ
以上のフライスペックは、キャリヤーシート表面の粗大
突起となりやすく、セラミックグリーンシートのピンホ
ールの原因となるため、少ない方が好ましい。フライス
ペックは異物、未溶融ポリマーや粗大粒子を核に生じる
ので、前述の不織布型フィルターの使用により、異物、
未溶融ポリマーや粗大粒子を除去することが好ましい。
更には、フライスペックの原因物を多く含まない滑剤粒
子を用いることが好ましい。

【００３２】＜表面粗さ＞本発明のフィルムの離形層を
設ける側の層の中心線平均表面粗さ（Ｒａ）は、１０ｎ
ｍ以上６０ｎｍ以下であることが好ましい。ここで、中
心線平均表面粗さは、ポリエステルフィルムの離形層を
設ける側の表面であって、プライマー層、離形層を塗布
する前の中心線平均表面粗さを指す。１０ｎｍ未満であ
るとフィルム面が互いに密着する傾向があり、巻き姿や
作業性が悪く、表面に傷がつき易い。６０ｎｍを超える
と、透明性が低下し、検品性が低下する。また、１０点
平均粗さ（Ｒｚ）は離形層を設ける側の表面であって、
プライマー層、離形層を塗布する前の１０点平均粗さを
指し、５００ｎｍ以上であることが好ましい。更には５
００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下が好ましい。Ｒｚが５０
０ｎｍ未満であると離形層の表面に突起が非常に少なく
なり、キャリヤーシート製造時に巻き取り難くなるばか
りか、巻き取った後、離形層がキャリヤーシートの反対
面とブロッキングを生じ、セラミックグリーンシートの
剥離不良を起こしやすくなる。所望の表面粗さを得るた
めには、前述の滑剤粒子を添加すればよい。

【００３３】＜プライマー層＞本発明の共押出ポリエス
テルフィルムの片面即ち離形層を設ける面に、シリコー
ン易接性の塗膜を形成させることが好ましい。本発明に
用いる離形層は特に限定されないが、シリコーン系離形
剤、特に硬化型シリコーン樹脂が好ましい。しかしなが
ら、ポリエステルフィルムとシリコーンは接着性に乏し
いので、何らかの易接性の処理を要する。本発明におい
ては、下記のプライマー層を形成することが好ましい。
プライマー層を構成する成分として、シランカップリン
グ剤、アルカリ性無機微粒子、ｐＨを調整する酸、界面
活性剤などが挙げられる。

【００３４】シランカップリング剤は、一般式ＹＲＳｉ
Ｘ₃で表わされる化合物である。ここでＹはビニル基、
エポキシ基、アミノ基、メルカプト基等の如き有機官能
基、Ｒはメチレン、エチレン、プロピレン等の如きアル
キレン基、Ｘはメトキシ基、エトキシ基等の如き加水分
解基及びアルキル基である。具体的化合物としては、例
えばビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシ
ラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ
−β（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、Ｎ−β（アミノエチル）−γ−アミノプロピ
ルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルト
リメトキシシラン等を挙げることができる。好ましいシ
ランカップリング剤としては、水溶性又は水分散性を有
するカップリング剤である。

【００３５】前記シランカップリング剤と共にプライマ
ー層を構成するアルカリ性無機微粒子としては、例えば
酸化鉄ゾル、アルミナゾル、酸化スズゾル、酸化ジルコ
ニウムゾル、シリカゾル等を挙げることができるが、特
にアルミナゾル、シリカゾルが好ましい。就中シランカ
ップリング剤の初期反応性（ダイマー化、トリマー化
等）を促進する点から、シリカゾルが好ましい。

【００３６】アルカリ性無機微粒子は表面積の大きい小
粒径のものが良く、平均粒径が１〜１５０ｎｍ、さらに
は２〜１００ｎｍ、特に３〜５０ｎｍであるものが好ま
しい。平均粒径が１５０ｎｍより大きくなると、表面積
が小さくなりすぎ、シランカップリング剤の反応促進作
用が低下し、かつプライマー層の表面が粗面化するため
好ましくない。他方、平均粒径が１ｎｍより小さくなる
と、表面積が大きすぎ、シランカップリング剤の反応制
御が困難となり好ましくない。

【００３７】アルカリ性無機微粒子の量は、シランカッ
プリング剤の量に対して、１〜５０重量％、さらには２
〜２０重量％であることが好ましい。この量が１重量％
未満であると、架橋反応が進まず、他方５０重量％を超
えると塗布液の安定性に欠け、例えば無機微粒子の添加
後短時間で塗布液中に沈澱が発生し、好ましくない。

【００３８】シランカップリング剤及びアルカリ性無機
微粒子を含有するプライマー塗布液、特に水性塗布液
は、そのｐＨを４．０〜７．０、好ましくは５．０〜
６．７に調整する。このｐＨが４．０未満になると、無
機微粒子の触媒活性が失われ、他方７．０を超えると塗
液が不安定となり、沈澱が生じるので好ましくない。こ
のｐＨを調整する酸としては塩酸、硝酸、硫酸等の無機
酸や蓚酸、蟻酸、クエン酸、酢酸等の有機酸が用いられ
るが、特に有機酸が好ましい。

【００３９】かかる塗布液、特に水性液には、アニオン
型界面活性剤、カチオン型界面活性剤、ノニオン型界面
活性等の界面活性剤を必要量添加して用いることができ
る。かかる界面活性剤としては塗布液の表面張カを０．
５Ｎ／ｍ以下、好ましくは０．４Ｎ／ｍ以下に下げるこ
とができ、ポリエステルフィルムへの濡れ性を促進する
ものが好ましく、例えばポリオキシエチレンアルキルフ
ェニルエーテル、ポリオキシエチレン−脂肪酸エステル
ソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステ
ル、脂肪酸金属石鹸、アルキル硫酸塩、アルキルスルホ
ン酸塩、アルキルスルホコハク酸塩、第４級アイモニウ
ムクロライド塩、アルキルアミン塩酸等を拳げることが
できる。更に本発明の効果を消失させない範囲におい
て、例えば帯電防止剤、紫外線吸収剤、顔料、有機フィ
ラー、潤滑剤、ブロッキング防止剤等の他の添加剤を混
合することができる。

【００４０】かかるプライマー塗布液を共押出ポリエス
テルフィルムの片面に塗布し、次いで乾燥、熱架橋させ
ることで、架橋プライマー層を設けることができる。

【００４１】上記塗布液の固形分濃度は、通常塗布液１
００重量％中３０重量％以下であり、１０重量％以下が
更に好ましい。塗布量は走行しているフィルム１ｍ²当
り０．５〜２０ｇ、さらに１〜１０ｇが好ましい。ま
た、乾燥、熱架橋処理後の塗膜の厚さは２０〜１０００
ｎｍ、更には４０〜５００ｎｍであることが好ましい。

【００４２】塗布方法としては、公知の任意の方法が適
用できる。例えば、キスコート法、バーコート法、ダイ
コート法、リバースコート法、オフセットグラビアコー
ト法、マイヤバーコート法、グラビアコート法、ロール
ブラッシュ法、スプレーコート法、エアーナイフコート
法、合浸法及びカーテンコート法などを単独又は組み合
わせて適用するとよい。

【００４３】＜離形層＞本発明において、共押出ポリエ
ステルフィルムの片面に離形層を設ける。かかる離形層
は、特に限定されずシリコーン樹脂、シリコーンオイ
ル、フッ素樹脂、フッ素オイル、各種ワックス、または
長鎖アルキル基を有するポリマーの中から選ばれた１種
以上を主成分とする塗布液をポリエステルフィルムの片
面に塗布し、乾燥、更には熱や電離放射線によって硬化
させることにより形成できる。その他ポリエステル、ア
ルキッド、ポリウレタン、アクリル、メラミン、ポリビ
ニルアセタール等の有機樹脂をシリコーンやフッ素など
で変性したもの、或いはシリコーンオイル、フッ素オイ
ルや各種ワックスを有機樹脂中に添加した成分からなる
塗布液を用いても良い。

【００４４】なかでも硬化型シリコーン樹脂が耐熱性の
点で好ましく、かかる硬化型シリコーン樹脂としては、
例えば縮合反応型のもの、付加反応型のもの、紫外線も
しくは電子線硬化型のもの等いずれの反応型のものも用
いることができる。これらの硬化型シリコーン樹脂は一
種を単独で用いてもよく、二種以上併用してもよい。各
種シリコーン樹脂の硬化反応は、次のように示すことが
できる。

【００４５】

【化１】

【００４６】上記縮合反応型のシリコーン樹脂として
は、例えば末端−ＯＨ基を持つポリジメチルシロキサン
と末端に−Ｈ基を持つポリジメチルシロキサン（ハイド
ロジェンシラン）を有機錫触媒（例えば有機錫アシレー
ト触媒）を用いて縮合反応させ、三次元架橋構造をつく
るものが挙げられる。付加反応型のシリコーン樹脂とし
ては、例えば末端にビニル基を導入したポリジメチルシ
ロキサンとハイドロジェンシランとを白金触媒を用いて
反応させ、三次元架橋構造をつくるものが拳げられる。
紫外線硬化型のシリコーン樹脂としては、例えば最も基
本的なタイプとして通常のシリコーンゴム架橋と同じラ
ジカル反応を利用するもの、アクリル基を導入して光硬
化させるもの、紫外線でオニウム塩を分解して強酸を発
生させ、これによりエポキシ環を開裂させて架橋させる
もの、ビニルシロキサンへのチオールの付加反応で架橋
するもの等が拳げられる。電子線は紫外線よりもエネル
ギーが強く、紫外線硬化の場合のように開始剤を用いず
ともラジカルによる架橋反応が起こる。

【００４７】硬化型シリコーン樹脂としては、その重合
度が５０〜２０万程度、好ましくは千〜１０万程度のも
のが好ましく、これらの具体例としては信越化学工業
（株）製のＫＳ−７１８、−７７４、−７７５、−７７
８、−７７９Ｈ、−８３０、−８３５、−８３７、−８
３８、−８３９、−８４１、−８４３、−８４７、−８
４７Ｈ、Ｘ−６２−２４１８、−２４２２、−２１２
５、−２４９２、−２４９４、−４７０、−２３６６、
−６３０、Ｘ−９２−１４０、−１２８、ＫＳ−７２３
Ａ・Ｂ、−７０５Ｆ、−７０８Ａ、−８８３、−７０
９、−７１９、東芝シリコーン（株）のＴＰＲ−６７０
１、−６７０２、−６７０３、−３７０４、−６７０
５、−６７２２、−６７２１、−６７００、ＸＳＲ−７
０２９、ＹＳＲ−３０２２、ＹＲ−３２８６、ダウコー
ニング（株）製のＤＫ−Ｑ３−２０２、−２０３、−２
０４、−２１０、−２４０、−３００３、−２０５、−
３０５７、ＳＦＸＦ−２５６０、東レ・ダウコーニング
・シリコーン（株）製のＳＤ−７２２６、−７３２０、
−７２２９、ＢＹ２４−９００、−１７１、−３１２、
−３７４、ＳＲＸ−３７５、ＳＹＬ−ＯＦＦ２３、ＳＲ
Ｘ−２４４、ＳＥＸ−２９０、アイ・シー・アイ・ジャ
パン（株）製のＳＩＬＣＯＬＥＡＳＥ４２５等を拳げる
ことができる。また、特開昭４７−３４４４７号公報、
特公昭５２−４０９１８号公報等に記載のシリコーン樹
脂も用いることができる。

【００４８】前記硬化型シリコーン樹脂塗膜をフィルム
表面に形成させる場合のコーティング方法としてはバー
コート法、ドクターブレード法、リバースロールコート
法またはグラビアロールコート法等の従来から知られて
いる方法が利用できる。かかる硬化型シリコーン樹脂の
形態は、溶剤型、エマルジョン型、無溶剤型等の中から
適宜選択して用いることができる。

【００４９】塗膜の乾燥及び硬化（熱硬化、紫外線硬化
等）は、それぞれ個別又は同時に行うことができる。同
時に行うときには、乾燥及び硬化の条件としては１００
℃以上で３０秒以上が好ましい。乾燥温度が１００℃未
満及び硬化時間が３０秒未満では塗膜の硬化が不完全で
あり、塗膜が脱落しやすくなるため好ましくない。

【００５０】硬化型シリコーン樹脂塗膜の厚みは特に限
定されないが、０．０５〜０．５μｍの範囲が好まし
い。塗膜の厚みがこの範囲より薄くなると離形性能が低
下し満足すべき性能が得られない。逆に塗膜の厚みがこ
の範囲より厚くなるとキュアリングに時間がかかり生産
上不都合を生じる。

【００５１】＜製膜法＞本発明におけるセラミックコン
デンサー製造用キャリヤーフィルムの支持体となる共押
出ポリエステルフィルムは、基本的には従来から知られ
ている、あるいは当業界に蓄積されている方法で製造す
ることができる。しかし、本発明の要件を満足するた
め、以下の製膜方法を行う必要がある。具体的には、先
ず未配向積層フィルムを製造し、次いで該フィルムを二
軸配向させることで得ることができる。

【００５２】この未配向積層フィルムは、ポリエステル
Ａ層と、反対面を形成するポリエステルＢ層（必要に応
じてＣ層）とを、ポリエステルの溶融状態で積層する方
法を用いることができる。さらに具体的には、共押出方
法による製造が生産性の観点から好ましい。各層の厚み
配分に配慮し、上述の方法で積層されたフィルムは、更
に従来から蓄積された二軸配向フィルムの製造法に準じ
て縦および横方向に延伸し、二軸配向フィルムとするこ
とができる。例えば、Ｔｍ（ただしＴｍとはポリエステ
ルの融点を表す。単位は℃で表される。）〜（Ｔｍ＋７
０）℃の温度でポリエステルを溶融・共押出して末配向
積層フィルムを得、該未配向積層フィルムを一軸方向
（縦方向又は横方向）に（Ｔｇ−１０）〜（Ｔｇ＋７
０）℃の温度（但し、Ｔｇとはポリエステルのガラス転
移温度を表す）で２．５倍以上、好ましくは３倍以上の
倍率で延伸し、次いで上記延伸方向と直角方向にＴｇ〜
（Ｔｇ＋７０）℃の温度で２．５倍以上、好ましくは３
倍以上の倍率で延伸するのが好ましい。さらに必要に応
じて縦方向および／又は横方向に再度延伸してもよい。
このようにして得られた最終的な延伸倍率は、面積延伸
倍率（ただし、面積延伸倍率とは横延伸倍率と縦延伸倍
率の積で得られる）として９倍以上が好ましく、１２〜
３５倍がさらに好ましく、１５〜３０倍が特に好まし
い。

【００５３】さらにまた、二軸配向フィルムは、（Ｔｇ
＋７０）℃〜（Ｔｍ−１０）℃の温度で熱固定すること
ができ、例えばポリエチレンテレフタレートの場合は１
８０〜２３５℃、ＰＥＮの場合は２２０〜２４０℃で熱
固定を行うのが好ましい。セラミックグリーンシートの
製造等において熱収縮率が問題になる場合には、熱固定
温度をポリエチレンテレフタレートの場合２２５〜２３
５℃とする方が好ましい。また、熱固定時間は１〜６０
秒が好ましく例示される。

【００５４】このようにして得られた、二軸配向された
共押出ポリエステルフィルムのフィルム厚みは１０μｍ
以上２５０μｍ以下であり、表面粗さは、離形層を設け
る側の層の中心線平均表面粗さ（Ｒａ）は１０〜６０ｎ
ｍ、離形層を設ける側の層の１０点平均粗さ（Ｒｚ）は
５００ｎｍ以上である。

【００５５】プライマー層の塗布は、通常のプライマー
塗布工程、すなわち二軸延伸熱固定した共押出ポリエス
テルフィルムに、該フィルムの製造工程と切離して塗布
する工程で行ってもよい。しかし、この工程では、芥、
塵挨などを巻込み易いため、よりクリーンな雰囲気での
塗布が望ましい。かかる観点より、共押出ポリエステル
フィルム製造工程での塗布が好ましい。特に、この工程
中で結晶配向が完了する前の共押出ポリエステルフィル
ムの片面（離形層を設ける側）に水性塗布液として塗布
することが好ましい。ここで、結晶配向が完了する前の
共押出ポリエステルフィルムとは、共押出ポリエステル
を熱溶融してそのままフィルム状となした未延伸フィル
ム、未延伸フィルムを縦方向（長手方向）または横方向
（幅方向）の何れか一方に配向せしめた一軸延伸フィル
ム、さらには縦方向及び横方向の二方向に低倍率延伸配
向せしめた状態の二軸延伸フィルム（最終的に縦方向ま
たは横方向に再延伸せしめて配向結晶化を完了せしめる
前の二軸延伸フィルム）等を含むものである。通常の工
程においては縦方向に一軸延伸後に塗布するのが好まし
い。

【００５６】塗布液を塗布した、結晶配向完了する前の
共押出ポリエステルフィルムは、乾燥され、延伸、熱固
定等の工程に導かれる。例えば塗布液を塗布した縦一軸
延伸ボリエステルフィルムは、ステンターに導かれて横
延伸及び熱固定される。この間、塗布液は乾燥され熱架
橋される。かかる処理は、従来から当業界に蓄積された
条件で行うことができる。好ましい条件としては、例え
ば乾燥条件は９０〜１３０℃×２〜１０秒であり、延伸
温度はポリエチレンテレフタレートの場合は９０〜１３
０℃、ＰＥＮの場合は１２０〜１８０℃、延伸倍率は縦
方向３〜５倍、横方向３〜５倍、必要ならば再縦方向１
〜３倍であり、熱固定する場合はポリエチレンテレフタ
レートの場合は１８０〜２４０℃、ＰＥＮの場合は２２
０〜２４０℃、熱固定時間は２〜２０秒である。かくし
て、２０〜１０００ｎｍの厚みからなるシリコーン易接
性のプライマー層を有する、共押出ポリエステルフィル
ムが得られる。塗布方法は特に限定されないが、リバー
スロールコーターによる方法が好ましく例示される。

【００５７】本発明においては、更にポリエステルフィ
ルムに離形層を設ける。該離形層を塗布させる工程は、
前記プライマー層を塗布後、更に乾燥、延伸、熱固定な
どを施したフィルムを用い、塗布加工を行う。塗膜の乾
燥及び硬化（熱硬化、紫外線硬化等）は、それぞれ個別
又は同時に行うことができる。同時に行うときには、乾
燥及び硬化の条件としては１００℃以上で３０秒以上が
好ましい。かくして、０．０５〜０．５μｍの厚みから
なる離形層を更に有する、共押出ポリエステルフィルム
が得られる。

【００５８】

【実施例】以下、実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。なお、本発明における物性値は、下記の方法にて測
定されたものであり、かつ定義される。

【００５９】（１）剥離強度 ポリエステルフィルムの片面に形成された離形層面にポ
リエステル粘着テープ（日東電工製３１Ｂテープ）を貼
合わせ、５ｋｇの圧着ローラーで圧着し２０時間放置
後、離形層と粘着テープとの剥離強度を引張試験機（東
洋精機製５Ｋｇｆ引張試験機）にて３００ｍｍ／分の引
張速度で測定する。

【００６０】（２）残存接着率 ポリエステル粘着テープ（日東電工製３１Ｂテープ）を
ＪｌＳ−Ｇ４３０５に規定する冷間圧延ステンレス板
（ＳＵＳ３０４）に貼付けた後の剥離強度を（１）の方
法に従い測定し、基礎接着強度（ｆ₀）とする。また前
記ポリエステル粘着テープをポリエステルフィルムの離
形層面に５ｋｇの圧着ローラーで圧着し、３０秒間放置
した後粘着テープを剥がす。そして剥がした粘着テープ
を上記のステンレス板に貼り、該貼合部の剥離強度を
（１）の方法に従って測定し、残留接着強度（ｆ）とす
る。得られた基礎接着強度（ｆ₀）と残留接着強度
（ｆ）より下記式を用いて残留接着率を求める。

【００６１】

【数１】残留接着率（％）＝（ｆ／ｆ₀）×１００

【００６２】（３）滑り性（フィルム摩擦係数（フィル
ムスリッパリー）） ＡＳＴＭ Ｄ１８９４−６３に準じ、東洋テスター社製
のスリッパリー測定器を使用し、離形層塗布面とポリエ
ステルフィルム（非塗布面）との静摩擦係数（μｓ）を
測定した。但し、スレッド板はガラス板とし、荷重は１
ｋｇとした。滑り性は、下記の基準で評価した。 ○：静摩擦係数が０．６未満（良好） △：静摩擦係数が０．６以上、０．８未満（やや不良） ×：静摩擦係数が０．８以上（不良）

【００６３】（４）ブロッキング性 フィルムの表裏（離形層塗布面と非塗布面）を重ね、５
０ｋｇ／ｃｍ²の荷重をかけ、５０℃、２０時間維持し
た。次いで、重ねたフィルムを剥がす際の剥離強度を引
張試験機（東洋精機製５Ｋｇｆ引張試験機）を用い、引
張速度３００ｍｍ／分の条件で測定した。更に剥離した
後の離形層にマジックインキで直線を引き、インキのは
じき具合を観察し、下記の通り判定した。 ○：剥離強度が２００ｍＮ／１０ｃｍ幅未満、かつマジ
ックインキがはじく △：剥離強度が２００ｍＮ／１０ｃｍ幅未満だが、マジ
ックインキがはじかない場合、又は、剥離強度が２００
ｍＮ／１０ｃｍ幅以上だが、マジックインキがはじく場
合のいずれか。 ×：剥離強度が２００ｍＮ／１０ｃｍ幅以上、かつマジ
ックインキがはじかない

【００６４】（５）セラミックグリーンシート成形性 ポリエステルフィルムの片面にプライマー層、離形層を
塗布して作成されたキャリヤーシートを用い、離形層上
に下記組成のセラミックスラリーをドクターブレード法
にて塗布し、乾燥固化させた後、２０ｇ／ｃｍ²の荷重
下で４０℃、２週間放置した。この後、該キャリヤーシ
ートを剥離し、厚さ３μｍのセラミックグリーンシート
を得た。得られたセラミックグリーンシートを光学顕微
鏡で観察し、下記の通り成形性を判定した。 ○：ピンホールが全く見られないもの ×：ピンホールが多数見られたもの

【００６５】（６）フライスペック 面光源、直交偏光板、拡大鏡を持つ装置の偏光板の上に
ポリエステルフィルム試料を置いて観察する。試料を回
転させて暗視野にするとフライスペックが明るく見え
る。試料面積０．３ｍ²あたりの長径５０μｍ以上のフ
ライスペック数をランダムに１０点測定した平均個数で
表す。評価基準は次の通りである。 ○：長径５０μｍ以上のフライスペックの個数が０．３
ｍ²当たり５個以下 ×：長径５０μｍ以上のフライスペックの個数が０．３
ｍ²当たり６個以上

【００６６】（７）表面粗さ （Ａ）中心線平均表面粗さ（Ｒａ） プライマー層、離形層を塗布する前のポリエステルフィ
ルムの、離形層を設ける側の表面を表面粗さ計（東京精
密（株）サーフコム１１１Ａ）で測定し、ＪＩＳ Ｂ０
６０１に準じ平均値を算出して表面粗さとする。 （Ｂ）１０点平均粗さ（Ｒｚ） （Ａ）で測定した表面粗さのうちピーク（Ｈｐ）の高い
方から５点と谷（Ｈｖ）の低い方から５点をとり、その
平均値を１０点平均粗さ（Ｒｚ）とする。

【００６７】

【数２】Rz＝[(Hp1+Hp2+Hp3+Hp4+Hp5)−(Hv1+Hv2+Hv3+H
v4+Hv5)]／5

【００６８】（８）粒子の平均粒径 （Ａ）粒子が一次粒子の場合 （株）島津製作所製ＣＰ−５０型セントリフューグル
パーティクルサイズ アナライザー（Ｃｅｎｔｒｉｆｕ
ｇａｌ Ｐａｒｔｉｃｌｅ Ａｎａｌｙｚｅｒ）を用い
て測定した。得られた遠心沈降曲線を基に算出した各粒
径の粒子とその残存量との積算曲線から、５０マスパー
セントに相当する粒径を読みとり、この値を上記平均粒
径とする（「粒度測定技術」日刊工業新聞社発行、１９
７５年、頁２４２〜２４７参照）。 （Ｂ）粒子が凝集粒子の場合 添加した滑剤としての不活性微粒子が１次粒子の凝集に
よる２次粒子である場合は（Ａ）に示す方法での平均粒
径測定で得られた粒径は実際の平均粒径より小さくなる
場合があるため、下記方法を採用する。粒子を含有した
フィルムを断面方向に厚さ１００ｎｍの超薄切片とし、
透過電子顕微鏡（例えば日本電子製ＪＥＭ−１２００Ｅ
Ｘ）を用いて、１万倍程度の倍率で粒子を観察し、凝集
粒子（２次粒子）を観察した。この写真を用いて個々の
粒子の円面積相当の直径を画像解析装置等を用いて粒子
１０００個について測定し、数平均した粒子径を平均２
次粒径とする。なお、粒子種の同定はＳＥＭ−ＸＭＡ、
ＩＣＰによる金属元素の定量分析などを使用して行うこ
とができる。平均１次粒径は透過電子顕微鏡の倍率を１
０万〜１００万倍にて撮影するほかは平均２次粒径測定
の方法に準じて測定する。

【００６９】（９）フィルム厚み 外付マイクロメータで１００点測定し、平均値を求めて
フィルムの厚みとする。

【００７０】（１０）融点 Ｄｕ Ｐｏｎｔ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ ９１０ Ｄ
ＳＣを用い、昇温速度２０℃／分で融解ピークを求める
方法によった。なお、サンプル量は約２０ｍｇとする。

【００７１】（１１）固有粘度 ペレットを用い、オルソクロロフェノールを溶媒とし
て、３５℃で測定した。

【００７２】［実施例１］ジメチルテレフタレートとエ
チレングリコールとを、エステル交換触煤として酢酸マ
ンガンを、重合触媒として酸化ゲルマニウムを、安定剤
として亜燐酸を、さらに滑剤として平均粒径１２００ｎ
ｍの球状シリコーン粒子をポリマーに対して０．００５
重量％、平均粒径６００ｎｍの球状炭酸カルシウムをポ
リマーに対して０．２重量％、平均粒径４００ｎｍのア
ルミナをポリマーに対して０．１重量％になるように添
加して常法により重合し、固有粘度０．６５ｄｌ／ｇの
ポリエチレンテレフタレートペレットを得た。このポリ
エチレンテレフタレートのペレットを１７０℃で３時間
乾燥後、押出機に供給し、溶融温度２９５℃で溶融し、
線径１３μｍのステンレス細線よりなる平均目開き２４
μｍの不織布型フィルターで濾過し、Ｔ形３層ダイの両
表層から押出した。別の押出機に、滑剤粒子の量を無滑
剤のポリマーで希釈し、表１Ｂ層に示す添加量としたポ
リマーを供給し、上記と同条件でＴ形３層ダイの中間層
から押出した。

【００７３】この３層からなる溶融物を表面仕上げ０．
３ｓ程度、表面温度２０℃の回転冷却ドラム上に押出
し、５３４μｍ厚み、各層厚み７０／３９４／７０μｍ
の未延伸共押出ポリエステルフィルムを得た。このよう
にして得られた未延伸共押出ポリエステルフィルムを７
５℃に予熱し、低速ローラーと高速ローラーの間で１５
ｍｍ上方より８００℃の表面温度の赤外線ヒーター１本
にて加熱して３．６倍に延伸し、縦延伸終了後のフィル
ムの片面にシリコーン易接性のプライマーとして下記の
塗布液を乾燥横延伸後４０ｎｍの厚みになるように塗布
し、続いてステンターに供給し、１２０℃にて横方向に
３．９倍に延伸した。得られた二軸配向共押出フィルム
を２００℃の温度で５秒間熱固定し、３８μｍ厚みの二
軸配向ポリエステルフィルムを得た。このフィルムの全
幅の中央付近から採取したフィルムの片面に、ポリジメ
チルシロキサンとジメチルハイドロジエンシランの混合
溶液に白金触媒を加えて付加反応させるタイプの硬化型
シリコーン（信越化学工業（株）製・ＫＳ−８４７Ｈ）
をメチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン及びト
ルエンの混合溶剤中に溶解させたシリコーン樹脂塗布液
を塗布量（ｗｅｔ）４ｇ／ｍ²で塗布し、１４０℃×２
０秒の条件で乾燥、硬化処理して塗布厚み０．１μｍの
離形層を有する共押出ポリエステルフィルムを得た。こ
のフィルムのキャリヤーシートとしての評価を行い、特
性を表１に示す。

【００７４】プライマー層に用いた塗布液：シランカッ
プリング剤（γ−グリシドプロピルトリメトキシシラ
ン）８３重量部、無機微粒子（平均粒径６ｎｍ、２０％
分散液ｐＨ９．５ シリカゾル）２重量部、ノニオン界
面活性剤（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテ
ル）１５重量部、を含み、クエン酸でｐＨ６．３に調整
した水性塗布液。

【００７５】［実施例２〜６、比較例１〜２］実施例１
に準じて、ポリエチレンテレフタレートからなる、表１
に示す滑剤の添加量を含有する、少なくとも２層以上か
らなる共押出ポリエステルフィルムを得た。このフィル
ムの特性を表１に示す。

【００７６】

【表１】

【００７７】表１の実施例１〜４で明らかなように、平
均粒径の異なる複数の滑剤を、好ましい量含有した少な
くとも２層以上からなる共押出ポリエステルフィルムを
用いることにより、フライスペックが少なく、また離形
層側の表面粗さ（Ｒａ、Ｒｚ）が好ましい凹凸を有す
る、キャリヤーシートとして好適な共押出ポリエステル
フィルムが得られ、セラミックグリーンシート成形性、
ならびに製造工程での滑り性やブロッキング性が改良さ
れた。一方、比較例１で明らかなように、大粒径の滑剤
１種類のみ使用し、更に添加量も多い場合、フライスペ
ックの除去が十分でないため、結果としてセラミックグ
リーンシートを成形した際にピンホールが数多く見られ
た。また、比較例２から明らかなように、大粒径の滑剤
１種類のみ使用し、更に添加量も多い場合、離形層側の
中心線平均表面粗さ（Ｒａ）が粗くなりすぎ、やはりセ
ラミックグリーンシートを成形した際にピンホールが数
多く見られた。

【００７８】また、実施例５から明らかなように、離形
層と反対側の層中の滑剤の添加量が不十分な場合、製造
工程における滑り性やブロッキング性が低下する場合が
ある。更に、実施例６から明らかなように、離形層側の
層中の大粒径の滑剤の添加量が不十分な場合、離形層側
の中心線平均表面粗さ（Ｒａ）が平坦すぎ、製造工程に
おける滑り性やブロッキング性が低下する場合が見られ
た。

【００７９】

【発明の効果】本発明より得られたセラミックコンデン
サー製造用キャリヤーシートは、均一なセラミックグリ
ーンシート薄膜の製造において好適に使用され、かつセ
ラミックグリーンシートの製造工程でのキャリヤーシー
トの取り扱いが容易になるといった効果が得られる。更
に具体的には、ピンホールや表面の形状欠陥のないセラ
ミックグリーンシートが得られ、また、ロール状に巻き
取る際の巻取り性や、更にロールから引き出してセラミ
ックコンデンサー製造用キャリヤーシートとして用いる
際に、離形層によるブロッキング性が改良され、更に共
押出方法を用いることでキャリヤーシートの生産性がよ
り向上するといった優れた効果が得られる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２９Ｌ 7:00 Ｂ２９Ｌ 7:00 31:34 31:34 Ｆターム(参考） 4F100 AA08 AA08H AA19 AA19H AK41A AK41B AK42A AK42B AK52 AK52H AR00C AR00D BA02 BA03 BA04 BA05 BA07 BA10A BA10C BA13 CA19 CA19A CA19B DD07 DD07B DE01A DE01B EH202 EJ65D GB90 JA20 JK06 JK16 JL02 JL05 JL14C YY00 YY00A YY00B 4F207 AA24 AB07 AF16 AG01 AG03 KA01 KA17 KB22 KW50 4G052 DA02 DB01 5E001 AB03 AH01 AH09 AJ01 AJ02

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも２層以上の共押出ポリエステ
   ルフィルムからなり、該フィルム中の長径５０μｍ以上
   のフライスペックが０．３ｍ²当り５個以下であり、該
   フィルムの一方の表面に離形層を設けたセラミックコン
   デンサー製造用キャリヤーシート。
2. 【請求項２】 離形層を設ける側の層の中心線平均表面
   粗さ（Ｒａ）が１０〜６０ｎｍ、離形層を設ける側の層
   の１０点平均粗さ（Ｒｚ）が５００ｎｍ以上であること
   を特徴とする請求項１記載のセラミックコンデンサー製
   造用キャリヤーシート。
3. 【請求項３】 共押出ポリエステルフィルムの厚みが１
   ０μｍ以上２５０μｍ以下であることを特徴とする請求
   項１又は２記載のセラミックコンデンサー製造用キャリ
   ヤーシート。
4. 【請求項４】 共押出ポリエステルフィルムの各層が、
   それぞれ平均粒径の異なる少なくとも２種以上の滑剤粒
   子を含有することを特徴とする請求項１，２または３に
   記載のセラミックコンデンサー製造用キャリヤーシー
   ト。
5. 【請求項５】 シリコーンに対し易接着性のプライマー
   層が、離形層と、離形層を設ける側のポリエステルフィ
   ルム表面の間に形成されてなることを特徴とする請求項
   １〜４のいずれかに記載のセラミックコンデンサー製造
   用キャリヤーシート。
6. 【請求項６】 共押出ポリエステルフィルムを構成する
   ポリエステルが、ポリエチレンテレフタレートであるこ
   とを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のセラミ
   ックコンデンサー製造用キャリヤーシート。
7. 【請求項７】 ２種以上のポリエステル組成物を共押出
   して２層以上の多層フィルムを製造するにあたり、共押
   出後のフィルム中における長径５０μｍ以上のフライス
   ペックを０．３ｍ²当り５個以下にせしめ、かつ該フィ
   ルムの一方の表面に離形層を設けることを特徴とするセ
   ラミックコンデンサー製造用キャリヤーシートの製造方
   法。